JP3334752B2 - Ink jet recording head - Google Patents
Ink jet recording headInfo
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- JP3334752B2 JP3334752B2 JP10016799A JP10016799A JP3334752B2 JP 3334752 B2 JP3334752 B2 JP 3334752B2 JP 10016799 A JP10016799 A JP 10016799A JP 10016799 A JP10016799 A JP 10016799A JP 3334752 B2 JP3334752 B2 JP 3334752B2
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Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、ノズル開口とリザ
ーバに連通する圧力発生室のインクを圧力発生手段によ
り加圧してノズル開口からインク滴を吐出させるインク
ジェット式記録ヘッドに関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an ink jet recording head for discharging ink droplets from a nozzle opening by pressurizing ink in a pressure generating chamber communicating with a nozzle opening and a reservoir by a pressure generating means.
【０００２】[0002]
【従来の技術】インクジェット式記録ヘッドは、共通の
インク室とノズル開口に連通する圧力発生室を、圧力発
生手段、例えば圧力発生室に設けられた発熱素子や、圧
力発生室の一部を変形させることができるように設けら
れた圧電振動子等により加圧してインク滴を吐出させる
ように構成されている。2. Description of the Related Art In an ink jet type recording head, a pressure generating chamber communicating with a common ink chamber and a nozzle opening is deformed by a pressure generating means, for example, a heating element provided in the pressure generating chamber or a part of the pressure generating chamber. The ink droplets are ejected by applying pressure by a piezoelectric vibrator or the like provided so as to be capable of causing the ink droplets to be ejected.
【０００３】図８は、圧力発生手段として圧電振動子を
使用したインクジェット式記録ヘッドの一例を示すもの
であって、リザーバ４０、インク供給口４１、及び圧力
発生室４２を区画、形成する流路形成基板４３と、一方
の開口を封止する弾性板４４と、各圧力発生室４２に連
通するノズル開口４５が穿設されたノズルプレート４６
とを積層して流路ユニット４７を形成し、ホルダ４８に
収容された圧電振動子４９の先端が圧力発生室４２の領
域に当接するようにホルダ４８の開口面５０に固定して
構成されている。なお、図中符号５１は、シールド部材
を兼ねる固定枠を示す。FIG. 8 shows an example of an ink jet recording head using a piezoelectric vibrator as a pressure generating means. The ink jet recording head includes a reservoir 40, an ink supply port 41, and a flow path for forming and forming a pressure generating chamber 42. A forming substrate 43, an elastic plate 44 sealing one opening, and a nozzle plate 46 having a nozzle opening 45 communicating with each pressure generating chamber 42;
Are laminated to form a flow path unit 47, and the piezoelectric vibrator 49 accommodated in the holder 48 is fixed to the opening surface 50 of the holder 48 so that the tip of the piezoelectric vibrator 49 contacts the region of the pressure generating chamber 42. I have. Reference numeral 51 in the drawing indicates a fixed frame that also serves as a shield member.
【０００４】この流路基板４３は、圧電振動子により圧
力発生室が膨張した場合にはリザーバ４０のインクを速
やかに圧力発生室４２に流入させ、また圧力発生室４２
が縮小された場合には圧力発生室４２のインクをノズル
開口か４５らのインク滴として効率的に吐出するため
に、図９に示したように圧力発生室４２とリザーバ４０
とを適当な流体インピーダンスを備えるように、圧力発
生室４２の幅よりも絞られたインク供給口４１により両
者が接続されている。When the pressure generating chamber is expanded by the piezoelectric vibrator, the flow path substrate 43 allows the ink in the reservoir 40 to quickly flow into the pressure generating chamber 42,
When the pressure is reduced, as shown in FIG. 9, the pressure generation chamber 42 and the reservoir 40 are efficiently ejected from the nozzle opening as ink droplets from the nozzle opening 45.
The two are connected by an ink supply port 41 narrower than the width of the pressure generating chamber 42 so as to provide an appropriate fluid impedance.
【０００５】このような流路形成基板は、通常、（１１
０）面を表面とするシリコン単結晶基板を異方性エッチ
ングすることにより構成されているが、シリコン単結晶
基板の大半の領域に貫通孔を形成せざるを得なくなるた
め、流路形成基板の剛性が極端に低下して、組み立て作
業が困難となる。また剛性を高めようとしてシリコン単
結晶基板の厚みを厚くすると、エッチング時間が長くな
り生産性が低下したり、またコストが上昇するという問
題がある。[0005] Such a flow path forming substrate is usually (11
0) A silicon single crystal substrate having a surface as a surface is formed by anisotropic etching. However, since a through hole must be formed in most of the region of the silicon single crystal substrate, a flow path forming substrate The rigidity is extremely reduced, making assembly work difficult. Also, if the thickness of the silicon single crystal substrate is increased in order to increase the rigidity, there is a problem that the etching time becomes longer, the productivity is reduced, and the cost is increased.
【０００６】このような問題を解消するため、図１０
（イ）、（ロ）に示したようにシリコン単結晶基板５２
の両面にそれぞれ凹部からなる第１、第２圧力発生室５
３、５４を形成し、各圧力発生室５３、５４にはリザー
バ５５と連通する若干絞られた凹部からなる第１、第２
インク供給口５６、５７を設け、さらにノズル開口５８
に対向する領域に貫通孔からなるノズル連通孔５９を形
成したものが提案されている（特開平9-123448号公
報）。In order to solve such a problem, FIG.
As shown in (a) and (b), the silicon single crystal substrate 52
First and second pressure generating chambers 5 each having a concave portion on both surfaces of
3, 54, and each of the pressure generating chambers 53, 54 has a first, a second, and a slightly narrowed recess communicating with the reservoir 55.
Ink supply ports 56 and 57 are provided;
A nozzle communication hole 59 composed of a through hole is formed in a region opposed to the above (JP-A-9-123448).
【０００７】これによれば、シリコン単結晶基板の貫通
孔が占める比率が少なくなるため、剛性を確保でき、こ
のためシリコン単結晶基板の厚みを薄くできて、エッチ
ング時間の短縮と材料費の節減を図ることが可能とな
る。According to this, since the ratio of the through hole of the silicon single crystal substrate is reduced, rigidity can be ensured. Therefore, the thickness of the silicon single crystal substrate can be reduced, and the etching time and material cost can be reduced. Can be achieved.
【０００８】[0008]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、圧力発
生室を単一物として形成する場合に比較して浅くなるた
め、リザーバから圧力発生室へのインクの供給に遅延が
生じやすく、駆動速度が低下するという問題がある。本
発明はこのような問題に鑑みてなされたものであって、
その目的とするところは駆動速度を向上することができ
る１つのノズル開口に対して２つの圧力発生室を備えた
記録ヘッドを提供することである。However, since the pressure generating chamber is shallower than when the pressure generating chamber is formed as a single object, the supply of ink from the reservoir to the pressure generating chamber tends to be delayed, and the driving speed is reduced. There is a problem of doing. The present invention has been made in view of such a problem,
It is an object of the present invention to provide a recording head having two pressure generating chambers for one nozzle opening capable of improving a driving speed.
【０００９】[0009]
【課題を解決するための手段】このような問題を解消す
るために本発明においては、弾性板と、流路形成基板
と、ノズル開口を備えたノズルプレートとを積層して構
成された流路ユニットと、圧力発生手段とを備えたイン
クジェット式記録ヘッドにおいて、前記流路形成基板
が、リザーバと、前記弾性板側と前記ノズルプレート側
とにそれぞれ形成された凹部からなる第１圧力発生室及
び第２圧力発生室と、第１圧力発生室と前記リザーバと
を接続する第１インク供給口と、第２圧力発生室と前記
リザーバとを接続し、かつ第１インク供給口よりも前記
ノズル開口側に位置する第２インク供給口と、第１、第
２圧力発生室を連通させる少なくとも１つ以上のノズル
連通孔とを備えるようにした。According to the present invention, there is provided a flow passage formed by laminating an elastic plate, a flow passage forming substrate, and a nozzle plate having nozzle openings. In the ink jet type recording head provided with a unit and a pressure generating means, the flow path forming substrate is formed of a reservoir, the elastic plate side and the nozzle plate side.
A first pressure generating chamber and a second pressure generating chamber , each of which is formed with a concave portion, a first ink supply port connecting the first pressure generating chamber and the reservoir, a second pressure generating chamber and the reservoir, And a second ink supply port located closer to the nozzle opening than the first ink supply port ;
At least one or more nozzle communication holes for communicating the two pressure generating chambers are provided.
【００１０】[0010]
【作用】インク滴吐出後には流路抵抗の小さな第２圧力
発生室のインク供給口を介しても第１の圧力発生室にイ
ンクが流れ込み、インク滴吐出後の圧力発生室へのイン
クの充填速度が高まる。After the ink droplet is ejected, the ink flows into the first pressure generating chamber through the ink supply port of the second pressure generating chamber having a small flow path resistance, and the ink is filled into the pressure generating chamber after the ink droplet is ejected. Speed increases.
【００１１】[0011]
【発明の実施の形態】そこで以下に本発明の詳細を図示
した実施例に基づいて説明する。図１は、本発明の一実
施例を示すものであって、圧力発生手段を構成する軸方
向に伸縮する圧電振動子１は、その先端を流路ユニット
２を構成する弾性板３に当接した状態でヘッドホルダ４
に固定されている。この流路ユニット２は、弾性板３
と、流路形成基板５と、ノズル開口６を備えたノズルプ
レート７とを積層して構成されている。BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS FIG. 1 is a block diagram of a first embodiment of the present invention. FIG. 1 shows an embodiment of the present invention. A piezoelectric vibrator 1 which expands and contracts in an axial direction, which constitutes a pressure generating means, has its tip abutted on an elastic plate 3 which constitutes a flow path unit 2. Head holder 4
It is fixed to. The flow path unit 2 includes an elastic plate 3
, A flow path forming substrate 5 and a nozzle plate 7 having a nozzle opening 6.
【００１２】流路形成基板５は、貫通孔として形成され
るリザーバ８と、圧電振動子１側とノズルプレート７側
に形成された凹部からなる第１、第２圧力発生室９、１
０と、第１圧力発生室９に連通する凹部として形成され
た第１インク供給口１１と、第２圧力発生室１０に連通
する第２インク供給口１２と、ノズル開口６に対向する
位置に貫通孔からなるノズル連通孔１３を形成して構成
されている。The flow path forming substrate 5 includes a reservoir 8 formed as a through hole, and first and second pressure generating chambers 9, 1 formed of concave portions formed on the piezoelectric vibrator 1 side and the nozzle plate 7 side.
0, a first ink supply port 11 formed as a recess communicating with the first pressure generation chamber 9, a second ink supply port 12 communicating with the second pressure generation chamber 10, and a position facing the nozzle opening 6. The nozzle communication hole 13 formed of a through hole is formed.
【００１３】第１、第２インク供給口１１、１２は、流
路抵抗を付与すべく一方の壁面から他方の壁面に突出す
る凸部１１ａ、１２ａを、かつ第２インク供給口１２が
第１インク供給口１１よりもノズル開口６に位置させて
形成されている。そして、第２インク供給口１２がノズ
ル開口側に偏っている分、リザーバ８のノズル開口側の
面が拡幅されている。The first and second ink supply ports 11 and 12 have projections 11a and 12a projecting from one wall surface to the other wall surface in order to provide flow path resistance. It is formed so as to be located at the nozzle opening 6 rather than the ink supply port 11. The surface of the reservoir 8 on the nozzle opening side is widened by the amount of the second ink supply port 12 being biased toward the nozzle opening side.
【００１４】この実施例において、圧電振動子１が収縮
して第１圧力発生室９が膨張すると、リザーバ８のイン
クが第１インク供給口１１から第１圧力発生室９に、ま
た第２インク供給口１２から第２圧力発生室１０に流れ
込む。このとき、第２インク供給口１２がノズル開口側
に位置するため、流路抵抗が低く第２圧力発生室１０へ
のインクの充填が速やかに行われ、ここからノズル連通
孔１３を経由して第１圧力発生室９にも流れ込む。In this embodiment, when the piezoelectric vibrator 1 contracts and the first pressure generating chamber 9 expands, ink in the reservoir 8 is supplied from the first ink supply port 11 to the first pressure generating chamber 9 and to the second ink generating port. It flows into the second pressure generating chamber 10 from the supply port 12. At this time, since the second ink supply port 12 is located on the nozzle opening side, the flow path resistance is low, and the second pressure generating chamber 10 is quickly filled with ink. It also flows into the first pressure generating chamber 9.
【００１５】圧力発生室９、１０へのインクの充填が終
了した段階で、圧電振動子１が伸長して弾性板３がノズ
ルプレート側に押圧されると、ノズル連通孔１３を介し
て第２圧力発生室１０にインクが流れ込み、ノズル開口
６からインク滴が吐出する。When the piezoelectric vibrator 1 is extended and the elastic plate 3 is pressed toward the nozzle plate at the stage when the ink has been filled into the pressure generating chambers 9 and 10, the second through the nozzle communication hole 13. Ink flows into the pressure generating chamber 10 and ink droplets are ejected from the nozzle openings 6.
【００１６】インク滴の吐出後、圧電振動子１が元の状
態に復帰して第１圧力発生室９が膨張する。第２インク
供給口１２がノズル開口側に位置するため、流路抵抗が
低く第２圧力発生室１０、及びノズル連通孔１３を経由
して第１圧力発生室９に速やかにインクが充填される。
また、第２インク供給口１２の流路抵抗が第１インク供
給口１１の流路抵抗より小さいため、さらにインクの充
填能力を高めることができる。After the ejection of the ink droplets, the piezoelectric vibrator 1 returns to the original state, and the first pressure generating chamber 9 expands. Since the second ink supply port 12 is located on the nozzle opening side, the flow path resistance is low and the first pressure generation chamber 9 is quickly filled with ink via the second pressure generation chamber 10 and the nozzle communication hole 13. .
Further, since the flow resistance of the second ink supply port 12 is smaller than the flow resistance of the first ink supply port 11, the ink filling ability can be further improved.
【００１７】なお、上述の実施例においては凸部１１
ａ、１２ａを形成してインク供給口１１、１２として適
した流路抵抗を付与するようにしているが、図３
（イ）、（ロ）に示したように各インク供給口形成領域
に少なくとも１つの島状部１１ｂ、１２ｂを形成しても
同様の作用を奏する。In the above embodiment, the protrusion 11
a and 12a are formed to provide flow path resistance suitable as the ink supply ports 11 and 12.
As shown in (a) and (b), the same operation is achieved even if at least one island-shaped portion 11b, 12b is formed in each ink supply port forming region.
【００１８】そして、第２インク供給口を形成する島状
部１２ｂは、ノズル連通孔１３に可及的に近い位置に形
成されている。このように第２インク供給口１２をノズ
ル連通孔１３側に形成することにより、インク滴吐出能
力を変化させることなく、圧力発生室全体の容積を減少
させて、インクの圧縮性に起因するコンプライアンスを
低減させることができる。言うまでもなく圧力発生室全
体のコンプライアンスが小さくなると、ヘルムホルツ共
振周波数が高くなり、その結果駆動周波数、インク滴の
飛行速度を向上できて、１つのドットによる面積の変
調、つまり階調性を高めることができる。The island portion 12b forming the second ink supply port is formed at a position as close as possible to the nozzle communication hole 13. By forming the second ink supply port 12 on the side of the nozzle communication hole 13 as described above, the volume of the entire pressure generating chamber can be reduced without changing the ink droplet ejection ability, and the compliance caused by the compressibility of the ink can be reduced. Can be reduced. Needless to say, when the compliance of the entire pressure generating chamber is reduced, the Helmholtz resonance frequency is increased. As a result, the driving frequency and the flying speed of the ink droplet can be improved, and the area modulation by one dot, that is, the gradation can be improved. it can.
【００１９】さらに好ましくは、図４（イ）、（ロ）に
示したように第１圧力発生室９を区画する隔壁１４の端
部１４ａをリザーバ８の壁面８ａよりも若干ノズル連通
孔１３側に後退させ、また第２圧力発生室１０を区画す
る隔壁１５の端部１５ａを、リザーバ８のインク供給口
側の壁面８ａの近傍にまで引き出すと、第１圧力発生室
９へのインクの流入抵抗と、容積を低減させることがで
きて、インクの圧縮性に起因するコンプライアンスの低
下により、駆動周波数、インク滴の飛行速度を向上する
ことができる。More preferably, as shown in FIGS. 4A and 4B, the end 14a of the partition wall 14 defining the first pressure generating chamber 9 is slightly closer to the nozzle communication hole 13 than the wall surface 8a of the reservoir 8. When the end 15a of the partition wall 15 defining the second pressure generation chamber 10 is pulled out to the vicinity of the wall 8a on the ink supply port side of the reservoir 8, ink flows into the first pressure generation chamber 9. The resistance and the volume can be reduced, and the drive frequency and the flying speed of the ink droplets can be improved due to the reduction in compliance due to the compressibility of the ink.
【００２０】図５は本発明の他の実施例を示すものであ
って、ノズルプレート側に位置する第２圧力発生室１０
の深さｄ１が、圧電振動子１の側に位置する第１圧力発
生室９の深さｄ２よりも大きくなるように構成されてい
る。FIG. 5 shows another embodiment of the present invention, in which the second pressure generating chamber 10 located on the nozzle plate side is used.
Is configured to be larger than the depth d2 of the first pressure generating chamber 9 located on the piezoelectric vibrator 1 side.
【００２１】この実施例によれば、第２圧力発生室１０
へのインク流入速度を向上することができるばかりでな
く、リザーバの容積を拡大してクロストークを防止する
ことができる。According to this embodiment, the second pressure generating chamber 10
Not only can the speed of ink flowing into the reservoir be improved, but the crosstalk can be prevented by increasing the volume of the reservoir.
【００２２】図６は、本発明の他の実施例を示すもので
あって、この実施例においては第２インク供給口１２と
リザーバ８とを結ぶ領域Ａに凹部１２ｃを形成してリザ
ーバ８から第２インク供給口１２までの流路の抵抗を可
及的に下げるように構成されている。この実施例によれ
ば、第２圧力発生室１０へのインク流入速度の向上と、
クロストークの防止を図ることができる。FIG. 6 shows another embodiment of the present invention. In this embodiment, a concave portion 12c is formed in a region A connecting the second ink supply port 12 and the reservoir 8, and the reservoir 8 is moved from the reservoir 8. The configuration is such that the resistance of the flow path to the second ink supply port 12 is reduced as much as possible. According to this embodiment, the speed of the ink flowing into the second pressure generating chamber 10 can be improved,
Crosstalk can be prevented.
【００２３】このような流路形成基板は、シリコン単結
晶基板により構成する場合には領域Ａを余分にハーフエ
ッチングすることにより構成することができる。When such a flow path forming substrate is formed of a silicon single crystal substrate, it can be formed by half-etching the region A excessively.
【００２４】また、図７に示したように流路形成基板５
を厚み方向に少なくとも４層に分割し、流路形成基板５
のリザーバ８や、ノズル連通孔１３、及び第１、第２圧
力発生室９、１０、領域Ａの凹部１２ｃに相当する領
域、及び第１、第２インク供給口１１、１２を形成する
貫通孔２０、２１、２２、２３、２４、２５、２６、２
７、２８、２９、３０、３１、３２を形成した板材３
４、３５、３６、３７を用意し、これら３４乃至３７を
接着剤を介して積層固定することにより構成することが
できる。Further, as shown in FIG.
Is divided into at least four layers in the thickness direction.
, The nozzle communication hole 13, the first and second pressure generating chambers 9, 10, the area corresponding to the concave portion 12 c of the area A, and the through holes forming the first and second ink supply ports 11, 12. 20, 21, 22, 23, 24, 25, 26, 2,
Plate material 3 on which 7, 28, 29, 30, 31, 32 are formed
4, 35, 36, and 37 can be prepared, and these 34 to 37 can be laminated and fixed via an adhesive.
【００２５】このようなフィルムには、エッチング可能
でかつインクに対して耐久性を有する材料、例えばステ
ンレス鋼板を使用することができる。特に感光性ドライ
フィルムは、露光作業とエッチングにより簡単に所望の
形状の貫通孔を高い精度で形成でき、かつ自己溶着性に
より密着するため最適な材料となる。For such a film, a material which can be etched and has durability against ink, for example, a stainless steel plate can be used. In particular, a photosensitive dry film is an optimal material because a through hole having a desired shape can be easily formed with high precision by exposure work and etching, and adheres by self-welding.
【００２６】なお、上述の実施例においては、圧力発生
手段として縦振動モードの圧電振動子を使用した記録ヘ
ッドに例を採って説明したが、１ノズル開口に対して２
つの圧力発生室を形成するとともに、一方の圧力発生室
をたわみモードの圧電振動子や、また加熱素子によりイ
ンクを加圧する場合には、これらに適用しても同様の作
用を奏することは明らかである。In the above embodiment, the recording head using the piezoelectric vibrator in the longitudinal vibration mode as the pressure generating means has been described as an example.
When one pressure generating chamber is formed, and one of the pressure generating chambers is pressurized with a flexural-mode piezoelectric vibrator or a heating element, it is clear that the same effect can be obtained even when applied to these. is there.
【００２７】[0027]
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、イ
ンク滴吐出後には流路抵抗の小さな第２圧力発生室のイ
ンク供給口を介しても第１の圧力発生室にインクを充填
することができ、駆動速度を向上することができる。As described above, according to the present invention, after the ink droplets are ejected , the first pressure generating chamber is filled with ink through the ink supply port of the second pressure generating chamber having a small flow path resistance. Driving speed can be improved.
【図１】本発明のインクジェット式記録ヘッドの一実施
例を示す断面図である。FIG. 1 is a sectional view showing one embodiment of an ink jet recording head of the present invention.
【図２】図（イ）、（ロ）は、それぞれ同上記録ヘッド
の流路形成基板のインク供給口近傍を拡大して示す斜視
図である。FIGS. 2A and 2B are enlarged perspective views showing the vicinity of an ink supply port of a flow path forming substrate of the recording head according to the first embodiment; FIGS.
【図３】図（イ）、（ロ）は、それぞれ本発明の記録ヘ
ッドの他の実施例を、流路形成基板のインク供給口近傍
の構造で示す斜視図である。FIGS. 3A and 3B are perspective views each showing another embodiment of the recording head of the present invention in a structure near an ink supply port of a flow path forming substrate.
【図４】図（イ）、（ロ）は、それぞれ本発明の記録ヘ
ッドの他の実施例を、流路形成基板のインク供給口近傍
の構造で示す斜視図である。FIGS. 4A and 4B are perspective views showing another embodiment of the recording head of the present invention in a structure near an ink supply port of a flow path forming substrate.
【図５】本発明の他の実施例を示す断面図である。FIG. 5 is a sectional view showing another embodiment of the present invention.
【図６】本発明の他の実施例を示す断面図である。FIG. 6 is a sectional view showing another embodiment of the present invention.
【図７】同上記録ヘッドの製造方法を示す図である。FIG. 7 is a diagram showing a method for manufacturing the recording head.
【図８】縦振動モードの圧電振動子をアクチュエータと
するインクジェット式記録ヘッドの一例を示す組立斜視
図である。FIG. 8 is an assembled perspective view showing an example of an ink jet recording head using a piezoelectric vibrator in a longitudinal vibration mode as an actuator.
【図９】記録ヘッドを構成するスペーサを拡大して示す
斜視図である。FIG. 9 is an enlarged perspective view showing a spacer constituting the recording head.
【図１０】図（イ）、（ロ）は、それぞれインクジェッ
ト式記録ヘッドの一例を示す断面図、これを構成するス
ペーサを拡大して示す斜視図である。FIGS. 10A and 10B are a cross-sectional view showing an example of an ink jet recording head, and a perspective view showing a spacer constituting the same in an enlarged manner.
１ 圧電振動子 ２ 流路ユニット ３ 弾性板 ４ ヘッドホルダ ５ 流路形成基板 ６ ノズル開口 ７ ノズルプレート ８ リザーバ ９ 第１圧力発生室 １０ 第２圧力発生室 １１ 第１インク供給口 １２ 第２インク供給口 １３ ノズル連通孔 REFERENCE SIGNS LIST 1 piezoelectric vibrator 2 flow path unit 3 elastic plate 4 head holder 5 flow path forming substrate 6 nozzle opening 7 nozzle plate 8 reservoir 9 first pressure generating chamber 10 second pressure generating chamber 11 first ink supply port 12 second ink supply Mouth 13 Nozzle communication hole
Claims (13)
を備えたノズルプレートとを積層して構成された流路ユ
ニットと、圧力発生手段とを備えたインクジェット式記
録ヘッドにおいて、 前記流路形成基板が、リザーバと、前記弾性板側と前記
ノズルプレート側とにそれぞれ形成された凹部からなる
第１圧力発生室及び第２圧力発生室と、第１圧力発生室
と前記リザーバとを接続する第１インク供給口と、第２
圧力発生室と前記リザーバとを接続し、かつ第１インク
供給口よりも前記ノズル開口側に位置する第２インク供
給口と、第１、第２圧力発生室を連通させる少なくとも
１つ以上のノズル連通孔とを備えたインクジェット式記
録ヘッド。1. An ink jet type recording head comprising: a flow path unit formed by laminating an elastic plate, a flow path forming substrate, and a nozzle plate having a nozzle opening; and a pressure generating means. A path forming substrate connects the reservoir, the first pressure generating chamber and the second pressure generating chamber formed of concave portions formed on the elastic plate side and the nozzle plate side, respectively, and connects the first pressure generating chamber to the reservoir. A first ink supply port,
At least one or more nozzles connecting a pressure generation chamber and the reservoir, and communicating the second ink supply port located closer to the nozzle opening than the first ink supply port with the first and second pressure generation chambers. An ink jet recording head having a communication hole.
生室よりも深く形成されている請求項１に記載のインク
ジェット式記録ヘッド。2. The ink jet recording head according to claim 1, wherein the second pressure generation chamber is formed deeper than the first pressure generation chamber.
を結ぶ領域が、前記第２圧力発生室よりも深く形成され
ている請求項１に記載のインクジェット式記録ヘッド。3. The ink jet recording head according to claim 1, wherein a region connecting the reservoir and the second ink supply port is formed deeper than the second pressure generating chamber.
板を異方性エッチングすることにより構成されている請
求項１に記載のインクジェット式記録ヘッド。4. The ink jet recording head according to claim 1, wherein the flow path forming substrate is formed by anisotropically etching a silicon single crystal substrate.
一部を突出させて形成されている請求項１に記載のイン
クジェット式記録ヘッド。5. The ink jet recording head according to claim 1, wherein the first and second ink supply ports are formed by projecting a part of a wall surface.
を設けることにより形成されている請求項１に記載のイ
ンクジェット式記録ヘッド。6. The ink jet recording head according to claim 1, wherein the first and second ink supply ports are formed by providing an island portion.
成された側が部分的に拡幅されている請求項１に記載の
インクジェット式記録ヘッド。7. The ink jet recording head according to claim 1, wherein the side of the reservoir where the second ink supply port is formed is partially widened.
前記リザーバ側の端部が、第２圧力発生室を区画する隔
壁の、前記リザーバ側の端部よりもノズル開口側に位置
するように前記各隔壁が形成されている請求項１に記載
のインクジェット式記録ヘッド。8. A partition wall for partitioning the first pressure generating chamber,
2. The inkjet according to claim 1, wherein each of the partition walls is formed such that an end on the reservoir side is located closer to a nozzle opening than an end on the reservoir side of the partition that partitions the second pressure generation chamber. 3. Type recording head.
１、第２圧力発生室、第１インク供給口、第２インク供
給口、及びノズル連通孔に対応する位置に貫通孔を形成
した複数枚の薄板を積層して構成されている請求項１に
記載のインクジェット式記録ヘッド。9. The flow path forming substrate has a through hole at a position corresponding to the reservoir, the first and second pressure generating chambers, the first ink supply port, the second ink supply port, and the nozzle communication hole. 2. The ink jet recording head according to claim 1, wherein the ink jet recording head is formed by laminating a plurality of thin plates.
項９に記載のインクジェット式記録ヘッド。10. The ink jet recording head according to claim 9, wherein said thin plate is a stainless steel plate.
る請求項９に記載のインクジェット式記録ヘッド。11. The ink jet recording head according to claim 9, wherein said thin plate is a photosensitive dry film.
板の（１１０）面を異方性エッチングすることにより構
成されている請求項１に記載のインクジェット式記録ヘ
ッド。12. The ink jet recording head according to claim 1, wherein said flow path forming substrate is formed by anisotropically etching a (110) plane of a silicon single crystal substrate.
１０）面をハーフエッチングすることにより構成されて
いる請求項１に記載のインクジェット式記録ヘッド。13. The method according to claim 1, wherein the recess is (1) of a silicon single crystal substrate.
10. The ink jet recording head according to claim 1, wherein the surface is half-etched.
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- 1999-04-07 JP JP10016799A patent/JP3334752B2/en not_active Expired - Fee Related
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