JP3288313B2 - 超音波洗浄装置およびこれを用いた洗浄乾燥装置 - Google Patents
超音波洗浄装置およびこれを用いた洗浄乾燥装置Info
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Description
これを用いた洗浄乾燥装置に係り、フープ式(連続式)
のリードフレームを代表とする薄肉長尺物の洗浄または
洗浄と乾燥に用いて好適な超音波洗浄装置と洗浄乾燥装
置に関する。
超音波洗浄装置は、図6に示すように、洗浄液1で満た
された洗浄槽2内に一対の投げ込み式超音波振動子3
A,3Bを上下に対向配置し、この対向配置した投げ込
み式超音波振動子3A,3Bの間にリードフレーム4を
差し通し、送りローラ5,6によってリードフレーム4
を入口スリット7から出口スリット8に向けて送り出し
ていくことにより、その表裏面を超音波洗浄するもので
あった。なお、入口スリット7と出口スリット8からこ
ぼれ落ちる洗浄液は、洗浄槽2の周囲に配置した洗浄液
回収槽9によって回収し、循環路10、フィルタ(F)
11、ポンプ(P)12、バルブ(V)13を介して再
び洗浄槽2に戻し、再使用している。
た従来の超音波洗浄装置の場合、投げ込み式超音波振動
子3A,3Bとしては、超音波照射面積の大きな大出力
のものを必要とする。このため、その容積がかなり大き
くなり、これらを収容する洗浄槽2の容積が大きくなる
とともに、これに対応して洗浄液回収槽9の容積も大き
くなり、装置全体が大型化してしまうという問題があっ
た。また、洗浄槽2や洗浄液回収槽9が大きくなるた
め、洗浄液の使用量もそれだけ多くなるとともに、ポン
プ12の消費電力も大きくなるという問題があった。
いて、例えば、幅80mm、厚さ0.1〜0.2mmの
リードフレームを10〜20m/分で送りながら洗浄し
た場合、投げ込み式超音波振動子3A,3Bとしては、
それぞれ長さ300×幅80×高さ200mm、出力6
00W(発振周波数38KHz)程度のものが必要であ
った。
図7に示すように、上記構成になる従来の超音波洗浄装
置71を熱風乾燥槽などの乾燥装置72と組み合わせる
ことにより、1つの工程中で洗浄と乾燥を連続的に行な
うようにした洗浄乾燥装置を構成することも多いが、前
述したように超音波洗浄装置71の容積が大きいため、
洗浄乾燥装置全体の容積が大きくなるという問題があっ
た。
子3A,3B同士の干渉が問題となるような場合には、
図8に示すように、リードフレーム4の搬送方向に沿っ
て超音波振動子を前後にずらして配置することも行なわ
れているが、このような場合には、超音波洗浄装置71
の容積がさらに大きくなるため、洗浄乾燥装置全体の大
きさがさらに大きくなるという問題があった。
めになされたもので、装置を小型化できるとともに洗浄
液の使用量も少なくて済む超音波洗浄装置と、これを用
いて構成した洗浄乾燥装置を提供することを目的とす
る。
め、本発明の超音波洗浄装置は、洗浄対象物たる薄肉長
尺物を洗浄槽内の洗浄液中を潜らせながら超音波洗浄す
るとともに、該洗浄槽からこぼれ落ちる洗浄液を洗浄槽
の周囲に配置した洗浄液回収槽によって回収し、この回
収した洗浄液をフィルタでろ過した後、再び洗浄槽に戻
して循環させるようにした超音波洗浄装置において、前
記洗浄槽内を通過する薄肉長尺物の上面または下面のい
ずれか一方の側に位置して金属ホーン型超音波振動子を
前記薄肉長尺物に向けて配置するとともに、前記薄肉長
尺物を中に挟んで超音波反射板を前記金属ホーン型超音
波振動子に対向配置したものである。
合、洗浄対象物たる薄肉長尺物の上面または下面のいず
れか一方の側の面は、該面と対向配置された金属ホーン
型超音波振動子21から放射される超音波によって直接
洗浄される。さらに、金属ホーン型超音波振動子21か
ら放射される超音波は、その一部が薄肉長尺物を透過し
てその反対面側にも放射されるので、この透過した超音
波を超音波反射板で反射して薄肉長尺物の他方の面に当
て、薄肉長尺物の他方の面の超音波洗浄を行なう。した
がって、本発明の超音波洗浄装置の場合、ただ1つの超
音波振動子を用いて薄肉長尺物の表裏面の洗浄を行なう
ことができ、超音波洗浄装置を小型化することが可能と
なる。
になる超音波洗浄装置と、該超音波洗浄装置によって洗
浄された後の薄肉長尺物を乾燥する乾燥装置とから構成
したものである。なお、前記超音波洗浄装置は薄肉長尺
物の進行経路に沿って複数台配置し、また、各超音波洗
浄装置毎に独立に設けられている洗浄液回収槽を1個に
まとめ、1個の洗浄液回収槽を前記複数台の超音波洗浄
装置で共用するように構成してもよい。また、前記乾燥
装置としては、エアノズル式乾燥ユニットと、吸湿ロー
ラ式乾燥ユニットと、熱風式乾燥ユニットを配置するこ
とにより構成し、さらに、超音波式以外の他の洗浄形式
になる洗浄装置を付加してもよいものである。
合、超音波洗浄装置が小型化されるので、洗浄乾燥装置
全体を小型に構成することができる。また、超音波洗浄
装置を複数台設置しても全体の容積がそれほど大きくな
ることがない。また、1個の洗浄液回収槽を前記複数台
の超音波洗浄装置で共用するようにした場合には、さら
に洗浄乾燥装置全体の容積増加を少なく抑えることがで
きる。また、乾燥装置として、エアノズル式乾燥ユニッ
トと、吸湿ローラ式乾燥ユニットと、熱風式乾燥ユニッ
トを用いた場合には、洗浄液で濡れた薄肉長尺物をより
迅速に乾燥させることができる。さらに、超音波式以外
の他の洗浄形式になる洗浄装置を付加した場合には、洗
浄効果をより一層高めることができる。
施の形態について説明する。図1は、本発明に係る超音
波洗浄装置の一実施の形態を示す模式断面図である。な
お、図中、従来装置(図6)と同一部分には同一の符号
を付して示した。
波洗浄装置と同様の構成において、従来用いられていた
一対の投げ込み式超音波振動子3A,3Bに代えて、超
音波を集中して放射可能な金属ホーン型超音波振動子2
1と、この金属ホーン型超音波振動子21から放射され
た超音波を反射する超音波反射板22とを用いたもので
ある。
をリードフレーム4の上面側に配置するとともに、リー
ドフレーム4の下面側に位置して超音波反射板22を前
記金属ホーン型超音波振動子21と対向して配置したも
のである。金属ホーン型超音波振動子22としては、従
来と同じ寸法からなる幅80mm、厚さ0.1〜0.2
mmのリードフレームを10〜20m/分で送りながら
洗浄する場合、ホーン先端断面積77×20mm、振動
振幅幅20μmmp−p(発振周波数19.5KHz)
程度のものをリードフレーム4の上面から10mm以内
の距離に配置すればよい。また、超音波反射板22とし
ては、例えばステンレンス鋼などを用いればよく、リー
ドフレーム4の下面から10mm以内の距離に配置すれ
ばよい。
ム4の上面は金属ホーン型超音波振動子21から放射さ
れる超音波によって直接洗浄される。一方、リードフレ
ーム4の下面側には超音波振動子が配置されていない
が、リードフレーム4は薄い金属の板であるため、金属
ホーン型超音波振動子21から放射される強力な超音波
はこのリードフレーム4の上面を洗浄すると同時に、そ
の一部がリードフレーム4の下面側に透過する。
反射されてリードフレーム4の下面に当たり、リードー
ドフレーム4の下面を超音波洗浄する。また、一般にリ
ードフレーム4には半導体チップを載置するために必要
なパターンからなる多数の打ち抜き穴があるため、この
穴から通り抜けた超音波も超音波反射板22で反射さ
れ、リードフレーム4の下面に当たって洗浄する。この
ため、リードフレーム4の下面側に超音波振動子を配置
しなくても、従来の超音波洗浄装置と同等の超音波洗浄
を実現することができる。
7×20mmの金属ホーン型超音波振動子21を用いた
場合、洗浄槽2のリードフレーム送り方向の槽長さLを
100mm程度まで小さくすることができた。従来の超
音波洗浄装置の場合、投げ込み式超音波振動子3A,3
B(図6参照)のリードフレーム送り方向の長さ自体が
300mm程度必要であり、従って洗浄槽2のリードフ
レーム送り方向の槽長さは少なくとも340〜350m
m程度以上必要であった。したがって、本発明の超音波
洗浄装置によれば、洗浄槽2の容積を従来の1/3程度
以下に小型化することができる。
成した本発明のリードフレーム用洗浄乾燥装置の第1の
実施の形態を示す。図中、31は前述した本発明の超音
波洗浄装置、32は超音波洗浄装置31で洗浄されたリ
ードフレーム4の表面に付着している洗浄液を強制乾燥
させるための乾燥装置である。この例の場合、乾燥装置
32は、リードフレーム4の表面に付着した洗浄液を吹
き落とすための高圧エアを吹き出すエアノズル33aか
ら構成されたエアノズル式乾燥ユニット33と、リード
フレーム4の表面に付着した洗浄液を吸い取る吸湿ロー
ラ34aから構成された吸湿ローラ式乾燥ユニット34
と、熱風を吹き付けて乾燥させる熱風式乾燥ユニット3
5とから構成されている。
ように超音波洗浄装置31が小型化可能であり、他の乾
燥ユニット33〜35と組み合わせることによってシス
テム化することができ、システム全体を小型化すること
が可能である。
成した本発明のリードフレーム用洗浄乾燥装置の第2の
実施の形態を示す。この図3の洗浄乾燥装置は、図2と
同様の構成において、3台の超音波洗浄装置31A、3
1B、31Cをリードフレーム4の進行経路に沿って配
置したものである。このような構成とした場合、洗浄乾
燥全体の容積の増大を抑えながら、洗浄効果を向上させ
ることができる。
成した本発明のリードフレーム用洗浄乾燥装置の第3の
実施の形態を示す。この図4の洗浄乾燥装置は、前記図
3の洗浄装置と同様の構成において、各超音波洗浄装置
31A、31B、31C毎に独立に設けられている洗浄
液回収槽9を1個にまとめ、1個の洗浄液回収槽9を複
数台の超音波洗浄装置31A、31B、31Cで共用す
るように構成したものである。このような構成とした場
合、さらに洗浄乾燥装置全体の容積増加を少なく抑える
ことができる。
成した本発明のリードフレーム用洗浄乾燥装置の第4の
実施の形態を示す。この図5の洗浄乾燥装置は、図2の
洗浄乾燥装置と同様の構成において、超音波式洗浄装置
31の後方に、超音波方式以外の他の洗浄形式になる洗
浄装置36を1台または複数台付設したものである。本
発明の超音波洗浄装置31を用いた場合、洗浄装置全体
の小型化が可能であるため、他の洗浄装置を付加しても
それほど装置が大型化することがない。
も、金属ホーン型超音波振動子21をリードフレーム4
の上面側に配置し、超音波反射板22をリードフレーム
4の下面側に配置したが、これとは逆に、金属ホーン型
超音波振動子21をリードフレーム4の下面側に、超音
波反射板22をリードフレーム4の上面側に配置しても
よいものである。また、洗浄対象物としてフープ式のリ
ードフレームを用いた場合を例示したが、これに限定さ
れるものではなく、超音波が透過可能な薄肉長尺物であ
れば適用可能である。
音波洗浄装置によるときは、洗浄槽内を通過する薄肉長
尺物の上面または下面のいずれか一方の側に位置して金
属ホーン型超音波振動子を前記薄肉長尺物に向けて配置
するとともに、前記薄肉長尺物を中に挟んで超音波反射
板を前記金属ホーン型超音波振動子に対向配置したの
で、洗浄のための超音波振動子が1つだけで済む。この
ため、これを収容するための洗浄槽と洗浄液回収槽を小
型化することができるとともに、洗浄液の使用量も低減
することができるので、超音波洗浄装置を従来のものに
比べて格段に小型化することができる。また、洗浄液の
使用量が少なくて済むので、洗浄液循環用のポンプも小
容量のもので済み、電力消費量も低減することができ
る。
ときは、請求項1記載の超音波洗浄装置と、超音波洗浄
装置によって洗浄された後の薄肉長尺物を乾燥する乾燥
装置とを組み合わせたので、洗浄乾燥装置全体を小型に
構成することができる。
ときは、請求項1記載の超音波洗浄装置を薄肉長尺物の
進行経路に沿って複数台配置したので、装置全体の容積
をそれほど大きくすることなく洗浄効果を向上すること
ができる。
ときは、各超音波洗浄装置毎に独立に設けられている洗
浄液回収槽を1個にまとめ、1個の洗浄液回収槽を複数
台の超音波洗浄装置で共用したので、洗浄乾燥装置全体
の容積をさらに小さくすることができる。
ときは、乾燥装置として、エアノズル式乾燥ユニット
と、吸湿ローラ式乾燥ユニットと、熱風式乾燥ユニット
を配置したので、洗浄液で濡れた薄肉長尺物をより迅速
に乾燥させることができる。
るときは、超音波方式以外の他の洗浄形式になる洗浄装
置を付加したので、超音波では除去できないゴミやよご
れも効果的に除去することができ、洗浄効果をより一層
高めることができる。
示す模式断面図である。
ードフレーム用洗浄乾燥装置の第1の実施の形態を示す
模式構造図である。
ードフレーム用洗浄乾燥装置の第2の実施の形態を示す
模式構造図である。
ードフレーム用洗浄乾燥装置の第3の実施の形態を示す
模式構造図である。
ードフレーム用洗浄乾燥装置の第4の実施の形態を示す
模式構造図である。
である。
ドフレーム用洗浄乾燥装置の一例を示す模式構造図であ
る。
ドフレーム用洗浄乾燥装置の他例を示す模式構造図であ
る。
Claims (6)
- 【請求項1】 洗浄対象物たる薄肉長尺物を洗浄槽内の
洗浄液中を潜らせながら超音波洗浄するとともに、該洗
浄槽からこぼれ落ちる洗浄液を洗浄槽の周囲に配置した
洗浄液回収槽によって回収し、この回収した洗浄液をフ
ィルタでろ過した後、再び洗浄槽に戻して循環させるよ
うにした超音波洗浄装置において、 前記洗浄槽内を通過する薄肉長尺物の上面または下面の
いずれか一方の側に位置して金属ホーン型超音波振動子
を前記薄肉長尺物に向けて配置するとともに、前記薄肉
長尺物を中に挟んで超音波反射板を前記金属ホーン型超
音波振動子に対向配置したことを特徴とする超音波洗浄
装置。 - 【請求項2】 請求項1記載の超音波洗浄装置と、超音
波洗浄装置によって洗浄された後の薄肉長尺物を乾燥す
る乾燥装置とからなることを特徴とする洗浄乾燥装置。 - 【請求項3】 請求項1記載の超音波洗浄装置を薄肉長
尺物の進行経路に沿って複数台配置したことを特徴とす
る請求項2記載の洗浄乾燥装置。 - 【請求項4】 各超音波洗浄装置毎に独立に設けられて
いる洗浄液回収槽を1個にまとめ、1個の洗浄液回収槽
を複数台の超音波洗浄装置で共用したこと特徴とする請
求項3記載の洗浄乾燥装置。 - 【請求項5】 前記乾燥装置が、エアノズル式乾燥ユニ
ットと、吸湿ローラ式乾燥ユニットと、熱風式乾燥ユニ
ットを配置してなることを特徴とする請求項2〜4のい
ずれかに記載の洗浄乾燥装置。 - 【請求項6】 超音波方式以外の他の洗浄形式になる洗
浄装置を付加したことを特徴とする請求項2〜5のいず
れかに記載の洗浄乾燥装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP30998898A JP3288313B2 (ja) | 1997-11-21 | 1998-10-30 | 超音波洗浄装置およびこれを用いた洗浄乾燥装置 |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP33664997 | 1997-11-21 | ||
JP9-336649 | 1997-11-21 | ||
JP30998898A JP3288313B2 (ja) | 1997-11-21 | 1998-10-30 | 超音波洗浄装置およびこれを用いた洗浄乾燥装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH11216436A JPH11216436A (ja) | 1999-08-10 |
JP3288313B2 true JP3288313B2 (ja) | 2002-06-04 |
Family
ID=26566141
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP30998898A Expired - Lifetime JP3288313B2 (ja) | 1997-11-21 | 1998-10-30 | 超音波洗浄装置およびこれを用いた洗浄乾燥装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3288313B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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CN103341464A (zh) * | 2013-07-05 | 2013-10-09 | 苏州圣利线缆有限公司 | 一种漆包线清洗装置 |
CN111910263A (zh) * | 2020-06-30 | 2020-11-10 | 刘辉 | 一种化纤生产自动清板设备 |
-
1998
- 1998-10-30 JP JP30998898A patent/JP3288313B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH11216436A (ja) | 1999-08-10 |
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