JP3288278B2 - インクジェット記録装置 - Google Patents
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Description
録装置に係り、特に色剤を溶媒中に分散させた液状イン
クを用いてこのインク中に含まれる少なくとも色剤成分
をインク滴として記録媒体上に飛翔させて文字や画像を
記録するインクジェット記録装置に関するものである。
液滴として記録媒体上に吹き付けて記録ドットを形成す
ることにより画像を記録する記録装置は、インクジェッ
トプリンタとして実用化されている。このインクジェッ
トプリンタは、ワイヤドットプリンタのような機械式記
録装置等に比べて騒音が少なく、また、カールソン法等
の電子写真式記録装置等に比べて現像や定着等の処理が
不要であるという利点を有し、普通紙記録技術として注
目されている。
に種々のものが提案されているが、その代表的な方式と
しては、(a)発熱体の熱により発生する蒸気の圧力に
よりインク滴を吐出・飛翔させる電気・熱変換方式(例
えば、特公昭56−9429号公報、特公昭61−59
911号公報等参照)、(b)圧電素子により発生され
た機械的な圧力パルスによりインク滴を飛翔させる圧電
方式(特公昭53−12138号公報参照)等がある。
ヘッド(以下、インクジェットヘッドという。)は、キ
ャリッジに搭載されて記録紙の搬送方向(以下、副走査
方向という。)に対して直交する方向(以下、主走査方
向という。)に移動しながら記録を行なうシリアル走査
型ヘッドが実用化されている。このシリアル走査型ヘッ
ドは、主走査方向に必ず所定量だけ移動しなければ記録
を行なえないので、記録速度を高速にすることは困難で
ある。そこで、記録ヘッドの長さを記録紙の幅と略々同
一に設定した長尺ヘッドを用いて記録速度を高速化した
ライン走査型プリンタも考えられているが、このような
ライン走査型ヘッドを実用化することは以下の理由によ
り容易なことではない。
する個別の細かいノズルが多数設けられているが、本質
的に溶媒の蒸発や揮発により局部的なインクの濃縮が生
じやすく、これが前記ノズルの目詰まりの原因となって
いる。さらに、インクジェットの形成に蒸気の圧力を用
いる方式においては、インクと熱的あるいは化学的に反
応して形成された不溶物質の付着がノズルの目詰まりを
誘起し、また、圧電素子による圧力を用いる方式におい
ては、インク流路等の複雑な構造がノズルの目詰まりを
更に誘起し易くしている。数十個から百数十個程度のノ
ズルを用いているシリアル走査型ヘッドよりもさらに多
い数千個にも上る多数のノズルを用いるライン走査型ヘ
ッドにおいては、更に高い発生頻度のノズルの目詰まり
が確率的に証明されており、実用上の信頼性を欠くとい
う問題を有していた。
は、記録紙上で直径50数μm程度の記録ドットに相当
する直径20μm以下の粒径のインク粒を生成するのが
難しいために、解像度の高いヘッドを製造することが困
難である。また、圧電素子による圧力を用いる方式にお
いては、記録ヘッドの構造が複雑であるために、加工技
術上の問題からやはり解像度の高いヘッドを製造するこ
とが困難である。このため、従来のインクジェット装置
においては、何れの方式のものであっても、解像度の向
上を図ることが困難であるという問題を有していた。
薄膜により形成された複数の個別電極を配列して形成さ
れた電極アレイに電圧を印加し、静電力を用いてインク
液面からインク又はその中の色剤成分をインク滴として
飛翔させるインクジェット記録装置が提案されている。
を飛翔させる方式(特開昭49−62024号公報、特
開昭56−4467号公報等参照)や、帯電した色剤成
分を含むインクを用いて色剤の濃度を高めてインク滴を
飛翔させる方式(特表平7−502218号公報参照)
等が提案されている。これらの方式においては、記録ヘ
ッドの構成が個別のドット毎のノズルを必要としないス
リット状ノズル構造、あるいは個別のドット毎のインク
流路の隔壁を必要としないノズルレス構造であるため
に、ライン走査型記録へッドを実現する上で大きな障害
であった目詰まりの防止と復旧に対して有効である。ま
た、後者の色剤濃度を高める方式においては、非常に小
さい粒径のインク滴を安定的に生成して飛翔させること
ができるので、高解像度化にも適したものとなる。
た静電力により色剤成分をインク粒として飛翔させる方
式のインクジェット記録装置においては、記録ヘッドが
ノズルレスであることから、目詰まり防止に有効である
反面、記録ヘッドの基板上でインクが主走査方向に対し
て自由に移動できるためにインク滴の吐出位置が不安定
となるという問題があった。
りインク滴を吐出させて記録媒体に飛翔させることか
ら、記録ヘッド上の電極位置から色剤成分が反発して逃
げてしまい、色剤成分をインク滴の吐出位置に安定的に
供給できないという問題も有していた。したがって、充
分な量のインク滴を所定の吐出点から安定して飛翔させ
ることが難しく、文字や画像を記録媒体上に良好に記録
できないという問題があった。
インク滴の吐出位置である個別電極の最先端に安定して
供給でき、これにより、インク滴を目詰まり無く安定し
て吐出・飛翔させることができるインクジェット記録装
置を提供することを目的としている。
に、この発明に係るインクジェット記録装置は、溶媒中
に色剤成分を分散させたインクに静電力を作用させるこ
とにより少なくとも前記色剤成分を含むインク滴を記録
媒体に向けて飛翔させて記録媒体上に記録を行なうイン
クジェット記録装置において、前記静電力を作用させる
ための複数個の個別電極と、前記個別電極に前記インク
を供給するインク供給手段と、を備え、前記個別電極
は、前記インク滴飛翔方向に向けて穿設された第1の貫
通孔を有する絶縁性基板と、前記第1の貫通孔に連通す
る第2の貫通孔を有し且つ前記絶縁性基板の少なくとも
一方の面上に形成された制御電極と、前記絶縁性基板及
び制御電極の連通する前記第1の貫通孔及び前記第2の
貫通孔の略中心位置に配設され、インク滴飛翔位置とな
る先端部が前記制御電極又は前記絶縁性基板の上面より
も前記記録媒体側に突出している凸状インクガイドと、
から構成されていることを特徴としている。
も前記第2の貫通孔から前記記録媒体側に突出している
部分の厚さが略一定で、先端が細くなっているものであ
ることを特徴とする。
面を有する台形状の四角錐の形状を有し、前記4つの稜
面に、その底辺から上辺へと連通する少なくとも1つの
凹状の溝が形成されていることを特徴とする。
凹状のくぼみが形成されたものであることを特徴とす
る。
ナス帯電性のものであり、この色剤成分と同極性の静電
力を作用させて少なくとも色剤成分を含むインク滴を記
録媒体に向けて飛翔させることにより記録を行なうもの
であることを特徴とする。
材で形成されているものであることを特徴とする。
の前記記録媒体側のみに形成されているものであること
を特徴とする。
両面にそれぞれ形成された第1制御電極及び第2制御電
極により形成されるものであることを特徴とする。
個別電極に共通となるように一体形成されたものであ
り、前記第2制御電極は、前記複数個の個別電極のそれ
ぞれに対応するように、分離して形成されたものである
ことを特徴とする。
形態を説明する。図1は本発明の第1実施形態に係るラ
イン走査型インクジェットヘッドを用いたインクジェッ
ト記録装置の構成を示す図で、記録ドットに対応した個
別電極の断面を示している。同図においてインク100
は、プラス帯電性の色剤成分を帯電制御剤やバインダー
などとともに、108 Ωcm以上の抵抗率を持つ絶縁性
の溶媒中にコロイド状に分散させ浮遊させたものであ
る。このインク100はポンプおよびインク流路を含む
還流機構111から、ヘッドブロック101に形成され
たインク供給流路112を通して、ヘッド基板102と
制御電極基板103間に向けて供給され、同じくヘッド
ブロック101に形成されたインク回収流路113を通
してインク還流機構111に回収される。
を有する絶縁性基板104と、この貫通孔107の周囲
で記録媒体側に形成されている制御電極109とから構
成されている。一方ヘッド基板102上には凸状インク
ガイド108が前記貫通孔107の略中心位置に配置さ
れている。
実施形態における具体的な形状を示す斜視図で、各凸状
インクガイド108はプラスチック樹脂など絶縁性部材
からなり、前記貫通孔107と中心が等しくなるように
同じ列間隔、ピッチで配置され、所定の方法でヘッド基
板102上に保持されている。各凸状インクガイド10
8は厚みが一定の平板の先端を三角形あるいは台形状に
切り出した形状で、その先端部がインク滴飛翔位置11
0となる。さらに、各凸状インクガイド108は、それ
ぞれの貫通孔からほぼ垂直に所定の距離だけインク滴飛
翔方向に突きだしている。
記録紙である記録媒体121が配置され、この記録媒体
121のヘッド基板102と反対側の背面に、記録媒体
121を案内するプラテンの役割を兼ねる対向電極12
2が配置されている。
例について図2を用いて説明する。図2は、制御電極基
板103を記録媒体121側から見た図で、複数個の個
別電極が主走査方向に二列でアレイ状に配列されて、各
個別電極の中心に貫通孔107が形成され、この貫通孔
107の周辺にはそれぞれ個別の制御電極109が形成
されている。さらに、本実施形態では制御電極109の
内径は貫通孔107の径より一回り大きく設けられてい
る。
104は25μm程度の厚さのポリイミドからなり、制
御電極109は18μm程度の厚さの銅箔からなり、貫
通孔107の内径は150から250μmΦ程度であ
る。
録装置の記録動作を説明する。
11からインク供給流路112を経て供給されたインク
100は貫通孔107から凸状インクガイド108の先
端のインク飛翔位置110に供給されると共に、一部は
インク回収流路113を経てインク還流機構111に回
収される。
源123から常時バイアスとして例えば1.5kVの電
圧が与えられ、これに信号電圧源124からの画像信号
に応じた信号電圧として例えばON時に500Vのパル
ス電圧が制御電圧109に重畳される。一方、記録媒体
121の背面に設けられた対向電極122は、図のよう
に接地電圧0Vに設定されている。
が印加された状態)となり、バイアスDC1.5kVに
500Vのパルス電圧が重畳された合計2kVの電圧が
加わると、凸状電極108先端のインク滴飛翔位置11
0から、色剤成分を中心とするインク滴115が飛び出
し、対向電極122に引っ張られて、該記録媒体121
に向けて飛翔して画像を形成する。
決まっているので、インク滴飛翔位置110は凸状イン
クガイド108のほぼ中央位置に決まり、飛翔時に電圧
の印加により色剤成分が主走査方向に逃げることもな
い。また、本実施形態で示したように、独立した貫通孔
107とその周辺に設けた制御電圧に液体インクを搬送
し、この貫通孔107から略垂直に突出した凸状インク
ガイド108の表面を表面張力でインク滴飛翔位置11
0にインク100を供給しているので、インク滴飛翔位
置110に形成されるインク薄層の厚さもインク還流機
構111から供給されるインク100の圧力や大気圧の
影響や、隣接するドット記録時のインク滴飛翔による干
渉を受けることなく、安定に一定の微小な値に維持され
る。したがって、インク滴115の飛翔が安定化され、
記録媒体121上に濃度の安定した良好な画像を記録す
ることができる。
は本発明の第2実施形態に係るライン走査型インクジェ
ットヘッドを用いたインクジェット記録装置の構成を示
す図で、図1と同様に記録ドットに対応した個別電極の
断面を示している。第2実施形態では前記制御電極基板
103の構造が第1実施形態と異なり、この異なる部分
を中心に説明する。図4において制御電極基板103
は、貫通孔107を有する絶縁性基板104と、この貫
通孔107の周囲に絶縁性基板104をはさんで形成さ
れているインク搬送側の第1制御電極105と記録媒体
側の第2制御電極106からなる一対の制御電極とから
構成されている。
側すなわち第1制御電極105側から見た図で、それぞ
れの個別電極に対応した貫通孔107が主走査方向に二
列でアレイ状に配列され、各貫通孔107の周辺に第1
制御電極105が各貫通孔107に共通な電極として形
成されている。ここで第2制御電極106の構造は第1
の実施形態である図2と同じ構造なので省略する。
2制御電極への電圧のかけ方について説明する。第1実
施形態と同様に第2制御電極106にはバイアス電圧源
123から常時バイアスとして例えばDC1.5kVの
電圧が与えられ、これに信号電圧源124からの画像信
号に応じた信号電圧として例えばON時に500Vのパ
ルス電圧が第2制御電極106に重畳される。一方、第
1制御電極105は無接続で常時ハイインピーダンス状
態に、そして記録媒体121の背面に設けられた対向電
極122は、図のように接地電位0Vに設定されてい
る。
0Vが印加された状態)となり、バイアスDC1.5k
Vに500Vのパルス電圧が重畳された合計2kVの電
圧が加わると、凸状電極108先端のインク滴飛翔位置
110から、色剤成分を中心とするインク滴115が飛
び出し、対向電極122に引っ張られて、該記録媒体1
21に向けて飛翔して画像を形成する。ここで、第1制
御電極は信号記録時に各個別電極に印加された電圧の相
互間の影響を小さくするシールド材として機能してい
る。
は本発明の第3実施形態に係るライン走査型インクジェ
ットヘッドを用いたインクジェット記録装置の構成を示
す図で、図1と同様に、記録ドットに対応した個別電極
の断面を示している。第3の実施形態では前記制御電極
基板103の構造が第1の実施形態と異なり、この異な
る部分を中心に説明する。
を有する絶縁性基板104と、この貫通孔107の周囲
に絶縁性基板104をはさんで形成されている記録媒体
側の第1制御電極105とインク搬送側の第2制御電極
106からなる一対の制御電極とから構成されている。
について図6、図7を用いて説明する。図6は、制御電
極基板103を第2制御電極106側から見た図で、複
数個の個別電極が主走査方向に二列でアレイ状に配列さ
れて、各個別電極の中心に貫通孔107が形成され、こ
の貫通孔107の周辺にはそれぞれ個別の第2制御電極
106が形成されている。さらに、本実施形態では第2
制御電極106の内径は貫通孔107の径より一回り大
きく設けられている。
極105側から見た図で、それぞれの個別電極に対応し
た貫通孔107が主走査方向に二列でアレイ状に配列さ
れ、各貫通孔107の周辺に第1制御電極105が形成
されている。さらに、本第3実施形態では第1制御電極
105の内径は貫通孔107の径より一回り大きく設け
られているが、第2制御電極と異なり各貫通孔107に
共通な電極となっている。
104は25μm程度の厚さのポリイミドからなり、第
1制御電極105と第2制御電極106は共に18μm
程度の厚さの銅箔からなり、貫通孔107の内径は15
0から250μmΦ程度である。
び第2制御電極への電圧のかけ方について説明する。第
1制御電極105および、第2制御電極106にはバイ
アス電圧源123から常時バイアスとして例えばDC
1.5kVの電圧が与えられ、これに信号電圧源124
からの画像信号に応じた信号電圧として例えばON時に
400Vのパルス電圧が第2制御電極106に重畳され
る。一方、記録媒体121の背面に設けられた対向電極
122は、図のように接地電圧0Vに設定されている。
0Vが印加された状態)となり、バイアスDC1.5k
Vに400Vのパルス電圧が重畳された合計1.9kV
の電圧が加わると、凸状電極108先端のインク滴飛翔
位置110から、色剤成分を中心とするインク滴115
が飛び出し、対向電極122に引っ張られて、該記録媒
体121に向けて飛翔して画像を形成する。
に、インク100の流路が決まっているので、インク滴
飛翔位置110は凸状インクガイド108のほぼ中央位
置に決まり、飛翔時に電圧の印加により色剤成分が主走
査方向に逃げることもない。また、本実施形態で示した
ように、独立した貫通孔107とその周辺に設けた一対
の制御電極に液体インクを搬送し、この貫通孔107か
ら略垂直に突出した凸状インクガイド108の表面を表
面張力でインク滴飛翔位置110にインク100を供給
しているので、インク滴飛翔位置110に形成されるイ
ンク薄層の厚さもインク還流機構111から供給される
インク100の圧力や大気圧の影響や、隣接するドット
記録時のインク滴飛翔による干渉を受けることなく、安
定に一定の微小な値に維持される。したがって、インク
滴115の飛翔が安定化され、記録媒体121上に濃度
の安定した良好な画像を記録することができる。
を挟んだ一対の制御電極間の電界でインク滴の飛翔を制
御することで駆動電圧を低くし、駆動ICの低電圧化と
小型化を図ることができる。
の形状について種々の変形例を示したものである。図9
(a)は、インク滴飛翔位置付近に切欠部108aを設
け、あたかも万年筆のペン先のように、先割れ形状とし
たものである。図9(b)は、図9(a)の先端部に、
平坦部108bを設けたものである。図9(c)は、テ
ーパ部108cと三角形状の先端部の2段の形状とする
ことで、表面張力によるインク供給と信号電圧印加によ
るインク飛翔をコントロールし、S/Nが良く文字及び
画像を記録することができる。図9(d)は、二段のテ
ーパ部108dを設け、この結果をさらに促進しようと
したものである。図9(e)は、複数のインクガイドを
連結部108eで連結するようにし、インクガイドの量
産及び組立作業の効率化を図ったものである。また、図
9(f)は、図9(a)の先割れ形状を有すると共に先
端面を平端面108fにしたものである。
0は本発明の第4実施形態に係るライン走査型インクジ
ェットヘッドを用いたインクジェットヘッド記録装置の
構成を示す図で、記録ドットに対応したヘッド断面を示
している。
は、凸状インクガイド108に代えて凸状インクガイド
118を用いた点である。図10は、凸状インクガイド
118以外の構成については図5と同様である。また、
凸状インクガイド118以外の構成について、図1及び
図4と同様の構成とすることもできるが、これらの図示
及び説明は省略する。
されている凸状インクガイド118の本実施形態におけ
る具体的な形状を示す図であり、各凸状インクガイド1
18は前記貫通孔107と中心が等しくなるように同じ
列間隔、ピッチで配置されている。各凸状インクガイド
118は台形状の四角錐の形状で、それぞれ4つの稜面
には凹状溝119が設けられており、その先端部がイン
ク滴飛翔位置110となる。さらに、この凸状インクガ
イド118先端部にも凹状のくぼみが形成されている。
ヘッド基板102上に配置されている凸状インクガイド
118形成方法の一例を示した図で、本実施形態ではS
i単結晶基板の異方性エッチングを利用している。
に、p型<100>結晶面方位のSi単結晶基板501
上に厚さ0.1μmのSiO2 熱酸化層502をドライ
酸化法により形成し、更に第1のレジスト層503をス
ピンコート法により塗布する。次に、例えばステッパを
用いて、例えば50μm角のマスク開口部504が得ら
れるように露光、現像などのパターニングを行なった後
NH4 F・HF混合溶液により、SiO2 膜のエッチン
グを行なうと図12(b)に示すようになる。レジスト
除去後に、30wt%のKOH水溶液を用いて異方性エ
ッチングを行ない、図12(c)に示すように深さ70
−80μmの先端が平らな角錐状突起505をSi単結
晶基板501上に形成する。ここで、マスク開口部50
4の大きさは、アンダーエッチング分を見込んで所望の
角錐状突起505の大きさよりも大きく形成されてい
る。
稜面部に凹状の溝を形成する。ここではまず、角錐状突
起505先端部に残されたSiO2 酸化層502を一旦
除去した後、図12(d)に示すように例えばモリブデ
ン、タンタル、カッパー、クロムなどからなる溝形成層
511をスパッタリングで厚さ55μm程度形成し、更
に第2のレジスト層512をスピンコート方法で形成す
る。
状突起505の先端部、および稜面部に形成する凹状溝
パターン513をパターニングする。そして、溝形成層
511をエッチングし、第2のレジスト層512を取り
除いたものが図13(b)に示されており、所定の位置
に凹状溝514が形成されて、図11で示す先端部と4
つの稜面に凹状溝119が設けられた台形状の四角錐の
凸状インクガイド118が形成される。
をプラス帯電性のものとして述べてきたが、マイナス帯
電性であっても構わないことは言うまでもない。そのと
きには以降述べる諸電極への印加電圧を全て逆の極性と
して考えれば良い。
て、凸状インクガイドを持つ平面ヘッド基板をIC製造
のフォトリソグラフィ技術で製造しているが、光ディス
ク製造と同じようにこの技術で作ったものを型として用
い複製して作っても良い。さらには、この凸状インクガ
イドに電極パターンをパターニングし、前記制御電極と
組み合わせて個別電極を構成することもできる。すなわ
ち、この制御電極基板と凸状インクガイドを持つ平面ヘ
ッド基板は、IC製造のフォトリソグラフィ技術で製造
でき、信頼性の高い高精度ヘッドが可能となるばかりで
なく、薄い絶縁層を挟んだ一対の制御電極間の電界でイ
ンク滴の飛翔を制御することで駆動電圧を低くし、駆動
ICの低電圧化と小型化を図ることができる。
ェット記録装置によれば、インク中の色剤成分に静電力
を作用させる個別電極は、貫通孔を有する絶縁性基板と
この貫通孔に対応して形成された制御電極からなる制御
電極基板と、この貫通孔のほぼ中心位置に配置された凸
状インクガイドとから構成され、この凸状インクガイド
表面を表面張力でインクをインク滴飛翔位置まで運び、
制御電極に所定の電圧を印加することで記録媒体にイン
ク滴を飛翔させる構成としたことにより、ノズルでの目
詰まりがなく、しかもインク滴飛翔位置やインク滴飛翔
位置でのインク薄層の厚さが一様に決まるので、インク
の圧力や大気圧、および隣接ドットの影響を受けること
なく、インク滴の飛翔が安定化され、濃度の安定した高
品質の記録を行なうことができる。
録装置のインクジェットヘッド部及び要部を示す構成
図。
明図。
形状を示す説明図。
録装置のインクジェットヘッド部及び要部を示す構成
図。
録装置のインクジェットヘッド部及び要部を示す構成
図。
す説明図。
す説明図。
基板上に配置されている凸状インクガイドの形状を示す
斜視図。
基板上に配置されている凸状インクガイドの他の実施形
状を示す斜視図。
記録装置のインクジェットヘッド部及び要部の構成を示
す構成図。
されている凸状インクガイドの形状を示す斜視図。
成するプロセスを説明する図。
成するプロセスを説明する図。
Claims (9)
- 【請求項1】溶媒中に色剤成分を分散させたインクに静
電力を作用させることにより少なくとも前記色剤成分を
含むインク滴を記録媒体に向けて飛翔させて記録媒体上
に記録を行なうインクジェット記録装置において、 前記静電力を作用させるための複数個の個別電極と、 前記個別電極に前記インクを供給するインク供給手段
と、 を備え、前記個別電極は、前記インク滴飛翔方向に向け
て穿設された第1の貫通孔を有する絶縁性基板と、前記
第1の貫通孔に連通する第2の貫通孔を有し且つ前記絶
縁性基板の少なくとも一方の面上に形成された制御電極
と、前記絶縁性基板及び制御電極の連通する前記第1の
貫通孔及び前記第2の貫通孔の略中心位置に配設され、
インク滴飛翔位置となる先端部が前記制御電極又は前記
絶縁性基板の上面よりも前記記録媒体側に突出している
凸状インクガイドと、から構成されていることを特徴と
とするインクジェット記録装置。 - 【請求項2】前記凸状インクガイドは、少なくとも前記
第2の貫通孔から前記記録媒体側に突出している部分の
厚さが略一定で、先端が細くなっているものであること
を特徴とする請求項1記載のインクジェット記録装置。 - 【請求項3】前記凸状インクガイドは、4つの稜面を有
する台形状の四角錐の形状を有し、前記4つの稜面に、
その底辺から上辺へと連通する少なくとも1つの凹状の
溝が形成されていることを特徴とする請求項1記載のイ
ンクジェット記録装置。 - 【請求項4】前記凸状インクガイドは、先端部に凹状の
くぼみが形成されたものであることを特徴とする請求項
1記載のインクジェット記録装置。 - 【請求項5】前記色剤成分はプラスあるいはマイナス帯
電性のものであり、この色剤成分と同極性の静電力を作
用させて少なくとも色剤成分を含むインク滴を記録媒体
に向けて飛翔させることにより記録を行なうことを特徴
とする請求項1記載のインクジェット記録装置。 - 【請求項6】前記凸状インクガイドは、絶縁性部材で形
成されているものであることを特徴とする請求項1記載
のインクジェット記録装置。 - 【請求項7】前記制御電極は、前記絶縁性基板上の前記
記録媒体側のみに形成されているものであることを特徴
とする請求項1記載のインクジェット記録装置。 - 【請求項8】前記制御電極は、前記絶縁性基板の両面に
それぞれ形成された第1制御電極及び第2制御電極によ
り形成されるものであることを特徴とする請求項1記載
のインクジェット記録装置。 - 【請求項9】前記第1制御電極は、前記複数個の個別電
極に共通となるように一体形成されたものであり、 前記第2制御電極は、前記複数個の個別電極のそれぞれ
に対応するように、分離して形成されたものであること
を特徴とする請求項8記載のインクジェット記録装置。
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