JP3289604B2 - Paste supply device and paste supply method - Google Patents
Paste supply device and paste supply methodInfo
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Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、ペースト供給装置
及びペースト供給方法に関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a paste supply device and a paste supply method.
【０００２】[0002]
【従来の技術】電子部品あるいは回路モジュールの製造
プロセスにおいては、フラックスなどのペーストを一定
の液厚に調整し供給するペースト供給装置が用いられ
る。このペースト供給装置には、スキージを平行移動し
て平坦面上に一定の液厚を備えたペーストを形成するタ
イプのものがある。2. Description of the Related Art In a manufacturing process of an electronic component or a circuit module, a paste supply device that adjusts and supplies a paste such as a flux to a certain liquid thickness is used. As the paste supply device, there is a type in which a squeegee is moved in parallel to form a paste having a constant liquid thickness on a flat surface.
【０００３】[0003]
【発明が解決しようとする課題】次に、図５を参照しな
がら、このタイプのペースト供給装置における問題点を
説明する。図５において、１は容器、２は容器１の中央
部に形成された平坦面である。容器１内には、フラック
ス３が溜められており、平坦面２上においてスキージ４
を紙面垂直方向へスライドすることにより、平坦面２上
にあるフラックス３の液厚を一定にしようとするもので
ある。Next, the problems in this type of paste supply apparatus will be described with reference to FIG. In FIG. 5, reference numeral 1 denotes a container, and reference numeral 2 denotes a flat surface formed at the center of the container 1. A flux 3 is stored in the container 1, and a squeegee 4 is placed on the flat surface 2.
Is made to slide in the direction perpendicular to the paper surface, thereby trying to keep the liquid thickness of the flux 3 on the flat surface 2 constant.
【０００４】即ち、このスライド時に、スキージ４の下
端縁４ａが水平で、かつ平坦面２よりも一定の高さＨに
ある位置を通過するようにする。しかしながら、スキー
ジ４の幅は容器１内をスムーズにスライドさせるため
に、平坦面２の幅よりも狭くせざるを得ない。このた
め、スキージ４をスライドさせると、スキージ４の両脇
にスキージ４によって両サイドへ押しやられたフラック
ス３が、フラックス溜３ａ、３ｂとして盛り上った状態
で存在することになる（図５（ａ））。That is, at the time of this sliding, the lower end edge 4a of the squeegee 4 passes through a position that is horizontal and at a certain height H from the flat surface 2. However, the width of the squeegee 4 must be smaller than the width of the flat surface 2 in order to smoothly slide in the container 1. Therefore, when the squeegee 4 is slid, the flux 3 pushed to both sides by the squeegee 4 on both sides of the squeegee 4 is present in a state of rising as flux reservoirs 3a and 3b (FIG. 5 ( a)).
【０００５】スキージ４の移動の後、若干時間が経過す
ると、図５（ｂ）の矢印Ｎ１で示すように、フラックス
溜３ａ、３ｂとして盛り上っていた部分が内側へ流動
し、その結果、図５（ａ）に示すように、せっかく一定
の液厚Ｈに調整しても、調整直後の状態がみだされて、
平坦面３上の液厚がばらついてしまうという結果にな
る。[0005] When a certain time has elapsed after the movement of the squeegee 4, the portions that have been raised as the flux reservoirs 3a and 3b flow inward as indicated by an arrow N1 in FIG. As shown in FIG. 5A, even if the liquid thickness H is adjusted to a constant value, the state immediately after the adjustment is found.
The result is that the liquid thickness on the flat surface 3 varies.
【０００６】そこで本発明は、液厚を精度良く調整でき
るペースト供給装置を提供することを目的とする。Accordingly, an object of the present invention is to provide a paste supply device capable of adjusting the liquid thickness with high accuracy.
【０００７】[0007]
【課題を解決するための手段】本発明のペースト供給装
置は、一定の液厚に調整されたペーストを供給するため
の平坦面と、平坦面の側部に設けられペーストを溜める
ための溝条を備えた台部と、ペーストを溝条から平坦面
へかき上げる突部と、突部に連設され平坦面上にかき上
げられたペーストを一定の液厚になるようにかき寄せる
成形部を備えたスキージと、スキージを台部に対して相
対的に移動させる移動手段とを有する。According to the present invention, there is provided a paste supply apparatus comprising: a flat surface for supplying a paste adjusted to a constant liquid thickness; and a groove provided on a side of the flat surface for storing the paste. And a molding part for scraping the paste from the groove to the flat surface, and the paste that is connected to the projection and scraped on the flat surface so as to have a constant liquid thickness. A squeegee provided with the squeegee and moving means for moving the squeegee relative to the base.
【０００８】[0008]
【発明の実施の形態】請求項１記載のペースト供給装置
は、一定の液厚に調整されたペーストを供給するための
平坦面と、平坦面の側部に設けられペーストを溜めるた
めの溝条を備えた台部と、ペーストを溝条から平坦面へ
かき上げる突部と、突部に連設され平坦面上にかき上げ
られたペーストを一定の液厚になるようにかき寄せる成
形部を備えたスキージと、スキージを台部に対して相対
的に移動させる移動手段とを有する。A paste supply device according to a first aspect of the present invention comprises a flat surface for supplying a paste adjusted to a constant liquid thickness, and a groove provided on a side of the flat surface for storing the paste. And a molding part for scraping the paste from the groove to the flat surface, and the paste that is connected to the projection and scraped on the flat surface so as to have a constant liquid thickness. A squeegee provided with the squeegee and moving means for moving the squeegee relative to the base.
【０００９】したがって、スキージを移動させると、溝
条から平坦面へペーストがかき上げられ、成形部によっ
て平坦面上のペーストの液厚が一定される。このとき、
平坦面上からあふれたペーストは再び溝条へ戻るので、
平坦面の側部に盛り上ったペースト溜は形成されない。Therefore, when the squeegee is moved, the paste is scraped up from the groove to the flat surface, and the liquid thickness of the paste on the flat surface is made constant by the molding portion. At this time,
Paste overflowing from the flat surface returns to the groove again,
A paste reservoir that rises to the side of the flat surface is not formed.
【００１０】したがって、スキージを移動させた直後の
状態がそのまま保持され、平坦面上の液厚を精度良くコ
ントロールすることができる。Therefore, the state immediately after the squeegee is moved is maintained as it is, and the liquid thickness on the flat surface can be controlled accurately.
【００１１】次に図面を参照しながら、本発明の実施の
形態を説明する。図１は、本発明の一実施の形態におけ
るペースト供給装置を用いた部品移載装置の平面図であ
る。図１において、５は水平な基台、６、７はＸ方向に
基板８を搬送すると共に位置決めするコンベア、９は基
台５上を移動し、下部にフリップチップ１１を吸着する
ヘッド１０を備えた移動テーブル、１２はフリップチッ
プ１１をマトリックス状に収納するトレイ、１３はペー
スト供給装置である。Next, an embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 1 is a plan view of a component transfer device using a paste supply device according to an embodiment of the present invention. In FIG. 1, 5 is a horizontal base, 6 and 7 are conveyors for transporting and positioning the substrate 8 in the X direction, and 9 is provided with a head 10 that moves on the base 5 and sucks a flip chip 11 below. Reference numeral 12 denotes a tray for storing the flip chips 11 in a matrix, and 13 denotes a paste supply device.
【００１２】この部品移載装置では、移動テーブル９が
矢印Ｎ２方向に移動してトレイ１２からフリップチップ
１１がピックアップされ、矢印Ｎ３方向に移動してペー
スト供給装置１３により供給されるフラックスに、フリ
ップチップ１１の下部に形成されたバンプを付着させ、
矢印Ｎ４方向に移動して、基板８の所定位置にフリップ
チップ１１を搭載するようになっている。In this component transfer apparatus, the moving table 9 moves in the direction of the arrow N2 to pick up the flip chip 11 from the tray 12, moves in the direction of the arrow N3, and applies the flip to the flux supplied by the paste supply device 13. Attach the bump formed on the lower part of the chip 11,
The flip chip 11 is mounted at a predetermined position on the substrate 8 by moving in the direction of arrow N4.
【００１３】次に、図２〜図４を用いて、ペースト供給
装置１３について説明する。図２において、１４は４本
の支柱１５によって基台５上に水平に支持される台部で
ある。台部１４の中央には、台部１４の長手方向に沿っ
て水平な平坦面１６が形成されており、平坦面１６の両
脇には、平行な溝条１７、１８が平坦面１６よりも低く
形成されている。溝条１７、１８には、フラックス３が
溜められており、平坦面１６上には、後述するスキージ
によって、一定の液厚Ｈを有するフラックスが存在する
ものである。Next, the paste supply device 13 will be described with reference to FIGS. In FIG. 2, reference numeral 14 denotes a base horizontally supported on the base 5 by four columns 15. At the center of the base 14, a horizontal flat surface 16 is formed along the longitudinal direction of the base 14, and on both sides of the flat surface 16, parallel grooves 17 and 18 are provided. It is formed low. The flux 3 is stored in the grooves 17, 18, and a flux having a constant liquid thickness H exists on the flat surface 16 by a squeegee described later.
【００１４】図３に示すように、台部１４の下面には、
台部１４の長手方向と平行に２本のレール１９、２０が
固定されている。また２１は、断面略Ｕ字状をなす移動
フレームであり、移動フレーム２１には、レール１９、
２０にスライド自在に係合するスライダ２２、２３が設
けられている。したがって、フレーム２１は、台部１４
に対し、図３の紙面垂直方向にスライド自在に支持され
ている。As shown in FIG. 3, on the lower surface of the base 14,
Two rails 19 and 20 are fixed in parallel with the longitudinal direction of the base 14. Reference numeral 21 denotes a moving frame having a substantially U-shaped cross section.
Sliders 22 and 23 are slidably engaged with the slider 20. Therefore, the frame 21 is
3 is slidably supported in the direction perpendicular to the plane of FIG.
【００１５】また、移動フレーム２１の下部には送りナ
ット２４が設けられ、送りナット２４には送りねじ２５
が螺合している。そして、図１に示すように、送りねじ
２５には、プーリ２７、タイミングベルト２８及びプー
リ２９を介して、モータ２６の回転力が伝達されてお
り、モータ２６を駆動すると、移動フレーム２１を溝条
１７、１８と平行に移動させることができる。A feed nut 24 is provided at a lower portion of the moving frame 21.
Is screwed. As shown in FIG. 1, the rotational force of a motor 26 is transmitted to the feed screw 25 via a pulley 27, a timing belt 28, and a pulley 29. It can be moved parallel to the strips 17,18.
【００１６】また図２に示すように、移動フレーム２１
の両サイドには、昇降ガイド３０、３１が設けられ、第
１スキージ３２は昇降ガイド３０、３１により上下方向
昇降自在に支持されている。即ち、第１スキージ３２
は、水平部３３と、水平部３３の両端から垂直下方に折
曲った垂直部３４、３５を有しており、垂直部３４、３
５の下部が、昇降ガイド３０、３１にスライド自在に係
合しているのである。Further, as shown in FIG.
Lift guides 30 and 31 are provided on both sides of the squeegee. The first squeegee 32 is supported by the lift guides 30 and 31 so as to be able to move up and down. That is, the first squeegee 32
Has a horizontal portion 33 and vertical portions 34 and 35 bent vertically downward from both ends of the horizontal portion 33.
The lower part of 5 is slidably engaged with the elevating guides 30 and 31.
【００１７】また、第１スキージ３２の水平部３３に
は、溝条１７、１８にそれぞれ係合する２つの突部３
９、４０と、溝条１７、１８から突部３９、４０によっ
て平坦面１６上へかき上げられたフラックス３を一定の
液厚Ｈになるようにかき寄せる成形部４１とが形成され
ている。The horizontal portion 33 of the first squeegee 32 has two protrusions 3 which engage with the grooves 17 and 18, respectively.
9 and 40, and a forming portion 41 for scraping the flux 3 scraped up from the grooves 17 and 18 onto the flat surface 16 by the projections 39 and 40 so as to have a constant liquid thickness H are formed.
【００１８】また、第１スキージ３２の垂直部３４の下
部は、移動フレーム２１の側部に固定されたシリンダ３
６のロッド３７に連結されており、シリンダ３６を駆動
すると、第１スキージ３２を昇降させることができる。The lower part of the vertical portion 34 of the first squeegee 32 is provided with a cylinder 3 fixed to the side of the moving frame 21.
When the cylinder 36 is driven, the first squeegee 32 can be raised and lowered.
【００１９】また図１に示すように、第１スキージ３２
と同様に、移動フレーム２１には第２スキージ４４が昇
降自在に支持されており、４５は第２スキージ４４を昇
降させるシリンダである。なお、第１スキージ３２と第
２スキージ４４とは、同様の形状をしているが、相対向
するようにセットされており、台部１４の長手方向につ
いて逆向きとなっている。As shown in FIG. 1, the first squeegee 32
Similarly to the above, a second squeegee 44 is supported on the movable frame 21 so as to be able to move up and down. The first squeegee 32 and the second squeegee 44 have the same shape, but are set so as to face each other, and are opposite to each other in the longitudinal direction of the base portion 14.
【００２０】したがって、シリンダ３６、４５を駆動す
ると、第１スキージ３２、第２スキージ４４を独立して
昇降させることができ、モータ２６を駆動すると、移動
フレーム２１と共に、第１スキージ３２、第２スキージ
４４を、台部１４の長手方向に平行移動させることがで
きる。ここで、モータ２６、プーリ２７、２９、タイミ
ングベルト２８、送りねじ２５及び送りナット２４は、
第１スキージ３２及び第２スキージ４４の移動手段に相
当する。Accordingly, when the cylinders 36 and 45 are driven, the first squeegee 32 and the second squeegee 44 can be raised and lowered independently. When the motor 26 is driven, the first squeegee 32 and the second The squeegee 44 can be translated in the longitudinal direction of the base 14. Here, the motor 26, the pulleys 27 and 29, the timing belt 28, the feed screw 25 and the feed nut 24
It corresponds to a moving means of the first squeegee 32 and the second squeegee 44.
【００２１】次に、図４を参照しながら、スキージング
時の動作について説明する。なお第１スキージ３２と第
２スキージ４４とは同様の動作となり、両スキージ３
２、４４は平坦面３の中心線に対して対称な形状である
から、第１スキージ３２の片側についてのみ説明する。Next, the operation at the time of squeezing will be described with reference to FIG. The operation of the first squeegee 32 and the operation of the second squeegee 44 are the same.
Since the reference numerals 2 and 44 are symmetrical with respect to the center line of the flat surface 3, only one side of the first squeegee 32 will be described.
【００２２】さて上述したように、第１スキージ３２の
水平部３３には、成形部４１と突部４０が設けられてお
り、図４に示すように、突部４０は溝条１８内に係合
し、成形部４１は平坦面１６上にある。As described above, the horizontal portion 33 of the first squeegee 32 is provided with the forming portion 41 and the protrusion 40, and the protrusion 40 is engaged with the groove 18 as shown in FIG. In this case, the molding 41 is on the flat surface 16.
【００２３】より詳しく説明すると、突部４０には、成
形部４１側へ傾斜するかき上げ面Ａが形成されている。
また、成形部４１には第１スキージ３２の進行方向に対
して後傾する押出面Ｂが形成されている。そして、突部
４０の上部には、かき上げ面Ａと押出面Ｂとを接続する
案内面Ｃが形成されている。More specifically, the protruding portion 40 has a raised surface A inclined toward the forming portion 41.
Further, an extruded surface B that is inclined backward with respect to the traveling direction of the first squeegee 32 is formed in the forming portion 41. A guide surface C that connects the scraping surface A and the pushing surface B is formed at an upper portion of the protrusion 40.
【００２４】したがって、シリンダ３６を用いて第１ス
キージ３２を下降させ、成形部４１を平坦面１６に接触
させて、モータ２６を駆動し、第１スキージ３２を平行
移動させると、矢印Ｎ６で示すように、溝条１８内に溜
められていたフラックス３は、まずかき上げ面Ａと案内
面Ｃに当接して、溝条１８内からかき上げられて平坦面
１６の中央側へ移動すると共に、押出面Ｂに押されて第
１スキージ３２と共に平行移動する。Accordingly, when the first squeegee 32 is lowered by using the cylinder 36 to bring the forming portion 41 into contact with the flat surface 16 and the motor 26 is driven to move the first squeegee 32 in parallel, as indicated by an arrow N6. As described above, the flux 3 accumulated in the groove 18 first comes into contact with the scraping surface A and the guide surface C, is scraped from the groove 18 and moves to the center side of the flat surface 16, The squeegee 32 is pushed by the pushing surface B and moves in parallel with the first squeegee 32.
【００２５】さらに、押出面Ｂの下部は、その両サイド
において平坦面１６と接触する当接部４２と、この当接
部４２の内側に位置し当接部４２よりも一定の高さＨだ
け上方に刻られた成形縁４３とからなる。即ち、当接部
４２が平坦面１６上をスライドするときには、成形縁４
３と平坦面１６との間に、高さＨだけの隙間があり、こ
の隙間を通過したフラックス３のみが、第１スキージ３
２の後方に残ることを許される。一方、隙間を通過でき
なかったフラックス３は、溝条１８内に戻るか、又は押
出面Ｂと共に平坦面１６の端部へ移動するしかなく、押
出面Ｂと共に平坦面１６の端部へ至ったフラックス３
は、平坦面１６により行手を阻まれて平坦面１６の中央
側へ戻ることを許されない。Further, a lower portion of the pushing surface B has a contact portion 42 on both sides thereof in contact with the flat surface 16, and a fixed height H located inside the contact portion 42 and higher than the contact portion 42. And a molding edge 43 engraved upward. That is, when the contact portion 42 slides on the flat surface 16, the forming edge 4
3 and the flat surface 16, there is a gap of the height H, and only the flux 3 passing through this gap is the first squeegee 3.
Allowed to remain behind 2. On the other hand, the flux 3 that could not pass through the gap has to return to the groove 18 or move to the end of the flat surface 16 together with the extrusion surface B, and has reached the end of the flat surface 16 together with the extrusion surface B. Flux 3
Is not allowed to return to the center side of the flat surface 16 because the running is blocked by the flat surface 16.
【００２６】したがって、スキージングされた後には、
平坦面１６上にはフラックス溜が形成されることはな
く、平坦面１６上のフラックス３の液厚を正確に一定値
Ｈに保持することができる。Therefore, after squeezing,
No flux reservoir is formed on the flat surface 16, and the liquid thickness of the flux 3 on the flat surface 16 can be accurately maintained at a constant value H.
【００２７】[0027]
【発明の効果】本発明のペースト供給装置は、一定の液
厚に調整されたペーストを供給するための平坦面と、平
坦面の側部に設けられペーストを溜めるための溝条を備
えた台部と、ペーストを溝条から平坦面へかき上げる突
部と、突部に連設され平坦面上にかき上げられたペース
トを一定の液厚になるようにかき寄せる成形部を備えた
スキージと、スキージを台部に対して相対的に移動させ
る移動手段とを有するので、スキージング後に平坦面上
にフラックス溜が形成されず、平坦面上の液厚を精度良
くコントロールできる。According to the present invention, there is provided a paste supply apparatus having a flat surface for supplying a paste adjusted to a constant liquid thickness, and a base provided on a side of the flat surface and having a groove for storing the paste. And a squeegee having a shaping part for scraping the paste from the groove to the flat surface, and a forming part connected to the protrusion and scraping the paste scraped on the flat surface so as to have a constant liquid thickness. Since there is a moving means for moving the squeegee relatively to the base, no flux reservoir is formed on the flat surface after squeezing, and the liquid thickness on the flat surface can be controlled with high precision.
【図１】本発明の一実施の形態におけるペースト供給装
置を用いた部品移載装置の平面図FIG. 1 is a plan view of a component transfer device using a paste supply device according to an embodiment of the present invention.
【図２】本発明の一実施の形態におけるペースト供給装
置の斜視図FIG. 2 is a perspective view of a paste supply device according to an embodiment of the present invention.
【図３】本発明の一実施の形態におけるペースト供給装
置の断面図FIG. 3 is a cross-sectional view of a paste supply device according to an embodiment of the present invention.
【図４】本発明の一実施の形態におけるペースト供給装
置の部分拡大図FIG. 4 is a partially enlarged view of a paste supply device according to an embodiment of the present invention.
【図５】（ａ）従来のペースト供給装置の動作説明図 （ｂ）従来のペースト供給装置の動作説明図FIG. 5A is a diagram illustrating the operation of a conventional paste supply device. FIG. 5B is a diagram illustrating the operation of a conventional paste supply device.
１４ 台部 １６ 平坦面 １７、１８ 溝条 ３２ 第１スキージ ３９、４０ 突部 ４１ 成形部 Ｈ 液厚 14 base part 16 flat surface 17, 18 groove 32 first squeegee 39, 40 protrusion 41 molded part H liquid thickness
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平７−193097（ＪＰ，Ａ) 特開 平６−69285（ＪＰ，Ａ) 特開 平８−266980（ＪＰ，Ａ) 実開 平２−97959（ＪＰ，Ｕ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) H05K 3/34 H01L 21/60 B23K 3/00 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continuation of the front page (56) References JP-A-7-193097 (JP, A) JP-A-6-69285 (JP, A) JP-A 8-266980 (JP, A) 97959 (JP, U) (58) Fields investigated (Int. Cl. 7 , DB name) H05K 3/34 H01L 21/60 B23K 3/00
Claims (3)
るための平坦面と、前記平坦面の側部に設けられペース
トを溜めるための溝条を備えた台部と、ペーストを前記
溝条から前記平坦面へかき上げる突部と、前記突部に連
設され前記平坦面上にかき上げられたペーストを一定の
液厚になるようにかき寄せる成形部を備えたスキージ
と、前記スキージを前記台部に対して相対的に移動させ
る移動手段とを有することを特徴とするペースト供給装
置。1. A flat surface for supplying a paste adjusted to a constant liquid thickness, a base provided on a side portion of the flat surface and provided with grooves for storing the paste, A squeegee provided with a protruding portion which is lifted from the strip to the flat surface, a forming portion which is connected to the protruding portion, and which scrapes the paste which has been lifted on the flat surface so as to have a constant liquid thickness; And a moving means for moving the paste relative to the base.
れ、前記突部は前記溝条のそれぞれに対応して設けられ
ていることを特徴とする請求項１記載のペースト供給装
置。2. The paste supply device according to claim 1, wherein said grooves are provided on both sides of said flat surface, and said projections are provided corresponding to each of said grooves. .
ペーストを溜めておき、スキージをスライドする際溜め
られたペーストを平坦面の両側から対称にかき上げると
共に、かき上げられたペーストを一定の液厚に調整する
ことを特徴とするペースト供給方法。3. The paste is stored on both sides of a flat surface for supplying the paste, and when the squeegee is slid, the stored paste is symmetrically scraped from both sides of the flat surface, and the scraped paste is fixed. A paste supply method characterized by adjusting the liquid thickness of the paste.
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| JP18034396A JP3289604B2 (en) | 1996-07-10 | 1996-07-10 | Paste supply device and paste supply method |
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1996
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