JP3323601B2 - 工作物を真空雰囲気で搬送するためのチャンバ、複合チャンバ、及び工作物を真空設備内部で搬送する方法 - Google Patents
工作物を真空雰囲気で搬送するためのチャンバ、複合チャンバ、及び工作物を真空設備内部で搬送する方法Info
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Description
搬送するためのチャンバ、複合チャンバおよび工作物を
搬送する方法に関する。
ディスクまたは磁気光学記憶媒体用ディスクなどの記憶
媒体用ディスクを、チャンバ内で軸線回りを旋回できる
搬送手段を用いてチャンバ開口部に整合して搬送し、こ
れらの工作物を対応する開口部に整合して、非反応性ま
たは反応性真空プロセスなどの表面処理プロセス、たと
えば腐食プロセスまたはグロー放電を援用する、もしく
は援用しない被覆プロセスを工作物に施すか、あるいは
工作物をそのような開口部から送り入れたり、送り出し
たりすることが知られている。これに関連して米国特許
公報第3856654号、独国特許公報第245454
4号、独国特許公開公報第3912295号、同第40
09603号、同第3716498号、およびヨーロッ
パ特許第389820号などが挙げられる。
では、工作物は搬送手段によって、または搬送手段から
離れて搬送手段の回転軸線に対して平行に、つまり軸方
向でチャンバ開口部に送られる。
送手段によって工作物を搬送し、搬送手段の所定の角度
位置でチャンバの開口部に送り、または開口部から受け
取る、上述のような搬送チャンバを設計する際に、チャ
ンバの軸方向に測定された奥行きと、可能な軸方向スト
ロークとの間には相関関係が生じる。つまり、旋回可能
な搬送手段と、さらに軸方向に配置されたユニットを包
含したチャンバを浅く形成すると、可能な軸方向ストロ
ークは小さくなる。同様に、大きいストロークを実現し
ようとすると、そのようなチャンバの全高も大きくな
る。チャンバ内でできるだけ多くの工作物を同時に搬送
できるように搬送手段を構成する場合、同時に搬送でき
る工作物の数はチャンバの半径方向の長さのみに依存
し、軸方向の長さには依存しないことが考慮される。
おいては、開口部、したがって追加に設けるチャンバ
を、旋回可能な搬送手段で工作物を搬送するための搬送
軌道沿いにしか設けることができないという制限があ
る。
らの短所を取り除いた、冒頭に記載した種類のチャンバ
を提供することである。
めに本発明のチャンバは、工作物を軸方向と半径方向の
いずれにも搬送できるように、少なくとも一部が軸線に
対して平行に、他の一部が軸線を基準として半径方向
に、駆動されて直線移動できるように支持された搬送装
置が設けられている。
え、軸線に対して平行に、かつこの軸線を基準として半
径方向に駆動されて直線移動できる搬送装置が設けられ
ていることによって、一方ではチャンバ開口部を搬送手
段および搬送軌道に沿って設ける必要がなくなり、他方
では当該チャンバに接続される別の所定のチャンバに供
給するのに必要なストロークを設計する際に、本発明で
利用される半径方向ストロークを用いることができる。
このストロークの大きさは、旋回可能な搬送手段によっ
て決まるチャンバ直径の範囲内において広い限界内で自
由に選択できる。
の公知の搬送チャンバから出発し、そのようなチャンバ
を用いて、制御により、工作物を所望の処理方法に応じ
て自由に選択でき、実際上任意の数の種類の処理ステー
ションに供給できる複合真空処理設備を構成できるよう
にすることである。この場合、このような設備の最適な
コンパクト性が特に重視される。
は、他のチャンバの数がチャンバ自体の寸法決定によっ
て制限されているのに対し、本発明の複合チャンバで
は、当該チャンバの開口部の1つに、工作物のための開
口部を1つ以上有する別の搬送チャンバが取り付けられ
ているので、工作物を旋回可能な搬送手段によって、当
該チャンバから出てさらに搬送でき、それぞれの処理チ
ャンバを全搬送経路に沿って配置できるという長所が得
られる。
段を備えた上記の1つのチャンバとして、請求項1の特
徴部に記載された特徴も有するチャンバを設けることに
より、本発明の複合チャンバを実現できることが好都合
である。
は複合チャンバにおいては、請求項4の文言に基づく方
策によって高いコンパクト性が達成される。これは、搬
送装置の軸方向の直線移動のための駆動手段が、開口部
に角度を合わせて軸線回りを旋回できる搬送手段に配置
されていることによって実現される。つまり、搬送手
段、駆動手段および搬送装置が1つの複合体に統合され
ているのである。
チャンバと本発明の複合チャンバのいずれにおいても、
軸方向に移動できる搬送装置を、搬送手段の回転軸から
ずれた軸平行な一つ以上のアームによって実現し、少な
くとも一端が好ましくはプレート状の工作物保持具を有
していることが好都合である。
立体的に配置して、軸線からずれた軸平行なアームを設
けた場合に軸方向断面がL字形構造として形成されるこ
とを考慮すれば、このようなアームの一端のみを工作物
保持に利用する代わりに、両端を利用することによって
T字形構造を構成できることはすぐに分かる。そうする
ことによって、本発明に従うチャンバや本発明に従う複
合チャンバのいずれにおいても、他のチャンバを配置す
るための製造フレキシビリティーがいっそう増す。これ
は、請求項6の文言に対応している。
適したプレート状の工作物保持具の代わりに、他の、た
とえばトング状の工作物保持具を、特に処理すべき工作
物の立体形状に合わせて設けることももちろん可能であ
る。
請求項7および/または8の文言に従って配置すること
によって、上記のチャンバの組み合わせ、もしくは他の
チャンバを有する複合チャンバ、およびそのコンパクト
な空間的編成に関して、組み合わせの大きいフレキシビ
リティーが可能となる。
置を有する本発明のチャンバであるか、さしあたり軸方
向にのみ移動できる搬送装置を有する本発明の複合チャ
ンバであるかにかかわらず、請求項9の文言に従い、供
給された開口部を閉じるために、搬送装置の軸方向移動
を利用することを提案する。この場合、当該開口部によ
って連通するチャンバの必要な雰囲気分離に応じて密な
いし気密に閉じる。
ャンバにおいて半径方向にも移動できる搬送装置を設け
ることに関連して、請求項10の文言に従い、請求項9
に関して説明したのと類似の方策を提案する。
な実施態様が、請求項11から16に記載されている。
項17の特徴部に記載された特徴を有する方法によって
解決される。
細に説明する。図1〜4に、本発明が組み込まれた好適
な設備が模式的に示されている。この設備は、チャンバ
1とチャンバ3およびチャンバ1,3を連結する中間チ
ャンバ3aを包含している。
うに、6つのアーム9をもつ星形搬送部材7が回転可能
に支持され、電動機5で制御駆動されている。星形搬送
部材は軸線A7の回りを回転できる。軸線A7に対して
平行なチャンバ1の外壁11は、少なくとも2つの開口
部13aおよび13bを有している。アーム9の軸線A
9が星形部材7の回転によって、これらの開口部に整合
する。アーム9は、星形搬送部材7に組み込まれた駆動
手段(図示せず)により、半径方向すなわち軸線A9の
方向に直線的に伸ばしたり戻したりできる。直線駆動手
段は蛇腹15によって包囲されている。アーム9、すな
わち軸線A7を基準として半径方向に移動できる腕部の
端部には、それぞれ1つの搬送用ボックス17が取り付
けられている。この搬送用ボックスは、図2に詳細に模
式的に示されている。図1と図4を比較すると分かるよ
うに、搬送用ボックス17は、軸線A7に対して平行方
向において、これと横断方向、すなわち包囲方向におけ
るより幅が著しく広くなっている。開口部13aもしく
は13bは対応してスリット状に形成されている。
17には、たとえば図2に示されているように形成され
た搬送トング19(図2)を備えた搬送装置18が、軸
線A19回りを旋回できるように支持されて載ってい
る。搬送トング19は、2つのトング腕部19a,19
bを有している。トング腕部19a,19bは、旋回軸
23a,b回りを回転できるように支持部21に支持さ
れており、ローラ24を介して互いに係合しており、図
2に示されている閉鎖位置にばね等(図示せず)によっ
て付勢されている。さらに、トング腕部19bには、ト
ングを開放したり閉鎖したりするために操作ローラ25
が設けられている。
よって形成された搬送装置18は、ボックス17に旋回
できるように支持されている。搬送装置18に回転しな
いように取り付けられている伝動体26は、第1のレバ
ー28が回転しないように配置されている。第1のレバ
ー28は軸受32で第2のレバー30に回転可能に支持
されている。レバー30の、軸受32と反対側の端部
は、組立板34を介して、アーム9の半径方向に固定さ
れた腕部に、軸受36で回転可能に支持されている。
2に従い、トングが閉じた位置にあって、たとえば円板
状工作物40を保持している搬送装置18の旋回位置か
ら出発して、星形搬送部材7は軸線A7回りを任意の位
置に旋回できる。この場合、それぞれのアーム固有の半
径方向駆動手段によって、ボックス17は軸線A7の方
向に戻されている。
つ、たとえば13xに供給する場合、アーム9の軸線A
9、したがってトング19の旋回面は、スリット状開口
部13xに整合している。このとき、当該アーム9と連
携している駆動手段によって、ボックス17が開口部1
3xの方向に送られる。それによって生じる軸線A19
および伝動体26の直線運動に基づいて、第1のレバー
28は軸受32の回りを旋回する。レバー28は伝動体
26に、また伝動体26は搬送装置18に回転しないよ
うに取り付けられているので、搬送装置18は、図2に
破線で示されているように、開口部13xを貫通して旋
回し、同時にボックス17と一緒に直線状に移動する。
この場合、ボックス17はチャンバ1の外壁11に静止
して開口部13xを、2つのチャンバ1と3の分離に対
する要求に応じて、好ましくは密閉し、必要に応じて気
密に閉じている。
はチャンバ1内にとどまっているが、トング19によっ
て形成された工作物保持具は、開口部13xを貫通し
て、完全にチャンバ3もしくは3a内に旋回している。
に対して、ボックス17の不必要に長い直線ストローク
が示されている。しかし、さらに図3の表現を見れば、
当業者ならば、軸線A19と軸受32の間のレバー28
の長さを短縮することにより、はるかに短い直線ストロ
ークHで、支持部21の、したがって搬送装置18の同
じ旋回運動を実現できることを容易に理解する。
ロークHと、このために設けられる駆動・密閉部材を対
応して最小限にすることによって、所望の旋回運動を実
現でき、それとともに工作物40の軸線A19回りの旋
回半径に基づいて、開口部13xを貫通する所望のスト
ロークを実現できる。
ンバ3もしくは3a内にラム42が配置されている。ラ
ム42の端部のローラ43は、制御されてトング19の
ローラ25に作用してトング19を開かせ、工作物40
の拘束を解除させる。
おいて、チャンバ1とチャンバ3の間に、中間スルース
チャンバ3aが設けられている。その機能は、以下にチ
ャンバ3に関して行う説明からすぐに明らかになる。
は電動機47によって軸線A43回りを回転駆動される
半径方向アーム45を有する星形搬送部材43を含んで
いる。半径方向アーム45には、図示されているよう
に、たとえば4つの軸方向アーム49が軸線A43に対
して平行に突き出している。アーム49の端部は、搬送
用プレート51、又は図示されていない機械式、空気圧
式または磁気式保持具を担持する。プレート51は、ア
ーム49とそれぞれ連携している蛇腹53によって包囲
された駆動手動によって、軸線A43に対して平行かつ
直線状に伸ばしたり戻したりできる。
とプレート51が貫通する円軌道に合わせて、たとえば
2つの開口部55aおよび55bを有している。プレー
ト51は、それぞれの開口部55に向かって進出し、こ
の開口部を密封部材(図示せず)で密閉し、もしくは気
密に閉じるように形成されている。気密に閉じる必要が
ない場合は、ボックス17とチャンバ1の壁11におけ
るように、すきま止めで十分である。さらに、プレート
51は開口部55の緑部56を越えてチャンバ3から軸
方向に突き出しているが、伸びた状態ではプレート51
は開口部を閉じる。
通して開口部13aと連通している開口部55aにおけ
る関係について見る。図4に示されているように、搬送
装置18によって円板状工作物40が図2に破線で示さ
れている位置に旋回した場合、ボックス17はチャンバ
1側において開口部13aの縁に、要求された程度で密
に接する。次に、チャンバ3において開口部55aと連
携したアーム49が制御されて軸方向に伸びることによ
って、プレート51は開口部の縁56に要求された程度
で密に接し、たとえば磁気式、空気圧式、機械式または
重力駆動により工作物40を受け取る。工作物40は図
2に従いラム42の操作によってトング19から解放さ
れる。このとき、当該アーム49は戻ることができる。
れているように、チャンバ1および/または3と同様
に、独立にポンプで排気できる。
る工作物搬送は、次のように行われる。
された程度で密に閉じる。トング19は空である。プレ
ート51に工作物を載せたアーム49が開口部55aの
開口区域に旋回する。工作物40を載せたプレート51
が軸方向に移動し、プレート51で開口部55aを要求
された程度で密に閉じる。必要に応じ、中間スルースチ
ャンバ3aをポンプで排気する。トング19が工作物を
受け取る。搬送装置18が戻り旋回し、同時にボックス
17が開口部13aの縁から離れる。
aを要求された程度で密に閉じる。アーム9がボックス
17およびトング19につかまれた工作物40と一緒に
開口部13aまで回転し、ボックス17からトング19
が工作物40と一緒に開口部13aを越えて旋回し、同
時にボックス17によって開口部13aを要求された程
度で密に閉じる。プレート51によって工作物を磁気、
空気圧、機械または重力によって駆動されて工作物40
を開口部55a内に受け取る。中間スルースチャンバ3
aをポンプ57で排気する。プレート51が戻り、星形
搬送部材43がさらに回転する。
ポンプで排気でき、または容積が非常に小さいためにチ
ャンバ1と3の間で十分な雰囲気分離を保証する中間ス
ルースチャンバとして働くことが容易に分かる。中間ス
ルースチャンバ3aを設ける必要がない場合は、プレー
ト51が引き渡し開口部で密封機能を発揮することな
く、工作物受け取りはチャンバ3内において上述の方法
で直接行うことができる。上述の実施例では、引き渡し
連結部13a,55aで、プレート51は一方の閉鎖弁
として働き、ボックス17は他方の閉鎖弁として働く。
口部55bは供給・排出通路として形成されている。こ
のために気密に閉じることのできる閉鎖部材が、たとえ
ば標準雰囲気に対する閉鎖部材として設けられており、
一時的に開口部55bに整合したプレート51が第2の
閉鎖弁として作用する。
いため、このスルースチャンバをポンプで排気するため
にここでもポンプ57を接続できる。
bは、図1から分かるように、ボックス17と搬送装置
18によって、上記のチャンバ1の開口部13aと同じ
ように提供される。
に、たとえば腐食チャンバまたは被覆チャンバなどの処
理チャンバ52が配置されている。工作物40が、ほぼ
全面が覆われずにトング19で保持されて処理チャンバ
52に送り込まれるという事実に基づいて、このような
処理ステーション52で工作物を全面的に、特に両側の
円板面を同時に処理することが可能である。これは、た
とえば上記の面をプラズマ腐食するための電極および/
またはそれらの被覆するためのマグネトロン・スパッタ
リング源を両側に配置することによって行う。
源53aおよび53bと遮蔽板55とを有するチャンバ
52の構成例が、上から見た断面図で模式的に示されて
いる。円板状工作物40は、スパッタリング源53aお
よび53bの間に挿入されており、両側がスパッタリン
グ源53a,53bによって処理される。
許第3931713号によって知られているように、工
作物の両側を同時に被覆することもできる。
ついて見る。これらのチャンバタイプでは搬送されたす
べての工作物は、工作物とずれた回転軸回りを回転す
る。さらに、工作物が半径方向、軸方向、または両方を
組み合わせて半径方向と軸方向に移動できるかによって
追加的に区別する。
軸を基準に半径方向に送られる回転搬送チャンバであ
る。
バ1を形成する。工作物40は、特にアーム9の直線駆
動手段によって個々に半径方向において開口部13の方
向に送られる。
ド部材上に配置され、メリーゴーランド回転軸を基準に
半径方向に個々に送られる回転搬送チャンバである。
式的に示されている。チャンバ120においてメリーゴ
ーランド部材124が、ω1に対応して、軸線A124
回りを駆動されて回転するように軸受されている。この
場合、工作物、たとえば上記の種類の円板状工作物12
6は保持具125に支持されている。軸線A124と共
軸に少なくとも1つのラム128が、チャンバ120の
開口部122に合わせて、軸線A124を基準に半径方
向に移動できるように、かつチャンバ120を基準に回
転しないように支持されて設けられている。メリーゴー
ランド部材によってそれぞれ供給されるべき開口部12
2の1つに整合した工作物126は、このラムを用い
て、開口部122から押し出されたり、開口部122を
通ってメリーゴーランド部材124に戻されたりする。
場合により、半径方向に移動できるラム128は、ω2
aで示されているように、破線で示された独立の回転駆
動手段124mによってメリーゴーランド部材124と
は独立に回転駆動可能である。
は、メリーゴーランド部材124が円板状工作物126
を支持しているので、円板面は回転軸A124に対して
垂直な面上を回転搬送される。ラム128は対応して形
成されており、図6の構成と類似に、回転しないよう
に、またはチャンバ120内のメリーゴーランド部材1
24とは独立に回転駆動されて支持されている。ラム1
28は、チャンバ120の、半径方向にスリット状にな
っている開口部122aに作用する。メリーゴーランド
部材124の駆動手段は、たとえばPで模式的に示され
ているように、メリーゴーランド部材124の周縁で行
うことができる。
りを回転搬送され、しかも回転軸に付して平行な方向に
個々に送られる回転搬送チャンバである。
によって形成されている。工作物は軸方向に伸ばしたり
戻したりできるアーム49を用いて、回転軸A43に対
して平行に軸方向に移動する。
向移動が行われるが、さらに工作物のための軸方向移動
部材よりはるかに多い数の工作物がメリーゴーランド部
材で回転搬送される回転搬送チャンバである。
は、回転軸A124の回りを回転駆動されるように支持
されたメリーゴーランド部材124を包含している。た
とえば円板状工作物126の円板面は、軸線A124回
りの回転面上に支持されている。軸線A124に対して
平行に伸ばしたり戻したりできるラム128が、チャン
バ60の少なくとも1つの開口部122に整合して、チ
ャンバ60のケーシングに固く取り付けられており、工
作物126が開口部122に回転整合すると、メリーゴ
ーランド部材124の操作開口部130を貫通して、軸
線A124を基準に軸方向に工作物126を開口部12
2の方向に持ち上げ、もしくは開口部122からメリー
ゴーランド124に戻す。
はチャンバ60のケーシングに据え付けられているが、
図9に従えば、図6の実施態様と類似に、ラム128は
独立の回転駆動手段124mによって軸線A124の周
囲を、メリーゴーランド部材124の回転運動とは独立
に駆動されて回転する。このチャンバタイプの別の態様
においては、軸方向ストロークをメリーゴーランド部材
それ自体によって行うことができる。
れ、さらにこの軸線を基準にそれぞれ個々に軸方向に送
られ、そのうえ上記の軸線を基準にそれぞれ個々に半径
方向にも送られる回転搬送チャンバ。このようなチャン
バは、図1および4のチャンバ1を1つに考え合わせ、
搬送装置18を備えることによって形成されている。工
作物は一方では軸線A43回りを回転し、さらにアーム
49の軸方向直線駆動手段によって軸方向に移動し、搬
送装置18の作用により軸線A43を基準に半径方向に
も送られる。特に工作物が上記の回転軸を基準に軸方向
と半径方向のいずれにも、つまり回転軸たとえばA12
4を包含する平面上を送られる、最後に述べたチャンバ
においては、図1〜4に従う実施態様の搬送装置18で
実現されているような旋回搬送手段を設けることが非常
に好適である。
軸方向に搬送することは、メリーゴーランド構造におい
てももちろん実現できるが、製作コストはより大きい。
上組み合わせて複合チャンバを形成できることを図10
から15に基づいて説明し、これらのチャンバによって
いかに弾力的に真空処理設備全体を編成できるかを示
す。上述したチャンバタイプは工作物がチャンバ内の回
転軸回りを回転搬送される点で共通しているが、設備全
体の構造には必要に応じ他のチャンバタイプが加わる。
簡単に参照できるように、次の定義を用いる。 a)EASK:工作物を両方向に送り出すスルースチャ
ンバ。 b)ESK:工作物を1方向のみに送り出すスルースチ
ャンバ。 c)BEAK:工作物に腐食または被覆などの表面処理
を施す処理チャンバ。 d)RADK:図1〜4にチャンバ1で示された、半径
方向に作用するタイプ1の回転星形チャンバ。 e)RAKAK:図6もしくは7に模式的に示された、
半径方向に作用するタイプ2のメリーゴーランド式チャ
ンバ。 f)AXDK:図1〜4にチャンバ3によって示され
た、軸方向に作用するタイプ3の回転星形チャンバ。 g)AXKAK:図8もしくは9に模式的に示された、
軸方向に作用するタイプ4のメリーゴーランド式チャン
バ。 h)AXRADK:図1〜4に装置付きチャンバ3によ
って示された、軸方向と半径方向のいずれにも作用でき
るタイプ5の回転星形チャンバ。 i)TR:2つのチャンバ開口部を有し、その間を何ら
かの方法で、たとえば公知の方法で工作物を搬送するそ
の他の搬送チャンバ。
が組み合わされている。これらのチャンバは、アームを
1つ以上備え、回転駆動され、半径方向に作用する回転
星形部材63を1つずつ有している。一方では2つのチ
ャンバ62の間の連結開口部65に工作物67が供給さ
れ、他方では別の開口部69に供給される。これらの開
口部69には、タイプa)〜i)の任意のチャンバを接
続できる。
回転軸が平行であり、図示された2つのチャンバ62を
基準として、上記の回転軸に対してほぼ垂直な平面上で
搬送される。
用される開口部65もしくは69を、これらのアームに
よって、要求に応じて密閉し、もしくは気密に閉じるこ
とができる。
形RADKチャンバ62は、半径方向に作用するメリー
ゴーランド式チャンバRAKAKと協働する。このチャ
ンバは、工作物67の保持部73を備えた、軸線回りを
回転駆動されるメリーゴーランド部材71を有してお
り、一方では共通開口部65に作用し、他方では少なく
とも別の開口部69に作用する。図示の例では、RAK
AKチャンバ72に、回転せずに半径方向に移動できる
ラム75が設けられている。ラム75は工作物67をメ
リーゴーランド部材の保持部73から、それぞれの開口
部65,69に送ったり戻したりする。ここでも、工作
物は回転星形部材63もしくはメリーゴーランド部材7
1の回転軸に対して垂直な平面上を搬送される。開口部
69もしくは65は、回転星形部材63のアームの作
用、もしくはラム75の作用によって、要求に応じて密
閉され、もしくは気密に閉じられる。ここでも開口部6
9には、タイプa)〜i)の別のチャンバを接続でき
る。
径方向に作用する第2のメリーゴーランド式チャンバR
AKAK72で置き換えられることが容易に分かる。そ
うすることによって、図10に回転星形チャンバについ
て示された構成と類似に、2つのRAKAKチャンバか
ら複合チャンバが形成される。
チャンバRADK62が、軸方向に作用する回転星形チ
ャンバAXDK80と組み合わされている。AXDK8
0は、回転星形部材81を有し、これに軸方向に駆動さ
れて移動できるラム82が取り付けられている。半径方
向に移動できる回転星形部材63のアームと、軸方向に
移動できる回転星形部材81のラム82によって、チャ
ンバ開口部65が作用され、対応する回転星形部材63
もしくは81によって、チャンバ80もしくは62の他
の開口部69が作用される。これらのチャンバには、タ
イプa)〜i)の別のチャンバを接続できる。これから
分かるように、ここでは工作物搬送は互いに上下する2
つの互いに垂直面上で実現される。回転星形部材63の
アームと、回転星形部材81のラムのいずれも、開口部
65もしくは開口部69を、要求に応じて密閉し、もし
くは気密に閉じることができる。
形チャンバRADK62の代わりに、同様に作用するメ
リーゴーランド式チャンバRAKAK72を配置できる
ことは、容易に分かる。
転星形チャンバAXDK80の代わりに、軸方向に作用
するメリーゴーランド式チャンバAXKAK85が設け
られている。これは、工作物保持部89を備えた、たと
えば円板状のメリーゴーランド部材87を有している。
軸方向に移動できるラム88は、開口部65もしくは開
口部69に整合して、工作物保持具89に保持された工
作物をメリーゴーランド部材から上記の開口部に持ち上
げ、または工作物を保持具89に戻す。ここでも工作物
の搬送は、2つの垂直面で行われる。回転星形部材63
のアームもしくはラム88は、開口部65もしくは69
を、要求に応じて密閉し、ないしは気密に閉じることが
できる。ここでも開口部69には、タイプa)〜i)の
別のチャンバを接続できる。図14から、半径方向に作
用する回転星形チャンバRADK62を、図11に従い
半径方向に作用するメリーゴーランド式チャンバRAK
AK72に置き換えられることは容易に分かる。
チャンバRADK62と、軸方向および半径方向に作用
する回転星形チャンバAXRADK90からなる構成が
示されている。AXRADK90は回転星形部材91を
包含している。回転星形部材91は、一方の側に半径方
向に伸びることのできるアーム93を包含しており、こ
れに軸方向に伸ばしたり戻したりできるラム95が支持
されている。
ラム82が設けられている図12の実施態様と比較する
と、図14に従う構成の本質的な長所が明らかである。
図8cでは星形部材81の回転軸を基準としたチャンバ
80の直径の大きさは、ラム82の軸方向移動によって
開口部65に作用できるように選択しなければならない
が、図14に従う実施態様では星形部材91の回転軸を
基準としたチャンバ90の直径は開口部69に作用でき
る大きさにすればよい。対応するアーム93は、たとえ
ば回転星形部材61のある回転位置でのみ、半径方向に
伸びることができ、もっぱら軸方向移動によって開口部
65を閉じる。したがって、97の破線で示されている
ように、中間チャンバを通して開口部65に作用するこ
とが可能となる。上述のように、この中間チャンバによ
って、星形部材91の回転軸を基準としたチャンバ90
の直径は、ある角度位置でのみ伸びることができる。
とに関しては、図10から13に関連して説明したこと
があてはまる。さらに強調すべきことは、チャンバ90
における軸方向および半径方向の搬送は、種々の態様で
実現できるということである。たとえば図1〜4に従う
実施態様で旋回搬送装置18により好適に実現されてい
るような搬送手段を用いることによっても可能である。
作用する回転星形チャンバRADK62の代わりに、図
11に従う、半径方向に作用するメリーゴーランド式チ
ャンバRAKAK72を設けることができることは、容
易に分かる。
星形チャンバAXDK80の組み合わせが示されてい
る。動作は容易に分かる。さらに、軸方向に移動するラ
ム82を82aおよび82bの対で配置でき、このよう
なラムによって、したがって同じ回転星形部材によっ
て、回転面の両側に配置された開口部69に作用できる
ことが破線で示されている。同じ技術は、図14に従い
半径方向および軸方向送りを有する回転星形部材AXR
ADKについても実現できる。
バ80の1つに代えて図13に従うAXRADKチャン
バ85を設けることは、容易に分かるように、問題なく
可能である。また、図13のチャンバ85に従う2つの
チャンバAXKAKを連結することも問題なく可能であ
る。たとえば図12に従うAXDKチャンバ80におい
て、図14に従いチャンバAXRADK90を設けるこ
とも問題なく可能である。図13に従うAXKAKチャ
ンバ85を、図14に従うAXRADKチャンバ90と
組み合わせることも同様である。
ンバをそれぞれ調整できるようにするには、それぞれの
チャンバにポンプ接続口、および必要に応じてガス入口
を設ければよい、ということは言うまでもなく明らかで
ある。
搬送経路と短い搬送サイクルを有する、極めてコンパク
トな全体設備をモジュール工法で組み立てることができ
る。
ードディスクなどの、磁気記憶媒体用ディスクに適して
いる。
び本発明の搬送方法が好適な仕方で実現されている密閉
処理装置の側面断面図である。
る。
である。
スパッタリングのための腐食チャンバの平面断面図であ
る。
として、半径方向に作用されるチャンバ開口部を有す
る、メリーゴーランド式搬送チャンバの模式的な縦断面
図である。
として、半径方向に作用されるチャンバ開口部を有す
る、メリーゴーランド式チャンバの他の実施態様の図6
に準じた図である。
として、軸方向に作用されるチャンバ開口部を有する、
メリーゴーランド式チャンバの図6に準じた図である。
最小編成における種々のタイプのチャンバの第1の組み
合わせを示す図である。
最小編成における種々のタイプのチャンバの第2の組み
合わせを示す図である。
最小編成における種々のタイプのチャンバの第3の組み
合わせを示す図である。
最小編成における種々のタイプのチャンバの第4の組み
合わせを示す図である。
最小編成における種々のタイプのチャンバの第5の組み
合わせを示す図である。
最小編成における種々のタイプのチャンバの第6の組み
合わせを示す図である。
Claims (36)
- 【請求項1】 二つ以上の外側開口部と、前記外側開口
部に角度を合わせて軸線回りを旋回できる搬送手段とを
有する少なくとも工作物を少なくとも一時的に真空雰囲
気で搬送するためのチャンバ(3)において、搬送装置
(49,18)が設けられ、前記工作物を前記軸線(A
43)に関して軸方向と半径方向のいずれにも搬送でき
るように、前記搬送装置の第一部分が駆動されて前記軸
線(A43)に対して平行に直線移動可能であり、前記
搬送装置の第二部分が駆動されて前記軸線(A43)に
対して半径方向に直線移動可能であることを特徴とする
チャンバ。 - 【請求項2】 前記工作物は円板状工作物であることを
特徴とする請求項1に記載のチャンバ。 - 【請求項3】 前記工作物は記憶媒体用ディスクである
ことを特徴とする請求項1又は2に記載のチャンバ。 - 【請求項4】 前記搬送装置(49,82)の前記第一
部分を軸方向に移動させるための駆動手段が、前記搬送
手段(43,81)に取り付けられていることを特徴と
する請求項1から3のいずれか一項に記載のチャンバ。 - 【請求項5】 前記搬送装置(49,82)が、前記軸
線に平行で前記軸線からずれているアームを一つ以上有
しており、前記アームの少なくとも一端が好ましくはプ
レート状の工作物保持具を有していることを特徴とする
請求項1から4のいずれか一項に記載のチャンバ。 - 【請求項6】 前記アームの両端(82,82b)に、
前記好ましくはプレート状の工作物保持具が設けられて
いることを特徴とする請求項5に記載のチャンバ。 - 【請求項7】 前記チャンバ(3,80)の前記外側開
口部(55,65)の一つが、前記軸線に対して実質的
に平行な法線を有する開口平面を確定することを特徴と
する請求項1から6のいずれか一項に記載のチャンバ。 - 【請求項8】 前記チャンバ(3)の前記外側開口部の
少なくとも一つ(13a)が、前記軸線(A43)に対
して実質的に垂直な法線を有する開口平面を確定するこ
とを特徴とする請求項1から7のいずれか一項に記載の
チャンバ。 - 【請求項9】 前記チャンバ(3,90)の前記外側開
口部(55,65)の少なくとも一つが、前記軸線に対
して実質的に平行な法線を有する開口平面を確定し、前
記搬送装置(49,95)のプレート状の工作物保持具
が、前記少なくとも一つの外側開口部に整合して前記軸
線に対しての軸方向に移動して、前記少なくとも一つの
外側開口部を閉じ、又は、密閉し、又は、気密に閉じる
ことを特徴とする請求項1から8のいずれか一項に記載
のチャンバ。 - 【請求項10】 前記チャンバの前記外側開口部の少な
くとも一つが、前記軸線に対して実質的に垂直な法線を
有する開口平面を確定し、前記搬送装置が前記少なくと
も一つの外側開口部を閉じ、又は、密閉し、又は、気密
に閉じるように形成されていることを特徴とする請求項
1から9のいずれか一項に記載のチャンバ。 - 【請求項11】 前記搬送手段が前記搬送装置の前記第
二部分を半径方向に移動するための駆動手段(93)を
有していることを特徴とする請求項1から10のいずれ
か一項に記載のチャンバ。 - 【請求項12】 前記搬送装置の前記第一部分を軸方向
に移動するための駆動手段及び前記搬送装置の前記第二
部分を半径方向に移動するための駆動手段の少なくとも
一方(18)が、前記チャンバ(3)の外側に配置され
ていることを特徴とする請求項1から10のいずれか一
項に記載のチャンバ。 - 【請求項13】 前記工作物は円板状工作物であり、前
記搬送手段(63)が前記軸線回りを旋回する時に、工
作物保持具に保持された前記円板状工作物の円板面が前
記軸線に対して垂直な面上を進むように、前記工作物保
持具が前記搬送手段(63)に配置されていることを特
徴とする請求項1から12のいずれか一項に記載のチャ
ンバ。 - 【請求項14】 二つ以上の開口部(13,69)を有
するもう一つの搬送チャンバが、前記チャンバ(3,9
0)の前記外側開口部(13a,55a;65)の一つ
の近傍に連通して配置され、前記もう一つの搬送チャン
バは、もう一つの搬送装置(7,63)を有し、前記も
う一つの搬送装置が前記搬送装置から前記工作物を直接
的に受け取るように、前記もう一つの搬送装置は、共通
開口部(65)又はスルースチャンバ(3a)を通して
前記搬送装置(49,82)と駆動結合していることを
特徴とする請求項1から13のいずれか一項に記載のチ
ャンバ。 - 【請求項15】 前記搬送装置(49)が、第一の閉鎖
弁として、前記チャンバ(3)の前記外側開口部の少な
くとも一つ(55b)を閉じ、又は、密閉し、又は、気
密に閉じ、閉鎖部材が、第二の閉鎖弁として、前記搬送
装置から離間して対向し、前記少なくとも一つの外側開
口部を閉じ、又は、密閉し、又は気密に閉じ、それによ
り、前記少なくとも一つの外側開口部の軸線方向に延在
するスルースチャンバが設けられることを特徴とする請
求項1から14のいずれか一項に記載のチャンバ。 - 【請求項16】 前記搬送装置(49)及び前記もう一
つの搬送装置(7)は、前記スルースチャンバを閉鎖す
る弁として機能することを特徴とする請求項14に記載
のチャンバ。 - 【請求項17】 二つ以上の外側開口部と、前記外側開
口部に角度を合わせて軸線回りを旋回できる搬送手段と
を有する少なくとも工作物を少なくとも一時的に真空雰
囲気で搬送するためのチャンバを具備する複合チャンバ
において、搬送装置(49,82)が設けられ、前記搬
送装置は、駆動されて前記軸線に対して平行に直線移動
可能であり、前記工作物のための一つ以上の開口部(1
3b,69)を有するもう一つの搬送チャンバの開口部
は、前記チャンバ(3,80)の前記外側開口部(13
a,65)の一つと連通するように配置され、前記もう
一つの搬送チャンバは、もう一つの搬送装置(7,6
3)を有し、前記もう一つの搬送装置が前記搬送装置か
ら前記工作物を受け取るように、又は、前記搬送装置が
前記もう一つの搬送装置手段から前記工作物を受け取る
ように、前記もう一つの搬送装置は、共通開口部(13
a,65)又はスルースチャンバ(3a)を通して前記
チャンバ(3,80)の前記搬送装置(49,82)と
駆動結合していることを特徴とする複合チャンバ。 - 【請求項18】 前記工作物は円板状工作物であること
を特徴とする請求項17に記載の複合チャンバ。 - 【請求項19】 前記工作物は記憶媒体用ディスクであ
ることを特徴とする請求項17又は18に記載の複合チ
ャンバ。 - 【請求項20】 前記搬送装置は、前記工作物を前記軸
線に関して軸方向と半径方向のいずれにも搬送できるよ
うに、駆動されて前記軸線に対して平行に直線移動可能
な第一部分と、駆動されて前記軸線に対して半径方向に
直線移動可能な第二部分とを有することを特徴とする請
求項17から19のいずれか一項に記載の複合チャン
バ。 - 【請求項21】 前記搬送装置の前記第一部分を軸方向
に移動する駆動手段は、前記搬送手段に配置されている
ことを特徴とする請求項17から20のいずれか一項に
記載の複合チャンバ。 - 【請求項22】 前記搬送装置が、前記軸線に平行で前
記軸線からずれているアームを一つ以上有しており、前
記アームの少なくとも一端が好ましくはプレート状の工
作物保持具を有していることを特徴とする請求項17か
ら21のいずれか一項に記載の複合チャンバ。 - 【請求項23】 前記アームの両端に、前記好ましくは
プレート状の工作物保持具が設けられていることを特徴
とする請求項22に記載の複合チャンバ。 - 【請求項24】 前記チャンバの前記外側開口部の一つ
が、前記軸線に対して実質的に平行な法線を有する開口
平面を確定することを特徴とする請求項17から23の
いずれか一項に記載の複合チャンバ。 - 【請求項25】 前記チャンバの前記外側開口部の少な
くとも一つが、前記軸線に対して実質的に垂直な法線を
有する開口平面を確定することを特徴とする請求項20
から24のいずれか一項に記載の複合チャンバ。 - 【請求項26】 前記チャンバの前記外側開口部の少な
くとも一つが、前記軸線に対して実質的に平行な法線を
有する開口平面を確定し、前記搬送装置のプレート状の
工作物保持具が、前記少なくとも一つの外側開口部に整
合して前記軸線に対しての軸方向に移動して、前記少な
くとも一つの外側開口部を閉じ、又は、密閉し、又は、
気密に閉じることを特徴とする請求項17から25のい
ずれか一項に記載の複合チャンバ。 - 【請求項27】 前記チャンバの前記外側開口部の少な
くとも一つが、前記軸線に対して実質的に垂直な法線を
有する開口平面を確定し、前記搬送装置が前記少なくと
も一つの外側開口部を閉じ、又は、密閉し、又は、気密
に閉じるように形成されていることを特徴とする請求項
20から26のいずれか一項に記載の複合チャンバ。 - 【請求項28】 前記搬送手段が前記搬送装置の前記第
二部分を半径方向に移動するための駆動手段を有してい
ることを特徴とする請求項20から27のいずれか一項
に記載の複合チャンバ。 - 【請求項29】 前記搬送装置の前記第一部分を軸方向
に移動するための駆動手段及び前記搬送装置の前記第二
部分を半径方向に移動するための駆動手段の少なくとも
一方が、前記チャンバの外側に配置されていることを特
徴とする請求項20から27のいずれか一項に記載の複
合チャンバ。 - 【請求項30】 前記工作物は円板状工作物であり、前
記搬送手段が前記軸線回りを旋回する時に、工作物保持
具に保持された前記円板状工作物の円板面が前記軸線に
対して垂直な面上を進むように、前記工作物保持具が前
記搬送手段に配置されていることを特徴とする請求項2
0から27のいずれか一項に記載の複合チャンバ。 - 【請求項31】 前記搬送装置が、第一の閉鎖弁とし
て、前記チャンバの前記外側開口部の少なくとも一つを
閉じ、又は、密閉し、又は、気密に閉じ、前記もう一つ
の搬送装置が、第二の閉鎖弁として、前記もう一つの搬
送チェンバの前記開口部を閉じ、又は、密閉し、又は気
密に閉じ、それにより、前記チェンバの前記少なくとも
一つの外側開口部と前記もう一つの搬送チェンバの前記
開口部との間にスルースチャンバが設けられることを特
徴とする請求項17から30のいずれか一項に記載の複
合チャンバ。 - 【請求項32】 前記搬送装置及び前記もう一つの搬送
装置は、前記スルースチャンバを閉鎖する弁として機能
することを特徴とする請求項31に記載の複合チャン
バ。 - 【請求項33】 工作物を真空設備内部で搬送する方法
において、前記工作物は、所定の円軌道に沿って旋回さ
せられ、前記円軌道から軸方向及び半径方向に移動させ
られることを特徴とする方法。 - 【請求項34】 工作物を真空処理部署へ及び前記真空
処理部署から移動させて真空処理工程によって工作物を
製造する方法において、前記工作物の移動中に、所定の
円軌道に沿って前記工作物を移動させる段階と、前記円
軌道から軸方向及び半径方向に前記工作物を移動させる
段階とを実施することを特徴とする方法。 - 【請求項35】 前記工作物は円板状工作物であること
を特徴とする請求項33又は34に記載の方法。 - 【請求項36】 前記工作物は記憶媒体用ディスクであ
ることを特徴とする請求項33から35のいずれか一項
に記載の方法。
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