JP3309748B2 - 加速度センサ - Google Patents
加速度センサInfo
- Publication number
- JP3309748B2 JP3309748B2 JP34483796A JP34483796A JP3309748B2 JP 3309748 B2 JP3309748 B2 JP 3309748B2 JP 34483796 A JP34483796 A JP 34483796A JP 34483796 A JP34483796 A JP 34483796A JP 3309748 B2 JP3309748 B2 JP 3309748B2
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- JP
- Japan
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- acceleration sensor
- acceleration
- piezoelectric
- lead wire
- vibration
- Prior art date
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- Measurement Of Mechanical Vibrations Or Ultrasonic Waves (AREA)
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は一般の振動検知及び
加速度測定等に使用される加速度センサに関するもので
ある。
加速度測定等に使用される加速度センサに関するもので
ある。
【０００２】
【従来の技術】従来、この種の加速度センサは次のよう
な構成であった。すなわちチップ状の圧電セラミックの
表，裏面には電極が全面に施され、缶パッケージの二本
のリード線に固着し、その固着部をエポキシ樹脂で補強
し、片持梁状のたわみ振動子を形成させていた。このよ
うに構成された加速度センサは、その垂直方向に外部振
動が加わると、振動子の片持梁部がその振動を感知し、
外部振動の大きさに応じたたわみを生じ、圧電効果によ
りそのたわみの大きさに応じた電荷が発生し、リード線
を通じて出力電圧として取り出すものである。
な構成であった。すなわちチップ状の圧電セラミックの
表，裏面には電極が全面に施され、缶パッケージの二本
のリード線に固着し、その固着部をエポキシ樹脂で補強
し、片持梁状のたわみ振動子を形成させていた。このよ
うに構成された加速度センサは、その垂直方向に外部振
動が加わると、振動子の片持梁部がその振動を感知し、
外部振動の大きさに応じたたわみを生じ、圧電効果によ
りそのたわみの大きさに応じた電荷が発生し、リード線
を通じて出力電圧として取り出すものである。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】このような従来の構成
では、外部振動により発生する出力電圧は１Ｇ当たり９
ｍＶo-p程度であり、低い加速度になるとＳ／Ｎ比が低
下し０．１Ｇ以下の加速度では、測定が出来ないという
課題があった。
では、外部振動により発生する出力電圧は１Ｇ当たり９
ｍＶo-p程度であり、低い加速度になるとＳ／Ｎ比が低
下し０．１Ｇ以下の加速度では、測定が出来ないという
課題があった。
【０００４】本発明は、このような課題を解決するもの
で、電圧感度をあげることにより低い加速度でのＳ／Ｎ
比の向上を図ることを目的とするものである。
で、電圧感度をあげることにより低い加速度でのＳ／Ｎ
比の向上を図ることを目的とするものである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】この課題を解決するため
に本発明は、二枚の圧電セラミックの上下端部間に固定
子を介在させて貼合わせた圧電素子を、缶パッケージの
リード線に半田付けし、その半田付け部をエポキシ樹脂
で覆ったものである。
に本発明は、二枚の圧電セラミックの上下端部間に固定
子を介在させて貼合わせた圧電素子を、缶パッケージの
リード線に半田付けし、その半田付け部をエポキシ樹脂
で覆ったものである。
【０００６】
【発明の実施の形態】本発明の請求項１の発明は、固着
された二枚の圧電セラミックに外部振動が加わると片持
梁部が振動を感知し、各々に電荷が発生し、２倍の出力
が得られる。
された二枚の圧電セラミックに外部振動が加わると片持
梁部が振動を感知し、各々に電荷が発生し、２倍の出力
が得られる。
【０００７】以下、本発明の一実施形態について図１、
図２を用いて説明する。図１、図２において、１はチッ
プ状の圧電セラミックで、二枚を固定子２にて上下端間
で接着固定し、振動子を形成している。この振動子の各
電極部を缶パッケージのプラグ３のリード線４に対し半
田で固着し、その固着部をエポキシ樹脂５で覆って補強
した後ケースをプラグ３に被せて真空で封止している。
図２を用いて説明する。図１、図２において、１はチッ
プ状の圧電セラミックで、二枚を固定子２にて上下端間
で接着固定し、振動子を形成している。この振動子の各
電極部を缶パッケージのプラグ３のリード線４に対し半
田で固着し、その固着部をエポキシ樹脂５で覆って補強
した後ケースをプラグ３に被せて真空で封止している。
【０００８】このように構成された加速度センサの振動
子に対し、垂直方向に外部振動が加わると振動子の上方
部がその振動を感知し、外部振動の大きさに応じたたわ
みを生じ圧電効果によりその大きさに応じた電荷が発生
し、リード線４を通じて出力電圧として取り出される。
子に対し、垂直方向に外部振動が加わると振動子の上方
部がその振動を感知し、外部振動の大きさに応じたたわ
みを生じ圧電効果によりその大きさに応じた電荷が発生
し、リード線４を通じて出力電圧として取り出される。
【０００９】
【発明の効果】以上のように本発明によれば、圧電振動
子数を固定子を用いて増やして加速度センサを形成する
ことにより、単一圧電セラミックに比べ、電圧感度をＮ
倍にすることができる。
子数を固定子を用いて増やして加速度センサを形成する
ことにより、単一圧電セラミックに比べ、電圧感度をＮ
倍にすることができる。
【図１】本発明の一実施形態による加速度センサの正面
図
図
【図２】同加速度センサの側面図
１ 圧電セラミック ２ 固定子 ４ リード線 ５ エポキシ樹脂
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G01P 15/09 G01H 11/08 H01L 41/08
Claims (1)
- 【請求項１】 二枚の圧電セラミックの上下端部間に固
定子を介在させて貼合わせた圧電素子を、缶パッケージ
のリード線に半田付けし、その半田付け部をエポキシ樹
脂で覆った加速度センサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP34483796A JP3309748B2 (ja) | 1996-12-25 | 1996-12-25 | 加速度センサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP34483796A JP3309748B2 (ja) | 1996-12-25 | 1996-12-25 | 加速度センサ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10185945A JPH10185945A (ja) | 1998-07-14 |
| JP3309748B2 true JP3309748B2 (ja) | 2002-07-29 |
Family
ID=18372364
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP34483796A Expired - Fee Related JP3309748B2 (ja) | 1996-12-25 | 1996-12-25 | 加速度センサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3309748B2 (ja) |
-
1996
- 1996-12-25 JP JP34483796A patent/JP3309748B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH10185945A (ja) | 1998-07-14 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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