JP3258091B2 - モードロッキングレーザ装置 - Google Patents
モードロッキングレーザ装置Info
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、コヒーレントな光を発
生するレーザに係わり、特にレーザ発振モードを同期す
るモードロッキングレーザに関するものである。
生するレーザに係わり、特にレーザ発振モードを同期す
るモードロッキングレーザに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】短パルス光に対する需要が、高速光通信
および高速非線形光学現象の応用といった側面から急速
に高まっている。高速光通信では「０または１」の２値
情報を所定期間を周期として、各所定期間内に光パルス
の有無のパターンで情報を担わせる。従って、この周期
を短くすることが情報の高速伝送の大前提であり、その
ためには短パルスの生成が必須である。また、高速な非
線形光学効果を効率的に発生させたり、非線形光学効果
の結果の出力を確実に検出するには、入射光の強度を高
める必要がある。入射させる光を短パルス化すれば、入
射光の平均エネルギを大きくしなくても、すなわち入射
光の発生に係わるエネルギをそれほど消費しなくても、
瞬時ではあるが高い強度の入射光を得ることができる。
および高速非線形光学現象の応用といった側面から急速
に高まっている。高速光通信では「０または１」の２値
情報を所定期間を周期として、各所定期間内に光パルス
の有無のパターンで情報を担わせる。従って、この周期
を短くすることが情報の高速伝送の大前提であり、その
ためには短パルスの生成が必須である。また、高速な非
線形光学効果を効率的に発生させたり、非線形光学効果
の結果の出力を確実に検出するには、入射光の強度を高
める必要がある。入射させる光を短パルス化すれば、入
射光の平均エネルギを大きくしなくても、すなわち入射
光の発生に係わるエネルギをそれほど消費しなくても、
瞬時ではあるが高い強度の入射光を得ることができる。
【０００３】こうした要請に対して、１０-9秒（ｎｓｅ
ｃ）以下の短パルス化の実現が可能なＴｉ：サファイ
ア、アレキサンドライトのような比較的広い波長範囲の
発光スペクトルを持つレーザ媒質を使用して、連続発振
（以後、ＣＷと略称する）したレーザ光のモード同期を
行うモードロッキングレーザが注目されている。特に、
Ｔｉ：サファイアをレーザ媒質としたモードロッキング
レーザの研究・試作が盛んに行われており、パルス幅も
２０ｆｓｅｃ以下の実現が報告されるまで至っている
（上杉 直：「特集：ＣＬＥＯ’９２／ＱＥＬＳ’９２
８．超高速分野」；ＯｐｌｕｓＥ、１９９２年８月
号、ｐ８４〜８７）。
ｃ）以下の短パルス化の実現が可能なＴｉ：サファイ
ア、アレキサンドライトのような比較的広い波長範囲の
発光スペクトルを持つレーザ媒質を使用して、連続発振
（以後、ＣＷと略称する）したレーザ光のモード同期を
行うモードロッキングレーザが注目されている。特に、
Ｔｉ：サファイアをレーザ媒質としたモードロッキング
レーザの研究・試作が盛んに行われており、パルス幅も
２０ｆｓｅｃ以下の実現が報告されるまで至っている
（上杉 直：「特集：ＣＬＥＯ’９２／ＱＥＬＳ’９２
８．超高速分野」；ＯｐｌｕｓＥ、１９９２年８月
号、ｐ８４〜８７）。
【０００４】従来、モードロッキングを行うレーザ装置
として、図５（D.E.Spence et al.:OPTICS LETTERS/Vo
l.16,No.1/January1,1991,p42〜44；以後、従来例１と
呼ぶ）および図６（L.Spenelli et al.:Starting and G
eneration of Sub-100fs Pulses in Ti:Al2 O 3 by S
elf-Forcusing ；以後、従来例２と呼ぶ）のようなレー
ザ共振器の構造を有するものがある。これらの装置は、
いずれもレーザ媒質にＴｉ：サファイアを使用し、Ｔ
ｉ：サファイアが有する光カー効果（カー・レンズ効
果）による自己モード同期動作を利用しており、１００
ｆｓｅｃ以下のパルス幅の光パルスを得ることができ
る。
として、図５（D.E.Spence et al.:OPTICS LETTERS/Vo
l.16,No.1/January1,1991,p42〜44；以後、従来例１と
呼ぶ）および図６（L.Spenelli et al.:Starting and G
eneration of Sub-100fs Pulses in Ti:Al2 O 3 by S
elf-Forcusing ；以後、従来例２と呼ぶ）のようなレー
ザ共振器の構造を有するものがある。これらの装置は、
いずれもレーザ媒質にＴｉ：サファイアを使用し、Ｔ
ｉ：サファイアが有する光カー効果（カー・レンズ効
果）による自己モード同期動作を利用しており、１００
ｆｓｅｃ以下のパルス幅の光パルスを得ることができ
る。
【０００５】図５は、従来例１のモードロッキングレー
ザ装置の構成を示している。図示の第１の装置は、ＣＷ
アルゴンレーザからなる励起源１００と、この励起源１
００の放出するポンピング光をミラー４１３を介して受
光するブリュースター角に切り出されたＴｉ：サファイ
アからなるレーザ媒質２００と、レーザ媒質２００とと
もにレーザ共振器を形成する出力カプラ４１０と球面型
ミラー４２０および４３０と平面型ミラー４４０と、共
振光路内の波長範囲を選択する複屈折フィルタ６００と
から構成される。励起源１００から出射されたレーザ光
は、ポンピング光としてレーザ媒質２００へ照射され、
レーザ媒質２００の構成原子を励起して誘導放出可能と
する。放出した光の内、共振器の構造によって決まる共
振条件（周波数および光路の方向）を満たす光のみが増
幅作用を受け、レーザ発振する。こうして、レーザ媒質
２００の発光する光の内、共振条件を満たしたものだけ
がＣＷレーザ発振状態となる。ＣＷレーザ発振状態で、
共振器の両端を構成する出力カプラ４１０または平面型
ミラー４４０のいずれか一方に機械的衝撃を加えると、
共振しているレーザ光に擾乱が生じ、モード結合が発生
しモードロッキング状態へ遷移することがある。この結
果、約６０ｆｓｅｃの半値幅を有する光パルスの生成が
報告されている。
ザ装置の構成を示している。図示の第１の装置は、ＣＷ
アルゴンレーザからなる励起源１００と、この励起源１
００の放出するポンピング光をミラー４１３を介して受
光するブリュースター角に切り出されたＴｉ：サファイ
アからなるレーザ媒質２００と、レーザ媒質２００とと
もにレーザ共振器を形成する出力カプラ４１０と球面型
ミラー４２０および４３０と平面型ミラー４４０と、共
振光路内の波長範囲を選択する複屈折フィルタ６００と
から構成される。励起源１００から出射されたレーザ光
は、ポンピング光としてレーザ媒質２００へ照射され、
レーザ媒質２００の構成原子を励起して誘導放出可能と
する。放出した光の内、共振器の構造によって決まる共
振条件（周波数および光路の方向）を満たす光のみが増
幅作用を受け、レーザ発振する。こうして、レーザ媒質
２００の発光する光の内、共振条件を満たしたものだけ
がＣＷレーザ発振状態となる。ＣＷレーザ発振状態で、
共振器の両端を構成する出力カプラ４１０または平面型
ミラー４４０のいずれか一方に機械的衝撃を加えると、
共振しているレーザ光に擾乱が生じ、モード結合が発生
しモードロッキング状態へ遷移することがある。この結
果、約６０ｆｓｅｃの半値幅を有する光パルスの生成が
報告されている。
【０００６】図示の第２の装置は、第１の装置の共振器
内光路上、平面型ミラー４４０の手前に群速度分散補償
（以後、ＧＶＤと呼ぶ）用のプリズム対を配置した構成
であり、第１の装置と同様にモードロッキング動作を行
う。この装置では、約４５ｆｓｅｃの半値幅を有する光
パルスの生成が報告されている。
内光路上、平面型ミラー４４０の手前に群速度分散補償
（以後、ＧＶＤと呼ぶ）用のプリズム対を配置した構成
であり、第１の装置と同様にモードロッキング動作を行
う。この装置では、約４５ｆｓｅｃの半値幅を有する光
パルスの生成が報告されている。
【０００７】図６は、従来例２のモードロッキングレー
ザ装置の構成を示している。図示の装置は、従来例１の
第２の装置と基本的に同様な構造を有している。この装
置と従来例２の第２の装置との相違点は、この装置で
は、モードロッキング動作を開始するための１対の回転
可能なブリュースター板８１０、８２０と、モードロッ
キング動作を維持するための調整可能スリット８５０と
が、共振光路中に配設されていることである。この装置
では、従来例１の装置と同様にして、励起源１００から
出射されたレーザ光をポンピング光として、レーザ媒質
２００の発射する光のうち、共振器の構造によって決ま
る共振条件（周波数および光路の方向）を満たす光のみ
が増幅作用を受け、ＣＷレーザ発振状態となる。ＣＷレ
ーザ発振状態で、ブリュースター板対を互いに反対向き
に高速回転させることにより位相変調が開始され、レー
ザ媒質２００自身のカー・レンズ効果を調節可能スリッ
ト８５０を可飽和吸収体として作用させることにより、
モードロッキング動作を実行させる。
ザ装置の構成を示している。図示の装置は、従来例１の
第２の装置と基本的に同様な構造を有している。この装
置と従来例２の第２の装置との相違点は、この装置で
は、モードロッキング動作を開始するための１対の回転
可能なブリュースター板８１０、８２０と、モードロッ
キング動作を維持するための調整可能スリット８５０と
が、共振光路中に配設されていることである。この装置
では、従来例１の装置と同様にして、励起源１００から
出射されたレーザ光をポンピング光として、レーザ媒質
２００の発射する光のうち、共振器の構造によって決ま
る共振条件（周波数および光路の方向）を満たす光のみ
が増幅作用を受け、ＣＷレーザ発振状態となる。ＣＷレ
ーザ発振状態で、ブリュースター板対を互いに反対向き
に高速回転させることにより位相変調が開始され、レー
ザ媒質２００自身のカー・レンズ効果を調節可能スリッ
ト８５０を可飽和吸収体として作用させることにより、
モードロッキング動作を実行させる。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】従来のモードロッキン
グレーザ装置は以上のように構成されているので、Ｔ
ｉ：サファイアの励起光のＣＷ発振からモード同期発振
への遷移のため縦モード同期を開始させるためには、従
来例１の場合にはレーザ共振器の両端のミラーの内の一
方に機械的な衝撃を与えなければならないし、従来例２
の場合には１対のブリュースター板を高速に回転させる
という機械的な操作をしなければならないという問題点
があった。
グレーザ装置は以上のように構成されているので、Ｔ
ｉ：サファイアの励起光のＣＷ発振からモード同期発振
への遷移のため縦モード同期を開始させるためには、従
来例１の場合にはレーザ共振器の両端のミラーの内の一
方に機械的な衝撃を与えなければならないし、従来例２
の場合には１対のブリュースター板を高速に回転させる
という機械的な操作をしなければならないという問題点
があった。
【０００９】また、従来例２では可飽和吸収体と同様な
作用を、共振器内に配設された調節可能なスリットを使
用して実現しているが、Ｔｉ：サファイアからなるレー
ザ媒質の光カー効果に基づくレンズ機能の発現に伴う集
光の程度はＴｉ：サファイアに照射される光の強度に依
存するので、励起光の強度によってレーザビーム径が変
化するので、励起光の強度の変動が大きいと一度モード
ロッキング状態が確立してもそのモードロッキング状態
が不安定になってしまい、維持が困難であるという問題
点があった。
作用を、共振器内に配設された調節可能なスリットを使
用して実現しているが、Ｔｉ：サファイアからなるレー
ザ媒質の光カー効果に基づくレンズ機能の発現に伴う集
光の程度はＴｉ：サファイアに照射される光の強度に依
存するので、励起光の強度によってレーザビーム径が変
化するので、励起光の強度の変動が大きいと一度モード
ロッキング状態が確立してもそのモードロッキング状態
が不安定になってしまい、維持が困難であるという問題
点があった。
【００１０】また、従来の装置では、モードロッキング
状態において発生させるパルス光のパルス幅は装置によ
って一定に決まってしまい、異なるパルス幅のパルス光
を生成するためには共振器パラメータを変化させた他の
モードロッキングレーザ装置を用意しなければならない
という問題点があった。
状態において発生させるパルス光のパルス幅は装置によ
って一定に決まってしまい、異なるパルス幅のパルス光
を生成するためには共振器パラメータを変化させた他の
モードロッキングレーザ装置を用意しなければならない
という問題点があった。
【００１１】本発明は、以上のような問題点を解消する
ためになされたものであり、純光学的な手段でモードロ
ッキング動作を開始することができるモードロッキング
レーザ装置を提供することを目的とする。また、本発明
は、数十ｆｓｅｃ〜数ｐｓｅｃの範囲でパルス幅を可変
に設定してパルス光を発生できるモードロッキングレー
ザ装置を提供することを目的とする。
ためになされたものであり、純光学的な手段でモードロ
ッキング動作を開始することができるモードロッキング
レーザ装置を提供することを目的とする。また、本発明
は、数十ｆｓｅｃ〜数ｐｓｅｃの範囲でパルス幅を可変
に設定してパルス光を発生できるモードロッキングレー
ザ装置を提供することを目的とする。
【００１２】
【課題を解決するための手段】本発明の第１のモードロ
ッキングレーザ装置は、（ａ）光カー効果を有するレー
ザ媒質と、（ｂ）レーザ媒質を励起するための励起光を
発光する励起源と、（ｃ）光共振器の第１の端面を形成
する全反射ミラーと、（ｄ）光共振器の第２の端面を形
成する反射面の形状を変化できる空間光変調器と、
（ｅ）空間光変調器の反射面の形状を決定する反射面形
状決定手段と、を含んで構成され、空間光変調器の反射
面形状を高速で変化させることによりモード同期を開始
させることを特徴とする。ここで、空間光変調器は、光
電面に入射した像を反映して反射面を形成するマイクロ
チャンネル空間光変調器（以後、ＭＳＬＭと呼ぶ）であ
ることを特徴とし、反射面形状決定手段は、計算機
と、計算機に搭載されたプログラムの指定した画像を
表示するＣＲＴディスプレイと、から構成されＣＲＴデ
ィスプレイの画面に表示された画像をＭＳＬＭの光電面
へ入射させることを特徴とする。
ッキングレーザ装置は、（ａ）光カー効果を有するレー
ザ媒質と、（ｂ）レーザ媒質を励起するための励起光を
発光する励起源と、（ｃ）光共振器の第１の端面を形成
する全反射ミラーと、（ｄ）光共振器の第２の端面を形
成する反射面の形状を変化できる空間光変調器と、
（ｅ）空間光変調器の反射面の形状を決定する反射面形
状決定手段と、を含んで構成され、空間光変調器の反射
面形状を高速で変化させることによりモード同期を開始
させることを特徴とする。ここで、空間光変調器は、光
電面に入射した像を反映して反射面を形成するマイクロ
チャンネル空間光変調器（以後、ＭＳＬＭと呼ぶ）であ
ることを特徴とし、反射面形状決定手段は、計算機
と、計算機に搭載されたプログラムの指定した画像を
表示するＣＲＴディスプレイと、から構成されＣＲＴデ
ィスプレイの画面に表示された画像をＭＳＬＭの光電面
へ入射させることを特徴とする。
【００１３】また、本発明の他のモードロッキングレー
ザ装置は、（ａ）光カー効果を有するレーザ媒質と、
（ｂ）レーザ媒質を励起するための励起光を発光する励
起源と、（ｃ）光共振器の第１の端面を形成する全反射
ミラーと、（ｄ）光共振器の第２の端面を形成する反射
面の形状を変化できる空間光変調器と、（ｅ）光共振器
内の発振光の一部を分岐する分岐手段と、（ｆ）分岐手
段によって共振光路から取り出された光を光空間変調器
の光電面へ導く伝達手段と、を含んで構成され、自動的
にモード同期を開始させることを特徴とする。ここで、
空間光変調器は、光電面に入射した像を反映して反射面
を形成するＭＳＬＭであることを特徴とする。
ザ装置は、（ａ）光カー効果を有するレーザ媒質と、
（ｂ）レーザ媒質を励起するための励起光を発光する励
起源と、（ｃ）光共振器の第１の端面を形成する全反射
ミラーと、（ｄ）光共振器の第２の端面を形成する反射
面の形状を変化できる空間光変調器と、（ｅ）光共振器
内の発振光の一部を分岐する分岐手段と、（ｆ）分岐手
段によって共振光路から取り出された光を光空間変調器
の光電面へ導く伝達手段と、を含んで構成され、自動的
にモード同期を開始させることを特徴とする。ここで、
空間光変調器は、光電面に入射した像を反映して反射面
を形成するＭＳＬＭであることを特徴とする。
【００１４】また、本発明の別のモードロッキングレー
ザ装置は、（ａ）光カー効果を有するレーザ媒質と、
（ｂ）レーザ媒質を励起する励起源と、（ｃ）レーザ媒
質が発生する励起光を増幅する光共振器内の励起光光路
上レーザ媒質より光共振器の第１の全反射端面側に設置
され、励起光の含む波長に応じて空間展開する１対のプ
リズムと、（ｄ）光共振器の第１の全反射端面を形成す
る反射面の形状を変化できる第１の空間光変調器と、
（ｅ）光共振器の第２の全反射端面を形成する反射面の
形状を変化できる第２の空間光変調器と、（ｆ）第１の
空間光変調器の反射面の形状を決定する第１の反射面形
状決定手段と、（ｇ）第２の空間光変調器の反射面の形
状を決定する第２の反射面形状決定手段と、を含んで構
成され、第２の空間光変調器の反射面形状を高速で変化
させることによりモード同期を開始させるとともに、第
１の空間光変調器の反射面形状を調整することにより発
生レーザ光のパルス幅を変化させることを特徴とする。
ここで、第１および第２の空間光変調器は、光電面に入
射した像を反映して反射面を形成するＭＳＬＭであるこ
とを特徴とし、第１および第２の反射面形状決定手段
は、計算機と、計算機のプログラムの指定した画像
を表示するＣＲＴディスプレイと、から構成され、ＣＲ
Ｔディスプレイの画面に表示された画像をＭＳＬＭの光
電面へ入射させることを特徴とする。
ザ装置は、（ａ）光カー効果を有するレーザ媒質と、
（ｂ）レーザ媒質を励起する励起源と、（ｃ）レーザ媒
質が発生する励起光を増幅する光共振器内の励起光光路
上レーザ媒質より光共振器の第１の全反射端面側に設置
され、励起光の含む波長に応じて空間展開する１対のプ
リズムと、（ｄ）光共振器の第１の全反射端面を形成す
る反射面の形状を変化できる第１の空間光変調器と、
（ｅ）光共振器の第２の全反射端面を形成する反射面の
形状を変化できる第２の空間光変調器と、（ｆ）第１の
空間光変調器の反射面の形状を決定する第１の反射面形
状決定手段と、（ｇ）第２の空間光変調器の反射面の形
状を決定する第２の反射面形状決定手段と、を含んで構
成され、第２の空間光変調器の反射面形状を高速で変化
させることによりモード同期を開始させるとともに、第
１の空間光変調器の反射面形状を調整することにより発
生レーザ光のパルス幅を変化させることを特徴とする。
ここで、第１および第２の空間光変調器は、光電面に入
射した像を反映して反射面を形成するＭＳＬＭであるこ
とを特徴とし、第１および第２の反射面形状決定手段
は、計算機と、計算機のプログラムの指定した画像
を表示するＣＲＴディスプレイと、から構成され、ＣＲ
Ｔディスプレイの画面に表示された画像をＭＳＬＭの光
電面へ入射させることを特徴とする。
【００１５】
【作用】本発明のモードロッキングレーザ装置によれ
ば、Ｔｉ：サファイアをレーザ媒質として共振器の条件
に従ったＣＷ発振状態で、計算機のプログラムの指示に
よって高速にＣＲＴ画面に表示する画像パターンを変化
させることにより、レーザ共振器の一方の端面を構成す
るＭＳＬＭの反射面形状を高速に変化させて、共振光に
擾乱を生じさせ、共振光の縦モード間結合を促すことに
より、モードロッキング動作を開始する。このモードロ
ックされた光はモード結合の結果、強度密度が増大して
レーザ媒質のカー・レンズ効果の発現をより顕著なもの
にするので、更に集光される。この装置では、ＭＳＬＭ
の反射面形状を変化させた後、最終的にモードロックさ
れた発振ビームの集光程度に合わせた形状に設定し、モ
ードロッキング光のみを共振させて、短時間幅パルス光
を発生する。
ば、Ｔｉ：サファイアをレーザ媒質として共振器の条件
に従ったＣＷ発振状態で、計算機のプログラムの指示に
よって高速にＣＲＴ画面に表示する画像パターンを変化
させることにより、レーザ共振器の一方の端面を構成す
るＭＳＬＭの反射面形状を高速に変化させて、共振光に
擾乱を生じさせ、共振光の縦モード間結合を促すことに
より、モードロッキング動作を開始する。このモードロ
ックされた光はモード結合の結果、強度密度が増大して
レーザ媒質のカー・レンズ効果の発現をより顕著なもの
にするので、更に集光される。この装置では、ＭＳＬＭ
の反射面形状を変化させた後、最終的にモードロックさ
れた発振ビームの集光程度に合わせた形状に設定し、モ
ードロッキング光のみを共振させて、短時間幅パルス光
を発生する。
【００１６】本発明の他のモードロッキングレーザ装置
によれば、発振ビームの一部をレーザ共振器の一方の端
面を構成するＭＳＬＭの光電面に入力させ、発振ビーム
の空間的な広がりを反映してＭＳＬＭの反射面形状を決
定している。発振強度が増大してビームが集光されるに
つれ、光電面に入力される発振ビームの空間的な広がり
も小さくなる。こうして、反射面形状を変化させること
により、共振光に擾乱を生じさせ、共振光の縦モード間
結合を促し、自動的にモードロッキング動作を開始させ
る。この装置では、モードロックされた時点のビームの
空間的広がりが最も小さくなるとともに、最終的な反射
面形状はこの時点のビームの空間的広がりと同一に落ち
着き、モードロッキング光のみを共振させて、短時間幅
パルス光を発生する。
によれば、発振ビームの一部をレーザ共振器の一方の端
面を構成するＭＳＬＭの光電面に入力させ、発振ビーム
の空間的な広がりを反映してＭＳＬＭの反射面形状を決
定している。発振強度が増大してビームが集光されるに
つれ、光電面に入力される発振ビームの空間的な広がり
も小さくなる。こうして、反射面形状を変化させること
により、共振光に擾乱を生じさせ、共振光の縦モード間
結合を促し、自動的にモードロッキング動作を開始させ
る。この装置では、モードロックされた時点のビームの
空間的広がりが最も小さくなるとともに、最終的な反射
面形状はこの時点のビームの空間的広がりと同一に落ち
着き、モードロッキング光のみを共振させて、短時間幅
パルス光を発生する。
【００１７】本発明の別のモードロッキングレーザ装置
は、本発明の第１のモードロッキング装置に加えて、更
に、ＧＶＤ用プリズム対によって波長−空間展開された
ビームの共振用反射の空間領域を計算機のプログラムに
よって変化させることのできるＭＳＬＭを配置してい
る、共振波長範囲を調整して、その波長範囲内の光に対
してモードロックを施し、発生パルスの時間幅を変化さ
せ、数十ｆｓｅｃ〜数ｐｓｅｃの範囲で時間幅が可変な
発生パルス光を発生する。
は、本発明の第１のモードロッキング装置に加えて、更
に、ＧＶＤ用プリズム対によって波長−空間展開された
ビームの共振用反射の空間領域を計算機のプログラムに
よって変化させることのできるＭＳＬＭを配置してい
る、共振波長範囲を調整して、その波長範囲内の光に対
してモードロックを施し、発生パルスの時間幅を変化さ
せ、数十ｆｓｅｃ〜数ｐｓｅｃの範囲で時間幅が可変な
発生パルス光を発生する。
【００１８】
【実施例】以下、添付図面を参照して本発明の実施例を
説明する。なお、図面の説明において同一の要素には同
一の符号を付し、重複する説明を省略する。
説明する。なお、図面の説明において同一の要素には同
一の符号を付し、重複する説明を省略する。
【００１９】（第１実施例）図１は、第１実施例に係わ
るモードロッキングレーザ装置の構成図である。そし
て、これが従来の装置と比べて特徴的なことは、レーザ
共振器の一方の反射端面が単なるミラーではなく、マイ
クロチャンネル空間光変調装置（ＭＳＬＭ）３１０で構
成され、このＭＳＬＭ３１０の反射面形状を指定するた
めの計算機７００とこの計算機７００上で実行されるプ
ログラムの指示に従って画像を表示するＣＲＴ７１０が
配置され、ＣＲＴ７１０に表示された画像をＭＳＬＭ３
１０に入力する点が異なる。この装置は図示のように、
ＣＷアルゴンレーザからなる励起源１００と、この励起
源１００の放出するポンピング光をミラー４１１、４１
２およびレンズ４１５を介して受光するブリュースター
角に切り出されたＴｉ：サファイアからなるレーザ媒質
２００と、レーザ媒質２００とともにレーザ共振器を形
成する反射面３１２を有するＭＳＬＭ３１０と出力カプ
ラ４５０と球面型ミラー４２０、４３０とＧＶＤ用プリ
ズム対５１０、５２０と平面型ミラー４４０と、共振光
路内の波長範囲を選択する複屈折フィルタ６００と、Ｍ
ＳＬＭ３１０の反射面形状を指定するための計算機７０
０および計算機７００上で実行されるプログラムの指示
に従って画像を表示するＣＲＴ７１０と、から構成され
る。ここで用いるＭＳＬＭは、反射面が７００〜１００
０ｎｍの波長範囲でほぼ０〜１００％の反射率範囲でミ
ラー化が可能であり、かつ、計算機７００を用いてＣＲ
Ｔ７１０に表示した濃淡を有する画像を光電面３１１側
へ入力することにより任意の空間的反射率分布を有する
ミラーを形成することができる。
るモードロッキングレーザ装置の構成図である。そし
て、これが従来の装置と比べて特徴的なことは、レーザ
共振器の一方の反射端面が単なるミラーではなく、マイ
クロチャンネル空間光変調装置（ＭＳＬＭ）３１０で構
成され、このＭＳＬＭ３１０の反射面形状を指定するた
めの計算機７００とこの計算機７００上で実行されるプ
ログラムの指示に従って画像を表示するＣＲＴ７１０が
配置され、ＣＲＴ７１０に表示された画像をＭＳＬＭ３
１０に入力する点が異なる。この装置は図示のように、
ＣＷアルゴンレーザからなる励起源１００と、この励起
源１００の放出するポンピング光をミラー４１１、４１
２およびレンズ４１５を介して受光するブリュースター
角に切り出されたＴｉ：サファイアからなるレーザ媒質
２００と、レーザ媒質２００とともにレーザ共振器を形
成する反射面３１２を有するＭＳＬＭ３１０と出力カプ
ラ４５０と球面型ミラー４２０、４３０とＧＶＤ用プリ
ズム対５１０、５２０と平面型ミラー４４０と、共振光
路内の波長範囲を選択する複屈折フィルタ６００と、Ｍ
ＳＬＭ３１０の反射面形状を指定するための計算機７０
０および計算機７００上で実行されるプログラムの指示
に従って画像を表示するＣＲＴ７１０と、から構成され
る。ここで用いるＭＳＬＭは、反射面が７００〜１００
０ｎｍの波長範囲でほぼ０〜１００％の反射率範囲でミ
ラー化が可能であり、かつ、計算機７００を用いてＣＲ
Ｔ７１０に表示した濃淡を有する画像を光電面３１１側
へ入力することにより任意の空間的反射率分布を有する
ミラーを形成することができる。
【００２０】この装置では、まず、ＣＲＴ７１０に表示
する画像を調整してＭＳＬＭ３１０の反射面側で数ｍｍ
径の略円形内部のみの反射率を高くした状態（パターン
Ａ；図２（ｂ）参照）で、励起源１００から出射された
レーザ光をポンピング光としてレーザ媒質２００へ照射
し、レーザ媒質２００の構成原子を励起して誘導放出可
能とする。放出した光の内、共振器の構造によって決ま
る共振条件（周波数および光路の方向）を満たす光のみ
が増幅作用を受け、レーザ発振する。こうして、レーザ
媒質２００の発光する光の内、共振条件を満たしたもの
だけがＣＷレーザ発振状態となる。更に励起を続行し、
励起光強度を高めると、レーザ媒質２００のカー・レン
ズ効果により励起光が集光されてくる（図２（ａ）参
照）。このとき、計算機７００の指示によりＣＲＴ７１
０に表示する画像を変化させ、ＭＳＬＭ３１０の反射面
形状を略１ｍｍ径の円形内部のみが高反射率を有するよ
うに高速に変化させる（パターンＢ；図２（ｂ）参
照）。このとき反射面形状の変化は、ＣＲＴ７１０表示
の画像の変化に対してほぼ同時に追従するので、テレビ
レートあるいはそれ以上高速で変化する。こうして、発
振ビームに対して物理的な衝撃を与え、擾乱を発生させ
ると、発振ビームの波長モード（共振の縦モード）間結
合が確率的に発生してモードロッキング動作が開始さ
れ、高いピークを有し時間幅の短いパルス光が発生す
る。このパルス光は高いピークを有するので、このパル
ス光に対するレーザ媒質２００におけるカー・レンズ効
果は顕著になり、ビームは益々集光される。このように
して、共振器内にはＭＳＬＭ３１０の反射面側３１２に
おける高反射率部分のパターンに相当した短パルスのみ
が残る。なお、パターンＡとパターンＢとの間のＣＲＴ
７１０上の画像切替操作は複数回繰り返してもよい。但
し、最終的には、パターンＢで固定しなければならな
い。
する画像を調整してＭＳＬＭ３１０の反射面側で数ｍｍ
径の略円形内部のみの反射率を高くした状態（パターン
Ａ；図２（ｂ）参照）で、励起源１００から出射された
レーザ光をポンピング光としてレーザ媒質２００へ照射
し、レーザ媒質２００の構成原子を励起して誘導放出可
能とする。放出した光の内、共振器の構造によって決ま
る共振条件（周波数および光路の方向）を満たす光のみ
が増幅作用を受け、レーザ発振する。こうして、レーザ
媒質２００の発光する光の内、共振条件を満たしたもの
だけがＣＷレーザ発振状態となる。更に励起を続行し、
励起光強度を高めると、レーザ媒質２００のカー・レン
ズ効果により励起光が集光されてくる（図２（ａ）参
照）。このとき、計算機７００の指示によりＣＲＴ７１
０に表示する画像を変化させ、ＭＳＬＭ３１０の反射面
形状を略１ｍｍ径の円形内部のみが高反射率を有するよ
うに高速に変化させる（パターンＢ；図２（ｂ）参
照）。このとき反射面形状の変化は、ＣＲＴ７１０表示
の画像の変化に対してほぼ同時に追従するので、テレビ
レートあるいはそれ以上高速で変化する。こうして、発
振ビームに対して物理的な衝撃を与え、擾乱を発生させ
ると、発振ビームの波長モード（共振の縦モード）間結
合が確率的に発生してモードロッキング動作が開始さ
れ、高いピークを有し時間幅の短いパルス光が発生す
る。このパルス光は高いピークを有するので、このパル
ス光に対するレーザ媒質２００におけるカー・レンズ効
果は顕著になり、ビームは益々集光される。このように
して、共振器内にはＭＳＬＭ３１０の反射面側３１２に
おける高反射率部分のパターンに相当した短パルスのみ
が残る。なお、パターンＡとパターンＢとの間のＣＲＴ
７１０上の画像切替操作は複数回繰り返してもよい。但
し、最終的には、パターンＢで固定しなければならな
い。
【００２１】（第２実施例）図３は、第２実施例に係わ
るモードロッキングレーザ装置の構成図である。この装
置は、励起光源および共振器の構成は第１実施例と同一
である。図示の通り、この装置と第１実施例の装置との
相違点は、ＭＳＬＭ３１０の反射面形状の決定の手段で
あり、この装置では、計算機７００およびＣＲＴ７１０
の代わりに、ＭＳＬＭ３１０の反射面側３１２に入射す
る発振ビームの一部を取り出すハーフミラー４６０と、
この取り出した発振ビームをＭＳＬＭ３１０の光電面３
１１に導くミラー４７０、４８０、４９０とテレスコー
プ９００とで構成している。ここで、テレスコープ９０
０は凸レンズおよび凹レンズを組み合わせて形成され、
光電面３１１上に投影する像の形状を調節を行う。
るモードロッキングレーザ装置の構成図である。この装
置は、励起光源および共振器の構成は第１実施例と同一
である。図示の通り、この装置と第１実施例の装置との
相違点は、ＭＳＬＭ３１０の反射面形状の決定の手段で
あり、この装置では、計算機７００およびＣＲＴ７１０
の代わりに、ＭＳＬＭ３１０の反射面側３１２に入射す
る発振ビームの一部を取り出すハーフミラー４６０と、
この取り出した発振ビームをＭＳＬＭ３１０の光電面３
１１に導くミラー４７０、４８０、４９０とテレスコー
プ９００とで構成している。ここで、テレスコープ９０
０は凸レンズおよび凹レンズを組み合わせて形成され、
光電面３１１上に投影する像の形状を調節を行う。
【００２２】この装置では、励起源１００から出射され
たレーザ光をポンピング光としてレーザ媒質２００へ照
射し、レーザ媒質２００の構成原子を励起して誘導放出
可能とする。放出した光の内、共振器の構造によって決
まる共振条件（周波数および光路の方向）を満たす光の
みが増幅作用を受け、レーザ発振する。こうしてレーザ
媒質２００の発光する光の内、共振条件を満たしたもの
だけがＣＷレーザ発振状態となる。この時点では、発振
光強度はそれほど大きくないのでレーザ媒質２００にお
けるカー・レンズ効果はほとんど発生せず集光効果は充
分小さいので、ビーム径は大きい。更に励起を続行し、
励起光強度を高めると、レーザ媒質２００のカー・レン
ズ効果の発現により励起光が集光されてくる。この集光
動作にともない、光電面３１１上に投影される発振ビー
ム形状の大きさも小さくなる。こうして、発振ビームに
擾乱を発生させると、発振ビームの波長モード（共振の
縦モード）間結合が確率的に発生してモードロッキング
動作が開始され、高いピークを有し時間幅の短いパルス
光が発生する。このパルス光は高いピークを有するの
で、このパルス光に対するレーザ媒質２００におけるカ
ー・レンズ効果は顕著になり、ビームは益々集光され
る。このようにして、共振器内にはＭＳＬＭ３１０の反
射面側３１２における高反射率部分のパターンに相当し
た短パルスのみが残る。
たレーザ光をポンピング光としてレーザ媒質２００へ照
射し、レーザ媒質２００の構成原子を励起して誘導放出
可能とする。放出した光の内、共振器の構造によって決
まる共振条件（周波数および光路の方向）を満たす光の
みが増幅作用を受け、レーザ発振する。こうしてレーザ
媒質２００の発光する光の内、共振条件を満たしたもの
だけがＣＷレーザ発振状態となる。この時点では、発振
光強度はそれほど大きくないのでレーザ媒質２００にお
けるカー・レンズ効果はほとんど発生せず集光効果は充
分小さいので、ビーム径は大きい。更に励起を続行し、
励起光強度を高めると、レーザ媒質２００のカー・レン
ズ効果の発現により励起光が集光されてくる。この集光
動作にともない、光電面３１１上に投影される発振ビー
ム形状の大きさも小さくなる。こうして、発振ビームに
擾乱を発生させると、発振ビームの波長モード（共振の
縦モード）間結合が確率的に発生してモードロッキング
動作が開始され、高いピークを有し時間幅の短いパルス
光が発生する。このパルス光は高いピークを有するの
で、このパルス光に対するレーザ媒質２００におけるカ
ー・レンズ効果は顕著になり、ビームは益々集光され
る。このようにして、共振器内にはＭＳＬＭ３１０の反
射面側３１２における高反射率部分のパターンに相当し
た短パルスのみが残る。
【００２３】（第３実施例）図４は、第３実施例に係わ
るモードロッキングレーザ装置の構成図である。図示の
通り、この装置は、第１実施例の装置におけるレーザ共
振器の一方の端面を構成するミラー４４０の代わりに、
反射面形状を変更可能なＭＳＬＭ３２０を使用して構成
している。ここで、ＭＳＬＭ３２０の反射面形状の操作
は、計算機７００上で実行されるプログラムの指示によ
る画像を表示するＣＲＴ７２０上の画像をＭＳＬＭ３２
０の光電面３２１へ投影することによって実施する。
るモードロッキングレーザ装置の構成図である。図示の
通り、この装置は、第１実施例の装置におけるレーザ共
振器の一方の端面を構成するミラー４４０の代わりに、
反射面形状を変更可能なＭＳＬＭ３２０を使用して構成
している。ここで、ＭＳＬＭ３２０の反射面形状の操作
は、計算機７００上で実行されるプログラムの指示によ
る画像を表示するＣＲＴ７２０上の画像をＭＳＬＭ３２
０の光電面３２１へ投影することによって実施する。
【００２４】この装置では、第１実施例の装置における
共振条件を満たす励起光に対して、更に、ＧＶＤ用プリ
ズム対５１０、５２０によって波長−空間展開されたビ
ームの反射領域をＭＳＬＭ３２０の反射面形状を調節し
て制限することにより、発振ビームに含まれる波長範囲
を選択して、次ぎの数式で決まるパルス時間幅の短パル
ス光を発生する。
共振条件を満たす励起光に対して、更に、ＧＶＤ用プリ
ズム対５１０、５２０によって波長−空間展開されたビ
ームの反射領域をＭＳＬＭ３２０の反射面形状を調節し
て制限することにより、発振ビームに含まれる波長範囲
を選択して、次ぎの数式で決まるパルス時間幅の短パル
ス光を発生する。
【００２５】Δｔ／Δλ＝Ｃ・・・（１） ここで、Δｔ：パルス光の時間幅 Δλ：パルス光に含まれる光の波長幅 Ｃ：レーザ共振器の構成・構造によって決まる定数 したがって、ＭＳＬＭ３２０の反射面形状を小さくする
と、発振ビームに含まれる光の波長範囲が狭くなるの
で、パルス時間幅が増大する。この装置を使用すること
により、数１０ｆｓｅｃ〜数ｐｓｅｃの範囲でパルス時
間幅を制御することができる。
と、発振ビームに含まれる光の波長範囲が狭くなるの
で、パルス時間幅が増大する。この装置を使用すること
により、数１０ｆｓｅｃ〜数ｐｓｅｃの範囲でパルス時
間幅を制御することができる。
【００２６】本発明は、上記実施例に限定されるもので
はなく、様々な変形が可能である。例えば、レーザ共振
器の端面の反射面形状を可変とするために、ＣＲＴとＭ
ＳＬＭの組み合わせを開示したが、ＭＳＬＭの代わりに
光アドレス型の液晶ライトバルブを使用してもよい。ま
た、直接電気信号によって書き込み可能な、電気アドレ
ス型の空間光変調器を使用することも可能であり、この
ときはＣＲＴが不要となる。また、カー効果を有するレ
ーザ媒質として、Ｔｉ：サファイアの代わりに、ＬｉＳ
ＡＦ（Ｃｒ：ＬｉＳｒＡｌＦ6 ）、ＬｉＣＡＦ（Ｃｒ：
ＬｉＣａＡｌＦ6 ）、Ｃｒ：Ｆｏｒｓｔｅｒｉｔｅ、Ｃ
ｒ：ＹＡＧなどを使用してもよい。
はなく、様々な変形が可能である。例えば、レーザ共振
器の端面の反射面形状を可変とするために、ＣＲＴとＭ
ＳＬＭの組み合わせを開示したが、ＭＳＬＭの代わりに
光アドレス型の液晶ライトバルブを使用してもよい。ま
た、直接電気信号によって書き込み可能な、電気アドレ
ス型の空間光変調器を使用することも可能であり、この
ときはＣＲＴが不要となる。また、カー効果を有するレ
ーザ媒質として、Ｔｉ：サファイアの代わりに、ＬｉＳ
ＡＦ（Ｃｒ：ＬｉＳｒＡｌＦ6 ）、ＬｉＣＡＦ（Ｃｒ：
ＬｉＣａＡｌＦ6 ）、Ｃｒ：Ｆｏｒｓｔｅｒｉｔｅ、Ｃ
ｒ：ＹＡＧなどを使用してもよい。
【００２７】
【発明の効果】以上、詳細に説明した通り、本発明のモ
ードロッキングレーザ装置によれば、レーザ共振器の一
方の反射端面を、計算機の指示によって反射面形状を高
速に変化させることのできる空間光変調器で構成し、計
算機の出力画像を高速に変化させることにより共振光に
擾乱を与えるようにしたので、機械的操作無しに純光学
的にモードロッキング動作を開始できる。
ードロッキングレーザ装置によれば、レーザ共振器の一
方の反射端面を、計算機の指示によって反射面形状を高
速に変化させることのできる空間光変調器で構成し、計
算機の出力画像を高速に変化させることにより共振光に
擾乱を与えるようにしたので、機械的操作無しに純光学
的にモードロッキング動作を開始できる。
【００２８】また、本発明の他のモードロッキングレー
ザ装置によれば、発振ビームの空間的広がりをそのまま
反映して、レーザ共振器の一方の反射面の形状を形成す
ることにしたので、純光学的、かつ、自動的にモードロ
ッキング動作を開始できる。
ザ装置によれば、発振ビームの空間的広がりをそのまま
反映して、レーザ共振器の一方の反射面の形状を形成す
ることにしたので、純光学的、かつ、自動的にモードロ
ッキング動作を開始できる。
【００２９】また、本発明の別のモードロッキングレー
ザ装置によれば、本発明のモードロッキングレーザ装置
に加えて、ＧＶＤ用プリズム対によって波長−空間展開
されたビームに対する反射面形状を可変とすることによ
り、共振光の波長範囲を選択可能としたので、純光学的
にモードロッキング動作を開始できるとともに、数十ｆ
ｓｅｃ〜数ｐｓｅｃの範囲で時間幅が可変なパルス光を
発生できる。
ザ装置によれば、本発明のモードロッキングレーザ装置
に加えて、ＧＶＤ用プリズム対によって波長−空間展開
されたビームに対する反射面形状を可変とすることによ
り、共振光の波長範囲を選択可能としたので、純光学的
にモードロッキング動作を開始できるとともに、数十ｆ
ｓｅｃ〜数ｐｓｅｃの範囲で時間幅が可変なパルス光を
発生できる。
【図１】本発明の第１実施例のモードロッキングレーザ
装置の構成図である。
装置の構成図である。
【図２】第１実施例のモードロッキングレーザ装置にお
ける反射面形成の説明図である。
ける反射面形成の説明図である。
【図３】本発明の第２実施例のモードロッキングレーザ
装置の構成図である。
装置の構成図である。
【図４】本発明の第３実施例のモードロッキングレーザ
装置の構成図である。
装置の構成図である。
【図５】従来例１のモードロッキングレーザ装置の構成
図である。
図である。
【図６】従来例２のモードロッキングレーザ装置の構成
図である。
図である。
１００…励起源、２００…レーザ媒質、３１０，３２０
…空間光変調器、４１０，４５０，４６０…ハーフミラ
ー、４１１，４１２，４２０，４３０，４４０，４７
０，４８０，４９０…ミラー、５１０，５２０…ＧＶＤ
用プリズム、６００…複屈折フィルタ、７００…計算
機、７１０，７２０…ＣＲＴ、８１０，８２０…ブリュ
ースター板、８５０…スリット、９００…テレスコー
プ。
…空間光変調器、４１０，４５０，４６０…ハーフミラ
ー、４１１，４１２，４２０，４３０，４４０，４７
０，４８０，４９０…ミラー、５１０，５２０…ＧＶＤ
用プリズム、６００…複屈折フィルタ、７００…計算
機、７１０，７２０…ＣＲＴ、８１０，８２０…ブリュ
ースター板、８５０…スリット、９００…テレスコー
プ。
Claims (8)
- 【請求項１】 光カー効果を有するレーザ媒質と、 前記レーザ媒質を励起するための励起光を発光する励起
源と、 光共振器の第１の端面を形成する全反射ミラーと、 前記光共振器の第２の端面を形成する反射面の形状を変
化できる空間光変調器と、 前記空間光変調器の反射面の形状を決定する反射面形状
決定手段と、 前記空間光変調器の反射面の形状を高速で変化させる手
段と、 を含んで構成されることを特徴とするモードロッキング
レーザ装置。 - 【請求項２】 前記空間光変調器は、光電面に入射した
像を反映して反射面を形成するマイクロチャンネル空間
光変調器であることを特徴とする請求項１記載のモード
ロッキングレーザ装置。 - 【請求項３】 前記反射面形状決定手段は、計算機と、
前記計算機に搭載されたプログラムの指定した画像を表
示するＣＲＴディスプレイと、から構成され、前記ＣＲ
Ｔディスプレイの画面に表示された画像を前記マイクロ
チャンネル空間光変調器の光電面へ入射させることを特
徴とする請求項２記載のモードロッキングレーザ装置。 - 【請求項４】 光カー効果を有するレーザ媒質と、 前記レーザ媒質を励起するための励起光を発光する励起
源と、 光共振器の第１の端面を形成する全反射ミラーと、 前記光共振器の第２の端面を形成する反射面の形状を変
化できる空間光変調器と、 前記光共振器内の発振光の一部を分岐する分岐手段と、 前記分岐手段によって共振光路から取り出された光を、
前記空間光変調器へ導く伝達手段と、 を含んで構成され、前記空間光変調器の反射面形状を前
記伝達手段を介して前記空間光変調器に入力される像を
反映して形成し、自動的にモード同期を開始させること
を特徴とするモードロッキングレーザ装置。 - 【請求項５】 前記空間光変調器は、光電面に入射した
像を反映して反射面を形成するマイクロチャンネル空間
光変調器であることを特徴とする請求項４記載のモード
ロッキングレーザ装置。 - 【請求項６】 光カー効果を有するレーザ媒質と、 前記レーザ媒質を励起する励起源と、 前記レーザ媒質が発生する励起光を増幅する光共振器内
の励起光光路上レーザ媒質より前記光共振器の第１の全
反射端面側に設置され、励起光の含む波長に応じて空間
展開する１対のプリズムと、 前記光共振器の第１の全反射端面を形成する反射面の形
状を変化できる第１の空間光変調器と、 前記光共振器の第２の全反射端面を形成する反射面の形
状を変化できる第２の空間光変調器と、 前記第１の空間光変調器の反射面の形状を決定する第１
の反射面形状決定手段と、 前記第２の空間光変調器の反射面の形状を決定する第２
の反射面形状決定手段と、 前記第１の空間光変調器の反射面面形状を調整する手段
と、 前記第２の空間光変調器の反射面形状を高速で変化させ
る手段と、 を含んで構成されることを特徴とするモードロッキング
レーザ装置。 - 【請求項７】 前記第１および第２の空間光変調器は、
光電面に入射した像を反映して反射面を形成するマイク
ロチャンネル空間光変調器であることを特徴とする請求
項６記載のモードロッキングレーザ装置。 - 【請求項８】 前記第１および第２の反射面形状決定手
段は、計算機と前記計算機のプログラムの指定した画像
を表示するＣＲＴディスプレイと、から構成され、前記
ＣＲＴディスプレイの画面に表示された画像を前記マイ
クロチャンネル空間光変調器の光電面へ入射させること
を特徴とする請求項７記載のモードロッキングレーザ装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29142792A JP3258091B2 (ja) | 1992-10-29 | 1992-10-29 | モードロッキングレーザ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29142792A JP3258091B2 (ja) | 1992-10-29 | 1992-10-29 | モードロッキングレーザ装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06140701A JPH06140701A (ja) | 1994-05-20 |
| JP3258091B2 true JP3258091B2 (ja) | 2002-02-18 |
Family
ID=17768741
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP29142792A Expired - Fee Related JP3258091B2 (ja) | 1992-10-29 | 1992-10-29 | モードロッキングレーザ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3258091B2 (ja) |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002368312A (ja) * | 2001-06-06 | 2002-12-20 | Kobe University | 極短パルスレーザ |
| CN100375346C (zh) * | 2003-12-31 | 2008-03-12 | 中国科学院西安光学精密机械研究所 | 多波长交叉锁模飞秒激光器核心插件 |
| JP2006196638A (ja) * | 2005-01-13 | 2006-07-27 | Institute Of Physical & Chemical Research | パルスレーザーのレーザー発振制御方法およびパルスレーザーシステム |
| JP2006196645A (ja) * | 2005-01-13 | 2006-07-27 | Institute Of Physical & Chemical Research | パルスレーザーのレーザー発振制御方法およびパルスレーザーシステム |
| JP2007110089A (ja) * | 2005-09-15 | 2007-04-26 | Aisin Seiki Co Ltd | 高パワー短光パルス発生方法及び高パワー短光パルス発生装置 |
-
1992
- 1992-10-29 JP JP29142792A patent/JP3258091B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH06140701A (ja) | 1994-05-20 |
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