JP3358331B2 - カラーフィルタ検査装置 - Google Patents
カラーフィルタ検査装置Info
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- color filter
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、液晶ディスプレイ用カ
ラーフィルタ基板を検査するためのカラーフィルタ検査
装置に関するものである。
ラーフィルタ基板を検査するためのカラーフィルタ検査
装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】最近、ラップトップ型やノート＆ブック
型パソコンには、モノクロ液晶に代ってマルチメディア
に対応したＴＦＴなどカラー液晶ディスプレイ（６４０
×４００ドットなど）が広く採用されてきている。
型パソコンには、モノクロ液晶に代ってマルチメディア
に対応したＴＦＴなどカラー液晶ディスプレイ（６４０
×４００ドットなど）が広く採用されてきている。
【０００３】このカラー液晶ディスプレイにおける液晶
パネルの構造としては、ガラス基板に透明電極及びＦＥ
Ｔマトリック層、液晶層、透明電極、カラーフィルタ、
ガラス基板を積層し、その両ガラス基板の上下に偏光板
を設けて構成される。
パネルの構造としては、ガラス基板に透明電極及びＦＥ
Ｔマトリック層、液晶層、透明電極、カラーフィルタ、
ガラス基板を積層し、その両ガラス基板の上下に偏光板
を設けて構成される。
【０００４】カラーフィルタは、Ｒ（赤），Ｇ（緑），
Ｂ（青）の色ピクセルがドット単位でガラス基板にコー
ティングされて配列されており、その配列方式も、ＲＧ
Ｂが縦方向に整列した縦ストライプ方式、ＲＧＢが分散
したモザイク方式など種々のものがある。
Ｂ（青）の色ピクセルがドット単位でガラス基板にコー
ティングされて配列されており、その配列方式も、ＲＧ
Ｂが縦方向に整列した縦ストライプ方式、ＲＧＢが分散
したモザイク方式など種々のものがある。
【０００５】このカラーフィルタは、クリーンルーム内
で製造されるが、製造中に数μｍ程度の異物が付着して
も不良品となる。
で製造されるが、製造中に数μｍ程度の異物が付着して
も不良品となる。
【０００６】従来、この種カラーフィルタの検査装置と
しては、特開平５−３４２３７号公報や特開平５−９９
７８７号公報に示されるようにカラーフィルターの一方
から光を照射して他方よりそのカラーフィルターを透過
した光を目視により観察して各色ピクセルの欠陥を検査
するようにしたものがあるが、目視による検査は、検査
精度・バラツキなど問題がある。
しては、特開平５−３４２３７号公報や特開平５−９９
７８７号公報に示されるようにカラーフィルターの一方
から光を照射して他方よりそのカラーフィルターを透過
した光を目視により観察して各色ピクセルの欠陥を検査
するようにしたものがあるが、目視による検査は、検査
精度・バラツキなど問題がある。
【０００７】そこで、特開平５−３３２９４４号公報に
示されるように、カラーフィルタの表面に付着した異物
は、その表面が山形状に***することを利用してカラー
フィルタの表面に検査用の光を投光し、その反射光を検
出することで、フィルタの表面の平滑度を検査して異物
の有無を検査するようにしたものがある。
示されるように、カラーフィルタの表面に付着した異物
は、その表面が山形状に***することを利用してカラー
フィルタの表面に検査用の光を投光し、その反射光を検
出することで、フィルタの表面の平滑度を検査して異物
の有無を検査するようにしたものがある。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
検査は、異物によりフィルタ面が***することを前提と
しており、異物混入があっても表面が平滑である場合に
は、良品とされる問題がある。
検査は、異物によりフィルタ面が***することを前提と
しており、異物混入があっても表面が平滑である場合に
は、良品とされる問題がある。
【０００９】また異物の混入のみならず、カラーフィル
タとしての検査には各ＲＧＢピクセルが面方向で色ムラ
が生じているかどうかも検査する必要があるが、異物検
査のみでは色ムラの検出はできない。
タとしての検査には各ＲＧＢピクセルが面方向で色ムラ
が生じているかどうかも検査する必要があるが、異物検
査のみでは色ムラの検出はできない。
【００１０】更にカラー液晶ディスプレイの欠陥を検査
する装置として特開平６−１１４５５号公報があるが、
この検査方法は製造したカラー液晶ディスプレイを駆動
してその輝度ムラなどを検出するもので、輝度ムラを検
出してもこれは最終製品の検査であり、それが、カラー
フィルタの欠陥で生じたものか、ＦＥＴやそのドライバ
の欠陥から生じたものかを判別することはできない。
する装置として特開平６−１１４５５号公報があるが、
この検査方法は製造したカラー液晶ディスプレイを駆動
してその輝度ムラなどを検出するもので、輝度ムラを検
出してもこれは最終製品の検査であり、それが、カラー
フィルタの欠陥で生じたものか、ＦＥＴやそのドライバ
の欠陥から生じたものかを判別することはできない。
【００１１】そこで、本発明の目的は、上記課題を解決
し、色ピクセル毎の欠陥を検出できしかも色ムラをも同
時に検出できるカラーフィルタ検査装置を提供すること
にある。
し、色ピクセル毎の欠陥を検出できしかも色ムラをも同
時に検出できるカラーフィルタ検査装置を提供すること
にある。
【００１２】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に本発明は、カラーフィルタ基板のＲＧＢの各色ピクセ
ルを光学的に検査するためのカラーフィルタ検査装置に
おいて、カラーフィルタ基板を挟み、その主走査方向に
配置されたライン光源と各色ピクセル毎に複数の分割領
域で色ピクセルを検査する複数のラインセンサカメラで
構成されたラインセンサカメラ群とからなる光学検出手
段と、光学検出手段とカラーフィルタ基板とを副走査方
向に相対移動させると共に副走査方向のピクセル毎にそ
の分割領域の情報をラインセンサカメラ群に取り込むス
テージ同期コントロール手段と、ラインセンサカメラ群
から各ピクセル毎の各分割領域の情報を取り込み、ピク
セル画像中の各分割領域の濃淡差を検出して微少欠陥を
抽出すると共に各ピクセルのＲＧＢの色ごとに色ムラを
検出する画像処理装置群とを備えたものである。
に本発明は、カラーフィルタ基板のＲＧＢの各色ピクセ
ルを光学的に検査するためのカラーフィルタ検査装置に
おいて、カラーフィルタ基板を挟み、その主走査方向に
配置されたライン光源と各色ピクセル毎に複数の分割領
域で色ピクセルを検査する複数のラインセンサカメラで
構成されたラインセンサカメラ群とからなる光学検出手
段と、光学検出手段とカラーフィルタ基板とを副走査方
向に相対移動させると共に副走査方向のピクセル毎にそ
の分割領域の情報をラインセンサカメラ群に取り込むス
テージ同期コントロール手段と、ラインセンサカメラ群
から各ピクセル毎の各分割領域の情報を取り込み、ピク
セル画像中の各分割領域の濃淡差を検出して微少欠陥を
抽出すると共に各ピクセルのＲＧＢの色ごとに色ムラを
検出する画像処理装置群とを備えたものである。
【００１３】
【作用】上記構成によれば、カラーフィルタ基板のピク
セルを検査するに際して、主走査方向に複数のラインセ
ンサカメラを用意し、このラインセンサカメラ群で、主
走査方向に整列した各ピクセルを、そのピクセル毎に複
数の分割領域で画像情報として一括して取り込み、これ
を画像処理装置で、それぞれ各ピクセル毎に欠陥を検出
すると共に、各ピクセルのＲＧＢの色ごとに色ムラが検
出できると共に、画像処理装置を画像処理装置群とする
ことで、大量のピクセルの画像データを効率よく処理で
き、高分解能で各ピクセルの微少な欠陥や色ムラを同時
に検出することができる。
セルを検査するに際して、主走査方向に複数のラインセ
ンサカメラを用意し、このラインセンサカメラ群で、主
走査方向に整列した各ピクセルを、そのピクセル毎に複
数の分割領域で画像情報として一括して取り込み、これ
を画像処理装置で、それぞれ各ピクセル毎に欠陥を検出
すると共に、各ピクセルのＲＧＢの色ごとに色ムラが検
出できると共に、画像処理装置を画像処理装置群とする
ことで、大量のピクセルの画像データを効率よく処理で
き、高分解能で各ピクセルの微少な欠陥や色ムラを同時
に検出することができる。
【００１４】
【実施例】以下、本発明の一実施例を添付図面に基づい
て詳述する。
て詳述する。
【００１５】図１は、本発明のカラーフィルタ検査装置
の概略を示している。
の概略を示している。
【００１６】図において、液晶用のカラーフィルタ基板
１は、デイスプレイサイズが例えば６４０×４００ドッ
トとし、そのデイスプレイ４枚が１枚の基板１に収めら
れており、各ドットには、図で、丸で拡大して示したよ
うに、ＲＧＢの各ピクセル２が整列して形成されカラー
フィルタのドット３を形成している。このピクセル２
は、ＣＲＴ画面の水平方向が１００μｍ、垂直方向が３
００μｍで、検査時は、後述する検査の主走査方向５ａ
がカラーフィルタ基板１の水平方向に検査しても垂直方
向に検査してもいずれでもよい。本例では、カラーフィ
ルタ基板１の水平方向に、後述するラインセンサ群が、
ピクセル２の水平方向を検出するようになっているが、
ピクセル２の垂直方向を検出するようにしてもよい。
１は、デイスプレイサイズが例えば６４０×４００ドッ
トとし、そのデイスプレイ４枚が１枚の基板１に収めら
れており、各ドットには、図で、丸で拡大して示したよ
うに、ＲＧＢの各ピクセル２が整列して形成されカラー
フィルタのドット３を形成している。このピクセル２
は、ＣＲＴ画面の水平方向が１００μｍ、垂直方向が３
００μｍで、検査時は、後述する検査の主走査方向５ａ
がカラーフィルタ基板１の水平方向に検査しても垂直方
向に検査してもいずれでもよい。本例では、カラーフィ
ルタ基板１の水平方向に、後述するラインセンサ群が、
ピクセル２の水平方向を検出するようになっているが、
ピクセル２の垂直方向を検出するようにしてもよい。
【００１７】このカラーフィルタ基板１は、ステージ４
に支持され、図示の矢印で示した副走査方向５ｂに移動
されるようになっている。
に支持され、図示の矢印で示した副走査方向５ｂに移動
されるようになっている。
【００１８】カラーフィルタ基板１の下方には、主走査
方向に配置されたライン光源６が設けられ、その基板１
の上方にはＣＣＤカメラなどからなるラインセンサカメ
ラ群７が主走査方向に配列される。
方向に配置されたライン光源６が設けられ、その基板１
の上方にはＣＣＤカメラなどからなるラインセンサカメ
ラ群７が主走査方向に配列される。
【００１９】このラインセンサカメラ群７は、主走査方
向に複数配列されたラインセンサカメラからなり、その
カメラの各ラインセンサ８が各１ドット当り、主走査
で、例えば１ピクセルを７分割で、副走査方向で２０分
割に、すなわち１ピクセルを１４０（＝７×２０）ドッ
トの分割領域で検査するようになっている。このライン
センサカメラ群７の画像情報は２５６階調の８ビット信
号で、各ラインセンサ８に対応した数の画像処理装置群
９に入力される。
向に複数配列されたラインセンサカメラからなり、その
カメラの各ラインセンサ８が各１ドット当り、主走査
で、例えば１ピクセルを７分割で、副走査方向で２０分
割に、すなわち１ピクセルを１４０（＝７×２０）ドッ
トの分割領域で検査するようになっている。このライン
センサカメラ群７の画像情報は２５６階調の８ビット信
号で、各ラインセンサ８に対応した数の画像処理装置群
９に入力される。
【００２０】ラインセンサカメラ群７から画像処理装置
群９への画像情報の入力は、ステージ４の移動を制御す
るステージ同期コントロール手段１０からのトリガー信
号１１により行われる。ステージ同期コントロール手段
１０は、ステージ４を、カラーフィルタ基板１の副走査
方向に並んだピクセルを連続して送り、ラインセンサカ
メラの分解能毎にトリガー信号１１を画像処理装置群９
に出力し、そのトリガー信号１１で画像処理装置群９が
ラインセンサカメラ群７からの画像情報を取り込むよう
になっている。
群９への画像情報の入力は、ステージ４の移動を制御す
るステージ同期コントロール手段１０からのトリガー信
号１１により行われる。ステージ同期コントロール手段
１０は、ステージ４を、カラーフィルタ基板１の副走査
方向に並んだピクセルを連続して送り、ラインセンサカ
メラの分解能毎にトリガー信号１１を画像処理装置群９
に出力し、そのトリガー信号１１で画像処理装置群９が
ラインセンサカメラ群７からの画像情報を取り込むよう
になっている。
【００２１】画像処理装置群９は、取り込んだ主走査方
向の１ライン分の画像情報より各ピクセルの画像を画素
毎に量子化して濃淡画像情報とすると共に主走査方向と
副走査方向を合せて各ピクセルを決定し、各ピクセル毎
に濃度平均を求める。また画像処理装置群９は、各ピク
セルに微少欠陥があるかどうかを調べるべく、ピクセル
の平均濃度参照して所定の閾値で各画素を二値化した
後、ピクセル画像中に濃淡差のある塊を検出すべく、４
近傍や８近傍などで連結成分を抽出して微少欠陥を抽出
するようになっている。
向の１ライン分の画像情報より各ピクセルの画像を画素
毎に量子化して濃淡画像情報とすると共に主走査方向と
副走査方向を合せて各ピクセルを決定し、各ピクセル毎
に濃度平均を求める。また画像処理装置群９は、各ピク
セルに微少欠陥があるかどうかを調べるべく、ピクセル
の平均濃度参照して所定の閾値で各画素を二値化した
後、ピクセル画像中に濃淡差のある塊を検出すべく、４
近傍や８近傍などで連結成分を抽出して微少欠陥を抽出
するようになっている。
【００２２】画像処理装置群９の処理情報はホストコン
ピュータ１２に入力される。ホストコンピュータ１２
は、機器制御装置１３を介してステージ同期コントロー
ル手段１０を制御するようになっている。
ピュータ１２に入力される。ホストコンピュータ１２
は、機器制御装置１３を介してステージ同期コントロー
ル手段１０を制御するようになっている。
【００２３】次に図１の作用を説明する。
【００２４】ステージ同期コントロール装置１０は、ホ
ストコンピュータ１２から機器制御装置１３を介して動
作され、検査すべきカラーフィルタ基板１をピクセル単
位で副走査方向５に連続してステージ４を移動する。こ
の移動中、ステージ同期コントロール装置１０は画像処
理装置群９にトリガー信号１１を出力する。
ストコンピュータ１２から機器制御装置１３を介して動
作され、検査すべきカラーフィルタ基板１をピクセル単
位で副走査方向５に連続してステージ４を移動する。こ
の移動中、ステージ同期コントロール装置１０は画像処
理装置群９にトリガー信号１１を出力する。
【００２５】ラインセンサカメラ群７は、ライン光源６
から主走査方向のピクセルを通して透過した光を受光し
ており、トリガー信号１１でそのピクセルの画像情報が
画像処理装置群９に入力される。
から主走査方向のピクセルを通して透過した光を受光し
ており、トリガー信号１１でそのピクセルの画像情報が
画像処理装置群９に入力される。
【００２６】画像処理装置群９に入力されるピクセル画
像情報は、丸で拡大して示したように、縦ストライプの
カラーフィルタ基板１であれば、副走査方向に、ＲＧＢ
のピクセルが整列しており、ＲＧＢの各ピクセルの並び
に規則性があるため、各ピクセル画像情報がＲＧＢのい
ずれであるかは、容易に判別できる。従って、ホストコ
ンピュータ１２は、検査対象のカラーフィルタ基板１の
タイプを予め記憶しておくことで、画像処理装置群９に
入力されるピクセル画像情報がＲＧＢのいずれであるか
が分かる。
像情報は、丸で拡大して示したように、縦ストライプの
カラーフィルタ基板１であれば、副走査方向に、ＲＧＢ
のピクセルが整列しており、ＲＧＢの各ピクセルの並び
に規則性があるため、各ピクセル画像情報がＲＧＢのい
ずれであるかは、容易に判別できる。従って、ホストコ
ンピュータ１２は、検査対象のカラーフィルタ基板１の
タイプを予め記憶しておくことで、画像処理装置群９に
入力されるピクセル画像情報がＲＧＢのいずれであるか
が分かる。
【００２７】画像処理装置群９は、取込まれた主走査方
向の画像情報より各ピクセル（ピクセル数１９２０＝６
４０ドット×３）ごとに画像処理して濃度平均値や微少
欠陥を検出する。このピクセル１ライン分の情報は、ホ
ストコンピュータ１２に送られ記憶される。
向の画像情報より各ピクセル（ピクセル数１９２０＝６
４０ドット×３）ごとに画像処理して濃度平均値や微少
欠陥を検出する。このピクセル１ライン分の情報は、ホ
ストコンピュータ１２に送られ記憶される。
【００２８】このようにしてカラーフィルタ基板１の副
走査方向のピクセルの全てを検査してホストコンピュー
タ１２に記憶されたならば、コンピュータ１２は、各デ
ィスプレイ（例では一枚のカラーフィルタ基板１にディ
スプレイ４個分が一体に製造されている）に対して各ピ
クセルのＲＧＢの色ごとに色ムラがあるかどうか、また
その色ムラが許容値以内かどうか、更にゴミなどによる
微少欠陥があるかどうかを判断し、ディスプレイ毎にそ
の合否を判定するとともにその合否の内容や欠陥の原因
を表示する。
走査方向のピクセルの全てを検査してホストコンピュー
タ１２に記憶されたならば、コンピュータ１２は、各デ
ィスプレイ（例では一枚のカラーフィルタ基板１にディ
スプレイ４個分が一体に製造されている）に対して各ピ
クセルのＲＧＢの色ごとに色ムラがあるかどうか、また
その色ムラが許容値以内かどうか、更にゴミなどによる
微少欠陥があるかどうかを判断し、ディスプレイ毎にそ
の合否を判定するとともにその合否の内容や欠陥の原因
を表示する。
【００２９】図２、図３は、図１に示した実施例の具体
的なシステム構成を示したものである。
的なシステム構成を示したものである。
【００３０】カラーフィルタ基板１を支持するステージ
４は、副走査方向に延びたボールネジ１５に螺合し、そ
のボールネジ１５がＸモータ１６に連結され、Ｘモータ
１６の回転でボールネジ１５が回転されてステージ４
が、副走査方向（Ｘ方向）に移動できるようになってい
る。カラーフィルタ基板１は、ステージ４の回転テーブ
ル４ａに保持され、θモータ１７の回転でテーブル４ａ
の回転位置を調整してカラーフィルタ基板１のピクセル
が副走査方向に一致するように微調整される。また、Ｙ
モータ１８でマイクロカメラ１９の位置が調整され、カ
メラ制御器２０及びモニタ２１を使って、カラーフィル
タ基板１の欠陥部分を確認することができる。
４は、副走査方向に延びたボールネジ１５に螺合し、そ
のボールネジ１５がＸモータ１６に連結され、Ｘモータ
１６の回転でボールネジ１５が回転されてステージ４
が、副走査方向（Ｘ方向）に移動できるようになってい
る。カラーフィルタ基板１は、ステージ４の回転テーブ
ル４ａに保持され、θモータ１７の回転でテーブル４ａ
の回転位置を調整してカラーフィルタ基板１のピクセル
が副走査方向に一致するように微調整される。また、Ｙ
モータ１８でマイクロカメラ１９の位置が調整され、カ
メラ制御器２０及びモニタ２１を使って、カラーフィル
タ基板１の欠陥部分を確認することができる。
【００３１】ラインセンサカメラ群７は、Ｚモータ２２
の回転で、その上下位置が微調整され、ライン光源５か
らカラーフィルタ基板１を通してラインセンサカメラ群
７に受光される各ピクセル画像のピントが調整できるよ
うになっている。
の回転で、その上下位置が微調整され、ライン光源５か
らカラーフィルタ基板１を通してラインセンサカメラ群
７に受光される各ピクセル画像のピントが調整できるよ
うになっている。
【００３２】各モータ１６，１７，１８，２２は、モー
タドライブユニット２３からの指令信号で動作される。
ステージ４のテーブル４ａの回転角θ、マイクロカメラ
１９のＹ方向位置及びラインセンサカメラ群７のＺ方向
位置の調整は、それぞれセンサ２５，２６，２７でθ，
Ｙ，Ｚの原点位置と上限下限位置信号が検出され、これ
ら信号がパルスモータ制御回路３０に入力され、モータ
ドライブユニット２３に原点位置と上限下限位置信号を
出力するようになっている。
タドライブユニット２３からの指令信号で動作される。
ステージ４のテーブル４ａの回転角θ、マイクロカメラ
１９のＹ方向位置及びラインセンサカメラ群７のＺ方向
位置の調整は、それぞれセンサ２５，２６，２７でθ，
Ｙ，Ｚの原点位置と上限下限位置信号が検出され、これ
ら信号がパルスモータ制御回路３０に入力され、モータ
ドライブユニット２３に原点位置と上限下限位置信号を
出力するようになっている。
【００３３】Ｘモータ１６の回転は、リニアエンコーダ
３１により検出され、その信号が同期＆サーボ回路３２
に入力される。またステージ４の副走査方向の原点位置
と上限下限位置とがそれぞれセンサ３３，３４で検出さ
れ、そのセンサ信号が同期＆サーボ回路３２に入力され
る。また同期＆サーボ回路３２には、ラインセンサカメ
ラ群７からラインセンサクロック信号とラインセンサ同
期信号が入力される。
３１により検出され、その信号が同期＆サーボ回路３２
に入力される。またステージ４の副走査方向の原点位置
と上限下限位置とがそれぞれセンサ３３，３４で検出さ
れ、そのセンサ信号が同期＆サーボ回路３２に入力され
る。また同期＆サーボ回路３２には、ラインセンサカメ
ラ群７からラインセンサクロック信号とラインセンサ同
期信号が入力される。
【００３４】ラインセンサカメラ群７からの画像デー
タ、同期信号、クロック信号は、それぞれ画像処理装置
群３５Ａ，３５Ｂに入力される。
タ、同期信号、クロック信号は、それぞれ画像処理装置
群３５Ａ，３５Ｂに入力される。
【００３５】同期＆サーボ回路３２は、ラインセンサク
ロック信号とラインセンサ同期信号を受けて、ステージ
４がカラーフィルタ基板１の副走査方向に移動するよう
にモータドライブユニット２３に副走査指令を出力する
と共にリニアエンコーダ３１からの信号でその位置が検
出され、副走査方向で１ライン分のピクセル情報を、画
像処理装置群３５Ａ，３５Ｂが取り込んだ後、画像処理
装置群３５Ａにトリガ信号を出力する。
ロック信号とラインセンサ同期信号を受けて、ステージ
４がカラーフィルタ基板１の副走査方向に移動するよう
にモータドライブユニット２３に副走査指令を出力する
と共にリニアエンコーダ３１からの信号でその位置が検
出され、副走査方向で１ライン分のピクセル情報を、画
像処理装置群３５Ａ，３５Ｂが取り込んだ後、画像処理
装置群３５Ａにトリガ信号を出力する。
【００３６】画像処理装置群３５Ａ，３５Ｂは取り込ん
だ１ライン分の各ピクセルを画像処理し、これをＶＭＥ
バス３６を介してホストコンピュータ１２側に出力する
ようになっている。
だ１ライン分の各ピクセルを画像処理し、これをＶＭＥ
バス３６を介してホストコンピュータ１２側に出力する
ようになっている。
【００３７】またライン光源６は、光源電源３８が入出
力デバイス３９を介してＶＭＥバス３６に接続され、ラ
イン光源６からの光量が調整されるようになっている。
力デバイス３９を介してＶＭＥバス３６に接続され、ラ
イン光源６からの光量が調整されるようになっている。
【００３８】尚図中、４０はメモリ、４１はＣＰＵ、４
２はディスプレイキーボードコントローラ、４３はカラ
ーモニタ、４４はキーボード及びマウス、４５はハード
ディスク、４６は外部ネットワークである。
２はディスプレイキーボードコントローラ、４３はカラ
ーモニタ、４４はキーボード及びマウス、４５はハード
ディスク、４６は外部ネットワークである。
【００３９】以上において、図２に示すようにラインセ
ンサカメラ群７の各ラインセンサ８からのピクセル画像
情報が、それぞれゲイン調整回路５０に入力されて、各
ラインセンサの受光量が一定となるよう利得が調整さ
れ、次に照明光補正回路５１にてライン光源５の光量が
調整された後、１ライン分のピクセル画像情報が各絵素
検出回路（画像処理装置群）９に入力されて、各ピクセ
ルの濃度平均値や微小欠陥情報が検出される。これら情
報は、データ圧縮回路５２をへてデータ合成回路５３に
送られ、そこでディスプレイ１画面情報に合成され、ピ
クセルと無関係の情報はノイズ除去回路５４で除去さ
れ、次に色別分離回路５５でＲＧＢ毎に分けられ、色ム
ラ特徴抽出回路５６で各色（ＲＧＢ）の色ムラと微小欠
陥が検出され、欠陥合否回路５７で判別される。
ンサカメラ群７の各ラインセンサ８からのピクセル画像
情報が、それぞれゲイン調整回路５０に入力されて、各
ラインセンサの受光量が一定となるよう利得が調整さ
れ、次に照明光補正回路５１にてライン光源５の光量が
調整された後、１ライン分のピクセル画像情報が各絵素
検出回路（画像処理装置群）９に入力されて、各ピクセ
ルの濃度平均値や微小欠陥情報が検出される。これら情
報は、データ圧縮回路５２をへてデータ合成回路５３に
送られ、そこでディスプレイ１画面情報に合成され、ピ
クセルと無関係の情報はノイズ除去回路５４で除去さ
れ、次に色別分離回路５５でＲＧＢ毎に分けられ、色ム
ラ特徴抽出回路５６で各色（ＲＧＢ）の色ムラと微小欠
陥が検出され、欠陥合否回路５７で判別される。
【００４０】尚、上述の実施例においては、ラインセン
サ８を主走査方向に複数整列させてラインセンサカメラ
群７とする例で示したが、これは既存のラインセンサ８
のドット数に制約があるためで、長尺ラインセンサを用
意すれば、カラーフィルター基板１を１つのラインセン
サで検出してもよい。またカラーフィルター基板１の検
査方向は、図示の例に限らず、９０度回転し、ディスプ
レイの垂直方向を主走査方向として検出するようにして
もよい。この場合、縦ストライプの液晶では、１主走査
方向のピクセル情報が、ＲＧＢのいずれかとなるため、
より検査の能率が向上する。
サ８を主走査方向に複数整列させてラインセンサカメラ
群７とする例で示したが、これは既存のラインセンサ８
のドット数に制約があるためで、長尺ラインセンサを用
意すれば、カラーフィルター基板１を１つのラインセン
サで検出してもよい。またカラーフィルター基板１の検
査方向は、図示の例に限らず、９０度回転し、ディスプ
レイの垂直方向を主走査方向として検出するようにして
もよい。この場合、縦ストライプの液晶では、１主走査
方向のピクセル情報が、ＲＧＢのいずれかとなるため、
より検査の能率が向上する。
【００４１】
【発明の効果】以上要するに本発明によれば、カラーフ
ィルタ基板のピクセルを検査するに際して、主走査方向
に複数のラインセンサカメラを用意し、このラインセン
サカメラ群で、主走査方向に整列した各ピクセルを、そ
のピクセル毎に複数の分割領域で画像情報として一括し
て取り込み、これを画像処理装置で、それぞれ各ピクセ
ル毎に欠陥を検出すると共に、各ピクセルのＲＧＢの色
ごとに色ムラが検出できると共に、画像処理装置を画像
処理装置群とすることで、大量のピクセルの画像データ
を効率よく処理でき、高分解能で各ピクセルの微少な欠
陥や色ムラを同時に検出することができる。
ィルタ基板のピクセルを検査するに際して、主走査方向
に複数のラインセンサカメラを用意し、このラインセン
サカメラ群で、主走査方向に整列した各ピクセルを、そ
のピクセル毎に複数の分割領域で画像情報として一括し
て取り込み、これを画像処理装置で、それぞれ各ピクセ
ル毎に欠陥を検出すると共に、各ピクセルのＲＧＢの色
ごとに色ムラが検出できると共に、画像処理装置を画像
処理装置群とすることで、大量のピクセルの画像データ
を効率よく処理でき、高分解能で各ピクセルの微少な欠
陥や色ムラを同時に検出することができる。
【図１】本発明の一実施例を示す図である。
【図２】本発明において検出回路のブロックを示す図で
ある。
ある。
【図３】図１において、具体的なシステム構成例を示す
図である。
図である。
１ カラーフィルタ基板 ２ ピクセル ４ ステージ ５ａ 主走査方向 ５ｂ 副走査方向 ６ ライン光源 ７ ラインセンサカメラ群 ９ 画像処理装置群 １０ ステージ同期コントロール手段
フロントページの続き (72)発明者 塩田 朋彦 東京都江東区豊洲三丁目１番15号 石川 島播磨重工業株式会社 東二テクニカル センター内 (72)発明者 大石 圭三 東京都江東区豊洲三丁目１番15号 石川 島播磨重工業株式会社 東二テクニカル センター内 (72)発明者 松尾 研吾 東京都江東区豊洲三丁目１番15号 石川 島播磨重工業株式会社 東二テクニカル センター内 (56)参考文献 特開 平５−288640（ＪＰ，Ａ) 特開 平７−103911（ＪＰ，Ａ) 特開 平７−98282（ＪＰ，Ａ) 特開 平６−58839（ＪＰ，Ａ) 特開 平７−146211（ＪＰ，Ａ) 実開 平４−55535（ＪＰ，Ｕ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G01M 11/00 G01N 21/84 - 21/958
Claims (1)
- 【請求項１】 カラーフィルタ基板のＲＧＢの各色ピク
セルを光学的に検査するためのカラーフィルタ検査装置
において、カラーフィルタ基板を挟み、その主走査方向
に配置されたライン光源と各色ピクセル毎に複数の分割
領域で色ピクセルを検査する複数のラインセンサカメラ
で構成されたラインセンサカメラ群とからなる光学検出
手段と、光学検出手段とカラーフィルタ基板とを副走査
方向に相対移動させると共に副走査方向のピクセル毎に
その分割領域の情報をラインセンサカメラ群に取り込む
ステージ同期コントロール手段と、ラインセンサカメラ
群から各ピクセル毎の各分割領域の情報を取り込み、ピ
クセル画像中の各分割領域の濃淡差を検出して微少欠陥
を抽出すると共に各ピクセルのＲＧＢの色ごとに色ムラ
を検出する画像処理装置群とを備えたことを特徴とする
カラーフィルタ検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26655794A JP3358331B2 (ja) | 1994-10-31 | 1994-10-31 | カラーフィルタ検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26655794A JP3358331B2 (ja) | 1994-10-31 | 1994-10-31 | カラーフィルタ検査装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08128920A JPH08128920A (ja) | 1996-05-21 |
| JP3358331B2 true JP3358331B2 (ja) | 2002-12-16 |
Family
ID=17432499
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP26655794A Expired - Fee Related JP3358331B2 (ja) | 1994-10-31 | 1994-10-31 | カラーフィルタ検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3358331B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4918800B2 (ja) * | 2006-03-27 | 2012-04-18 | 凸版印刷株式会社 | 外観検査装置 |
| TWI322888B (en) * | 2006-04-18 | 2010-04-01 | Au Optronics Corp | Inspection system and method for a color filter |
| JP2008039462A (ja) * | 2006-08-02 | 2008-02-21 | Fujitsu Ltd | 表示パネル検査装置及び方法 |
| JP4755580B2 (ja) * | 2006-12-27 | 2011-08-24 | アルプス電気株式会社 | 赤外線除去フィルタ認識装置 |
-
1994
- 1994-10-31 JP JP26655794A patent/JP3358331B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH08128920A (ja) | 1996-05-21 |
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