JP3262078B2 - インクジェット記録ヘッド - Google Patents

インクジェット記録ヘッド

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Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、インクジェット記
録装置に利用する。本発明は、微小な液滴を紙面などの
記録媒体に飛翔させて、文字や画像を記録するインクジ
ェット記録装置のアクチュエータに関する。
【０００２】
【従来の技術】図９は従来例インクジェット記録ヘッド
用アクチュエータの要部断面構造図である。この構造は
一つの圧力室と一つのノズルについての構造を模式的に
説明するための図である。この従来例構造は、剛性のあ
る材料により構成されたノズルプレート３１および函体
３４により囲む空間を圧力室３３とし、この圧力室３３
の内部にインク５を供給し充満させる。このノズルプレ
ート３１にはインク滴１を吐出するためのノズル３２を
設ける。そしてこの圧力室には駆動板３５を配置する。
【０００３】この駆動板３５は圧電材料（または熱膨張
率の大きい材料）により形成されていて、その両表面に
は電極３９が形成されている。この電極３９に図示する
ようにスイッチ３７を介して電源４０から電気信号とし
て電圧を印加すると、圧電効果により（または熱膨張に
より）例えばこの駆動板３５は図示するように矢印方向
に変位して圧力室３３に充満されたインク５を加圧す
る。この駆動板３５の変位に応じてインク滴１がノズル
３２から吐出される。
【０００４】従来例構造では、図１０に示すようにこの
駆動板３５は支持部３８に載置し接着する構造となって
いる（特開平９−８５９４６号公報）。すなわちその変
位方向を一定に制御するために、この駆動板３５の片面
を支持部３８に固定し、ここで変位拘束を行うように構
成されている。したがって、圧力室の駆動が行われるた
びに、この駆動板３５と支持部３８との間に図１０に矢
印で示すような圧縮荷重の反力が加わることになる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】すなわちこのような構
造では、駆動時には駆動板３５と支持部３８との接着部
に、駆動力の反力が繰り返し印加されるから、接着層に
剪断変形が生じやすい。接着層の剪断変形が生じると、
これにより長手方向の変位が逃げることになり、結果的
に駆動板３５の変位量が小さくなってしまう欠点があ
る。
【０００６】またこれが激しい場合には、駆動板３５と
支持部３８との接着部が駆動力の反力により剥離するこ
とも考えられ、そのような場合にはインク圧力室３３を
加圧するための駆動力がまったく発生しなくなることに
なる。すなわち、これはインクジェット記録ヘッドの寿
命を短くすることになる。
【０００７】さらにこのような構造では、製造工程の中
に接着工程が必要であり、その工程では正確な位置決め
が必要であり、これが製造工数を大きくする原因になっ
ている。また、この位置決めの誤差や、接着強度のばら
つき、接着層厚さのばらつきなどは、インク吐出特性す
なわち印刷特性のばらつきに反映することになるから、
装置の製造歩留りを悪くする原因になる。
【０００８】本発明はこのような背景に行われたもので
あって、駆動板とその支持部材との間の接着に伴う位置
決め誤差や、接着強度のばらつき、接着層厚さのばらつ
きなどが、直接的にインク吐出特性に影響を与えないイ
ンクジェット記録ヘッドを提供することを目的とする。
本発明は、駆動板とその支持部材との間の接着工程を省
くことができるインクジェット記録ヘッドを提供するこ
とを目的とする。本発明は、駆動板の耐用反復駆動回数
をきわめて大きくして寿命を長くすることができるイン
クジェット記録ヘッドを提供することを目的とする。本
発明は故障が少なく信頼性の高いインクジェット記録ヘ
ッドを提供することを目的とする。本発明は経年による
性能の変化が小さいインクジェット記録ヘッドを提供す
ることを目的とする。本発明は、製造工数の小さいイン
クジェット記録ヘッドを提供することを目的とする。本
発明は、均一な性能の装置を製造することができるイン
クジェット記録ヘッドを提供することを目的とする。本
発明は製造歩留りの優れたインクジェット記録ヘッドを
提供することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本発明は、駆動板の座屈
変形を利用してインク室を加圧する構造のインクジェッ
ト記録ヘッドに備えられる加圧手段について接着部分に
加圧毎の変位が影響しない構造を特徴とする。
【００１０】すなわち、本発明は、インク滴を吐出する
ノズルが形成された圧力室を囲む剛性体と、電気信号に
応じてこの圧力室に充満されたインクを加圧する加圧手
段とを備えたインクジェット記録ヘッドにおいて、前記
加圧手段は、両持ち構造の梁と、この梁の長手方向の伸
長を規制するように設けられた支持部とを含み、前記電
気信号の印加によりこの梁が長手方向に伸長し前記圧力
室空間に向かい座屈変形する構造を特徴とする。
【００１１】前記梁は圧電材料により形成され、その梁
の表面に前記電気信号を印加する電極を設け、熱膨張率
の大きい材料により形成し、その梁を前記電気信号によ
り加熱するヒータを設け、前記梁と前記支持部とは一体
構造であることが望ましく、前記梁と前記支持部とは一
枚の板状の圧電材料から切出され、その梁部分に前記電
気信号を印加する電極を設けることができる。
【００１２】さらに、前記梁にはその座屈変形の方向を
一定に制御するための切欠きが形成され、前記切欠きは
その梁の長手方向中央よりずれた位置に形成することが
でき、あるいは前記梁にはその座屈変形の方向を一定に
制御するため部分的に電極を設けることができる。
【００１３】インク滴を吐出するノズルが形成された圧
力室内のインクを加圧手段が電気信号に応じて加圧す
る。この加圧は、長手方向の伸長を規制する支持部に連
続して形成した両持ち構造の梁に電気信号を印加し、梁
を長手方向に伸長させ圧力室に向けて座屈変形させるこ
とにより行われる。この座屈変形により圧力室内のイン
クはノズル側に加圧されインク滴として吐出する。
【００１４】梁に座屈変形を与えるには、その一つは、
梁を圧電材料で形成し、その梁の表面に電極を設けて電
気信号を印加する。電極に電気信号が印加されたときに
梁は長手方向に伸長し座屈変形を生じて圧力室を加圧す
る。
【００１５】梁に座屈変形を与える別の方法として、梁
を熱膨張率の大きい材料により形成し、その表面にヒー
タを設けて電気信号を印加し、梁を加熱させることによ
りインク室を加圧することもできる。
【００１６】座屈構造体としての梁と、この梁の両端部
を支持する支持部とを一体構造に形成することにより、
梁と支持部とが連続した構成体になる。これにより、梁
に座屈変形が発生したときにその両端部と支持部との間
に生じる剪断力に対する抗力を接着層で受けとめること
がなくなり、座屈変形を効果的に行うことができる。こ
こで、座屈変形は梁の弾性限界範囲内で行われる。
【００１７】梁と支持部とを一体構造にするには、一枚
の板状の圧電材料から切出し加工を行うことにより容易
に形成することができ、形成された梁の部分に電極を設
けるだけの工程で加圧部品を製造することができる。
【００１８】梁に与える座屈変形の方向は常にインクが
充満された圧力室側でなければならない。この座屈変形
の方向を一定に制御するために梁に切欠きを形成する。
この切欠きは座屈変形を与える方向に対し反対側に設け
る。これにより、梁に設けられた電極またはヒータに電
気信号が与えられたときに常に一定方向に座屈変形を発
生させることができる。また、この切欠きの深さを変え
ることによって、その加圧手段に必要とされる座屈変形
量を設定することができる。
【００１９】梁に形成する切欠きの位置は必ずしも長手
方向の中央部に限らず、中央部よりずらした位置に形成
することができる。切欠きの位置をずらすことによって
その上面に設けられる電極の長さが異なることになる。
この短い電極、長い電極、あるいはその両方の電極を区
別して電気信号を印加したときの梁の座屈変形量は異な
る。したがってこの構造にすることにより吐出させるイ
ンク量を例えば大、中、小に区分することができ、各電
極への電気信号の印加を制御してやれば印字に対応した
必要なインク量を吐出させることができる。
【００２０】また、梁の内部に電極を部分的に埋込む構
造にすれば、梁の軸心に対し電極に電気信号が印加され
たときに生じる座屈変形の作用軸が偏心した状態になる
ので、切欠きを設けなくても梁の座屈変形の方向を一定
に維持することができる。
【００２１】このように本発明によれば、加圧手段を構
成する両持ち構造の梁と、この梁の両端を支持する支持
部とを一体構造に形成することができるので、従来行わ
れていた駆動板とその支持部材との接着はなくなる。し
たがって接着層に梁に加わる長手方向の力に対する反力
がかかることはなくなる。その接着に伴って生じていた
位置決め誤差、接着強度のばらつき、接着層厚さのばら
つきなどがインク吐出特性に影響しなくなる。
【００２２】また、構成部材の接着による結合部分に反
力が作用しなくなるので、駆動板の耐用反復駆動回数が
大きくなり経年による性能の変化を少なくすることがで
きる。接着剤のはがれなどによる寿命の短縮を回避し信
頼性を高めることができる。
【００２３】さらに、製造工数が削減され作業内容が簡
単化される。品質の均一化をはかることができ、製造歩
留りを向上させることができる。
【００２４】
【発明の実施の形態】
【００２５】
【実施例】次に、本発明実施例を図面に基づいて説明す
る。
【００２６】（第一実施例）図１は本発明第一実施例の
要部の構成を示す模式的断面図、図２は本発明第一実施
例に用いられる加圧手段の要部の構成を示す斜視図であ
る。
【００２７】本発明第一実施例は、インク滴１を吐出す
るノズル２が形成された圧力室３を囲む剛性体４と、電
気信号に応じてこの圧力室３に充満されたインク５を加
圧する加圧手段６とが備えられ、加圧手段６には、両持
ち構造の梁７と、この梁７の長手方向の伸長を規制する
ように設けられた支持部８とが含まれ、電気信号の印加
により梁７が長手方向に伸長し圧力室３の空間に向かい
座屈変形する構造に構成される。
【００２８】梁７および支持部８を含む加圧手段６は圧
電材料により形成され、その梁７の表面に電気信号を印
加する個別電極９がを設けられ、その表面に共通電極
（振動板）１０が設けられる。梁７と支持部８とは一枚
の圧電材料から一体構造に切出され、梁７のほぼ中央部
にはその座屈変形の方向を一定に制御するための切欠き
１１が形成される。図２には２本の梁７が形成された加
圧手段６が例示されている。
【００２９】加圧手段６を形成する圧電材料にはチタン
酸ジルコン酸鉛系セラミックスからなる材料、あるいは
一般的な強誘電体が用いられる。また、個別電極９には
銀ペースト、銀パラジウムペースト、あるいはその他の
導体金属が用いられ、共通電極（振動体）１０にはＮｉ
板、あるいはその他の導電性を有する金属板が用いられ
る。この共通電極（振動体）１０に代えて通電により発
熱し変位を与えるヒータを用いることもできる。
【００３０】ここで、本発明第一実施例に用いられる加
圧手段６の製造方法について説明する。図３（ａ）〜
（ｆ）は本発明第一実施例に用いられる加圧手段の製造
工程を説明する図である。
【００３１】まず、図３（ａ）に示すように、圧電材料
からなる厚さ５００μｍのグリーンシートを形成し、有
機バインダの脱離を行った後に１１００℃で焼成を行っ
て圧電材料薄板１２を作成する。
【００３２】次に、図３（ｂ）に示すように、印刷また
は蒸着の手段を用いて、圧電材料薄板１２の上面と下面
それぞれの全領域に分極用電極１３を形成し、その電極
間に電圧（例えば５００Ｖ）を印加することによって圧
電材料薄板１２に分極処理を行う。
【００３３】その後、図３（ｃ）に示すように、座屈構
造体として形成する両持ち梁７の出力変位およびその発
生力に基づいて設定された厚さ（例えば５０μｍ）ま
で、圧電材料薄板１２の上面側をラッピング加工する。
【００３４】続いて、図３（ｄ）に示すように、パタン
マスクを用いた印刷または蒸着の手段により、座屈構造
体として形成する両持ち梁７に相当する部分に個別電極
９を形成する。
【００３５】次いで、パタンマスクを用いたサンドブラ
スト加工を施し、図３（ｅ）に示すような両持ち梁７お
よび支持部８を含む加圧手段６を形成する。この両持ち
梁７および支持部８の形成はエッチング加工によっても
行うことができる。
【００３６】さらに、図３（ｆ）に示すように、両持ち
梁７に切欠き１１を形成するため、パタンマスクを用い
てその深さが所定値（例えば２０μｍ）になるまでサン
ドブラスト加工を行う。この加工により個別電極９は２
分割される。この２分割された個別電極９にリード線を
接続し、さらに下面の分極用電極（以後、共通電極２
１）にもリード線を接続する。共通電極には、導電性を
有する薄い振動板１０（例えば５μｍ厚のＮｉ板）を用
いることもできる。
【００３７】なお本実施例では、分極によって発生する
初期歪みが圧力発生部材に残留することを回避するため
に、分極処理の工程を梁７の形成前に行ったが、分極を
行っても圧力発生部材全体に部分的歪が発生しない構造
（例えば全ての梁を分極する等）であれば、梁７を形成
した後で分極処理を行えるため、製造プロセス簡略化を
実現させることもできる。
【００３８】ここで、この製造方法により形成された加
圧手段６の動作について説明する。図４は本発明第一実
施例における加圧手段の動作を説明する図である。
【００３９】梁７を挟んで対向するように形成された個
別電極９と共通電極（振動板）１０との間に分極方向と
は逆方向の電圧（例えば４０Ｖ）を印加すると、圧電横
効果によって梁７はその長手方向に膨張しようとする。
ところが梁７はその長手方向の両端部が支持部８によっ
て固定されているために、梁７の中心軸Ａに沿って矢印
で示す圧縮荷重が発生する。
【００４０】梁７には変位方向の裏面に切欠き１１が形
成されているので、その部分の断面における断面１次モ
ーメントが零となる点を通る軸Ｂと圧縮荷重が作用する
梁７の中心軸Ａとはδだけ偏心する。これにより切欠き
１１に曲げモーメントが発生し、切欠き１１の形成面の
反対側に座屈変形が発生する。この座屈変形が共通電極
（振動板）１０を介して図１に示す圧力室３に伝達され
圧力室３内を加圧する。この加圧により圧力室３内のイ
ンク５がノズル２からインク滴１となって吐出される。
【００４１】この加圧手段６をインクジェット記録ヘッ
ドに組込み、個別電極９と共通電極（振動板）１０との
間に電圧を印加しインク滴１の吐出試験を行ったとこ
ろ、ノズル２からインク滴１が安定した状態で吐出され
ることが確認された。
【００４２】（第二実施例）図５は本発明第二実施例に
用いられる加圧手段の要部の構成を示す斜視図である。
【００４３】本発明第二実施例は、加圧手段１６が両持
ち構造の梁１７およびこの梁１７の長手方向の伸長を規
制するように設けられた支持部１８により形成され、梁
１７の表面の長手方向中央から所定寸法ずらした位置に
切欠き１１が設けられる。この切欠き１１により分割さ
れた梁１７の表面に長さの異なる個別電極１９が形成さ
れ、その裏面に共通電極（振動板）１０が配置される。
その他は第一実施例同様に構成され、同様の製造方法で
形成される。
【００４４】本第二実施例は切欠き１１が梁１７の長手
方向中央よりずらした位置に形成され、その上面に長さ
の異なる個別電極１９が配置されるので、電気信号を印
加する個別電極１９を変えることにより梁１７の座屈変
形量を変えることができる。
【００４５】すなわち、短い個別電極１９だけに電気信
号を印加したときは梁１７の長手方向の膨張量は小さい
ので座屈変形は小さくなる。また、長い個別電極１９だ
けに電気信号を印加したときは梁１７の長手方向の膨張
量が大きいので座屈変形は大きくなる。その両方の個別
電極１９に同時に電気信号を印加したときは梁１７の長
手方向の膨張はさらに大きくなり座屈変形がそれにとも
なって大きくなる。
【００４６】本第二実施例は、各個別電極１９への電気
信号の印加を制御することにより座屈変形量を変えるこ
とができるので、インクの吐出量を必要に応じて例え
ば、大、中、小に区分し噴射させることができる。
【００４７】この加圧手段１６をインクジェット記録ヘ
ッドに組込み、各個別電極１９に対し電気信号を印加し
インク滴の吐出試験を行ったところ、大、中、小それぞ
れのインク滴が安定した状態で吐出されることを確認し
た。
【００４８】（第三実施例）図６は本発明第三実施例に
用いられる加圧手段の要部の構成を示す斜視図である。
【００４９】本発明第三実施例は、加圧手段２６が両持
ち構造の梁２７およびこの梁２７の長手方向の伸長を規
制するように設けられた支持部２８により構成され、こ
の梁２７および支持部２８は圧電材料からなるグリーン
シートを２枚重ねにした状態で形成される。共通電極２
１はこの圧電材料からなるグリーンシート間に挟持さ
れ、梁２７の上面の一部にその座屈変形の方向を一定に
制御する個別電極２９が配置される。この加圧手段２６
により加圧される圧力室は第一実施例同様に形成され
る。
【００５０】ここで、本発明第三実施例に用いられる加
圧手段２６の製造方法について説明する。図７（ａ）〜
（ｆ）は本発明第三実施例に用いられる加圧手段の製造
工程を説明する図である。
【００５１】まず、図７（ａ）に示すように、圧電材料
からなる厚さ５００μｍのグリーンシートにより圧電材
料薄板２２を形成し、その上面の全領域に印刷または蒸
着の手段を用い、図７（ｂ）に示すような分極用電極１
３を形成する。
【００５２】次に、図７（ｃ）に示すように、分極用電
極１３を形成した圧電材料薄板２２を２枚重ね、有機バ
インダの脱離を行った後に１１００℃で焼成を行って圧
電材料積層体１４を作成する。その後圧電材料積層体１
４の下面に、印刷または蒸着の手段により分極用電極１
３を形成する。さらに、圧電材料積層体１４の中間層に
位置する分極用電極１３と、上面・下面に位置する分極
用電極１３との間に電圧（例えば５００Ｖ）を印加する
ことによって、圧電材料積層体１４の上層と下層に分極
処理を行う。
【００５３】その後、図７（ｄ）に示すように、座屈構
造体として形成する両持ち梁２７の出力変位およびその
発生力に基づいて設定された厚さ（例えば上層を５０μ
ｍ、下層を２０μｍ）まで、圧電材料積層体１４の上面
および下面をそれぞれラッピング加工する。
【００５４】続いて、図７（ｅ）に示すように、パタン
マスクを用いた印刷または蒸着の手段により、座屈構造
体として形成する両持ち梁２７に相当する部分、もしく
はその一部に個別電極２９を形成する。
【００５５】次いで、パタンマスクを用いたサンドブラ
スト加工を施し、図７（ｆ）に示すような両持ち梁２７
および支持部２８を含む加圧手段２６を形成する。この
両持ち梁２７および支持部２８の形成はエッチング加工
によっても行うことかできる。個別電極２９にリード線
を接続し、さらに中間層の分極用電極（以後、共通電極
２１）にもリード線を接続する。
【００５６】なお本実施例では、分極によって発生する
初期歪みが圧力発生部材に残留することを回避するため
に、分極処理の工程を梁２７の形成前に行ったが、分極
を行っても圧力発生部全体に部分的歪が発生しない構造
（例えば全ての梁を分極する等）であれば、梁２７を形
成した後で分極処理を行えるため、製造プロセス簡略化
を実現させることもできる。
【００５７】ここで、この製造方法により形成された加
圧手段２６の動作について説明する。図８は本発明第三
実施例に用いられる加圧手段の動作を説明する図であ
る。
【００５８】中間層に位置する共通電極２１と上面に位
置する個別電極２９との間に分極方向とは逆方向の電圧
を印加すると、圧電横効果により梁２７の上層はその長
手方向に膨張しようとする。ところが梁２７はその長手
方向の両端が固定されているために、梁２７の上層に矢
印で示す圧縮荷重が発生する。
【００５９】梁２７の上層（圧縮荷重が発生している
層）の上面（個別電極２９を有する面）は自由表面であ
るのに対し、下面（共通電極２１を有する面）は変位が
拘束されている。従って、上記圧縮荷重によって梁２７
が座屈変形する際には、自由表面側に向けて変形を生じ
る。この座屈変形は図１に示す圧力室３に伝達され圧力
室３内を加圧する。この加圧により圧力室３内のインク
５がノズル２からインク滴１となって吐出される。
【００６０】この加圧手段２６をインクジェット記録ヘ
ッドに組み込み、共通電極２１と個別電極２９との間に
電圧を印加しインク滴１の吐出試験を試みたところ、ノ
ズル２からインク滴１が安定して吐出されることが確認
された。
【００６１】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、イ
ンク室を加圧する振動板とその支持部材とを接着剤の接
着力により維持する構造ではなくなるので、接着に伴う
位置決め誤差、接着強度のばらつき、接着層厚さのばら
つきによりインク吐出特性が直接影響を受けることをな
くすことができる。
【００６２】これにともなって、製造工程から高精度の
接着工程が省かれる。接着層に直接反力が作用しなくな
るから振動板の耐用反復駆動回数が大きくなり寿命を長
くすることできるとともに、故障の少ない信頼性の高い
インクジェット記録ヘッドを実現することができる。さ
らに、製造工数を削減し、均一な性能の装置を高い製造
歩留りで生産することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明第一実施例の要部の構成を示す模式的断
面図。
【図２】本発明第一実施例に用いられる加圧手段の要部
の構成を示す斜視図。
【図３】（ａ）〜（ｆ）は本発明第一実施例に用いられ
る加圧手段の製造工程を説明する図。
【図４】本発明第一実施例に用いられる加圧手段の動作
を説明する図。
【図５】本発明第二実施例に用いられる加圧手段の要部
の構成を示す斜視図。
【図６】本発明第三実施例に用いられる加圧手段の要部
の構成を示す斜視図。
【図７】（ａ）〜（ｆ）は本発明第三実施例に用いられ
る加圧手段の製造工程を説明する図。
【図８】本発明第三実施例に用いられる加圧手段の動作
を説明する図。
【図９】従来例の要部の構成を示す模式的断面図。
【図１０】従来例における加圧動作を説明する図。
【符号の説明】
１ インク滴 ２、３２ ノズル ３、３３ 圧力室 ４ 剛性体 ５ インク ６、１６、２６ 加圧手段 ７、１７、２７ 梁 ８、１８、２８、３８ 支持部 ９、１９、２９ 個別電極 １０ 共通電極（振動板） １１ 切欠き １２、２２ 圧電材料薄板 １３ 分極用電極 １４ 圧電材料積層体 ２０ 振動板 ２１ 共通電極 ３１ ノズルプレート ３４ 函体 ３５ 駆動板 ３７ スイッチ ３９ 電極 ４０ 電源
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) B41J 2/045 B41J 2/055

Claims (7)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 インク滴を吐出するノズルが形成された
    圧力室を囲む剛性体と、電気信号に応じてこの圧力室に
    充満されたインクを加圧する加圧手段とを備えたインク
    ジェット記録ヘッドにおいて、 前記加圧手段は、両持ち構造の梁と、この梁の長手方向
    の伸長を規制するように設けられ前記梁と一体構造であ
    る支持部とを含み、前記電気信号の印加によりこの梁が
    長手方向に伸長し前記圧力室空間に向かい座屈変形する
    構造を特徴とするインクジェット記録ヘッド。
  2. 【請求項２】 前記梁は圧電材料により形成され、その
    梁の表面に前記電気信号を印加する電極を設けた請求項
    １記載のインクジェット記録ヘッド。
  3. 【請求項３】 前記梁は熱膨張率の大きい材料により形
    成され、その梁を前記電気信号により加熱するヒータを
    設けた請求項１記載のインクジェット記録ヘッド。
  4. 【請求項４】 前記梁と前記支持部とは一枚の板状の圧
    電材料から切出され、その梁部分に前記電気信号を印加
    する電極を設けた請求項１記載のインクジェット記録ヘ
    ッド。
  5. 【請求項５】 前記梁にはその座屈変形の方向を一定に
    制御するための切欠きが形成された請求項１記載のイン
    クジェット記録ヘッド。
  6. 【請求項６】 前記切欠きはその梁の長手方向中央より
    ずれた位置に形成された請求項５記載のインクジェット
    記録ヘッド。
  7. 【請求項７】 前記梁にはその座屈変形の方向を一定に
    制御するため部分的に電極を設けた請求項２または３記
    載のインクジェット記録ヘッド。
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