JP3265003B2 - ブラウン管パネルの欠陥の検査装置およびブラウン管パネルの欠陥の検査修正装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、ブラウン管パネル上に
生ずる欠陥を検査するブラウン管パネルの欠陥の検査装
置および修正までも行なうブラウン管パネルの欠陥の検
査修正装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来のこの種のブラウン管パネルの欠陥
の検査および修正を行なうものとして、カラーブラウン
管用パネルの黒色膜の欠陥の検査および修正について説
明する。

【０００３】図３および図４で示すように、カラーブラ
ウン管用のパネル11のフェース面11a の内側には、黒色
膜12が形成されている。この黒色膜12は、レジストの塗
布工程、このパネル11と組合わされる図示しないシャド
ウマスクを用いた露光工程、シャドウマスクを取り外し
た後の現像工程、そして、ダグの塗布工程を経て、パネ
ル11を構成する曲面状ガラスの内面に、多数の孔による
規則的なパターン状に形成される。

【０００４】また、この黒色膜12のパターンは、本来、
図５で示すように、同一径の孔13が予め設定された所定
の配置形態で規則的に配置されるものであるが、前述し
たパターン形成工程において、図６ないし図８で示すよ
うな欠陥13a が生じることがある。すなわち、欠陥13a
として、図６で示すように本来の孔径より小さな径の小
孔13a1が生じたり、図７で示すように変形孔13a2が生じ
たり、さらに、図８において破線で示すように孔13が生
じるべき場所に孔が生じない無孔13a3が生ずることがあ
る。

【０００５】ここで、黒色膜12を形成するための露光工
程では、前述のように、このパネル11と組合わされるシ
ャドウマスクを用いて露光を行なうが、シャドウマスク
自体の孔の一部に小径孔があると図６で示した小孔13a1
が生じ、また、シャドウマスクに孔の開いていない部分
があると図８で示した無孔13a3が生じる。さらに、露光
時に異物等が付着すると図７で示した小孔13a1が生じ
る。

【０００６】実際の製造工程では、パネル11は、蛍光面
塗布機の出口のパネルコンベア上において、あるいは、
パネルコンベアからアンロードした後、下面から照明を
行なうライトテーブル上において、黒色膜12の状態を人
手により検査し、欠陥13a を発見するようにしている。

【０００７】しかし、このような検査作業は、極めて困
難であり、作業に長時間を要し、しかも検出誤り等が生
じ易かった。たとえば、通常のディスプレイ間の場合、
パネル11に形成された黒色膜12の孔13の径は、通常９０
μｍから１５０μｍ、孔ピッチは１２０μｍから２２０
μｍと極めて細かいため、各種の欠陥13a を目視によっ
て検出することは、極めて難しく長時間を要する。

【０００８】また、作業者は、目視により欠陥13a を見
付けた場合、これを修正すべく、拡大レンズを覗きなが
ら、同じく人手により修正針等を用いて修正作業を行な
わなければならない。この作業も極めて難しく、長時間
を要し、検査作業以上の熟練を必要とする。すなわち、
欠陥13a を手作業により修正するため、パネル11を傷付
けたり、修正パターンが不均一になったりするという問
題が生じ易い。

【０００９】また、作業に時間がかかるのは、上述した
ように作業自体が難しいという理由のほかに、検査およ
び修正作業の度にパネル11の向きを変えなければならな
いことにもよる。すなわち、パネル11の検査作業は、図
３および図４で示したパネル11のフェース面11a を上向
きとし、下方から照明を当てて行なうが、修正作業はフ
ェース面11a を下向きにし、黒色膜12が上向きとなる状
態で行ない、修正後は再びフェース面11a を上向きにし
てパネルコンベア上に戻す必要がある。このため、パネ
ル11を人手により２回反転操作して向きを変えねばなら
ず、多くの作業時間を要するとともに、作業者に大きな
負担を与えている。

【００１０】通常、作業者は検査により欠陥13a を見つ
けると、マーカペン等により、欠陥13a 部分を囲むよう
にフェース面11a に丸印を付け、欠陥13a 部分を容易に
見分けられるようにしている。この場合、マーカペン等
により描かれる丸印は、通常１０ｍｍから２０ｍｍの円
になるが、この円内には、６０００個から２４０００個
の孔13が存在する。このため、検査後、修正のためにパ
ネル11を反転させると、再度欠陥箇所を探さなくてはな
らず、丸印があっても修正箇所を探すのは難しく、長時
間を要すこととなる。しかも、欠陥13a の発生箇所はパ
ネル11の特定箇所に集中することは少なく、パネル11の
全面に不規則に点在するのが普通であり、修正箇所を探
すことは困難を極める。

【００１１】したがって、欠陥13a が多いと、上述した
修正は行なわずに、黒色膜12を始めから作り直すように
しており、無駄が多くなる。

【００１２】

【発明が解決しようとする課題】このように、上述した
一連の検査修正作業は、誰もが簡単に行なえるものでは
なく、作業者に高度の熟練を要求し、しかも、欠陥箇所
の発見やその後の修正箇所の発見などに多くの時間を要
する。さらに、かなりの重量物であるパネル11の反転操
作を数回要する等、作業効率上にも問題があるととも
に、作業者に与える負担も大きい問題を有している。

【００１３】本発明の目的は、ブラウン管パネルの欠陥
の検査作業を自動化し、効率化できるブラウン管パネル
の欠陥の検査装置、および、ブラウン管パネルの欠陥の
検査から修正までの一連の作業を自動化し、自動化によ
る効率化および適確な修正による製品品位の向上ができ
るブラウン管パネルの欠陥の検査修正装置を提供するこ
とにある。

【００１４】

【課題を解決するための手段】請求項１記載のブラウン
管パネルの欠陥の検査装置は、検査位置に配置されたブ
ラウン管パネルを撮像し撮像信号を出力するブラウン管
パネル撮像手段と、このブラウン管パネル撮像手段の撮
像信号から前記ブラウン管パネルの欠陥部分の前記ブラ
ウン管パネル撮像手段上での座標位置を検出する第１の
検出手段と、前記検査位置に配置されたブラウン管パネ
ルの基準位置に予め形成された一対の位置決めマークを
撮像し撮像信号を出力する位置決めマーク撮像手段と、
この位置決めマーク撮像手段の撮像信号から一対の位置
決めマークの前記位置決めマーク撮像手段上での座標位
置を検出する第２の検出手段と、前記第２の検出手段に
より検出された前記一対の位置決めマークの位置決めマ
ーク撮像手段上での座標位置と予め設定された前記位置
決めマーク撮像手段上での基準位置との位置関係から、
前記欠陥の前記ブラウン管パネル撮像手段上での座標位
置を前記ブラウン管パネル上の座標位置に変換する演算
手段とを備えたものである。

【００１５】請求項２記載のブラウン管パネルの欠陥の
検査修正装置は、ブラウン管パネルを搬送する搬送手段
と、この搬送手段の搬送方向中間部に位置する検査テー
ブルと、この検査テーブル上に前記ブラウン管パネルを
ロードしかつこの検査テーブル上から後続する前記搬送
手段上に前記ブラウン管パネルをアンロードする移載手
段と、前記検査テーブル上の前記ブラウン管パネルを撮
像し撮像信号を出力するブラウン管パネル撮像手段と、
このブラウン管パネル撮像手段の撮像信号から前記ブラ
ウン管パネルの欠陥部分の前記ブラウン管パネル撮像手
段上での座標位置を検出する第１の検出手段と、前記検
査用テーブル上にある前記ブラウン管パネルの基準位置
に予め形成された一対の位置決めマークを撮像する位置
決めマーク撮像手段と、この位置決めマーク撮像手段の
撮像信号から一対の位置決めマークの前記位置決めマー
ク撮像手段上での座標位置を検出する第２の検出手段
と、前記第２の検出手段により検出された前記一対の位
置決めマークの位置決めマーク撮像手段上での座標位置
と予め設定された前記位置決めマーク撮像手段上での基
準位置との位置関係から、前記欠陥の前記ブラウン管パ
ネル撮像手段上での座標位置を前記ブラウン管パネル上
の座標位置に変換する演算手段と、前記後続する搬送手
段上にアンロードされ、前記演算装置により欠陥の前記
ブラウン管パネル上の座標位置が求められたブラウン管
パネルを分岐させるリジェクト手段と、このリジェクト
手段によりリジェクトされたブラウン管パネルを所定位
置に停止させ、前記演算装置によりブラウン管パネル上
の座標位置が求められている欠陥に対して修正加工を施
す修正手段とを備えたものである。

【００１６】

【作用】請求項１記載のブラウン管パネルの欠陥の検査
装置は、検査位置に配置されたブラウン管パネルをブラ
ウン管パネル撮像手段により撮像し、このブラウン管パ
ネル撮像手段の撮像信号から、欠陥のブラウン管パネル
撮像手段上での座標位置を検出するとともに、検査位置
に配置されたブラウン管パネルの基準位置に予め形成さ
れた一対の位置決めマークを位置決めマーク撮像手段で
撮像し、この位置決めマーク撮像手段の撮像信号から一
対の位置決めマークの位置決めマーク撮像手段上での座
標位置を検出し、この一対の位置決めマークの位置決め
マーク撮像手段上での座標位置と予め設定された位置決
めマーク撮像手段上での基準位置との位置関係から、欠
陥の位置をブラウン管パネル上の座標位置として求め、
欠陥の位置を特定する。

【００１７】請求項２記載のブラウン管パネルの欠陥の
検査修正装置は、搬送手段上のブラウン管パネルを検査
テーブル上にロードし、ブラウン管パネルをブラウン管
パネル撮像手段により撮像し、このブラウン管パネル撮
像手段の撮像信号から、欠陥のブラウン管パネル撮像手
段上での座標位置を検出するとともに、検査テーブル上
にあるブラウン管パネルの基準位置に予め形成された一
対の位置決めマークを位置決めマーク撮像手段で撮像
し、この位置決めマーク撮像手段の撮像信号から一対の
位置決めマークの位置決めマーク撮像手段上での座標位
置を検出し、この一対の位置決めマークの位置決めマー
ク撮像手段上での座標位置と予め設定された位置決めマ
ーク撮像手段上での基準位置との位置関係から、欠陥の
位置をブラウン管パネル上の座標位置として求め、欠陥
の位置を特定する。検査後には、ブラウン管パネルを後
続する搬送手段上にアンロードし、検査により欠陥が検
出されたブラウン管パネルをリジェクト手段により修正
装置へリジェクトする。修正装置において、ブラウン管
パネル上の座標位置が求められている欠陥の位置を正確
にとらえ、修正する。

【００１８】

【実施例】以下、本発明の一実施例を図面を参照して説
明する。

【００１９】図１において、15は搬送手段としてのパネ
ルコンベアで、このパネルコンベア15は、前半部15a と
後半部15b とからなり、これら前半部15a および後半部
15bの間に検査装置16が設けられている。また、このパ
ネルコンベア15は、ブラウン管パネルとしてのパネル11
を、フェース面11a が上向きとなる状態で、所定の方向
に搬送する。そして、パネル11は、パネルコンベア15の
前半部15a によりロードポジションＡまで運ばれてくる
と、図示しない位置決め装置により位置決めされた後、
移載手段としての移載装置17により検査位置としての検
査ポジションＢに設けられた検査装置16内の検査テーブ
ル18上に、フェース面11a が上向きの状態のままでロー
ドされる。

【００２０】そして、検査後は、移載装置17により、後
続するパネルコンベア15の後半部15b のアンロードポジ
ションＣ上に、フェース面11a を上向きにした状態のま
までアンロードされ、良品のパネル11は次工程、たとえ
ば蛍光体の第１色目として緑色蛍光体の塗布工程に搬送
される。この場合、パネルコンベア15から検査装置16へ
のロードおよびパネルコンベア15上へのアンロードに際
してパネル11は一度も反転操作されることはない。

【００２１】また、このパネルコンベア15に対しては、
図２で示すように、マスクコンベア21が平行に設けられ
ており、パネルコンベア15により搬送されるパネル11と
組合わされるシャドウマスク22を、パネルコンベア15上
の対応するパネル11と同期して搬送する。さらに、パネ
ルコンベア15の後半部15b には、検査装置16によって欠
陥が検出されたことにより駆動され、パネル11を分岐排
除するためのリジェクト手段としてのパネルリジェクト
コンベア23が分岐接続されている。そして、このパネル
リジェクトコンベア23の搬送先には、パネル11の欠陥部
分をレーザ光等で修正する修正手段としての修正装置24
が設けられている。また、マスクコンベア21にも欠陥マ
スクを分岐排除するためのマスクリジェクトコンベア25
が分岐接続されている。

【００２２】ここで、検査装置16により、図６ないし図
８で示すようなパネル11の欠陥13aが発見された場合、
欠陥原因は対応するシャドウマスク22自体の形状が異常
である場合がほとんどである。したがって、このシャド
ウマスク22に対しても何らかの修正加工が必要であり、
欠陥13a を有するパネル11の排除に伴い、欠陥13a が発
見されたパネル11に同期して搬送されている欠陥13a を
有するパネルに対応するシャドウマスク22も、マスクリ
ジェクトコンベア25を動作させることにより分岐排除す
る。

【００２３】また、検査装置16の検査テーブル18は、検
査テーブル18の下方に照明装置27を持っており、検査テ
ーブル18上にロードされたパネル11を下方から照射す
る。さらに、この検査テーブル18の上方周囲は囲い28に
より覆われており、この囲い28の出入口には外光を遮光
するためにシャッタ29がそれぞれ設けられている。

【００２４】そして、囲い28内には、パネル11の図３に
おいて一点鎖線で囲った有効面を撮像するブラウン管パ
ネル撮像手段としての検査物用カメラ31と、パネル11の
基準位置に予め形成された一対の位置決めマーク32a ，
32b を撮像する位置決めマーク撮像手段としての一対の
位置決めマーク用カメラ33a ，33b とがそれぞれ設けら
れている。また、一対の位置決めマーク32a ，32b が設
けられる基準位置とは、図３で示すように、パネル11の
有効面の中心部であるＸ−Ｙ座標の原点Ｏa を基準とし
たＸ軸の、距離Ｍ隔てた両端部とし、この両端部に一対
の位置決めマーク用カメラ33a ，33b により撮像可能な
位置決めマーク32a ，32b をそれぞれ設ける。

【００２５】また、パネル11の有効面を撮像する検査物
用カメラ31には第１の検出手段としての第１の検出装置
35が接続され、検査物用カメラ31の撮像信号から、公知
の画像処理技術により図６ないし図８で示すような黒色
膜12の欠陥13a を検出するとともに、この欠陥13a の検
査物用カメラ31上の座標位置を検出する。そして、この
検査物用カメラ31は図９および図１０で示すような撮像
素子36を持っている。この撮像素子36としては、画素数
５００×５００程度以上のＣＣＤが適している。ここ
で、撮像素子36の中心部をＸ−Ｙ座標の原点Ｏb とする
ことにより、撮像素子36上に捕らえられた欠陥13a の位
置を、検査物用カメラ31上の座標位置として検出するこ
とができる。なお、画素数が増えれば、座標上の位置検
出精度が向上する。

【００２６】さらに、位置決めマーク用カメラ33a ，33
b には、それぞれ対応して第２の検出手段としての第２
の検出装置37a ，37b が接続され、位置決めマーク用カ
メラ33a ，33b の撮像信号から、一対の位置決めマーク
32a ，32b の、位置決めマーク用カメラ33a ，33b 上に
おける座標位置を検出する。

【００２７】ここで、図９は撮像素子36の原点Ｏb と、
パネル11の有効面の撮像されたエリア11A の原点Ｏa と
が一致し、Ｘ軸およびＹ軸の傾きも互いに一致している
場合を示している。そして、図９では、検査物用カメラ
31により撮像されたパネル11の欠陥13a 部分の座標位置
を、検査物用カメラ31のＸ−Ｙ座標上において、Ｋｓ
（Ｘｍ，Ｙｎ）の座標位置にあるものとしている。この
検査物用カメラ31上の座標位置Ｋｓ（Ｘｍ，Ｙｎ）は、
パネル11の絶対欠陥位置Ｋｐ（Ｘｍ，Ｙｎ）に変換する
ことができる。すなわち、撮像素子36の１画素がパネル
11の何ｍｍ角に相当するかは、光学系により簡単に求め
ることができるので、変換乗数αを用いることにより、
パネル11上の絶対欠陥位置は次式により変換される。

【００２８】 Ｋｐ（Ｘｍ，Ｙｎ）＝Ｋｓ（αＸｍ，αＹｎ） しかしながら、撮像素子36の原点Ｏb とパネル11の原点
Ｏa とを一致させ、かつ、各Ｘ−Ｙ座標軸を互いに一致
させることは実際上難しく、一般には図１０で示すよう
に、原点Ｏb と原点Ｏa とは一致せず、また、各座標軸
も一致していない。そこで、図１で示した演算手段とし
ての演算装置38により、第２の検出装置37a ，37b によ
り求められる一対の位置決めマーク32a ，32b の、位置
決めマーク用カメラ33a ，33b 上での座標位置を用いる
ことにより、第１の検出装置35により求められた撮像素
子36上の欠陥13a のＸ−Ｙ座標位置から、実際のパネル
11上の欠陥13a のＸ−Ｙ座標位置を求める。すなわち、
演算装置38は、一対の位置決めマーク32a ，32b の、第
２の検出装置37a ，37b により検出された位置決めマー
ク用カメラ33a ，33b 上の座標位置と、予め設定された
位置決めマーク用カメラ33a ，33b 上の基準位置との位
置関係から、実際のパネル11上の座標位置を求めるもの
である。

【００２９】以下、この原理について説明する。

【００３０】図１１において、一対の位置決めマーク用
カメラ33a ，33b の撮像素子を40a，40b とする。ここ
で、撮像素子36とパネル11とのＸ−Ｙ座標軸が図９で示
したように互いに一致している場合の、撮像素子40a ，
40b の座標上での水平の位置決めマーク32a ，32b の重
心の位置、すなわち基準位置を、撮像素子36の座標上に
直して、それぞれＴ1 （ｘ1 ，ｙ1 ），Ｔ2 （ｘ2 ，ｙ
2 ）とする。

【００３１】このときの撮像素子36の中心位置Ｏb は次
式から求められる。

【００３２】 Ｏb ＝（（ｘ1 ＋ｘ2 ）／２，（ｙ1 ＋ｙ2 ）／２） また、図１０で示すように、パネル11の位置がずれた場
合も、同様にして、撮像素子40a ，40b の座標上での水
平の位置決めマーク32a ，32b の重心の位置を、撮像素
子36の座標上に直して、それぞれＴ3 （ｘ3 ，ｙ3 ），
Ｔ4 （ｘ4 ，ｙ4 ）とする。このときのパネル11の中心
位置Ｏa は次式から求められる。

【００３３】 Ｏa ＝（（ｘ3 ＋ｘ4 ）／２，（ｙ3 ＋ｙ4 ）／２） したがって、中心の平行移動量ΔはＯa −Ｏb で求めら
れる。また、水平の位置決めマーク32a ，32b の傾きθ
は次式から求まる。

【００３４】θ＝Ｓｉｎ^−１（（ｙ4 −ｙ3 ）／Ｌ） 上式において、Ｌは一対の水平の位置決めマーク32a ，
32b 間の、撮像素子36上での距離である。

【００３５】上記各関係から、旧Ｘ−Ｙ座標、すなわち
検査物用カメラ31での座標の中心Ｏb を（０，０）、新
Ｘ−Ｙ座標、すなわちパネル11での座標の中心Ｏa を
（ｘ0，ｙ0 ）とすると、欠陥13a の位置は図１２から
次式の関係で表される。

【００３６】 ｘ＝Ｘｃｏｓθ−Ｙｓｉｎθ＋ｘ0 ｙ＝Ｘｓｉｎθ−Ｙｃｏｓθ＋ｙ0 上式の関係から、検査物用カメラ31の撮像素子36上での
欠陥13a の位置が、平行移動および回転移動したパネル
11上の座標上の位置に変換される。そして、この値に、
前述した光学系で決まる変換乗数を掛ければ、実際のパ
ネル11のＸ−Ｙ座標上での欠陥13a の部分の絶対位置が
求まる。

【００３７】このようにして求められた欠陥13a のパネ
ル11上の座標位置は、記憶装置39に記憶され、表示装置
40によって表示されたりする。また、このように記憶さ
れた欠陥13a の座標位置は、パネル11に対する修正装置
24の制御装置41によって読み出され、修正対象となるパ
ネル11の修正位置を指示する。すなわち、修正装置24
は、修正対象のパネル11を受付けると、記憶装置39から
このパネル11の欠陥13aの座標位置にを読み出し、レー
ザ光等による修正装置をこの座標位置に従って位置決め
し、黒色膜12の修正を行なう。したがって、修正に当た
り、従来のようにマーカペンによる丸印を目標として修
正箇所を探すという困難な作業が不要となる。

【００３８】上記構成において、前工程でシャドウマス
ク22と組み合わされ、黒色膜12が施されたパネル11は、
図１および図２で示すように、パネルコンベア15によ
り、フェース面11a が上向きの状態で図示矢印の方向に
搬送されている。また、このパネル11と組合わされるシ
ャドウマスク22も、図２で示すように、パネルコンベア
15と平行に設置されたマスクコンベア21により、対応す
るパネル11と同期して図示矢印の方向に搬送されてい
る。

【００３９】そして、パネル11が、図１で示すロードポ
ジションＡに達すると、パネル11はフェース面11a を上
向きにした状態のまま、すなわち、反転操作されること
なく、移載装置17により検査ポジションＢに設置された
検査装置16の検査テーブル18上に移載される。

【００４０】この検査テーブル18上のパネル11に対し、
下方から照明装置27により照明が行なわれ、かつ、検査
物用カメラ31および位置決めマーク用カメラ33a ，33b
によるフェース面11a の撮像が行なわれ、パネル11に対
する検査が実行される。すなわち、検査物用カメラ31に
よりパネル11の有効面が撮像され、検査物用カメラ31の
撮像信号から第１の検出装置35により欠陥13a の検出お
よびこの欠陥13a の検査物用カメラ31上の座標位置が検
出される。また、位置決めマーク用カメラ33a，33b に
よりパネル11に形成された一対の位置決めマーク32a ，
32b が撮像され、位置決めマーク用カメラ33a ，33b の
撮像信号から第２の検出装置37a ，37bにより、一対の
位置決めマーク32a ，32b の、位置決めマーク用カメラ
33a ，33b 上での座標位置が検出される。そして、この
第２の検出装置37a ，37b により検出された一対の位置
決めマーク32a ，32b の、位置決めマーク用カメラ33a
，33b 上での座標位置と予め設定された基準位置との
位置関係から、第１の検出装置35で検出された欠陥13a
の検査物用カメラ31上での座標位置を、演算装置38によ
りパネル11上の座標位置に変換する。この変換された結
果、すなわち、パネル11上での欠陥13a 部分の座標位置
は、記憶装置39に記憶され、必要に応じて表示装置40に
よって表示される。

【００４１】上記検査終了後、パネル11はフェース面11
a を上向きにした状態のまま、反転操作されることな
く、移載装置17により後続するパネルコンベア15の後半
部15bのアンロードポジションＣ上に移載され、再び矢
印の方向に搬送される。

【００４２】ここで、良品のパネル11およびこれに対応
するシャドウマスク22は、後続するパネルコンベア15b
およびマスクコンベア21により次工程に搬送されるが、
検査装置16により欠陥13a が検出されたパネル11につい
ては、そのパネル11がパネルリジェクトコンベア23との
分岐箇所に達すると、図示しないリジェクト制御装置の
動作により、パネルリジェクトコンベア23が起動され、
この欠陥13a の生じたパネル11を分岐排除する。同じ
く、この欠陥13a の生じたパネル11と組合わされるシャ
ドウマスク22についても、これがマスクリジェクトコン
ベア25との分岐箇所に達すると、図示しないリジェクト
制御装置によりマスクリジェクトコンベア25が起動さ
れ、このシャドウマスク22を分岐排除する。

【００４３】分岐排除されたパネル11は、修正装置24上
において、記憶装置39に記憶されたパネル11上の欠陥箇
所に関する座標位置データに基づき、制御装置41により
位置決め制御されたレーザ等の修正手段によって下方か
ら修正加工される。また、同時に分岐排除されたシャド
ウマスク22についても、別の手段により修正が施される
がこれについては説明を省略する。

【００４４】上述した一連の検査、修正過程において、
パネル11は一度も反転されることなく、常にフェース面
11a が上向きの状態であり、従来の検査および修正の度
にパネルの反転が必要なものに比べ、迅速な作業が可能
となり、作業者に対する負担も軽減される。

【００４５】また、検査物用カメラ31および位置決めマ
ーク用カメラ33a ，33b の撮像信号に基づき、欠陥13a
の場所を、パネル11上での座標位置として検出するの
で、熟練者による検査作業が不要となり、作業の自動化
が可能となる。また、検出された座標位置は修正手段に
対する位置決めにも用いられるので、修正作業について
も熟練者による作業が不要となり、自動化による効率化
および適確な修正による製品品位の向上が可能となる。

【００４６】なお、上記実施例では、パネル11の有効面
を撮像する検査物撮像手段として１台の検査物用カメラ
31を用いたが、パネル11の撮像範囲を分割し、例えば４
台のカメラによる４分割された画像を得るようにしても
よい、このように複数台のカメラによりパネル11を撮像
すれば検出精度はより一層向上する。なお、この場合、
４台のカメラの撮像範囲に、位置決めマーク32a または
位置決めマーク32b のいずれかが入るように設定すれ
ば、同様にして欠陥13a 部分の絶対座標を求めることが
できる。

【００４７】また、水平の位置決めマーク32a ，32b を
撮像するために、一対の位置決めマーク用カメラ33a ，
33b を設けたが、パネル11の有効面を撮像する検査物用
カメラ31を兼用してもよい。

【００４８】さらに、求める欠陥13a の位置は、欠陥13
a そのものの詳細な位置でなくてもよく、たとえば、内
部に欠陥13a が位置する直径２ｍｍ程度の範囲を指定し
てもよい。この場合、修正装置24側にカメラを設けてお
き、その視野を直径２ｍｍ程度の範囲に一致させれば、
このカメラが撮像した画像から欠陥13a を検出し、修正
装置24側のＸ−Ｙテーブルを動作させ、この検出した欠
陥13a を、レーザ等の照射の的に位置決めすることがで
きる。

【００４９】

【発明の効果】請求項１記載のブラウン管パネルの欠陥
の検査装置によれば、検査位置に配置されたブラウン管
パネルをブラウン管パネル撮像手段により撮像し、この
ブラウン管パネル撮像手段の撮像信号から、欠陥のブラ
ウン管パネル撮像手段上での座標位置を検出するととも
に、検査位置に配置されたブラウン管パネルの基準位置
に予め形成された一対の位置決めマークを位置決めマー
ク撮像手段で撮像し、この位置決めマーク撮像手段の撮
像信号から一対の位置決めマークの位置決めマーク撮像
手段上での座標位置を検出し、この一対の位置決めマー
クの位置決めマーク撮像手段上での座標位置と予め設定
された位置決めマーク撮像手段上での基準位置との位置
関係から、欠陥の位置をブラウン管パネル上の座標位置
として求め、欠陥の位置を特定できるため、熟練作業者
の目視による検査作業が不要となり、検査作業を自動化
できる。

【００５０】請求項２記載のブラウン管パネルの欠陥の
検査修正装置によれば、搬送手段上のブラウン管パネル
を検査テーブル上にロードし、ブラウン管パネルをブラ
ウン管パネル撮像手段により撮像し、このブラウン管パ
ネル撮像手段の撮像信号から、欠陥のブラウン管パネル
撮像手段上での座標位置を検出するとともに、検査テー
ブル上にあるブラウン管パネルの基準位置に予め形成さ
れた一対の位置決めマークを位置決めマーク撮像手段で
撮像し、この位置決めマーク撮像手段の撮像信号から一
対の位置決めマークの位置決めマーク撮像手段上での座
標位置を検出し、この一対の位置決めマークの位置決め
マーク撮像手段上での座標位置と予め設定された位置決
めマーク撮像手段上での基準位置との位置関係から、欠
陥の位置をブラウン管パネル上の座標位置として求め、
欠陥の位置を特定し、熟練作業者の目視による検査作業
が不要となり、検査作業を自動化できる。さらに、検査
後には、ブラウン管パネルを後続する搬送手段上にアン
ロードし、検査により欠陥が検出されたブラウン管パネ
ルをリジェクト手段により修正装置へリジェクトし、修
正装置において、ブラウン管パネル上の座標位置が求め
られている欠陥の位置を正確にとらえ、修正するため、
修正作業についても熟練作業者による作業が不要とな
り、修正作業を自動化できる。したがって、ブラウン管
パネルの欠陥の検査から修正までの一連の作業を自動化
でき、この自動化による効率化および適確な修正による
製品品位の向上ができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明によるブラウン管パネルの欠陥の検査装
置およびブラウン管パネルの欠陥の検査修正装置の一実
施例を示す構成図である。

【図２】同上図１の装置の全体構造を概略的に示す平面
図である。

【図３】同上検査対象となるパネルを示す平面図であ
る。

【図４】同上検査対象となるパネルを示す正面図であ
る。

【図５】同上図３および図４で示したパネルの黒色膜の
正常なパターンを示す一部を拡大した説明図である。

【図６】同上図５に示す正常なパターンに対して欠陥と
して小孔を示す一部を拡大した説明図である。

【図７】同上図５に示す正常なパターンに対して欠陥と
して変形孔を示す一部を拡大した説明図である。

【図８】同上図５に示す正常なパターンに対して欠陥と
して無孔を示す一部を拡大した説明図である。

【図９】同上図１に示す装置で使用するカメラの撮像素
子と撮像された欠陥部分の座標位置との関係で、座標軸
が一致した理想的な状態を示す説明図である。

【図１０】同上図１に示す装置で使用するカメラの撮像
素子と撮像された欠陥部分の座標位置との関係で、座標
軸がずれている実際上の関係を示す説明図である。

【図１１】同上図３および図４で示した一対の位置決め
マークの撮像状態を理想的な状態と実際上の状態との比
較して示す説明図である。

【図１２】同上欠陥の位置をパネルの座標上の位置とし
て求めるための変換手法を示す説明図である。

【符号の説明】

11 ブラウン管パネルとしてのパネル 13a 欠陥 15 搬送手段としてのパネルコンベア 17 移載手段としての移載装置 18 検査テーブル 23 リジェクト手段としてのパネルリジェクトコンベ
ア 24 修正手段としての修正装置 31 ブラウン管パネル撮像手段としての検査物用カメ
ラ 33a ，33b 位置決めマーク撮像手段としての位置決
めマーク用カメラ 35 第１の検出手段としての第１の検出装置 37a ，37b 第２の検出手段としての第２の検出装置 38 演算手段としての演算装置

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平４−283672（ＪＰ，Ａ) 特開 平４−147043（ＪＰ，Ａ) 特開 平３−84441（ＪＰ，Ａ) 特開 平３−6673（ＪＰ，Ａ) 特開 平４−300500（ＪＰ，Ａ) 特開 昭62−174765（ＪＰ，Ａ) 特開 昭62−140054（ＪＰ，Ａ) 特開 昭61−100604（ＪＰ，Ａ) 特開 昭63−141338（ＪＰ，Ａ) 特開 平４−301757（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) H01J 9/42 G01N 21/88

Claims (2)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 検査位置に配置されたブラウン管パネル
   を撮像し撮像信号を出力するブラウン管パネル撮像手段
   と、 このブラウン管パネル撮像手段の撮像信号から前記ブラ
   ウン管パネルの欠陥部分の前記ブラウン管パネル撮像手
   段上での座標位置を検出する第１の検出手段と、 前記検査位置に配置されたブラウン管パネルの基準位置
   に予め形成された一対の位置決めマークを撮像し撮像信
   号を出力する位置決めマーク撮像手段と、 この位置決めマーク撮像手段の撮像信号から一対の位置
   決めマークの前記位置決めマーク撮像手段上での座標位
   置を検出する第２の検出手段と、 前記第２の検出手段により検出された前記一対の位置決
   めマークの位置決めマーク撮像手段上での座標位置と予
   め設定された前記位置決めマーク撮像手段上での基準位
   置との位置関係から、前記欠陥の前記ブラウン管パネル
   撮像手段上での座標位置を前記ブラウン管パネル上の座
   標位置に変換する演算手段とを備えたことを特徴とする
   ブラウン管パネルの欠陥の検査装置。
2. 【請求項２】 ブラウン管パネルを搬送する搬送手段
   と、 この搬送手段の搬送方向中間部に位置する検査テーブル
   と、 この検査テーブル上に前記ブラウン管パネルをロードし
   かつこの検査テーブル上から後続する前記搬送手段上に
   前記ブラウン管パネルをアンロードする移載手段と、 前記検査テーブル上の前記ブラウン管パネルを撮像し撮
   像信号を出力するブラウン管パネル撮像手段と、 このブラウン管パネル撮像手段の撮像信号から前記ブラ
   ウン管パネルの欠陥部分の前記ブラウン管パネル撮像手
   段上での座標位置を検出する第１の検出手段と、 前記検査用テーブル上にある前記ブラウン管パネルの基
   準位置に予め形成された一対の位置決めマークを撮像す
   る位置決めマーク撮像手段と、 この位置決めマーク撮像手段の撮像信号から一対の位置
   決めマークの前記位置決めマーク撮像手段上での座標位
   置を検出する第２の検出手段と、 前記第２の検出手段により検出された前記一対の位置決
   めマークの位置決めマーク撮像手段上での座標位置と予
   め設定された前記位置決めマーク撮像手段上での基準位
   置との位置関係から、前記欠陥の前記ブラウン管パネル
   撮像手段上での座標位置を前記ブラウン管パネル上の座
   標位置に変換する演算手段と、 前記後続する搬送手段上にアンロードされ、前記演算装
   置により欠陥の前記ブラウン管パネル上の座標位置が求
   められたブラウン管パネルを分岐させるリジェクト手段
   と、 このリジェクト手段によりリジェクトされたブラウン管
   パネルを所定位置に停止させ、前記演算装置によりブラ
   ウン管パネル上の座標位置が求められている欠陥に対し
   て修正加工を施す修正手段とを備えたことを特徴とする
   ブラウン管パネルの欠陥の検査修正装置。