JP3309832B2 - 電子部品の接続構造及び接続方法 - Google Patents

電子部品の接続構造及び接続方法

Info

Publication number
JP3309832B2
JP3309832B2 JP18847499A JP18847499A JP3309832B2 JP 3309832 B2 JP3309832 B2 JP 3309832B2 JP 18847499 A JP18847499 A JP 18847499A JP 18847499 A JP18847499 A JP 18847499A JP 3309832 B2 JP3309832 B2 JP 3309832B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
component
components
bumps
bump
adhesive layer
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP18847499A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2001015641A (ja
Inventor
雄二 野田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
NEC Corp
Original Assignee
NEC Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by NEC Corp filed Critical NEC Corp
Priority to JP18847499A priority Critical patent/JP3309832B2/ja
Publication of JP2001015641A publication Critical patent/JP2001015641A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP3309832B2 publication Critical patent/JP3309832B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/10Bump connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/15Structure, shape, material or disposition of the bump connectors after the connecting process
    • H01L2224/16Structure, shape, material or disposition of the bump connectors after the connecting process of an individual bump connector
    • H01L2224/161Disposition
    • H01L2224/16151Disposition the bump connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive
    • H01L2224/16221Disposition the bump connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked
    • H01L2224/16225Disposition the bump connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being non-metallic, e.g. insulating substrate with or without metallisation
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/26Layer connectors, e.g. plate connectors, solder or adhesive layers; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/31Structure, shape, material or disposition of the layer connectors after the connecting process
    • H01L2224/32Structure, shape, material or disposition of the layer connectors after the connecting process of an individual layer connector
    • H01L2224/321Disposition
    • H01L2224/32151Disposition the layer connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive
    • H01L2224/32221Disposition the layer connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked
    • H01L2224/32225Disposition the layer connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being non-metallic, e.g. insulating substrate with or without metallisation
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/73Means for bonding being of different types provided for in two or more of groups H01L2224/10, H01L2224/18, H01L2224/26, H01L2224/34, H01L2224/42, H01L2224/50, H01L2224/63, H01L2224/71
    • H01L2224/732Location after the connecting process
    • H01L2224/73201Location after the connecting process on the same surface
    • H01L2224/73203Bump and layer connectors
    • H01L2224/73204Bump and layer connectors the bump connector being embedded into the layer connector
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/91Methods for connecting semiconductor or solid state bodies including different methods provided for in two or more of groups H01L2224/80 - H01L2224/90
    • H01L2224/92Specific sequence of method steps
    • H01L2224/921Connecting a surface with connectors of different types
    • H01L2224/9212Sequential connecting processes
    • H01L2224/92122Sequential connecting processes the first connecting process involving a bump connector
    • H01L2224/92125Sequential connecting processes the first connecting process involving a bump connector the second connecting process involving a layer connector

Landscapes

  • Wire Bonding (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、電子部品の接続構
造及び接続方法に関し、特に、ハンダバンプを用いてプ
リント配線板と搭載部品とを接合する電子部品に用いて
好適とされる電子部品の接続構造及び接続方法に関す
る。
【0002】
【従来の技術】従来の電子部品の接続構造について、図
5及び図6を参照して説明する。図5は、半導体装置用
のパッケージの一種であるCSP(Chip Size Packag
e)をプリント配線板上に実装した従来の電子部品の上
面図を示し、図6は、図5のB―B線における断面図で
あり、(a)はアンダーフィル充填前の状態を、(b)
はアンダーフィル充填後の状態を示している。
【0003】図6(a)に示すように、従来はCSP2
0側に所定のハンダバンプ14を形成し、CSP20等
の搭載部品を対向させて配置し、両者を加圧、加熱する
ことにより電気的及び機械的に接合していた。しかしな
がら、従来の方法では、次のような問題が生じる。
【0004】すなわち、接合した電子部品に温度サイク
ル試験を実施した場合に、プリント配線板18とCSP
20の熱膨張係数の差により応力が発生し、機械的強度
が弱いハンダバンプ14にクラックが生じ、電気的導通
が得られなくなるという問題が発生していた。また、落
下試験によりCSP20がプリント配線板18から脱落
してしまうという問題があった。
【0005】上記の問題点を回避するために、図6
(b)に示すように、CSP20とプリント配線板18
との間隙に、アンダーフィル21としてエポキシ系の樹
脂を充填するという方法が用いられる。この方法によれ
ば、温度サイクルによる熱応力がハンダバンプ14に集
中することを防止することができ、従って、ハンダバン
プ14にクラックが発生するという問題を回避すること
ができる。また、CSP20の底面のインターポーザ1
2とプリント配線板18との間にアンダーフィル21を
注入して接着することにより、両者の機械的接続強度を
増すことができ、落下試験によりCSP20がプリント
配線板18から脱落することを防ぐことができる。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
たCSP20とプリント配線板18との間にアンダーフ
ィル21を注入する方法には、注入作業に関し以下に示
す問題がある。
【0007】第1の問題点は、CSP20底面とプリン
ト配線板18との間隙が、通常、1mm以下と狭く、さ
らに、ハンダバンプ14の隙間からアンダーフィル21
を注入しなければならないために、作業性が悪いという
ことである。また、第2の問題点は、アンダーフィル2
1の硬化には、通常、100〜160℃程度の高温雰囲
気で数10〜120分程度の加熱処理を行う必要がある
が、その高温処理のためには高温槽等の設備が必要とな
り、さらに工程の増加により生産リードタイムが長くな
ってしまうことである。
【0008】本発明は、上記問題点に鑑みてなされたも
のであって、その主たる目的は、プリント配線板とその
上に搭載する部品とを接続するハンダバンプに温度サイ
クルによるクラックが発生することを防止し、プリント
配線板と搭載部品とを確実に接続、保持することができ
る電子部品の接続構造及び接続方法を提供することにあ
る。
【0009】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明は、バンプを介して互いに接合されて電子部
品を構成する複数の部品であって、前記複数の部品のう
ち、少なくとも一の部品のバンプ接合面の、前記バンプ
が配置される部分以外の所定の領域に、フィルム状の接
着剤層が形成されているもの(但し、製造過程において
バンプが封止用樹脂の溶融物と接触したもの、及び前記
所定の領域に絶縁体の障壁が配置されているものをそれ
ぞれ除く)である。
【0010】また、本発明は、第2の視点において、電
子部品の接続方法を提供する。該接続方法は、複数の部
品をバンプを介して互いに接続する電子部品の接続方法
において、前記複数の部品のうち、少なくとも一の部品
(但し、バンプ接合面の、バンプが配置される部分以外
の領域に絶縁体の障壁が配置されているものを除く)
バンプ接合面には、前記バンプが配置される部分以外の
領域に所定の厚さの接着剤層を形成し、前記複数の部品
を対向して接触させた状態で加熱することによって、前
記バンプ(但し、封止用樹脂の溶融物と接触したものを
除く)により前記複数の部品を電気的に接続すると同時
に、前記接着剤層により前記複数の部品を機械的に接続
するものである。
【0011】
【発明の実施の形態】本発明に係る電子部品の接続構造
は、その好ましい一実施の形態において、ハンダバンプ
(図1の14)を介して互いに接合されて電子部品を構
成するCSP等の部品のバンプ接合面に、所定の高さの
ハンダバンプが配列され、ハンダバンプが配置される部
分以外の領域に、ハンダバンプよりやや低くなる厚さに
設定されたフィルム状の接着剤(図1の15)が形成さ
れ、この部品をプリント配線板等に対向して設置し、加
熱することによって、ハンダバンプが溶融して両部品を
電気的に接続すると共に、接着剤がプリント配線板に密
着して両部品を機械的に接続する。
【0012】
【実施例】上記した本発明の実施の形態についてさらに
詳細に説明すべく、本発明の一実施例について図1乃至
図4を参照して以下に説明する。図1は、本発明の接続
構造を半導体装置のパッケージの1種であるCSPに適
用した例を示す図であり、(a)はCSPの裏面側から
見た上面図、(b)はその断面図である。また、図2及
び図3は、本発明の接続構造をプリント配線板側に適用
した例であり、図2は上面図を示し、図3は図2のプリ
ント配線板に部品を搭載する工程を模式的に示す工程断
面図である。また、図4は、本実施例の接続方法の一例
を示す上面図である。
【0013】まず、本発明に係る電子部品の接続構造を
プリント配線板に搭載する部品側に適用した実施例につ
いて説明する。図1に示すように、プリント配線板に接
合されるCSP20は、半導体チップ11の電極がイン
ターポーザ12を介して部品のランド13に電気的に接
続されており、部品のランド13上にはハンダバンプ1
4が形成されている。さらに、ハンダバンプ14の周囲
には、フィルム状の半硬化状態の接着剤15が仮固定さ
れている。この時、接着剤15とハンダバンプ14の高
さは、接着剤15よりもハンダバンプ14の方がやや高
くなるように設計している。
【0014】上述した図1に示す例は、プリント配線板
18に搭載する部品側にハンダバンプ14及び接着剤1
5を形成しているが、搭載部品側にハンダバンプ14の
みを形成し、プリント配線板18側に接着剤15を形成
することもできる。その場合の接続構造及び接続方法に
ついて、図2及び図3を参照して説明する。
【0015】まず、図3(a)に示すように、プリント
配線板18上の所定の位置に搭載する部品との接続箇所
となるプリント配線板のランド19を形成し、そのラン
ド19の周囲にフィルム状の接着剤15を仮固定する。
この状態を上面から見た様子を図2に示す。一方、図示
していないが、プリント配線板18に搭載するCSP2
0側にはインターポーザ12を介して部品のランド13
が形成されており、その部品のランド13には所定の形
状のハンダバンプ14が形成される。
【0016】このように形成したプリント配線板18と
CSP20とを、図3(b)に示すように、各々のラン
ド13及び19が対向するように配置する。ここで、プ
リント配線板18側に形成したフィルム状の接着剤15
とCSP20側に形成したハンダバンプ14の高さは、
ハンダバンプ14がプリント配線板のランド19と完全
に接合した状態で接着剤15がCSP20側のインター
ポーザ12と接続されるように設計する。
【0017】そして、図3(c)に示すように、CSP
20を搭載したプリント配線板18をリフロー装置によ
り加熱することにより、ハンダバンプ14が溶融してプ
リント配線板のランド19上に広がり、プリント配線板
18とCSP20とが接続される。ここで、プリント配
線板のランド19に溶融したハンダバンプ14が塗れ広
がることにより、CSP20が多少沈み込み、その結
果、CSP20の底面に設けたインターポーザ12がフ
ィルム状の接着剤15に接触し、CSP底面とプリント
配線板間にフィルム状接着剤が塗れ広がる。
【0018】この様な接着を実現するためには、フィル
ム状接着剤は、加熱時に粘度が低く流動性の良い熱硬化
性接着剤若しくは熱可逆性接着剤を使用する。熱ストレ
スの緩和及び部品の脱落防止のためには熱硬化性接着剤
を使用する。また、部品搭載後にリペア作業を実施する
場合は、熱可逆性接着剤を使用する。ただし、熱可塑性
接着剤を使用した場合は、熱ストレスの緩和特性が熱硬
化性接着剤と比較し多少悪くなる。
【0019】なお、プリント配線板のランド19の表面
は、プリフラックス処理することが好ましく、プリント
配線板のランド19の表面にクリームハンダを供給する
場合には、通常の電極の場合よりもクリームハンダの量
を少なくする。そうすることにより、プリント配線板1
8に搭載する部品の沈み込みによるフィルム状接着剤1
5の塗れ広がりを良くすることができる。
【0020】以上の工程により、CSP20とプリント
配線板18とをハンダバンプ14により電気的に接続す
ると同時に、接着剤15によりCSP20底面のインタ
ーポーザ12とプリント配線板18間の機械的な接続を
得ることが可能となる。なお、図示していないが、プリ
ント配線板18上の所定の位置にクリームハンダを供給
後、CSP20搭載時に他の部品も搭載することによ
り、本実施例の接続構造を有する部品と同時に、一般的
な接続構造の部品のハンダ付け作業も可能となる。
【0021】図3に示した方法は、部品のハンダバンプ
14による電気的接続と、接着剤15による部品底面と
プリント配線板間の機械的接続とを同時に行うものであ
るが、これは、ハンダバンプ14が溶融しプリント配線
板のランド19に塗れ広がり、部品の質量により部品が
多少沈み込んで、フィルム状接着剤15が部品底面とプ
リント配線板間の隙間に塗れ広がることによって実現し
ている。
【0022】しかし、部品が非常に軽くフィルム状の接
着剤15がインターポーザ12とプリント配線板18間
に塗れ広がらない場合には、何らかの方法で部品を押さ
えつける必要がある。その方法としては、図4に示すよ
うに、CSP20の上に重り16を粘着剤17により仮
固定する方法が考えられる。この様に、フィルム状接着
剤15が部品底面とプリント配線板18間に塗れ広がる
ような適切な重りを追加することにより、ハンダバンプ
14による電気的接続と同時に、接着剤15による機械
的接続を行うことが可能となる。なお、CSP20に仮
固定した重り16は、接着剤15が固化した後に取り除
かれる。
【0023】本実施例では、部品の電極が面全体に配置
されている場合について説明したが、本発明は上記実施
例に限定されるものではなく、例えば、部品の電極が周
辺にのみ配置されるような部品の場合には、接着剤の形
状を簡単にするために電極部を除いた中央部のみに四角
形の接着剤を供給することもでき、そのような構造でも
同様の効果が得られる。
【0024】また、本実施例では、搭載する部品として
CSPを用いた場合について説明したが、ベアチップに
本発明の接続構造を適用することも可能である。さら
に、誘電体フィルタやモジュールなどの大型部品をプリ
ント配線板にハンダ付け接続する際にも、部品の落下防
止対策として使用することができる。
【0025】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
下記記載の効果を奏する。
【0026】本発明の第1の効果は、CSP等における
部品搭載後の後工程として実施していたアンダーフィル
充填作業が不要となることである。この後工程として実
施していたアンダーフィル充填作業は、CSPとプリン
ト配線板間の1mm以下の間隙への充填作業であるため
に作業性が悪く、さらに、アンダーフィルの充填作業
後、100〜160℃程度の高温雰囲気にて硬化時間と
して数10〜120分程度が必要であったが、これらの
作業を不要とすることにより、作業性の改善、工程の短
縮及び高温槽等の設備を不要とすることができる。
【0027】本発明の第2の効果は、大型部品のプリン
ト配線板からの脱落を防止することができるということ
である。特に、携帯端末等の商品は、使用中に誤って落
下させることがあり、そのために人の高さ程度から落下
させても壊れないことが求められる。このような誘電体
フィルタやモジュールなどの大型部品をプリント配線板
上にハンダ付け接続した場合、これらの大型部品は落下
によりプリント配線板から脱落することがあるが、本発
明では、大型部品はプリント配線板に確実に接続されて
いるので、これらの大型部品の脱落を防止することがで
きる効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施例に係る電子部品の接続構造を
説明するための上面図及び側断面図である。
【図2】本発明の一実施例に係る電子部品の接続構造を
説明するための上面図である。
【図3】本発明の一実施例に係る電子部品の接続方法を
説明するための工程断面図である。
【図4】本発明の一実施例に係る電子部品の接続方法を
説明するための断面図である。
【図5】従来の電子部品の接続構造を説明するための上
面図である。
【図6】従来の電子部品の接続構造を説明するための断
面図である。
【符号の説明】
11 半導体チップ 12 インターポーザ 13 部品のランド 14 ハンダパンプ 15 接着剤 16 重り 17 粘着剤 18 プリント配線板 19 プリント配線板のランド 20 CSP 21 アンダーフィル

Claims (9)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】バンプを介して互いに接合されて電子部品
    を構成する複数の部品であって、 前記複数の部品のうち、少なくとも一の部品のバンプ接
    合面の、前記バンプが配置される部分以外の所定の領域
    に、フィルム状の接着剤層が形成されていることを特徴
    とする部品(但し、製造過程においてバンプが封止用樹
    脂の溶融物と接触したもの、及び前記所定の領域に絶縁
    体の障壁が配置されているものをそれぞれ除く)
  2. 【請求項2】バンプを介して互いに接合されて電子部品
    を構成する複数の部品であって、 前記複数の部品のうち、一の部品のバンプ接合面には所
    定の高さのバンプが配列され、前記バンプが配置される
    部分以外の領域には所定の厚さの接着剤層が形成されて
    いることを特徴とする部品(但し、製造過程においてバ
    ンプが封止用樹脂の溶融物と接触したもの、及び前記領
    域に絶縁体の障壁が配置されているものをそれぞれ除
    く)
  3. 【請求項3】バンプを介して互いに接合されて電子部品
    を構成する複数の部品であって、 前記複数の部品のうち、一の部品のバンプ接合面には所
    定の高さのバンプが配列され、他の部品のバンプ接合面
    には前記バンプが配置される部分以外の領域に所定の厚
    さの接着剤層が形成されていることを特徴とする部品
    (但し、製造過程においてバンプが封止用樹脂の溶融物
    と接触したもの、及び前記領域に絶縁体の障壁が配置さ
    れているものをそれぞれ除く)
  4. 【請求項4】前記接着剤層が、その厚さが前記バンプの
    高さより薄く設定されたフィルム状の接着剤よりなるこ
    とを特徴とする請求項2又は3に記載の部品。
  5. 【請求項5】複数の部品をバンプを介して互いに接続す
    る電子部品の接続方法において、 前記複数の部品のうち、少なくとも一の部品(但し、バ
    ンプ接合面の、バンプが配置される部分以外の領域に絶
    縁体の障壁が配置されているものを除く)のバンプ接合
    面には、前記バンプが配置される部分以外の領域に所定
    の厚さの接着剤層を形成し、前記複数の部品を対向して
    接触させた状態で加熱することによって、前記バンプ
    (但し、封止用樹脂の溶融物と接触したものを除く)
    より前記複数の部品を電気的に接続すると同時に、前記
    接着剤層により前記複数の部品を機械的に接続すること
    を特徴とする電子部品の接続方法。
  6. 【請求項6】複数の部品をバンプを介して互いに接続す
    る電子部品の接続方法において、 一の部品(但し、バンプ接合面の、バンプが配置される
    部分以外の領域に絶縁体の障壁が配置されているものを
    除く)のバンプ接合面に所定の高さのバンプを配列し、
    前記バンプが配置される部分以外の領域に所定の厚さの
    接着剤層を形成し、前記複数の部品を対向して接触させ
    た状態で加熱することによって、前記バンプ(但し、封
    止用樹脂の溶融物と接触したものを除く)により前記複
    数の部品を電気的に接続すると同時に、前記接着剤層に
    より前記複数の部品を機械的に接続することを特徴とす
    る電子部品の接続方法。
  7. 【請求項7】複数の部品をバンプを介して互いに接続す
    る電子部品の接続方法において、 一の部品のバンプ接合面に所定の高さのバンプを配列
    し、他の部品(但し、バンプ接合面の、バンプが配置さ
    れる部分以外の領域に絶縁体の障壁が配置されているも
    のを除く)のバンプ接合面の前記バンプが配置される部
    分以外の領域に所定の厚さの接着剤層を形成し、前記一
    の部品と前記他の部品とを対向して接触させた状態で加
    熱することによって、前記バンプ(但し、封止用樹脂の
    溶融物と接触したものを除く)により前記一の部品と前
    記他の部品とを電気的に接続すると同時に、前記接着剤
    層により前記一の部品と前記他の部品とを機械的に接続
    することを特徴とする電子部品の接続方法。
  8. 【請求項8】前記接着剤層が、その厚さが前記バンプの
    高さより薄く設定されたフィルム状の接着剤よりなり、 前記バンプの溶融により前記一の部品と前記他の部品と
    の間隔が小さくなるに従い、前記接着剤層が対向する部
    品に密着することを特徴とする請求項6又は7に記載の
    電子部品の接続方法。
  9. 【請求項9】前記一の部品と前記他の部品とを接合する
    に際し、前記バンプの溶融前に、一側の部品の接合面と
    反対側の面に所定の重さの重しを配置して荷重を加える
    ことにより、前記接着剤層を前記一の部品に密着させ、
    加熱後に前記重しを取り外すことを特徴とする請求項8
    記載の電子部品の接続方法。
JP18847499A 1999-07-02 1999-07-02 電子部品の接続構造及び接続方法 Expired - Fee Related JP3309832B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP18847499A JP3309832B2 (ja) 1999-07-02 1999-07-02 電子部品の接続構造及び接続方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP18847499A JP3309832B2 (ja) 1999-07-02 1999-07-02 電子部品の接続構造及び接続方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2001015641A JP2001015641A (ja) 2001-01-19
JP3309832B2 true JP3309832B2 (ja) 2002-07-29

Family

ID=16224367

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP18847499A Expired - Fee Related JP3309832B2 (ja) 1999-07-02 1999-07-02 電子部品の接続構造及び接続方法

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP3309832B2 (ja)

Families Citing this family (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20020014702A1 (en) 2000-03-10 2002-02-07 Nazir Ahmad Packaging structure and method
US6723927B1 (en) * 2000-08-24 2004-04-20 High Connection Density, Inc. High-reliability interposer for low cost and high reliability applications
US6650022B1 (en) * 2002-09-11 2003-11-18 Motorola, Inc. Semiconductor device exhibiting enhanced pattern recognition when illuminated in a machine vision system
JP4656311B2 (ja) * 2005-07-11 2011-03-23 セイコーエプソン株式会社 電子モジュール
JP4736948B2 (ja) * 2006-05-22 2011-07-27 株式会社デンソー 電子部品の実装方法
JP5420274B2 (ja) 2009-03-02 2014-02-19 パナソニック株式会社 半導体装置及びその製造方法
JP2011082318A (ja) * 2009-10-07 2011-04-21 Fujikura Ltd 回路基板

Also Published As

Publication number Publication date
JP2001015641A (ja) 2001-01-19

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US5994168A (en) Method of manufacturing semiconductor device
US9263426B2 (en) PoP structure with electrically insulating material between packages
JP4752586B2 (ja) 半導体装置の製造方法
JPH09326419A (ja) 半導体素子の実装方法
US6657313B1 (en) Dielectric interposer for chip to substrate soldering
JP2907188B2 (ja) 半導体装置、半導体装置の実装方法、および半導体装置の製造方法
JP3309832B2 (ja) 電子部品の接続構造及び接続方法
KR20020044577A (ko) 개선된 플립-칩 결합 패키지
JP2003100809A (ja) フリップチップ実装方法
JPH10270497A (ja) 半導体素子固定方法
JPH0997815A (ja) フリップチップ接合方法およびそれにより得られる半導体パッケージ
JP2000286302A (ja) 半導体チップ組立方法及び組立装置
JPH10112476A (ja) 半導体装置の製造方法
JPH0551179B2 (ja)
JP4324773B2 (ja) 半導体装置の製造方法
JPH11111755A (ja) 半導体装置の製造方法
JPH01226161A (ja) 半導体チップの接続方法
JP3763962B2 (ja) チップ部品のプリント配線基板への搭載方法
JP2000156386A (ja) 半導体装置の接続構造および接続方法ならびにそれを用いた半導体装置パッケージ
JP2000058597A (ja) 電子部品実装方法
JP2637684B2 (ja) 半導体装置の封止方法
JP2003332381A (ja) 電子部品の実装方法
JPH11340278A (ja) 半導体装置実装用樹脂シート及びフリップチップ実装方法並びに回路基板
JP2721790B2 (ja) 半導体装置の封止方法
JP3721986B2 (ja) 半導体装置及びその製造方法

Legal Events

Date Code Title Description
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20020423

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090524

Year of fee payment: 7

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100524

Year of fee payment: 8

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110524

Year of fee payment: 9

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110524

Year of fee payment: 9

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120524

Year of fee payment: 10

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120524

Year of fee payment: 10

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130524

Year of fee payment: 11

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140524

Year of fee payment: 12

S111 Request for change of ownership or part of ownership

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113

R350 Written notification of registration of transfer

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees