JP3265463B2 - Ｔｉ焼結体の製造方法 - Google Patents
Ｔｉ焼結体の製造方法Info
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- JP3265463B2 JP3265463B2 JP07078497A JP7078497A JP3265463B2 JP 3265463 B2 JP3265463 B2 JP 3265463B2 JP 07078497 A JP07078497 A JP 07078497A JP 7078497 A JP7078497 A JP 7078497A JP 3265463 B2 JP3265463 B2 JP 3265463B2
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- powder
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- sintering
- sintered
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、軽量、高強度かつ
高耐食性を有するＴｉの部品製造技術に係わり、Ｔｉ粉
末を原料としたＴｉ焼結体の製造方法に関するものであ
り、さらに詳しくは、Ｔｉ粉末による成形体を炭素炉で
焼結する際、焼結体の表面に炭化物が生成せず、しかも
室温引張強度及び破断伸びに優れたＴｉ焼結体を得るこ
とを可能とするＴｉ焼結体の製造方法に関する。
高耐食性を有するＴｉの部品製造技術に係わり、Ｔｉ粉
末を原料としたＴｉ焼結体の製造方法に関するものであ
り、さらに詳しくは、Ｔｉ粉末による成形体を炭素炉で
焼結する際、焼結体の表面に炭化物が生成せず、しかも
室温引張強度及び破断伸びに優れたＴｉ焼結体を得るこ
とを可能とするＴｉ焼結体の製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】Ｔｉは軽量、高強度かつ高耐食性の優れ
た特性を有するため、宇宙・航空機器分野、輸送機器分
野、化学プラント分野等において鉄系材料に代わる適用
が期待されている。また、生体適合性に優れるため、医
療分野及び時計をはじめとする装飾品分野への利用も進
んでいる。このＴｉの部品製造方法は従来は溶解鋳造法
が主であったが、高温では活性が高く技術的に困難が点
が多い。また、Ｔｉは難加工性材料であるため、機械加
工による部品製造も困難が伴う。
た特性を有するため、宇宙・航空機器分野、輸送機器分
野、化学プラント分野等において鉄系材料に代わる適用
が期待されている。また、生体適合性に優れるため、医
療分野及び時計をはじめとする装飾品分野への利用も進
んでいる。このＴｉの部品製造方法は従来は溶解鋳造法
が主であったが、高温では活性が高く技術的に困難が点
が多い。また、Ｔｉは難加工性材料であるため、機械加
工による部品製造も困難が伴う。
【０００３】このＴｉの活性の高さ及び難加工性を克服
するため、粉末冶金法によるＴｉの成形技術の研究開発
が進められている。粉末冶金法の利点としては、Ｔｉの
融点以下の温度で焼結させるためハンドリングが容易で
あること、成形後の後加工の少ないいわゆるニアネット
シェイプ成形が可能であること、及び結晶粒が微細であ
るため機械的性質が優れること、が挙げられる。粉末冶
金法の中で、特に複雑形状部品の量産技術として近年注
目されているのは金属粉末射出成形法である。この成形
法は原料となる金属粉末にワックスや熱可塑性樹脂等の
有機バインダ−を３０〜５０％（体積比）程度添加し
て、コンパウンドを作製し、射出成形機において、目的
の形状を有する金型へ高速・高圧で射出して、成形体
（グリ−ン体）を得る。この成形体に含まれる有機バイ
ンダ−を何らかの方法で大部分除去した後、高温で焼結
することにより、目的とする焼結体を得るものである。
するため、粉末冶金法によるＴｉの成形技術の研究開発
が進められている。粉末冶金法の利点としては、Ｔｉの
融点以下の温度で焼結させるためハンドリングが容易で
あること、成形後の後加工の少ないいわゆるニアネット
シェイプ成形が可能であること、及び結晶粒が微細であ
るため機械的性質が優れること、が挙げられる。粉末冶
金法の中で、特に複雑形状部品の量産技術として近年注
目されているのは金属粉末射出成形法である。この成形
法は原料となる金属粉末にワックスや熱可塑性樹脂等の
有機バインダ−を３０〜５０％（体積比）程度添加し
て、コンパウンドを作製し、射出成形機において、目的
の形状を有する金型へ高速・高圧で射出して、成形体
（グリ−ン体）を得る。この成形体に含まれる有機バイ
ンダ−を何らかの方法で大部分除去した後、高温で焼結
することにより、目的とする焼結体を得るものである。
【０００４】粉末冶金法により良好な機械的特性をもつ
Ｔｉ焼結体を得るためには、Ｔｉ中に含まれる酸素量を
抑制することが必要である。酸素含有量が多くなると
（０．４ｗｔ％以上）室温での延性が低下するいわゆる
脆化現象を示すようになる。特に、Ｔｉは高温になるほ
ど活性が高くなり、たとえ真空中でも、微量に存在する
酸素をピックアップする傾向が高くなるため、高温焼結
になるほど、焼結時の雰囲気を厳密に制御することが望
まれる。そこで、この問題を解決する方法として、焼結
用の容器内に酸素を優先的にピックアップするゲッタ−
金属を入れて焼結する方法が開示されている（特開平６
−３３０１０５号公報）。
Ｔｉ焼結体を得るためには、Ｔｉ中に含まれる酸素量を
抑制することが必要である。酸素含有量が多くなると
（０．４ｗｔ％以上）室温での延性が低下するいわゆる
脆化現象を示すようになる。特に、Ｔｉは高温になるほ
ど活性が高くなり、たとえ真空中でも、微量に存在する
酸素をピックアップする傾向が高くなるため、高温焼結
になるほど、焼結時の雰囲気を厳密に制御することが望
まれる。そこで、この問題を解決する方法として、焼結
用の容器内に酸素を優先的にピックアップするゲッタ−
金属を入れて焼結する方法が開示されている（特開平６
−３３０１０５号公報）。
【０００５】また、Ｔｉ粉末を焼結する際使用する炉の
材質にも注意が必要である。真空炉や雰囲気炉としてよ
く用いられている炭素炉を使うと、焼結体表面が炭素と
反応して炭化物を生成する可能性があるため、Ｔｉの焼
結には発熱体及び炉体としてはモリブデンやタングステ
ン等の金属材料がよく使われている。
材質にも注意が必要である。真空炉や雰囲気炉としてよ
く用いられている炭素炉を使うと、焼結体表面が炭素と
反応して炭化物を生成する可能性があるため、Ｔｉの焼
結には発熱体及び炉体としてはモリブデンやタングステ
ン等の金属材料がよく使われている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】本発明は炭素を炉体及
び発熱体とする真空焼結炉において、Ｔｉを焼結する
際、炉体と発熱体からの炭素の侵入を極力防止して、焼
結体表面の炭化物の生成がなく、しかも機械的特性に優
れたＴｉ焼結体の製造方法を提供することを目的とす
る。
び発熱体とする真空焼結炉において、Ｔｉを焼結する
際、炉体と発熱体からの炭素の侵入を極力防止して、焼
結体表面の炭化物の生成がなく、しかも機械的特性に優
れたＴｉ焼結体の製造方法を提供することを目的とす
る。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明における焼結方法
は、平均粒径１５μｍ以下の微細なＴｉ粉末による成形
体をセラミックス粉末に埋めて、これを緻密な容器に挿
入し、この容器をさらに大きい緻密な容器に挿入する。
また２つの容器の空隙にセラミックス粉末を充填する。
この二重容器を炭素炉に挿入し、１×１０-4Ｔｏｒｒ以
下の真空中で加熱して、１０５０℃以下の温度で焼結す
るものである。また、本発明は、セラミックス粉末がア
ルミナ（Ａｌ2 Ｏ3 ）であり、緻密な容器がアルミナ容
器である上記のＴｉ焼結体の製造方法を望ましい実施の
態様とするものである。
は、平均粒径１５μｍ以下の微細なＴｉ粉末による成形
体をセラミックス粉末に埋めて、これを緻密な容器に挿
入し、この容器をさらに大きい緻密な容器に挿入する。
また２つの容器の空隙にセラミックス粉末を充填する。
この二重容器を炭素炉に挿入し、１×１０-4Ｔｏｒｒ以
下の真空中で加熱して、１０５０℃以下の温度で焼結す
るものである。また、本発明は、セラミックス粉末がア
ルミナ（Ａｌ2 Ｏ3 ）であり、緻密な容器がアルミナ容
器である上記のＴｉ焼結体の製造方法を望ましい実施の
態様とするものである。
【０００８】
【作用】上記の発明において、緻密な焼結用容器、その
間のセラミックス粉末及び成形体を覆っているセラミッ
クス粉末によって発熱体及び炉体からの炭素の混入を防
止する効果が期待できる。また、成形体を覆うセラミッ
クス粉末は、こればかりではなく、成形体周囲の熱分布
を均等にして、変形の少ない焼結体を得る効果も期待さ
れる。
間のセラミックス粉末及び成形体を覆っているセラミッ
クス粉末によって発熱体及び炉体からの炭素の混入を防
止する効果が期待できる。また、成形体を覆うセラミッ
クス粉末は、こればかりではなく、成形体周囲の熱分布
を均等にして、変形の少ない焼結体を得る効果も期待さ
れる。
【０００９】成形体を埋めるのに用いるセラミックス粉
末及び容器間の隙間を覆うセラミックス粉末とも細かい
ほど炭素の遮断効果は大きいが、あまり微細になると成
形体に侵入する可能性があるため、１０〜５０μｍの範
囲とすることが望ましい。粉末の材質は高温でも安定で
あり、しかも安価で入手しやすい酸化物系のアルミナ
（Ａｌ2 Ｏ3 ）がよい。その他、ジルコニア（Ｚｒ
Ｏ2 ）、イットリア（Ｙ2 Ｏ3 ）などが例示される。焼
結用の容器は緻密で耐熱性のあるものがよい。当該容器
の材料としては、例えば、アルミナ等のセラミックス材
料、あるいはモリブデン、タングステン等の高融点金属
材料などが好適なものとして例示される。焼結温度を１
０５０℃以下としたのは、高温焼結による焼結体の結晶
粒の粗大化を防止するとともにＴｉと雰囲気ガスとの反
応をできるだけ避けるためである。１０５０℃を上回る
と炉体付着物等からの分解ガス、あるいは微量に存在す
る酸素などによる汚染を受けやすくなる。原料となるＴ
ｉ粉末は焼結温度が１０５０℃以下と低いため、焼結後
の密度向上を考慮にいれ、平均粒径１５μｍ以下とし
た。好ましくは平均粒径１０μｍ以下が望ましい。しか
し、あまり微細になると、粉末の比表面積の増大による
酸素量の増加及び必要とする有機バインダー量の増加が
懸念される。１５μｍを上回ると１０５０℃以下の焼結
温度では十分に緻密化しなくなる。Ｔｉ粉末の酸素量は
０．２５ｗｔ％以下が望ましい。Ｔｉ粉末原料として
は、ガスアトマイズ粉末、水素化脱水素（ＨＤＨ）粉末
等、特に製造法を選ばない。上記微細なＴｉ粉末による
成形体は、例えば、射出成形によりグリーン体を作製す
る方法、あるいはＣＩＰ法（冷間等方圧成形法）、乾式
プレス法などにより作製する。有機バインダーとして、
ワックス系、熱可塑性樹脂系、あるいはこれらの混合
系、水系など成形法に適したものを適宜使用することが
できる。また、Ｔｉ粉末を成形するのに使用する有機系
バインダ−が焼結時に多量に存在すると、焼結後、内部
に炭化物を形成するため、焼結前に十分脱脂しておくこ
とが必要である。上記有機バインダーは、例えば、上記
成形体を１０0 Ｔｏｒｒ台の真空中でＡｒガスを流しな
がら、３８０℃まで加熱して、脱脂、除去する。成形体
をセラミックス粉末の中に埋め、これを緻密な容器に挿
入し、この容器をさらに大きい緻密な容器に挿入し、ま
た、２つの当該容器の空隙にセラミックス粉末を充填
し、この二重容器（図１）を炭素炉に挿入するが、その
工程及び当該二重容器の形態、セラミックス粉末の量等
は、特に限定されるものではない。焼結方法としては、
１×１０-4Ｔｏｒｒ以下、望ましくは５×１０-5Ｔｏｒ
ｒ以下の真空中、１０５０℃以下、望ましくは１０２５
〜９５０℃の温度で１〜２時間加熱する方法が採用され
る。
末及び容器間の隙間を覆うセラミックス粉末とも細かい
ほど炭素の遮断効果は大きいが、あまり微細になると成
形体に侵入する可能性があるため、１０〜５０μｍの範
囲とすることが望ましい。粉末の材質は高温でも安定で
あり、しかも安価で入手しやすい酸化物系のアルミナ
（Ａｌ2 Ｏ3 ）がよい。その他、ジルコニア（Ｚｒ
Ｏ2 ）、イットリア（Ｙ2 Ｏ3 ）などが例示される。焼
結用の容器は緻密で耐熱性のあるものがよい。当該容器
の材料としては、例えば、アルミナ等のセラミックス材
料、あるいはモリブデン、タングステン等の高融点金属
材料などが好適なものとして例示される。焼結温度を１
０５０℃以下としたのは、高温焼結による焼結体の結晶
粒の粗大化を防止するとともにＴｉと雰囲気ガスとの反
応をできるだけ避けるためである。１０５０℃を上回る
と炉体付着物等からの分解ガス、あるいは微量に存在す
る酸素などによる汚染を受けやすくなる。原料となるＴ
ｉ粉末は焼結温度が１０５０℃以下と低いため、焼結後
の密度向上を考慮にいれ、平均粒径１５μｍ以下とし
た。好ましくは平均粒径１０μｍ以下が望ましい。しか
し、あまり微細になると、粉末の比表面積の増大による
酸素量の増加及び必要とする有機バインダー量の増加が
懸念される。１５μｍを上回ると１０５０℃以下の焼結
温度では十分に緻密化しなくなる。Ｔｉ粉末の酸素量は
０．２５ｗｔ％以下が望ましい。Ｔｉ粉末原料として
は、ガスアトマイズ粉末、水素化脱水素（ＨＤＨ）粉末
等、特に製造法を選ばない。上記微細なＴｉ粉末による
成形体は、例えば、射出成形によりグリーン体を作製す
る方法、あるいはＣＩＰ法（冷間等方圧成形法）、乾式
プレス法などにより作製する。有機バインダーとして、
ワックス系、熱可塑性樹脂系、あるいはこれらの混合
系、水系など成形法に適したものを適宜使用することが
できる。また、Ｔｉ粉末を成形するのに使用する有機系
バインダ−が焼結時に多量に存在すると、焼結後、内部
に炭化物を形成するため、焼結前に十分脱脂しておくこ
とが必要である。上記有機バインダーは、例えば、上記
成形体を１０0 Ｔｏｒｒ台の真空中でＡｒガスを流しな
がら、３８０℃まで加熱して、脱脂、除去する。成形体
をセラミックス粉末の中に埋め、これを緻密な容器に挿
入し、この容器をさらに大きい緻密な容器に挿入し、ま
た、２つの当該容器の空隙にセラミックス粉末を充填
し、この二重容器（図１）を炭素炉に挿入するが、その
工程及び当該二重容器の形態、セラミックス粉末の量等
は、特に限定されるものではない。焼結方法としては、
１×１０-4Ｔｏｒｒ以下、望ましくは５×１０-5Ｔｏｒ
ｒ以下の真空中、１０５０℃以下、望ましくは１０２５
〜９５０℃の温度で１〜２時間加熱する方法が採用され
る。
【００１０】
【実施例】次に、この発明を実施例にもとずいて具体的
に説明する。 （実施例）平均粒径１３μｍのＴｉ粉末（３２μｍ以
下、酸素量０．１５ｗｔ％）にワックスと熱可塑性樹脂
より構成される有機バインダ−を９．６７ｗｔ％添加し
て、引張試験片形状（１１０ｍｍ×７．５ｍｍ×４ｍ
ｍ）に射出成形して、グリ−ン体を作製した。このグリ
−ン体を１０0 Ｔｏｒｒ台の真空中で３８０℃まで加熱
して脱脂して、有機バインダ−の９０％を除去した後、
本発明の図１に示す焼結方法においてセラミックス粉
末、容器ともにアルミナ（Ａｌ2 Ｏ3 ）を使用し、上記
試料３を平均粒径３０μｍのアルミナ粉末２の中に埋
め、これをアルミナ容器１に挿入し、この容器をさらに
大きいアルミナ容器１に挿入し、また２つの当該アルミ
ナ容器の空隙にアルミナ粉末２を充填し、この二重容器
を炭素炉に挿入し、１０-5Ｔｏｒｒ台の真空中１０２５
℃で２時間焼結した。得られた焼結体の評価として、酸
素の定量分析及び表面の炭化物の分析、水アルキメデス
法による密度の測定、室温での引張強度試験、を行っ
た。
に説明する。 （実施例）平均粒径１３μｍのＴｉ粉末（３２μｍ以
下、酸素量０．１５ｗｔ％）にワックスと熱可塑性樹脂
より構成される有機バインダ−を９．６７ｗｔ％添加し
て、引張試験片形状（１１０ｍｍ×７．５ｍｍ×４ｍ
ｍ）に射出成形して、グリ−ン体を作製した。このグリ
−ン体を１０0 Ｔｏｒｒ台の真空中で３８０℃まで加熱
して脱脂して、有機バインダ−の９０％を除去した後、
本発明の図１に示す焼結方法においてセラミックス粉
末、容器ともにアルミナ（Ａｌ2 Ｏ3 ）を使用し、上記
試料３を平均粒径３０μｍのアルミナ粉末２の中に埋
め、これをアルミナ容器１に挿入し、この容器をさらに
大きいアルミナ容器１に挿入し、また２つの当該アルミ
ナ容器の空隙にアルミナ粉末２を充填し、この二重容器
を炭素炉に挿入し、１０-5Ｔｏｒｒ台の真空中１０２５
℃で２時間焼結した。得られた焼結体の評価として、酸
素の定量分析及び表面の炭化物の分析、水アルキメデス
法による密度の測定、室温での引張強度試験、を行っ
た。
【００１１】（比較例１）実施例と同じ粉末及び成形方
法において試料を作製し、１０-5Ｔｏｒｒ台の真空中１
１００℃で２時間焼結した。
法において試料を作製し、１０-5Ｔｏｒｒ台の真空中１
１００℃で２時間焼結した。
【００１２】（比較例２）平均粒径２３μｍのＴｉ粉末
（４５μｍ以下、酸素量０．１２ｗｔ％）に実施例１と
同じ有機バインダ−を９．４２ｗｔ％添加して、実施例
と同じ方法で成形体を作製し、図１に示す焼結方法にお
いて、１０-5Ｔｏｒｒ台の真空中１０２５℃で２時間焼
結した。
（４５μｍ以下、酸素量０．１２ｗｔ％）に実施例１と
同じ有機バインダ−を９．４２ｗｔ％添加して、実施例
と同じ方法で成形体を作製し、図１に示す焼結方法にお
いて、１０-5Ｔｏｒｒ台の真空中１０２５℃で２時間焼
結した。
【００１３】（比較例３）比較例２と同じ粉末及び成形
方法で成形体を作製し、緻密なアルミナ容器にアルミナ
粉末を薄く敷き（図２）、成形体をその上において、１
０-5Ｔｏｒｒ台の真空中１０２５℃で２時間焼結した。
方法で成形体を作製し、緻密なアルミナ容器にアルミナ
粉末を薄く敷き（図２）、成形体をその上において、１
０-5Ｔｏｒｒ台の真空中１０２５℃で２時間焼結した。
【００１４】（比較例４）比較例２と同じ粉末及び成形
方法で成形体を作製し、緻密なアルミナ粉末中に成形体
を埋めて、緻密なアルミナ容器に入れて（図３）、１０
-5Ｔｏｒｒ台の真空中１０２５℃で２時間焼結した。
方法で成形体を作製し、緻密なアルミナ粉末中に成形体
を埋めて、緻密なアルミナ容器に入れて（図３）、１０
-5Ｔｏｒｒ台の真空中１０２５℃で２時間焼結した。
【００１５】これらの実施例、比較例によるＴｉ焼結体
の諸特性を表１に示した。
の諸特性を表１に示した。
【００１６】
【表１】
【００１７】表１の結果から、本発明の焼結方法により
焼結したＴｉ焼結体（実施例）、及び比較例１、比較例
２は、Ｘ線回折法（ＸＲＤ）による観察の結果、表面の
炭化物は観察されなかったが、アルミナ粉末に埋めずに
焼結した比較例３の焼結体は表面に炭化物（ＴｉＣ）が
顕著に観察された。また、比較例４による焼結体におい
ても炭化物が若干生成している。実施例の焼結体は酸素
量が少ないが、実施例より高い温度で焼結した比較例１
の焼結体は酸素量が増加し、破断伸びが低下している。
実施例より粒径の大きいＴｉ原料粉末を使用した比較例
２の焼結体は相対密度が低く、引張最大強度が低い。実
施例によるＴｉ焼結体は、酸素量の増加が少なく、相対
密度は焼結体の表面から内部に入る貫通気孔が消失する
のに十分な値（９４％以上）を示し、破断伸び、強度と
も良好な値が得られている。また、アルミナ粉末に埋め
ずに焼結した比較例３はアーチ状のそりが観察された
が、実施例による焼結体はそりなどの変形はほとんど観
察されなかった。
焼結したＴｉ焼結体（実施例）、及び比較例１、比較例
２は、Ｘ線回折法（ＸＲＤ）による観察の結果、表面の
炭化物は観察されなかったが、アルミナ粉末に埋めずに
焼結した比較例３の焼結体は表面に炭化物（ＴｉＣ）が
顕著に観察された。また、比較例４による焼結体におい
ても炭化物が若干生成している。実施例の焼結体は酸素
量が少ないが、実施例より高い温度で焼結した比較例１
の焼結体は酸素量が増加し、破断伸びが低下している。
実施例より粒径の大きいＴｉ原料粉末を使用した比較例
２の焼結体は相対密度が低く、引張最大強度が低い。実
施例によるＴｉ焼結体は、酸素量の増加が少なく、相対
密度は焼結体の表面から内部に入る貫通気孔が消失する
のに十分な値（９４％以上）を示し、破断伸び、強度と
も良好な値が得られている。また、アルミナ粉末に埋め
ずに焼結した比較例３はアーチ状のそりが観察された
が、実施例による焼結体はそりなどの変形はほとんど観
察されなかった。
【００１８】
【発明の効果】本発明を用いることにより、金属粉末射
出成形法などにより作製されたＴｉ成形体を炭素炉で焼
結する際、焼結体の表面に炭化物が生成せず、しかも室
温引張強度及び破断伸びに優れたＴｉ焼結体を得ること
が可能になった。
出成形法などにより作製されたＴｉ成形体を炭素炉で焼
結する際、焼結体の表面に炭化物が生成せず、しかも室
温引張強度及び破断伸びに優れたＴｉ焼結体を得ること
が可能になった。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施例を示す焼結方法の概略図であ
る。
る。
【図２】比較例３の焼結方法の概略図である。
【図３】比較例４の焼結方法の概略図である。
【図４】実施例、比較例３及び比較例４の焼結体表面の
Ｘ線回折曲線である。
Ｘ線回折曲線である。
１．焼結用アルミナ容器 ２．焼結用アルミナ粉末 ３．焼結すべき試料
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平４−21704（ＪＰ，Ａ) 特開 平２−54735（ＪＰ，Ａ) 特開 平６−330105（ＪＰ，Ａ) 特開 平３−267306（ＪＰ，Ａ) 実開 昭57−138942（ＪＰ，Ｕ)
Claims (2)
- 【請求項１】 Ｔｉ粉末による成形体を炭素炉で焼結す
る際に、焼結体の表面に炭化物が生成せず、しかも室温
引張強度及び破断伸びに優れた緻密なＴｉ焼結体を製造
する方法であって、平均粒径１５μｍ以下の微細なＴｉ
粉末による成形体をアルミナ、ジルコニア又はイットリ
アから選ばれる平均粒径１０〜５０μｍのセラミックス
粉末の中に埋め、これを緻密な容器に挿入し、この容器
をさらに大きい緻密な容器に挿入し、また２つの当該容
器の空隙にセラミックス粉末を充填し、この二重容器を
炭素炉に挿入し、１×１０-4Ｔｏｒｒ以下の真空中、１
０５０℃以下の温度で焼結することを特徴とするＴｉ焼
結体の製造方法。 - 【請求項２】 セラミックス粉末がアルミナ（Ａｌ2 Ｏ
3 ）であり、緻密な容器がアルミナ容器である請求項１
記載のＴｉ焼結体の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP07078497A JP3265463B2 (ja) | 1997-03-07 | 1997-03-07 | Ｔｉ焼結体の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP07078497A JP3265463B2 (ja) | 1997-03-07 | 1997-03-07 | Ｔｉ焼結体の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10251707A JPH10251707A (ja) | 1998-09-22 |
| JP3265463B2 true JP3265463B2 (ja) | 2002-03-11 |
Family
ID=13441508
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP07078497A Expired - Lifetime JP3265463B2 (ja) | 1997-03-07 | 1997-03-07 | Ｔｉ焼結体の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3265463B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003022744A (ja) * | 2001-07-06 | 2003-01-24 | Sony Corp | 非蒸発型ゲッター、表示装置およびこれらの製造方法 |
| JP4490223B2 (ja) * | 2004-09-30 | 2010-06-23 | 株式会社Ｅｎｅｏｓセルテック | 固体酸化物燃料電池の製造方法 |
| JP2022177440A (ja) * | 2021-05-18 | 2022-12-01 | セイコーエプソン株式会社 | 射出成形用組成物、射出成形体の製造方法およびチタン焼結体の製造方法 |
-
1997
- 1997-03-07 JP JP07078497A patent/JP3265463B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH10251707A (ja) | 1998-09-22 |
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