JP3289604B2 - Paste supply device and paste supply method - Google Patents
Paste supply device and paste supply methodInfo
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Description
【0001】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、ペースト供給装置
及びペースト供給方法に関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a paste supply device and a paste supply method.
【0002】[0002]
【従来の技術】電子部品あるいは回路モジュールの製造
プロセスにおいては、フラックスなどのペーストを一定
の液厚に調整し供給するペースト供給装置が用いられ
る。このペースト供給装置には、スキージを平行移動し
て平坦面上に一定の液厚を備えたペーストを形成するタ
イプのものがある。2. Description of the Related Art In a manufacturing process of an electronic component or a circuit module, a paste supply device that adjusts and supplies a paste such as a flux to a certain liquid thickness is used. As the paste supply device, there is a type in which a squeegee is moved in parallel to form a paste having a constant liquid thickness on a flat surface.
【0003】[0003]
【発明が解決しようとする課題】次に、図5を参照しな
がら、このタイプのペースト供給装置における問題点を
説明する。図5において、1は容器、2は容器1の中央
部に形成された平坦面である。容器1内には、フラック
ス3が溜められており、平坦面2上においてスキージ4
を紙面垂直方向へスライドすることにより、平坦面2上
にあるフラックス3の液厚を一定にしようとするもので
ある。Next, the problems in this type of paste supply apparatus will be described with reference to FIG. In FIG. 5, reference numeral 1 denotes a container, and reference numeral 2 denotes a flat surface formed at the center of the container 1. A flux 3 is stored in the container 1, and a squeegee 4 is placed on the flat surface 2.
Is made to slide in the direction perpendicular to the paper surface, thereby trying to keep the liquid thickness of the flux 3 on the flat surface 2 constant.
【0004】即ち、このスライド時に、スキージ4の下
端縁4aが水平で、かつ平坦面2よりも一定の高さHに
ある位置を通過するようにする。しかしながら、スキー
ジ4の幅は容器1内をスムーズにスライドさせるため
に、平坦面2の幅よりも狭くせざるを得ない。このた
め、スキージ4をスライドさせると、スキージ4の両脇
にスキージ4によって両サイドへ押しやられたフラック
ス3が、フラックス溜3a、3bとして盛り上った状態
で存在することになる(図5(a))。That is, at the time of this sliding, the lower end edge 4a of the squeegee 4 passes through a position that is horizontal and at a certain height H from the flat surface 2. However, the width of the squeegee 4 must be smaller than the width of the flat surface 2 in order to smoothly slide in the container 1. Therefore, when the squeegee 4 is slid, the flux 3 pushed to both sides by the squeegee 4 on both sides of the squeegee 4 is present in a state of rising as flux reservoirs 3a and 3b (FIG. 5 ( a)).
【0005】スキージ4の移動の後、若干時間が経過す
ると、図5(b)の矢印N1で示すように、フラックス
溜3a、3bとして盛り上っていた部分が内側へ流動
し、その結果、図5(a)に示すように、せっかく一定
の液厚Hに調整しても、調整直後の状態がみだされて、
平坦面3上の液厚がばらついてしまうという結果にな
る。[0005] When a certain time has elapsed after the movement of the squeegee 4, the portions that have been raised as the flux reservoirs 3a and 3b flow inward as indicated by an arrow N1 in FIG. As shown in FIG. 5A, even if the liquid thickness H is adjusted to a constant value, the state immediately after the adjustment is found.
The result is that the liquid thickness on the flat surface 3 varies.
【0006】そこで本発明は、液厚を精度良く調整でき
るペースト供給装置を提供することを目的とする。Accordingly, an object of the present invention is to provide a paste supply device capable of adjusting the liquid thickness with high accuracy.
【0007】[0007]
【課題を解決するための手段】本発明のペースト供給装
置は、一定の液厚に調整されたペーストを供給するため
の平坦面と、平坦面の側部に設けられペーストを溜める
ための溝条を備えた台部と、ペーストを溝条から平坦面
へかき上げる突部と、突部に連設され平坦面上にかき上
げられたペーストを一定の液厚になるようにかき寄せる
成形部を備えたスキージと、スキージを台部に対して相
対的に移動させる移動手段とを有する。According to the present invention, there is provided a paste supply apparatus comprising: a flat surface for supplying a paste adjusted to a constant liquid thickness; and a groove provided on a side of the flat surface for storing the paste. And a molding part for scraping the paste from the groove to the flat surface, and the paste that is connected to the projection and scraped on the flat surface so as to have a constant liquid thickness. A squeegee provided with the squeegee and moving means for moving the squeegee relative to the base.
【0008】[0008]
【発明の実施の形態】請求項1記載のペースト供給装置
は、一定の液厚に調整されたペーストを供給するための
平坦面と、平坦面の側部に設けられペーストを溜めるた
めの溝条を備えた台部と、ペーストを溝条から平坦面へ
かき上げる突部と、突部に連設され平坦面上にかき上げ
られたペーストを一定の液厚になるようにかき寄せる成
形部を備えたスキージと、スキージを台部に対して相対
的に移動させる移動手段とを有する。A paste supply device according to a first aspect of the present invention comprises a flat surface for supplying a paste adjusted to a constant liquid thickness, and a groove provided on a side of the flat surface for storing the paste. And a molding part for scraping the paste from the groove to the flat surface, and the paste that is connected to the projection and scraped on the flat surface so as to have a constant liquid thickness. A squeegee provided with the squeegee and moving means for moving the squeegee relative to the base.
【0009】したがって、スキージを移動させると、溝
条から平坦面へペーストがかき上げられ、成形部によっ
て平坦面上のペーストの液厚が一定される。このとき、
平坦面上からあふれたペーストは再び溝条へ戻るので、
平坦面の側部に盛り上ったペースト溜は形成されない。Therefore, when the squeegee is moved, the paste is scraped up from the groove to the flat surface, and the liquid thickness of the paste on the flat surface is made constant by the molding portion. At this time,
Paste overflowing from the flat surface returns to the groove again,
A paste reservoir that rises to the side of the flat surface is not formed.
【0010】したがって、スキージを移動させた直後の
状態がそのまま保持され、平坦面上の液厚を精度良くコ
ントロールすることができる。Therefore, the state immediately after the squeegee is moved is maintained as it is, and the liquid thickness on the flat surface can be controlled accurately.
【0011】次に図面を参照しながら、本発明の実施の
形態を説明する。図1は、本発明の一実施の形態におけ
るペースト供給装置を用いた部品移載装置の平面図であ
る。図1において、5は水平な基台、6、7はX方向に
基板8を搬送すると共に位置決めするコンベア、9は基
台5上を移動し、下部にフリップチップ11を吸着する
ヘッド10を備えた移動テーブル、12はフリップチッ
プ11をマトリックス状に収納するトレイ、13はペー
スト供給装置である。Next, an embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 1 is a plan view of a component transfer device using a paste supply device according to an embodiment of the present invention. In FIG. 1, 5 is a horizontal base, 6 and 7 are conveyors for transporting and positioning the substrate 8 in the X direction, and 9 is provided with a head 10 that moves on the base 5 and sucks a flip chip 11 below. Reference numeral 12 denotes a tray for storing the flip chips 11 in a matrix, and 13 denotes a paste supply device.
【0012】この部品移載装置では、移動テーブル9が
矢印N2方向に移動してトレイ12からフリップチップ
11がピックアップされ、矢印N3方向に移動してペー
スト供給装置13により供給されるフラックスに、フリ
ップチップ11の下部に形成されたバンプを付着させ、
矢印N4方向に移動して、基板8の所定位置にフリップ
チップ11を搭載するようになっている。In this component transfer apparatus, the moving table 9 moves in the direction of the arrow N2 to pick up the flip chip 11 from the tray 12, moves in the direction of the arrow N3, and applies the flip to the flux supplied by the paste supply device 13. Attach the bump formed on the lower part of the chip 11,
The flip chip 11 is mounted at a predetermined position on the substrate 8 by moving in the direction of arrow N4.
【0013】次に、図2〜図4を用いて、ペースト供給
装置13について説明する。図2において、14は4本
の支柱15によって基台5上に水平に支持される台部で
ある。台部14の中央には、台部14の長手方向に沿っ
て水平な平坦面16が形成されており、平坦面16の両
脇には、平行な溝条17、18が平坦面16よりも低く
形成されている。溝条17、18には、フラックス3が
溜められており、平坦面16上には、後述するスキージ
によって、一定の液厚Hを有するフラックスが存在する
ものである。Next, the paste supply device 13 will be described with reference to FIGS. In FIG. 2, reference numeral 14 denotes a base horizontally supported on the base 5 by four columns 15. At the center of the base 14, a horizontal flat surface 16 is formed along the longitudinal direction of the base 14, and on both sides of the flat surface 16, parallel grooves 17 and 18 are provided. It is formed low. The flux 3 is stored in the grooves 17, 18, and a flux having a constant liquid thickness H exists on the flat surface 16 by a squeegee described later.
【0014】図3に示すように、台部14の下面には、
台部14の長手方向と平行に2本のレール19、20が
固定されている。また21は、断面略U字状をなす移動
フレームであり、移動フレーム21には、レール19、
20にスライド自在に係合するスライダ22、23が設
けられている。したがって、フレーム21は、台部14
に対し、図3の紙面垂直方向にスライド自在に支持され
ている。As shown in FIG. 3, on the lower surface of the base 14,
Two rails 19 and 20 are fixed in parallel with the longitudinal direction of the base 14. Reference numeral 21 denotes a moving frame having a substantially U-shaped cross section.
Sliders 22 and 23 are slidably engaged with the slider 20. Therefore, the frame 21 is
3 is slidably supported in the direction perpendicular to the plane of FIG.
【0015】また、移動フレーム21の下部には送りナ
ット24が設けられ、送りナット24には送りねじ25
が螺合している。そして、図1に示すように、送りねじ
25には、プーリ27、タイミングベルト28及びプー
リ29を介して、モータ26の回転力が伝達されてお
り、モータ26を駆動すると、移動フレーム21を溝条
17、18と平行に移動させることができる。A feed nut 24 is provided at a lower portion of the moving frame 21.
Is screwed. As shown in FIG. 1, the rotational force of a motor 26 is transmitted to the feed screw 25 via a pulley 27, a timing belt 28, and a pulley 29. It can be moved parallel to the strips 17,18.
【0016】また図2に示すように、移動フレーム21
の両サイドには、昇降ガイド30、31が設けられ、第
1スキージ32は昇降ガイド30、31により上下方向
昇降自在に支持されている。即ち、第1スキージ32
は、水平部33と、水平部33の両端から垂直下方に折
曲った垂直部34、35を有しており、垂直部34、3
5の下部が、昇降ガイド30、31にスライド自在に係
合しているのである。Further, as shown in FIG.
Lift guides 30 and 31 are provided on both sides of the squeegee. The first squeegee 32 is supported by the lift guides 30 and 31 so as to be able to move up and down. That is, the first squeegee 32
Has a horizontal portion 33 and vertical portions 34 and 35 bent vertically downward from both ends of the horizontal portion 33.
The lower part of 5 is slidably engaged with the elevating guides 30 and 31.
【0017】また、第1スキージ32の水平部33に
は、溝条17、18にそれぞれ係合する2つの突部3
9、40と、溝条17、18から突部39、40によっ
て平坦面16上へかき上げられたフラックス3を一定の
液厚Hになるようにかき寄せる成形部41とが形成され
ている。The horizontal portion 33 of the first squeegee 32 has two protrusions 3 which engage with the grooves 17 and 18, respectively.
9 and 40, and a forming portion 41 for scraping the flux 3 scraped up from the grooves 17 and 18 onto the flat surface 16 by the projections 39 and 40 so as to have a constant liquid thickness H are formed.
【0018】また、第1スキージ32の垂直部34の下
部は、移動フレーム21の側部に固定されたシリンダ3
6のロッド37に連結されており、シリンダ36を駆動
すると、第1スキージ32を昇降させることができる。The lower part of the vertical portion 34 of the first squeegee 32 is provided with a cylinder 3 fixed to the side of the moving frame 21.
When the cylinder 36 is driven, the first squeegee 32 can be raised and lowered.
【0019】また図1に示すように、第1スキージ32
と同様に、移動フレーム21には第2スキージ44が昇
降自在に支持されており、45は第2スキージ44を昇
降させるシリンダである。なお、第1スキージ32と第
2スキージ44とは、同様の形状をしているが、相対向
するようにセットされており、台部14の長手方向につ
いて逆向きとなっている。As shown in FIG. 1, the first squeegee 32
Similarly to the above, a second squeegee 44 is supported on the movable frame 21 so as to be able to move up and down. The first squeegee 32 and the second squeegee 44 have the same shape, but are set so as to face each other, and are opposite to each other in the longitudinal direction of the base portion 14.
【0020】したがって、シリンダ36、45を駆動す
ると、第1スキージ32、第2スキージ44を独立して
昇降させることができ、モータ26を駆動すると、移動
フレーム21と共に、第1スキージ32、第2スキージ
44を、台部14の長手方向に平行移動させることがで
きる。ここで、モータ26、プーリ27、29、タイミ
ングベルト28、送りねじ25及び送りナット24は、
第1スキージ32及び第2スキージ44の移動手段に相
当する。Accordingly, when the cylinders 36 and 45 are driven, the first squeegee 32 and the second squeegee 44 can be raised and lowered independently. When the motor 26 is driven, the first squeegee 32 and the second The squeegee 44 can be translated in the longitudinal direction of the base 14. Here, the motor 26, the pulleys 27 and 29, the timing belt 28, the feed screw 25 and the feed nut 24
It corresponds to a moving means of the first squeegee 32 and the second squeegee 44.
【0021】次に、図4を参照しながら、スキージング
時の動作について説明する。なお第1スキージ32と第
2スキージ44とは同様の動作となり、両スキージ3
2、44は平坦面3の中心線に対して対称な形状である
から、第1スキージ32の片側についてのみ説明する。Next, the operation at the time of squeezing will be described with reference to FIG. The operation of the first squeegee 32 and the operation of the second squeegee 44 are the same.
Since the reference numerals 2 and 44 are symmetrical with respect to the center line of the flat surface 3, only one side of the first squeegee 32 will be described.
【0022】さて上述したように、第1スキージ32の
水平部33には、成形部41と突部40が設けられてお
り、図4に示すように、突部40は溝条18内に係合
し、成形部41は平坦面16上にある。As described above, the horizontal portion 33 of the first squeegee 32 is provided with the forming portion 41 and the protrusion 40, and the protrusion 40 is engaged with the groove 18 as shown in FIG. In this case, the molding 41 is on the flat surface 16.
【0023】より詳しく説明すると、突部40には、成
形部41側へ傾斜するかき上げ面Aが形成されている。
また、成形部41には第1スキージ32の進行方向に対
して後傾する押出面Bが形成されている。そして、突部
40の上部には、かき上げ面Aと押出面Bとを接続する
案内面Cが形成されている。More specifically, the protruding portion 40 has a raised surface A inclined toward the forming portion 41.
Further, an extruded surface B that is inclined backward with respect to the traveling direction of the first squeegee 32 is formed in the forming portion 41. A guide surface C that connects the scraping surface A and the pushing surface B is formed at an upper portion of the protrusion 40.
【0024】したがって、シリンダ36を用いて第1ス
キージ32を下降させ、成形部41を平坦面16に接触
させて、モータ26を駆動し、第1スキージ32を平行
移動させると、矢印N6で示すように、溝条18内に溜
められていたフラックス3は、まずかき上げ面Aと案内
面Cに当接して、溝条18内からかき上げられて平坦面
16の中央側へ移動すると共に、押出面Bに押されて第
1スキージ32と共に平行移動する。Accordingly, when the first squeegee 32 is lowered by using the cylinder 36 to bring the forming portion 41 into contact with the flat surface 16 and the motor 26 is driven to move the first squeegee 32 in parallel, as indicated by an arrow N6. As described above, the flux 3 accumulated in the groove 18 first comes into contact with the scraping surface A and the guide surface C, is scraped from the groove 18 and moves to the center side of the flat surface 16, The squeegee 32 is pushed by the pushing surface B and moves in parallel with the first squeegee 32.
【0025】さらに、押出面Bの下部は、その両サイド
において平坦面16と接触する当接部42と、この当接
部42の内側に位置し当接部42よりも一定の高さHだ
け上方に刻られた成形縁43とからなる。即ち、当接部
42が平坦面16上をスライドするときには、成形縁4
3と平坦面16との間に、高さHだけの隙間があり、こ
の隙間を通過したフラックス3のみが、第1スキージ3
2の後方に残ることを許される。一方、隙間を通過でき
なかったフラックス3は、溝条18内に戻るか、又は押
出面Bと共に平坦面16の端部へ移動するしかなく、押
出面Bと共に平坦面16の端部へ至ったフラックス3
は、平坦面16により行手を阻まれて平坦面16の中央
側へ戻ることを許されない。Further, a lower portion of the pushing surface B has a contact portion 42 on both sides thereof in contact with the flat surface 16, and a fixed height H located inside the contact portion 42 and higher than the contact portion 42. And a molding edge 43 engraved upward. That is, when the contact portion 42 slides on the flat surface 16, the forming edge 4
3 and the flat surface 16, there is a gap of the height H, and only the flux 3 passing through this gap is the first squeegee 3.
Allowed to remain behind 2. On the other hand, the flux 3 that could not pass through the gap has to return to the groove 18 or move to the end of the flat surface 16 together with the extrusion surface B, and has reached the end of the flat surface 16 together with the extrusion surface B. Flux 3
Is not allowed to return to the center side of the flat surface 16 because the running is blocked by the flat surface 16.
【0026】したがって、スキージングされた後には、
平坦面16上にはフラックス溜が形成されることはな
く、平坦面16上のフラックス3の液厚を正確に一定値
Hに保持することができる。Therefore, after squeezing,
No flux reservoir is formed on the flat surface 16, and the liquid thickness of the flux 3 on the flat surface 16 can be accurately maintained at a constant value H.
【0027】[0027]
【発明の効果】本発明のペースト供給装置は、一定の液
厚に調整されたペーストを供給するための平坦面と、平
坦面の側部に設けられペーストを溜めるための溝条を備
えた台部と、ペーストを溝条から平坦面へかき上げる突
部と、突部に連設され平坦面上にかき上げられたペース
トを一定の液厚になるようにかき寄せる成形部を備えた
スキージと、スキージを台部に対して相対的に移動させ
る移動手段とを有するので、スキージング後に平坦面上
にフラックス溜が形成されず、平坦面上の液厚を精度良
くコントロールできる。According to the present invention, there is provided a paste supply apparatus having a flat surface for supplying a paste adjusted to a constant liquid thickness, and a base provided on a side of the flat surface and having a groove for storing the paste. And a squeegee having a shaping part for scraping the paste from the groove to the flat surface, and a forming part connected to the protrusion and scraping the paste scraped on the flat surface so as to have a constant liquid thickness. Since there is a moving means for moving the squeegee relatively to the base, no flux reservoir is formed on the flat surface after squeezing, and the liquid thickness on the flat surface can be controlled with high precision.
【図1】本発明の一実施の形態におけるペースト供給装
置を用いた部品移載装置の平面図FIG. 1 is a plan view of a component transfer device using a paste supply device according to an embodiment of the present invention.
【図2】本発明の一実施の形態におけるペースト供給装
置の斜視図FIG. 2 is a perspective view of a paste supply device according to an embodiment of the present invention.
【図3】本発明の一実施の形態におけるペースト供給装
置の断面図FIG. 3 is a cross-sectional view of a paste supply device according to an embodiment of the present invention.
【図4】本発明の一実施の形態におけるペースト供給装
置の部分拡大図FIG. 4 is a partially enlarged view of a paste supply device according to an embodiment of the present invention.
【図5】(a)従来のペースト供給装置の動作説明図 (b)従来のペースト供給装置の動作説明図FIG. 5A is a diagram illustrating the operation of a conventional paste supply device. FIG. 5B is a diagram illustrating the operation of a conventional paste supply device.
14 台部 16 平坦面 17、18 溝条 32 第1スキージ 39、40 突部 41 成形部 H 液厚 14 base part 16 flat surface 17, 18 groove 32 first squeegee 39, 40 protrusion 41 molded part H liquid thickness
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平7−193097(JP,A) 特開 平6−69285(JP,A) 特開 平8−266980(JP,A) 実開 平2−97959(JP,U) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) H05K 3/34 H01L 21/60 B23K 3/00 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continuation of the front page (56) References JP-A-7-193097 (JP, A) JP-A-6-69285 (JP, A) JP-A 8-266980 (JP, A) 97959 (JP, U) (58) Fields investigated (Int. Cl. 7 , DB name) H05K 3/34 H01L 21/60 B23K 3/00
Claims (3)
るための平坦面と、前記平坦面の側部に設けられペース
トを溜めるための溝条を備えた台部と、ペーストを前記
溝条から前記平坦面へかき上げる突部と、前記突部に連
設され前記平坦面上にかき上げられたペーストを一定の
液厚になるようにかき寄せる成形部を備えたスキージ
と、前記スキージを前記台部に対して相対的に移動させ
る移動手段とを有することを特徴とするペースト供給装
置。1. A flat surface for supplying a paste adjusted to a constant liquid thickness, a base provided on a side portion of the flat surface and provided with grooves for storing the paste, A squeegee provided with a protruding portion which is lifted from the strip to the flat surface, a forming portion which is connected to the protruding portion, and which scrapes the paste which has been lifted on the flat surface so as to have a constant liquid thickness; And a moving means for moving the paste relative to the base.
れ、前記突部は前記溝条のそれぞれに対応して設けられ
ていることを特徴とする請求項1記載のペースト供給装
置。2. The paste supply device according to claim 1, wherein said grooves are provided on both sides of said flat surface, and said projections are provided corresponding to each of said grooves. .
ペーストを溜めておき、スキージをスライドする際溜め
られたペーストを平坦面の両側から対称にかき上げると
共に、かき上げられたペーストを一定の液厚に調整する
ことを特徴とするペースト供給方法。3. The paste is stored on both sides of a flat surface for supplying the paste, and when the squeegee is slid, the stored paste is symmetrically scraped from both sides of the flat surface, and the scraped paste is fixed. A paste supply method characterized by adjusting the liquid thickness of the paste.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP18034396A JP3289604B2 (en) | 1996-07-10 | 1996-07-10 | Paste supply device and paste supply method |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP18034396A JP3289604B2 (en) | 1996-07-10 | 1996-07-10 | Paste supply device and paste supply method |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH1027954A JPH1027954A (en) | 1998-01-27 |
JP3289604B2 true JP3289604B2 (en) | 2002-06-10 |
Family
ID=16081572
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
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---|---|
JP (1) | JP3289604B2 (en) |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
AT407104B (en) * | 1999-02-24 | 2000-12-27 | Datacon Semiconductor Equip | DEVICE FOR WETING THE SURFACE |
AT407325B (en) * | 1999-11-08 | 2001-02-26 | Datacon Semiconductor Equip | Device for wetting the surface |
JP2001345543A (en) * | 2000-05-31 | 2001-12-14 | Sanyo Electric Co Ltd | Flux transfer apparatus |
JP4636700B2 (en) * | 2001-01-24 | 2011-02-23 | Juki株式会社 | Flux holding device for electronic component mounting machine |
JP4412915B2 (en) * | 2003-05-09 | 2010-02-10 | 富士機械製造株式会社 | Flux transfer apparatus and flux transfer method |
JP6882642B2 (en) * | 2016-09-07 | 2021-06-02 | 富士フイルムビジネスイノベーション株式会社 | Manufacturing method of viscous agent temperature control device, mounting device, substrate device |
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---|---|
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