JP3315165B2 - 走査型顕微鏡 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、物体を微小スポットで
光走査する走査型顕微鏡に係り、さらに詳しくは照明光
を被観察面に集光するための光学系の改良に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来より在るレーザ走査顕微鏡の構成例
が図１０に示されている。同図に示すレーザ走査顕微鏡
は、特開昭６１−２１７０１４号に記載されたものであ
る。

【０００３】このレーザ走査顕微鏡では、レーザ光源１
から発したレーザビームが集光レンズ２，空間フィルタ
ー３，コリメータレンズ４を通ってビームエキスパンダ
５に入射され、そこで必要な大きさのビーム径に拡大さ
れてから第１光偏向器６に入射する。

【０００４】この第１光偏向器６に入射したレーザビー
ムは進行方向が変えられ、瞳伝送レンズ７，８を通って
第２光偏向器９に入射する。そして第２光偏向器で進行
方向を変えられ、瞳投影レンズ１０、結像レンズ１１、
対物レンズ１２を通って試料１３上の一点に集光せしめ
られる。

【０００５】上記第１，第２の光偏光器６，９を、対物
レンズ１２の瞳位置と共役な位置に配置することによ
り、各光偏向器６，９でレーザビームを互いに直交する
Ｘ，Ｙ方向にそれぞれ偏向させると、光軸が一定に保た
れた状態で、ビームスポットが試料１３をＸＹ方向に２
次元走査するものとなる。図１０に示す光学系では、瞳
投影レンズ１０に収差があると、その収差の影響により
うまく観察試料上にスポットが形成されなくなる。そこ
で従来は、レーザ光源１が発振するレーザ光の波長域に
対して、最も効率的に収差を取除くことのできる硝材を
用いた瞳投影レンズを使用している。

【０００６】ところで、多波長発振のレーザ光源１であ
ってそれぞれ異なる波長域を持った複数種類のレーザ光
を用いて試料を照明する場合や、Ｂ励起，Ｇ励起及び紫
外光励起など波長域の異なる励起光を用いて蛍光観察を
行うことがある。例えば、蛍光観察におけるＢ励起，Ｇ
励起の場合、波長域は４５０〜６５０ｎｍの範囲であ
り、紫外光励起の場合には３００〜５００ｎｍの波長域
となる。この様な場合には、全ての波長域に亘って瞳投
影レンズを収差補正する必要がある。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、瞳投影
レンズに用いられている硝材は、その種類に応じて収差
補正可能な波長域が限られている。例えば、可視光の範
囲であれば４８８〜６３０ｎｍ、紫外光を含む範囲であ
れば３００〜５００ｎｍである。従って、上記蛍光観察
のような３００〜６５０ｎｍの広い範囲で良好に収差補
正できる硝材は現在のところ存在していない。そのた
め、４８８〜６３０ｎｍの波長域に対して好適な瞳投影
レンズは、３００〜５００ｎｍの波長域となる紫外光励
起の場合には使うことができない。

【０００８】また瞳投影レンズは、紫外光に対して透過
率が著しく低下するため、使用できる硝材の種類が限定
されていた。その様に限定された硝材を組合わせて、よ
り広い波長域の瞳投影レンズを作成するのは極めて困難
である。

【０００９】本発明は以上のような実情に鑑みてなされ
たもので、紫外光域から可視光域まで含んだ広い波長域
に亘って常に良好なスポットを被観察面に形成すること
ができ、しかも操作が容易な走査型顕微鏡を提供するこ
とを目的とする。

【００１０】

【課題を解決するための手段】請求項１に対応する本発
明の走査型顕微鏡は、光源からの照明光を被観察面に集
光させる瞳投影レンズを備えたものにおいて、前記瞳投
影レンズが、互いに波長域が異なる複数種類の前記照明
光に対応した数だけ設けられ、それぞれ対応する波長域
の収差補正が施され、かつ光路近傍に設けられたレンズ
切換部材にそれぞれ装填されて選択的に光路上に配置さ
れることを特徴とする。

【００１１】請求項２に対応する本発明の走査型顕微鏡
は、瞳投影レンズ及び結像レンズが、互いに波長域が異
なる複数種類の照明光に対応した数だけ設けられ、それ
ら瞳投影レンズ及び結像レンズに対応する波長域の収差
補正が施され、さらに、それら瞳投影レンズ及び結像レ
ンズが光路近傍に設けられた各レンズ切換部材にそれぞ
れ装填されて選択的に光路上に配置されることを特徴と
する。

【００１２】請求項３に対応する本発明の走査型顕微鏡
は、瞳伝送レンズ，瞳投影レンズ及び結像レンズが、互
いに波長域が異なる複数種類の照明光に対応した数だけ
設けられ、それら瞳伝送レンズ，瞳投影レンズ及び結像
レンズに対応する波長域の収差補正が施され、さらに、
それら瞳伝送レンズ，瞳投影レンズ及び結像レンズが光
路近傍に設けられた各レンズ切換部材にそれぞれ装填さ
れて選択的に光路上に配置されることを特徴とする。

【００１３】

【作用】本発明の走査型顕微鏡では、波長域が異なる複
数種類の照明光に対応してそれぞれ収差補正が施された
複数の瞳投影レンズ、結像レンズ、瞳伝送レンズが、レ
ンズ切換部材にそれぞれ装填されて光路近傍に配置され
る。そして使用される照明光の波長域に応じて、その波
長域に対して収差補正が施された瞳投影レンズ、結像レ
ンズ、瞳伝送レンズが選択されレンズ切換部材で光路上
に配置される。

【００１４】

【実施例】以下、図面を参照しながら実施例を説明す
る。

【００１５】図１には本発明の一実施例に係る走査型顕
微鏡の要部の構成が示されている。なお、本実施例の光
学系全体の構成は図１０に示すものと同様であり、異な
る部分は瞳投影レンズ部分の構成である。従って、瞳投
影レンズ部分の構成のみを図１に詳しく図示している。

【００１６】本実施例は、スキャンユニット２１が有す
る光路の顕微鏡側端部と、顕微鏡２２が有する光路のス
キャンユニット側端部との間に、レンズ切換部材として
のターレット機構２３が設けられている。

【００１７】なお、スキャンユニット２１とは、図１０
において照明光をＸ，Ｙ方向に偏向させるための第１，
第２の光偏向器６，９等からなる光学系の部分であり、
顕微鏡２２とは結像レンズ１１，対物レンズ１２等から
なる光学系の部分である。

【００１８】上記ターレット機構２３は、ターレット収
納空間を内部に有する外枠２４が、スキャンユニット２
１と顕微鏡２２との間に固定されている。この外枠２４
内のターレット収納空間にターレット２５が収納されて
いる。

【００１９】ターレット２５の中心部には、軸２６がそ
の周囲にベアリング２７を配して嵌挿されており、その
軸２６の両端部が外枠２４にそれぞれ固定されている。
軸２６は光軸と平行に配置され、かつ光軸から所定距離
だけ離れた位置に配置されていて、ターレット２５を回
転自在に支持している。

【００２０】ターレット２５の内部には、第１，第２の
ケース２８ａ，２８ｂが着脱自在に設けられている。第
１のケース２８ａには複数のレンズからなる紫外用瞳投
影レンズ２９ａが設けられており、第２のケース２８ｂ
には複数のレンズからなる可視用瞳投影レンズ２９ｂが
設けられている。

【００２１】例えば、第１のケース２８ａに設けられた
瞳投影レンズ２９ａは、４５０ｎｍ〜７００ｎｍの可視
光域の光に対して収差補正可能な光学特性を有してい
て、第２のケース２８ｂに設けられた瞳投影レンズ２９
ｂは、３００ｎｍ〜５００ｎｍの紫外光域の光に対して
収差補正可能な光学特性を有している。

【００２２】図３（ａ），（ｂ）には、上記瞳投影レン
ズ２９ｂの光学特性が示されている。同図（ａ）には、
紫外光に対する瞳投影レンズ２９ｂの球面収差が示され
ており、同図（ｂ）には、紫外光に対する瞳投影レンズ
２９ｂの歪曲収差が示されている。

【００２３】また図３（ｃ），（ｄ）には、上記瞳投影
レンズ２９ａの光学特性が示されている。同図（ｃ）に
は、可視光に対する瞳投影レンズ２９ａの球面収差が、
また同図（ｄ）には、可視光に対する歪曲収差が示され
ている。なお、図３（ａ）（ｃ）には複数の特性曲線が
示されているが、波長の異なる紫外光に対する収差をそ
れぞれ示している。

【００２４】上記各瞳投影レンズ２９ａ，２９ｂが装填
されたターレット２５の上面と外枠２４との間には位置
決めクリック機構３１が設けられており、上記各瞳投影
レンズ２９ａ，２９ｂを光軸上に位置決めできるように
なっている。

【００２５】またターレット２５には、いずれの瞳投影
レンズも挿入されることのない空の空間が確保されてお
り、その空間を使ってスキャンユニット２１と顕微鏡２
２との光学系の芯合わせを行うことができるようになっ
ている。

【００２６】図２には、紫外光を用いて観察を行う場合
の装置全体に亘る光学系の構成が示されている。なお対
物レンズ１２は、瞳投影レンズと同様、使用波長に応じ
て交換する必要があるので、レボルバ１４に紫外光用対
物レンズ１２ａ及び可視光用対物レンズ１２ｂを取付け
ておく。

【００２７】以上のように構成されたターレット機構２
３を備えた本実施例では、可視光を用いての観察を行う
ときには、ターレット２５を回転させて、第１のケース
２８ａに固定された瞳投影レンズ２９ａを光軸上に配置
し、さらにレボルバ１４を回転させて可視光用対物レン
ズ１２ｂを光軸上に配置する。

【００２８】スキャンユニット２１から瞳投影レンズ２
９ａに照明光が入射すると、可視光は瞳投影レンズ２９
ａにより図３（ｃ）（ｄ）に示す状態にまで収差補正さ
れるため、瞳投影レンズ２９ａによる収差の発生が抑制
され、観察試料表面には良好なスポットが形成されるも
のとなる。

【００２９】また紫外光を用いて観察を行う場合には、
第２のケース２８ｂに固定された瞳投影レンズ２９ｂを
光軸上に配置し、紫外光用対物レンズ１２ａを光軸上に
配置する。この操作は、ターレット２５，レボルバ１４
を回転させるといった簡単な操作だけでよい。

【００３０】ターレット２５を回転させると、第１のケ
ース２８ａに固定された瞳投影レンズ２９ａが光軸上か
ら遠ざかり、代わって第２のケース２８ｂに固定された
瞳投影レンズ２９ｂが光軸上に接近する。そして瞳投影
レンズ２９ｂが光軸に近接した時に、位置決めクリック
機構３１により、瞳投影レンズ２９ｂが光軸上に固定さ
れる。

【００３１】そしてスキャンユニット２１から瞳投影レ
ンズ２９ｂに紫外光が入射すると、紫外光は瞳投影レン
ズ２９ｂにより図３（ａ）（ｂ）に示す状態にまで収差
補正されるため、紫外光に対しても収差の発生が抑制さ
れ、上記同様に観察試料表面には良好なスポットが形成
されるものとなる。

【００３２】従って本実施例によれば、異なる光学特性
を有する瞳投影レンズ２９ａ，２９ｂをターレット機構
２３に備え、使用する照明光の波長域に応じて適当な光
学特性を持った瞳投影レンズを光軸上に配置可能にした
ので、単一のユニットで紫外光域から可視光域までの広
い波長域に亘って常に良好なスポットを形成することが
できる。しかも、瞳投影レンズ２９ａ，２９ｂの切換え
をターレット機構２３を利用していることから操作が極
めて容易である。

【００３３】以上に述べたように各波長域で良好なスポ
ットは、図１０の対物レンズ１２で試料上に照射され
る。当然のことながら、対物レンズ１２も各投影レンズ
と同じ波長域で収差補正された対物レンズが用意されて
いる。したがって、照明光が紫外光になった場合、瞳投
影レンズ２９ａがターレット２５で光軸上に設置され、
紫外用の対物レンズが選ばれる。

【００３４】なお、上記実施例では光学特性の異なる瞳
投影レンズ２９ａ，２９ｂの切換えにターレット機構２
３を用いる場合について説明したが、図４，５に示すス
ライダー機構３０によってもターレット機構２３と同様
の機能を実現することができる。

【００３５】このスライダー機構３０は、スライダー３
１と、このスライダー３１を直線移動させるレール３２
とからなる。スライダー３１はレール側の面に直線移動
方向に向けて嵌合凸部３１ａが形成されている。またス
ライダー３１には側面間を貫通する所定の大きさの径を
有する貫通穴３３ａ〜３３ｃが形成されており、その各
貫通穴３３ａ〜３３ｃに、貫通穴３３ａ〜３３ｃよりも
若干小さい径を有する第１，第２のケース３５，３６が
挿入される。例えば、第１のケース３５には可視光用の
瞳投影レンズ３７が固定され、第２のケース３６には紫
外光用の瞳投影レンズ３８が固定される。

【００３６】スライダー３１の側面には、上記各貫通穴
３３ａ〜３３ｃに対応してねじ穴３４ａ〜３４ｃが設け
られている。これら各ねじ穴３４ａ〜３４ｃに固定ねじ
を挿入することにより、それぞれ対応する貫通穴３３ａ
〜３３ｃに挿入されているケースが固定されるようにな
っている。

【００３７】またレール３２は、光軸から所定距離離れ
た位置に、その長手方向を光軸と直交させて配置されて
いる。このレール３２のスライダー側の面には、上記ス
ライダー３１に設けた嵌合凸部３１ａが摺動自在に嵌合
するアリ溝３２ａが形成されている。レール３２の側面
にはねじ穴４０が形成されており、そのねじ穴４０にね
じを挿入することにより、スライダー３１が固定される
ようになっている。

【００３８】なお、スライダー３１を移動させて貫通穴
３３ａ（３３ｂ，３３ｃ）を光路上に配置したときに
は、貫通穴３３ａ（３３ｂ，３３ｃ）の中心（瞳投影レ
ンズの中心）が光軸と一致するように調整されている。

【００３９】さらに、３つの貫通穴３３ａ，３３ｂ，３
３ｃのうちのいずれかの貫通穴が光軸上に来た時、その
位置でスライダー３１を位置決めする位置決め機構（不
図示）が設けられている。

【００４０】以上のように構成されたスライダー機構３
０によれば、光学特性の異なる瞳投影レンズ３７，３８
を、照明光の波長域に応じて選択的に光路上に配置する
ことができ、前記実施例と同様の効果を得ることができ
る。

【００４１】しかも、図４，５に示すスライダー機構３
０には３つの貫通穴３３ａ，３３ｂ，３３ｃが設けられ
ているので、可視光用、紫外光用の他に、例えば赤外光
用の瞳投影レンズを装着することもでき、単一ユニット
で３種類の照明光に対応することができる。

【００４２】なお、上記ターレット機構２３、スライダ
ー機構３０に備える瞳投影レンズは２種類、あるいは３
種類に限定されるものでなく、４種類以上の瞳投影レン
ズを備えるようにすることができる。次に、本発明の第
２実施例について説明する。

【００４３】図６には、第２実施例に係る走査型顕微鏡
の光学系の概略的な構成が示されている。なお同図にお
いて、前述した図１及び図１０の装置と同一機能を有す
る部分については同一符号を付している。

【００４４】本実施例の走査型顕微鏡は、瞳投影レンズ
の他に結像レンズ及び瞳伝送レンズを、使用すべき波長
域に対応して切換え可能に構成されている。結像レンズ
用のターレット機構４０が、瞳投影レンズ用のターレッ
ト機構２３と対物用レボルバ１４との間に設けられてい
る。

【００４５】このターレット機構４０は、光軸から所定
距離だけはなれた位置に光軸と平行な回転軸を有し、第
１，第２のケース４１ａ，４１ｂが光軸と平行な状態で
着脱自在に設けられている。第１のケース４１ａには、
紫外用結像レンズ４２ａが設けられており、第２のケー
ス４１ｂには、可視用結像レンズ４２ｂが設けられてい
る。

【００４６】また瞳伝送レンズ用のターレット機構４３
が、第１光偏向器６，第２光偏向器９間に設けられてい
る。このターレット機構４３は、光軸から所定距離だけ
はなれた位置に光軸と平行な回転軸を有し、第１，第２
のケース４４ａ，４４ｂが光軸と平行な状態で着脱自在
に設けられている。第１のケース４４ａには、紫外用瞳
伝送レンズ４５，４６が設けられており、第２のケース
４４ｂには、可視用瞳伝送レンズ４７，４８が設けられ
ている。

【００４７】なおターレット機構４０，４３には、前述
した瞳投影用のターレット機構２３と同様に、不図示の
クリック機構が設けられており上記各レンズを光軸上に
位置決めできるようになっている。またターレット機構
内にいずれのレンズも挿入されることのない空の空間が
確保されており、その空間を使って光学系の心合せなど
の調整を行えるようになっている。

【００４８】以上のように構成された本実施例では、紫
外光を用いて観察を行う場合には、ターレット機構２
３，４０，４３をそれぞれ動作させて、紫外用の瞳投影
レンズ２９ａ，結像レンズ４２ａ，瞳伝送レンズ４５，
４６を光軸上に配置する。また、これに合わせて対物レ
ンズも紫外用の対物レンズ１２ａを、レボルバ１４を操
作して光軸上に配置させる。

【００４９】各光学要素が以上のように配置された光学
系では（図６に示す状態）、瞳投影レンズ２９ａの他
に、結像レンズ４２ａ及び瞳伝送レンズ４５，４６にお
いても収差補正がなされるので、収差の発生が抑制さ
れ、観察試料面には良好なスポットが形成されるものと
なる。

【００５０】また可視光を用いて観察を行う場合には、
ターレット機構２３，４０，４３をそれぞれ動作させ
て、可視光用の瞳投影レンズ２９ｂ，結像レンズ４２
ｂ，瞳伝送レンズ４７，４８が光軸上に配置されると共
に、可視光用の対物レンズ１２ｂが光軸上に配置され
る。

【００５１】各光学要素が以上のように配置された光学
系では、可視光に対して収差の発生が抑制されるので、
可視光を用いた観察では観察試料面には良好なスポット
が形成される。

【００５２】この様に本実施例によれば、瞳投影レンズ
だけでなく結像レンズ，瞳伝送レンズまでが可視光及び
紫外光に対して良好に収差補正を行うので、前述した第
１実施例よりも効率良く収差の発生を抑制でき、その結
果、広い波長域に亘って極めて良好な観察像を得ること
ができる。

【００５３】ところで、前述した第１実施例及び第２実
施例において、第１光偏向器６と第２光偏向器９との間
に瞳伝送レンズを配置した例を説明したが、第１光偏向
器６と第２光偏向器９とが近接しているときには、瞳伝
送レンズを削除することができる。瞳伝送レンズを削除
した例が、図７に示されている。

【００５４】図７に示す光学系では、第１光偏向器６と
第２光偏向器９との光軸上の中点Ｍが、対物レンズ１２
の瞳に投影される。中点Ｍと各光偏向器６，９の距離が
短い場合には、ほぼ各光偏向器６，９の面は対物レンズ
１２の瞳に投影されることになる。

【００５５】この様に瞳伝送レンズが特に必要ない場合
には、瞳伝送レンズを削除することにより、光量損失が
少なく、しかも構成が簡単でコストダウンを図れる利点
がある。次に、本発明の第３実施例について図８を参照
して説明する。

【００５６】本実施例は、収差補正の波長域が同じ瞳投
影レンズと結像レンズとを同一のケースに収納して一度
に切換えるようにした例である。なお図８において前述
した第１実施例及び第２実施例と同一の部分について
は、同一符号を付している。

【００５７】本実施例の走査型顕微鏡は、第２光偏向器
９とレボルバ１４との間に瞳投影レンズおよび結像レン
ズのための共用ターレット機構５０が設けられている。
この共用ターレット機構５０は、光軸から所定距離だけ
離れた位置に光軸と平行な回転軸を有し、第１，第２の
ケース５１ａ，５１ｂが光軸と平行な状態で着脱自在に
設けられている。

【００５８】第１のケース５１ａには、紫外用瞳投影レ
ンズ５２ａと紫外用結像レンズ５３ａが設けられてい
る。また第２のケース５１ｂには、可視光用瞳投影レン
ズ５２ｂと可視光用結像レンズ５３ｂが設けられてい
る。その他の構成は前述した第２実施例と同様である。

【００５９】以上のように構成された本実施例では、共
用ターレット機構５０を操作することにより、瞳投影レ
ンズと結像レンズとを１回の作業で同時に切換えられる
ため操作性が良い。また瞳投影レンズと結像レンズの各
々にターレット機構を設けるのに比べて、構成を簡単に
でき、コストダウンを図ることができる。次に、本発明
の第４実施例について図９を参照して説明する。

【００６０】本実施例は、前述した第２実施例の構成に
おいて、各ターレット機構及びレボルバを、モータを使
って電気的に動作制御するようにした例である。なお同
図において、第２実施例と同一部分には同一符号を付し
ている。

【００６１】本実施例の走査型顕微鏡は、瞳投影レンズ
用のターレット機構２３をモータ６１で駆動し、結像レ
ンズ用のターレット機構４０をモータ６２で駆動し、さ
らに瞳伝送レンズ用のターレット機構４３をモータ６３
で駆動するようにしている。またレボルバ１４をモータ
６４で駆動するようにしている。そして各モータ６１〜
６４の動作をコントローラ６５で制御している。コント
ローラ６５は、前述した第２実施例と同様にレボルバ１
４，ターレット機構２３，４０，４３を駆動制御するプ
ログラムが格納されている。

【００６２】この様に構成された本実施例によれば、レ
ボルバ１４，ターレット機構２３，４０，４３が、コン
トローラ６５により一括して電動制御されるので、マニ
ュアルでターレット機構などを操作するのに比べて、操
作性を改善できる。なお、本発明は上記実施例に限定さ
れるものではなく本発明の要旨を逸脱しない範囲で変形
実施可能である。

【００６３】

【発明の効果】以上詳記したように本発明によれば、紫
外光域から可視光域まで含んだ広い波長域に亘って常に
良好なスポットを被観察面に形成することができ、しか
も操作が容易な走査型顕微鏡を提供できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１実施例に係る走査型顕微鏡の要部
の構成図である。

【図２】第１実施例に係る走査型顕微鏡の光学系の構成
図である。

【図３】第１実施例の走査型顕微鏡に備えられた瞳投影
レンズの光学特性を示す図。

【図４】第１実施例の変形例の走査型顕微鏡に備えられ
たスライダー機構の斜視図。

【図５】図４に示すスライダー機構の断面図。

【図６】本発明の第２実施例に係る走査型顕微鏡の光学
系の構成図である。

【図７】第２実施例の変形例に係る走査型顕微鏡の光学
系の構成図である。

【図８】本発明の第３実施例に係る走査型顕微鏡の光学
系の構成図である。

【図９】本発明の第４実施例に係る走査型顕微鏡の光学
系の構成図である。

【図１０】従来より在る走査型顕微鏡の光学系の構成
図。

【符号の説明】

１…レーザ光源、６…第１の偏向器、９…第２の偏向
器、１０，２９ａ，２９ｂ，３７，３８…瞳投影レン
ズ、１１…結像レンズ、１２…対物レンズ、１３…観察
試料、２１…スキャンユニット、２２…顕微鏡、２３，
４０，４３…ターレット機構、２８ａ…紫外用瞳投影レ
ンズ、２８ｂ…可視光用瞳投影レンズ、４２ａ…紫外用
結像レンズ、４２ｂ…可視光用結像レンズ、４５，４６
…紫外用瞳伝送レンズ、４７，４８…可視光用瞳伝送レ
ンズ。

Claims (3)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 光源からの照明光を被観察面に集光させ
   るための瞳投影レンズを備えた走査型顕微鏡において、 前記瞳投影レンズは、互いに波長域が異なる複数種類の
   照明光に対応した数だけ設けられ、それぞれ対応する波
   長域の収差補正が施され、かつ光路近傍に設けられたレ
   ンズ切換部材にそれぞれ装填されて選択的に光路上に配
   置されることを特徴とする走査型顕微鏡。
2. 【請求項２】 光源からの照明光を被観察面に集光させ
   るための瞳投影レンズ及び結像レンズを備えた走査型顕
   微鏡において、 前記瞳投影レンズ及び結像レンズは、互いに波長域が異
   なる複数種類の照明光に対応した数だけ設けられ、それ
   ぞれ対応する波長域の収差補正が施され、かつ光路近傍
   に設けられた各レンズ切換部材にそれぞれ装填されて選
   択的に光路上に配置されることを特徴とする走査型顕微
   鏡。
3. 【請求項３】 光源からの照明光を第１の光偏向器に入
   射し、その第１の光偏向器で偏向させた照明光を瞳伝送
   レンズを通して第２光偏向器に入射し、その第２光偏向
   器で偏向させた照明光を瞳投影レンズ，結像レンズ及び
   対物レンズを通して被観察面に集光させる走査型顕微鏡
   において、 前記瞳伝送レンズ，前記瞳投影レンズ及び前記結像レン
   ズは、互いに波長域が異なる複数種類の照明光に対応し
   た数だけ設けられ、それぞれ対応する波長域の収差補正
   が施され、かつ光路近傍に設けられた各レンズ切換部材
   にそれぞれ装填されて選択的に光路上に配置されること
   を特徴とする走査型顕微鏡。