JP3371168B2 - 欠陥検査方法 - Google Patents
欠陥検査方法Info
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- JP3371168B2 JP3371168B2 JP19326094A JP19326094A JP3371168B2 JP 3371168 B2 JP3371168 B2 JP 3371168B2 JP 19326094 A JP19326094 A JP 19326094A JP 19326094 A JP19326094 A JP 19326094A JP 3371168 B2 JP3371168 B2 JP 3371168B2
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Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、例えば液晶表示装置の
検査工程に用いられる欠陥検査方法に関する。
検査工程に用いられる欠陥検査方法に関する。
【0002】
【従来の技術】従来、組立後の液晶表示装置の欠陥を検
査する方法として、例えば図6に示すようなものが知ら
れている。すなわち、図6に示すように、検査すべき液
晶パネル22を駆動ボード23に接続して透明なステー
ジ21の上に載せ、これら液晶パネル22およびステー
ジ21を挟むように2枚の偏光板24,25を配置す
る。そして、偏光板25の下方に配置したバックライト
26を点灯して液晶パネル22を照明し、その光像を例
えばCCDカメラ27によって取り込み、コンピュータ
28およびディスプレイ装置29を用いて画像処理を行
うことにより液晶パネル22上の欠陥を判別する。
査する方法として、例えば図6に示すようなものが知ら
れている。すなわち、図6に示すように、検査すべき液
晶パネル22を駆動ボード23に接続して透明なステー
ジ21の上に載せ、これら液晶パネル22およびステー
ジ21を挟むように2枚の偏光板24,25を配置す
る。そして、偏光板25の下方に配置したバックライト
26を点灯して液晶パネル22を照明し、その光像を例
えばCCDカメラ27によって取り込み、コンピュータ
28およびディスプレイ装置29を用いて画像処理を行
うことにより液晶パネル22上の欠陥を判別する。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】ところで、この種のC
CDカメラ27の内部においては、例えば図7に示すよ
うに、入射した光30がダイクロイックミラー31によ
って3つに分離され、それぞれの光は赤色、緑色および
青色用のカラーフィルタ33R,33Gおよび33Bを
介して3つの固体撮像素子32R,32Gおよび32B
に導かれる。そして、各固体撮像素子32R,32Gお
よび32Bにて得られた信号をコンピュータ28で2値
化して解析することにより、液晶パネル22の表示画面
上の欠陥を検出するようにしている。
CDカメラ27の内部においては、例えば図7に示すよ
うに、入射した光30がダイクロイックミラー31によ
って3つに分離され、それぞれの光は赤色、緑色および
青色用のカラーフィルタ33R,33Gおよび33Bを
介して3つの固体撮像素子32R,32Gおよび32B
に導かれる。そして、各固体撮像素子32R,32Gお
よび32Bにて得られた信号をコンピュータ28で2値
化して解析することにより、液晶パネル22の表示画面
上の欠陥を検出するようにしている。
【0004】しかしながら、このような従来の方法で
は、液晶パネル22のカラーフィルタにおける色抜け点
やブラックマスク領域におけるピンホール等による光抜
けを検出することができなかった。すなわち、これらの
色抜けや光抜けが生ずる点は、赤色、緑色および青色の
各成分を含む白色の輝点であり、そのような白色の輝点
をCCDカメラ27で撮像すると、各固体撮像素子32
R,32Gおよび32Bからはそれぞれ一定値以上の信
号が出力される。そして、これらの信号に基いて各色毎
に欠陥検出等を行うと、赤色、緑色または青色の輝点と
して認識されてしまうため、そのような色抜け点等の検
出を自動的に行うことはできなかった。
は、液晶パネル22のカラーフィルタにおける色抜け点
やブラックマスク領域におけるピンホール等による光抜
けを検出することができなかった。すなわち、これらの
色抜けや光抜けが生ずる点は、赤色、緑色および青色の
各成分を含む白色の輝点であり、そのような白色の輝点
をCCDカメラ27で撮像すると、各固体撮像素子32
R,32Gおよび32Bからはそれぞれ一定値以上の信
号が出力される。そして、これらの信号に基いて各色毎
に欠陥検出等を行うと、赤色、緑色または青色の輝点と
して認識されてしまうため、そのような色抜け点等の検
出を自動的に行うことはできなかった。
【0005】本発明はこのような従来の技術の課題を考
慮してなされたものであり、白色の輝点を精度良く自動
的に検出しうる欠陥検査方法を提供することを目的とす
る。
慮してなされたものであり、白色の輝点を精度良く自動
的に検出しうる欠陥検査方法を提供することを目的とす
る。
【0006】
【課題を解決するための手段】本発明に係る欠陥検査方
法は、例えば図1〜図5に示すように、被検査物(例え
ば液晶表示装置の表示画面等)2の光像を三原色毎にテ
レビカメラ7で取り込み(ステップ〜)、この取り
込まれた各原色の画像の輝度レベルに基づいて被検査物
2の欠陥を検出する欠陥検査方法において、取り込まれ
た各原色の画像15R,15G,15Bの同じ画素領域
16R,16G,16Bの輝度レベルがそれぞれ一定値
以上の場合かつ、取り込まれた各原色の画像15R,1
5G,15Bの同じ画素領域16R,16G,16Bの
輝度レベルが所定の比を有する場合にその画素領域16
R,16G,16Bに対応する被検査物2の部分が白色
であると判別するものである(ステップ〜)。
法は、例えば図1〜図5に示すように、被検査物(例え
ば液晶表示装置の表示画面等)2の光像を三原色毎にテ
レビカメラ7で取り込み(ステップ〜)、この取り
込まれた各原色の画像の輝度レベルに基づいて被検査物
2の欠陥を検出する欠陥検査方法において、取り込まれ
た各原色の画像15R,15G,15Bの同じ画素領域
16R,16G,16Bの輝度レベルがそれぞれ一定値
以上の場合かつ、取り込まれた各原色の画像15R,1
5G,15Bの同じ画素領域16R,16G,16Bの
輝度レベルが所定の比を有する場合にその画素領域16
R,16G,16Bに対応する被検査物2の部分が白色
であると判別するものである(ステップ〜)。
【0007】
【0008】
【作用】一般に白色に見える輝点は、例えば赤色、緑色
および青色の三原色の各成分を含んでいる。このため、
白色に見える領域の光像を例えば三原色のカラーフィル
タを用いて各原色毎にテレビカメラで取り込むと、取り
込んだ画像の同じ画素領域の輝度レベルとして、それぞ
れ0ではない一定の値が得られる。そこで、本発明のよ
うに、被検査物2の光像を三原色毎にテレビカメラ7で
取り込み、この取り込まれた各原色の画像15R,15
G,15Bの同じ画素領域16R,16G,16Bの輝
度レベルがそれぞれ一定値以上の場合にその画素領域1
6R,16G,16Bに対応する被検査物2の部分が白
色であると判別すれば、従来例のように、白色点に対し
て赤色、緑色または青色の輝点であると誤って認識して
しまうことはない。
および青色の三原色の各成分を含んでいる。このため、
白色に見える領域の光像を例えば三原色のカラーフィル
タを用いて各原色毎にテレビカメラで取り込むと、取り
込んだ画像の同じ画素領域の輝度レベルとして、それぞ
れ0ではない一定の値が得られる。そこで、本発明のよ
うに、被検査物2の光像を三原色毎にテレビカメラ7で
取り込み、この取り込まれた各原色の画像15R,15
G,15Bの同じ画素領域16R,16G,16Bの輝
度レベルがそれぞれ一定値以上の場合にその画素領域1
6R,16G,16Bに対応する被検査物2の部分が白
色であると判別すれば、従来例のように、白色点に対し
て赤色、緑色または青色の輝点であると誤って認識して
しまうことはない。
【0009】さらに、取り込まれた各原色の画像15
R,15G,15Bの同じ画素領域16R,16G,1
6Bの輝度レベルが所定の比を有する場合にその画像領
域16R,16G,16Bに対応する被検査物2の部分
が白色であると判別することにより、カラーフィルタの
透過率の相違に基づく輝度レベルのばらつきによる影響
が小さくなる。
R,15G,15Bの同じ画素領域16R,16G,1
6Bの輝度レベルが所定の比を有する場合にその画像領
域16R,16G,16Bに対応する被検査物2の部分
が白色であると判別することにより、カラーフィルタの
透過率の相違に基づく輝度レベルのばらつきによる影響
が小さくなる。
【0010】図2は、本発明を実施するためのシステム
の概略構成を示すものである。図2に示すように、この
システムは、例えば透明なガラスなどからなる平板状の
ステージ1を備え、このステージ1上に検査すべき液晶
表示装置としての液晶パネル2が載せられる。この液晶
パネル2は、駆動ボード3に接続され、駆動可能な状態
でステージ1の上に載せられる。
の概略構成を示すものである。図2に示すように、この
システムは、例えば透明なガラスなどからなる平板状の
ステージ1を備え、このステージ1上に検査すべき液晶
表示装置としての液晶パネル2が載せられる。この液晶
パネル2は、駆動ボード3に接続され、駆動可能な状態
でステージ1の上に載せられる。
【0011】液晶パネル2の上方とステージ1の下方に
は、液晶パネル2およびステージ1を挟むように一組の
偏光板4,5が配置される。これらの偏光板4,5の偏
光方向は直交するように配置される。そして、下側の偏
光板5の下方には、照明用のバックライト6が設けられ
る。一方、上側の偏光板4の上方には、液晶パネル2の
光像を取り込むためのテレビカメラとしてのCCD(電
化転送素子)カメラ7が配置される。このCCDカメラ
7は、CCDカメラ7からの信号に基いて画像処理を行
うためのコンピュータ8に接続される。さらに、このコ
ンピュータ8には、モニター用のディスプレイ装置9が
接続される。
は、液晶パネル2およびステージ1を挟むように一組の
偏光板4,5が配置される。これらの偏光板4,5の偏
光方向は直交するように配置される。そして、下側の偏
光板5の下方には、照明用のバックライト6が設けられ
る。一方、上側の偏光板4の上方には、液晶パネル2の
光像を取り込むためのテレビカメラとしてのCCD(電
化転送素子)カメラ7が配置される。このCCDカメラ
7は、CCDカメラ7からの信号に基いて画像処理を行
うためのコンピュータ8に接続される。さらに、このコ
ンピュータ8には、モニター用のディスプレイ装置9が
接続される。
【0012】図3は、CCDカメラ7の概略内部構成を
示すものである。図3に示すように、CCDカメラ7の
内部には、偏光板からの光10を3方向に分離するため
のダイクロイックミラー11が設けられ、このダイクロ
イックミラー11を取り囲むように3つの固体撮像素子
12R,12Gおよび12Bが配置される。そして、ダ
イクロイックミラー11と各固体撮像素子12R,12
Gおよび12Bとの間には、例えば赤色(R)、緑色
(G)および青色(B)用のカラーフィルタ13R,1
3Gおよび13Bが設けられる。一方、コンピュータ8
においては、各固体撮像素子12R,12Gおよび12
Bにて得られた各色の信号をそれぞれ別個に処理するよ
うに構成される。
示すものである。図3に示すように、CCDカメラ7の
内部には、偏光板からの光10を3方向に分離するため
のダイクロイックミラー11が設けられ、このダイクロ
イックミラー11を取り囲むように3つの固体撮像素子
12R,12Gおよび12Bが配置される。そして、ダ
イクロイックミラー11と各固体撮像素子12R,12
Gおよび12Bとの間には、例えば赤色(R)、緑色
(G)および青色(B)用のカラーフィルタ13R,1
3Gおよび13Bが設けられる。一方、コンピュータ8
においては、各固体撮像素子12R,12Gおよび12
Bにて得られた各色の信号をそれぞれ別個に処理するよ
うに構成される。
【0013】次に、本実施例の欠陥検査方法を説明す
る。図1は、本実施例の手順を示すフローチャートであ
り、まず、以下の方法によって、赤色、緑色および青色
の各色毎に液晶パネル2の表示画面の光像を取り込む
(図1ステップ)。すなわち、検査すべき液晶パネル
2をステージ1の上に載せ、駆動ボード3によって液晶
パネル2を駆動する。そして、バックライト6を点灯し
て液晶パネル2を照明し、その表示画面の光像をCCD
カメラ7で取り込む。
る。図1は、本実施例の手順を示すフローチャートであ
り、まず、以下の方法によって、赤色、緑色および青色
の各色毎に液晶パネル2の表示画面の光像を取り込む
(図1ステップ)。すなわち、検査すべき液晶パネル
2をステージ1の上に載せ、駆動ボード3によって液晶
パネル2を駆動する。そして、バックライト6を点灯し
て液晶パネル2を照明し、その表示画面の光像をCCD
カメラ7で取り込む。
【0014】この場合、図に示すように、CCDカメラ
7の内部においては、入射した光がダイクロイックミラ
ー11によって3方向に分けられ、各固体撮像素子12
R,12Gおよび12Bに導かれる。そして、各固体撮
像素子12R,12Gおよび12Bにて得られた各色の
信号は、コンピュータ8に入力される。
7の内部においては、入射した光がダイクロイックミラ
ー11によって3方向に分けられ、各固体撮像素子12
R,12Gおよび12Bに導かれる。そして、各固体撮
像素子12R,12Gおよび12Bにて得られた各色の
信号は、コンピュータ8に入力される。
【0015】さらに、コンピュータ8において、各固体
撮像素子12R,12Gおよび12Bから出力された赤
色、緑色および青色の映像信号を所定のしきい値を用い
て2値化する(図1ステップ)。そして、以下に説明
する処理により、白色の輝点の認識を行う(図1ステッ
プ〜)。
撮像素子12R,12Gおよび12Bから出力された赤
色、緑色および青色の映像信号を所定のしきい値を用い
て2値化する(図1ステップ)。そして、以下に説明
する処理により、白色の輝点の認識を行う(図1ステッ
プ〜)。
【0016】まず、図4に示すように、本来赤色である
べき液晶パネル2の画素のカラーフィルタ14Rが何ら
かの原因で色抜けし、白色に見える場合を考える。
べき液晶パネル2の画素のカラーフィルタ14Rが何ら
かの原因で色抜けし、白色に見える場合を考える。
【0017】赤色、緑色または青色の各色のカラーフィ
ルタ14R,14Gまたは14BをCCDカメラ7で撮
像すると、取り込んだ画像の同じ画素領域について、撮
像した色、例えば緑色のカラーフィルタ14Gを撮像し
た場合には緑色用の固体撮像素子12Gからの出力が、
他の赤色および青色用の固体撮像素子12Rおよび12
Bからの出力よりも大きくなる。しかし、白色の輝点を
撮像した場合、白色には赤色、緑色および青色の各成分
が含まれているため、各固体撮像素子12R,12Gお
よび12Bからはそれぞれある一定値以上の信号が出力
される。本実施例は、このような点に着目して白色の輝
点を検出するものである。
ルタ14R,14Gまたは14BをCCDカメラ7で撮
像すると、取り込んだ画像の同じ画素領域について、撮
像した色、例えば緑色のカラーフィルタ14Gを撮像し
た場合には緑色用の固体撮像素子12Gからの出力が、
他の赤色および青色用の固体撮像素子12Rおよび12
Bからの出力よりも大きくなる。しかし、白色の輝点を
撮像した場合、白色には赤色、緑色および青色の各成分
が含まれているため、各固体撮像素子12R,12Gお
よび12Bからはそれぞれある一定値以上の信号が出力
される。本実施例は、このような点に着目して白色の輝
点を検出するものである。
【0018】図5は、CCDカメラ7によって取り込ま
れ、コンピュータ8によって2値化された液晶パネル2
の表示画面の輝度レベルの一例を示すものである。ここ
で、図5Aは赤色用の固体撮像素子12R、図5Bは緑
色用の固体撮像素子12G、図5Cは青色用の固体撮像
素子12Bから出力される輝度レベルをそれぞれ3×3
のマトリクスを用いて示すもので、マトリクス状の各2
値画像15R,15Gおよび15Bの中央の画素領域1
5R,16Gおよび16Bに白色の輝点が存在している
ものとする。
れ、コンピュータ8によって2値化された液晶パネル2
の表示画面の輝度レベルの一例を示すものである。ここ
で、図5Aは赤色用の固体撮像素子12R、図5Bは緑
色用の固体撮像素子12G、図5Cは青色用の固体撮像
素子12Bから出力される輝度レベルをそれぞれ3×3
のマトリクスを用いて示すもので、マトリクス状の各2
値画像15R,15Gおよび15Bの中央の画素領域1
5R,16Gおよび16Bに白色の輝点が存在している
ものとする。
【0019】上述したように、白色の輝点には、それぞ
れ赤色、緑色および青色の成分が含まれているため、図
5A〜Cに示すように、各2値画像15R,15Gおよ
び15Bの中央の画素領域15R,16Gおよび16B
の輝度レベルはそれぞれ10となっている。一方、白色
の輝点が存在しない他の画素領域については、赤色、緑
色または青色のうちいずれか一色の2値画像15R,1
5Gまたは15Bのみ輝度レベルが10となり、それ以
外のものは輝度レベルが0となっている。
れ赤色、緑色および青色の成分が含まれているため、図
5A〜Cに示すように、各2値画像15R,15Gおよ
び15Bの中央の画素領域15R,16Gおよび16B
の輝度レベルはそれぞれ10となっている。一方、白色
の輝点が存在しない他の画素領域については、赤色、緑
色または青色のうちいずれか一色の2値画像15R,1
5Gまたは15Bのみ輝度レベルが10となり、それ以
外のものは輝度レベルが0となっている。
【0020】本実施例においては、各2値画像15R,
15Gまたは15B間の同じ画素領域の輝度レベルを比
較し(図1ステップ)、全てが一定値(例えば10)
以上であればその画素領域について白色の輝点であると
認定する(図1ステップ、)。
15Gまたは15B間の同じ画素領域の輝度レベルを比
較し(図1ステップ)、全てが一定値(例えば10)
以上であればその画素領域について白色の輝点であると
認定する(図1ステップ、)。
【0021】他方、各2値画像15R,15Gまたは1
5B間の同じ画素領域についていずれかの輝度レベルが
一定値以上でない場合には、例えば一定値に達した2値
画像の色の点であると認定する(図1ステップ)。
5B間の同じ画素領域についていずれかの輝度レベルが
一定値以上でない場合には、例えば一定値に達した2値
画像の色の点であると認定する(図1ステップ)。
【0022】そして、これらの結果をディスプレイ装置
9において表示する(図1ステップ)。
9において表示する(図1ステップ)。
【0023】以上述べた本実施例の欠陥検査方法によれ
ば、液晶パネル2の表示画像の光像を三原色毎にCCD
カメラ7で取り込み、2値化した各原色の画像の同じ画
素領域の輝度レベルがそれぞれ一定値以上の場合にその
画素領域に対応する液晶パネル2の表示画面の点が白色
であると判別するようにしたことから、液晶パネル2に
おける白色の輝点を正しく認識することができ、その結
果、例えば、表示画面上のカラーフィルタの色抜け点や
ブラックマスクのピンホール等による光抜けを容易に自
動的に検出することができる。
ば、液晶パネル2の表示画像の光像を三原色毎にCCD
カメラ7で取り込み、2値化した各原色の画像の同じ画
素領域の輝度レベルがそれぞれ一定値以上の場合にその
画素領域に対応する液晶パネル2の表示画面の点が白色
であると判別するようにしたことから、液晶パネル2に
おける白色の輝点を正しく認識することができ、その結
果、例えば、表示画面上のカラーフィルタの色抜け点や
ブラックマスクのピンホール等による光抜けを容易に自
動的に検出することができる。
【0024】また、本実施例の方法によれば、液晶内の
分子の不均一等に起因するドメインを容易に検出するこ
とができるという効果もある。
分子の不均一等に起因するドメインを容易に検出するこ
とができるという効果もある。
【0025】なお、上述の実施例においては、各2値画
像の同じ画素領域の輝度レベルがそれぞれ一定値以上の
場合にその画素領域に対応する液晶パネルの表示画面の
点が白色であると判別するようにしたが、本発明はこれ
に限られることなく、例えば、各2値画像の同じ画素領
域の輝度レベルの値が所定の比を有している場合にその
画素領域に対応する液晶パネル2の表示画面の点が白色
であると判別するようにしてもよい。
像の同じ画素領域の輝度レベルがそれぞれ一定値以上の
場合にその画素領域に対応する液晶パネルの表示画面の
点が白色であると判別するようにしたが、本発明はこれ
に限られることなく、例えば、各2値画像の同じ画素領
域の輝度レベルの値が所定の比を有している場合にその
画素領域に対応する液晶パネル2の表示画面の点が白色
であると判別するようにしてもよい。
【0026】この方法によれば、カラーフィルタの透過
率の相違に基づく輝度レベルのばらつきによる影響を小
さくすることができるので、より精度の高い白色の輝点
の検出を行うことができる。
率の相違に基づく輝度レベルのばらつきによる影響を小
さくすることができるので、より精度の高い白色の輝点
の検出を行うことができる。
【0027】また、上述の実施例においては、カラーフ
ィルタが加法混色の三原色である場合を例にとって説明
したが、本発明はこれに限られず、カラーフィルタが減
法混色の三原色のものであっても適用することができ
る。
ィルタが加法混色の三原色である場合を例にとって説明
したが、本発明はこれに限られず、カラーフィルタが減
法混色の三原色のものであっても適用することができ
る。
【0028】さらに、本発明は、上述した液晶パネル等
の液晶表示装置に限らず、他の表示装置等にも適用しう
ることはもちろんである。もっとも、液晶表示装置の欠
陥工程において本発明を用いれば、色抜け等のない高品
質の液晶表示装置を製造することができる。
の液晶表示装置に限らず、他の表示装置等にも適用しう
ることはもちろんである。もっとも、液晶表示装置の欠
陥工程において本発明を用いれば、色抜け等のない高品
質の液晶表示装置を製造することができる。
【0029】
【発明の効果】以上述べたように本発明においては、被
検査物の光像を三原色毎にテレビカメラで取り込み、こ
の取り込まれた各原色の画像の輝度レベルに基づいて被
検査物の欠陥を検出する際、取り込まれた各原色の画像
の同じ画素領域の輝度レベルがそれぞれ一定値以上の場
合にその画素領域に対応する被検査物の部分が白色であ
ると判別することから、被検査物における白色の輝点を
正しく認識することができ、その結果、例えば、液晶表
示装置の表示画面上のカラーフィルタの色抜け点やブラ
ックマスクのピンホール等による光抜けを容易に自動的
に検出することができる。
検査物の光像を三原色毎にテレビカメラで取り込み、こ
の取り込まれた各原色の画像の輝度レベルに基づいて被
検査物の欠陥を検出する際、取り込まれた各原色の画像
の同じ画素領域の輝度レベルがそれぞれ一定値以上の場
合にその画素領域に対応する被検査物の部分が白色であ
ると判別することから、被検査物における白色の輝点を
正しく認識することができ、その結果、例えば、液晶表
示装置の表示画面上のカラーフィルタの色抜け点やブラ
ックマスクのピンホール等による光抜けを容易に自動的
に検出することができる。
【0030】さらに、取り込まれた各原色の画像の同じ
画素領域の輝度レベルが所定の比を有する場合にその画
像領域に対応する被検査物の部分が白色であると判別す
ることにより、カラーフィルタの透過率の相違に基づく
輝度レベルのばらつきによる影響を小さくすることがで
きるので、より一層白色の輝点の検出の精度を向上させ
ることができる。
画素領域の輝度レベルが所定の比を有する場合にその画
像領域に対応する被検査物の部分が白色であると判別す
ることにより、カラーフィルタの透過率の相違に基づく
輝度レベルのばらつきによる影響を小さくすることがで
きるので、より一層白色の輝点の検出の精度を向上させ
ることができる。
【図1】本発明に係る欠陥検査方法の実施例を示すフロ
ーチャートである。
ーチャートである。
【図2】本発明を実施するためのシステムの一例を示す
概略構成図である。
概略構成図である。
【図3】図2のCCDカメラの概略内部構成図である。
【図4】検出すべき欠陥が生じている状態を示す説明図
である。
である。
【図5】本実施例の方法の要部を示す説明図である。
【図6】従来の欠陥検査方法を実施するためのシステム
の一例を示す概略構成図である。
の一例を示す概略構成図である。
【図7】図6のCCDカメラの概略内部構成図である。
2 液晶パネル(液晶表示装置)
7 CCDカメラ(テレビカメラ)
8 コンピュータ
9 ディスプレイ装置
11 ダイクロイックミラー
12R,12G,12B 固体撮像素子
13R,13G,13B カラーフィルタ
14R,14G,14B カラーフィルタ
15R,15G,15B 2値画像
16R,16G,16B 画素領域
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名)
G01N 21/84 - 21/958
G01M 11/00 - 11/08
Claims (2)
- 【請求項1】 被検査物の光像を三原色毎にテレビカメ
ラで取り込み、この取り込まれた各原色の画像の輝度レ
ベルに基づいて被検査物の欠陥を検出する欠陥検査方法
において、 上記取り込まれた各原色の画像の同じ画素領域の輝度レ
ベルがそれぞれ一定値以上の場合かつ、取り込まれた各
原色の画像の同じ画素領域の輝度レベルが所定の比を有
する場合にその画素領域に対応する被検査物の部分が白
色であると判別することを特徴とする欠陥検査方法。 - 【請求項2】 被検査物が液晶表示装置の表示画面であ
ることを特徴とする請求項1記載の欠陥検査方法。
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP19326094A JP3371168B2 (ja) | 1994-08-17 | 1994-08-17 | 欠陥検査方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP19326094A JP3371168B2 (ja) | 1994-08-17 | 1994-08-17 | 欠陥検査方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
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JPH0862152A JPH0862152A (ja) | 1996-03-08 |
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JP19326094A Expired - Fee Related JP3371168B2 (ja) | 1994-08-17 | 1994-08-17 | 欠陥検査方法 |
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CN109767711B (zh) * | 2019-03-14 | 2022-05-24 | 京东方科技集团股份有限公司 | 显示面板的故障检测方法、装置、***及存储介质 |
CN114383815B (zh) * | 2021-12-13 | 2023-11-14 | 长春希达电子技术有限公司 | 一种显示屏像素失控点快速检测方法 |
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1994
- 1994-08-17 JP JP19326094A patent/JP3371168B2/ja not_active Expired - Fee Related
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