JP3265143B2 - 部品搭載方法および装置 - Google Patents

部品搭載方法および装置

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JP3265143B2
JP3265143B2 JP31897494A JP31897494A JP3265143B2 JP 3265143 B2 JP3265143 B2 JP 3265143B2 JP 31897494 A JP31897494 A JP 31897494A JP 31897494 A JP31897494 A JP 31897494A JP 3265143 B2 JP3265143 B2 JP 3265143B2
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裕二 武川
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ジューキ株式会社
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  • Supply And Installment Of Electrical Components (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、部品搭載方法および装
置、更に詳細には、X、Y、Z方向への移動およびノズ
ル軸を中心に回転(θ)動作が可能な吸着ノズルにより
吸着された電子部品を回路基板上の所定位置に搭載する
部品搭載方法および装置に関する。
【0002】
【従来の技術】従来から、部品供給部から供給される電
子部品等の部品を吸着ヘッドに搭載された吸着ノズルに
より吸着し、これをXYロボットにより回路基板上の所
定位置に搬送して搭載する部品搭載装置(チップマウン
タ)が知られている。その場合、吸着ノズルは必ずしも
部品を正しい姿勢で吸着するわけではないので、通常C
CDカメラでその吸着位置を計測し基準線に対する部品
の角度ずれあるいは吸着中心と部品の中心の位置ずれ等
を求め、これらのずれ量に基づいて部品の位置補正を行
なった後に回路基板上への搭載を行なっている。
【0003】図1および図2は、このような従来の部品
搭載装置における部品の位置決め機構の例で、図1は、
X、Y、Z、θに動作可能な吸着ノズル1と部品搭載装
置のフレーム上に固定されたCCDカメラ2で構成さ
れ、真空により吸着された部品3を一度CCDカメラ2
の上部へ移動し、画像処理によりノズル1の中心に対す
る位置ずれ量と角度ずれ量を取得し、その各ずれ量を補
正して回路基板上への搭載が行なわれている。
【0004】図2は図1と同様X、Y、Z、θに動作可
能なノズル1とX、Y方向に動作可能なセンタリング爪
4で構成され、真空により吸着された部品3を機械的に
センタリング爪4を押し当てて部品の中心をノズル中心
にずらして基板上への搭載が行なわれている。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、図1の
画像処理による方法は、CCDカメラ2の取付精度が厳
密であり、また、視野範囲の制約があるため、部品の外
形寸法に制限が生じる等の問題がある。また、明暗のコ
ントラストをとるために特殊な照明装置が必要となるた
め装置として複雑な構造となってしまう。
【0006】図2の機械的な位置決め方法は部品3を直
接センタリング爪4で接触させるためリード間距離の狭
い部品は、リード部を曲げてしまうことがある。またセ
ンタリング爪4の取付精度や、ノズル1と部品3の摩擦
抵抗により、位置決めの精度に限界があり、特にリード
間距離の狭い部品には、対応できないという問題があ
る。
【0007】本発明は、このような問題点を解決したも
ので、基準線に対する部品の吸着時の角度ずれあるいは
ノズルの吸着中心と部品の中心の位置ずれ等を簡単な構
成で求めることができ、回路基板上への正確な部品搭載
を可能にする部品搭載方法および装置を提供することを
課題とする。
【0008】
【課題を解決するための手段】本発明は、このような課
題を解決するために、X、Y、Z方向への移動および回
転動作が可能な吸着ノズルにより吸着された部品を回路
基板上の所定位置に搭載する部品搭載方法において、レ
ーザ判別センサにより平行なレーザ帯を発生させ、レー
ザ帯と部品の一辺が平行に接触するまで吸着ノズルある
いはレーザ判別センサの移動と回転を繰り返し、レーザ
帯と部品の一辺が平行に接触するまでの吸着ノズルある
いはレーザ判別センサの回転量から角度ずれ量を求め、
続いて、前記レーザ帯と部品の一辺が平行に接触した状
態から、吸着ノズルあるいはレーザ判別センサを回転並
びに移動することにより残りのすべての辺をそれぞれレ
ーザ帯と平行に接触させ、部品の各辺をそれぞれレーザ
帯と平行に接触させたときのノズル中心とレーザ帯まで
の距離に基づき部品中心とノズル中心の位置ずれ量を求
め、前記角度ずれ量並びに位置ずれ量を補正して部品の
搭載を行う構成を採用した。
【0009】また、本発明では、X、Y、Z方向への移
動および回転動作が可能な吸着ノズルにより吸着された
部品を回路基板上の所定位置に搭載する部品搭載方法に
おいて、レーザ変位センサからのレーザビームを部品の
一辺に投光し、吸着ノズルあるいはレーザ変位センサを
所定量移動させてその前後におけるレーザ変位センサの
出力の変位に基づき角度ずれ量を求め、前記吸着ノズル
あるいはレーザ変位センサを回転させてレーザビームと
部品の一辺が垂直になるようにし、続いて、残りのすべ
ての辺がそれぞれレーザビームと垂直になるように、吸
着ノズルあるいはレーザ変位センサを回転させ、部品の
各辺がそれぞれレーザビームと垂直になったとき部品の
各辺にレーザビームを投光して得られるレーザ変位セン
サの出力に基づいて部品中心とノズル中心の位置ずれ量
を求め、前記角度ずれ量並びに位置ずれ量を補正して部
品の搭載を行う構成も採用している。
【0010】更に、本発明では、X、Y、Z方向への移
動および回転動作が可能な吸着ノズルにより吸着された
部品を回路基板上の所定位置に搭載する部品搭載装置に
おいて、平行なレーザ帯を発生させるレーザ判別センサ
と、前記レーザ判別センサから発生するレーザ帯と部品
の一辺が平行に接触するまで吸着ノズルあるいはレーザ
判別センサの移動と回転を繰り返し、レーザ帯と部品の
一辺が平行に接触するまでの吸着ノズルあるいはレーザ
判別センサの回転量から角度ずれ量を算出する手段と、
前記レーザ帯と部品の一辺が平行に接触した状態から、
吸着ノズルあるいはレーザ判別センサを回転並びに移動
することにより残りのすべての辺をそれぞれレーザ帯と
平行に接触させ、部品の各辺がそれぞれレーザ帯と平行
に接触したときに得られるノズル中心とレーザ帯までの
距離に基づき部品中心とノズル中心の位置ずれ量を算出
する手段と、前記算出した角度ずれ量並びに位置ずれ量
を補正して部品の搭載を行う制御手段とを備えた構成も
採用している。
【0011】また、本発明では、X、Y、Z方向への移
動および回転動作が可能な吸着ノズルにより吸着された
部品を回路基板上の所定位置に搭載する部品搭載装置に
おいて、レーザビームを部品の一辺に照射しその反射光
を受光するレーザ変位センサと、吸着ノズルあるいはレ
ーザ変位センサを所定量移動させてその前後におけるレ
ーザ変位センサの出力の変位に基づき角度ずれ量を算出
する手段と、前記吸着ノズルあるいはレーザ変位センサ
を回転させてレーザビームと部品の一辺が垂直になるよ
うにするとともに、残りのすべての辺がそれぞれレーザ
ビームと垂直になるように、吸着ノズルあるいはレーザ
変位センサを回転させ、部品の各辺がそれぞれレーザビ
ームと垂直になったとき部品の各辺にレーザビームを照
射して得られるレーザ変位センサの出力に基づいて部品
中心とノズル中心の位置ずれ量を算出する手段と、前記
算出した角度ずれ量並びに位置ずれ量を補正して部品の
搭載を行う制御手段とを備えた構成も採用している。
【0012】
【作用】このような構成では、レーザ判別センサにより
発生される平行なレーザ帯と搭載される部品の一辺が平
行に接触するまで吸着ノズルの移動と回転が繰り返され
る。この過程で部品の吸着時の基準線(例えばレーザ
帯)に対する角度ずれを補正することができる。レーザ
帯と部品の一辺が平行接触した状態でノズル中心とレー
ザ帯までの距離を求める。続いて吸着ノズルを180°
回転させて対向する辺がレーザ帯に平行に接触するまで
移動させ、同様にノズル中心とレーザ帯までの距離を求
める。これらの距離からその辺に垂直な方向(例えばY
方向)の位置ずれを求めることができる。更にその後吸
着ノズルを90°づつ回転させて残りの2辺がそれぞれ
レーザ帯に平行に接触するまで移動させる。このときの
ノズル中心とレーザ帯までの距離をそれぞれ求めること
によりX方向における位置ずれを求めることができる。
このようにして求められたX、Y方向における位置ずれ
を補正して部品の搭載が行なわれるので、簡単な構成で
角度ずれ、位置ずれの補正を行なうことができ、回路基
板への正確な部品搭載が可能になる。
【0013】上記構成で、部品の各辺をレーザ帯に接触
させる場合、吸着ノズルを固定し、レーザ判別センサを
移動、回転させるようにすることもできる。
【0014】本発明の他の構成では、レーザ判別センサ
の代りにレーザ変位センサが用いられ、そのセンサから
のレーザビームが部品の一辺に投光される。吸着ノズル
を所定量移動させてその前後におけるレーザ変位センサ
の出力変位を求めることにより角度ずれを求めることが
できるので、その角度ずれ量だけ吸着ノズルを回転させ
てレーザビームとその一辺が垂直になるようにする。こ
れにより角度ずれが補正される。続いて吸着ノズルを9
0°づつ回転させることにより部品の各辺にレーザビー
ムが投光され、その各辺からのレーザ変位センサの出力
に基づいて部品中心とノズル中心の位置ずれが補正され
て部品の搭載が行なわれる。
【0015】また、上記構成で吸着ノズルを固定し、レ
ーザ変位センサを移動、回転させることによりレーザ変
位センサの出力を得るようにすることもできる。
【0016】
【実施例】以下に、図面に示す実施例に基づいて本発明
を詳細に説明する。
【0017】図3には、本発明が用いられる部品搭載装
置の構成が図示されている。同図において符号10で示
すものは搭載される種々の部品(電子部品)14を供給
する部品供給部であり、この部品供給部から供給される
部品14は、吸着ノズル16を備えた吸着ヘッド13に
より吸着される。その場合、吸着ヘッド13は、X、Y
軸に沿って移動可能なXYロボット12に装着されてお
り、このXYロボット12をコントローラ18で制御し
て吸着ヘッド13を部品供給部10上に移動後Z方向に
移動させ、負圧源20により発生する負圧により部品を
吸着ノズル16により吸着させることができる。吸着ノ
ズル16により吸着された部品14は、XYロボットを
X、Y方向に移動することによりレーザ判別センサ15
の方向に移動されて、以下で説明するように、部品の基
準線に対する角度ずれ量あるいはノズル中心(吸着中
心)と部品中心の位置ずれ量が求められ、部品の位置補
正が行なわれる。このように位置補正された部品14
は、テーブル19を介して搬送されてくる回路基板17
上の所定位置に搭載される。上述したシーケンスはコン
トローラ18により制御され、所定の電子部品が上述し
たシーケンスで順次部品供給部10から回路基板17に
搭載されていく。
【0018】図4には、本発明に用いられるレーザ判別
センサ15が図示されている。レーザ判別センサ15
は、平行なレーザ帯21を発生する発光部15aとこれ
を受光する受光部15bからなり、例えばKEYENC
E社製のLX2が用いられる。レーザ判別センサ15
は、レーザ帯21内に入る部品14の影を光量変化とし
て検出しレーザ帯と部品との接触を検出するもので、例
えば部品14を図5(a)に図示したように、レーザ帯
21に対しゆっくりと矢印の方向に接近させると、次第
にレーザ帯の一部が部品の先端(リード部)で覆われ、
図5(b)に示した位置でレーザ判別センサの受光部1
5bの出力がOFFからONに変化する。この時点でレ
ーザ帯と部品の接触を検出することができる。本実施例
では、部品のピン列(リード部)の位置が位置決めに重
要なので、以下では、レーザ帯と部品のリード部との接
触を前提とするが、部品の側辺の上部(リード上部)と
の接触を検出するようにしてもよい。
【0019】図6は、部品14が吸着ノズル16より部
品供給部から吸着された状態を示す。22は部品中心、
24は吸着ノズルのノズル中心であり、吸着した時は同
図に示すように、部品供給部内の部品のガタなどで部品
中心とノズル中心には基準位置x、yに対して角度ずれ
と位置ずれが生じている。この位置ずれ量と角度ずれ量
を図7および図8に示すような方法で算出する。なお、
図7はフローの形で、また図8は、図7のフロー各ステ
ップでの部品中心とノズル中心の位置関係を示す。
【0020】まず、図7、図8のステップS1は、部品
吸着後XYロボットのX、Y移動により部品14を移動
し部品14がレーザ帯21に接触し、レーザ出力がOF
FからONに変化した状態であり、ここで吸着ノズル1
6を正逆回転させて、レーザ出力がOFFになる方向を
見つけ、レーザ出力がOFFになる回転方向に微少回転
させる。このレーザ出力がOFFになった時点でステッ
プS2に図示したように、吸着ノズル16をY方向(図
8を参照)に微少移動し(t)、再びレーザ出力がON
になった時点で停止しその後ステップS1と同様にレー
ザ出力がOFFになるまで吸着ノズル16を回転させる
(ステップS3)。
【0021】ステップS2、S3の動作を繰返し、微少
回転でレーザ出力がOFFにならない状態(ステップS
5)に至る。この時レーザ帯21と部品14の一辺L1
が平行になった時であり、ステップS1から5までの回
転量が角度ずれ量Δθとなる。このとき、ノズル中心2
4とレーザ帯21の位置は予めわかっているため、ノズ
ル中心24とレーザ帯21の距離y1を知ることができ
る。
【0022】続いてステップS6で吸着ノズル16を1
80°回転させて矢印の方向に移動させて部品の辺L3
がレーザ帯21と接触しレーザ出力がONになるように
する(ステップS7)。このときノズル中心24とレー
ザ帯21までの距離y2を知ることができる。次にステ
ップS8で吸着ノズル16を90°回転させて、同様の
動作を行い部品の辺L2がレーザ帯21に接触するまで
吸着ノズルを移動させノズル中心24とレーザ帯21ま
での距離x1を知る(ステップS9)。続いてステップ
S10で再び吸着ノズル16を180°回転させ、その
後部品の最後の辺L4がレーザ帯21と接触するまで吸
着ノズルを移動させ、そこでノズル中心24とレーザ帯
21までの距離x2を知ることができる(ステップS1
1)。
【0023】図8の下方部には、ステップS5とS7お
よびステップS9とS11の状態が取り出して図示され
ており、この状態ではそれぞれレーザ帯21に対し部品
14の各辺L1〜L4が平行になった時であり、この時
にノズル中心とレーザ帯との距離x1、x2、y1、y2か
ら次式で部品中心とノズル中心のずれ量Δx、Δyを算
出できる。
【0024】Δx=(x1−x2)/2 Δy=(y1−y2)/2 なお、上述したように、角度ずれ量ΔθはステップS1
からS5まで吸着ノズル16の回転量となる。
【0025】以上のΔx、Δy、Δθを補正量として回
路基板17上に部品14の搭載が行なわれる。
【0026】図9は、本発明の他の実施例を示し吸着ノ
ズル16はX、Y方向の移動並びに回転移動(θ)を行
わず、単にZ方向、即ち上下移動だけを行なう。それに
代り、レーザ判別センサ15はテーブル30上に設置さ
れ、このテーブル30がACあるいはDCサーボモータ
34、36、38によりθ方向、X、Y方向に移動可能
な載置台32に固定される。それによりレーザ判別セン
サはより分解能の細かいX−Y−θ動作が可能になる。
部品14の位置ずれおよび角度ずれの検出方法は上述し
た実施例と同様であるが、テーブル30を高分解能で
X、Y、θ移動させることができるので、より精度のよ
い位置決めが得られ、高精度の部品搭載が可能になる。
【0027】図10、図11には、レーザ判別センサの
代りにレーザ変位センサ40を用いる実施例が図示され
ている。レーザ変位センサ40はレーザビーム41を部
品14に照射しその反射光を受光することにより部品1
4の変位量を測定するもので、例えばKEYENCE社
製のLB1000シリーズが用いられる。この場合もレ
ーザビーム41は部品14の側辺の上部ないしは図11
に示したように部品のリード部の垂直に延びる部分に投
光されるものとする。
【0028】以下に、吸着ノズル16のX−Y−θ動作
によるレーザ変位量の変化から部品の位置ずれ角度ずれ
を算出する工程を説明する。
【0029】図13のステップT1には、部品14が吸
着ノズル16より部品供給部から吸着された状態が図示
されており、吸着した時には部品供給部内の部品のガタ
などで部品中心22とノズル中心24には角度ずれと位
置ずれが生じている。図12、13のステップT1にお
いて部品吸着後、XYロボットのX−Y移動により部品
14の一辺L1にレーザ変位センサ40からレーザービ
ーム41を投光し、レーザー出力aを得る。ステップT
2で吸着ノズル16をY方向にδ移動する。そのときの
レーザ出力をbとする。a、b、δのパラメータから、
図16に示すΔθを次式で算出する。
【0030】
【数1】
【0031】ステップT3において算出された角度ずれ
Δθを補正してレーザビームと部品の一辺L1が垂直に
なるように吸着ノズル16を回転し、このとき得られる
レーザ出力をx1とする。次にステップT4で吸着ノズ
ルを180°回転し、部品の対向する辺L3にレーザビ
ームを投光しこのときのレーザ出力をx2とする。次に
ステップT5で吸着ノズルを90°回転し、部品の辺L
2にレーザビームを投光したときのレーザ出力をy1と
し、ステップT6でさらに180°回転し部品の辺L4
にレーザビームを投光したときのレーザ出力をy2とす
る。
【0032】図14には、ステップT3、T4の状態が
図示されており、これらの状態で得られるx1、x2から
部品中心とノズル中心のX方向のずれΔxが次式により
算出される。
【0033】Δx=(x2−x1)/2 図15には、ステップT5、T6の状態が図示されてお
り、これらの状態で得られるy1、y2から部品中心とノ
ズル中心のY方向のずれΔyが次式により算出される。
【0034】Δy=(y2−y1)/2 以上より角度ずれΔθ並びに位置ずれΔx、Δyを補正
量として吸着時のずれが補正され、その後部品が回路基
板上に搭載される。
【0035】図17に図示した実施例は、図9と同様
に、レーザ変位センサ40はより分解能の細かいX−Y
−θ動作が可能なテーブル50上に設置され、このテー
ブル50が不図示のACあるいはDCサーボモータによ
りθ方向、X、Y方向に移動されるように構成されてい
る。部品14の位置ずれおよび角度ずれの検出方法は上
述した実施例と同様であるが、テーブル50を高分解能
でX、Y、θ移動させることができるので、より精度の
よい位置決めが得られ、高精度の部品搭載が可能にな
る。
【0036】
【発明の効果】以上説明したように、本発明では、レー
ザ判別センサあるいはレーザ変位センサにより発生され
るレーザ光線を用いて、吸着時の部品の角度ずれ量並び
に位置ずれ量が求められる。レーザ判別センサを用いる
場合には、部品の一辺がレーザ帯と平行に接触するまで
の吸着ノズルあるいはレーザ判別センサの回転量により
角度ずれ量を求め、また部品の各辺がそれぞれレーザ帯
と平行に接触したときのノズル中心とレーザ帯までの距
離から部品中心とノズル中心の位置ずれ量を求めている
ので、簡単な構成で角度ずれ、位置ずれを補正すること
ができる。またレーザ変位センサを用いる場合は、レー
ザ変位センサの出力の変位から角度ずれ量を求め、吸着
ノズルあるいはレーザ変位センサを回転させてレーザビ
ームと部品の一辺が垂直になるようにし、また、残りの
すべての辺がそれぞれレーザビームと垂直になるよう
に、吸着ノズルあるいはレーザ変位センサを回転させ、
部品の各辺がそれぞれレーザビームと垂直になったとき
レーザ変位センサから得られる出力に基づいて部品中心
とノズル中心の位置ずれ量を求めているので、同様に、
簡単な構成で角度ずれ、位置ずれを求めることができ
る。また、レーザ判別センサあるいはレーザ変位センサ
を搭載装置のフレーム上に設置するだけですみ、CCD
カメラによるデータの取得並びに位置演算補正がなくな
り、極めて安価な構成が得られる。また、各センサの設
置時特別な治具等による調整が不要であり信頼性が高く
なる。
【0037】更に、部品を機械的に接触させることがな
いため、部品のリード部の足曲げ等の心配がない。更
に、レーザ判別センサ、レーザ変位センサが固定されて
いるため、振動や衝撃の問題もなく、高い位置決め精度
が得られる、等種々の効果が得られる。
【図面の簡単な説明】
【図1】従来の部品吸着時の角度ずれ並びに位置ずれを
検出し補正する構成を示す斜視図である。
【図2】従来の部品吸着時の角度ずれ並びに位置ずれを
検出し補正する他の構成を示す斜視図である。
【図3】本発明が用いられる部品搭載装置の構成を示す
斜視図である。
【図4】レーザ判別センサを用いて部品吸着時の角度ず
れ並びに位置ずれを検出し補正する構成を示す斜視図で
ある。
【図5】レーザ判別センサを用いたとき部品とレーザ帯
の接触状態を説明する説明図である。
【図6】部品吸着時の角度ずれ並びに位置ずれの発生を
示す説明図である。
【図7】レーザ判別センサを用いて部品吸着時の角度ず
れ並びに位置ずれを検出し補正する流れを示すフローチ
ャート図である。
【図8】レーザ判別センサを用いて部品吸着時の角度ず
れ並びに位置ずれを検出し補正する各ステップ時の部品
の位置を示す説明図である。
【図9】レーザ判別センサを高分解能のテーブルを用い
て移動させる実施例を示す構成図である。
【図10】レーザ変位センサを用いて部品吸着時の角度
ずれ並びに位置ずれを検出する構成を示す斜視図であ
る。
【図11】レーザ変位センサを用いて部品吸着時の角度
ずれ並びに位置ずれを検出する構成を示す側面図であ
る。
【図12】レーザ変位センサを用いて部品吸着時の角度
ずれ並びに位置ずれを検出し補正する流れを示すフロー
チャート図である。
【図13】レーザ変位センサを用いて部品吸着時の角度
ずれ並びに位置ずれを検出し補正する各ステップ時の部
品の位置を示す説明図である。
【図14】図12、13の所定ステップにおける部品の
位置を示した説明図である。
【図15】図12、13の所定ステップにおける部品の
位置を示した説明図である。
【図16】角度ずれの演算を説明する説明図である。
【図17】レーザ変位センサを高分解能のテーブルを用
いて移動させる実施例を示す構成図である。
【符号の説明】
10 部品供給部 12 XYロボット 14 部品 16 吸着ノズル 15 レーザ判別センサ 17 回路基板 21 レーザ帯 22 部品中心 24 ノズル中心 40 レーザ変位センサ

Claims (8)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 X、Y、Z方向への移動および回転動作
    が可能な吸着ノズルにより吸着された部品を回路基板上
    の所定位置に搭載する部品搭載方法において、レーザ判
    別センサにより平行なレーザ帯を発生させ、 レーザ帯と部品の一辺が平行に接触するまで吸着ノズル
    あるいはレーザ判別センサの移動と回転を繰り返し、レ
    ーザ帯と部品の一辺が平行に接触するまでの吸着ノズル
    あるいはレーザ判別センサの回転量から角度ずれ量を求
    め、 続いて、前記レーザ帯と部品の一辺が平行に接触した状
    態から、吸着ノズルあるいはレーザ判別センサを回転並
    びに移動することにより残りのすべての辺をそれぞれレ
    ーザ帯と平行に接触させ、 部品の各辺をそれぞれレーザ帯と平行に接触させたとき
    のノズル中心とレーザ帯までの距離に基づき部品中心と
    ノズル中心の位置ずれ量を求め、 前記角度ずれ量並びに位置ずれ量を補正して部品の搭載
    を行うことを特徴とする部品搭載方法。
  2. 【請求項2】 レーザ判別センサを固定し、吸着ノズル
    を移動、回転させることにより部品の各辺をレーザ帯に
    接触させることを特徴とする請求項1に記載の部品搭載
    方法。
  3. 【請求項3】 吸着ノズルを固定し、レーザ判別センサ
    を移動、回転させることにより部品の各辺をレーザ帯に
    接触させることを特徴とする請求項1に記載の部品搭載
    方法。
  4. 【請求項4】 X、Y、Z方向への移動および回転動作
    が可能な吸着ノズルにより吸着された部品を回路基板上
    の所定位置に搭載する部品搭載方法において、 レーザ変位センサからのレーザビームを部品の一辺に投
    光し、 吸着ノズルあるいはレーザ変位センサを所定量移動させ
    てその前後におけるレーザ変位センサの出力の変位に基
    づき角度ずれ量を求め、 前記吸着ノズルあるいはレーザ変位センサを回転させて
    レーザビームと部品の一辺が垂直になるようにし、 続いて、残りのすべての辺がそれぞれレーザビームと垂
    直になるように、吸着ノズルあるいはレーザ変位センサ
    を回転させ、 部品の各辺がそれぞれレーザビームと垂直になったとき
    部品の各辺にレーザビームを投光して得られるレーザ変
    位センサの出力に基づいて部品中心とノズル中心の位置
    ずれ量を求め、 前記角度ずれ量並びに位置ずれ量を補正して部品の搭載
    を行うことを特徴とする部品搭載方法。
  5. 【請求項5】 レーザ変位センサを固定し、吸着ノズル
    を移動、回転させることによりレーザ変位センサの出力
    を得ることを特徴とする請求項4に記載の部品搭載方
    法。
  6. 【請求項6】 吸着ノズルを固定し、レーザ変位センサ
    を移動、回転させることによりレーザ変位センサの出力
    を得ることを特徴とする請求項4に記載の部品搭載方
    法。
  7. 【請求項7】 X、Y、Z方向への移動および回転動作
    が可能な吸着ノズルにより吸着された部品を回路基板上
    の所定位置に搭載する部品搭載装置において、 平行なレーザ帯を発生させるレーザ判別センサと、 前記レーザ判別センサから発生するレーザ帯と部品の一
    辺が平行に接触するまで吸着ノズルあるいはレーザ判別
    センサの移動と回転を繰り返し、レーザ帯と部品の一辺
    が平行に接触するまでの吸着ノズルあるいはレーザ判別
    センサの回転量から角度ずれ量を算出する手段と、前記レーザ帯と部品の一辺が平行に接触した状態から、
    吸着ノズルあるいはレーザ判別センサを回転並びに移動
    することにより残りのすべての辺をそれぞれレーザ帯と
    平行に接触させ、 部品の各辺がそれぞれレーザ帯と平行
    に接触したときに得られるノズル中心とレーザ帯までの
    距離に基づき部品中心とノズル中心の位置ずれ量を算出
    する手段と、 前記算出した角度ずれ量並びに位置ずれ量を補正して部
    品の搭載を行う制御手段とを備えたことを特徴とする部
    品搭載装置。
  8. 【請求項8】 X、Y、Z方向への移動および回転動作
    が可能な吸着ノズルにより吸着された部品を回路基板上
    の所定位置に搭載する部品搭載装置において、 レーザビームを部品の一辺に照射しその反射光を受光す
    るレーザ変位センサと、 吸着ノズルあるいはレーザ変位センサを所定量移動させ
    てその前後におけるレーザ変位センサの出力の変位に基
    づき角度ずれ量を算出する手段と、 前記吸着ノズルあるいはレーザ変位センサを回転させて
    レーザビームと部品の一辺が垂直になるようにするとと
    もに、残りのすべての辺がそれぞれレーザビームと垂直
    になるように、吸着ノズルあるいはレーザ変位センサを
    回転させ、部品の各辺がそれぞれレーザビームと垂直に
    なったとき部品の各辺にレーザビームを照射して得られ
    るレーザ変位センサの出力に基づいて部品中心とノズル
    中心の位置ずれ量を算出する手段と、 前記算出した角度ずれ量並びに位置ずれ量を補正して部
    品の搭載を行う制御手段とを備えたことを特徴とする部
    品搭載装置。
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