JP3327718B2

JP3327718B2 - 光学式エンコーダ

Info

Publication number: JP3327718B2
Application number: JP02577395A
Authority: JP
Inventors: 淳家城
Original assignee: Okuma Corp
Current assignee: Okuma Corp
Priority date: 1995-01-23
Filing date: 1995-01-23
Publication date: 2002-09-24
Anticipated expiration: 2017-09-24
Also published as: JPH08201117A; US5750984A

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、工作機械や半導体製造
装置の位置計測に利用される光学式エンコーダに関す
る。

【０００２】

【従来の技術】従来の光学式エンコーダでは、第１の回
折格子（以下、第１格子という）に対して長手方向に相
対移動する例えば図６に記載の第２の回折格子（以下、
第２格子という）２が第１格子の後方に配置され、例え
ば図７に記載の受光部３が第２格子２の後方に配置され
ている。第１格子及び第２格子２には、光を透過させる
部分（以下、透過部という）及び透過させない部分（以
下、非透過部という）が所定の長さ（以下、格子ピッチ
Ｐという）で繰り返されている格子部が設けられてい
る。第２格子２は、図示のようにａ，ｂ，ａ／，ｂ／の
４つの格子部からなる。これらは、図示のように互いに
Ｐ／４、Ｐ／２、３Ｐ／４の位相差をもって配置されて
いる。ここで、Ｐは、複数スリットの間隔であり、信号
の周期と同一である。このような構成において、平行光
束Ｌを第１格子に照射すると、第１格子及び第２格子２
の４つの格子部を透過した光がそれぞれ受光部３の受光
素子ａ，ｂ，ａ／，ｂ／に入射する。そして、受光部３
の各受光素子は入射光をその光強度に応じた電気信号に
それぞれ変換して出力する。

【０００３】この電気信号の変化は、第１格子と第２格
子２との相対変位によって第１格子及び第２格子２を透
過する光量が変化することにより生じるものである。ま
た、この電気信号は、本来第１格子と第２格子２との重
なり具合により発光側から見たみかけ上の透過部の変化
に比例した三角波信号となるはずであるが、実際は光の
回折等により、さまざまな歪成分を含んだ信号となって
いる。そして、この信号を疑似正弦波とみなして位置検
出が行われている。位置検出は、所定の位相差を有する
複数の（２相や３相、４相など）信号をもとに行なわれ
る。例えば、９０゜位相差を持って、ｓｉｎ信号、ｃｏ
ｓ信号の２相信号を生成し、逆正接演算により位置を求
める公知な方法がある。そのために、図６及び図７に示
すような第２格子２と受光部３により、複数の位相信号
を出力するようにしている。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】上述した従来の構成の
光学式エンコーダで、位置を検出する場合、図６に示す
ように各相の検出場所が離れており、各相の検出が異な
った場所の第１格子において行なわれているため、スケ
ールの汚れやキズや誤差の影響により各信号にアンバラ
ンスが生じ、それが誤差になってしまうという問題があ
った。そして、光源の平行性や強度のばらつきによって
も、各相の信号にばらつきが生じるという問題があっ
た。また、各相の光のクロストークを防ぐために、第２
の格子２や受光部３の受光素子各相の間にスペースを設
ける必要があり、装置の大型化をもたらしていた。さら
には、歪成分を含んだ信号を疑似正弦波として求めた位
置検出値は大きな分割誤差を伴っていた。この従来の光
学式エンコーダで得られる変位信号の歪率は第１格子と
第２格子２との間隔が変化すると大きく変動してしま
う。そのため、誤差を一定値以内に抑えるためには、第
１格子と第２格子２との間隔を適切な間隔で一定に保つ
必要があり、非常に厳しい取り付け精度が要求されると
いう問題があった。この後段の問題を解消するものとし
ては、本出願人により、歪成分を除去するために隣合っ
たパターンの間隔が等しくなく、所定の位相差を有して
配置することで、ｎ次の歪成分を除去する光学式エンコ
ーダが示されている（特開平３−４８１２２号公報参
照）。しかし、この光学式エンコーダでも、各相の検出
場所が離れているため、前段の問題が生じていた。

【０００５】本発明は上述した事情から成されたもので
あり、本発明の目的は、各相の検出をできる限り同一の
場所で行うことができ、かつ、より歪の少ない変位信号
を安定して出力できる光学式エンコーダを提供すること
にある。

【０００６】

【課題を解決するための手段】同一のピッチＰ（Ｐはス
リットの間隔）を有する第１のスケールと、この第１の
スケールと相対変位する複数の受光素子群とを備え、前
記受光素子からの所定位相の位相差を有する信号をもと
に、相対位置を検出する光学式エンコーダに関するもの
であり、本発明の上記目的は、スケール長手方向に前記
第１のスケールのパターンのピッチの整数倍を含まない
任意の幅を有する受光素子が前記長手方向に複数並設さ
れて成る受光素子群であって、一つの前記受光素子群と
他の前記受光素子群は、一つの前記受光素子群で得られ
る信号と他の前記受光素子群で得られる信号とが、所定
の位相差を有するように配置されており、一つの前記受
光素子群と他の前記受光素子群に属する受光素子が長手
方向に入り混じって配置されることにより汚れ等による
信号のアンバランスを抑制し、一つの相の信号に対応し
た受光素子群は、それに含まれる受光素子の間隔が一定
でなく、一つの受光素子を基準としたとき、他の受光素
子が、ｋ×Ｐ（ｋは正の整数、Ｐは信号の周期）に加え
て、Ｐ／（２・ｌ）、Ｐ／（２・ｍ）、Ｐ／（２・
ｎ）、Ｐ／（２・ｏ）・・・（ｌ，ｍ，ｎ，ｏ・・・は
正の整数）だけの位相差ならびに、これらの位相差の和
の組み合わせに応じた位相差を有するように形成されて
配置されており、他の相の信号に対応した受光素子群
は、それに含まれる受光素子が前記一つの相の信号に対
応した受光素子群と同様に形成され、当該他の相に必要
な位相差を有した位置に配置されていることによって達
成され、信号に含まれる歪み成分を除去するようになっ
ている。

【０００７】

【作用】本発明の光学式エンコーダは、各相用の受光素
子が光電変換素子上に格子状に混在して形成されている
ので、各相の検出を同じ場所で行なうことができる。ま
た、一つの相の中でも、受光素子の間隔が一定でなく、
基準位相となる受光素子に対して、Ｐの倍数毎に、Ｐ／
（２・ｌ）、Ｐ／（２・ｍ）、Ｐ／（２・ｎ）、Ｐ／
（２・ｏ）・・・だけの位相差ならびに、これらの位相
差の和の組み合わせに応じた位相差を有して受光素子が
形成されているので、低い次数の成分から高い成分の歪
までを同時に除去することができ、また、偶数次の高調
波成分が生じない。

【０００８】

【実施例】図１は本発明の光学式エンコーダの一例を示
す斜視構造図であり、第１の回折格子（以下、第１格子
という）１に対して図示矢印方向に相対移動する受光部
３が第１格子１の後方に配置されている。この光学式エ
ンコーダは、受光部３の受光素子３１が、図２に示すよ
うに格子状に設けられている。図２に示す受光部３の受
光素子３１は、平均すると数μｍ〜数百μｍの間隔で配
置されている。この配置パターンは、４相の信号ａ，
ｂ，ａ／，ｂ／（０゜、９０゜、１８０゜、２７０゜）
を出力する光学式エンコーダに用いられるものである。
本実施例では、第１格子１のピッチをＰとすると、受光
素子３１の幅はＰ／２となっており、その隣にＰ／４だ
けの間をおいて、受光素子３１が並んでいる。ある受光
素子３１をａ信号に割り当てて受光素子３1aとしたと
き、その隣の受光素子をｂ信号用の受光素子３1b、その
隣の受光素子をａ／信号用の受光素子３1a/、その隣の
受光素子をｂ／信号用の受光素子３1b/とし、その隣に
再び受光素子３1aが配置される。配置パターンは、これ
らを周期として繰り返す。この時、例えば受光素子３1a
からは数１の信号Ｉａが得られる。

【０００９】

【数１】ただし、ｋ：奇数、Ｍ：λＺ／Ｐ＾２、λ：光源の波
長、Ｚ：第１格子１と受光部３との距離、Ｐ：第１格子
１の格子ピッチ、ｘ：相対変位これに対して、受光素子
３1b、３１a/、３１b/からは数２〜数４の信号Ｉｂ、Ｉ
a/、Ｉb/が得られる。

【００１０】

【数２】Ｉｂ（ｘ）＝Ｉａ（ｘーπ／２）

【００１１】

【数３】Ｉa/（ｘ）＝Ｉａ（ｘーπ）

【００１２】

【数４】Ｉb/（ｘ）＝Ｉａ（ｘー３π／２）したがって、受光素子３１a、３1b、３１a/、３１b/か
ら、各々位相が９０゜異なった信号が得られる。

【００１３】ここで、ａ信号用の受光素子は３つおきに
とびとびに配置されており、ａ信号用の受光素子どうし
は互いに内部で接続されている。接続されたａ信号用の
複数の受光素子をまとめてａ信号用の受光素子群と呼
ぶ。ｂ，ａ／，ｂ／信号用の受光素子群もまた同様であ
る。ここで、ｂとｂ／の呼び方は逆でもよい。また、４
相の信号を出力するようになっているが、２相や３相を
出力するように配置してもよい。またＩａ、とＩa/、な
らびにＩｂとＩb/の差動をとるように、受光素子どうし
を接続してもよい。この場合、受光素子は、ほとんど同
じ場所に混入されて置かれているので、照射される光強
度は各相に均等であり、また受光素子の特性も揃ってい
る。従って、差動をとることにより、従来の構成では除
去しきれなかったＤＣ成分が相殺され、ＡＣ成分のみを
得ることができる。また、図に示す配置により、受光素
子の占める面積比は、全体の２／３になる。従来におけ
る構成では、受光素子の占める面積比は、全体の１／２
であったので、効率が１６．７％も向上する。さらに、
各相のクロストークを防止するための余分なスペースを
設けなくてもよいので、実際には、さらに効率が向上す
る。従って、従来と同じレベルの信号を得るのに、発光
素子の発光強度を低下することができ、消費電力、発
熱、寿命において優れた改善がなされる。

【００１４】しかし、この発明においては、信号成分の
中に前式に示された歪み成分が含まれており、それによ
って、求められた位置検出値に分割誤差が含まれてしま
う。図３はこれを改善した受光部の第２の実施例を示し
たものである。このパターンは、４相の信号ａ，ｂ，ａ
／，ｂ／（０゜、９０゜、１８０゜、２７０゜）を出力
する光学式エンコーダに用いられるものである。この配
置パターンでは、変位信号の１／Ｌ倍（Ｌ＝３）の周期
成分を除去するようになっている。

【００１５】第１格子のピッチをＰとすると、受光素子
３１の幅はＰ／２となっている。ここで、ある基準とな
る受光素子３１をａ信号に割り当てて受光素子３1aとし
たとき、次の受光素子３1aは、ほぼ３Ｐだけ隔てたとこ
ろに配置されるが、この位置が、本実施例では３Ｐ＋Ｐ
／６の位置となっている（Ｐ／６＝（Ｐ／（２・
Ｌ））。続いて、受光素子は、基準より６Ｐ、９Ｐ＋Ｐ
／６、１２Ｐ、１５Ｐ＋Ｐ／６・・・のところに配置さ
れる。また、これに対して信号ｂに対応した受光素子３
1bは、受光素子３1aに対してＰ／４の位相差をもって配
置されている。図３の実施例では、受光素子３1aに対し
て、Ｐ／４だけの間をおいている。受光素子３1bは、基
準より３Ｐ／４の位置に置かれ、続いて１５Ｐ／４＋Ｐ
／６、２７Ｐ／４、３９／４Ｐ＋Ｐ／６・・・の位置に
配置される。受光素子３1a/、３1b/は受光素子３1aに対
してＰ／２、３Ｐ／４の位相差をもって同様に配置され
る。

【００１６】結局、ある基準となる受光素子３1aに対し
て、３Ｐ／４の位置に受光素子３1b、３Ｐ／２の位置に
受光素子３1a/、９Ｐ／４の位置に受光素子３1b/が配置
され、さらに、３Ｐ＋Ｐ／６の位置に受光素子３1aが、
１５Ｐ／４＋Ｐ／６、９Ｐ／２＋Ｐ／６、２１Ｐ／４＋
Ｐ／６の位置に各々３1b、３1a/、３1b/が置かれて、再
び６Ｐに受光素子３1aが置かれる。以後、受光素子の配
置パターンは、これらの８個の受光素子が６Ｐを周期と
して繰り返される。ここで、受光素子３1aから得られる
信号Ｉａには、３次の歪み成分が含まれない。これは、
受光素子３1aの配置により、３次の歪み成分が相殺され
除去されるからである。また、偶数次の成分も含まれな
い。信号Ｉｂ、Ｉa/、Ｉb/も同様である。そして、信号
Ｉａ、Ｉｂ、Ｉa/、Ｉb/は、各々位相が９０゜異なる信
号である。ここで、第１の発明と同様に、ａ信号用の受
光素子は３つおきにとびとびに配置されており、ａ信号
用の受光素子どうしは互いに内部で接続されている。
ｂ，ａ／，ｂ／信号用の受光素子群もまた同様である。

【００１７】図４は、受光部の第３の実施例を示したも
のである。この配置パターンも、４相の信号を出力する
光学式エンコーダに用いられるものであり、変位信号の
１／Ｌ、１／ｍ倍（Ｌ＝３、ｍ＝５）の周期成分を除去
するようになっている。第１格子のピッチをＰとする
と、受光素子３１の幅はＰ／２となっている。ここで、
ある基準となる受光素子３１をａ信号に割り当てて受光
素子３1aとしたとき、次の受光素子３1aは、ほぼ３Ｐだ
け隔てたところに配置されるが、この位置が、本実施例
では３Ｐ＋Ｐ／１０の位置となっている。続いて、受光
素子は、基準より６Ｐ＋４Ｐ／１５、９Ｐ＋Ｐ／６、１
２Ｐ・・・のところに配置される。この配置の仕方が第
１の実施例と異なり、３次の歪み成分に加えて５次の歪
み成分をも除去するようにしている。この配置の左右の
順序などはこの限りではなく、これらの組み合わせ（Ｐ
／１０、Ｐ／６、４Ｐ／１５）を含んでいればどのよう
に行ってもよい。

【００１８】信号ｂに対応した受光素子３１ｂは、この
受光素子３１ａに対してＰ／４の位相差をもって配置さ
れている。図４の実施例では、受光素子３１ａに対し
て、Ｐ／４だけの間をおいている。受光素子３１ｂは、
基準より３Ｐ／４の位置に置かれ、続いて１５Ｐ／４＋
Ｐ／６、２７Ｐ／４＋Ｐ／１０、３９／４Ｐ＋４Ｐ／１
５、５１／４Ｐ…の位置に配置される。受光素子３１ａ
／、３１ｂ／は受光素子３１ａに対してＰ／２、３Ｐ／
４の位相差をもって同様に配置される。結局、この配置
パターンでは、１６個の受光素子が１２Ｐを周期として
繰り返される。ここで、受光素子３１ａから得られる信
号Ｉａには、３次ならびに５次の歪み成分が含まれな
い。これは、受光素子３１ａの配置により、３次と５次
の歪み成分が相殺され除去されるからである。また、偶
数次の成分も含まれない。信号Ｉｂ、Ｉａ／、Ｉｂ／も
同様である。

【００１９】図５は、受光部の第４の実施例を示したも
のである。この配置パターンも、４相の信号を出力する
光学式エンコーダに用いられるものであり、変位信号の
１／Ｌ、１／ｍ、１／ｎ、１／ｏ倍（ｌ＝３、ｍ＝５、
ｎ＝７、ｏ＝１１）倍の周期成分を除去するようになっ
ている。第１格子のピッチをＰとすると、受光素子３１
の幅はＰ／２となっている。ここで、ある基準となる受
光素子３１をａ信号に割り当てて受光素子３1aとしたと
き、次の受光素子３1aは、３Ｐ＋Ｐ／１４の位置に置か
れ、続いて、受光素子は、基準より、６Ｐ＋１８Ｐ／１
５４、９Ｐ＋Ｐ／６、１２Ｐ＋１４Ｐ／６６、１５Ｐ＋
１０Ｐ／４２、１８Ｐ＋１３１Ｐ／４６２、２１Ｐ＋７
１Ｐ／２１０、２４Ｐ＋８８６Ｐ／２３１０、２７Ｐ＋
１０３Ｐ／３３０、３０Ｐ＋８Ｐ／３０、３３Ｐ＋１６
７Ｐ／７７０、３６Ｐ＋１２Ｐ／７０、３９Ｐ＋１６Ｐ
／１１０、４２Ｐ＋Ｐ／１０、４５Ｐ＋Ｐ／２２、４８
Ｐ・・・のところに配置される。この受光素子の位相差
は、Ｐ／（２・ｌ）、Ｐ／（２・ｍ）、Ｐ／（２・
ｎ）、Ｐ／（２・ｏ）の４種の位相差ならびにその組み
合わせの和により決定されたものである（ただし、ｌ＝
３、ｍ＝５、ｎ＝７、ｏ＝１１）。この論理により決定
されていれば、左右の配置などの順序はこの限りではな
く、これらの組み合わせを含んでいればどのように行っ
てもよい。また、できるだけ受光素子の間隔が均等に近
くなるように設計してもよい。

【００２０】この配置の仕方が第１、第２の実施例と異
なり、３次や５次の歪み成分に加えて７次や１１次の歪
み成分をも除去するようにしている。信号ｂに対応した
受光素子３１ｂは、この受光素子３１ａに対してＰ／４
の位相差をもって配置されている。図５の実施例では、
受光素子３１ａに対して、Ｐ／４だけの間をおいてい
る。受光素子３１ｂは、基準より３Ｐ／４の位置に置か
れ、続いて１５Ｐ／４＋Ｐ／１４、２７Ｐ／４＋１８Ｐ
／１５４、３９Ｐ／４＋Ｐ／６、５１Ｐ／４＋１４Ｐ／
６６、６３Ｐ／４＋１０Ｐ／４２…１８３Ｐ／４＋Ｐ／
２２、１９５Ｐ／４…の位置に配置される。受光素子３
１ａ／、３１ｂ／は受光素子３１ａに対してＰ／２、３
Ｐ／４の位相差をもって同様に配置される。結局、この
パターンでは、受光素子３１ａ／と受光素子３１ｂ／を
含み６４個の受光素子が４８Ｐを周期として繰り返され
る。この配置の左右の順序などはこの限りではない。受
光素子３１ａと受光素子３１ｂの配置パターンは、この
ように位相差を有するだけの配同じ配置パターンでもよ
いし、配置の左右の順序などが異なっていてもよい。３
１ａ／と３１ｂ／も同様である。また、効率は悪いが、
受光素子３１の間隔をさらに広くとってもよいし、同じ
受光素子、例えば受光素子３１ａを２つ以上続けて並べ
ておいてもよい。

【００２１】ここで、受光素子３１ａから得られる信号
Ｉａは、Ｐを基本周期とし、３次、５次、７次、９次、
１１次の歪み成分が含まれない。これは、受光素子３１
ａの配置により、これらの歪み成分が相殺され除去され
るからである。また、偶数次の成分も含まれない。信号
Ｉｂ、Ｉａ／、Ｉｂ／も同様である。この受光素子６４
個を１周期とするが、配置は１周期分でも良いし、２周
期以上でもよい。なお、さらに１３次を除去したい場合
は、ｐ＝１３として、Ｐ／（２・１３）を組み合わせに
盛り込んで配置パターンを作成すればよい。１７次、１
９次、…を除去する場合も同様である。

【００２２】また第１の発明で示したように、ＩａとＩ
a/、ならびにＩｂとＩb/の差動をとるように、受光素子
を接続してもよい。この場合、受光素子は、ほとんど同
じ場所に混入されて置かれているので、照射される光強
度は各相に均等であり、また受光素子の特性も揃ってい
る。従って、差動をとることにより、従来の構成では除
去しきれなかったＤＣ成分が相殺され、ＡＣ成分のみを
得ることができる。また、同様に、受光素子の占める面
積比は、全体の２／３になる。従来における構成では、
受光素子の占める面積比は、全体の１／２であったの
で、効率が１６．７％も向上する。従って、従来と同じ
レベルの信号を得るのに、発光素子の発光強度を低下す
ることができ、消費電力、発熱、寿命において優れた改
善がなされる。

【００２３】また、この実施例によれば、１１次までの
奇数成分ならびに偶数次の成分が除去される。これは、
ｌ，ｍ，ｎ，ｏ，・・・（ｌ＝３、ｍ＝５、ｎ＝７、ｏ
＝１１）等の選び方による。ここで、本発明では、７次
と１１次の間にある９次消し用の配置パターンを設けて
いない。これは、９次が３次を因数とする成分であり、
３次消しの配置パターンで除去されるからであり、素数
の次数の成分を除去する配置パターンを製作すればよ
い。なお、受光部３は、耐環境性のために、樹脂モール
ドやキャンパッケージ化してもよい。また、セラミック
やメタルなどのパッケージに格納して、受光面をガラス
や樹脂などで保護してもよい。本発明は、以上に示した
光学式エンコーダにはもちろんのこと、磁気式や電磁
式、静電容量式のエンコーダにも使用できる。また、第
１スケールのピッチと第２格子の平均的なピッチは、ほ
ぼ同じでも、また１：２等の異なったピッチでも本発明
は適用できる。また、受光素子の幅はＰ／２でなくても
よい。この幅は、揃っていなくてもよい。本発明はそれ
らに限定されない。

【００２４】

【発明の効果】以上のように、本発明の光学式エンコー
ダによれば、各相用の受光素子が、光電変換素子上に格
子状に混在して形成されているので、各相の検出を同じ
場所で行なうことができ、スケールの汚れやキズや誤差
の影響、光源の平行性や強度のばらつきがあっても、精
度の高い検出が可能となる。また、光の利用効率が向上
するので、消費電力、発熱、寿命において優れた改善が
なされるとともに、小型化も可能となる。さらには、受
光素子の間隔が一定でなく、信号波形の低い次数から高
い次数までの歪成分を同時に取り除いて高精度の位置検
出を行うことができるので、例えば工作機械において精
度の高い加工を容易に行うことが可能となり、生産効率
の向上を図ることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の光学式エンコーダの実施例を示す斜視
構造図である。

【図２】図１に示す実施例の受光部の第１の例を示す図
である。

【図３】図１に示す実施例の受光部の第２の例を示す図
である。

【図４】図１に示す実施例の受光部の第３の例を示す図
である。

【図５】図１に示す実施例の受光部の第４の例を示す図
である。

【図６】従来の光学式エンコーダの第２格子の一例を示
す図である。

【図７】従来の光学式エンコーダの受光部の一例を示す
図である。

【符号の説明】

１第１スケール２第２スケール３受光部

Claims

(57)【特許請求の範囲】

【請求項１】同一のピッチＰ（Ｐはスリットの間隔）を
有する第１のスケールと、この第１のスケールと相対変
位する複数の受光素子群とを備え、複数の前記受光素子
群それぞれからの所定位相の位相差を有する信号をもと
に、相対位置を検出する光学式エンコーダにおいて、ス
ケール長手方向に前記第１のスケールのパターンのピッ
チの整数倍を含まない任意の幅を有する受光素子が前記
長手方向に複数並設されて成る受光素子群であって、一
つの前記受光素子群と他の前記受光素子群は、一つの前
記受光素子群で得られる信号と他の前記受光素子群で得
られる信号とが、所定の位相差を有するように配置され
ており、一つの前記受光素子群と他の前記受光素子群に
属する受光素子が長手方向に入り混じって配置されるこ
とにより汚れ等による信号のアンバランスを抑制し、一
つの相の信号に対応した受光素子群は、それに含まれる
受光素子の間隔が一定でなく、一つの受光素子を基準と
したとき、他の受光素子が、ｋ×Ｐ（ｋは正の整数）に
加えて、Ｐ／（２・ｌ）、Ｐ／（２・ｍ）、Ｐ／（２・
ｎ）、Ｐ／（２・ｏ）・・・（ｌ，ｍ，ｎ，ｏ・・・は
正の整数）だけの位相差ならびに、これらの位相差の和
の組み合わせに応じた位相差を有するように形成されて
配置されており、他の相の信号に対応した受光素子群
は、それに含まれる受光素子が前記一つの相の信号に対
応した受光素子群と同様に形成され、当該他の相に必要
な位相差を有した位置に配置されていることによって信
号に含まれる歪み成分を除去することを特徴とする光学
式エンコーダ。
【請求項２】前記受光素子群が４つであって、４相の信
号に対応し、一つの相を基準としたとき他の信号の位相
が９０°、１８０°、２７０°となるように配置されて
いる請求項１に記載の光学式エンコーダ。
【請求項３】前記受光素子群が２つであって、２相の信
号に対応し、一つの相を基準としたとき他の信号の位相
が９０°となるように配置されている請求項１に記載の
光学式エンコーダ。
【請求項４】前記受光素子の幅が、第１のスケールのピ
ッチのほぼ１／２である請求項１，２または３に記載の
光学式エンコーダ。