JP3272412B2 - 容量型センサを評価しかつテストするための回路装置 - Google Patents

容量型センサを評価しかつテストするための回路装置

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Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、位置固定の測定電極の
間に変位可能な中心電極を有している、特に加速度を測
定するための容量型センサを評価しかつテストするため
の回路装置であって、測定モードとテストモードとを備
えている形式のものに関する。
【０００２】
【従来の技術】容量型加速度センサを評価するためのキ
ャパシタンス測定ブリッジは既に公知である（Leuthold
H.,Rudolf F.著の「An ASIC for High-ResolutionCapac
itive Microacceleremeters」、雑誌:Sensors and Actua
tors、１９９０年、第２７８頁〜第２８１頁)。この公
知のキャパシタンス測定ブリッジでは、可動の中心電極
と位置固定の２つの測定電極とから成る加速度センサ
が、２つのキャパシタンスを形成しており、これらのキ
ャパシタンスの互いに相対的なキャパシタンスが加速度
の目安となる。測定作動時では、中心電極に対する測定
電極の電位が、規定の切換えシーケンスによって周期的
に変化させられる。この場合に中心電極にに出入りする
電荷は積分されて、電圧信号に変換される。別の切換え
シーケンスを用いて、時間平均で中心電極に静電気力を
印加して、センサの機能を検査することを可能にしよう
としている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】本発明の課題は、冒頭
で述べた形式の回路装置を改良して、切換えシーケンス
を変えることなくセンサの自己テストが可能となるよう
な回路装置を提供することである。
【０００４】
【課題を解決するための手段】この課題を解決するため
に本発明の構成では、測定モードで、中心電極と、各１
つの測定電極とによって形成されている、キャパシタン
ス測定ブリッジに接続された測定キャパシタンスの差
が、中心電極の変位を表す信号を形成するようになって
おり、テストモードで、前記測定キャパシタンスのうち
の１つの代わりに、キャパシタンス測定ブリッジに接続
された基準キャパシタンスが接続されて、中心電極と、
前記基準キャパシタンスによって代えられた方の測定キ
ャパシタンスとの間に電位差が印加可能であり、さら
に、これによって生ぜしめられる中心電極の変位が、他
方の測定キャパシタンスで測定可能であるようにした。
【０００５】
【発明の効果】本発明による回路装置は、切換えシーケ
ンスを変化させることなくセンサの自己テストが可能に
なるという利点を持っている。したがって、本発明によ
る回路装置は測定ブリッジの標準運転の間にセンサのテ
ストを可能にし、しかも特に簡単に実現され得る。
【０００６】基準キャパシタンスの値が、中心電極の停
止位置における測定キャパシタンスの値に相当している
と、回路は常に安定した作業範囲で作動されるようにな
る。テストモードと測定モードとの間での切換えはスイ
ッチによって特に簡単に行われる。このスイッチは２つ
の測定キャパシタンスのうちの一方と、基準キャパシタ
ンスとの間で切換えを行い、基準キャパシタンスによっ
て代えられた方の測定キャパシタンスに所定のテスト電
圧を印加する。センサを常時テストしたい場合には、セ
ンサが常時テストモードで作動させられるように回路装
置を設計することができる。
【０００７】
【実施例】以下に、本発明の２つの実施例を図面につき
詳しく説明する。
【０００８】図１に示した第１実施例では、符号１で中
心電極が、符号２で２つの測定電極がそれぞれ示されて
いる。中心電極１は各１つの測定電極２と共に平板コン
デンサ、つまり測定キャパシタンス３を形成している。
中心電極１は測定電極２に対して運動可能である。この
場合、たとえば加速度センサ、つまり中心電極が、ばね
に弾性的に懸吊されているサイズモ質量体から成ってい
て、加速力の作用によって停止位置から変位されるよう
なセンサが想定される。平板コンデンサにおけるキャパ
シタンスがコンデンサプレートの間隔に関連しているの
で、両測定キャパシタンス３の測定によって、測定電極
２に対する中心電極１の相対的な位置が検出されて、印
加された加速度が推定される。もちろん、本発明による
回路装置は加速度センサにおける使用に限定されるもの
ではなく、少なくとも２つのキャパシタンスを備えたあ
らゆる容量型センサにおいても同様に使用され得る。
【０００９】図１には、さらに２つのスイッチ６と，ス
イッチ７と、基準キャパシタンス４と、キャパシタンス
測定ブリッジ５と、電圧供給部８とが示されている。キ
ャパシタンス測定ブリッジ５の外側の２つの入力側の接
続部２２のうちの一方はスイッチ７と接続されている。
スイッチ７が位置１に位置していると、キャパシタンス
測定ブリッジ５の外側の両接続部２２は測定電極と接続
されていて、真ん中の接続部２１は中心電極１と接続さ
れている。スイッチ７が位置２に位置すると、真ん中の
接続部２１と、外側の両接続部２２のうちの一方との間
には基準キャパシタンス４が位置し、真ん中の接続部２
１と外側の他方の接続部２２との間には測定キャパシタ
ンス３が位置する。電圧供給部８は、スイッチ６が閉じ
られた状態で中心電極１と、スイッチ７によってキャパ
シタンス測定ブリッジ５から遮断さ得る方の測定電極２
とに接続されている。
【００１０】スイッチ６，７の位置に応じて、図１に示
した回路装置は測定モードまたはテストモードとなる。
スイッチ６が開かれていて、スイッチ７が位置１に切り
換えられていると、回路装置は測定モードとなる。測定
モードにおいて、両測定キャパシタンス３はキャパシタ
ンス測定ブリッジ５に接続されている。測定電極２に対
する中心電極１の相対的な位置に基づき、測定キャパシ
タンス３のその都度の値が得られる。加速度センサにお
いては、中心電極がばね／質量系から成っており、この
ばね／質量系は加速力の作用によって停止位置から変位
される。キャパシタンス測定ブリッジ５は、たとえば両
測定キャパシタンス３の比較によって、中心電極１の変
位に対して比例する電圧信号が形成されるように設計さ
れている。このことを実施するようなキャパシタンス測
定ブリッジは、たとえば冒頭で述べた文献に記載されて
いる。
【００１１】スイッチ６が閉じられていて、スイッチ７
が位置２に切り換えられていると、回路装置はテストモ
ードになる。この場合には、キャパシタンス測定ブリッ
ジ５が基準キャパシタンス４と、両測定キャパシタンス
３のうちの一方とにしか接続されていない。キャパシタ
ンス測定ブリッジ５に接続されていない、基準キャパシ
タンス４によって代えられた方の測定キャパシタンス３
の対向電極には、電圧供給部８によって中心電極１に対
する規定の電位が印加される。この電位に基づき、中心
電極１には静電気力作用が加えられる。中間電極１は可
動であるので、中心電極１の運動が生ぜしめられる。こ
の運動はキャパシタンス測定ブリッジ５に接続された方
の測定キャパシタンス３の値を変化させて、キャパシタ
ンス測定ブリッジ５によって検出される。
【００１２】図２に示した第２実施例では、可動の中心
電極１と位置固定の２つの電極２０とによって２つの平
板コンデンサ、つまり測定キャパシタンス１０と、テス
トキャパシタンス１１とが形成される。このような構造
の用途としては、やはり容量型加速度センサが考えられ
る。このセンサはキャパシタンス測定ブリッジ５と基準
キャパシタンス４と電圧供給部８とに接続されており、
この場合、図２に示した構成は図１に示した回路のテス
トモードに相当している。キャパシタンス測定ブリッジ
は図１に示した構成と同じ機能を満たしている。中心電
極１と、テストキャパシタンス１１の電極２０とは電圧
供給部に接続されているので、所定の電位が印加可能で
ある。キャパシタンス測定ブリッジの真ん中の接続部２
１は基準キャパシタンス４と中心電極１とに接続されて
いる。キャパシタンス測定ブリッジ５の外側の一方の接
続部２２は基準キャパシタンス４に接続されていて、他
方の接続部２２は電圧供給部８に接続されてない方の電
極２０に接続されている。
【００１３】キャパシタンス測定ブリッジ５に接続され
た測定キャパシタンス１０によって、中心電極１の運動
が検出される。
【００１４】テストキャパシタンス１１は中心電極１の
静電運動のために使用される。テストキャパシタンス１
１には、電圧供給部８によって中心電極１と位置固定の
電極２０との間の電位差を印加することができる。これ
によって生ぜしめられる力作用もしくは中心電極の運動
は、測定キャパシタンス１０と基準キャパシタンス４と
の差を測定することによって検出される。
【００１５】図２に示した回路装置はセンサを常時テス
トモードで使用するために用いられる。このことは、セ
ンサが特別な安全性要件に基づき常時その機能を検査さ
れなければならない場合に特に有利である。この場合で
は、センサの常時機能監視が、信号評価のための２つの
測定キャパシタンスを使用することにより得られる測定
技術的な利点よりも重要となる。このようなセンサは、
たとえば自動車におけるセーフティシステムのために使
用される。このような場合、電圧供給部８は中心電極１
を低い周波数の交流電圧で励振する。キャパシタンス測
定ブリッジ５の出力側における、対応する信号の存在
は、センサが適正に機能していることの表示となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１実施例を示す回路図である。
【図２】本発明の第２実施例を示す回路図である。
【符号の説明】
１ 中心電極、 ２ 測定電極、 ３ 測定キャパシタ
ンス、 ４ 基準キャパシタンス、 ５ キャパシタン
ス測定ブリッジ、 ６、７ スイッチ、 ８電圧供給
部、 １０ 測定キャパシタンス、 １１ テストキャ
パシタンス、２０ 電極、 ２１，２２ 接続部
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭56−145314（ＪＰ，Ａ) 特開 昭49−111664（ＪＰ，Ａ) 実開 昭56−84709（ＪＰ，Ｕ) Ｈ．ＬＥＵＴＨＯＬＤ ａｎｄ Ｆ. ＲＵＤＯＬＦ，Ａｎ ＡＳＩＣ ｆｏｒ Ｈｉｇｈ−ｒｅｓｏｌｕｔｉｏｎ Ｃ ａｐａｃｉｔｉｖｅ Ｍｉｃｒｏａｃｃ ｅｌｅｒｏｍｅｔｅｒｓ，Ｓｅｎｓｏｒ ｓ ａｎｄ Ａｃｔｕａｔｏｒｓ，278 −281頁 (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G01R 35/00 G01B 7/00 G01D 5/24 G01P 15/125

Claims (4)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 位置固定の測定電極（２）の間に変位可
    能な中心電極（１）を有している容量型センサを評価し
    かつテストするための回路装置であって、測定モードと
    テストモードとを備えている形式のものにおいて、測定
    モードで、中心電極（１）と、各１つの測定電極（２）
    とによって形成されている、キャパシタンス測定ブリッ
    ジ（５）に接続された測定キャパシタンス（３）の差
    が、中心電極（１）の変位に対する信号を形成するよう
    になっており、テストモードで、前記測定キャパシタン
    スのうちの１つの代わりに、キャパシタンス測定ブリッ
    ジ（５）に接続された基準キャパシタンス（４）が接続
    されて、中心電極（１）と、前記基準キャパシタンスに
    よって代えられた方の測定キャパシタンス（３）との間
    に電位差が印加可能であり、さらに、これによって生ぜ
    しめられる中心電極（１）の変位が、他方の測定キャパ
    シタンス（３）で測定可能であることを特徴とする、容
    量型センサを評価しかつテストするための回路装置。
  2. 【請求項２】 前記基準キャパシタンス（４）の値が、
    中心電極（１）の停止位置における前記測定キャパシタ
    ンス（３）のうちの一方の測定キャパシタンスの値にほ
    ぼ相当している、請求項１記載の回路装置。
  3. 【請求項３】 テストモード−測定モード切換えのため
    にスイッチ（６，７）が設けられており、テストモード
    でスイッチ（７）が、キャパシタンス測定ブリッジ
    （５）を一方の測定キャパシタンス（３）と前記基準キ
    ャパシタンス（４）との間で切換えるようになってお
    り、スイッチ（６）が、前記基準キャパシタンスによっ
    て代えられた方の測定キャパシタンス（３）にテスト電
    圧を印加するようになっている、請求項１または２記載
    の回路装置。
  4. 【請求項４】 位置固定の電極(２０)の間に変位可能な
    中心電極(１)を有している容量型センサを評価しかつテ
    ストするための回路装置において、中心電極（１）と、
    前記電極(２０)のうちの少なくとも１つの電極とによっ
    て測定キャパシタンス（１０）が形成されており、中心
    電極（１）と、少なくとも１つの別の電極（２０）とに
    よってテストキャパシタンス(１１)が形成されており、
    該テストキャパシタンス（１１）に中心電極（１）に対
    する電位差が印加可能であり、前記測定キャパシタンス
    （１０）で中心電極（１）の変位が測定可能であること
    を特徴とする、容量型センサを評価しかつテストするた
    めの回路装置。
JP26704192A 1991-10-09 1992-10-06 容量型センサを評価しかつテストするための回路装置 Expired - Fee Related JP3272412B2 (ja)

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Families Citing this family (25)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE4432837B4 (de) * 1994-09-15 2004-05-13 Robert Bosch Gmbh Beschleunigungssensor und Meßverfahren
US5587518A (en) * 1994-12-23 1996-12-24 Ford Motor Company Accelerometer with a combined self-test and ground electrode
JP3972064B2 (ja) * 1999-04-02 2007-09-05 独立行政法人労働安全衛生総合研究所 センサ装置及び安全装置
AU1313901A (en) * 1999-11-03 2001-05-14 Med-Dev Limited Method and apparatus for testing a capacitive sensor
FR2844349B1 (fr) * 2002-09-06 2005-06-24 Nanotec Solution Detecteur de proximite par capteur capacitif
DE102004026971B4 (de) * 2004-06-02 2014-08-21 Robert Bosch Gmbh Mikromechanischer Sensor mit Fehlererkennung
US7472028B2 (en) * 2004-06-25 2008-12-30 Kele Inc. Sensor or capacitance measuring with a microprocessor
FR2872900B1 (fr) * 2004-07-09 2006-09-22 Commissariat Energie Atomique Procede de test d'un systeme de mesure a capacite variable
EP1691203B1 (fr) * 2005-02-15 2012-07-25 EM Microelectronic-Marin SA Circuit électronique comportant un capteur capacitif à faible niveau de bruit et accéléromètre équipé de ce circuit
DE102005032131A1 (de) 2005-07-07 2007-01-18 Endress + Hauser Gmbh + Co. Kg Vorrichtung zur kapazitiven Bestimmung und/oder Überwachung des Füllstandes
DE102006055520A1 (de) * 2006-11-24 2008-05-29 Robert Bosch Gmbh Vorrichtung und Verfahren zur Überprüfung der Funktionsfähigkeit bzw. zur Plausibilisierung eines auf einem interdigitalen Elektrodensystem basierenden Sensors sowie ein Sensor zur Detektion von Teilchen in einem Gasstrom und dessen Verwendung
EP1962063B1 (fr) * 2007-02-21 2010-11-17 EM Microelectronic-Marin SA Procédé de test automatique d'un circuit électronique à capteur capacitif, et circuit électronique pour sa mise en oeuvre
FR2912814A1 (fr) * 2007-07-06 2008-08-22 Siemens Vdo Automotive Sas Procede et dispositif de detection de defaillance de capteur capacitif passif
US9367179B2 (en) * 2008-05-27 2016-06-14 Microchip Technology Incorporated Capacitive voltage divider touch sensor
US8215151B2 (en) * 2008-06-26 2012-07-10 Analog Devices, Inc. MEMS stiction testing apparatus and method
IT1397594B1 (it) * 2009-12-21 2013-01-16 St Microelectronics Rousset Giroscopio microelettromeccanico con funzione di auto-test continua e metodo di controllo di un giroscopio microelettromeccanico.
DE102011121775B3 (de) 2011-12-21 2013-01-31 Brose Fahrzeugteile Gmbh & Co. Kg, Hallstadt Steuersystem
GB201410038D0 (en) * 2014-06-06 2014-07-16 Atlantic Inertial Systems Ltd Accelerometers
DE102015119701A1 (de) 2015-11-15 2017-05-18 Brose Fahrzeugteile Gmbh & Co. Kommanditgesellschaft, Bamberg Verfahren für den Betrieb einer kapazitiven Sensoranordnung eines Kraftfahrzeugs
CN105911502B (zh) * 2016-06-12 2019-02-22 江西飞尚科技有限公司 一种磁通量采集仪中的积分电容不一致的改善方法
DE102017209096A1 (de) * 2017-05-31 2018-12-06 Robert Bosch Gmbh Auswerteschaltung für einen kapazitive Beschleunigungssensor und Vorrichtung zur Detektion einer Beschleunigung
US11175138B2 (en) 2019-06-26 2021-11-16 Stmicroelectronics, Inc. MEMS gyroscope control circuit
US11162790B2 (en) * 2019-06-26 2021-11-02 Stmicroelectronics, Inc. MEMS gyroscope start-up process and circuit
US11255670B2 (en) 2019-06-26 2022-02-22 Stmicroelectronics, Inc. MEMS gyroscope self-test using a technique for deflection of the sensing mobile mass
US11320452B2 (en) 2019-06-26 2022-05-03 Stmicroelectronics, Inc. MEMS accelerometer self-test using an active mobile mass deflection technique

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5163325A (en) * 1988-09-23 1992-11-17 Automotive Systems Laboratory, Inc. Self-compensating accelerometer
US5253510A (en) * 1989-06-22 1993-10-19 I C Sensors Self-testable micro-accelerometer
DE3942159A1 (de) * 1989-12-20 1991-06-27 Endress Hauser Gmbh Co Anordnung zur verarbeitung von sensorsignalen
DE4016471A1 (de) * 1990-05-22 1991-11-28 Bosch Gmbh Robert Mikromechanischer neigungssensor
DE4021056A1 (de) * 1990-06-29 1992-01-02 Bosch Gmbh Robert Neigungsschalter

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
Ｈ．ＬＥＵＴＨＯＬＤ ａｎｄ Ｆ．ＲＵＤＯＬＦ，Ａｎ ＡＳＩＣ ｆｏｒ Ｈｉｇｈ−ｒｅｓｏｌｕｔｉｏｎ Ｃａｐａｃｉｔｉｖｅ Ｍｉｃｒｏａｃｃｅｌｅｒｏｍｅｔｅｒｓ，Ｓｅｎｓｏｒｓ ａｎｄ Ａｃｔｕａｔｏｒｓ，２７８−２８１頁

Also Published As

Publication number Publication date
CH684366A5 (de) 1994-08-31
US5351519A (en) 1994-10-04
JPH05273324A (ja) 1993-10-22
DE4133426C2 (ja) 1993-08-05
DE4133426A1 (de) 1993-04-15

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