JP3272654B2 - 圧力センサー用膜および膜型圧力センサー - Google Patents
圧力センサー用膜および膜型圧力センサーInfo
- Publication number
- JP3272654B2 JP3272654B2 JP36373197A JP36373197A JP3272654B2 JP 3272654 B2 JP3272654 B2 JP 3272654B2 JP 36373197 A JP36373197 A JP 36373197A JP 36373197 A JP36373197 A JP 36373197A JP 3272654 B2 JP3272654 B2 JP 3272654B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pressure sensor
- annular
- membrane
- plane
- central
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L19/00—Details of, or accessories for, apparatus for measuring steady or quasi-steady pressure of a fluent medium insofar as such details or accessories are not special to particular types of pressure gauges
- G01L19/0007—Fluidic connecting means
- G01L19/0046—Fluidic connecting means using isolation membranes
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
- Indication And Recording Devices For Special Purposes And Tariff Metering Devices (AREA)
Description
薄膜およびこれを装備した膜型圧力センサーに関し、更
に詳しくは、平坦な中央面と、この中央面と同心に設け
られていて外径方向端部を構成する環状取付け面と、こ
の中央面を環状取付け面に連結する概して平坦でない環
状連結面とを備えたタイプの圧力センサー用薄膜、およ
び、ベースと、該ベースに形成された溝部と、この溝部
に水密に取り付けられて該溝部壁との間に作動時には流
体で満たされている流体室を形成する薄膜と、および該
薄膜の流体室とは反対側に形成されていて作動時には圧
力を測定すべき流体で満たされる被測定物空間とを備え
たタイプの膜型圧力センサーに関する。
特定の理由で、被測定物に接触させることができないよ
うな場合に使用される。例えば、被測定物が腐食性であ
り、直接接触させると装置を腐食させるような場合、被
測定物の粘性が高く、装置のデッドスペースでの圧力伝
達が害されるような場合、あるいは、被測定物が結晶化
あるいは重合化し易く、装置との連結部を詰らせてしま
うような場合、等である。膜型圧力センサーの上記用途
は、若干の例を示すものであり、これが全てではない。
は、被測定物の過剰圧力を測定し表示する圧力ゲージを
いうが、プレッシャートランジューサー、プレッシャー
スエッチ、あるいは差圧測定装置等であってもよい。以
下では、圧力ゲージをもって、膜型圧力センサーに連結
されていて被測定物の圧力が該膜型圧力センサーにより
伝えられる圧力応答装置の一例とする。
で囲まれた浅い溝部を有するベースを備えていて、環状
の取り付け面を有する一般には円形状をした膜が、ハン
ダ付けその他の方法で前記環状の液封用結合面に取り付
けられている。このようにして、溝部壁と膜との間に作
動時に適当な充填液で満たされる流体室が形成されてい
る。この流体室は、導管を介してプレッシャーゲージに
連結されていて、該ゲージにより流体室内の充填液の圧
力が測定され、表示されるようにしてある。膜型圧力セ
ンサー内の前記膜の前記流体室とは反対側には、被測定
物で満たされる被測定物スペースが、該膜により流体室
とは隔離されて形成されている。
に作用することで該膜にゆがみが生じる。膜型圧力セン
サーがプレッシャーゲージに固着されていないとする
と、前記膜の変位に対応する体積の流体が流体室から漏
れ出ることになる。この流体の体積を、通常、膜型圧力
センサーの作用体積という。
は、測定物室内の圧力pに対する作用体積△Vの関係を
示す特性△V(p)が用いられる。この特性としては、
装置に起因する測定誤差を極力少なくするために、測定
圧力の範囲内においては、可能な限り一様な勾配である
こと、即ち、可能な限り直線関係であることが求められ
る。低い圧力を、即ち低称呼圧力において、精度よく測
定するする必要がある場合には、特性の勾配を、その線
形域において比較的大きなものとし、低圧の下でも大き
な作用体積が得られるようにすることが必要である。膜
型圧力センサーの特性の直線域でのこの勾配を、通常、
K因子と称している。
はその膜により決まる。平坦な膜構造の場合には低圧で
急勾配を示す特性が得られるが、特性の直線性が悪いの
で膜型圧力センサー用としては不適である。
膜は知られている。この従来の膜は、その端部に環状の
取付け面、中央部に平坦な中央面部、そして該取付け面
と中央面部との間に平坦でない環状の結合面部を有して
いる。なお、ここでは、膜の種々の部位または部分がゼ
ロでない体積を有する塊をなすものであっても、それら
の膜部分を「面部」と称する、平坦な膜に対して従来使
用されている用語を使用することとする。膜面に垂直に
測定した膜の厚さが膜面内の膜寸法に比較して非常に小
さいので、この「面部」という名称は妥当なものであ
る。従来の膜においては、その結合面部は、その径方向
断面が波形をした同心の環状波形でなっている。いわゆ
る波形膜とするこの設計の場合には、高い直線特性が得
られるが、波形の数とその高さを増加させることで直線
性を改善さている分、膜の固さが同時に増大し、従っ
て、K因子、即ち、特性の勾配が小さくなる。
の膜を改良し、直線性に優れ且つ大きい勾配を有する、
即ち、高いK因子の特性を有する膜を提供することを目
的とする。また、同時に、上記改善された膜を備えた膜
型圧力センサーを提供することを目的とする。
目的は、請求項1に係る膜、及び請求項12に係る膜型
圧力センサーにより達成される。
総括部に示された特徴に加えて、前記結合面が、一つの
環状平面部とこれの径方向内方に連なる一つの切頭円錐
形段面とで構成された少なくとも一つの環状段部で構成
され、該環状平面部と中央面部とが互いに平行な平面上
にあり、中央面部の平面に対して垂直方向に測った各段
面の高さが該段部の幅に比べて極めて小さくされてい
る。ここで、極めて小さい高さとは、実質的には該段部
の幅の0.2%から2.5%の範囲の高さである。
各段面とこれに隣接する平面部との間が丸みをもって移
行するものでも、また、該切頭円錐形状に僅かな弓型を
付与したものであってもよい。
取付け面部で囲まれた面は、互いに平行な種々の平面内
にある平面部と各平面部を連結する極めて高さの低い一
つ以上の段面部でなっている。中央面部に連なっている
この段面部の径は、該中央面部の面からの距離が増加す
るにつれて大きくなっている。一個以上の段部が設けら
れる場合には他の段部についても同様である。
性が大で且つ直線域での勾配が急な、即ち、K因子の大
なる特性の膜を得ることができる。本発明の膜の場合、
他の類似の波形膜のK因子に比較して10倍ほど大きな
K因子を得ることができる。更に、本発明の膜は、存在
する少なくとも一つの段部がその安定化に寄与するの
で、平坦な膜とは著しく違って、その中立位置が安定で
ある。
場合には、その膜の構造により、膜型圧力センサーの流
体室を小さく設計することができ、該流体室内の伝達液
の体積を少なくできる。このことは、温度に起因する測
定誤差を低減させる上で有効である。
数を少なくとも2個、望ましくは少なくとも3個とす
る。段部を3個とする場合に特に有利であった。
央面部の平面と各環状面部の平面との間の間隔が径方向
外方に進むに連れてだんだん大きくなるように設計され
る。また、各段面の高さは、実質的に等しくすることが
有利であることも判明している。
断面における中央面部の周囲点と全ての環状面部の外周
側の点とが、全て一つの外接円上に並ぶようにすること
もできる。膜をこのように設計する場合には、中央面部
の面積と環状面部の面積とが、高い直線性と高いK因子
という望ましい特性組合せを得る上で、特に望ましく調
和の取れたものとなる。Rを外接円の半径とし、Hを、
径方向最外側に位置する環状面部の外周点により限定さ
れる前記外接円の円弧の高さとするときのR/Hの値が
300から1200の間、特には600から1200の
間の範囲内に入るようにすることが望ましい。
面部、取付け面部、および段部をいすれも環状とし、膜
を円形膜とする。本発明は、しかしながら、円形でない
膜、例えば、楕円形の膜および長方形の膜にも適用可能
である。
利点は、本発明の代表的な実施例についての図面を参照
しての以下の説明で明らかにされる。
実質的に円形の円盤状ベース4と、薄い段付き膜6と、
および同様に実質的に円形の円盤状フランジ8でなる。
図示の実施例においては、薄い段付き膜6は、円形の外
形をなす円形膜として設計されている。
する側の中央部に浅い溝部を有していて、その溝部は、
図1で下方に突出する環状フランジ10に囲まれてい
る。膜6の環状の取付け面12(図2および3を参照)
は、環状フランジ10に気密を保持するようにハンダ付
けされている。このようにして、溝部の壁と膜6とで浅
い流体室14の境壁が構成されている。ベース4の浅溝
の底部は膜6のためのベッドを形成しており、該ベッド
も、図1に示されているように、膜6を補足する段付き
形状にしてある。
一体に取つけられており、その上部は膜6の取付け面部
12および環状フランジ部10に気密状態で対接してい
る。なお、この部分には、必要により、シール部材を別
に配設してもよい。フランジ8の中央部には、膜6によ
って流体室から隔離された被測定物空間16が形成され
ている。被測定物空間16は、フランジ8の孔18を通
して、圧力を測定すべき被測定物を導くシステムに連結
可能にしてある。
2に連結され、導管には例えばバーボン管型圧力ゲージ
等の圧力ゲージ24(縮小して示す)が連結されてい
る。
2、および圧力ゲージ24の測定要素部分は適当な充填
液で満たされている。更に、測定時には、被測定物空間
16は、圧力を測定すべき被測定物で満たされている。
被測定物空間16の被測定物の圧力は、膜6により流体
室14内の充填液に伝えられ、したがって、充填液の圧
力を測定し且つ表示する圧力ゲージ24によって、被測
定物空間16内の被測定物の圧力が同時に測定され、表
示される。
について、図2および3を参照して、更に詳しく説明す
る。ここで、図2は、図1において膜6を底部から見た
図であり、図3は、膜6の径方向断面を示す。図3で
は、膜6は図1における装着状態に対して反転した状態
で示されている。したがって、膜6が膜型圧力センサー
に装着された状態では、図3での膜の上面側は、被測定
物空間16に対向しており、図3での膜の下側面は、流
体室14に対向している。
は、膜6の水平方向の寸法に比較して実際よりも大きく
拡大して描いてある。膜6の厚さについても同様であ
る。図3は、厚さ0.1mmで、取付け面12で限定さ
れる圧力作用面の直径Dが82mmの膜の垂直方向の寸
法を誇張して拡大して描いた拡大図である。
適する特殊材料、例えば、チタニウム、ハステロイ(ニ
ッケルを55%以上含むニッケル−モリブデン−鉄合
金)、モネル(30〜40%の銅を含むニッケル−銅合
金)、インコネル(耐熱性ニッケル基合金)あるいはタ
ンタル、で作られる。図2および3に示す形状は平坦な
円形素材をスタンピングすることで得られる。本発明で
は成型方法は本質的なものではないので、ここでは更に
詳しい説明は省略する。膜6は、図3に破線で示す中心
線に関して回転対称をなして成型されている。
周囲の点が円28にある平坦で円形な中央面部26を有
する。径方向外方に向けて、第一の切頭円錐形段面30
が中央面26に連なり、段部面30はその径方向外方
で、外周点が円34内に有る平坦な第一環状面部32に
連なっている。第一段面30と第一環状面部32とで第
一環状段部36を形成している。第一環状面部32に
は、その径方向外方に向けて、第二の切頭円錐形段面3
8が連なっており、その径方向外方で、外周点が円42
に有る第二の平坦な環状面部40に連なっている。第二
の段面38と第二の環状面部40とで第二段部44を形
成している。第二環状面部40には、その径方向外方に
向けて、第三の切頭円錐形段面46が連なっていて、こ
れが径方向外方に向けて、外周点が円50に位置する第
三の平坦な環状面部48へと変化している。この第三の
段部面46と第三の環状面部48とで第三の段部52が
構成されている。取付け面12は、図示の実施例では断
面S字形に成型された端部を有しているが、平坦に成型
したものでもよく、これが第三の環状面部48に連なっ
ている。
れぞれの近接する平坦面との間は、丸みをもって連なっ
ている。各切頭円錐形段面30、38及び46の直径は
中央面26の平面から離れるに従い大きくなっており、
従って、各切頭円錐形段面は、環状面に連なって一つの
段部を形成する環状面への移行点で最大直径となってい
る。
6の平面と第一環状面部32の面との間の距離a1は、
中央面26の平面と第二環状面40の面との間の距離a
2より小さく、また、この距離a2は、中央面26の平
面と第三環状面部48の面との間の距離a3より小さ
い。即ち、中央面26の平面と各環状面32、40およ
び40の面との間の距離は、径方向外方に進に従い大き
くなっている。
26と環状取付け部12とを連結する一つの連結結合面
54を構成している。圧力の作用を受ける膜6の面、即
ち、その作用面は、中央面部26と3個の段部36、4
4および52で構成され、したがって、直径Dの円50
で外周が限定された範囲である(図3参照)。
垂直に測って、高さh1を有し、これは前記距離a1に
等しい。第二段面38の高さはh2、第三段面46の高
さはh3であり、これらの高さは全体でもそれぞれの段
部36、44あるいは52の幅に比べれば非常に小さ
い。ここで、段部の幅は対応する段部を内周側および外
周側から限定する各円の半径の差である。図示の実施で
は、各高さh1、h2およびh3を等しくしている。ま
た、高さh1は第一段部36の幅の1.43%、高さh
2は第二段部44の幅の1.5%、高さh3は第三段部
52の幅の1.94%としている。
て、図3に示す断面において、中央面部26の外周点お
よび全ての環状面部32、40および48の径方向外方
の周点は、全て半径Rの共通の外接円上に位置してい
る。ここで、半径Rは、最外周部に位置する環状面部、
即ち、第三環状面部48の外周点により限定される前記
外接円部分(円弧)の高さに比べ非常に大きい。図示の
実施例の場合には、R/Hは1000であり、R/Hの
望ましい範囲である300〜1200の範囲内にある。
膜6はその中心線を軸とする回転対称に設計されている
ので、各径断面での前記各外接円の半径は同一の半径R
である。したがって、中央面部26を限定する円28お
よび各環状面部を径方向外方から限定する円34、42
および50は、すべての径断面で等しい外接円の半径R
を半径とする球上に位置している。
面部の面積は、投影面において、即ち、中央面部の平面
上において、図示の実施例の場合、次の通りの面積率と
なっている。即ち、中央面部26の面積は膜の作用面の
面積の10%、第一段面30の面積は膜の作用面の面積
の5%、第一環状面部32の面積は膜の作用面の面積の
13%、第二段面38の面積は膜の作用面の面積の7
%、第二環状面部40の面積は膜の作用面の面積の17
%、第三段面46の面積は膜の作用面の面積の10%、
第三環状面部48の面積は膜の作用面の面積の22%で
ある。なお、取付け面部12の面積は膜の作用面の面積
の16%である。勿論、本発明は、図2および3に基づ
いて述べた実施例の具体的な細部に制限されるものでは
ない。
の膜は、平坦な中央面部を有すると共に、これと同心の
一個の環状の取付け面部と、中央面部を該端部面に連結
する平坦でない結合面部とを備えている。この結合面部
は少なくとも一つの環状段部でなり、該環状段部は一個
の環状面部とこれに半径方向内方で連なる一個の切頭円
錐形段面とでなっている。環状面部と中央面部とは互い
に平行な面内にあり、中央面の平面に対して垂直に測っ
た段面の高さは対応する段部の幅に比べて非常に小さく
されている。このような段付き構造をなす膜を使用する
ことにより、高い直線性を有し、且つ、直線域での直線
の勾配の大きい特性を有する膜型圧力センサーを得るこ
とができる。
す一部切欠き側面図である。
る。
して示す。
Claims (12)
- 【請求項1】 平坦な中央面部(26)、該中央面部
(26)と同心に配されていて膜(6)の外周端部を構
成している環状取付け面部(12)、および該中央面部
(26)を該端部(12)に連結する全体としては平坦
でない環状結合面部(54)を備えた圧力センサー用膜
であって、前記結合面部(54)が、一つの平坦な環状
面部(32、40、48)と該環状面部(32、40、
48)に径方向内方で連なる一つの切頭円錐形段面(3
0、38、46)とでなる少なくとも一個の環状段部
(36、44、52)で構成されていて、該環状面部
(32、40、48)と該中央面部(26)とが互いに
平行な面上に有り、前記中央面部(26)の面に直交す
る方向で、測定した各断面(30、38、46)の高さ
(h1、h2、h3)が段部(36、44、52)の幅
の0.2%から2.5%の範囲内にある圧力センサー用
膜。 - 【請求項2】 前記環状段部(36、44、52)の個
数が少なくとも2個である前記請求項1に記載の圧力セ
ンサー用膜。 - 【請求項3】 前記環状段部(36、44、52)の個
数が少なくとも3個である前記請求項1に記載の圧力セ
ンサー用膜。 - 【請求項4】 前記中央面部(26)の面と前記環状面
部(32、40、48)の面との間の距離(a1、a2、
a3)が、径方向外方に進むに連れて大きくなってい
る、前記請求項2または3に記載の圧力センサー用膜。 - 【請求項5】 前記段面(30、38、46)の前記各
高さ(h1、h2、h3)が、実質的に等しくされてい
る、前記請求項4に記載の圧力センサー用膜。 - 【請求項6】 膜(6)の各径断面において、前記中央
面部(26)の外周点と全ての環状面部(32、40、
48)の外周点とが、一つの外接円上に位置している、
前記請求項2から5のいずれかに記載の圧力センサー用
膜。 - 【請求項7】 Rを、前記外接円の半径とし、Hを、径
方向最外周部に位置する環状面部(48)の径方向外周
点で限定される前記外接円素片(円弧)の高さとすると
き、R/Hの値が300から1200の範囲になるよう
に構成されている、前記請求項6に記載の圧力センサー
用膜。 - 【請求項8】 前記R/Hの値が600から1000の
範囲になるように構成されている、前記請求項7に記載
の圧力センサー用膜。 - 【請求項9】 前記中央面部(26)、取付け面部(1
2)および段部(36、44、52)が、環状をなして
いる前記請求項1から8のいずれかに記載の圧力センサ
ー用膜。 - 【請求項10】 前記取付け面部(12)が平坦であ
る、前記請求項1から9のいずれかに記載の圧力センサ
ー用膜。 - 【請求項11】 前記取付け面部(12)が型打加工さ
れた端部を有する、前記請求項1から9のいずれかに記
載の圧力センサー用膜。 - 【請求項12】 ベース(4)、ベースに形成された溝
部、該ベースに水密に取付けられて該溝部の壁面との間
に作動時に充填液で満たされる流体室(14)を構成す
る薄膜(6)、および薄膜(6)の前記流体室(14)
とは反対側に設けられて作動時に被測定液で満たされる
被測定物空間(16)とを備えた膜型圧力センサーであ
って、該膜(6)が請求項1から11のいずれかに記載
の膜である膜型圧力センサー。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE96120380.9 | 1996-12-08 | ||
EP96120380A EP0849577B1 (de) | 1996-12-18 | 1996-12-18 | Membran für einen Druckmittler |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH11201842A JPH11201842A (ja) | 1999-07-30 |
JP3272654B2 true JP3272654B2 (ja) | 2002-04-08 |
Family
ID=8223512
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP36373197A Expired - Lifetime JP3272654B2 (ja) | 1996-12-08 | 1997-12-17 | 圧力センサー用膜および膜型圧力センサー |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US6209397B1 (ja) |
EP (1) | EP0849577B1 (ja) |
JP (1) | JP3272654B2 (ja) |
BR (1) | BR9706139B1 (ja) |
CA (1) | CA2224141C (ja) |
DE (1) | DE59605469D1 (ja) |
Families Citing this family (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE10034460A1 (de) * | 2000-07-15 | 2002-01-31 | Bosch Gmbh Robert | Hochdrucksensor, Verfahren und Werkzeug zu seiner Herstellung |
JP4708679B2 (ja) * | 2003-03-28 | 2011-06-22 | 株式会社デンソー | 液封型圧力センサ |
DE102005023021C5 (de) | 2005-05-17 | 2017-12-14 | Labom Meß- und Regeltechnik GmbH | Druckmittler, Membran für derartige Druckmittler, Verfahren zum Herstellen derartiger Druckmittler sowie zum Herstellen derartiger Druckmittlermembranen |
EP2022519A1 (en) * | 2007-08-10 | 2009-02-11 | F. Hoffmann-La Roche AG | Device for detecting a pressure change in the liquid path of a micro dosing apparatus |
DE102007056844A1 (de) * | 2007-11-23 | 2009-06-10 | Endress + Hauser Gmbh + Co. Kg | Membranbett für einen Druckmittler, Druckmittler mit einem solchen Membranbett sowie Drucksensor mit einem solchen Druckmittler |
DE102011017265A1 (de) * | 2011-04-15 | 2012-10-18 | Armaturenbau Gmbh | Referenzdruckmanometer |
CN107024304B (zh) * | 2017-03-31 | 2019-05-07 | 西安交通大学 | 一种应力衰减结构的超高压力传感器 |
Family Cites Families (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4241325A (en) * | 1979-03-21 | 1980-12-23 | Micro Gage, Inc. | Displacement sensing transducer |
JPS5733334A (en) * | 1980-08-05 | 1982-02-23 | Yokogawa Hokushin Electric Corp | Construction of diaphragm in differential pressure and pressure transmitter |
JPS6082827A (ja) * | 1983-10-13 | 1985-05-11 | Nisshin Keiki Kk | 微圧計の隔膜製造方法 |
DE3422945C2 (de) * | 1984-06-20 | 1986-04-24 | Endress U. Hauser Gmbh U. Co, 7867 Maulburg | Sensor |
US5064165A (en) * | 1989-04-07 | 1991-11-12 | Ic Sensors, Inc. | Semiconductor transducer or actuator utilizing corrugated supports |
JP2524238B2 (ja) * | 1990-01-30 | 1996-08-14 | タツタ電線株式会社 | 圧力検出装置 |
JPH04143630A (ja) * | 1990-08-13 | 1992-05-18 | Yamatake Honeywell Co Ltd | 差圧・圧力発信器の製造方法 |
JP2524256B2 (ja) * | 1990-10-31 | 1996-08-14 | タツタ電線株式会社 | 圧力センサ―におけるダイヤフラムの支持構造 |
US5094109A (en) * | 1990-12-06 | 1992-03-10 | Rosemount Inc. | Pressure transmitter with stress isolation depression |
EP0517631A1 (fr) * | 1991-06-07 | 1992-12-09 | Transfluid Sa | Vanne à membrane métallique |
US5230248A (en) * | 1991-07-12 | 1993-07-27 | Rosemount Inc. | Corrosion resistant isolator |
EP0607482B1 (de) | 1993-01-20 | 1997-05-07 | WIKA ALEXANDER WIEGAND GmbH & CO. | Druckmittler |
EP0695418B1 (en) * | 1993-04-23 | 1998-12-30 | Rosemount Inc. | Pressure isolator assembly for sanitary processing |
DE59307025D1 (de) * | 1993-12-14 | 1997-09-04 | Envec Mess Und Regeltechn Gmbh | Druckmessanordnung |
JPH0894474A (ja) * | 1994-09-27 | 1996-04-12 | Yamatake Honeywell Co Ltd | 圧力測定装置 |
-
1996
- 1996-12-18 DE DE59605469T patent/DE59605469D1/de not_active Expired - Lifetime
- 1996-12-18 EP EP96120380A patent/EP0849577B1/de not_active Expired - Lifetime
-
1997
- 1997-12-09 CA CA002224141A patent/CA2224141C/en not_active Expired - Lifetime
- 1997-12-15 BR BRPI9706139-5A patent/BR9706139B1/pt not_active IP Right Cessation
- 1997-12-15 US US08/991,586 patent/US6209397B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1997-12-17 JP JP36373197A patent/JP3272654B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
EP0849577A1 (de) | 1998-06-24 |
US6209397B1 (en) | 2001-04-03 |
BR9706139A (pt) | 1999-03-30 |
CA2224141A1 (en) | 1998-06-18 |
JPH11201842A (ja) | 1999-07-30 |
CA2224141C (en) | 2002-04-23 |
EP0849577B1 (de) | 2000-06-21 |
DE59605469D1 (de) | 2000-07-27 |
BR9706139B1 (pt) | 2008-11-18 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US6205861B1 (en) | Transducer having temperature compensation | |
US4670733A (en) | Differential pressure transducer | |
JP2774267B2 (ja) | 圧力センサ | |
RU2464467C1 (ru) | Передатчик давления и манометр | |
US4192192A (en) | Diaphragm seal assembly | |
US4612812A (en) | Stress reducing stop for unstretched pressure sensing diaphragm | |
JP3272654B2 (ja) | 圧力センサー用膜および膜型圧力センサー | |
JPH04502508A (ja) | 多係数圧力センサ | |
JPH06502721A (ja) | 圧力伝送器の遮断装置 | |
JP2006208225A (ja) | 差圧センサー | |
US5999082A (en) | Compensated oil-filled pressure transducers | |
US5025667A (en) | Hermetic pressure sensor | |
US4306460A (en) | Differential pressure transducer | |
US4241325A (en) | Displacement sensing transducer | |
US7188529B2 (en) | Differential pressure measuring apparatus | |
JPH0544759Y2 (ja) | ||
US6796185B2 (en) | Differential pressure/pressure transmitter | |
JPH081468Y2 (ja) | 差圧測定装置 | |
JP3900351B2 (ja) | 差圧測定装置 | |
JP2662498B2 (ja) | ダイアフラムと加速度センサ | |
JPS63243830A (ja) | 半導体圧力検出装置 | |
JP2003050174A (ja) | サニタリー圧力計 | |
JP2568173Y2 (ja) | 圧力・差圧伝送器の接液部構造 | |
WO1980000037A1 (en) | Pressure transducer | |
JP2004117086A (ja) | 差圧測定装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090125 Year of fee payment: 7 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090125 Year of fee payment: 7 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100125 Year of fee payment: 8 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110125 Year of fee payment: 9 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110125 Year of fee payment: 9 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120125 Year of fee payment: 10 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120125 Year of fee payment: 10 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130125 Year of fee payment: 11 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140125 Year of fee payment: 12 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
EXPY | Cancellation because of completion of term |