JP3277733B2 - Method and apparatus for recording optical information on optical disc - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【０００１】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、レーザー光線等の光学
的手段を用いて情報を高速かつ高密度に記録、再生する
光ディスクの記録方法及びその記録装置に関するもので
ある。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an optical disk recording method and apparatus for recording and reproducing information at high speed and high density by using optical means such as a laser beam.

【０００２】[0002]

【従来の技術】レーザー光線を利用して高密度な情報の
再生あるいは記録を行う技術は公知であり、おもに光デ
ィスクとして実用化されている。2. Description of the Related Art Techniques for reproducing or recording high-density information using a laser beam are well known, and are mainly put to practical use as optical disks.

【０００３】光ディスクは再生専用型、追記型、書き換
え型に大別することができる。再生専用型はコンパクト
ディスクやレーザーディスクとして、また追記型や書き
換え型は文書ファイル、データファイル等として実用化
されている。書き換え型光ディスクの中にはおもに光磁
気と相変化型がある。相変化光ディスクは記録層がレー
ザー光線の照射によってアモルファスと結晶間（あるい
は結晶とさらに異なる構造の結晶間）で可逆的に状態変
化を起こすことを利用する。これは、レーザ光照射によ
り薄膜の屈折率あるいは消衰係数のうち少なくともいず
れか一つが変化して記録を行い、この部分で透過光ある
いは反射光の振幅が変化し、その結果検出系に至る透過
光量あるいは反射光量が変化することを検出して信号を
再生する。アモルファスと結晶間で状態変化を起こす材
料としてはＴｅ、Ｓｅ、Ｉｎ、Ｓｂ等の合金が主に用い
られている。[0003] Optical disks can be broadly classified into a read-only type, a write-once type, and a rewritable type. The read-only type has been put into practical use as a compact disk or a laser disk, and the write-once type or rewritable type has been put into practical use as a document file, a data file or the like. Among rewritable optical disks, there are mainly magneto-optical and phase change types. The phase change optical disk utilizes the fact that the recording layer reversibly changes its state between amorphous and crystalline (or between crystalline and further different crystalline) by irradiation of a laser beam. This is because at least one of the refractive index and the extinction coefficient of the thin film is changed by laser beam irradiation, and recording is performed. At this point, the amplitude of the transmitted light or reflected light changes, and as a result, the transmitted light reaches the detection system. A signal is reproduced by detecting that the light amount or the reflected light amount changes. Alloys such as Te, Se, In, and Sb are mainly used as materials that cause a state change between amorphous and crystalline.

【０００４】相変化光ディスクでは記録マークの書き換
えに１ビームオーバーライトを用いることができる。１
ビームオーバーライトとは記録信号によりレーザーパワ
ーを記録レベルと消去レベルの間で変調して信号トラッ
ク上に照射することにより、既に記録されている古い信
号を消去しながら新しい信号を記録する方法である。記
録レベルで照射された領域は元の状態がアモルファスか
結晶かにかかわらず溶融後冷却されるためアモルファス
となり、消去レベルで照射された領域は結晶化温度以上
に昇温するため元の状態にかかわらず結晶化して、新し
い信号がオーバーライトされる。In a phase change optical disk, one-beam overwriting can be used for rewriting a recording mark. 1
Beam overwriting is a method of recording a new signal while erasing an already recorded old signal by irradiating a signal track with a laser power modulated between a recording level and an erasing level by a recording signal. . The region irradiated at the recording level becomes amorphous because it cools after melting, regardless of whether the original state is amorphous or crystalline, and the region irradiated at the erase level rises above the crystallization temperature, regardless of the original state. Crystallization, and the new signal is overwritten.

【０００５】また、一つの記録マークを形成するための
記録波形を複数のパルスからなる記録パルス列で構成
（以下マルチパルス記録）する記録方法が提案されてい
る（例えば、特願平１ー３２３３６９号）。Further, there has been proposed a recording method in which a recording waveform for forming one recording mark is composed of a recording pulse train composed of a plurality of pulses (hereinafter, multi-pulse recording) (for example, Japanese Patent Application No. 1-323369). ).

【０００６】ところで、光ディスクの記録再生装置では
光ディスクの回転方式は大別して２つある。ディスクの
内外周で線速度が同じになるようにディスクを回転させ
る方法（以下ＣＬＶ）と、ディスクを一定の角速度で回
転させる方法（以下ＣＡＶ）である。例えば、コンピュ
ーター用の外部メモリ等に用いられるデータファイルの
様に高速なアクセスが必要とされる場合にはディスク回
転数を変えるには時間がかかるためＣＡＶが使用されて
おり、この場合、ディスクの周方向の線速度が外周で速
く内周で遅くなる。[0006] In an optical disk recording / reproducing apparatus, there are roughly two types of optical disk rotation systems. A method of rotating the disk so that the linear velocities are the same on the inner and outer circumferences of the disk (hereinafter, CLV) and a method of rotating the disk at a constant angular velocity (hereinafter, CAV). For example, when high-speed access is required as in a data file used for an external memory for a computer or the like, it takes time to change the disk rotation speed, so CAV is used. The linear velocity in the circumferential direction is faster at the outer periphery and slower at the inner periphery.

【０００７】[0007]

【発明が解決しようとする課題】光ディスク装置で半導
体レーザーにより光を照射して物理的状態変化を生じさ
せる場合、例えば書き換え可能な相変化材料を用いた光
ディスクにおいて良好な記録再生特性を得るには、アモ
ルファスの記録マークを安定して形成することと、充分
な消去率を実現することが不可欠である。しかしなが
ら、ＣＡＶモードでは線速度の大きい外周では消去率の
低下がおこり、逆に線速度の小さい内周で充分な大きさ
の記録マークが形成できなかったりあるいはマーク歪が
生じる場合があった。これは外周ほどレーザースポット
が信号トラック上の一点を通過する時間が短くなるため
結晶化が不充分となり消し残りを生じ、逆に内周ほど通
過時間が長くなるため溶融された領域は冷却速度が小さ
いために再結晶化してしまい充分にアモルファス化され
ないためである。上記消し残りやマーク歪等は共に再生
波形の歪やノイズになって再生ジッタの原因となってい
た。この問題点を解決する方法として、我々は、内周よ
り外周ゾーンにおいて結晶化速度を速くする、外周ゾー
ンより内周ゾーンにおける反射層の厚膜化、記録層の薄
膜化および反射層側誘電体層の薄膜化をおこなう等の半
径方向における薄膜構成の異なるゾーンを設けたディス
クを提案する。しかし、より記録再生のマージンの拡大
および安定性をはかるためには、さらなる再生ジッタ低
下をはかる必要がある。When a physical state change is caused by irradiating light from a semiconductor laser in an optical disk device, for example, in order to obtain good recording / reproducing characteristics in an optical disk using a rewritable phase change material. It is indispensable to stably form amorphous recording marks and to realize a sufficient erasing rate. However, in the CAV mode, the erasing rate decreases at the outer periphery where the linear velocity is high, and conversely, a recording mark of a sufficient size cannot be formed or the mark distortion occurs at the inner periphery where the linear velocity is low. This is because the time required for the laser spot to pass through one point on the signal track becomes shorter at the outer circumference, resulting in insufficient crystallization, resulting in erasure. The reason for this is that, since it is small, it is recrystallized and is not sufficiently made amorphous. Both the unerased portion and the mark distortion, etc., have become distortions and noises in the reproduced waveform, causing reproduction jitter. As a method of solving this problem, we increase the crystallization speed in the outer peripheral zone from the inner peripheral zone, increase the thickness of the reflective layer in the inner peripheral zone from the outer peripheral zone, reduce the thickness of the recording layer, and reduce the dielectric layer side dielectric. We propose a disk having zones with different thin film configurations in the radial direction, such as thinning the layers. However, in order to further increase the margin and stability of recording and reproduction, it is necessary to further reduce reproduction jitter.

【０００８】本発明は上記問題点を解決するもので、Ｃ
ＡＶモードでディスクの内外周全面においてアモルファ
スの記録マークを安定して形成することを実現する記録
方法を提供することを目的とする。[0008] The present invention solves the above-mentioned problems, and the C
It is an object of the present invention to provide a recording method that realizes stable formation of amorphous recording marks over the entire inner and outer circumferences of a disk in an AV mode.

【０００９】[0009]

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
の本発明の記録方法は、光照射によってアモルファス相
と結晶相との間で可逆的に相変化を起こす相変化記録層
と、誘電体層と、反射層とが少なくともこの順に基体上
に積層された光ディスクと、記録すべき情報の入力信号
波形をあらかじめ決められた波形補正方法で補正する波
形補正手段と、前記波形補正手段から出力された記録波
形信号に応じてレーザー光を発光させるレーザー駆動手
段と、前記レーザー駆動手段から出力されたレーザー駆
動信号に応じてレーザースポットを前記光ディスクに照
射させるレーザー光照射手段とを用いて、前記光ディス
クを一定の角速度で回転させながらレーザー光を照射し
て前記光ディスク上に記録波形信号に応じた記録マーク
を形成する光学的情報の記録方法であって、前記光ディ
スクにおける相変化記録層・誘電体層・反射層のうち少
なくともいずれか一つの層構成が前記光ディスクの中心
を同心円とする複数のゾーン毎で異なっており、かつ前
記ゾーン毎に前記波形補正手段の波形補正方法を変える
ことを特徴とするものである。According to the present invention, there is provided a recording method comprising:
Change recording layer that causes a reversible phase change between crystal and crystalline phase
, The dielectric layer, and the reflective layer are formed on the substrate at least in this order.
Optical disks stacked on a disc and input signals for information to be recorded
Wave whose waveform is corrected by a predetermined waveform correction method
Shape correction means, and a recording wave output from the waveform correction means
Laser driver that emits laser light according to the shape signal
And a laser drive output from the laser drive means.
A laser spot is illuminated on the optical disk in response to a motion signal.
Using a laser beam irradiating means.
Irradiate the laser beam while rotating the laser at a constant angular speed.
A recording mark corresponding to a recording waveform signal on the optical disk.
A method for recording optical information for forming
Of the phase change recording layer, dielectric layer and reflective layer
At least one layer configuration is the center of the optical disc.
Is different for each of the multiple zones where
Change the waveform correction method of the waveform correction means for each zone
It is characterized by the following.

【００１０】また、前記記録方法を実現する装置とし
て、レーザースポットがどのゾーンに位置するかを検出
して、前記記録波形補正をゾーンに応じて切り換える記
録装置を提案する。As a device for realizing the recording method, a recording device that detects a zone where a laser spot is located and switches the recording waveform correction in accordance with the zone is proposed.

【００１１】[0011]

【作用】ゾーンに応じて記録波形を最適化することで、
内周から外周までマーク歪の少ない記録が可能となる。[Function] By optimizing the recording waveform according to the zone,
Recording with less mark distortion from the inner circumference to the outer circumference can be performed.

【００１２】[0012]

【実施例】以下、図面を用いて本発明を説明する。DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS The present invention will be described below with reference to the drawings.

【００１３】まず、本実施例で採用した具体的な記録波
形の形状を図１に示す。（ａ）はＥＦＭ（Ｅｉｇｈｔ
ｔｏ Ｆｏｕｒｔｅｅｎ Ｍｏｄｕｌａｔｉｏｎ）信号
の入力波形の一例である。ＥＦＭ変調は３Ｔから１１Ｔ
の間の９種類の長さの信号の組合せによってデータを変
調するものでここでいうＴとはクロックのことである。
（ｂ）は（ａ）の入力波形を記録する場合の記録波形Ｂ
であり、（ａ）の入力波形より各入力波形で１．５Ｔず
つ先頭部分を削ったものである。（ｃ）は（ａ）の入力
波形を記録する場合の記録波形Ｃであり、（ａ）の入力
波形より各入力波形で１．７５Ｔずつ先頭部分を削った
ものである。（ｄ）は（ａ）の入力波形を記録する場合
のマルチパルス記録波形Ｄであり、短パルス列中の先頭
パルスの幅は１．５Ｔ、後続パルスの幅および間隔はど
ちらも０．５Ｔである。（ｅ）は前記記録波形Ｄより短
パルス列中の先頭パルス幅を１．５Ｔと同じくし後続パ
ルス幅を０．７５Ｔと広くした記録波形Ｅである。
（ｆ）は前記記録波形Ｄより後続パルス列中の最後部の
パルスのみを０．７５Ｔと広くした記録波形Ｆである。First, FIG. 1 shows a specific recording waveform shape employed in this embodiment. (A) is an EFM (Eight
4 is an example of an input waveform of a to Fourteen Modulation signal. EFM modulation is 3T to 11T
The data is modulated by a combination of signals having nine types of lengths, and T is a clock here.
(B) shows a recording waveform B when recording the input waveform of (a).
In this figure, the leading portion of each input waveform is cut off by 1.5T from the input waveform of (a). (C) is a recording waveform C in the case of recording the input waveform of (a), which is obtained by cutting the leading portion of each input waveform from the input waveform of (a) by 1.75T. (D) is a multi-pulse recording waveform D in the case of recording the input waveform of (a), wherein the width of the first pulse in the short pulse train is 1.5T, and the width and interval of the subsequent pulse are both 0.5T. . (E) is a recording waveform E in which the leading pulse width in the short pulse train is equal to 1.5T and the succeeding pulse width is increased to 0.75T from the recording waveform D.
(F) is a recording waveform F in which only the last pulse in the subsequent pulse train is wider than the recording waveform D by 0.75T.

【００１４】図２をもちいて本実施例で用いたディスク
の構造について説明する。誘電体層、記録層、反射層は
真空蒸着、またはスパッタリングなどの方法で、透明基
板上に形成する。基板２１上に、第１の誘電体２２、記
録層２３、第２の誘電体層２４、反射層２５を順次設け
る。さらにその上に透明な密着した保護層２６を設け
る。なお、図２ではディスク半径方向の内周ゾーン２７
と外周ゾーン２８の２ゾーン構造であるが、ゾーンが３
つ以上の場合の光ディスクも作成できる。また、反射層
２５や保護層２６のない構造の光ディスクもある。記
録、再生を行うレーザー光は基板２１側から入射させ
る。The structure of the disk used in this embodiment will be described with reference to FIG. The dielectric layer, the recording layer, and the reflection layer are formed on a transparent substrate by a method such as vacuum evaporation or sputtering. On a substrate 21, a first dielectric 22, a recording layer 23, a second dielectric layer 24, and a reflective layer 25 are sequentially provided. Further, a transparent and closely adhered protective layer 26 is provided thereon. In FIG. 2, the inner circumferential zone 27 in the disk radial direction is used.
And the outer zone 28, the zone is
More than one optical disc can also be created. There is also an optical disk having a structure without the reflective layer 25 and the protective layer 26. Laser light for recording and reproduction is made incident from the substrate 21 side.

【００１５】基板２１の材質は、ガラス、石英、ポリカ
ーボネート、あるいは、ポリメチルメタクリレートを使
用できる。また基板は平滑な平板でも表面にトラッキン
グガイド用の溝状の凸凹があってもよい。The material of the substrate 21 can be glass, quartz, polycarbonate, or polymethyl methacrylate. The substrate may be a smooth flat plate or may have grooves on the surface for tracking guide.

【００１６】保護層２６としては樹脂を溶剤に溶かして
塗布・乾燥したものや樹脂板を接着剤で接着したもの等
が使える。As the protective layer 26, a material obtained by dissolving a resin in a solvent and applying and drying the resin or a material obtained by bonding a resin plate with an adhesive can be used.

【００１７】記録層２３に用いる記録層材料としてはア
モルファス・結晶間の相変化をするカルコゲン合金がよ
くしられており、例えばＳｂＴｅ系,ＧｅＳｂＴｅ系,Ｇ
ｅＳｂＴｅＳｅ系,ＧｅＳｂＴｅＰｄ系,ＴｅＧｅＳｎＡ
ｕ系,ＡｇＳｂＴｅ系,ＧｅＴｅ系,ＧａＳｂ系,ＩｎＳｅ
系,ＩｎＳｂ系,ＩｎＳｂＴｅ系,ＩｎＳｂＳｅ系,ＩｎＳ
ｂＴｅＡｇ系等が使える。As the recording layer material used for the recording layer 23, a chalcogen alloy which changes the phase between amorphous and crystalline is often used. For example, SbTe type, GeSbTe type, G
eSbTeSe system, GeSbTePd system, TeGeSnA
u-based, AgSbTe-based, GeTe-based, GaSb-based, InSe
System, InSb system, InSbTe system, InSbSe system, InS
A bTeAg system or the like can be used.

【００１８】記録層材料としてＧｅＳｂＴｅを用いた場
合、特にｘＧｅＴｅ＋（１−ｘ）Ｓｂ₂Ｔｅ₃＋ｙＳｂ
（０＜ｘ≦１、ｙ≧０）を満たす組成のものが書き換え
型相変化光ディスクの材料として適している。このこと
に関しては、ジャパニーズ・ジャーナル・オブ・アプラ
イド・フィジックス ２６（１９８７年）第６１頁から
第６６頁（Ｊａｐａｎｅｓｅ Ｊｏｕｒｎａｌ ｏｆ
Ａｐｐｌｉｅｄ Ｐｈｙｓｉｃｓ，Ｖｏｌ．２６（１９
８７）６１−６６）に開示されている。When GeSbTe is used as a recording layer material, in particular, xGeTe + (1-x) Sb ₂ Te ₃ + ySb
A material having a composition satisfying (0 <x ≦ 1, y ≧ 0) is suitable as a material for a rewritable phase-change optical disc. In this regard, the Japanese Journal of Applied Physics 26 (1987) pp. 61-66 (Japanese Journal of Japan)
Applied Physics, Vol. 26 (19
87) 61-66).

【００１９】誘電体層２２、２４としてはＳｉＯ₂、Ｓ
ｉＯ、ＴｉＯ₂、ＭｇＯ、Ｔａ₂Ｏ₅、Ａｌ₂Ｏ₃、Ｇｅ
Ｏ₂、Ｓｉ₃Ｎ₄、ＢＮ、ＡｌＮ、ＳｉＣ、ＺｎＳ、Ｚｎ
Ｓｅ、ＺｎＴｅ、ＰｂＳ等あるいはこれらの混合物が使
える。The dielectric layers 22 and 24 are made of SiO ₂ , S
_{iO, TiO 2, MgO, Ta} 2 O 5, Al 2 O 3, Ge
O ₂ , Si ₃ N ₄ , BN, AlN, SiC, ZnS, Zn
Se, ZnTe, PbS, etc., or a mixture thereof can be used.

【００２０】反射層２５としてはＡｕ、Ａｌ、Ｃｕ、Ｃ
ｒ、Ｎｉ、Ｔｉ等の金属材料を主成分とした材料あるい
はこれらの混合物、さらには所定の波長における反射率
の大きな誘電体多層膜等が使える。Au, Al, Cu, C
A material mainly composed of a metal material such as r, Ni, Ti, or a mixture thereof, or a dielectric multilayer film having a large reflectance at a predetermined wavelength can be used.

【００２１】本願発明の記録方法を用いるディスクの特
徴は、内外周のゾーンにおいて薄膜構成が異なることに
ある。例えば内周より外周ゾーンにおいて結晶化速度を
速くしたディスクである。ＣＡＶモードで光ディスクを
回転させた場合、線速度の大きい外周では消去率の低下
がおこり、逆に線速度の小さい内周で充分な大きさの記
録マークが形成できなかったりあるいはマーク歪が生じ
る場合があり再生ジッタの原因となっていた。しかし、
記録層の結晶化速度を外周ほど大きくすることにより内
外周における消去率をほぼ同等にできた。結晶化速度を
変化させるには、ＧｅＳｂＴｅ系記録層においてはＳｂ
量を変化させる、あるいはさらに第４の元素を添加する
ことにより可能であった。例えば、ｘＧｅＴｅ＋（１−
ｘ）Ｓｂ ₂Ｔｅ₃ （０＜ｘ≦１）で表される組成にさら
にＳｂを添加すれば結晶化速度は遅くなる。さらに、Ｇ
ｅＳｂＴｅの３元系にＡｇ、Ｃｕ、Ｃｏ、Ｔｌ、Ｐｄ、
Ａｕ、Ｂｉ、Ｓｅ、Ｓｎ、Ｐｔ、Ｎｉを添加しても結晶
化速度は遅くできる。さらには、反射層の厚膜化、記録
層の薄膜化および反射層側誘電体層の薄膜化は記録層の
冷却速度を高めることができ、結果として内周において
良好なアモルファスマークが形成できジッタが小さくで
きた。The characteristics of a disk using the recording method of the present invention are described below.
The sign is that the thin film configuration differs in the inner and outer zones.
is there. For example, increase the crystallization speed in the outer zone from the inner zone.
This is a faster disk. Optical disk in CAV mode
When rotated, the erasure rate decreases at the outer periphery where the linear velocity is high.
Occurs, and conversely, a sufficiently large
Recording marks cannot be formed or mark distortion occurs.
In some cases, causing reproduction jitter. But,
Increasing the crystallization rate of the recording layer toward the outer
The erasure rate at the outer periphery could be made almost equal. Crystallization rate
To change it, Sb should be used in the GeSbTe-based recording layer.
Change the amount, or further add a fourth element
This was possible. For example, xGeTe + (1-
x) Sb _TwoTe_Three (0 <x ≦ 1)
If Sb is added to the solution, the crystallization speed becomes slow. Furthermore, G
Ag, Cu, Co, Tl, Pd, ternary system of eSbTe
Crystals are added even when Au, Bi, Se, Sn, Pt, and Ni are added.
The conversion speed can be reduced. Furthermore, thickening the reflective layer and recording
The thickness of the recording layer and the thickness of the reflective layer
Cooling rate can be increased, and as a result
Good amorphous marks can be formed and jitter is small.
Came.

【００２２】本願発明ではこれらのディスクに対して、
一つの記録マークを形成するための記録波形を複数のゾ
ーンにおいて、そのゾーン毎に記録レーザー光波形を補
正し、その記録波形補正をゾーンに応じて切り換える記
録装置を提案することで、内周から外周までマーク歪が
より少ない記録を可能にすることを特徴とするものであ
る。In the present invention, these discs are
In a plurality of zones, a recording waveform for forming one recording mark is corrected for a recording laser beam waveform for each zone, and a recording device that switches the recording waveform correction according to the zone is proposed from the inner periphery. It is characterized by enabling recording with less mark distortion up to the outer periphery.

【００２３】以下、具体的実施例をもって本発明をさら
に詳細に説明する。 （実施例１）反射層厚を内外周でＣＡＶモードに対して
最適化したディスクのゾーン毎で、記録波形を図１の記
録波形Ｂ、Ｃと変えた場合すなわち、単パルス長を変化
させた場合について説明する。図７にそのディスクの構
造を示す。反射層厚を内外周ゾーンで変えたディスク
は、φ１３０ｍｍのポリカーボネート製信号記録用トラ
ックを持つ基板を用いた。このディスクにおいては半径
２２ｍｍ以上４０ｍｍ未満を内周ゾーン、半径４０ｍｍ
以上５８ｍｍ以下を外周ゾーンとした。前記基板上に第
１の誘電体層としてＺｎＳ−ＳｉＯ₂混合膜を厚さ１３
００Åスパッタリングにより形成した。記録層組成はＧ
ｅ_21.6Ｓｂ_24.3Ｔｅ_54.1；（２ＧｅＴｅ＋Ｓｂ₂Ｔｅ₃＋
０．２５Ｓｂ）とし、記録層を２５０Å、第２の誘電体
層としてＺｎＳ−ＳｉＯ₂混合膜を厚さ２００Å形成し
た。反射層はまずＡｌ膜を１２５０Å 形成したのち、
図３に示す様な内周部のみ穴のあいているマスク３１を
用いて内周部にＡｌ膜を７５０Åスパッタリングにより
成膜を行った。すなわち、外周ゾーン、内周ゾーンでの
それぞれの反射層厚は１２５０Å、２０００Åとしたの
である。そしてその上にポリカーボネートの保護層を設
けた。Hereinafter, the present invention will be described in more detail with reference to specific examples. (Example 1) When the recording waveform was changed from the recording waveforms B and C in FIG. 1 for each zone of the disk in which the thickness of the reflective layer was optimized for the CAV mode on the inner and outer circumferences, that is, the single pulse length was changed. The case will be described. FIG. 7 shows the structure of the disk. As a disk having a different reflective layer thickness in the inner and outer peripheral zones, a substrate having a φ130 mm polycarbonate signal recording track was used. In this disc, a radius of 22 mm or more and less than 40 mm is defined as an inner peripheral zone, and a radius of 40 mm.
The area of not less than 58 mm was defined as the outer peripheral zone. A ZnS—SiO ₂ mixed film having a thickness of 13 as a first dielectric layer is formed on the substrate.
It was formed by 00 ° sputtering. The recording layer composition is G
e _21.6 Sb _24.3 Te _54.1 ; (2GeTe + Sb ₂ Te ₃ +
0.25 Sb), a recording layer was formed at 250 °, and a ZnS—SiO ₂ mixed film was formed as a second dielectric layer at a thickness of 200 °. After forming an Al film at 1250Ａｌ,
An Al film was formed on the inner periphery by sputtering at 750 ° using a mask 31 having a hole only in the inner periphery as shown in FIG. That is, the thicknesses of the reflective layers in the outer peripheral zone and the inner peripheral zone were 1250 ° and 2000 °, respectively. Then, a protective layer of polycarbonate was provided thereon.

【００２４】また、誘電体層厚、記録層厚を内外周ゾー
ンで変えたディスクを作製する場合には、膜厚を変える
層をスパッタリングする場合に図３の内周部スパッタ用
マスク３１あるいは図４の外周部スパッタ用マスク４１
を用いて膜厚を制御し形成すればよい。また、記録層組
成を内外周ゾーンで変えたディスクを作製する場合にも
前記マスク３１、４１を用いればよい。When manufacturing a disk in which the thickness of the dielectric layer and the thickness of the recording layer are changed in the inner and outer peripheral zones, when sputtering the layer whose thickness is to be changed, the inner peripheral portion sputtering mask 31 of FIG. 4 outer peripheral portion sputtering mask 41
May be used to control the film thickness. The masks 31 and 41 may also be used when producing a disk in which the composition of the recording layer is changed between the inner and outer peripheral zones.

【００２５】上記の光ディスクの評価条件は、レーザー
光の波長が７８０ｎｍ、記録装置の記録再生に用いる光
学ヘッドの対物レンズのＮＡを０．５５、ディスク回転
数１０００ｒｐｍ、ＥＦＭ信号を最短マーク長が常に
０．９０μｍとなるようにクロックＴを変えて１ビーム
オーバーライトにより１００回記録し、３Ｔ再生信号の
ゼロクロス点のジッタ値：σ／Ｔｗ（％）を半径２３、
３０、３７、４３、５０、５７ｍｍの位置で測定した。
ここでσはジッタの標準偏差、Ｔｗは検出系のウインド
ウ幅である。前記半径でのそれぞれの線速度は、内周側
から約２．４、３．１、３．９、４．５、５．２、６．
０ｍ／ｓである。それぞれのディスク、それぞれのゾー
ンについて、信号の記録は記録マーク長が０．９μｍと
なる単一周波数を記録したとき、Ｃ／Ｎが飽和する記録
パワーとその信号を消去した場合に消去率がー２０ｄＢ
を越えるパワーマージンの中央値のパワーを設定した。The above optical disc evaluation conditions are as follows: the wavelength of the laser beam is 780 nm, the NA of the objective lens of the optical head used for recording and reproduction of the recording device is 0.55, the disc rotation speed is 1000 rpm, and the shortest mark length is always the EFM signal. Recording was performed 100 times by one-beam overwriting while changing the clock T so as to be 0.90 μm, and the jitter value at the zero-cross point of the 3T reproduced signal: σ / Tw (%) was calculated with a radius of 23,
It measured at the position of 30, 37, 43, 50, and 57 mm.
Here, σ is the standard deviation of the jitter, and Tw is the window width of the detection system. The respective linear velocities at the radii are about 2.4, 3.1, 3.9, 4.5, 5.2, 6..
0 m / s. For each disk and each zone, the signal was recorded at a single frequency at which the recording mark length was 0.9 μm, the recording power at which the C / N was saturated, and the erasure rate was reduced when the signal was erased. 20dB
The power of the median value of the power margin exceeding is set.

【００２６】ここで、本発明の光ディスク装置について
図５を用いて説明する。光ディスク５１はスピンドルモ
ーター５２に取り付けられ、一定の回転数で回転してい
る。光学ヘッド５３は半導体レーザーを光源とし、コリ
メータレンズ、対物レンズ等により光ディスク上にレー
ザースポットを形成する。半導体レーザーはレーザー駆
動回路５４により駆動されるが、信号を記録する場合に
は入力信号は波形補正回路Ａ５５、波形補正回路Ｂ５６
のいずれかの回路により波形補正されたのち、レーザー
駆動回路５４へ入力される。Here, the optical disk device of the present invention will be described with reference to FIG. The optical disk 51 is attached to a spindle motor 52 and rotates at a constant rotation speed. The optical head 53 uses a semiconductor laser as a light source, and forms a laser spot on an optical disk by a collimator lens, an objective lens, and the like. The semiconductor laser is driven by a laser drive circuit 54. When recording a signal, the input signal is a waveform correction circuit A55 and a waveform correction circuit B56.
After the waveform is corrected by one of the circuits, the signal is input to the laser drive circuit 54.

【００２７】本装置は信号を記録する場合に、最初にレ
ーザースポットを光ディスク５１上に照射して信号トラ
ックに予め設けられたアドレス信号をアドレス再生回路
５７で判読し、スイッチ５９により波形補正手段を選択
する。When recording a signal, the apparatus first irradiates a laser spot onto the optical disk 51, reads an address signal provided in advance on a signal track by an address reproducing circuit 57, and switches a waveform correcting means by a switch 59. select.

【００２８】ぞれぞれの記録波形によるそれぞれの半径
とジッタとの関係を（表１）に示す。Table 1 shows the relationship between the radius and the jitter for each recording waveform.

【００２９】[0029]

【表１】 [Table 1]

【００３０】（表１）から、記録波形Ｂをもちいた場合
には内周部では熱のこもりのため、良好な記録マークが
形成されておらずジッタが非常に悪くなっている。一
方、外周部ではレーザーパワーが内周部に比べて適正
で、内周部より良いジッタ値であった。As shown in Table 1, when the recording waveform B is used, good recording marks are not formed in the inner peripheral portion due to heat build-up, and the jitter is very poor. On the other hand, the laser power was more appropriate at the outer periphery than at the inner periphery, and had a better jitter value than at the inner periphery.

【００３１】記録波形Ｃをもちいた場合には内周部で熱
のこもりが記録波形Ｂの場合より小さくマーク歪みも小
さいため、ジッタが記録波形Ｂの場合よりよくなってい
る。一方、外周部では記録波形Ｂの場合よりレーザーパ
ワーが不足しており、前後対称な記録マークが形成され
ていないためジッタ値が悪くなっている。When the recording waveform C is used, since the heat build-up at the inner peripheral portion is smaller than that of the recording waveform B and the mark distortion is smaller, the jitter is better than that of the recording waveform B. On the other hand, the laser power in the outer peripheral portion is less than that in the case of the recording waveform B, and the jitter value is worse because no longitudinally symmetric recording mark is formed.

【００３２】一方、本願発明による内周で記録波形Ｃを
外周で記録波形Ｂを用いた場合には、前記の様にそれぞ
れのゾーンにおいて記録波形が改良されているため比較
的良好な記録マークが形成できジッタ値が小さくなる。On the other hand, when the recording waveform C is used for the inner circumference and the recording waveform B is used for the outer circumference according to the present invention, a relatively good recording mark can be formed because the recording waveform is improved in each zone as described above. It can be formed and the jitter value becomes small.

【００３３】以上のようにゾーン毎に記録波形を補正す
ることによりディスク全面でジッタの小さい記録が可能
となる。As described above, by correcting the recording waveform for each zone, it is possible to perform recording with small jitter on the entire surface of the disk.

【００３４】なお、本実施例では波形補正手段として２
つの波形補正回路を用いたが、さらに異なる種類の複数
の補正手段を用いてもよい。In this embodiment, 2 is used as the waveform correcting means.
Although one waveform correction circuit is used, a plurality of different types of correction means may be used.

【００３５】（実施例２）反射層厚を内外周でＣＡＶモ
ードに対して最適化したディスクのゾーン毎で、図１の
記録波形Ｄの先頭パルス幅を変化する場合について説明
する。(Embodiment 2) A description will be given of a case where the leading pulse width of the recording waveform D shown in FIG. 1 is changed for each zone of the disk in which the thickness of the reflective layer is optimized for the CAV mode on the inner and outer circumferences.

【００３６】ディスクは実施例１と同じものを用いた。
本実施例で用いた記録波形は次の２種類である。すなわ
ち、図１の記録波形Ｄと、記録マーク間隔（入力波形が
０の間隔）が３Ｔの場合にのみその次にくる記録マーク
を形成するためのマルチパルスの先頭パルスのみを０．
２５Ｔ削り、記録マーク間隔が４Ｔ〜１１Ｔの場合には
記録波形Ｄと同じであるという記録波形Ｄ2である。The same disk as in Example 1 was used.
The recording waveforms used in this embodiment are the following two types. That is, only when the recording waveform D in FIG. 1 and the recording mark interval (interval of the input waveform being 0) are 3T, only the first pulse of the multipulse for forming the next recording mark is 0.
The recording waveform D2 is the same as the recording waveform D when the recording mark interval is 4T to 11T when the recording mark interval is 4T to 11T.

【００３７】ぞれぞれの記録波形によるそれぞれの半径
とジッタとの関係を（表２）に示す。Table 2 shows the relationship between the radius and the jitter for each recording waveform.

【００３８】[0038]

【表２】 [Table 2]

【００３９】（表２）から、記録波形Ｄをもちいた場合
には内周部で記録マーク間隔が小さいとき、ひとつ前の
記録マークからの熱干渉により、記録マークが歪みジッ
タが悪くなる。一方、外周部ではレーザーパワーが適し
ており、内周部より良いジッタ値となる。According to Table 2, when the recording waveform D is used, when the recording mark interval is small in the inner peripheral portion, the recording mark is distorted and the jitter is deteriorated due to thermal interference from the immediately preceding recording mark. On the other hand, the laser power is suitable in the outer peripheral portion, and has a better jitter value than in the inner peripheral portion.

【００４０】記録波形Ｄ2をもちいた場合には内周部で
ひとつ前の記録マークからの熱干渉が抑制され、マーク
歪みも小さいためジッタが抑えられる。一方、外周部で
はもともと熱干渉が小さいため、記録波形Ｄの場合より
レーザーパワー不足でマーク形状が歪んでおりジッタ値
が悪くなっている。When the recording waveform D2 is used, thermal interference from the immediately preceding recording mark is suppressed in the inner peripheral portion, and jitter is suppressed because the mark distortion is small. On the other hand, since the thermal interference is originally small in the outer peripheral portion, the mark shape is distorted due to insufficient laser power and the jitter value is worse than in the case of the recording waveform D.

【００４１】一方、本願発明による内周で記録波形Ｄ2
を外周で記録波形Ｄを用いた場合には、前記の様にそれ
ぞれのゾーンにおいて記録波形が最適になっているため
良好な記録マークが形成できジッタ値が小さくなる。On the other hand, the recording waveform D2 at the inner circumference according to the present invention is
When the recording waveform D is used on the outer periphery, the recording waveform is optimized in each zone as described above, so that a good recording mark can be formed and the jitter value decreases.

【００４２】以上のようにゾーン毎に記録波形を補正す
ることによりディスク全面でジッタの小さい記録が可能
となる。By correcting the recording waveform for each zone as described above, it is possible to perform recording with small jitter on the entire surface of the disk.

【００４３】なお、本実施例では波形補正手段として２
つの波形補正回路を用いたが、さらに異なる種類の複数
の補正手段を用いてもよい。In this embodiment, 2 is used as the waveform correcting means.
Although one waveform correction circuit is used, a plurality of different types of correction means may be used.

【００４４】（実施例３）記録層組成を内外周でＣＡＶ
モードに対して最適化したディスクのゾーン毎で、マル
チパルス波形を変えた場合について説明する。(Example 3) The recording layer composition was adjusted to CAV at the inner and outer circumferences.
A case where the multi-pulse waveform is changed for each zone of the disk optimized for the mode will be described.

【００４５】ディスクの作成方法は実施例１と同じであ
る。記録層組成は外周ゾーンでＧｅ _22.2Ｓｂ_22.2Ｔｅ
_55.6；（２ＧｅＴｅ＋Ｓｂ₂Ｔｅ₃）、内周ゾーンでＧｅ
_21.1Ｓｂ_26.3Ｔｅ_52.6；（２ＧｅＴｅ＋Ｓｂ₂Ｔｅ₃＋
０．５Ｓｂ）とし、その他の層の膜厚および組成は実施
例１と同じである。The method of making the disc is the same as in the first embodiment.
You. The composition of the recording layer was Ge in the outer zone. _22.2Sb_22.2Te
_55.6; (2GeTe + Sb_TwoTe_Three), Ge in inner zone
_21.1Sb_26.3Te_52.6; (2GeTe + Sb_TwoTe_Three+
0.5Sb), and the thickness and composition of other layers
Same as Example 1.

【００４６】ぞれぞれのマルチパルス波形記録における
それぞれの半径とジッタとの関係を（表３）に示す。The relationship between the radius and the jitter in each multi-pulse waveform recording is shown in (Table 3).

【００４７】[0047]

【表３】 [Table 3]

【００４８】（表３）から、記録波形Ｄをもちいた場合
には内周部ではレーザーパワーが適しているため良好な
ジッタが得られる。一方、外周部では記録波形Ｄの後続
の短パルス列でレーザーパワーが不足していたためマー
クの前部に比べ後部が細いという歪みが生じ、そのため
内周部より少し劣るジッタ値となる。From Table 3, when the recording waveform D is used, good jitter can be obtained because the laser power is suitable in the inner peripheral portion. On the other hand, in the outer peripheral portion, the laser power is insufficient in the short pulse train following the recording waveform D, so that a distortion occurs in which the rear portion is narrower than the front portion of the mark, so that the jitter value is slightly inferior to the inner peripheral portion.

【００４９】記録波形Ｅをもちいた場合には内周部で熱
のこもりが記録波形Ｄの場合より大きいためマークが歪
みジッタが記録波形Ｄの場合より悪くなっている。一
方、外周部では記録波形Ｄの場合よりレーザーパワーの
不足が改善されて前後対称な記録マークが形成されさら
にジッタ値が小さくなっている。When the recording waveform E is used, since the heat retention at the inner peripheral portion is larger than that of the recording waveform D, the mark is distorted and the jitter is worse than that of the recording waveform D. On the other hand, in the outer peripheral portion, the shortage of the laser power is improved as compared with the case of the recording waveform D, a recording mark symmetrical in the longitudinal direction is formed, and the jitter value is further reduced.

【００５０】一方、本願発明による内周で記録波形Ｄを
外周で記録波形Ｅを用いた場合には、前記の様にそれぞ
れのゾーンにおいて記録波形が最適になっているため良
好な記録マークが形成できジッタ値が小さくなる。On the other hand, when the recording waveform D is used on the inner circumference and the recording waveform E is used on the outer circumference according to the present invention, a good recording mark is formed because the recording waveform is optimal in each zone as described above. The resulting jitter value is reduced.

【００５１】以上のようにゾーン毎に記録波形を補正す
ることによりディスク全面でジッタの小さい記録が可能
となる。As described above, by correcting the recording waveform for each zone, it is possible to perform recording with small jitter on the entire surface of the disk.

【００５２】なお、本実施例では波形補正手段として２
つの波形補正回路を用いたが、さらに異なる種類の複数
の補正手段を用いてもよい。In this embodiment, 2 is used as the waveform correcting means.
Although one waveform correction circuit is used, a plurality of different types of correction means may be used.

【００５３】なお、本実施例ではｘＧｅＴｅ＋（１−
ｘ）Ｓｂ₂Ｔｅ₃＋ｙＳｂ （ｙ≧０）においてｘ＝２／
３の場合のみを示したが、ｘ＝１／２を満たす記録層組
成について、結晶化速度を外周ゾーンほど速くしたディ
スクでもマルチパルス波形を変えることでマルチパルス
が内外周で同じ場合より良好なジッタ値が得られた。In this embodiment, xGeTe + (1-
x) x = 2 / in Sb ₂ Te ₃ + ySb (y ≧ 0)
Although only the case of No. 3 is shown, for a recording layer composition satisfying x = １ ／, even in a disk in which the crystallization speed is higher in the outer peripheral zone, the multi-pulse waveform is changed to obtain a better multi-pulse than in the case of the same inner and outer circumferences. A jitter value was obtained.

【００５４】（実施例４）記録層がｘＧｅＴｅ＋（１−
ｘ）Ｓｂ₂Ｔｅ₃＋ｙＡｇ（ｘ＝２／３、ｙ≧０）を満た
しディスクの内外周ゾーンでＣＡＶモードに対してｙの
値を最適化したディスクのゾーン毎にマルチパルスを変
えた場合を説明する。Example 4 The recording layer was made of xGeTe + (1-
x) The case where the multi-pulse is changed for each zone of the disk satisfying Sb ₂ Te ₃ + yAg (x = ２, y ≧ 0) and optimizing the value of y for the CAV mode in the inner and outer peripheral zones of the disk explain.

【００５５】ディスクの作成方法は実施例１と同じであ
る。記録層組成は外周ゾーンでＧe _22.2Ｓｂ_22.2Ｔｅ
_55.6；（２ＧｅＴｅ＋Ｓｂ₂Ｔｅ₃）、内周ゾーンでＧｅ
_21.1Ｓｂ_21.1Ｔｅ_52.6Ａｇ_5.2；（２ＧｅＴｅ＋Ｓｂ₂Ｔ
ｅ₃＋０．５Ａｇ）とし、その他の層の膜厚および組成
は実施例１と同じである。The method of making the disc is the same as in the first embodiment.
You. The recording layer composition was Ge in the outer zone. _22.2Sb_22.2Te
_55.6; (2GeTe + Sb_TwoTe_Three), Ge in inner zone
_21.1Sb_21.1Te_52.6Ag_5.2; (2GeTe + Sb_TwoT
e_Three+0.5 Ag), and the thickness and composition of other layers
Is the same as in the first embodiment.

【００５６】ぞれぞれのマルチパルス波形での記録にお
けるそれぞれの半径とジッタとの関係を（表４）に示
す。Table 4 shows the relationship between the radius and the jitter in recording with each multi-pulse waveform.

【００５７】[0057]

【表４】 [Table 4]

【００５８】（表４）から、記録波形Ｄを用いた場合に
は、外周部でも良好なジッタが得られてはいる。しか
し、記録波形Ｅをもちいた場合、外周部では記録波形Ｄ
の場合よりレーザーパワーの不足が改善されて前後対称
な記録マークが形成されさらにジッタ値が小さくなって
いる。一方、内周部では熱のこもりが記録波形Ｄの場合
より大きいためマークが歪みジッタが少し悪くなってい
る。As shown in Table 4, when the recording waveform D was used, good jitter was obtained even in the outer peripheral portion. However, when the recording waveform E is used, the recording waveform D
In this case, the shortage of the laser power is improved as compared with the case (1), a recording mark which is symmetrical in the longitudinal direction is formed, and the jitter value is further reduced. On the other hand, in the inner peripheral part, the mark is distorted and the jitter is slightly worse because the heat retention is larger than that in the case of the recording waveform D.

【００５９】本願発明による内周で記録波形Ｄを外周で
記録波形Ｅを用いた場合には、前記の様にそれぞれのゾ
ーンにおいて記録波形が最適になっているため良好な記
録マークが形成できジッタ値が小さくなる。In the case where the recording waveform D is used on the inner circumference and the recording waveform E is used on the outer circumference according to the present invention, since the recording waveform is optimized in each zone as described above, a good recording mark can be formed and jitter can be reduced. The value decreases.

【００６０】以上のようにゾーン毎に記録波形を補正す
ることによりディスク全面でジッタの小さい記録が可能
となる。As described above, by correcting the recording waveform for each zone, it is possible to perform recording with small jitter on the entire surface of the disk.

【００６１】また、Ａｇ以外のＣｕ、Ｃｏ、Ｔｌ、Ｐ
ｄ、Ａｕ、Ｂｉ、Ｓｅ、Ｓｎ、Ｐｔ、Ｎｉを記録層に外
周ゾーンほど多く添加した場合にも本実施例と同様の結
果が得られた。In addition, Cu, Co, Tl, P other than Ag
When d, Au, Bi, Se, Sn, Pt, and Ni were added to the recording layer in a larger amount in the outer peripheral zone, the same results as in the present example were obtained.

【００６２】（実施例５）内、外周ゾーンでの反射膜厚
をＣＡＶモードに対して最適化したディスクのゾーン毎
でマルチパルス波形を変えた場合を説明する。(Embodiment 5) A case in which the multi-pulse waveform is changed in each zone of the disk in which the reflection film thickness in the inner and outer peripheral zones is optimized for the CAV mode will be described.

【００６３】ディスクの作製法は実施例１で説明したと
おりである。本実施例で用いたディスクの構造を図７に
示す。内周での反射層厚を２０００Å、外周での反射層
厚を１２５０Åとした。記録層組成はＧｅ_21.6Ｓｂ_24.3
Ｔｅ_54.1；（２ＧｅＴｅ＋Ｓｂ₂Ｔｅ₃＋０．２５Ｓｂ）
とし、膜厚およびその他の層の膜構成は実施例１と同じ
とした。The method of manufacturing the disk is as described in the first embodiment. FIG. 7 shows the structure of the disk used in this embodiment. The thickness of the reflective layer at the inner periphery was 2000 °, and the thickness of the reflective layer at the outer periphery was 1250 °. The recording layer composition was Ge _21.6 Sb _24.3
Te _54.1 ; (2GeTe + Sb ₂ Te ₃ + 0.25Sb)
The film thickness and the film configuration of the other layers were the same as in Example 1.

【００６４】ぞれぞれのマルチパルス波形での記録にお
けるそれぞれの半径とジッタとの関係を（表５）に示
す。Table 5 shows the relationship between the radius and the jitter in recording with each multi-pulse waveform.

【００６５】[0065]

【表５】 [Table 5]

【００６６】（表５）から、記録波形Ｄをもちいた場合
には内周部では良好なジッタが得られる。一方、外周部
では記録波形Ｄの後続の短パルス列でレーザーパワーが
不足していたためマークの前部に比べ後部が細いという
歪みが生じ、そのため内周部より少し劣るジッタ値であ
った。From Table 5, when the recording waveform D is used, good jitter is obtained in the inner peripheral portion. On the other hand, in the outer peripheral portion, the laser power was insufficient in the short pulse train following the recording waveform D, so that the rear portion was narrower than the front portion of the mark, so that the jitter value was slightly inferior to the inner peripheral portion.

【００６７】記録波形Ｅをもちいた場合には内周部で熱
のこもりが記録波形Ｄの場合より大きいためマークが歪
みジッタが少し悪くなっている。一方、外周部では記録
波形Ｄの場合よりレーザーパワーの不足が改善されて前
後対称な記録マークが形成されさらにジッタ値が小さく
なった。In the case of using the recording waveform E, the mark is distorted and the jitter is slightly deteriorated because the heat retention at the inner peripheral portion is larger than that in the case of the recording waveform D. On the other hand, in the outer peripheral portion, the shortage of the laser power was improved as compared with the case of the recording waveform D, a recording mark symmetrical in the longitudinal direction was formed, and the jitter value was further reduced.

【００６８】一方、本願発明による内周で記録波形Ｄを
外周で記録波形Ｅを用いた場合には、前記の様にそれぞ
れのゾーンにおいて記録波形が最適になっているため良
好な記録マークが形成できジッタ値が小さくなる。On the other hand, when the recording waveform D is used for the inner circumference and the recording waveform E is used for the outer circumference according to the present invention, a good recording mark is formed because the recording waveform is optimal in each zone as described above. The resulting jitter value is reduced.

【００６９】以上のようにゾーン毎に記録波形を補正す
ることによりディスク全面でジッタの小さい記録が可能
となる。As described above, by correcting the recording waveform for each zone, it is possible to perform recording with small jitter on the entire surface of the disk.

【００７０】（実施例６）内、外周ゾーンでの第２の誘
電体層厚をＣＡＶモードに対して最適化したディスクの
ゾーン毎でマルチパルス波形を変えた場合を説明する。(Embodiment 6) A case where the multi-pulse waveform is changed for each zone of a disk in which the second dielectric layer thickness in the inner and outer peripheral zones is optimized for the CAV mode will be described.

【００７１】ディスクの作製法は実施例１で説明したと
おりである。本実施例で用いたディスクの構造を図８に
示す。内周での第２の誘電体層厚を１７０Å、外周での
第２の誘電体層厚を２３０Åとした。記録層組成はＧｅ
_21.6Ｓｂ_24.3Ｔｅ_54.1；（２ＧｅＴｅ＋Ｓｂ₂Ｔｅ₃＋
０．２５Ｓｂ）とし膜厚およびその他の層の膜構成は実
施例１と同じとした。The method of manufacturing the disk is as described in the first embodiment. FIG. 8 shows the structure of the disk used in this embodiment. The thickness of the second dielectric layer at the inner periphery was 170 °, and the thickness of the second dielectric layer at the outer periphery was 230 °. The recording layer composition is Ge
_21.6 Sb _24.3 Te _54.1 ; (2GeTe + Sb ₂ Te ₃ +
0.25 Sb), and the film thickness and the film configuration of the other layers were the same as in Example 1.

【００７２】ぞれぞれのマルチパルス波形での記録にお
けるそれぞれの半径とジッタとの関係を（表６）に示
す。Table 6 shows the relationship between the radius and the jitter in recording with each multi-pulse waveform.

【００７３】[0073]

【表６】 [Table 6]

【００７４】（表６）から、記録波形Ｄをもちいた場合
には内周部では良好なジッタが得られる。一方、外周部
では記録波形Ｄの後続の短パルス列でレーザーパワーが
不足していたためマークの前部に比べ後部が細いという
歪みが生じ、そのため内周部より少し劣るジッタ値であ
った。From Table 6, when the recording waveform D is used, good jitter is obtained in the inner peripheral portion. On the other hand, in the outer peripheral portion, the laser power was insufficient in the short pulse train following the recording waveform D, so that the rear portion was narrower than the front portion of the mark, so that the jitter value was slightly inferior to the inner peripheral portion.

【００７５】記録波形Ｅをもちいた場合には内周部で熱
のこもりが記録波形Ｄの場合より大きいためマークが歪
みジッタが少し悪くなっている。一方、外周部では記録
波形Ｄの場合よりレーザーパワーの不足が改善されて前
後対称な記録マークが形成されさらにジッタ値が小さく
なった。When the recording waveform E is used, the mark is slightly distorted and the jitter is slightly worse because the heat retention at the inner peripheral portion is larger than that in the case of the recording waveform D. On the other hand, in the outer peripheral portion, the shortage of the laser power was improved as compared with the case of the recording waveform D, a recording mark symmetrical in the longitudinal direction was formed, and the jitter value was further reduced.

【００７６】一方、本願発明による内周で記録波形Ｄを
外周で記録波形Ｅを用いた場合には、前記の様にそれぞ
れのゾーンにおいて記録波形が最適になっているため良
好な記録マークが形成できジッタ値が小さくなる。On the other hand, when the recording waveform D is used for the inner circumference and the recording waveform E is used for the outer circumference according to the present invention, a good recording mark is formed because the recording waveform is optimal in each zone as described above. The resulting jitter value is reduced.

【００７７】以上のようにゾーン毎に記録波形を補正す
ることによりディスク全面でジッタの小さい記録が可能
となる。As described above, by correcting the recording waveform for each zone, it is possible to perform recording with small jitter on the entire surface of the disk.

【００７８】（実施例７）内、外周ゾーンでの記録膜厚
をＣＡＶモードに対して最適化したディスクのゾーン毎
でマルチパルス波形を変えた場合を説明する。(Embodiment 7) A case where the multi-pulse waveform is changed in each zone of a disk in which the recording film thickness in the inner and outer peripheral zones is optimized for the CAV mode will be described.

【００７９】ディスクの作製法は実施例１で説明したと
おりである。本実施例で用いたディスクの構造を図１０
に示す。内周での記録膜厚を２００Å、外周での反射層
厚を３００Åとした。記録層組成はＧｅ_21.6Ｓｂ_24.3Ｔ
ｅ_54.1；（２ＧｅＴｅ＋Ｓｂ ₂Ｔｅ₃＋０．２５Ｓｂ）と
し、膜厚およびその他の層の膜構成は実施例１と同じと
した。The manufacturing method of the disk is as described in the first embodiment.
It is a cage. FIG. 10 shows the structure of the disk used in this embodiment.
Shown in The recording film thickness at the inner circumference is 200mm, and the reflective layer at the outer circumference
The thickness was 300 °. The recording layer composition is Ge_21.6Sb_24.3T
e_54.1; (2GeTe + Sb _TwoTe_Three+ 0.25Sb) and
However, the film thickness and the film configuration of the other layers are the same as in the first embodiment.
did.

【００８０】ぞれぞれのマルチパルス波形での記録にお
けるそれぞれの半径とジッタとの関係を（表７）に示
す。Table 7 shows the relationship between the radius and the jitter in the recording with each multi-pulse waveform.

【００８１】[0081]

【表７】 [Table 7]

【００８２】（表７）から、記録波形Ｄをもちいた場合
には内周部では良好なジッタが得られる。一方、外周部
では記録波形Ｄの後続の短パルス列でレーザーパワーが
不足していたためマークの前部に比べ後部が細いという
歪みが生じ、そのため内周部より少し劣るジッタ値であ
った。From Table 7, when the recording waveform D is used, good jitter is obtained in the inner peripheral portion. On the other hand, in the outer peripheral portion, the laser power was insufficient in the short pulse train following the recording waveform D, so that the rear portion was narrower than the front portion of the mark, so that the jitter value was slightly inferior to the inner peripheral portion.

【００８３】記録波形Ｅをもちいた場合には内周部で熱
のこもりが記録波形Ｄの場合より大きいためマークが歪
みジッタが少し悪くなっている。一方、外周部では記録
波形Ｄの場合よりレーザーパワーの不足が改善されて前
後対称な記録マークが形成されさらにジッタ値が小さく
なった。In the case of using the recording waveform E, the mark is slightly distorted and the jitter is slightly deteriorated because the heat retention at the inner peripheral portion is larger than that in the case of the recording waveform D. On the other hand, in the outer peripheral portion, the shortage of the laser power was improved as compared with the case of the recording waveform D, a recording mark symmetrical in the longitudinal direction was formed, and the jitter value was further reduced.

【００８４】一方、本願発明による内周で記録波形Ｄを
外周で記録波形Ｅを用いた場合には、前記の様にそれぞ
れのゾーンにおいて記録波形が最適になっているため良
好な記録マークが形成できジッタ値が小さくなる。On the other hand, when the recording waveform D is used for the inner circumference and the recording waveform E is used for the outer circumference according to the present invention, a good recording mark is formed because the recording waveform is optimal in each zone as described above. The resulting jitter value is reduced.

【００８５】以上のようにゾーン毎に記録波形を補正す
ることによりディスク全面でジッタの小さい記録が可能
となる。As described above, by correcting the recording waveform for each zone, it is possible to perform recording with small jitter on the entire surface of the disk.

【００８６】（実施例８）反射層厚を内外周でＣＡＶモ
ードに対して最適化したディスクのゾーン毎で、後続パ
ルス列の最後尾のパルス幅のみを変化させた場合につい
て説明する。(Embodiment 8) A case will be described in which only the last pulse width of the succeeding pulse train is changed for each zone of the disk in which the thickness of the reflective layer is optimized for the CAV mode on the inner and outer circumferences.

【００８７】ディスクは実施例１と同じものを用いた。
本実施例で用いた記録波形は、図１の記録波形Ｄと記録
波形Ｅである。The same disk as in Example 1 was used.
The recording waveforms used in this embodiment are the recording waveform D and the recording waveform E in FIG.

【００８８】ぞれぞれの記録波形によるそれぞれの半径
とジッタとの関係を（表８）に示す。Table 8 shows the relationship between the radius and the jitter for each recording waveform.

【００８９】[0089]

【表８】 [Table 8]

【００９０】（表８）から、記録波形Ｄをもちいた場合
には内周部では良好なジッタが得られる。一方、外周部
では記録波形Ｄの後続の短パルス列でレーザーパワーが
不足していたためマークの前部に比べ後部が細いという
歪みが生じ、そのため内周部より少し劣るジッタ値であ
った。From Table 8, when the recording waveform D is used, good jitter is obtained in the inner peripheral portion. On the other hand, in the outer peripheral portion, the laser power was insufficient in the short pulse train following the recording waveform D, so that the rear portion was narrower than the front portion of the mark, so that the jitter value was slightly inferior to the inner peripheral portion.

【００９１】記録波形Ｆをもちいた場合には内周部で熱
のこもりが記録波形Ｄの場合より大きいためマークが歪
みジッタが少し悪くなっている。一方、外周部では記録
波形Ｄの場合よりレーザーパワーの不足が改善されて前
後対称な記録マークが形成されさらにジッタ値が小さく
なった。When the recording waveform F is used, the mark is slightly distorted and the jitter is slightly deteriorated because the heat retention at the inner peripheral portion is larger than that in the case of the recording waveform D. On the other hand, in the outer peripheral portion, the shortage of the laser power was improved as compared with the case of the recording waveform D, a recording mark symmetrical in the longitudinal direction was formed, and the jitter value was further reduced.

【００９２】一方、本願発明による内周で記録波形Ｄを
外周で記録波形Ｆを用いた場合には、前記の様にそれぞ
れのゾーンにおいて記録波形が最適になっているため良
好な記録マークが形成できジッタ値が小さくなる。On the other hand, when the recording waveform D is used for the inner circumference and the recording waveform F is used for the outer circumference according to the present invention, a good recording mark is formed because the recording waveform is optimal in each zone as described above. The resulting jitter value is reduced.

【００９３】以上のようにゾーン毎に記録波形を補正す
ることによりディスク全面でジッタの小さい記録が可能
となる。As described above, by correcting the recording waveform for each zone, it is possible to perform recording with small jitter on the entire surface of the disk.

【００９４】なお、本実施例では波形補正手段として２
つの波形補正回路を用いたが、さらに異なる種類の複数
の補正手段を用いてもよい。In this embodiment, 2 is used as the waveform correcting means.
Although one waveform correction circuit is used, a plurality of different types of correction means may be used.

【００９５】[0095]

【発明の効果】以上のように、マルチパルス記録波形を
ゾーン毎に変えることによってもマーク歪を抑制するこ
とができ、良好な再生ジッタ特性が得られる。As described above, the mark distortion can also be suppressed by changing the multi-pulse recording waveform for each zone, and good reproduction jitter characteristics can be obtained.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図１】（ａ）は記録するデジタル信号波形の図 （ｂ）は単パルス記録波形Ｂの図 （ｃ）は単パルス記録波形Ｃの図 （ｄ）はマルチパルス記録波形Ｄの図 （ｅ）はマルチパルス記録波形Ｅの図 （ｆ）はマルチパルス記録波形Ｆの図1A is a diagram of a digital signal waveform to be recorded. FIG. 1B is a diagram of a single-pulse recording waveform B. FIG. 1C is a diagram of a single-pulse recording waveform C. FIG. ) Is a diagram of the multi-pulse recording waveform E. (f) is a diagram of the multi-pulse recording waveform F.

【図２】本発明の代表的な光ディスクの構造図FIG. 2 is a structural diagram of a representative optical disk of the present invention.

【図３】本発明の光ディスクの製造装置の図FIG. 3 is a diagram of an optical disk manufacturing apparatus according to the present invention.

【図４】本発明の光ディスクの製造装置の図FIG. 4 is a diagram of an optical disk manufacturing apparatus according to the present invention.

【図５】本発明の記録装置の説明図FIG. 5 is an explanatory diagram of a recording apparatus according to the present invention.

【図６】本発明の第１の実施例における光ディスクの構
造図FIG. 6 is a structural diagram of an optical disc in the first embodiment of the present invention.

【図７】本発明の第３の実施例における光ディスクの構
造図FIG. 7 is a structural diagram of an optical disc in a third embodiment of the present invention.

【図８】本発明の第４の実施例における光ディスクの構
造図FIG. 8 is a structural diagram of an optical disc in a fourth embodiment of the present invention.

【図９】本発明の第５の実施例における光ディスクの構
造図FIG. 9 is a structural diagram of an optical disc in a fifth embodiment of the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

２１ 基板 ２２ 第１の誘電体層 ２３ 記録層 ２４ 第２の誘電体層 ２５ 反射層 ２６ 保護層 ２７ 内周ゾーン ２８ 外周ゾーン ３１ 内周部スパッタ用マスク ３２ ターゲット１ ４１ 外周部スパッタ用マスク ４２ ターゲット２ ５１ 光ディスク ５２ スピンドルモーター ５３ 光学ヘッド ５４ レーザー駆動回路 ５５ 波形補正回路Ａ ５６ 波形補正回路Ｂ ５７ アドレス再生回路 ５８ システムコントローラー ５９ スイッチ ６０ トラッキング制御回路 ６１ 記録層２ ７１ 記録層３ Reference Signs List 21 substrate 22 first dielectric layer 23 recording layer 24 second dielectric layer 25 reflective layer 26 protective layer 27 inner peripheral zone 28 outer peripheral zone 31 inner peripheral sputtering mask 32 target 1 41 outer peripheral sputtering mask 42 target 2 51 optical disk 52 spindle motor 53 optical head 54 laser drive circuit 55 waveform correction circuit A 56 waveform correction circuit B 57 address reproduction circuit 58 system controller 59 switch 60 tracking control circuit 61 recording layer 2 71 recording layer 3

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平６−325364（ＪＰ，Ａ) 特開 平５−274678（ＪＰ，Ａ) 特開 平６−12674（ＪＰ，Ａ) 特開 平４−119537（ＪＰ，Ａ) 特開 平３−52137（ＪＰ，Ａ) 特開 昭62−283432（ＪＰ，Ａ) 特開 平３−183038（ＪＰ，Ａ) 特開 昭62−1143（ＪＰ，Ａ) 特開 平６−187669（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) G11B 7/00 - 7/013 G11B 7/24 ────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of front page (56) References JP-A-6-325364 (JP, A) JP-A-5-274678 (JP, A) JP-A-6-12674 (JP, A) JP-A-4- 119537 (JP, A) JP-A-3-52137 (JP, A) JP-A-62-283432 (JP, A) JP-A-3-183038 (JP, A) JP-A-62-1143 (JP, A) JP-A-6-187669 (JP, A) (58) Fields investigated (Int. Cl. ⁷ , DB name) G11B ^7/ 00-7/013 G11B 7/24

Claims (12)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項１】光照射によってアモルファス相と結晶相と
の間で可逆的に相変化を起こす相変化記録層と、誘電体
層と、反射層とが少なくともこの順に基体上に積層され
た光ディスクと、記録すべき情報の入力信号波形をあら
かじめ決められた波形補正方法で補正する波形補正手段
と、前記波形補正手段から出力された記録波形信号に応
じてレーザー光を発光させるレーザー駆動手段と、前記
レーザー駆動手段から出力されたレーザー駆動信号に応
じてレーザースポットを前記光ディスクに照射させるレ
ーザー光照射手段とを用いて、前記光ディスクを一定の
角速度で回転させながらレーザー光を照射して前記光デ
ィスク上に記録波形信号に応じた記録マークを形成する
光学的情報の記録方法であって、前記光ディスクにおけ
る相変化記録層・誘電体層・反射層のうち少なくともい
ずれか一つの層構成が前記光ディスクの中心を同心円と
する複数のゾーン毎で異なっており、かつ前記ゾーン毎
に前記波形補正手段の波形補正方法を変えることを特徴
とする光学的情報の記録方法。An amorphous phase and a crystalline phase are irradiated by light irradiation.
Phase-change recording layer that causes a reversible phase change between
Layer and a reflective layer are laminated on the substrate at least in this order
And the input signal waveform of the information to be recorded
Waveform correction means for correcting with a predetermined waveform correction method
And a recording waveform signal output from the waveform correcting means.
Laser driving means for emitting laser light,
Responds to the laser drive signal output from the laser drive means.
Laser spot on the optical disk
The optical disk by using a laser light irradiation means.
The laser beam is irradiated while rotating at an angular velocity to
Forming a recording mark on a disk in accordance with a recording waveform signal
A method for recording optical information, comprising:
At least one of a phase change recording layer, a dielectric layer, and a reflective layer
One of the layer configurations is such that the center of the optical disc is a concentric circle.
Different for each of a plurality of zones, and
A method of recording optical information , wherein a waveform correction method of the waveform correction means is changed. 【請求項２】前記光ディスクの内周側に位置するゾーン
に行くほど前記相変化記録層の結晶化速度が遅くなって
いる請求項１記載の光学的情報の記録方法。2. A zone located on an inner peripheral side of the optical disk.
The crystallization speed of the phase change recording layer decreases as
The method for recording optical information according to claim 1. 【請求項３】前記光ディスクの内周側に位置するゾーン
に行くほど前記相変化記録材料の層厚が薄くなっている
請求項１記載の光学的情報の記録方法。3. A zone located on an inner peripheral side of the optical disk.
Go as a recording method of an optical information <br/> claim 1, wherein the layer thickness of the phase change recording material is thin to. 【請求項４】前記光ディスクの内周側に位置するゾーン
に行くほど前記誘電体層の膜厚が薄くなっている請求項
１記載の光学的情報の記録方法。 4. A zone located on an inner peripheral side of the optical disk.
The thickness of the dielectric layer becomes thinner toward
A method for recording optical information according to item 1 . 【請求項５】前記光ディスクの内周側に位置するゾーン
に行くほど前記反射層の膜厚が厚くなっている請求項１
記載の光学的情報の記録方法。 5. A zone located on an inner peripheral side of the optical disk.
Claims thickness of the reflecting layer toward the is thicker 1
Method for recording the described optical information. 【請求項６】一つの記録マークを形成する前記記録波形
信号が複数のパルスからなる記録パルス列で構成されて
おり、かつ前記記録パルス列の形状が前記ゾーン毎で異
なっている請求項１から５のいずれかに記載の光学的情
報の記録方法。 6. The recording waveform for forming one recording mark.
It is composed of a recording pulse train signal comprised of a plurality of pulses
And the shape of the recording pulse train is different for each zone.
The method for recording optical information according to any one of claims 1 to 5, wherein: 【請求項７】前記記録パルス列は先頭の長パルスと後続
の短パルス列とからなり、前記長パルスもしくは前記短
パルスのいずれか一方あるいは両方のパルス幅を前記ゾ
ーン毎で変える請求項６記載の光学的情報の記録方法。Wherein said recording pulse train beginning of the consists of a long pulse and a subsequent short pulse train, the long pulse or said zone of either or both of the pulse width of the short pulse
7. The optical information recording method according to claim 6 , wherein the optical information is changed for each of the optical systems. 【請求項８】前記光ディスクの外周側に位置するゾーン
に行くほど、前記長パ ルスと前記短パルスとのパルス幅
の比（短パルス幅／長パルス幅）を大きくする請求項７
記載の光学的情報の記録方法。 8. A zone located on the outer peripheral side of the optical disk
Go higher, it said with the long pulse pulse width of the short pulse
Claim to increase the ratio of (short pulse width / long pulse width) 7
Method for recording the described optical information. 【請求項９】前記短パルス列の最終端に位置するパルス
の幅が前記ゾーン毎で異なる請求項６に記載の光学的情
報の記録方法。 9. A pulse located at the last end of the short pulse train.
The optical information according to claim 6, wherein the width of the optical information is different for each zone.
How to record information. 【請求項１０】前記レーザースポットと前記光ディスク
の相対速度によって前記パルス列の長さを変える請求項
６から９のいずれかに記載の光学的情報の記録方法。 10. The laser spot and the optical disk
The length of the pulse train is changed depending on the relative speed of the pulse train.
10. The method for recording optical information according to any one of items 6 to 9. 【請求項１１】前記ゾーンが二つである請求項１から１
０のいずれかに記載の光学的情報の記録方法。 11. The method according to claim 1, wherein the number of the zones is two.
0. A method for recording optical information according to any one of the above items. 【請求項１２】請求項１に記載の光ディスクと、レーザー 光源より発生した光ビームを前記光ディスク上
に照射するための光学系と、 前記光ディスクを一定の角速度で回転させる手段と、 前記光ディスク上に照射した光ビームを前記光ディスク
に設けられた記録トラック方向と垂直な方向に移動させ
る移送手段と、 前記光ディスク上に照射した光ビームが前記記録トラッ
ク上を走査するように前記移送手段を制御するトラッキ
ング制御手段と、 前記光ディスク上に照射した光ビームが走査している現
在の記録トラックが前記光ディスクのどのゾーンにある
かを検出する手段と、 前記光ディスク上に記録マークを形成するための複数の
パルスからなる記録パルス列の入力信号のパルス波形を
波形補正するための複数の波形補正手段と、 前記記録パルス列を前記検出されたゾーンに応じて前記
波形補正手段を切り換える手段と、 前記波形補正手段から出力されたパルス列によりレーザ
ー光を変調して信号を記録する手段とを有することを特
徴とする光学的情報記録装置。12. An optical disk according to claim 1, an optical system for irradiating the optical disk with a light beam generated by a laser light source, means for rotating the optical disk at a constant angular velocity, and Irradiating the optical beam with the optical disk
And transport means for moving the recording track direction perpendicular to the direction provided in the light and tracking control means for the light beam irradiated on the disk for controlling the transfer means so as to scan over the recording track, on the optical disc Means for detecting in which zone of the optical disc the current recording track being scanned by the light beam applied to the optical disc; and an input signal of a recording pulse train comprising a plurality of pulses for forming a recording mark on the optical disc A plurality of waveform correction means for correcting the waveform of the pulse waveform; a means for switching the waveform correction means in accordance with the detected zone of the recording pulse train; and a laser beam output from the pulse train output from the waveform correction means. Means for recording a signal by modulating the signal.