JP3315037B2 - 空気調和装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、循環系のクリーン
エアに対して温度調節と湿度調節と不純物除去を同時に
行い得る空気調和装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】近年、６４Ｍ ＤＲＡＭの量産体制に入
った以降の半導体メモリーの製造工程では、クリーンル
ーム空気中に含まれる微量な粒子やガス（ＮＨ₃ ，Ｃｌ
₂ ，ＳＯ₂ ，ＨＦ等）などの不純物が生産に非常に大き
な影響を与えることが明らかになっている。これら不純
物は、外気に含まれている場合もあるし、クリーンルー
ム内での半導体製造プロセスにおいて発生するものもあ
る。

【０００３】現在、この対策のために、クリーンルーム
に導入される前に外気から前記不純物を除去する不純物
除去装置（以下、これを外気系の不純物除去装置とい
う）や、クリーンルーム内に設置してクリーンルームを
循環する空気から前記不純物を除去する不純物除去装置
（以下、これを循環空気系の不純物除去装置という）な
どの研究開発が行われている。

【０００４】外気系の不純物除去装置としては、導入外
気に水を噴霧して気液接触させ、外気に含まれる粒子や
ガス状の不純物を噴霧された水によって捕獲する所謂エ
アワッシャタイプのもの（例えば特開平６−１９３９１
１号公報）が多用されている。

【０００５】このエアワッシャタイプの不純物除去装置
は処理空気に湿度上昇を伴うため、循環空気系の不純物
除去装置には不向きである。というのは、クリーンルー
ムを循環する空気は、温度を２３±０．５゜Ｃに、相対
湿度を４５±５％程度に制御する必要があるからであ
る。

【０００６】一方、特開平６−１９８１２３号公報に開
示されているようなケミカルフィルタは、イオン交換繊
維や活性炭等の吸着部材を備え、この吸着部材で空気中
の粒子やガス状の不純物を化学吸着あるいは物理吸着し
て除去するものであり、このケミカルフィルタは処理空
気の湿度上昇を伴わないので、循環空気系の不純物除去
装置に好適である。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、循環空
気系に好適とされる前記ケミカルフィルタは、除去容量
に限りがあるので吸着部材を定期的に再生あるいは交換
しなければならず、そのメンテナンスが面倒であった。
また、吸着部材が大変に高価なためランニングコストが
高くなるという不利点もあった。

【０００８】さらに、ケミカルフィルタはイニシャルコ
ストも高く、半導体製造クリーンルームの建設費高騰の
一因になっていた。

【０００９】本発明はこのような従来の技術の問題点に
鑑みてなされたものであり、循環系クリーンエアから不
純物を除去でき、温度調節機能と湿度調節機能を併有
し、構造が簡単で、メンテナンスも容易にでき、安価な
空気調和装置を提供することを目的とする。

【００１０】

【課題を解決するための手段】本発明は前記課題を解決
するために、以下の手段を採用した。すなわち、本発明
の空気調和装置は、クリーンエアの循環経路内に設置さ
れ、内部を熱媒体が流れるジャケットを有し、ジャケッ
トを介してクリーンエアと熱媒体との間で熱交換が行わ
れる熱交換器と、前記熱交換器のジャケットの表面に純
水を供給してジャケットの表面に下降流の純水の水膜を
形成してクリーンエアに含まれる粒子やガス状の不純物
を捕獲する純水滴下装置とを有する。循環経路には外気
を導入する外調機を備え、この外調機が外気を所定の温
度に調整する温度制御手段及び外気を所定湿度範囲に調
整する湿度制御手段を備え、調温調湿された外気を循環
経路に補給することが好ましい。この発明の空気調和装
置は、好ましくは半導体製造に用いられるクリーンルー
ムにクリーンエアを循環させる場合に用いられる。その
場合、前述した循環経路にはその構成要素としてクリー
ンルームが含まれる。

【００１１】この空気調和装置では、熱交換器のジャケ
ット表面に形成された純水の水膜と熱交換器とがクリー
ンエアの温度調節と湿度調節を行い、また、ジャケット
の表面の純水の水膜がクリーンエアに含まれる粒子やガ
ス状の不純物を捕獲しクリーンエアから除去する。

【００１２】前記熱交換器のジャケットは、横断面円形
の直管状のコイルで構成することが可能である。更に、
ジャケットはフィンを備えていてもよく、このフィンに
も水膜を形成するようにしてもよい。

【００１３】ただし、ジャケットの構成はこれに限るも
のではなく、ジャケットの表面に純水の水膜を形成する
ことができ、水膜の下降流を形成することができれば、
どのような形状であってもよいし、どのような姿勢に設
置してもよい。また、水膜はジャケットの全表面に形成
するのが好ましいが、ジャケットの一部だけに水膜を形
成した場合にも本発明は成立する。

【００１４】熱交換器の熱媒体には水を用いることもで
きるし、他の流体を用いることもできる。純水滴下装置
から熱交換器のジャケットへの純水の供給方法は、ジャ
ケットの上方から滴下するのが好ましい。このようにす
ると、ジャケットの表面へのみ純水を供給することがで
き、クリーンエアの湿度上昇を極力抑えることができ
る。

【００１５】本発明の空気調和装置は、クリーンエアの
循環経路内に設置され、内部を熱媒体が流れるジャケッ
トを有し、ジャケットを介してクリーンエアと熱媒体と
の間で熱交換が行われる熱交換器と、熱交換器のジャケ
ットの表面に純水を供給してジャケットの表面に下降流
の純水の水膜を形成する純水滴下装置と、循環経路内に
おける熱交換器の下流に設けられてクリーンエアの湿度
を検出する湿度検出手段と、この湿度検出手段の検出値
に基づいて熱交換器に供給する熱媒体の温度を制御して
熱交換器のジャケット表面に形成される水膜による加湿
作用を相殺する熱媒体温度制御手段と、循環経路内にお
ける熱交換器の下流に設けられてクリーンエアの温度を
検出する温度検出手段と、この温度検出手段の検出値に
基づいて熱交換器に供給する熱媒体の供給量を制御して
クリーンエアの温度を一定に保つようにする熱媒体供給
量制御手段とを備える。

【００１６】このようにすると、クリーンエアに対する
調温と調湿をバランスよく効率的に行うことができる。
前記湿度検出手段は例えば露点センサで構成することが
できる。

【００１７】

【発明の実施の形態】以下、本発明に係る空気調和装置
の実施の形態を図１から図６の図面に基いて説明する。

【００１８】〔第１の実施の形態〕初めに、図１から図
５を参照して本発明の空気調和装置の第１の実施の形態
を説明する。

【００１９】図１は半導体製造棟の縦断面図であり、ク
リーンルーム１には上部リターンプレナムチャンバ５か
らファンフィルタユニット２を通してクリーンエアが供
給されており、クリーンエアはクリーンルーム１から下
部リターンプレナムチャンバ３を通り、リターンシャフ
ト４を通り、再び上部リターンプレナムチャンバ５及び
ファンフィルタユニット２を通ってクリーンルーム１に
戻るようになっている。即ち、クリーンルーム１と下部
リターンプレナムチャンバ３とリターンシャフト４と上
部リターンプレナムチャンバ５はクリーンエアの循環経
路を構成している。

【００２０】また、下部リターンプレナムチャンバ３に
は外調機６を通って外気が導入されるようになってい
る。外調機６は、外気から粒子やガス状の不純物を除去
するフィルタと、空気を所定の温度範囲に調節する温度
制御手段と、空気を所定の湿度範囲に調節する湿度制御
手段（いずれも図示せず）を備えており、調温調湿され
不純物を除去されたクリーンエアを下部リターンプレナ
ムチャンバ３に補給する。

【００２１】下部リターンプレナムチャンバ３とリター
ンシャフト４との間には熱交換器７が設置されており、
下部リターンプレナムチャンバ３からリターンシャフト
４へ流通するクリーンエアはその全量がこの熱交換器７
を通過するようになっている。

【００２２】この熱交換器７は、図３から図５に示すよ
うに、水入口ヘッダ７ａと水出口ヘッダ７ｂを複数のコ
イル（ジャケット）７ｃで接続し、コイル７ｃ間に多数
の平板状のフィン７ｄを架設して構成されている。コイ
ル７ｃは平面的に見ると図５に示すように蛇行してい
る。

【００２３】この熱交換器７においては、熱媒体として
の水（以下、熱交換水と称す）が水入口ヘッダ７ａから
コイル７ｃを通って水出口ヘッダ７ｂに流れ、コイル７
ｃの周囲を流れるクリーンエアとコイル７ｃの内部を流
れる熱交換水とがコイル７ｃ及びフィン７ｄを介して熱
交換する。

【００２４】この熱交換器７の構造は、従来からクリー
ンルームにおいては顕熱の除去専用に用いられている結
露防止型の熱交換器（コイルの表面温度をクリーンルー
ム室内の露点より高くして、コイルの表面に凝縮水を生
じさせないようにして用いる熱交換器）と同じである。

【００２５】この熱交換器７には、熱交換水をコイル７
ｃ内に供給する熱交換水供給装置１０が接続されてい
る。熱交換水供給装置１０は、熱交換水を熱交換器７に
圧送する熱交換水循環ポンプ１１を備えており、熱交換
水循環ポンプ１１から圧送された熱交換水の一部は熱交
換器７を通って熱交換水循環ポンプ１１に戻り、他は熱
交換器７をバイパスして熱交換水循環ポンプ１１に戻る
ように構成されている。

【００２６】詳述すると、熱交換水循環ポンプ１１から
流路２１に圧送された熱交換水の一部は、熱交換器７の
水入口ヘッダ７ａからコイル７ｃを流通し、水出口ヘッ
ダ７ｂから流路２２を通り、第１制御弁１２、流路２
３、常時開の手動弁１３、流路２４を通って熱交換水循
環ポンプ１１の吸い込み側に戻る。

【００２７】熱交換水循環ポンプ１１から流路２１に圧
送された残りの熱交換水は、流路２１から分岐するバイ
パス流路２５を通り、第１制御弁１２を介して流路２３
に流れ込み、熱交換器７を流通した熱交換水と合流し
て、常時開の手動弁１３、流路２４を通り熱交換水循環
ポンプ１１の吸い込み側に戻る。

【００２８】前記第１制御弁１２は３つのポートを備え
た三方弁で構成されており、第１入口ポートが流路２２
に接続され、第２入口ポートがバイパス流路２５に接続
され、出口ポートが流路２３に接続されていて、弁体
（図示せず）のポジションを調節することにより第１入
口ポートと第２入口ポートから流入する熱交換水の流入
量比を調節する制御弁である。

【００２９】熱交換水循環ポンプ１１と手動弁１３とを
結ぶ流路２４には、流路２６が接続されており、この流
路２６を介して、一定温度（５〜８°Ｃ程度）に制御さ
れた補給水を流路２４に補給することができるようにな
っている。

【００３０】第１制御弁１２と手動弁１３とを結ぶ流路
２３には流路２７が接続されており、この流路２７を介
して、前記流路２６からの補給により余剰となった熱交
換水を流路２３から流出させることができるようになっ
ている。

【００３１】流路２７の途中には第２制御弁１４が設け
られており、この第２制御弁１４は、その開度調節によ
り流路２７を流れる熱交換水の流量を調節し、結果的に
流路２６から流路２４に補給される補給水の流量を調節
する制御弁である。

【００３２】前記第１制御弁１２と第２制御弁１４は、
熱交換器１０の下流のリターンシャフト４内に設置され
た温度センサ（温度検出手段）３０あるいは露点センサ
（湿度検出手段）３２の検出値に基いて自動制御される
ように構成されている。

【００３３】詳述すると、温度センサ３０は熱交換器７
で処理されたクリーンエアの温度を検出し、この検出信
号が温度指示調節計３１に伝送され、検出信号に基づい
て温度指示調節計３１が第１制御弁１２の弁体のポジシ
ョンを決定して、第１制御弁１２の弁体ポジション調節
を行う。

【００３４】また、露点センサ３２は熱交換器７で処理
されたクリーンエアの露点を検出し、この検出信号が露
点指示調節計３３に伝送され、検出信号に基づいて露点
指示調節計３３が第２制御弁１４の開度を決定して、第
２制御弁１４の開度調節を行う。

【００３５】熱交換器７のコイル７ｃには純水滴下装置
（純水供給装置）４０によって純水が滴下されるように
なっている。純水滴下装置４０は、熱交換器７の上方に
設置された滴下槽４１と、熱交換器７の下方に設置され
た集水槽４２と、集水槽４２内の純水を滴下槽４１にポ
ンプアップする純水ポンプ４３と、純水から塵埃等を除
去するフィルタ４４とを備えている。

【００３６】図２に示すように、滴下槽４１の底部には
多数の孔４５が設けられている。孔４５の寸法、数、穿
孔位置については、滴下槽４１内の純水を各孔４５を通
して最上段のコイル７ｃの頂面に滴下することができ、
且つ全てのコイル７ｃのほぼ全外表面に下降流の水膜を
形成することができるように設定されている。

【００３７】この純水滴下装置４０において、滴下槽４
１に貯留された純水は孔４５から熱交換器７の最上段の
コイル７ｃに滴下され、最上段のコイル７ｃの外表面を
水膜となって下降し、さらに最上段のコイル７ｃからす
ぐ下段のコイル７ｃの頂面に滴下され、同様にして順次
下段のコイル７ｃの外表面を伝って流れ落ち、最終的に
集水槽４２に落下し、純水ポンプ４３でポンプアップさ
れ、流路４７及びフィルタ４４を通って滴下槽４１に戻
る。

【００３８】また、純水滴下装置４０は、集水槽４２内
の純水の純度を一定に保つために、純水製造プラント
（図示せず）から純度の高い純水を集水槽４２に補給す
るための流路４８と、集水槽４２内の純水を純水製造プ
ラントに原水として送給するための流路４９及び返送ポ
ンプ４６を装備している。

【００３９】尚、この実施の形態では、温度指示調節計
３１と第１制御弁１２が熱媒体供給量制御手段を構成
し、露点指示調節計３３と第２制御弁１４が熱媒体温度
制御手段を構成している。

【００４０】次に、この空気調和装置の作用を説明す
る。前述したように、クリーンエアはクリーンルーム１
→下部リターンプレナムチャンバ３→リターンシャフト
４→上部リターンプレナムチャンバ５→クリーンルーム
１の順に循環している。

【００４１】今、クリーンルーム１内での半導体メモリ
ー製造プロセスにおいて粒子やガス状の不純物が発生
し、この不純物がクリーンルーム１内に拡散し、クリー
ンエアとともに流れる場合を想定する。

【００４２】クリーンエアは前記循環経路の途中におい
て熱交換器７を通過する。その際に、クリーンエアとコ
イル７ｃの内部を流れる熱交換水はコイル７ｃ及びフィ
ン７ｄを介して熱交換を行い、クリーンエアは設定温度
に調温される。

【００４３】また、熱交換器７のコイル７ｃの外表面に
は純水の水膜が形成されているので、この水膜に接触し
たクリーンエアは若干加湿される。さらに、前記純水の
水膜とクリーンエアの気液接触により、クリーンエアに
含まれる粒子やガス状の不純物が水膜に捕獲され、ある
いは溶解し、水膜とともにコイル７ｃを流れ落ちて集水
槽４２に落下する。これによって、クリーンエアから粒
子やガス状の不純物が除去される。

【００４４】集水槽４２内には前記不純物を含んだ純水
が貯留されることになるが、集水槽４２内の純水の一部
は流路４９及び純水返送ポンプ４６により純水製造プラ
ントに送られて処理され、これと同時に流路４８から純
度の高い純水が集水槽４２に補給されるので、集水槽４
２内の純水の純度は所定の純度範囲に保たれる。

【００４５】また、この空気調和装置では、熱交換器７
のコイル７ｃ内を流れる熱交換水の温度を、熱交換器７
を通過した後のクリーンエアの露点に基いて変化させる
とともに、熱交換水７のコイル７ｃ内を流れる熱交換水
の流量を、熱交換器７を通過した後のクリーンエアの温
度に基いて変化させるようになっており、これによって
熱交換器７の交換容量、コイル７ｃの表面温度、及びコ
イル７ｃの表面に形成される純水の水膜の温度を制御す
る。

【００４６】つまり、コイル７ｃ表面に純水の水膜を形
成したことによるクリーンエアに対する加湿作用を、コ
イル７ｃ内を流れる熱交換水の温度を変えることで相殺
するように制御する。これはミクロ的に言えば、コイル
７ｃの表面で除湿作用が起こり、この除湿分をコイル７
ｃの表面を流れる純水からの気化で補うようにするので
ある。

【００４７】この実施の形態における具体的な制御方法
は次のとおりである。露点センサ３２によりクリーンエ
アの露点の上昇が検出された時には、第２制御弁１４の
開度を大きくするように動作させて熱交換水供給装置１
０に補給する熱交換水の補給量を多くして熱交換水の温
度を下げ、コイル７ｃの表面温度を露点よりも下げて除
湿作用を強くする。

【００４８】これとは逆に、露点センサ３２によりクリ
ーンエアの露点の下降が検出された時には、第２制御弁
１４の開度を小さくするように動作させて熱交換水供給
装置１０に補給する熱交換水の補給量を少なくすると、
結果的にクリーンルーム内に設置されている各種熱源に
より熱交換水の温度が上昇し、コイル７ｃの表面温度が
露点よりも上って加湿作用が強くなる。

【００４９】また、温度センサ３０により検出されたク
リーンエアの温度に基づいて、第１制御弁１２の弁体ポ
ジションを自動制御し、コイル７ｃを流れる熱交換水の
流量を変化させて、クリーンエアの温度を一定に保つ。

【００５０】このようにして、クリーンエアの温度調節
と湿度調節のバランスをとっているので、クリーンルー
ム内の温度と湿度を一定に保つことができる。また、夏
季における加湿のし過ぎを防止することができる。

【００５１】〔第２の実施の形態〕前述の第１の実施の
形態では熱交換器７のコイル７ｃの表面にだけ純水の水
膜を形成するようにしたが、第２の実施の形態では、熱
交換器７のフィン７ｄにも純水の水膜を形成する。

【００５２】そのためには、純水滴下装置４０の滴下槽
４１に、各フィン７ｄの上端にも純水を滴下できるよう
に孔４５を設ける。このようにすると、純水の水膜の表
面積を大きくすることができ、クリーンエアからの不純
物除去効率を上げることができる。

【００５３】〔第３の実施の形態〕次に、図６を参照し
て本発明の空気調和装置の第３の実施の形態を説明す
る。第３の実施の形態の空気調和装置と第１の実施の形
態のものとの相違点は、熱交換器が３系列ある点と、
３系列の熱交換器７Ａ，７Ｂ，７Ｃに熱交換水を供給
する熱交換水供給装置１０の構成だけであり、その他の
構成は第１の実施の形態と同じである。

【００５４】図６に示すように、第３の実施の形態の空
気調和装置における熱交換水供給装置１０では、熱交換
水循環ポンプ１８から流路２１に圧送された熱交換水は
各熱交換器７Ａ，７Ｂ，７Ｃの水入口ヘッダ（図示せ
ず）に供給され、各熱交換器７Ａ，７Ｂ，７Ｃの水出口
ヘッダ（図示せず）から流路２２，２４を通って熱交換
水循環ポンプ１８の吸い込み側に戻るようになってお
り、流路２４には流路２６を介して熱交換水を補給で
き、流路２２から流路２７を介して熱交換水を流路２２
から流出させることができるようになっている。尚、図
６において符号１９は開閉弁である。

【００５５】流路２７には第１の実施の形態のものと同
じように純水の補給水量を制御する第２制御弁１４が設
けられている。熱交換水循環ポンプ１８の駆動モータ
（図示せず）はモータ回転数を可変にするインバータを
装備しており、この駆動モータの回転数を温度センサ３
０の検出値に基づき温度指示調節計３１を介して制御
し、熱交換水の流量を自動制御している。つまり、第３
の実施の形態では温度指示調節計３１と熱交換水循環ポ
ンプ１８が熱媒体供給量制御手段を構成する。

【００５６】第３の実施の形態の空気調和装置における
作用は第１の実施の形態の場合と同じであるので説明は
省略する。

【００５７】

【発明の効果】以上説明したように、本発明の空気調和
装置によれば、クリーンエアの循環経路内に熱交換器を
設置し、この熱交換器のジャケット表面に純水滴下装置
により純水の水膜を形成してクリーンエアに含まれる粒
子やガス状の不純物を捕獲すると共に、所定の温度及び
湿度に調整された外気を外調機により循環経路に導入し
て補給すると、クリーンエアに対して温度調節と湿度調
節と不純物除去を同時に行うことができるという優れた
効果が奏される。

【００５８】しかも、本発明の空気調和装置は、このよ
うな機能を備えながら、構造が簡単で、メンテナンスも
容易で、低コストである。

【００５９】また、本発明の空気調和装置では、クリー
ンエアの循環経路内に熱交換器を設置し、この熱交換器
のジャケット表面に純水滴下装置により純水の水膜を形
成すると共に、クリーンエアの循環経路内に湿度検出手
段と温度検出手段を設け、湿度検出手段の検出値に基づ
き実質的に熱媒体の補給量を調整して熱交換器に供給す
る熱媒体の温度を制御し、熱交換器の表面に形成される
水膜による加湿作用を相殺すると同時に、温度検出手段
の検出値に基づき実質的に熱交換器に供給する熱媒体の
供給量を調整してクリーンエアの温度を一定に保つよう
にしたことにより、クリーンエアの温度と湿度の調節を
バランスよく効率的に行うことが極めて簡単な構造で行
えるという優れた効果を奏する。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明の空気調和装置の第１の実施の形態に
おける概略構成図である。

【図２】 本発明の空気調和装置の第１の実施の形態に
おける純水滴下装置の要部拡大図である。

【図３】 本発明の空気調和装置の第１の実施の形態に
おける熱交換器の正面図である。

【図４】 本発明の空気調和装置の第１の実施の形態に
おける熱交換器の右側面図である。

【図５】 本発明の空気調和装置の第１の実施の形態に
おける熱交換器の平面図である。

【図６】 本発明の空気調和装置の第３の実施の形態に
おける熱交換水供給装置の概略構成図である

【符号の説明】

１ クリーンルーム（クリーンエアの循環経路） ３ 下部リターンプレナムチャンバ（クリーンエアの循
環経路） ４ リターンシャフト（クリーンエアの循環経路） ５ 上部リターンプレナムチャンバ（クリーンエアの循
環経路） ７ 熱交換器 ７ｃ コイル（ジャケット） １２ 第１制御弁（熱媒体供給量制御手段） １４ 第２制御弁（熱媒体温度制御手段） １８ 熱交換水循環ポンプ（熱媒体供給量制御手段） ３０ 温度センサ（温度検出手段） ３１ 温度指示調節計（熱媒体供給量制御手段） ３２ 露点センサ（湿度検出手段） ３３ 露点指示調節計（熱媒体温度制御手段） ４０ 純水滴下装置（純水供給装置）

フロントページの続き (56)参考文献 特開 平２−57844（ＪＰ，Ａ) 特開 平４−3828（ＪＰ，Ａ) 特開 平５−44959（ＪＰ，Ａ) 特開 平６−193911（ＪＰ，Ａ) 特開 平５−288365（ＪＰ，Ａ) 特開 平５−39932（ＪＰ，Ａ) 特開 昭59−112139（ＪＰ，Ａ) 特開 平４−166207（ＪＰ，Ａ) 特開 平５−146627（ＪＰ，Ａ) 特開 平７−83463（ＪＰ，Ａ) 特開 平６−198123（ＪＰ，Ａ) 実開 昭62−124420（ＪＰ，Ｕ) (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) F24F 3/14 F24F 3/16 F24F 11/02 F24F 6/00

Claims (2)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 クリーンエアの循環経路内に設置され、
   内部を熱媒体が流れるジャケットを有し、ジャケットを
   介してクリーンエアと熱媒体との間で熱交換が行われる
   熱交換器と、 前記熱交換器のジャケットの表面に純水を供給してジャ
   ケットの表面に下降流の純水の水膜を形成する純水滴下
   装置と、 前記循環経路内における前記熱交換器の下流に設けられ
   てクリーンエアの湿度を検出する湿度検出手段と、 この湿度検出手段の検出値に基づいて前記熱交換器に供
   給する熱媒体の温度を制御して前記熱交換器の前記ジャ
   ケット表面に形成される水膜による加湿作用を相殺する
   熱媒体温度制御手段と、 前記循環経路内における前記熱交換器の下流に設けられ
   てクリーンエアの温度を検出する温度検出手段と、 この温度検出手段の検出値に基づいて前記熱交換器に供
   給する熱媒体の供給量を制御してクリーンエアの温度を
   一定に保つようにする熱媒体供給量制御手段と、 を備えていることを特徴とする空気調和装置。
2. 【請求項２】 前記湿度検出手段が露点センサで構成さ
   れていることを特徴とする請求項１に記載の空気調和装
   置。