JP3258553B2 - 膜分離装置 - Google Patents
膜分離装置Info
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- JP3258553B2 JP3258553B2 JP03641396A JP3641396A JP3258553B2 JP 3258553 B2 JP3258553 B2 JP 3258553B2 JP 03641396 A JP03641396 A JP 03641396A JP 3641396 A JP3641396 A JP 3641396A JP 3258553 B2 JP3258553 B2 JP 3258553B2
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- membrane separation
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- diffuser
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Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、膜分離ユニットY
に対して気泡を供給する散気装置Sを、前記膜分離ユニ
ットYの略全巾にわたって前記膜分離ユニットYの下方
に設けてある膜膜分離装置に関する。
に対して気泡を供給する散気装置Sを、前記膜分離ユニ
ットYの略全巾にわたって前記膜分離ユニットYの下方
に設けてある膜膜分離装置に関する。
【0002】
【従来の技術】従来、この種の膜分離装置Mにおける散
気装置Sは、図9及び図10に示すように、膜分離ユニ
ットYの略全巾にわたる長さの散気具Soを複数本並べ
て前記膜分離ユニットYの下方に設けたステーUに夫々
載置し、取付具Gにより夫々取付固定して構成してあっ
た。
気装置Sは、図9及び図10に示すように、膜分離ユニ
ットYの略全巾にわたる長さの散気具Soを複数本並べ
て前記膜分離ユニットYの下方に設けたステーUに夫々
載置し、取付具Gにより夫々取付固定して構成してあっ
た。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】ところが、前記膜分離
装置を長期間稼動させていると、活性汚泥中の夾雑物や
活性汚泥の粘度上昇で散気装置の散気孔Shが目づまり
を起こし易くなる。目づまりを起こした所は十分な気泡
上昇に伴う処理液の上昇移動作用が得られないので平膜
m表面の処理液による洗浄作用が良好に行えず膜面閉塞
をまねくようになるが、散気孔Shのつまりは徐々に起
こるため時々点検して洗浄することで防げる。
装置を長期間稼動させていると、活性汚泥中の夾雑物や
活性汚泥の粘度上昇で散気装置の散気孔Shが目づまり
を起こし易くなる。目づまりを起こした所は十分な気泡
上昇に伴う処理液の上昇移動作用が得られないので平膜
m表面の処理液による洗浄作用が良好に行えず膜面閉塞
をまねくようになるが、散気孔Shのつまりは徐々に起
こるため時々点検して洗浄することで防げる。
【0004】しかし、膜分離ユニットYの略全巾にわた
る長さの散気具Soを、夫々前記膜分離ユニットYの下
方に設けてあるステーUに取付固定しているので、前記
散気装置Sの点検及びメンテナンスが必要な場合には、
前記膜分離ユニットYを膜分離槽E2から取り出した
後、取付具GをステーUから取り外して散気具Soを分
離しなければならず、非常に手間が掛かるものであっ
た。また、前記散気具Soが長尺であるのでエアー供給
部から下手側程圧力が低くなり、散気に偏りが生じ易く
なるとともに、気泡の調節が困難であるので平膜m表面
の良好な洗浄が行い難くあまり好ましいものではなかっ
た。そこで、本発明の目的は、上記の問題点を解決し、
散気装置Sの点検及びメンテナンスが容易に行えるとと
もに、膜分離ユニットYに対して偏りのない気泡の供給
を可能にする散気装置Sを提供するところにある。
る長さの散気具Soを、夫々前記膜分離ユニットYの下
方に設けてあるステーUに取付固定しているので、前記
散気装置Sの点検及びメンテナンスが必要な場合には、
前記膜分離ユニットYを膜分離槽E2から取り出した
後、取付具GをステーUから取り外して散気具Soを分
離しなければならず、非常に手間が掛かるものであっ
た。また、前記散気具Soが長尺であるのでエアー供給
部から下手側程圧力が低くなり、散気に偏りが生じ易く
なるとともに、気泡の調節が困難であるので平膜m表面
の良好な洗浄が行い難くあまり好ましいものではなかっ
た。そこで、本発明の目的は、上記の問題点を解決し、
散気装置Sの点検及びメンテナンスが容易に行えるとと
もに、膜分離ユニットYに対して偏りのない気泡の供給
を可能にする散気装置Sを提供するところにある。
【0005】
〔特徴構成1〕上記目的を達成するための本発明の特徴
構成は、膜分離ユニット下方の巾方向両端側から各別に
中央部に延出させた第1散気具と第2散気具を設けて前
記散気装置を構成し、前記第1散気具と前記第2散気具
の夫々に給気管を連通接続すると共に、各々の前記給気
管が着脱自在に前記膜分離ユニットのフレームに取付て
ある点にある。
構成は、膜分離ユニット下方の巾方向両端側から各別に
中央部に延出させた第1散気具と第2散気具を設けて前
記散気装置を構成し、前記第1散気具と前記第2散気具
の夫々に給気管を連通接続すると共に、各々の前記給気
管が着脱自在に前記膜分離ユニットのフレームに取付て
ある点にある。
【0006】〔特徴構成1の作用〕つまり、第1散気具
と第2散気具を巾方向両端部から中央部に延出させる構
成にしてあるので、前記各散気具を比較的短いものにで
き、夫々の前記散気具に連通接続してある給気管を膜分
離ユニットのフレームから取り外すことにより容易に散
気装置を膜分離槽外へ取り出すことが出来る。
と第2散気具を巾方向両端部から中央部に延出させる構
成にしてあるので、前記各散気具を比較的短いものにで
き、夫々の前記散気具に連通接続してある給気管を膜分
離ユニットのフレームから取り外すことにより容易に散
気装置を膜分離槽外へ取り出すことが出来る。
【0007】
【発明の実施の形態】以下に本発明の実施の形態を図面
に基づいて説明する。図1に示すように、上流から順
に、沈澱分離槽N1、嫌気濾床槽N2、脱窒槽E1、膜
分離槽E2、消毒槽Q、処理水槽Tを被処理水が移流す
るように設けて浄化槽を構成してある。
に基づいて説明する。図1に示すように、上流から順
に、沈澱分離槽N1、嫌気濾床槽N2、脱窒槽E1、膜
分離槽E2、消毒槽Q、処理水槽Tを被処理水が移流す
るように設けて浄化槽を構成してある。
【0008】前記沈澱分離槽N1は、流入口Iから浄化
槽に流入した被処理水の原水を受けて、その被処理水の
夾雑物を沈澱除去しつつ、内部に生息する嫌気性菌によ
り、被処理水を嫌気処理し、嫌気濾床槽N2に移流自在
に構成してある。前記嫌気濾床槽N2は、流入した被処
理水を嫌気処理する嫌気性菌を育成しうる嫌気濾床Fを
内装してあり、前記沈澱分離槽N1から移流してきた被
処理水を嫌気処理して前記脱窒槽E1に移流するように
構成してある。
槽に流入した被処理水の原水を受けて、その被処理水の
夾雑物を沈澱除去しつつ、内部に生息する嫌気性菌によ
り、被処理水を嫌気処理し、嫌気濾床槽N2に移流自在
に構成してある。前記嫌気濾床槽N2は、流入した被処
理水を嫌気処理する嫌気性菌を育成しうる嫌気濾床Fを
内装してあり、前記沈澱分離槽N1から移流してきた被
処理水を嫌気処理して前記脱窒槽E1に移流するように
構成してある。
【0009】前記脱窒槽E1は、前記嫌気濾床槽N2か
ら流入した比較的固形成分濃度の低い被処理水を一次貯
留しつつ、被処理水を主に脱窒処理する脱窒菌を内部に
育成する構成にしてある。また、前記脱窒槽E1にはエ
アリフト作用で被処理水を汲みあげて膜分離槽に移送さ
せる移送ポンプAを内装してあり、定常的に被処理水を
膜分離槽E2に移送する構成にしてある。
ら流入した比較的固形成分濃度の低い被処理水を一次貯
留しつつ、被処理水を主に脱窒処理する脱窒菌を内部に
育成する構成にしてある。また、前記脱窒槽E1にはエ
アリフト作用で被処理水を汲みあげて膜分離槽に移送さ
せる移送ポンプAを内装してあり、定常的に被処理水を
膜分離槽E2に移送する構成にしてある。
【0010】前記膜分離槽E2は、図2に示すように、
多数の平膜mを並設してなる膜分離ユニットYとその前
記膜分離ユニットYの下方に設けた前記膜分離ユニット
Yに対して気泡を供給する散気装置Sよりなる膜分離装
置Mを内装している。前記散気装置Mは、前記膜分離ユ
ニットYの巾方向両端側から各別に中央部に延出させた
第一散気具S1と第二散気具S2とで構成し、前記第一
散気具S1と第二散気具S2の夫々に連通接続した給気
管Kを膜分離ユニットYのフレームYaに設けてある係
止アームYbに着脱自在に取付固定して、第一散気具S
1及び第二散気具S2の支持をすると共にブロワBから
の空気供給によって、前記膜分離装置Mに気泡を供給
し、前記平膜mの膜面に汚泥等の付着しすぎるのを防止
し、かつ、膜分離槽E2内に被処理水の上昇流を形成し
ながら被処理水に酸素を供給可能に構成してある。
多数の平膜mを並設してなる膜分離ユニットYとその前
記膜分離ユニットYの下方に設けた前記膜分離ユニット
Yに対して気泡を供給する散気装置Sよりなる膜分離装
置Mを内装している。前記散気装置Mは、前記膜分離ユ
ニットYの巾方向両端側から各別に中央部に延出させた
第一散気具S1と第二散気具S2とで構成し、前記第一
散気具S1と第二散気具S2の夫々に連通接続した給気
管Kを膜分離ユニットYのフレームYaに設けてある係
止アームYbに着脱自在に取付固定して、第一散気具S
1及び第二散気具S2の支持をすると共にブロワBから
の空気供給によって、前記膜分離装置Mに気泡を供給
し、前記平膜mの膜面に汚泥等の付着しすぎるのを防止
し、かつ、膜分離槽E2内に被処理水の上昇流を形成し
ながら被処理水に酸素を供給可能に構成してある。
【0011】前記各散気具は、図3及び図4に示すよう
に、下部が開放された箱型形状の散気具本体Saに給気
管Kを接続して形成されており、前記散気具本体Saの
長手方向左右の両側板には複数個の散気のための散気孔
Shが設けられてある。尚、前記第一、第二散気具S
1,S2への空気供給は、一つのブロワBからの空気供
給を配管により分配し、その各分配量をバルブVで調節
可能にして、夫々の給気管Kを介して夫々の散気具へ供
給される。このとき、第一散気具S1、第二散気具S2
を巾方向両端部から中央部に延出させる構成にしてある
ので、前記各散気具を比較的短いものにでき、各散気具
毎の散気の偏りを少くできながら、並設する複数の散気
具相互間の散気の偏りに対してバルブVの調節でコント
ロールできるようになる。また、散気部の下部が開放さ
れているので例え詰まりが生じたとしても開放部Cから
余剰の気泡が放出されるので、散気不能になるような最
悪の事態を防ぐことができる。
に、下部が開放された箱型形状の散気具本体Saに給気
管Kを接続して形成されており、前記散気具本体Saの
長手方向左右の両側板には複数個の散気のための散気孔
Shが設けられてある。尚、前記第一、第二散気具S
1,S2への空気供給は、一つのブロワBからの空気供
給を配管により分配し、その各分配量をバルブVで調節
可能にして、夫々の給気管Kを介して夫々の散気具へ供
給される。このとき、第一散気具S1、第二散気具S2
を巾方向両端部から中央部に延出させる構成にしてある
ので、前記各散気具を比較的短いものにでき、各散気具
毎の散気の偏りを少くできながら、並設する複数の散気
具相互間の散気の偏りに対してバルブVの調節でコント
ロールできるようになる。また、散気部の下部が開放さ
れているので例え詰まりが生じたとしても開放部Cから
余剰の気泡が放出されるので、散気不能になるような最
悪の事態を防ぐことができる。
【0012】前記膜分離装置E2のそれぞれの平膜mに
は、集水管m1を連設するとともに、前記集水管m1か
らの濾過水を合流させて膜分離槽外へ導く取水管m2を
接続してあり、前記膜分離槽E2の水面よりも下方で前
記膜分離槽E2に隣接して設けてある消毒槽Qに連通接
続してある。前記処理水槽Tは、水中ポンプPを内装し
てあり、前記処理水を貯留したのち、水中ポンプAで処
理水を汲み上げ、排出管Oを介して放流口Zから浄化槽
外へ放流可能に構成してある。
は、集水管m1を連設するとともに、前記集水管m1か
らの濾過水を合流させて膜分離槽外へ導く取水管m2を
接続してあり、前記膜分離槽E2の水面よりも下方で前
記膜分離槽E2に隣接して設けてある消毒槽Qに連通接
続してある。前記処理水槽Tは、水中ポンプPを内装し
てあり、前記処理水を貯留したのち、水中ポンプAで処
理水を汲み上げ、排出管Oを介して放流口Zから浄化槽
外へ放流可能に構成してある。
【0013】このような浄化槽においては、前記流入口
Iから流入した被処理水は、前記沈澱分離槽N1、前記
嫌気濾床槽N2を経て嫌気処理されつつ前記脱窒槽E1
に流入し、前記移送ポンプAで前記膜分離槽E2に流入
したのち、前記膜分離装置Mで膜分離処理され、膜分離
処理された濾過水は、消毒槽Qにおいて消毒処理された
のち処理水槽Tで一時貯留され、水中ポンプPで排出管
Oを介して放流口Zから浄化槽外へ放流される。
Iから流入した被処理水は、前記沈澱分離槽N1、前記
嫌気濾床槽N2を経て嫌気処理されつつ前記脱窒槽E1
に流入し、前記移送ポンプAで前記膜分離槽E2に流入
したのち、前記膜分離装置Mで膜分離処理され、膜分離
処理された濾過水は、消毒槽Qにおいて消毒処理された
のち処理水槽Tで一時貯留され、水中ポンプPで排出管
Oを介して放流口Zから浄化槽外へ放流される。
【0014】上記浄化槽で第一、第二散気具S1,S2
よりなる散気装置Sの点検及びメンテナンスが必要な場
合には、まず、膜分離槽E2上部にあるマンホールHを
開放し、膜分離ユニットYのフレームYaに設けてある
係止アームYbに取付固定してある給気管Kの係止を解
除して、給気管Kを回転揺動させることによって散気具
を膜分離ユニットY下方より退避させ、上部に引き上げ
ることにより浄化槽外にとりだせる。そして、点検及び
メンテナンスが終わったあとはその逆の工程をおこなう
ことで散気装置Sである第一、第二散気具S1,S2の
夫々を膜分離ユニットYの下方に容易にセットすること
ができる。このとき、前記給気管Kの係止アームYbの
取付部位には、高さ確認用の表示線Lが記してあるの
で、取付の際膜分離ユニットYのフレームYaに設けて
ある係止アームYbに給気管Kに設けた前記表示線Lを
合わせることで膜分離装置Mに対する散気具の気泡供給
の高さを調節することが容易にできる。
よりなる散気装置Sの点検及びメンテナンスが必要な場
合には、まず、膜分離槽E2上部にあるマンホールHを
開放し、膜分離ユニットYのフレームYaに設けてある
係止アームYbに取付固定してある給気管Kの係止を解
除して、給気管Kを回転揺動させることによって散気具
を膜分離ユニットY下方より退避させ、上部に引き上げ
ることにより浄化槽外にとりだせる。そして、点検及び
メンテナンスが終わったあとはその逆の工程をおこなう
ことで散気装置Sである第一、第二散気具S1,S2の
夫々を膜分離ユニットYの下方に容易にセットすること
ができる。このとき、前記給気管Kの係止アームYbの
取付部位には、高さ確認用の表示線Lが記してあるの
で、取付の際膜分離ユニットYのフレームYaに設けて
ある係止アームYbに給気管Kに設けた前記表示線Lを
合わせることで膜分離装置Mに対する散気具の気泡供給
の高さを調節することが容易にできる。
【0015】〔別実施形態〕先の実施例においては、膜
分離ユニットY下方の巾方向両端部から各別に中央部に
延出させた第一散気具S1と第二散気具S2の夫々を各
給気管Kにつき一つの散気具を接続する構成にしていた
が、これに限らず、図5に示すように、二本の給気管K
に対して一つのU字状に曲げた散気具を接続した構成の
ものであってもよい。
分離ユニットY下方の巾方向両端部から各別に中央部に
延出させた第一散気具S1と第二散気具S2の夫々を各
給気管Kにつき一つの散気具を接続する構成にしていた
が、これに限らず、図5に示すように、二本の給気管K
に対して一つのU字状に曲げた散気具を接続した構成の
ものであってもよい。
【0016】散気具の形状も先の実施例に限定されず、
図6に示すように、散気具本体Saをパイプ材で構成
し、パイプの側面には山形形状の複数個の散気孔Shを
設けるとともにパイプ先端には下向きの開放部Cを設け
てある。散気孔Shを山形形状に形成することにより詰
まりが生じにくくなり、例え詰まりが生じたとしても開
放部Cから余剰の気泡が放出されるので散気不能になる
ことがない。また、係止部位も前記膜分離ユニットYの
上部にある係止アームYbだけでなく、図7及び図8に
示すように前記膜分離ユニットYの下方に設けたステー
Uaに各々一対づつの係止アームUbを設け、さらに、
前記膜分離ユニットのフレームの下方にある開口部Rの
形状を上方程狭くなる台形形状に構成することによっ
て、前記開口部Rの側面の傾斜が、前記散気具S1,S
2を係止アームUbに係止するための案内面Raとな
る。つまり、前記開口部Rに前記散気具S1,S2を挿
入し、前記散気具S1,S2に連通接続した給気管Kの
上昇操作にともない散気具本体Saが前記開口部Rの側
面の案内面Raに摺接案内されて係止アームUbに係合
する。以上の構成により、散気具S1,S2の位置合わ
せが行い易くなるだけでなく、前記上部の係止部位だけ
のものに較べて散気具S1,S2の位置ずれを防止する
ことができる。
図6に示すように、散気具本体Saをパイプ材で構成
し、パイプの側面には山形形状の複数個の散気孔Shを
設けるとともにパイプ先端には下向きの開放部Cを設け
てある。散気孔Shを山形形状に形成することにより詰
まりが生じにくくなり、例え詰まりが生じたとしても開
放部Cから余剰の気泡が放出されるので散気不能になる
ことがない。また、係止部位も前記膜分離ユニットYの
上部にある係止アームYbだけでなく、図7及び図8に
示すように前記膜分離ユニットYの下方に設けたステー
Uaに各々一対づつの係止アームUbを設け、さらに、
前記膜分離ユニットのフレームの下方にある開口部Rの
形状を上方程狭くなる台形形状に構成することによっ
て、前記開口部Rの側面の傾斜が、前記散気具S1,S
2を係止アームUbに係止するための案内面Raとな
る。つまり、前記開口部Rに前記散気具S1,S2を挿
入し、前記散気具S1,S2に連通接続した給気管Kの
上昇操作にともない散気具本体Saが前記開口部Rの側
面の案内面Raに摺接案内されて係止アームUbに係合
する。以上の構成により、散気具S1,S2の位置合わ
せが行い易くなるだけでなく、前記上部の係止部位だけ
のものに較べて散気具S1,S2の位置ずれを防止する
ことができる。
【0017】尚、特許請求の項に図面との対照を便利に
するために符号を記すが、該記入により本発明は添付図
面に限定されるものではない。
するために符号を記すが、該記入により本発明は添付図
面に限定されるものではない。
【0018】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によって少
ないスペースでも第一、第二散気具を夫々給気管を軸と
して回転揺動させてから引き出すことができ、そのため
に膜分離槽から膜分離ユニットを取り出す必要がなくな
り、前記散気装置の点検及びメンテナンスが容易におこ
なえる。その結果、散気装置のつまりを未然に防止した
り、つまりの洗浄も簡単に行えるので、散気孔を比較的
小さな孔にして酸素溶解効率をあげることが可能にな
り、高い水処理性能を維持できるようになった。また、
散気具を比較的短いものにできるので、全体として散気
に偏りが生じにくくしやすくなった。
ないスペースでも第一、第二散気具を夫々給気管を軸と
して回転揺動させてから引き出すことができ、そのため
に膜分離槽から膜分離ユニットを取り出す必要がなくな
り、前記散気装置の点検及びメンテナンスが容易におこ
なえる。その結果、散気装置のつまりを未然に防止した
り、つまりの洗浄も簡単に行えるので、散気孔を比較的
小さな孔にして酸素溶解効率をあげることが可能にな
り、高い水処理性能を維持できるようになった。また、
散気具を比較的短いものにできるので、全体として散気
に偏りが生じにくくしやすくなった。
【図1】浄化槽の縦断側面図
【図2】膜分離槽における横断側面図
【図3】膜分離槽における平面図
【図4】散気具における斜視図
【図5】別実施例の膜分離槽における平面図
【図6】散気具における別形態の斜視図
【図7】別実施例の要部正面図
【図8】別実施例の要部作用説明図
【図9】従来例の膜分離槽における横断側面図
【図10】従来例の膜分離槽における平面図
Y 膜分離ユニット S 散気装置 S1 第一散気具 S2 第二散気具 K 給気管 Ya フレーム Yb 係止アーム Sa 散気具本体 Sh 散気孔 C 開放部
フロントページの続き (72)発明者 岩橋 正修 滋賀県甲賀郡甲西町高松2番地の1 株 式会社クボタ 滋賀工場内 (72)発明者 浜田 勝己 滋賀県甲賀郡甲西町高松2番地の1 株 式会社クボタ 滋賀工場内 (72)発明者 古瀬 真一 滋賀県甲賀郡甲西町高松2番地の1 株 式会社クボタ 滋賀工場内 (56)参考文献 特開 平8−24596(JP,A) 特開 昭64−37277(JP,A) 実開 昭61−139703(JP,U) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) B01D 61/00 - 65/10 C02F 1/44
Claims (1)
- 【請求項1】 膜分離ユニットYに対して気泡を供給す
る散気装置Sを、前記膜分離ユニットYの略全巾にわた
って前記膜分離ユニットYの下方に設けてある膜分離装
置であって、前記膜分離ユニットY下方の巾方向両端側
から各別に中央部に延出させた第1散気具S1と第2散
気具S2を設けて前記散気装置Sを構成し、前記第1散
気具S1と前記第2散気具S2の夫々に給気管Kを連通
接続すると共に、各々の前記給気管Kが着脱自在に前記
膜分離ユニットYのフレームYaに取付てある膜分離装
置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP03641396A JP3258553B2 (ja) | 1996-02-23 | 1996-02-23 | 膜分離装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP03641396A JP3258553B2 (ja) | 1996-02-23 | 1996-02-23 | 膜分離装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH09225272A JPH09225272A (ja) | 1997-09-02 |
JP3258553B2 true JP3258553B2 (ja) | 2002-02-18 |
Family
ID=12469149
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP03641396A Expired - Fee Related JP3258553B2 (ja) | 1996-02-23 | 1996-02-23 | 膜分離装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3258553B2 (ja) |
Families Citing this family (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6550747B2 (en) | 1998-10-09 | 2003-04-22 | Zenon Environmental Inc. | Cyclic aeration system for submerged membrane modules |
US20100213124A1 (en) * | 2007-05-10 | 2010-08-26 | Toray Industries, Inc | Submerged membrane separation apparatus and method for operation thereof |
CA2696019A1 (en) * | 2007-10-10 | 2009-04-16 | Toray Industries, Inc. | Fine bubble diffusing tube, fine bubble diffusing device and submerged membrane separation apparatus |
JP5275082B2 (ja) * | 2009-02-23 | 2013-08-28 | 旭化成ケミカルズ株式会社 | 散気装置及び浸漬膜ユニット |
DE102010019505B4 (de) * | 2010-05-06 | 2016-09-29 | Microdyn - Nadir Gmbh | Filtrationsvorrichtung mit interner Rezirkulation |
JP5770990B2 (ja) * | 2010-09-22 | 2015-08-26 | 旭化成ケミカルズ株式会社 | 散気管、散気ユニット及び浸漬膜ユニット |
JP5845673B2 (ja) * | 2011-07-14 | 2016-01-20 | 株式会社明電舎 | 散気装置 |
CN104884394B (zh) * | 2012-10-25 | 2018-09-18 | 三菱化学株式会社 | 散气装置的运行方法 |
KR101435763B1 (ko) * | 2014-02-20 | 2014-09-25 | (주)천마기술단 | 폭기 장치 |
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