JP3264184B2 - ワイヤボンディング装置 - Google Patents
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、ワイヤにより電子
部品の電極の接続などを行うワイヤボンディング装置に
関するものである。
部品の電極の接続などを行うワイヤボンディング装置に
関するものである。
【０００２】
【従来の技術】電子部品と基板の電気的接続や電子部品
の電極上にバンプ形成などを行うワイヤボンディング装
置は、ホーンの先端部に保持されたキャピラリツールに
ワイヤを挿通し、ホーンを上下方向へ揺動させながら、
所定の作業を行うようになっている。
の電極上にバンプ形成などを行うワイヤボンディング装
置は、ホーンの先端部に保持されたキャピラリツールに
ワイヤを挿通し、ホーンを上下方向へ揺動させながら、
所定の作業を行うようになっている。
【０００３】図７は、従来のワイヤボンディング装置の
側面図である。ホーン１の先端部にはキャピラリツール
２が保持されており、キャピラリツール２にはワイヤ３
が挿通されている。ホーン１の基端部はブロック４に保
持されており、ブロック４は軸受部５にピン６を中心に
回転自在に軸着されている。ブロック５の背面にはコイ
ル部７が装着されている。コイル部７はマグネット８に
装入されている。コイル部７とマグネット８はボイスコ
イルモータ９を構成している。
側面図である。ホーン１の先端部にはキャピラリツール
２が保持されており、キャピラリツール２にはワイヤ３
が挿通されている。ホーン１の基端部はブロック４に保
持されており、ブロック４は軸受部５にピン６を中心に
回転自在に軸着されている。ブロック５の背面にはコイ
ル部７が装着されている。コイル部７はマグネット８に
装入されている。コイル部７とマグネット８はボイスコ
イルモータ９を構成している。
【０００４】１０はクランパユニットであって、保持部
材１１と、保持部材１１に取り付けられた左右一対のカ
ットクランパ１２と、カットクランパ１２に開閉動作を
行わせるボイスコイルモータ１３から成っている。カッ
トクランパ１２の先端内面にはワイヤ３をクランプする
ためのパッド１４が装着されている。１５はボイスコイ
ルモータ１３への給電用コードであって、電源（図外）
に接続されている。クランパユニット１０は、ビス１６
によりブロック４の上面に着脱自在に装着されている。
軸受部５やマグネット８が設けられた台板１７は可動テ
ーブル１８上に設置されており、可動テーブル１８が駆
動することにより、台板１７上の諸要素はＸ方向やＹ方
向へ水平移動する。Ｓはワイヤボンディングの対象とな
るリードフレームなどの基板、Ｐは基板Ｓに搭載された
チップである。
材１１と、保持部材１１に取り付けられた左右一対のカ
ットクランパ１２と、カットクランパ１２に開閉動作を
行わせるボイスコイルモータ１３から成っている。カッ
トクランパ１２の先端内面にはワイヤ３をクランプする
ためのパッド１４が装着されている。１５はボイスコイ
ルモータ１３への給電用コードであって、電源（図外）
に接続されている。クランパユニット１０は、ビス１６
によりブロック４の上面に着脱自在に装着されている。
軸受部５やマグネット８が設けられた台板１７は可動テ
ーブル１８上に設置されており、可動テーブル１８が駆
動することにより、台板１７上の諸要素はＸ方向やＹ方
向へ水平移動する。Ｓはワイヤボンディングの対象とな
るリードフレームなどの基板、Ｐは基板Ｓに搭載された
チップである。
【０００５】次に動作を説明する。可動テーブル１８が
駆動することによりキャピラリツール２はＸ方向やＹ方
向へ移動し、またボイスコイルモータ９のコイル部７に
通電すると、コイル部７とマグネット８の間の磁気力に
よりブロック４はピン６を中心に往復回転し、これによ
りホーン１は上下方向Ａへ揺動し、キャピラリツール２
に挿通されたワイヤ３によりチップＰの電極と基板Ｓの
電極を接続する。なお図７において、ワイヤ３の下端部
に電気的スパークによりボールを形成するトーチなどは
省略している。
駆動することによりキャピラリツール２はＸ方向やＹ方
向へ移動し、またボイスコイルモータ９のコイル部７に
通電すると、コイル部７とマグネット８の間の磁気力に
よりブロック４はピン６を中心に往復回転し、これによ
りホーン１は上下方向Ａへ揺動し、キャピラリツール２
に挿通されたワイヤ３によりチップＰの電極と基板Ｓの
電極を接続する。なお図７において、ワイヤ３の下端部
に電気的スパークによりボールを形成するトーチなどは
省略している。
【０００６】チップＰと基板Ｓを接続したワイヤ３は、
カットクランパ１２のパッド１４でクランプされ、その
状態でカットクランパ１２が上方へ揺動することによ
り、基板Ｓへのボンディング点から切断される。以上の
動作を高速度で繰り返すことにより、チップＰの電極と
基板Ｓの電極は次々にワイヤで接続されていく。
カットクランパ１２のパッド１４でクランプされ、その
状態でカットクランパ１２が上方へ揺動することによ
り、基板Ｓへのボンディング点から切断される。以上の
動作を高速度で繰り返すことにより、チップＰの電極と
基板Ｓの電極は次々にワイヤで接続されていく。
【０００７】パッド１４は長時間使用する間に次第に摩
耗するので、時々パッド１４の交換を行わねばならな
い。従来、このパッド１４の交換は次にようにして行わ
れていた。すなわち、ビス１６を取りはずしてクランパ
ユニット１０をブロック４から分離し、カットクランパ
１２の先端部のパッド１４を交換する。交換が終了した
ならば、クランパユニット１０をビス１６で再度ブロッ
ク４に装着する。
耗するので、時々パッド１４の交換を行わねばならな
い。従来、このパッド１４の交換は次にようにして行わ
れていた。すなわち、ビス１６を取りはずしてクランパ
ユニット１０をブロック４から分離し、カットクランパ
１２の先端部のパッド１４を交換する。交換が終了した
ならば、クランパユニット１０をビス１６で再度ブロッ
ク４に装着する。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
ようにクランパユニット１０をブロック４から分離して
パッド１４の交換を行う場合、クランパユニット１０は
給電用コード１５で電源に接続されているので、この給
電用コード１５がクランパユニット１０のブロック４に
対する着脱作業やパッド１４の着脱作業の邪魔になり、
作業を甚だ行いにくいという問題点があった。
ようにクランパユニット１０をブロック４から分離して
パッド１４の交換を行う場合、クランパユニット１０は
給電用コード１５で電源に接続されているので、この給
電用コード１５がクランパユニット１０のブロック４に
対する着脱作業やパッド１４の着脱作業の邪魔になり、
作業を甚だ行いにくいという問題点があった。
【０００９】したがって本発明は、パッドの交換を簡単
に行えるワイヤボンディング装置を提供することを目的
とする。
に行えるワイヤボンディング装置を提供することを目的
とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】本発明は、先端部にキャ
ピラリツールを保持するホーンと、このホーンを上下方
向に揺動自在に保持するホーン保持手段と、クランパユ
ニットとを備えたワイヤボンディング装置であって、こ
のクランパユニットが、前記キャピラリツールの上方に
位置して前記キャピラリツールに挿通されたワイヤをク
ランプするカットクランパと、このカットクランパに開
閉動作を行わせる駆動部と、前記カットクランパおよび
前記駆動部を保持しかつ前記保持手段上に着脱自在に装
着される保持部材とを有し、この保持部材を前記保持手
段上に装着した状態において互いに接触することにより
前記駆動部への給電路を閉成する端子を前記保持手段と
前記保持部材に設け、かつ前記保持手段の前記端子を給
電用コードを介して電源に接続するようにした。
ピラリツールを保持するホーンと、このホーンを上下方
向に揺動自在に保持するホーン保持手段と、クランパユ
ニットとを備えたワイヤボンディング装置であって、こ
のクランパユニットが、前記キャピラリツールの上方に
位置して前記キャピラリツールに挿通されたワイヤをク
ランプするカットクランパと、このカットクランパに開
閉動作を行わせる駆動部と、前記カットクランパおよび
前記駆動部を保持しかつ前記保持手段上に着脱自在に装
着される保持部材とを有し、この保持部材を前記保持手
段上に装着した状態において互いに接触することにより
前記駆動部への給電路を閉成する端子を前記保持手段と
前記保持部材に設け、かつ前記保持手段の前記端子を給
電用コードを介して電源に接続するようにした。
【００１１】
【発明の実施の形態】本発明によれば、給電用コードは
ホーン保持手段側に接続されているので、クランパユニ
ットをホーン保持手段から完全に分離したうえで、パッ
ドの交換を簡単に行うことができる。
ホーン保持手段側に接続されているので、クランパユニ
ットをホーン保持手段から完全に分離したうえで、パッ
ドの交換を簡単に行うことができる。
【００１２】次に、本発明の一実施の形態を図面を参照
しながら説明する。図１は、本発明の一実施の形態のワ
イヤボンディング装置の側面図、図２は同ワイヤボンデ
ィング装置のホーンとホーン保持手段とクランパユニッ
トの分解斜視図、図３は同ワイヤボンディング装置のホ
ーン保持手段の断面図、図４は同ワイヤボンディング装
置のクランパユニットの平面図、図５は同ワイヤボンデ
ィング装置のクランパユニットの側面図、図６（ａ），
（ｂ）は同ワイヤボンディング装置のホーン保持手段と
クランパユニットの接続部の断面図である。
しながら説明する。図１は、本発明の一実施の形態のワ
イヤボンディング装置の側面図、図２は同ワイヤボンデ
ィング装置のホーンとホーン保持手段とクランパユニッ
トの分解斜視図、図３は同ワイヤボンディング装置のホ
ーン保持手段の断面図、図４は同ワイヤボンディング装
置のクランパユニットの平面図、図５は同ワイヤボンデ
ィング装置のクランパユニットの側面図、図６（ａ），
（ｂ）は同ワイヤボンディング装置のホーン保持手段と
クランパユニットの接続部の断面図である。
【００１３】まず、図１を参照してワイヤボンディング
装置の全体構造を説明する。ホーン２１の先端部にはキ
ャピラリツール２２が保持されており、キャピラリツー
ル２２にはワイヤ２３が挿通されている。またホーン２
１の後端部にはホーン２１を超音波振動させるための振
動器２４が装着されている。ホーン２１の基端部はホー
ン保持手段２５に保持されている。
装置の全体構造を説明する。ホーン２１の先端部にはキ
ャピラリツール２２が保持されており、キャピラリツー
ル２２にはワイヤ２３が挿通されている。またホーン２
１の後端部にはホーン２１を超音波振動させるための振
動器２４が装着されている。ホーン２１の基端部はホー
ン保持手段２５に保持されている。
【００１４】図２において、ホーン保持手段２５は、上
ブロック２６と下ブロック２７から成っている。上ブロ
ック２６の下面には、半円状のアーム２８が設けられて
いる（図３）。このアーム２８は片持ち構造であって、
上下方向に若干の弾性を有している。アーム２８の先端
の自由端部にはつば部２９が形成されている。また下ブ
ロック２７の上面は、アーム２８が嵌合する凹入部３０
が形成されている。
ブロック２６と下ブロック２７から成っている。上ブロ
ック２６の下面には、半円状のアーム２８が設けられて
いる（図３）。このアーム２８は片持ち構造であって、
上下方向に若干の弾性を有している。アーム２８の先端
の自由端部にはつば部２９が形成されている。また下ブ
ロック２７の上面は、アーム２８が嵌合する凹入部３０
が形成されている。
【００１５】上ブロック２６の両側部にはビス孔３１が
形成されており、また下ブロック２７の両側部にもビス
孔３２が形成されている。ホーン２１の基端部には膨大
部３３が形成されている。この膨大部３３をアーム２８
の内部に挿入し、上ブロック２６と下ブロック２７を重
ねてビス３４をビス孔３１，３２に装着することによ
り、上ブロック２６と下ブロック２７は着脱自在に結合
される。また上ブロック２６の一側部にはビス孔３５が
形成されており、またアーム２８のつば部２９にはこの
ビス孔３５に対応するビス孔３６が形成されている。ビ
ス３７をビス孔３５，３６に挿着することにより（図
３）、ホーン２１の膨大部３３はアーム２８にしっかり
保持される。
形成されており、また下ブロック２７の両側部にもビス
孔３２が形成されている。ホーン２１の基端部には膨大
部３３が形成されている。この膨大部３３をアーム２８
の内部に挿入し、上ブロック２６と下ブロック２７を重
ねてビス３４をビス孔３１，３２に装着することによ
り、上ブロック２６と下ブロック２７は着脱自在に結合
される。また上ブロック２６の一側部にはビス孔３５が
形成されており、またアーム２８のつば部２９にはこの
ビス孔３５に対応するビス孔３６が形成されている。ビ
ス３７をビス孔３５，３６に挿着することにより（図
３）、ホーン２１の膨大部３３はアーム２８にしっかり
保持される。
【００１６】下ブロック２７の側面からはピン３８が突
出している。図１において、このピン３８は軸受部３９
に回転自在に軸着される。下ブロック２７の背面にはコ
イル部４１が装着されている。コイル部４１はマグネッ
ト４２に装入されており、コイル部４１とマグネット４
２はボイスコイルモータ４３を構成している。４４は台
板であり、軸受部３９やマグネット４２が設置されてい
る。台板４４は可動テーブル４０上に設置されており、
可動テーブル４０が駆動すると、台板４４上の揺動部４
５（後述）はＸ方向やＹ方向へ水平移動する。
出している。図１において、このピン３８は軸受部３９
に回転自在に軸着される。下ブロック２７の背面にはコ
イル部４１が装着されている。コイル部４１はマグネッ
ト４２に装入されており、コイル部４１とマグネット４
２はボイスコイルモータ４３を構成している。４４は台
板であり、軸受部３９やマグネット４２が設置されてい
る。台板４４は可動テーブル４０上に設置されており、
可動テーブル４０が駆動すると、台板４４上の揺動部４
５（後述）はＸ方向やＹ方向へ水平移動する。
【００１７】図２において、クランパユニット５０は、
板状の保持部材５１を主体にしている。保持部材５１に
は左右一対の第１のカットクランパ５２と第２のカット
クランパ５３が保持されている。５４は第１のカットク
ランパ５２を保持部材５１に装着するビスである。保持
部材５１の後端部の左右からは突片５５，５６が突出し
ている。一方の突片５５の内面にはボイスコイルモータ
５７が装着されている。第２のカットクランパ５３は、
保持部材５１の先端部下面に回転軸５８により回転自在
に軸着されている（図４も参照）。第１のカットクラン
パ５２と第２のカットクランパ５３の先端部内面には、
ワイヤ２３をクランプするパッド６１，６２が装着され
ている。ボイスコイルモータ５７に通電すると、第２の
カットクランパ５３は回転軸５８を中心に回転し、第１
のカットクランパ５２と第２のカットクランパ５３は開
閉する。この開閉動作により、パッド６１，６２はワイ
ヤ２３をクランプし、またクランプを解除する。すなわ
ちボイスコイルモータ５７は、第１のカットクランパ５
２と第２のカットクランパ５３に開閉動作を行わせる駆
動部となっている。
板状の保持部材５１を主体にしている。保持部材５１に
は左右一対の第１のカットクランパ５２と第２のカット
クランパ５３が保持されている。５４は第１のカットク
ランパ５２を保持部材５１に装着するビスである。保持
部材５１の後端部の左右からは突片５５，５６が突出し
ている。一方の突片５５の内面にはボイスコイルモータ
５７が装着されている。第２のカットクランパ５３は、
保持部材５１の先端部下面に回転軸５８により回転自在
に軸着されている（図４も参照）。第１のカットクラン
パ５２と第２のカットクランパ５３の先端部内面には、
ワイヤ２３をクランプするパッド６１，６２が装着され
ている。ボイスコイルモータ５７に通電すると、第２の
カットクランパ５３は回転軸５８を中心に回転し、第１
のカットクランパ５２と第２のカットクランパ５３は開
閉する。この開閉動作により、パッド６１，６２はワイ
ヤ２３をクランプし、またクランプを解除する。すなわ
ちボイスコイルモータ５７は、第１のカットクランパ５
２と第２のカットクランパ５３に開閉動作を行わせる駆
動部となっている。
【００１８】図２において、一方の突片５６にはピン状
の端子６３が２本立設されている。また上ブロック２６
から前方へ左右の突片６４，６５が延出しており、一方
の突片６４にはピン状の端子６６が２本下方へ突設され
ている。突片５５，５６および突片６４，６５にはそれ
ぞれビス孔６７，６８が形成されており、ビス孔６７，
６８にビス６９を挿着することにより、クランパユニッ
ト５０は上ブロック２６上に着脱自在に装着される（図
５）。
の端子６３が２本立設されている。また上ブロック２６
から前方へ左右の突片６４，６５が延出しており、一方
の突片６４にはピン状の端子６６が２本下方へ突設され
ている。突片５５，５６および突片６４，６５にはそれ
ぞれビス孔６７，６８が形成されており、ビス孔６７，
６８にビス６９を挿着することにより、クランパユニッ
ト５０は上ブロック２６上に着脱自在に装着される（図
５）。
【００１９】図６（ａ），（ｂ）は端子６３と端子６６
の接続構造を示している。端子６３はスプリング７０に
より上下動自在に弾発されて突片５６に立設されてい
る。また端子６６の上端部には座金７１が設けられてい
る。図６（ａ）は、ビス６９（図１，図２）で保持部材
５１を上ブロック２６上に装着した状態を示している。
この状態で、端子６３の下端部は座金７１上に接地す
る。この場合、端子６３はスプリング７０のばね力によ
り座金７１にしっかり接地する。図６（ｂ）に示すよう
に、ビス６９を取りはずして保持部材５１を上ブロック
２６から分離すると、端子６３は端子６６から離れる。
端子６３はリード線７２によりボイスコイルモータ５７
に接続されている。また端子６６は給電用コード７３に
より電源（図示せず）に接続されている。したがって図
６（ａ）に示すように端子６３と端子６６が接触する
と、ボイスコイルモータ５７への給電路は閉成される。
の接続構造を示している。端子６３はスプリング７０に
より上下動自在に弾発されて突片５６に立設されてい
る。また端子６６の上端部には座金７１が設けられてい
る。図６（ａ）は、ビス６９（図１，図２）で保持部材
５１を上ブロック２６上に装着した状態を示している。
この状態で、端子６３の下端部は座金７１上に接地す
る。この場合、端子６３はスプリング７０のばね力によ
り座金７１にしっかり接地する。図６（ｂ）に示すよう
に、ビス６９を取りはずして保持部材５１を上ブロック
２６から分離すると、端子６３は端子６６から離れる。
端子６３はリード線７２によりボイスコイルモータ５７
に接続されている。また端子６６は給電用コード７３に
より電源（図示せず）に接続されている。したがって図
６（ａ）に示すように端子６３と端子６６が接触する
と、ボイスコイルモータ５７への給電路は閉成される。
【００２０】図１において、軸受部３９にピン３８で軸
支された諸要素（符号２１，２２，２５，４１，５０を
付した諸要素、すなわち鎖線で囲まれた部分）は揺動部
４５となっている。コイル部４１に通電すると、マグネ
ット４２との間に発生する磁気力により、ホーン２１を
含む揺動部４５はピン３８を中心に上下方向へ揺動す
る。なお、トーチなどについては、説明を省略する。
支された諸要素（符号２１，２２，２５，４１，５０を
付した諸要素、すなわち鎖線で囲まれた部分）は揺動部
４５となっている。コイル部４１に通電すると、マグネ
ット４２との間に発生する磁気力により、ホーン２１を
含む揺動部４５はピン３８を中心に上下方向へ揺動す
る。なお、トーチなどについては、説明を省略する。
【００２１】このワイヤボンディング装置は上記のよう
な構成より成り、次に取り扱い動作の説明を行う。図１
において、可動テーブル４０が駆動することによりキャ
ピラリツール２２はＸ方向やＹ方向へ高速移動し、また
ボイスコイルモータ４３が駆動することによりホーン２
１は上下方向へ揺動し、ワイヤ２３により基板Ｓの電極
とチップＰの電極を接続する。また第１のカットクラン
パ５２と第２のカットクランパ５３はボイスコイルモー
タ５７に駆動されて開閉動作を行ってワイヤ２３をクラ
ンプし、これを引き上げることにより基板Ｓへのボンデ
ィング点からワイヤ２３を切断する。
な構成より成り、次に取り扱い動作の説明を行う。図１
において、可動テーブル４０が駆動することによりキャ
ピラリツール２２はＸ方向やＹ方向へ高速移動し、また
ボイスコイルモータ４３が駆動することによりホーン２
１は上下方向へ揺動し、ワイヤ２３により基板Ｓの電極
とチップＰの電極を接続する。また第１のカットクラン
パ５２と第２のカットクランパ５３はボイスコイルモー
タ５７に駆動されて開閉動作を行ってワイヤ２３をクラ
ンプし、これを引き上げることにより基板Ｓへのボンデ
ィング点からワイヤ２３を切断する。
【００２２】長時間運転する間にパッド６１，６２は次
第に摩耗するので、パッド６１，６２は適宜交換され
る。この交換は次のようにして行う。すなわち、図１に
おいてビス６９を取りはずし、クランパユニット５０を
ホーン保持手段２５の上ブロック２６から分離する。そ
してクランパユニット５０を作業場所へ持ち運び、そこ
でパッド６１，６２の交換作業を行う。そして交換が終
了したならば、再びビス６９でクランパユニット５０を
ホーン保持手段２５の上ブロック２６に装着する。この
場合、給電用コード７３（図６）はホーン保持手段２５
側にあるので、クランパユニット５０はホーン保持手段
２５から完全に分離されることとなり、したがってクラ
ンパユニット５０の持ち運びやパッド６１，６２の交換
作業に給電用コード７３が邪魔になることはまったくな
く、パッド６１，６２の交換を手軽に行うことができ
る。
第に摩耗するので、パッド６１，６２は適宜交換され
る。この交換は次のようにして行う。すなわち、図１に
おいてビス６９を取りはずし、クランパユニット５０を
ホーン保持手段２５の上ブロック２６から分離する。そ
してクランパユニット５０を作業場所へ持ち運び、そこ
でパッド６１，６２の交換作業を行う。そして交換が終
了したならば、再びビス６９でクランパユニット５０を
ホーン保持手段２５の上ブロック２６に装着する。この
場合、給電用コード７３（図６）はホーン保持手段２５
側にあるので、クランパユニット５０はホーン保持手段
２５から完全に分離されることとなり、したがってクラ
ンパユニット５０の持ち運びやパッド６１，６２の交換
作業に給電用コード７３が邪魔になることはまったくな
く、パッド６１，６２の交換を手軽に行うことができ
る。
【００２３】本発明は上記実施の形態に限定されないの
であって、例えばボイスコイルモータに代えて圧電素子
などの駆動部を用い、カットクランパに開閉動作を行わ
せてもよく、あるいはホーン保持手段側の端子６６をス
プリングにより上下動自在に弾発してもよい。
であって、例えばボイスコイルモータに代えて圧電素子
などの駆動部を用い、カットクランパに開閉動作を行わ
せてもよく、あるいはホーン保持手段側の端子６６をス
プリングにより上下動自在に弾発してもよい。
【００２４】
【発明の効果】本発明によれば、給電用コードはホーン
保持手段側にあるので、クランパユニットをホーン保持
手段から完全に分離したうえで、パッドの交換を簡単に
行うことができる。
保持手段側にあるので、クランパユニットをホーン保持
手段から完全に分離したうえで、パッドの交換を簡単に
行うことができる。
【図１】本発明の一実施の形態のワイヤボンディング装
置の側面図
置の側面図
【図２】本発明の一実施の形態のワイヤボンディング装
置のホーンとホーン保持手段とクランパユニットの分解
斜視図
置のホーンとホーン保持手段とクランパユニットの分解
斜視図
【図３】本発明の一実施の形態のワイヤボンディング装
置のホーン保持手段の断面図
置のホーン保持手段の断面図
【図４】本発明の一実施の形態のワイヤボンディング装
置のクランパユニットの平面図
置のクランパユニットの平面図
【図５】本発明の一実施の形態のワイヤボンディング装
置のクランパユニットの側面図
置のクランパユニットの側面図
【図６】（ａ）本発明の一実施の形態のワイヤボンディ
ング装置のホーン保持手段とクランパユニットの接続部
の断面図 （ｂ）本発明の一実施の形態のワイヤボンディング装置
のホーン保持手段とクランパユニットの接続部の断面図
ング装置のホーン保持手段とクランパユニットの接続部
の断面図 （ｂ）本発明の一実施の形態のワイヤボンディング装置
のホーン保持手段とクランパユニットの接続部の断面図
【図７】従来のワイヤボンディング装置の側面図
２１ ホーン ２２ キャピラリツール ２３ ワイヤ ２５ ホーン保持手段 ３９ 軸受部 ４３ ボイスコイルモータ ５０ クランパユニット ５１ 保持部材 ５２ 第１のカットクランパ ５３ 第２のカットクランパ ５７ ボイスコイルモータ ６１，６２ パッド ６３，６６ 端子 ７０ スプリング ７３ 給電用コード
Claims (1)
- 【請求項１】先端部にキャピラリツールを保持するホー
ンと、このホーンを上下方向に揺動自在に保持するホー
ン保持手段と、クランパユニットとを備えたワイヤボン
ディング装置であって、このクランパユニットが、前記
キャピラリツールの上方に位置して前記キャピラリツー
ルに挿通されたワイヤをクランプするカットクランパ
と、このカットクランパに開閉動作を行わせる駆動部
と、前記カットクランパおよび前記駆動部を保持しかつ
前記保持手段上に着脱自在に装着される保持部材とを有
し、この保持部材を前記保持手段上に装着した状態にお
いて互いに接触することにより前記駆動部への給電路を
閉成する端子を前記保持手段と前記保持部材に設け、か
つ前記保持手段の前記端子を給電用コードを介して電源
に接続するようにしたことを特徴とするワイヤボンディ
ング装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23879196A JP3264184B2 (ja) | 1996-09-10 | 1996-09-10 | ワイヤボンディング装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23879196A JP3264184B2 (ja) | 1996-09-10 | 1996-09-10 | ワイヤボンディング装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1092862A JPH1092862A (ja) | 1998-04-10 |
| JP3264184B2 true JP3264184B2 (ja) | 2002-03-11 |
Family
ID=17035342
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23879196A Expired - Fee Related JP3264184B2 (ja) | 1996-09-10 | 1996-09-10 | ワイヤボンディング装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3264184B2 (ja) |
-
1996
- 1996-09-10 JP JP23879196A patent/JP3264184B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH1092862A (ja) | 1998-04-10 |
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