JP3325787B2 - サ−マルヘッド及びその製造方法 - Google Patents
サ−マルヘッド及びその製造方法Info
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- JP3325787B2 JP3325787B2 JP29457296A JP29457296A JP3325787B2 JP 3325787 B2 JP3325787 B2 JP 3325787B2 JP 29457296 A JP29457296 A JP 29457296A JP 29457296 A JP29457296 A JP 29457296A JP 3325787 B2 JP3325787 B2 JP 3325787B2
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Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、サ−マルプリンタ
に使用されるサ−マルヘッド及びその製造方法に係り、
特に、印字熱効率、印字品位、及び高速印字性を向上す
ることを可能にしたサ−マルヘッド及びその製造方法に
関する。
に使用されるサ−マルヘッド及びその製造方法に係り、
特に、印字熱効率、印字品位、及び高速印字性を向上す
ることを可能にしたサ−マルヘッド及びその製造方法に
関する。
【0002】
【従来の技術】従来のサ−マルヘッドの構造及びその製
造方法は、一般に、アルミナ基板上の端部に複数の発熱
抵抗体を直線状に配列して、各発熱抵抗体に選択的に通
電することによって発熱させ、感熱記録紙あるいは熱転
写リボンを用いて、ドット状の記録を行うものである。
造方法は、一般に、アルミナ基板上の端部に複数の発熱
抵抗体を直線状に配列して、各発熱抵抗体に選択的に通
電することによって発熱させ、感熱記録紙あるいは熱転
写リボンを用いて、ドット状の記録を行うものである。
【0003】図6は、従来のサ−マルヘッドの構造を示
す要部断面図であり、アルミナ等のセラミックからなる
基板1の端部にガラス部分グレ−ズ層からなる凸状の透
明な保温層2を略30μm厚みに形成して、その上にT
a−SiO2等からなる発熱抵抗体3をスパッタリング
等により積層し、フォトリソ技術で、ドットの数に応じ
て複数個直線状に配列するように発熱抵抗体3のパタ−
ンを形成している。
す要部断面図であり、アルミナ等のセラミックからなる
基板1の端部にガラス部分グレ−ズ層からなる凸状の透
明な保温層2を略30μm厚みに形成して、その上にT
a−SiO2等からなる発熱抵抗体3をスパッタリング
等により積層し、フォトリソ技術で、ドットの数に応じ
て複数個直線状に配列するように発熱抵抗体3のパタ−
ンを形成している。
【0004】前記発熱抵抗体3上には電力エネルギ−を
供給するために、Al、Cu、Au等からなる電極4を
スパッタリング等で積層して、フォトリソ技術により所
望のパタ−ンに形成している。該電極4の共通電極4a
が基板1の端部と発熱抵抗体3の発熱部3aに挟まれた
発熱抵抗体3の一方の側に形成され、また、発熱抵抗体
3の他方の側に電極4の個別電極4b及び外部接続端子
部(図示せず)が同時に形成されている。
供給するために、Al、Cu、Au等からなる電極4を
スパッタリング等で積層して、フォトリソ技術により所
望のパタ−ンに形成している。該電極4の共通電極4a
が基板1の端部と発熱抵抗体3の発熱部3aに挟まれた
発熱抵抗体3の一方の側に形成され、また、発熱抵抗体
3の他方の側に電極4の個別電極4b及び外部接続端子
部(図示せず)が同時に形成されている。
【0005】その外部接続端子部にマスク(図示せず)
を設けて、前記発熱抵抗体3や前記電極4の酸化や磨耗
を防止するため、SiC、サイアロン等からなる着色し
た保護層5をスパッタリング等で積層し、前記端子部の
マスクを剥離して、外部接続端子部上に易ハンダ性の金
属がメッキされた後、前記基板1をダイシングしてチッ
プ状のサ−マルヘッドが製造されている。このような、
従来のサ−マルヘッドにおいて、各発熱抵抗体3がジュ
−ル熱を発生して保護層5の表面に密着した感熱紙や熱
転写インクリボン等(図示せず)を加熱することによ
り、感熱紙の発色又は、記録紙へのインク転写が行われ
て文字や画像が印字される。
を設けて、前記発熱抵抗体3や前記電極4の酸化や磨耗
を防止するため、SiC、サイアロン等からなる着色し
た保護層5をスパッタリング等で積層し、前記端子部の
マスクを剥離して、外部接続端子部上に易ハンダ性の金
属がメッキされた後、前記基板1をダイシングしてチッ
プ状のサ−マルヘッドが製造されている。このような、
従来のサ−マルヘッドにおいて、各発熱抵抗体3がジュ
−ル熱を発生して保護層5の表面に密着した感熱紙や熱
転写インクリボン等(図示せず)を加熱することによ
り、感熱紙の発色又は、記録紙へのインク転写が行われ
て文字や画像が印字される。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前記従
来のサ−マルヘッドの保温層2は、透明なガラスで形成
されているため、発熱抵抗体3の発熱による伝導熱や輻
射熱の吸収性や反射性が小さく熱抵抗が比較的小さいも
のである。そのため各発熱部3a(発熱ドット)の通電
ON時の温度上昇が比較的小さいものとなり、所望の印
字濃度を得るために各発熱ドットへの印加エネルギ−を
増大させることになり、いわゆる「印字熱効率」が低い
という課題があった。
来のサ−マルヘッドの保温層2は、透明なガラスで形成
されているため、発熱抵抗体3の発熱による伝導熱や輻
射熱の吸収性や反射性が小さく熱抵抗が比較的小さいも
のである。そのため各発熱部3a(発熱ドット)の通電
ON時の温度上昇が比較的小さいものとなり、所望の印
字濃度を得るために各発熱ドットへの印加エネルギ−を
増大させることになり、いわゆる「印字熱効率」が低い
という課題があった。
【0007】さらに、印加エネルギ−の増大は、無効熱
量を増大させるため、サ−マルヘッドの蓄熱が大きくな
り、高速印字性を低下させるという課題があった。特
に、近年、サ−マルプリンタの高印字品位化及び高速印
字化が著しく進展しており、サ−マルヘッドは、400
ドット/インチ(64μm間隔)で160ドットの多数
の発熱体を備えて、100文字/秒の高速度で印字でき
るものが要求されてきているが、熱履歴補正LSIを用
いて熱制御を行っても、印字の潰れや濃度ムラを解消で
きず、保護層2の断熱性能及び放熱性能の限界に達して
いる。
量を増大させるため、サ−マルヘッドの蓄熱が大きくな
り、高速印字性を低下させるという課題があった。特
に、近年、サ−マルプリンタの高印字品位化及び高速印
字化が著しく進展しており、サ−マルヘッドは、400
ドット/インチ(64μm間隔)で160ドットの多数
の発熱体を備えて、100文字/秒の高速度で印字でき
るものが要求されてきているが、熱履歴補正LSIを用
いて熱制御を行っても、印字の潰れや濃度ムラを解消で
きず、保護層2の断熱性能及び放熱性能の限界に達して
いる。
【0008】一方、前記保護層5は、従来、SiC又は
サイアロンのセラミック材料をArガスのみの雰囲気で
スパッタ蒸着していたため、酸素や窒素の軽元素が欠乏
した膜となり、遊離した金属により着色を生じて透明度
が低下した状態で用いていた。このため、発熱抵抗体3
の発熱による伝導熱や輻射熱を吸収及び反射するため、
熱抵抗が比較的大きなものとなる。その結果、保護層5
の内部に熱が蓄積する、いわゆる「蓄熱」によって、各
発熱ドットの通電OFF時の温度低下が小さいものとな
り、熱応答性が低下するため、印字した時、ドットの面
積が大きくなりすぎる、いわゆる「印字の潰れ」を生じ
て印字品位が低下するという課題があった。
サイアロンのセラミック材料をArガスのみの雰囲気で
スパッタ蒸着していたため、酸素や窒素の軽元素が欠乏
した膜となり、遊離した金属により着色を生じて透明度
が低下した状態で用いていた。このため、発熱抵抗体3
の発熱による伝導熱や輻射熱を吸収及び反射するため、
熱抵抗が比較的大きなものとなる。その結果、保護層5
の内部に熱が蓄積する、いわゆる「蓄熱」によって、各
発熱ドットの通電OFF時の温度低下が小さいものとな
り、熱応答性が低下するため、印字した時、ドットの面
積が大きくなりすぎる、いわゆる「印字の潰れ」を生じ
て印字品位が低下するという課題があった。
【0009】
【課題を解決するための手段】上記の問題を解決するた
めに本発明のサ−マルヘッドは、基板の上面に保温層を
積層し、該保温層の上面に発熱抵抗体と電極とを積層
し、その上面を保護層により被覆してなるサ−マルヘッ
ドにおいて、前記保温層は導電性黒色セラミック膜、前
記保護層は絶縁性透明セラミック膜からなることを特徴
とする。
めに本発明のサ−マルヘッドは、基板の上面に保温層を
積層し、該保温層の上面に発熱抵抗体と電極とを積層
し、その上面を保護層により被覆してなるサ−マルヘッ
ドにおいて、前記保温層は導電性黒色セラミック膜、前
記保護層は絶縁性透明セラミック膜からなることを特徴
とする。
【0010】また、本発明のサ−マルヘッドの製造方法
は、基板の上面に保温層を積層し、該保温層の上面に発
熱抵抗体と電極とを積層した後、その上面を保護層によ
り被覆してなるサ−マルヘッドの製造方法において、シ
リコンと遷移金属の酸素欠乏リアクティブスパッタ蒸着
により導電性黒色セラミック膜からなる前記保温層を形
成する工程と、蒸着により絶縁性透明セラミック膜から
なる前記保護層を形成する工程とからなることを特徴と
する。
は、基板の上面に保温層を積層し、該保温層の上面に発
熱抵抗体と電極とを積層した後、その上面を保護層によ
り被覆してなるサ−マルヘッドの製造方法において、シ
リコンと遷移金属の酸素欠乏リアクティブスパッタ蒸着
により導電性黒色セラミック膜からなる前記保温層を形
成する工程と、蒸着により絶縁性透明セラミック膜から
なる前記保護層を形成する工程とからなることを特徴と
する。
【0011】また、本発明の製造方法は、セラミック材
料の酸素又は窒素リアクティブスパッタ蒸着により絶縁
性透明セラミック膜からなる前記保護層を形成すること
を特徴とする。
料の酸素又は窒素リアクティブスパッタ蒸着により絶縁
性透明セラミック膜からなる前記保護層を形成すること
を特徴とする。
【0012】前述したように本発明は、保温層を導電性
黒色セラミック膜で、更に保護層を絶縁性透明セラミッ
ク膜で形成されてなり、この保温層と保護膜との間に発
熱抵抗体が形成されることによって、発熱抵抗体から基
板へ向かって放射される輻射熱が前記保温層内の遊離し
た金属によって反射され、発熱抵抗体の温度上昇に寄与
するため、所望の印字濃度を得るための印加エネルギ−
を低減することができる。
黒色セラミック膜で、更に保護層を絶縁性透明セラミッ
ク膜で形成されてなり、この保温層と保護膜との間に発
熱抵抗体が形成されることによって、発熱抵抗体から基
板へ向かって放射される輻射熱が前記保温層内の遊離し
た金属によって反射され、発熱抵抗体の温度上昇に寄与
するため、所望の印字濃度を得るための印加エネルギ−
を低減することができる。
【0013】更に、発熱抵抗体から印字媒体(熱転写イ
ンクリボン等)へ向かって放射される輻射熱は、十分に
透明な前記保護層を透過して、該保護層の表面に密着し
た印字媒体に直接到達して熱に変換する。このため、発
熱抵抗体が発する輻射熱エネルギ−を有効に利用できる
ことにより、所望の印字濃度を得るための印加エネルギ
−が低減され、印字熱効率を向上させることができる。
また、前記印字熱効率の向上により、前記保温層の厚み
を薄く形成して保温層の熱容量を小さくすることが可能
となり、印字時の放熱性が改善され、熱応答性に優れた
高速印字に適したサ−マルヘッドを提供することができ
る。
ンクリボン等)へ向かって放射される輻射熱は、十分に
透明な前記保護層を透過して、該保護層の表面に密着し
た印字媒体に直接到達して熱に変換する。このため、発
熱抵抗体が発する輻射熱エネルギ−を有効に利用できる
ことにより、所望の印字濃度を得るための印加エネルギ
−が低減され、印字熱効率を向上させることができる。
また、前記印字熱効率の向上により、前記保温層の厚み
を薄く形成して保温層の熱容量を小さくすることが可能
となり、印字時の放熱性が改善され、熱応答性に優れた
高速印字に適したサ−マルヘッドを提供することができ
る。
【0014】また、前記保護膜が透明な絶縁性セラミッ
ク膜であるため、発熱抵抗体から発生するジュ−ル熱の
伝導熱及び輻射熱の吸収及び反射による蓄熱が、前記従
来の着色された保護層と比べて十分に小さいものであ
る。よって保護層内部の蓄熱が低減され更に熱応答性の
向上に寄与し、印字の潰れが低減され印字品位を向上す
ることができる。
ク膜であるため、発熱抵抗体から発生するジュ−ル熱の
伝導熱及び輻射熱の吸収及び反射による蓄熱が、前記従
来の着色された保護層と比べて十分に小さいものであ
る。よって保護層内部の蓄熱が低減され更に熱応答性の
向上に寄与し、印字の潰れが低減され印字品位を向上す
ることができる。
【0015】
【発明の実施の形態】以下、本発明のサ−マルヘッドの
構造及びその製造方法の実施の形態について、図面によ
り説明する。図1は本発明のサ−マルヘッドの構造を示
す要部断面図である。同図において、シリコンからなる
基板11の表面の一部に凸部が形成され、その上にシリ
コンと遷移金属(特に、Ta、W、Cr、Ti、Zr、
Mo、Hf等の高融点金属群が好適)の酸素欠乏リアク
ティブスパッタ蒸着により柱状晶に形成された導電性黒
色セラミック膜からなる保温層12が略20μmの厚み
に形成されている。該保温層12は、前記リアクティブ
スパッタ蒸着において酸素ガスの流量を加減して酸素を
欠乏状態にしてスパッタ蒸着することにより、未反応の
遊離した金属を多く含む導電性で黒色を呈する所望の導
電性黒色セラミック膜が容易に形成される。
構造及びその製造方法の実施の形態について、図面によ
り説明する。図1は本発明のサ−マルヘッドの構造を示
す要部断面図である。同図において、シリコンからなる
基板11の表面の一部に凸部が形成され、その上にシリ
コンと遷移金属(特に、Ta、W、Cr、Ti、Zr、
Mo、Hf等の高融点金属群が好適)の酸素欠乏リアク
ティブスパッタ蒸着により柱状晶に形成された導電性黒
色セラミック膜からなる保温層12が略20μmの厚み
に形成されている。該保温層12は、前記リアクティブ
スパッタ蒸着において酸素ガスの流量を加減して酸素を
欠乏状態にしてスパッタ蒸着することにより、未反応の
遊離した金属を多く含む導電性で黒色を呈する所望の導
電性黒色セラミック膜が容易に形成される。
【0016】前記保温層12の上に、酸化シリコンやア
ルミナ等をスパッタリングにより形成した絶縁層13を
介して、前記従来例と同様にTa−SiO2等からなる
発熱抵抗体14が積層形成され、その上にアルミ、銅、
金等からなる電極15が積層形成されて、該発熱抵抗体
14の発熱部(発熱ドット)14aを挟んで共通電極1
5aと個別電極15bとが形成される。
ルミナ等をスパッタリングにより形成した絶縁層13を
介して、前記従来例と同様にTa−SiO2等からなる
発熱抵抗体14が積層形成され、その上にアルミ、銅、
金等からなる電極15が積層形成されて、該発熱抵抗体
14の発熱部(発熱ドット)14aを挟んで共通電極1
5aと個別電極15bとが形成される。
【0017】最後に、前記発熱抵抗体14や前記電極1
5を酸化及び磨耗から保護するための保護層16が、サ
イアロンの酸素又は窒素リアクティブスパッタ蒸着によ
り略5μmの厚みで積層されて、本発明のサ−マルヘッ
ドが完成する。該リアクティブスパッタ蒸着の雰囲気と
しては、酸素流量又は窒素流量が、O2又はN2カ゛ス/
(Ar+O2又はN2カ゛ス)=略5%により行ない、該
保護膜16は絶縁性で十分に透明なセラミック膜となっ
ている。
5を酸化及び磨耗から保護するための保護層16が、サ
イアロンの酸素又は窒素リアクティブスパッタ蒸着によ
り略5μmの厚みで積層されて、本発明のサ−マルヘッ
ドが完成する。該リアクティブスパッタ蒸着の雰囲気と
しては、酸素流量又は窒素流量が、O2又はN2カ゛ス/
(Ar+O2又はN2カ゛ス)=略5%により行ない、該
保護膜16は絶縁性で十分に透明なセラミック膜となっ
ている。
【0018】このようにして形成された本発明のサ−マ
ルヘッドと、前記従来のものとの熱応答特性の比較を図
2乃至図5により説明する。図2は、サ−マルヘッドの
発熱抵抗体3又は14に1パルスの電流を印加した時の
発熱部3a又は14aの温度変化をグラフで示したもの
で、グラフaが本発明、グラフbが従来例である。同図
の熱応答グラフに示すように従来は温度のピ−ク値が4
00℃であったものが、本発明の場合は480℃とな
り、熱効率が約16%向上している。
ルヘッドと、前記従来のものとの熱応答特性の比較を図
2乃至図5により説明する。図2は、サ−マルヘッドの
発熱抵抗体3又は14に1パルスの電流を印加した時の
発熱部3a又は14aの温度変化をグラフで示したもの
で、グラフaが本発明、グラフbが従来例である。同図
の熱応答グラフに示すように従来は温度のピ−ク値が4
00℃であったものが、本発明の場合は480℃とな
り、熱効率が約16%向上している。
【0019】図3は、同様に発熱抵抗体3又は14に連
続パルスの電流を印加した時の温度変化を示したもの
で、グラフaが本発明、グラフbが従来例である。同図
に見られるように、連続パルスの場合、特に本発明のサ
−マルヘッドは通電OFF時の温度降下の熱応答性に優
れている。
続パルスの電流を印加した時の温度変化を示したもの
で、グラフaが本発明、グラフbが従来例である。同図
に見られるように、連続パルスの場合、特に本発明のサ
−マルヘッドは通電OFF時の温度降下の熱応答性に優
れている。
【0020】図4及び図5は、サ−マルヘッドにより、
実際に印字媒体に印字した文字「欄」の拡大図で、図4
は本発明のサ−マルヘッド、図5は従来のサ−マルヘッ
ドを用いたものである。これらの図から、従来のサ−マ
ルヘッドは熱応答性が悪く、文字の一部に「印字潰れ」
が生じているが、本発明のサ−マルヘッドの場合には高
品位の印字となっている。
実際に印字媒体に印字した文字「欄」の拡大図で、図4
は本発明のサ−マルヘッド、図5は従来のサ−マルヘッ
ドを用いたものである。これらの図から、従来のサ−マ
ルヘッドは熱応答性が悪く、文字の一部に「印字潰れ」
が生じているが、本発明のサ−マルヘッドの場合には高
品位の印字となっている。
【0021】これは、本発明のサ−マルヘッドにおい
て、前記発熱抵抗体14に電圧を印加することにより、
発熱ドット14aがジュ−ル熱を発生し伝導熱とともに
輻射熱が四方に放射される。発生した伝導熱は、遊離し
た金属を多く含む黒色の保温層12に効率よく吸収され
蓄熱して、基板11方向への熱流が制限され熱抵抗が大
きいものとなり、発熱ドット14aを保温する。一方、
透明である前記保護層16内部の伝導熱の吸収による蓄
熱が少なく、表面に密着した印字媒体の加熱に寄与する
伝導熱が多くなるためである。
て、前記発熱抵抗体14に電圧を印加することにより、
発熱ドット14aがジュ−ル熱を発生し伝導熱とともに
輻射熱が四方に放射される。発生した伝導熱は、遊離し
た金属を多く含む黒色の保温層12に効率よく吸収され
蓄熱して、基板11方向への熱流が制限され熱抵抗が大
きいものとなり、発熱ドット14aを保温する。一方、
透明である前記保護層16内部の伝導熱の吸収による蓄
熱が少なく、表面に密着した印字媒体の加熱に寄与する
伝導熱が多くなるためである。
【0022】また他方、発熱抵抗体から放射される輻射
熱については、基板11に向かう輻射熱は前記保温層1
2に入射すると、該保温層内の遊離した金属によって、
発熱抵抗体14へ向かって反射され発熱ドット14aを
保温する。一方、印字媒体に向かう輻射熱は、前記保護
層15が透明であるため透過して、効率良く印字媒体に
伝達されるためである。
熱については、基板11に向かう輻射熱は前記保温層1
2に入射すると、該保温層内の遊離した金属によって、
発熱抵抗体14へ向かって反射され発熱ドット14aを
保温する。一方、印字媒体に向かう輻射熱は、前記保護
層15が透明であるため透過して、効率良く印字媒体に
伝達されるためである。
【0023】なお、本発明は前述した実施の形態に限定
されるものではなく、必要に応じて種々の変更が可能で
ある。例えば前記保護層16は、サイアロンの他に、絶
縁性透明セラミック膜にできる酸化アルミニウム、窒化
アルミニウム、酸化シリコン、窒化シリコン、酸化タン
タル、酸化ジルコニウム、酸化クロム、酸化チタン、窒
化ボロン、窒化炭素等のセラミック材料、又はこれらの
混合物が好適であり、単層に限らず複層化しても良い。
また、各層の製法として、スパッタの他にCVD、イオ
ンプレーティング等の薄膜製造方法を用いても良いこと
は勿論である。
されるものではなく、必要に応じて種々の変更が可能で
ある。例えば前記保護層16は、サイアロンの他に、絶
縁性透明セラミック膜にできる酸化アルミニウム、窒化
アルミニウム、酸化シリコン、窒化シリコン、酸化タン
タル、酸化ジルコニウム、酸化クロム、酸化チタン、窒
化ボロン、窒化炭素等のセラミック材料、又はこれらの
混合物が好適であり、単層に限らず複層化しても良い。
また、各層の製法として、スパッタの他にCVD、イオ
ンプレーティング等の薄膜製造方法を用いても良いこと
は勿論である。
【0024】
【発明の効果】以上説明したように、本発明のサ−マル
ヘッドによれば、発熱抵抗体の下部に形成された保温層
が導電性黒色セラミック膜からなるため、発熱抵抗体の
発熱ドットに発生するジュ−ル熱の伝導熱に対して、遊
離した金属で黒色化しているので熱吸収力の大きいもの
となり、更に輻射熱に対しては遊離した金属により反射
力が大きくなる。また、発熱抵抗体の上部に形成された
保護層は絶縁性透明セラミック膜からなり、発熱ドット
に発生する伝導熱に対して十分に透明化しているため吸
収力が小さく、輻射熱に対しては反射がほとんどなくな
る。その結果、本発明のサ−マルヘッドは、その印字熱
効率、印字品位、高速印字性を著しく向上する効果を奏
する。
ヘッドによれば、発熱抵抗体の下部に形成された保温層
が導電性黒色セラミック膜からなるため、発熱抵抗体の
発熱ドットに発生するジュ−ル熱の伝導熱に対して、遊
離した金属で黒色化しているので熱吸収力の大きいもの
となり、更に輻射熱に対しては遊離した金属により反射
力が大きくなる。また、発熱抵抗体の上部に形成された
保護層は絶縁性透明セラミック膜からなり、発熱ドット
に発生する伝導熱に対して十分に透明化しているため吸
収力が小さく、輻射熱に対しては反射がほとんどなくな
る。その結果、本発明のサ−マルヘッドは、その印字熱
効率、印字品位、高速印字性を著しく向上する効果を奏
する。
【0025】また、本発明のサ−マルヘッドの製造方法
において、前記保温層である導電性黒色セラミック膜を
シリコンと遷移金属の酸素欠乏リアクティブスパッタ蒸
着により形成したものであるため、酸素ガスの流量の制
御により所望の導電性黒色セラミック膜を容易に形成す
ることができる。また、本発明の前記保護層である絶縁
性透明セラミック膜は、セラミック材料の酸素又は窒素
リアクティブスパッタ蒸着により形成したものであるた
め、酸素ガス又は窒素ガスの流量の制御により所望の膜
を容易に形成することができる。
において、前記保温層である導電性黒色セラミック膜を
シリコンと遷移金属の酸素欠乏リアクティブスパッタ蒸
着により形成したものであるため、酸素ガスの流量の制
御により所望の導電性黒色セラミック膜を容易に形成す
ることができる。また、本発明の前記保護層である絶縁
性透明セラミック膜は、セラミック材料の酸素又は窒素
リアクティブスパッタ蒸着により形成したものであるた
め、酸素ガス又は窒素ガスの流量の制御により所望の膜
を容易に形成することができる。
【0026】
【図1】本発明のサ−マルヘッドの構造を示す要部断面
図である。
図である。
【図2】本発明及び従来例のサ−マルヘッドの1パルス
の電流に対する熱応答特性を比較するグラフである。
の電流に対する熱応答特性を比較するグラフである。
【図3】本発明及び従来例のサ−マルヘッドの連続パル
スの電流に対する熱応答特性を比較するグラフである。
スの電流に対する熱応答特性を比較するグラフである。
【図4】本発明のサ−マルヘッドにより印字した文字
「欄」の拡大図である。
「欄」の拡大図である。
【図5】従来のサ−マルヘッドにより印字した文字
「欄」の拡大図である。
「欄」の拡大図である。
【図6】従来のサ−マルヘッドの構造を示す要部断面図
である。
である。
1、11 基板 2、12 保温層 3、14 発熱抵抗体 3a、14a 発熱部 4、15 電極 5、16 保護層
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) B41J 2/335
Claims (2)
- 【請求項1】 基板の上面に保温層を形成し、該保温層
の上面に発熱抵抗体と電極とを積層し、その上面を保護
層により被覆してなるサーマルヘッドにおいて、前記保
温層は遊離した金属を含む導電性黒色セラミック膜、前
記保護層はセラミック材料の酸素、又は窒素のリアクテ
ィブスパッタ蒸着にて形成された絶縁性透明セラミック
膜からなることを特徴とするサーマルヘッド。 - 【請求項2】 基板の上面に保温層を積層し、該保温層
の上面に発熱抵抗体と電極とを積層した後、その上面を
保護層により被覆してなるサーマルヘッドの製造方法に
おいて、シリコンと遷移金属の酸素欠乏リアクティブス
パッタ蒸着により遊離した金属を含む導電性黒色セラミ
ック膜からなる前記保温層を形成する工程と、セラミッ
ク材料の酸素、又は窒素リアクティブスパッタ蒸着によ
り絶縁性透明セラミック膜からなる前記保温層を形成す
る工程とからなることを特徴とするサーマルヘッドの製
造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP29457296A JP3325787B2 (ja) | 1996-10-16 | 1996-10-16 | サ−マルヘッド及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP29457296A JP3325787B2 (ja) | 1996-10-16 | 1996-10-16 | サ−マルヘッド及びその製造方法 |
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Publication Number | Publication Date |
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JPH10119334A JPH10119334A (ja) | 1998-05-12 |
JP3325787B2 true JP3325787B2 (ja) | 2002-09-17 |
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JP29457296A Expired - Fee Related JP3325787B2 (ja) | 1996-10-16 | 1996-10-16 | サ−マルヘッド及びその製造方法 |
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JP (1) | JP3325787B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007230082A (ja) * | 2006-03-01 | 2007-09-13 | Tdk Corp | サーマルヘッド及び印画装置 |
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US10543696B2 (en) * | 2017-06-08 | 2020-01-28 | Rohm Co., Ltd. | Thermal print head |
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1996
- 1996-10-16 JP JP29457296A patent/JP3325787B2/ja not_active Expired - Fee Related
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2007230082A (ja) * | 2006-03-01 | 2007-09-13 | Tdk Corp | サーマルヘッド及び印画装置 |
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