JP3247213U - X-ray generator - Google Patents

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Abstract

【課題】照射対象物に与える悪影響を抑制することが可能なX線発生装置を提供する。【解決手段】X線発生装置1は、出射方向AにX線を出射するX線管2と、X線管2の一部を収容すると共に絶縁性の液体が封入されたX線管収容部2Sと、X線管収容部2Sを収容する第1収容室41を含む筐体4と、筐体4の外部から内部へ空気を吸引する吸気口5と、筐体4の内部から外部へ空気を排出する排気口6と、X線管収容部2Sに対向配置され筐体4の内部において吸気口5から排気口6へ空気が流通するように空気を圧送するファン7と、を備える。X線管2の出射窓部22は、筐体4の出射方向A側に配置され、排気口6は、筐体4の出射方向A側の天壁部41A以外の壁部に形成されている。【選択図】図2[Problem] To provide an X-ray generator capable of suppressing adverse effects on an object to be irradiated. [Solution] The X-ray generator 1 includes an X-ray tube 2 that emits X-rays in an emission direction A, an X-ray tube housing 2S that houses a part of the X-ray tube 2 and is filled with an insulating liquid, a housing 4 including a first housing chamber 41 that houses the X-ray tube housing 2S, an intake port 5 that draws air from the outside of the housing 4 to the inside, an exhaust port 6 that exhausts air from the inside of the housing 4 to the outside, and a fan 7 that is disposed opposite the X-ray tube housing 2S and pressurizes air so that air flows from the intake port 5 to the exhaust port 6 inside the housing 4. An emission window 22 of the X-ray tube 2 is disposed on the emission direction A side of the housing 4, and the exhaust port 6 is formed in a wall portion other than a top wall portion 41A of the housing 4 on the emission direction A side. [Selected Figure] Figure 2

Description

本開示は、X線発生装置に関する。 This disclosure relates to an X-ray generating device.

X線を出射するX線管と、X線管を収容する筐体と、を備えたX線発生装置が知られている。X線発生装置では、放熱フィン及び冷却ファンを含む放熱機構を設け、X線管で発生した熱を当該放熱機構により筐体外へ放出することが図られている(例えば、特許文献1参照)。 An X-ray generating device is known that includes an X-ray tube that emits X-rays and a housing that houses the X-ray tube. The X-ray generating device is provided with a heat dissipation mechanism that includes heat dissipation fins and a cooling fan, and the heat generated by the X-ray tube is dissipated outside the housing by the heat dissipation mechanism (see, for example, Patent Document 1).

特許第5019760号公報Patent No. 5019760

ところで、X線発生装置では、筐体に吸気口及び排気口を形成し、空気(冷却気体)を吸気口から吸引して排気口から排出することで、筐体内のX線管で発生した熱を筐体外へ放出する構成が考えられる。しかし、このような構成では、X線が照射される照射対象物(以下、単に「照射対象物」ともいう)に対して排気口から排出された空気が当たる場合があり、当該空気の熱及び風量による照射対象物への悪影響が懸念される。 In an X-ray generating device, a configuration is considered in which an intake port and an exhaust port are formed in the housing, and air (cooling gas) is sucked in through the intake port and exhausted through the exhaust port, thereby dissipating heat generated by the X-ray tube inside the housing to the outside of the housing. However, in such a configuration, the air exhausted from the exhaust port may come into contact with the irradiation target (hereinafter simply referred to as the "irradiation target") to which the X-rays are irradiated, and there is a concern that the heat and volume of the air may adversely affect the irradiation target.

そこで、本開示は、照射対象物に与える悪影響を抑制することが可能なX線発生装置を提供することを目的とする。 Therefore, the present disclosure aims to provide an X-ray generating device that can suppress adverse effects on the object to be irradiated.

本開示のX線発生装置は、[1]「第1方向を出射方向としてX線を出射するX線管と、前記X線管の少なくとも一部を収容すると共に絶縁性の液体が封入されたX線管収容部と、前記X線管収容部を収容する第1収容室を含む筐体と、前記筐体の外部から内部へ冷却気体を吸引する1又は複数の吸気口と、前記筐体の内部から外部へ冷却気体を排出する1又は複数の排気口と、前記X線管収容部に対向配置され、前記筐体の内部において前記吸気口から前記排気口へ冷却気体が流通するように冷却気体を圧送するファンと、を備え、前記X線管の出射窓部は、前記筐体の前記第1方向側に配置され、前記排気口は、前記筐体の前記第1方向側の第1壁部以外の壁部に形成されている、X線発生装置」である。 The X-ray generating device of the present disclosure is [1] "an X-ray generating device comprising: an X-ray tube that emits X-rays with a first direction as the emission direction; an X-ray tube housing that houses at least a portion of the X-ray tube and is filled with an insulating liquid; a housing including a first housing chamber that houses the X-ray tube housing; one or more intake ports that draw cooling gas from the outside of the housing to the inside; one or more exhaust ports that exhaust cooling gas from the inside of the housing to the outside; and a fan that is arranged opposite the X-ray tube housing and pressurizes the cooling gas so that the cooling gas flows from the intake port to the exhaust port inside the housing, the exit window of the X-ray tube being arranged on the first direction side of the housing, and the exhaust port being formed in a wall portion other than the first wall portion on the first direction side of the housing."

このX線発生装置では、筐体の第1方向側に配置された出射窓部から第1方向にX線が出射され、照射対象物にX線が照射される。ここで、排気口が筐体の第1方向側の第1壁部以外の壁部に形成されているため、筐体から排出された冷却気体が照射対象物に当たりにくくなり、当該冷却気体の熱及び風量による照射対象物への悪影響を抑えることができる。すなわち、照射対象物に与える悪影響を抑制することが可能となる。 In this X-ray generating device, X-rays are emitted in a first direction from an exit window located on the first direction side of the housing, and the X-rays are irradiated onto the object to be irradiated. Here, because the exhaust port is formed in a wall other than the first wall on the first direction side of the housing, the cooling gas discharged from the housing is less likely to hit the object to be irradiated, and the adverse effects on the object to be irradiated due to the heat and airflow of the cooling gas can be suppressed. In other words, it is possible to suppress the adverse effects on the object to be irradiated.

本開示のX線発生装置は、[2]「前記排気口は、前記第1収容室を構成する壁部であって前記第1方向と交差する第2方向側の第2壁部に形成され、前記吸気口は、前記第1壁部に形成されている、上記[1]に記載のX線発生装置」であってもよい。この場合、排気口が第2壁部に形成されているため、筐体から排出された冷却気体が照射対象物に当たりにくくなり、照射対象物に与える悪影響を抑制することが可能となる。また、吸気口が第1壁部に形成されていることから、例えば、照射対象物の周辺の冷却気体が第1壁部に向かって流れるため、当該流れでもって排気口から排出された冷却気体が照射対象物に一層当たりにくくなる。 The X-ray generating device of the present disclosure may be [2] "the X-ray generating device described in [1] above, in which the exhaust port is formed in a second wall portion that is a wall portion constituting the first storage chamber and is located on the second direction side intersecting with the first direction, and the intake port is formed in the first wall portion." In this case, since the exhaust port is formed in the second wall portion, it is difficult for the cooling gas discharged from the housing to hit the irradiation object, and it is possible to suppress adverse effects on the irradiation object. In addition, since the intake port is formed in the first wall portion, for example, the cooling gas around the irradiation object flows toward the first wall portion, and this flow makes it even more difficult for the cooling gas discharged from the exhaust port to hit the irradiation object.

本開示のX線発生装置は、[3]「前記ファンは、前記排気口又は前記第1収容室の内部における前記排気口に近接する位置に設けられている、上記[1]又は[2]に記載のX線発生装置」であってもよい。この場合、ファンにより効果的に吸気口から排気口へ冷却気体を流通させることができる。 The X-ray generating device of the present disclosure may be [3] "the X-ray generating device described in [1] or [2] above, in which the fan is provided at a position adjacent to the exhaust port or the exhaust port inside the first storage chamber." In this case, the fan can effectively circulate the cooling gas from the intake port to the exhaust port.

本開示のX線発生装置は、[4]「前記排気口は、前記第1収容室を構成する壁部であって前記第1方向と交差する第2方向側の第2壁部に形成され、前記吸気口は、前記第1収容室を構成する壁部であって前記第2壁部と対向する第3壁部に形成されている、上記[1]に記載のX線発生装置」であってもよい。この場合、排気口が第2壁部に形成されているため、筐体から排出された冷却気体が照射対象物に当たりにくくなり、照射対象物に与える悪影響を抑制することが可能となる。また、第2壁部と対向する第3壁部に吸気口が形成されているため、吸気口から排気口へ冷却気体をスムーズに流通させることができる。 The X-ray generating device of the present disclosure may be [4] "the X-ray generating device described in [1] above, in which the exhaust port is formed in a second wall portion constituting the first storage chamber on the second direction side intersecting with the first direction, and the intake port is formed in a third wall portion constituting the first storage chamber and facing the second wall portion." In this case, since the exhaust port is formed in the second wall portion, the cooling gas discharged from the housing is less likely to hit the irradiation object, making it possible to suppress adverse effects on the irradiation object. In addition, since the intake port is formed in the third wall portion facing the second wall portion, the cooling gas can be smoothly circulated from the intake port to the exhaust port.

本開示のX線発生装置は、[5]「前記ファンは、前記排気口又は前記第1収容室の内部における前記排気口に近接する位置に設けられている、上記[4]に記載のX線発生装置」であってもよい。この場合、ファンにより効果的に吸気口から排気口へ冷却気体を流通させることができる。 The X-ray generating device of the present disclosure may be [5] "the X-ray generating device described in [4] above, in which the fan is provided at a position adjacent to the exhaust port or the exhaust port inside the first storage chamber." In this case, the fan can effectively circulate the cooling gas from the intake port to the exhaust port.

本開示のX線発生装置は、[6]「前記ファンは、前記吸気口又は前記第1収容室の内部における前記吸気口に近接する位置に設けられている、上記[4]に記載のX線発生装置」であってもよい。この場合、ファンにより効果的に吸気口から排気口へ冷却気体を流通させることができる。 The X-ray generating device of the present disclosure may be [6] "the X-ray generating device described in [4] above, in which the fan is provided at a position adjacent to the intake port or the intake port inside the first storage chamber." In this case, the fan can effectively circulate the cooling gas from the intake port to the exhaust port.

本開示のX線発生装置は、[7]「前記第1壁部には、前記筐体の内部と外部との間で冷却気体を通気する通気口が形成されていない、上記[1]及び[4]~[6]の何れかに記載のX線発生装置」であってもよい。この場合、筐体から排出された冷却気体が照射対象物により一層当たりにくくなる。 The X-ray generating device of the present disclosure may be [7] "the X-ray generating device described in any one of [1] and [4] to [6] above, in which the first wall portion does not have a vent hole for ventilating the cooling gas between the inside and outside of the housing." In this case, the cooling gas discharged from the housing is less likely to impinge on the irradiation target.

本開示のX線発生装置は、[8]「前記筐体は、前記X線管に電力を供給する電源部を収容する第2収容室を含み、前記第1収容室と前記第2収容室とは、それぞれの内部が仕切り壁部により仕切られ、前記仕切り壁部には、前記第1収容室と前記第2収容室とを連通する連通口が形成され、前記排気口は、前記第1収容室及び前記第2収容室の何れか一方を構成する壁部に形成され、前記吸気口は、前記第1収容室及び前記第2収容室の何れか他方を構成する壁部に形成されている、上記[1]に記載のX線発生装置」であってもよい。この場合、排気口又は吸気口を照射対象物から遠ざけることができる。 The X-ray generating device of the present disclosure may be the X-ray generating device described in [1] above, in which [8] "the housing includes a second storage chamber that stores a power supply unit that supplies power to the X-ray tube, the first storage chamber and the second storage chamber are each separated by a partition wall, and a communication port that communicates the first storage chamber and the second storage chamber is formed in the partition wall, the exhaust port is formed in a wall that constitutes either the first storage chamber or the second storage chamber, and the intake port is formed in a wall that constitutes the other of the first storage chamber or the second storage chamber." In this case, the exhaust port or the intake port can be located away from the irradiation object.

本開示のX線発生装置は、[9]「前記第1壁部には、前記筐体の内部から外部へ冷却気体を排出する1又は複数の補助排気口が形成され、前記補助排気口の総面積は、前記排気口の総面積よりも小さい、上記[1]~[6]及び[8]の何れかに記載のX線発生装置」であってもよい。これにより、第1壁部に補助排気口が形成されている場合でも、筐体から排出された冷却気体が照射対象物に当たりにくく、照射対象物に与える悪影響を抑制することが可能となる。 The X-ray generating device of the present disclosure may be [9] "the X-ray generating device described in any one of [1] to [6] and [8] above, in which the first wall portion is formed with one or more auxiliary exhaust ports for discharging the cooling gas from inside the housing to the outside, and the total area of the auxiliary exhaust ports is smaller than the total area of the exhaust ports." This makes it possible to suppress the cooling gas discharged from the housing from hitting the irradiated object even when the first wall portion is formed with auxiliary exhaust ports, thereby suppressing adverse effects on the irradiated object.

本開示のX線発生装置は、[10]「前記第1壁部は、前記第1方向に垂直な方向に沿って延在する天壁部であり、前記吸気口及び前記排気口の何れか一方は、前記筐体において前記第1方向に沿って延在する側壁部に形成され、前記吸気口及び前記排気口の何れか他方は、前記筐体において前記天壁部と前記側壁部とに連なり且つ前記第1方向に対して傾斜する方向に沿って延在する傾斜壁部に形成されている、上記[1]に記載のX線発生装置」であってもよい。これにより、排気口が傾斜壁部又は側壁部に形成されているため、筐体から排出された冷却気体が照射対象物に当たりにくくなり、照射対象物に与える悪影響を抑制することが可能となる。 The X-ray generating device of the present disclosure may be the X-ray generating device described in [1] above, in which [10] "the first wall is a top wall extending along a direction perpendicular to the first direction, one of the intake port and the exhaust port is formed in a side wall extending along the first direction in the housing, and the other of the intake port and the exhaust port is formed in an inclined wall that is connected to the top wall and the side wall in the housing and extends along a direction inclined with respect to the first direction." As a result, since the exhaust port is formed in the inclined wall or side wall, the cooling gas discharged from the housing is less likely to hit the irradiation object, making it possible to suppress adverse effects on the irradiation object.

本開示によれば、照射対象物に与える悪影響を抑制することが可能なX線発生装置を提供することが可能となる。 This disclosure makes it possible to provide an X-ray generating device that can suppress adverse effects on the object being irradiated.

図1は、第1実施形態に係るX線発生装置を示す側面図である。FIG. 1 is a side view showing an X-ray generating device according to the first embodiment. 図2は、第1実施形態に係るX線発生装置を示す側断面図である。FIG. 2 is a side cross-sectional view showing the X-ray generating device according to the first embodiment. 図3は、第2実施形態に係るX線発生装置を示す側断面図である。FIG. 3 is a side cross-sectional view showing an X-ray generating device according to the second embodiment. 図4は、第3実施形態に係るX線発生装置を示す側断面図である。FIG. 4 is a side cross-sectional view showing an X-ray generating device according to the third embodiment. 図5は、第4実施形態に係るX線発生装置を示す側断面図である。FIG. 5 is a side cross-sectional view showing an X-ray generating device according to the fourth embodiment. 図6は、第5実施形態に係るX線発生装置を示す側断面図である。FIG. 6 is a side cross-sectional view showing an X-ray generating device according to the fifth embodiment. 図7は、第6実施形態に係るX線発生装置を示す側断面図である。FIG. 7 is a side cross-sectional view showing an X-ray generating device according to the sixth embodiment. 図8は、第7実施形態に係るX線発生装置を示す側断面図である。FIG. 8 is a side cross-sectional view showing an X-ray generating device according to the seventh embodiment. 図9は、第8実施形態に係るX線発生装置を示す側断面図である。FIG. 9 is a side cross-sectional view showing an X-ray generating device according to the eighth embodiment. 図10は、第9実施形態に係るX線発生装置を示す側断面図である。FIG. 10 is a side cross-sectional view showing an X-ray generating device according to the ninth embodiment. 図11は、変形例に係るX線発生装置を示す平断面図である。FIG. 11 is a cross-sectional plan view showing an X-ray generating device according to a modified example. 図12は、他の変形例に係るX線発生装置を示す平断面図である。FIG. 12 is a plan sectional view showing an X-ray generating device according to another modified example. 図13は、更に他の変形例に係るX線発生装置を示す平断面図である。FIG. 13 is a plan sectional view showing an X-ray generating device according to still another modified example.

以下、実施形態について、図面を参照して詳細に説明する。各図において同一又は相当部分には同一符号を付し、重複する説明を省略する。 The following describes the embodiments in detail with reference to the drawings. In each drawing, the same or corresponding parts are given the same reference numerals, and duplicated explanations are omitted.

[第1実施形態]
第1実施形態について説明する。図1及び図2に示されるように、第1実施形態に係るX線発生装置1は、例えば照射対象物の検査用に用いられる装置であって、照射対象物91に向けてX線を照射する。一例として、X線発生装置1は、照射対象物91の内部構造を観察するX線非破壊検査に用いられる微小焦点X線源である。照射対象物91としては、特に限定されず、様々な物体であってもよい。
[First embodiment]
A first embodiment will be described. As shown in Fig. 1 and Fig. 2, an X-ray generating device 1 according to the first embodiment is a device used, for example, for inspecting an object to be irradiated, and irradiates X-rays toward the object to be irradiated 91. As an example, the X-ray generating device 1 is a microfocus X-ray source used in X-ray nondestructive inspection for observing the internal structure of the object to be irradiated 91. The object to be irradiated 91 is not particularly limited, and may be various objects.

以下では、X線発生装置1からのX線の出射方向(第1方向)Aに沿う方向をZ方向とし、Z方向に垂直な一方向をX方向とし、Z方向及びX方向の双方に垂直な方向をY方向として説明する。X線発生装置1は、X線管2と、X線管収容部2Sと、電源部3と、筐体4と、を備える。 In the following description, the direction along the emission direction (first direction) A of X-rays from the X-ray generator 1 is defined as the Z direction, one direction perpendicular to the Z direction is defined as the X direction, and the direction perpendicular to both the Z direction and the X direction is defined as the Y direction. The X-ray generator 1 includes an X-ray tube 2, an X-ray tube housing unit 2S, a power supply unit 3, and a housing 4.

X線管2は、X線を発生させ、当該X線を出射方向Aに出射する部分である。X線管2は、内部を真空に保持する真空筐体21を有する。真空筐体21の内部には、電子発生ユニットとしての電子銃及びターゲットが収容されている。真空筐体21における出射方向A側の端面には、X線透過材料(例えばベリリウム又はダイヤモンド等)で形成された出射窓部22が設けられている。出射窓部22は、筐体4の出射方向A側に配置される。 The X-ray tube 2 is a part that generates X-rays and emits the X-rays in the emission direction A. The X-ray tube 2 has a vacuum housing 21 that maintains a vacuum inside. An electron gun and a target are housed inside the vacuum housing 21 as an electron generating unit. An emission window 22 made of an X-ray transparent material (e.g., beryllium or diamond) is provided on the end face of the vacuum housing 21 on the emission direction A side. The emission window 22 is located on the emission direction A side of the housing 4.

出射窓部22に対向し且つ出射窓部22の出射方向A側に近接する位置には、照射対象物91が配置される。照射対象物91に対向し且つ照射対象物91の出射方向A側に近接する位置には、例えばカメラ、フラットパネルセンサ及びラインセンサ等のX線検出器92が配置される。X線管2では、真空筐体21の内部において、電子銃から出射された電子がターゲットに入射すると、ターゲットを基点にX線が放射状に発生する。発生したX線は、出射窓部22から出射方向Aに出射されて、照射対象物91に照射される。照射対象物91を透過したX線は、X線検出器92により検出される。なお、出射方向Aは、出射窓部22からX線が放射状に出射される場合、そのうちのX線管2の軸方向に沿って出射されるX線の出射方向であってもよい。 An object to be irradiated 91 is disposed at a position facing the exit window 22 and close to the exit direction A side of the exit window 22. An X-ray detector 92, such as a camera, a flat panel sensor, or a line sensor, is disposed at a position facing the object to be irradiated 91 and close to the exit direction A side of the object to be irradiated 91. In the X-ray tube 2, when electrons emitted from the electron gun enter the target inside the vacuum housing 21, X-rays are generated radially from the target as a base point. The generated X-rays are emitted from the exit window 22 in the exit direction A and irradiated to the object to be irradiated 91. The X-rays that have passed through the object to be irradiated 91 are detected by the X-ray detector 92. Note that the exit direction A may be the exit direction of the X-rays emitted along the axial direction of the X-ray tube 2 when X-rays are emitted radially from the exit window 22.

X線管収容部2Sは、X線管2の少なくとも一部を収容する。X線管収容部2Sには、絶縁性の液体(例えば絶縁油)が封入されている。X線管収容部2Sは、X線管2からの熱を放熱する機能を有する。つまり、X線管2からの熱は、絶縁性の液体を介してX線管収容部2Sに移動される。なお、図示する例では、真空筐体21の出射方向A側の端部がX線管収容部2Sから突き出ており(露出しており)、X線管収容部2Sに出射窓部22が収容されていない。 The X-ray tube housing 2S houses at least a part of the X-ray tube 2. An insulating liquid (e.g., insulating oil) is sealed in the X-ray tube housing 2S. The X-ray tube housing 2S has a function of dissipating heat from the X-ray tube 2. In other words, the heat from the X-ray tube 2 is transferred to the X-ray tube housing 2S via the insulating liquid. In the illustrated example, the end of the vacuum housing 21 on the emission direction A side protrudes (is exposed) from the X-ray tube housing 2S, and the emission window 22 is not housed in the X-ray tube housing 2S.

電源部3は、X線管2に電力を供給する部分である。電源部3は、固体のエポキシ樹脂からなる電気絶縁性の絶縁ブロック31と、絶縁ブロック31内にモールドされた高電圧発生回路を含む内部基板32と、を有する。絶縁ブロック31は、略直方体状をなしている。電源部3は、内部基板32に電気的に接続された高圧給電部を介して、X線管2に電気的に接続されている。 The power supply unit 3 is a part that supplies power to the X-ray tube 2. The power supply unit 3 has an electrically insulating insulating block 31 made of solid epoxy resin, and an internal substrate 32 including a high-voltage generating circuit molded within the insulating block 31. The insulating block 31 has a substantially rectangular parallelepiped shape. The power supply unit 3 is electrically connected to the X-ray tube 2 via a high-voltage power supply unit that is electrically connected to the internal substrate 32.

筐体4は、X線発生装置1の外囲を構成する。筐体4は、直方体状の外形の部材である。筐体4は、X線管収容部2Sを主に収容する第1収容室41と、電源部3を主に収容する第2収容室42と、を含む。第1収容室41と第2収容室42とは、それぞれの内部が仕切り壁部44により仕切られている。仕切り壁部44は、出射方向Aに垂直な方向に沿って(換言すると、XY平面に沿って)延在する壁部である。 The housing 4 constitutes the outer periphery of the X-ray generator 1. The housing 4 is a member having a rectangular parallelepiped outer shape. The housing 4 includes a first housing chamber 41 that mainly houses the X-ray tube housing unit 2S, and a second housing chamber 42 that mainly houses the power supply unit 3. The first housing chamber 41 and the second housing chamber 42 are each separated from each other by a partition wall portion 44. The partition wall portion 44 is a wall portion that extends along a direction perpendicular to the emission direction A (in other words, along the XY plane).

第1収容室41は、出射方向A側に配置された天壁部(第1壁部)41Aと、天壁部41Aに連続する複数の側壁部41Bと、側壁部41Bにおける出射方向A側とは反対側に連続する仕切り壁部44と、により構成される。第1収容室41は、その内部に直方体状の閉空間を有する。 The first storage chamber 41 is composed of a top wall portion (first wall portion) 41A arranged on the emission direction A side, a plurality of side wall portions 41B continuing from the top wall portion 41A, and a partition wall portion 44 continuing from the side wall portion 41B on the side opposite the emission direction A side. The first storage chamber 41 has a rectangular parallelepiped closed space inside.

天壁部41Aは、出射方向Aに垂直な方向に沿って延在する壁部である。天壁部41Aには、出射窓部22を露出させる開口が設けられている。つまり、天壁部41Aを出射方向Aと対向する方向から見て、出射窓部22が天壁部41Aから露出している。図示する例では、出射窓部22が天壁部41Aと面一となるように配置されているが、出射窓部22と天壁部41Aとの位置関係は特に限定されず、例えば、出射窓部22が天壁部41Aから突出していてもよい。 The top wall portion 41A is a wall portion extending along a direction perpendicular to the emission direction A. The top wall portion 41A has an opening that exposes the emission window portion 22. In other words, when the top wall portion 41A is viewed from a direction opposite to the emission direction A, the emission window portion 22 is exposed from the top wall portion 41A. In the illustrated example, the emission window portion 22 is disposed so as to be flush with the top wall portion 41A, but the positional relationship between the emission window portion 22 and the top wall portion 41A is not particularly limited, and for example, the emission window portion 22 may protrude from the top wall portion 41A.

天壁部41Aと仕切り壁部44とは、互いに対向する。側壁部41Bは、出射方向Aに沿って延在する壁部である。側壁部41Bは、天壁部41AにおけるX方向の一端部と仕切り壁部44におけるX方向の一端部との間、及び、天壁部41AにおけるX方向の他端部と仕切り壁部44におけるX方向の他端部との間に、X方向に対向するように一対設けられている。また、側壁部41Bは、天壁部41AにおけるY方向の一端部と仕切り壁部44におけるY方向の一端部との間、及び、天壁部41AにおけるY方向の他端部と仕切り壁部44におけるY方向の他端部との間に、Y方向に対向するように一対設けられている。 The top wall 41A and the partition wall 44 face each other. The side wall 41B is a wall extending along the emission direction A. A pair of side walls 41B are provided between one end of the top wall 41A in the X direction and one end of the partition wall 44 in the X direction, and between the other end of the top wall 41A in the X direction and the other end of the partition wall 44 in the X direction, so as to face each other in the X direction. A pair of side walls 41B are provided between one end of the top wall 41A in the Y direction and one end of the partition wall 44 in the Y direction, and between the other end of the top wall 41A in the Y direction and the other end of the partition wall 44 in the Y direction, so as to face each other in the Y direction.

第2収容室42は、出射方向A側と反対側に配置された底壁部42Aと、底壁部42Aに連続する複数の側壁部42Bと、側壁部42Bにおける出射方向A側に連続する仕切り壁部44と、により構成される。第2収容室42は、その内部に直方体状の閉空間を有する。 The second storage chamber 42 is composed of a bottom wall portion 42A arranged on the side opposite the emission direction A, a plurality of side wall portions 42B continuing from the bottom wall portion 42A, and a partition wall portion 44 continuing from the side wall portions 42B on the emission direction A side. The second storage chamber 42 has a rectangular parallelepiped closed space therein.

底壁部42Aは、出射方向Aに垂直な方向に沿って延在する壁部である。底壁部42Aと仕切り壁部44とは、互いに対向する。側壁部42Bは、出射方向Aに沿って延在する壁部である。側壁部42Bは、底壁部42AにおけるX方向の一端部と仕切り壁部44におけるX方向の一端部との間、及び、底壁部42AにおけるX方向の他端部と仕切り壁部44におけるX方向の他端部との間に、X方向に対向するように一対設けられている。また、側壁部42Bは、底壁部42AにおけるY方向の一端部と仕切り壁部44におけるY方向の一端部との間、及び、底壁部42AにおけるY方向の他端部と仕切り壁部44におけるY方向の他端部との間に、Y方向に対向するように一対設けられている。 The bottom wall 42A is a wall extending along a direction perpendicular to the emission direction A. The bottom wall 42A and the partition wall 44 face each other. The side wall 42B is a wall extending along the emission direction A. A pair of side walls 42B are provided between one end of the bottom wall 42A in the X direction and one end of the partition wall 44 in the X direction, and between the other end of the bottom wall 42A in the X direction and the other end of the partition wall 44 in the X direction, so as to face each other in the X direction. A pair of side walls 42B are provided between one end of the bottom wall 42A in the Y direction and one end of the partition wall 44 in the Y direction, and between the other end of the bottom wall 42A in the Y direction and the other end of the partition wall 44 in the Y direction, so as to face each other in the Y direction.

X線発生装置1は、筐体4の外部から内部へ空気(冷却気体)を吸引する複数の吸気口5と、筐体4の内部から外部へ空気を排出する排気口6と、筐体4の内部において吸気口5から排気口6へ空気が流通するように空気を圧送するファン7と、を備える。 The X-ray generator 1 has a number of intake ports 5 that draw air (cooling gas) from the outside to the inside of the housing 4, an exhaust port 6 that exhausts air from the inside of the housing 4 to the outside, and a fan 7 that pressurizes air so that it flows from the intake ports 5 to the exhaust ports 6 inside the housing 4.

吸気口5は、天壁部41Aに形成されている。吸気口5は、天壁部41Aにおける出射窓部22の周囲に複数設けられている。吸気口5は、第1収容室41の内外を連通する。吸気口5は、例えば円形の貫通孔である。 The air intake 5 is formed in the top wall 41A. A plurality of air intakes 5 are provided around the exit window 22 in the top wall 41A. The air intake 5 communicates between the inside and outside of the first storage chamber 41. The air intake 5 is, for example, a circular through hole.

排気口6は、X方向の一方側(第2方向側、図示左側)の側壁部(第2壁部)41B1に形成されている。すなわち、排気口6は、筐体4の天壁部41A以外の壁部に形成されている。排気口6は、第1収容室41の内外を連通する。排気口6は、例えば吸気口5よりも径が大きい円形の貫通孔である。 The exhaust port 6 is formed in the side wall portion (second wall portion) 41B1 on one side in the X direction (the second direction side, the left side in the figure). In other words, the exhaust port 6 is formed in a wall portion other than the top wall portion 41A of the housing 4. The exhaust port 6 communicates between the inside and the outside of the first storage chamber 41. The exhaust port 6 is, for example, a circular through hole with a larger diameter than the intake port 5.

ファン7は、第1収容室41の内部における排気口6に近接する位置に設けられている。具体的には、ファン7は、第1収容室41の内部における排気口6とX線管収容部2S(X線管2)との間に配置されている。ファン7は、第1収容室41の内部の空気を、排気口6を介して第1収容室41の外部へ向けて圧送する。ファン7は、筐体4に支持されている。ファン7は、X線管収容部2Sに対向配置されている。つまり、ファン7は、その吸引口又は吐出口(ここでは、吸引口)がX線管収容部2Sに向くように配置されている。図示する例では、ファン7をX線管収容部2Sに対向配置することにより、X線管収容部2Sに接触した空気がファン7の吸引口にスムーズに吸引される。 The fan 7 is provided in a position close to the exhaust port 6 inside the first housing chamber 41. Specifically, the fan 7 is disposed between the exhaust port 6 inside the first housing chamber 41 and the X-ray tube housing section 2S (X-ray tube 2). The fan 7 pressurizes the air inside the first housing chamber 41 to the outside of the first housing chamber 41 through the exhaust port 6. The fan 7 is supported by the housing 4. The fan 7 is disposed opposite the X-ray tube housing section 2S. In other words, the fan 7 is disposed so that its suction port or discharge port (here, the suction port) faces the X-ray tube housing section 2S. In the illustrated example, by disposing the fan 7 opposite the X-ray tube housing section 2S, the air that comes into contact with the X-ray tube housing section 2S is smoothly sucked into the suction port of the fan 7.

このようなX線発生装置1では、例えば、ファン7を駆動することにより、天壁部41Aの吸気口5から空気が出射方向Aと反対方向に吸引され、空気が第1収容室41の内部に流入する。第1収容室41の内部において、空気は、吸気口5から排気口6へ向かって流れる。このとき、空気がX線管収容部2Sに接触することにより、X線管収容部2Sが冷却され、結果としてX線管2が冷却(X線管2で発生した熱であってX線管収容部2Sに移動した熱が放熱)される。その後、温められた空気は、排気口6からX方向の一方側に排出されて、第1収容室41の外部へと流出する。 In such an X-ray generating device 1, for example, by driving the fan 7, air is sucked in from the intake port 5 of the top wall portion 41A in the direction opposite to the emission direction A, and the air flows into the inside of the first housing chamber 41. Inside the first housing chamber 41, the air flows from the intake port 5 toward the exhaust port 6. At this time, the air comes into contact with the X-ray tube housing portion 2S, thereby cooling the X-ray tube housing portion 2S, and as a result, the X-ray tube 2 is cooled (heat generated in the X-ray tube 2 and transferred to the X-ray tube housing portion 2S is dissipated). The heated air is then exhausted from the exhaust port 6 to one side in the X direction and flows out of the first housing chamber 41.

以上、X線発生装置1では、排気口6が天壁部41A以外の壁部に形成されているため、筐体4から排出された空気が照射対象物91に当たりにくくなり、当該空気の熱及び風量による照射対象物91への悪影響を抑えることができる。すなわち、X線発生装置1によれば、照射対象物91に与える悪影響を抑制することが可能となる。安定したX線撮像を実現することができる。特に、X線発生装置1が微小焦点X線源であり、FOD(Focus to Object Distance:照射対象物91と焦点との距離)が小さいことから、筐体4から排出された空気が照射対象物91に当たりにくくなる上記作用は有効である。 As described above, in the X-ray generating device 1, since the exhaust port 6 is formed in a wall portion other than the top wall portion 41A, the air discharged from the housing 4 is less likely to hit the irradiated object 91, and the adverse effects of the heat and volume of the air on the irradiated object 91 can be suppressed. In other words, the X-ray generating device 1 makes it possible to suppress the adverse effects on the irradiated object 91. Stable X-ray imaging can be achieved. In particular, since the X-ray generating device 1 is a microfocus X-ray source and has a small FOD (Focus to Object Distance: the distance between the irradiated object 91 and the focal point), the above-mentioned action of making it less likely that the air discharged from the housing 4 will hit the irradiated object 91 is effective.

X線発生装置1では、排気口6が側壁部41B1に形成されているため、筐体4から排出された空気が照射対象物91に当たりにくくなり、照射対象物91に与える悪影響を抑制することが可能となる。また、吸気口5が天壁部41Aに形成されていることから、例えば、照射対象物91の周辺の空気が天壁部41Aに向かって流れるため、当該流れでもって排気口6から排出された空気が照射対象物91に一層当たりにくくなる。 In the X-ray generating device 1, since the exhaust port 6 is formed in the side wall portion 41B1, the air discharged from the housing 4 is less likely to hit the irradiation object 91, making it possible to suppress adverse effects on the irradiation object 91. Also, since the intake port 5 is formed in the top wall portion 41A, for example, the air around the irradiation object 91 flows toward the top wall portion 41A, and this flow makes it even less likely that the air discharged from the exhaust port 6 will hit the irradiation object 91.

X線発生装置1では、ファン7は、第1収容室41の内部における排気口6に近接する位置に設けられている。この場合、ファン7により効果的に吸気口5から排気口6へ空気を流通させることができる。 In the X-ray generating device 1, the fan 7 is provided in a position close to the exhaust port 6 inside the first storage chamber 41. In this case, the fan 7 can effectively circulate air from the intake port 5 to the exhaust port 6.

なお、本実施形態では、吸気口5は、天壁部41Aに形成されていれば、その数、大きさ、位置及び形状は特に限定されず、種々の数、大きさ、位置及び形状であってもよい。排気口6は、側壁部41Bに形成されていれば、その数、大きさ、位置及び形状は特に限定されず、種々の数、大きさ、位置及び形状であってもよい。ファン7としては、特に限定されず、種々の公知のファンを用いることができる。ファン7が配置される位置及びファン7の支持構造は特に限定されず、例えば排気口6にファン7が設けられていてもよい。 In this embodiment, the number, size, position, and shape of the intake ports 5 are not particularly limited as long as they are formed in the top wall portion 41A, and may be of various numbers, sizes, positions, and shapes. The number, size, position, and shape of the exhaust ports 6 are not particularly limited as long as they are formed in the side wall portion 41B, and may be of various numbers, sizes, positions, and shapes. The fan 7 is not particularly limited, and various known fans can be used. The position at which the fan 7 is disposed and the support structure for the fan 7 are not particularly limited, and the fan 7 may be provided in the exhaust port 6, for example.

[第2実施形態]
第2実施形態について説明する。第2実施形態の説明では、上記第1実施形態と異なる点について説明し、重複する説明は適宜に省略する。
[Second embodiment]
A second embodiment will be described. In the description of the second embodiment, differences from the first embodiment will be described, and overlapping descriptions will be omitted as appropriate.

図3に示されるように、第2実施形態に係るX線発生装置101は、吸気口5(図2参照)に代えて吸気口105を備える点で、上記第1実施形態と異なる。吸気口105は、第1収容室41を構成する壁部であってX方向の他方側(図示右側)の側壁部(第3壁部)41B2に複数形成されている。吸気口105が形成された側壁部41B2は、排気口6が形成された側壁部41B1と対向する。 As shown in FIG. 3, the X-ray generating device 101 according to the second embodiment differs from the first embodiment in that it has an intake port 105 instead of the intake port 5 (see FIG. 2). The intake ports 105 are formed in a plurality of sidewall portions (third wall portions) 41B2 on the other side in the X direction (the right side in the figure), which is a wall portion constituting the first storage chamber 41. The sidewall portion 41B2 in which the intake ports 105 are formed faces the sidewall portion 41B1 in which the exhaust port 6 is formed.

吸気口105は、第1収容室41の内外を連通する。吸気口105は、例えば円形の貫通孔である。なお、吸気口105は、側壁部41B2に形成されていれば、その数、大きさ、位置及び形状は特に限定されず、種々の数、大きさ、位置及び形状であってもよい。天壁部41Aには、筐体4の内部と外部との間で空気を通気する通気口が形成されていない。換言すると、天壁部41Aは、貫通孔が形成されていない壁部である。 The air intake 105 communicates between the inside and outside of the first storage chamber 41. The air intake 105 is, for example, a circular through-hole. Note that the number, size, position and shape of the air intake 105 are not particularly limited as long as they are formed in the side wall portion 41B2, and they may be of various numbers, sizes, positions and shapes. The top wall portion 41A does not have a vent hole for ventilating air between the inside and outside of the housing 4. In other words, the top wall portion 41A is a wall portion in which no through-hole is formed.

このようなX線発生装置101では、例えば、ファン7を駆動することにより、側壁部41B2の吸気口105から空気がX方向の一方側に吸引され、空気が第1収容室41の内部に流入する。第1収容室41の内部において、空気は、吸気口105から排気口6へ向かって流れる。このとき、空気がX線管収容部2Sに接触することにより、結果としてX線管2が冷却される。その後、温められた空気は、排気口6からX方向の一方側へ排出されて、第1収容室41の外部へと流出する。 In such an X-ray generating device 101, for example, by driving the fan 7, air is sucked in from the intake port 105 of the side wall portion 41B2 to one side in the X direction, and the air flows into the inside of the first housing chamber 41. Inside the first housing chamber 41, the air flows from the intake port 105 toward the exhaust port 6. At this time, the air comes into contact with the X-ray tube housing portion 2S, and as a result, the X-ray tube 2 is cooled. The heated air is then exhausted from the exhaust port 6 to one side in the X direction and flows out to the outside of the first housing chamber 41.

以上、X線発生装置101では、排気口6が天壁部41A以外の壁部に形成されているため、筐体4から排出された空気が照射対象物91に当たりにくくなり、当該空気の熱及び風量による照射対象物91への悪影響を抑えることができる。すなわち、X線発生装置101においても、照射対象物91に与える悪影響を抑制することが可能となる。 As described above, in the X-ray generating device 101, since the exhaust port 6 is formed in a wall portion other than the top wall portion 41A, the air discharged from the housing 4 is less likely to hit the irradiation object 91, and adverse effects on the irradiation object 91 due to the heat and volume of the air can be suppressed. In other words, in the X-ray generating device 101 as well, it is possible to suppress adverse effects on the irradiation object 91.

X線発生装置101では、排気口6が側壁部41B1に形成されているため、筐体4から排出された空気が照射対象物91に当たりにくくなり、照射対象物91に与える悪影響を抑制することが可能となる。また、側壁部41B1に対向する側壁部41B2に吸気口105が形成されているため、吸気口105から排気口6へ空気をスムーズに流通させることができる。 In the X-ray generating device 101, the exhaust port 6 is formed in the side wall portion 41B1, so that the air discharged from the housing 4 is less likely to hit the irradiation object 91, and it is possible to suppress adverse effects on the irradiation object 91. In addition, the intake port 105 is formed in the side wall portion 41B2 opposite the side wall portion 41B1, so that air can flow smoothly from the intake port 105 to the exhaust port 6.

X線発生装置101では、天壁部41Aには、筐体4の内部と外部との間で空気を通気する通気口が形成されていない。この場合、筐体4から排出された空気が照射対象物91により一層当たりにくくなる。 In the X-ray generating device 101, the ceiling wall 41A does not have a vent hole for ventilating air between the inside and outside of the housing 4. In this case, it is even more difficult for the air discharged from the housing 4 to hit the irradiation target 91.

[第3実施形態]
第3実施形態について説明する。第3実施形態の説明では、上記第2実施形態と異なる点について説明し、重複する説明は適宜に省略する。
[Third embodiment]
A third embodiment will be described. In the description of the third embodiment, differences from the second embodiment will be described, and overlapping descriptions will be omitted as appropriate.

図4に示されるように、第3実施形態に係るX線発生装置201は、吸気口105(図3参照)に代えて吸気口205を備え、排気口6(図3参照)に代えて排気口206を備え、ファン7(図3参照)に代えてファン207を備える点で、上記第2実施形態と異なる。 As shown in FIG. 4, the X-ray generating device 201 according to the third embodiment differs from the second embodiment in that it has an intake port 205 instead of the intake port 105 (see FIG. 3), an exhaust port 206 instead of the exhaust port 6 (see FIG. 3), and a fan 207 instead of the fan 7 (see FIG. 3).

吸気口205は、第1収容室41を構成する壁部であってX方向の一方側(図示左側)の側壁部41B1に形成されている。吸気口205は、第1収容室41の内外を連通する。吸気口205は、例えば円形の貫通孔である。排気口206は、第1収容室41を構成する壁部であってX方向の他方側(図示右側)の側壁部41B2に形成されている。排気口206は、側壁部41B2に複数形成されている。排気口206は、第1収容室41の内外を連通する。排気口206は、例えば吸気口205よりも径が小さい円形の貫通孔である。 The intake port 205 is formed in the side wall portion 41B1 on one side in the X direction (left side in the figure) which is a wall portion constituting the first storage chamber 41. The intake port 205 connects the inside and outside of the first storage chamber 41. The intake port 205 is, for example, a circular through hole. The exhaust port 206 is formed in the side wall portion 41B2 on the other side in the X direction (right side in the figure) which is a wall portion constituting the first storage chamber 41. A plurality of exhaust ports 206 are formed in the side wall portion 41B2. The exhaust ports 206 connect the inside and outside of the first storage chamber 41. The exhaust ports 206 are, for example, a circular through hole with a smaller diameter than the intake port 205.

ファン207は、第1収容室41の内部における吸気口205に近接する位置に設けられている。具体的には、ファン207は、第1収容室41の内部における吸気口205とX線管2との間に配置されている。ファン207は、第1収容室41の外部の空気を、吸気口205を介して第1収容室41の内部へ圧送する。ファン207は、X線管収容部2Sに対向配置されている。つまり、ファン207は、その吸引口又は吐出口(ここでは、吐出口)がX線管収容部2Sに向くように配置されている。図示する例では、ファン207をX線管収容部2Sに対向配置することにより、ファン207で圧送された空気がX線管収容部2Sに直接的に接触する。 The fan 207 is provided in a position close to the intake port 205 inside the first housing chamber 41. Specifically, the fan 207 is disposed between the intake port 205 inside the first housing chamber 41 and the X-ray tube 2. The fan 207 pressurizes and sends air outside the first housing chamber 41 to the inside of the first housing chamber 41 through the intake port 205. The fan 207 is disposed opposite the X-ray tube housing section 2S. In other words, the fan 207 is disposed so that its intake port or discharge port (here, the discharge port) faces the X-ray tube housing section 2S. In the illustrated example, by disposing the fan 207 opposite the X-ray tube housing section 2S, the air pressurized by the fan 207 directly contacts the X-ray tube housing section 2S.

このようなX線発生装置201では、例えば、ファン207を駆動することにより、側壁部41B1の吸気口205から空気がX方向の他方側に吸引され、空気が第1収容室41の内部に流入する。第1収容室41の内部において、空気は、吸気口205から排気口206へ向かって流れる。このとき、空気がX線管収容部2Sに接触することにより、結果としてX線管2が冷却される。その後、温められた空気は、排気口206からX方向の他方側へ排出されて、第1収容室41の外部へと流出する。 In such an X-ray generating device 201, for example, by driving the fan 207, air is sucked in from the intake port 205 of the side wall portion 41B1 to the other side in the X direction, and the air flows into the inside of the first housing chamber 41. Inside the first housing chamber 41, the air flows from the intake port 205 toward the exhaust port 206. At this time, the air comes into contact with the X-ray tube housing portion 2S, and as a result, the X-ray tube 2 is cooled. The heated air is then exhausted from the exhaust port 206 to the other side in the X direction and flows out to the outside of the first housing chamber 41.

以上、X線発生装置201では、排気口206が天壁部41A以外の壁部に形成されているため、筐体4から排出された空気が照射対象物91に当たりにくくなり、当該空気の熱及び風量による照射対象物91への悪影響を抑えることができる。すなわち、X線発生装置201においても、照射対象物91に与える悪影響を抑制することが可能となる。 As described above, in the X-ray generating device 201, since the exhaust port 206 is formed in a wall portion other than the top wall portion 41A, the air discharged from the housing 4 is less likely to hit the irradiation object 91, and adverse effects on the irradiation object 91 due to the heat and volume of the air can be suppressed. In other words, in the X-ray generating device 201 as well, it is possible to suppress adverse effects on the irradiation object 91.

X線発生装置201では、ファン207は、第1収容室41の内部の吸気口205に近接する位置に設けられている。この場合、ファン207により効果的に吸気口205から排気口206へ空気を流通させることができる。 In the X-ray generating device 201, the fan 207 is provided in a position close to the intake port 205 inside the first storage chamber 41. In this case, the fan 207 can effectively circulate air from the intake port 205 to the exhaust port 206.

なお、本実施形態では、吸気口205は、側壁部41B1に形成されていれば、その数、大きさ、位置及び形状は特に限定されず、種々の数、大きさ、位置及び形状であってもよい。排気口206は、側壁部41B2に形成されていれば、その数、大きさ、位置及び形状は特に限定されず、種々の数、大きさ、位置及び形状であってもよい。ファン207としては、特に限定されず、種々の公知のファンを用いることができる。ファン207が配置される位置及びファン207の支持構造は特に限定されず、吸気口205にファン207が設けられていてもよい。 In this embodiment, the number, size, position, and shape of the intake port 205 are not particularly limited as long as they are formed in the side wall portion 41B1, and may be of various numbers, sizes, positions, and shapes. The number, size, position, and shape of the exhaust port 206 are not particularly limited as long as they are formed in the side wall portion 41B2, and may be of various numbers, sizes, positions, and shapes. The fan 207 is not particularly limited, and various known fans can be used. The position at which the fan 207 is disposed and the support structure for the fan 207 are not particularly limited, and the fan 207 may be provided in the intake port 205.

[第4実施形態]
第4実施形態について説明する。第4実施形態の説明では、上記第1実施形態と異なる点について説明し、重複する説明は適宜に省略する。
[Fourth embodiment]
A fourth embodiment will be described. In the description of the fourth embodiment, differences from the first embodiment will be described, and overlapping descriptions will be omitted as appropriate.

図5に示されるように、第4実施形態に係るX線発生装置301は、吸気口5(図2参照)に代えて吸気口305を備え、排気口6(図2参照)に代えて排気口306を備え、ファン307を更に備え、仕切り壁部44に連通口309が形成されている点で、上記第2実施形態と異なる。 As shown in FIG. 5, the X-ray generating device 301 according to the fourth embodiment differs from the second embodiment in that it has an intake port 305 instead of the intake port 5 (see FIG. 2), an exhaust port 306 instead of the exhaust port 6 (see FIG. 2), a fan 307, and a communication port 309 formed in the partition wall portion 44.

吸気口305は、第1収容室41を構成する壁部であってX方向の一方側(図示左側)の側壁部41B1に複数形成されている。吸気口305は、第1収容室41の内外を連通する。吸気口305は、例えば円形の貫通孔である。排気口306は、第2収容室42を構成する壁部であってX方向の他方側(図示右側)の側壁部42B2に複数形成されている。排気口306は、第2収容室42の内外を連通する。排気口306は、例えば円形の貫通孔である。 The air intake ports 305 are formed in a plurality of the side wall portions 41B1 on one side in the X direction (the left side in the figure) of the wall portion constituting the first storage chamber 41. The air intake ports 305 communicate between the inside and outside of the first storage chamber 41. The air intake ports 305 are, for example, circular through holes. The exhaust ports 306 are formed in a plurality of the side wall portions 42B2 on the other side in the X direction (the right side in the figure) of the wall portion constituting the second storage chamber 42. The exhaust ports 306 communicate between the inside and outside of the second storage chamber 42. The exhaust ports 306 are, for example, circular through holes.

ファン307は、第2収容室42の内部に設けられている。ファン307は、第2収容室42の内部の空気を、排気口306に向けて圧送する。連通口309は、第1収容室41と第2収容室42とを連通する。連通口309は、仕切り壁部44に複数形成されている。連通口309は、例えば円形の貫通孔である。 The fan 307 is provided inside the second storage chamber 42. The fan 307 pressurizes the air inside the second storage chamber 42 toward the exhaust port 306. The communication port 309 communicates between the first storage chamber 41 and the second storage chamber 42. A plurality of communication ports 309 are formed in the partition wall portion 44. The communication ports 309 are, for example, circular through holes.

このようなX線発生装置301では、例えば、ファン7,307を駆動することにより、側壁部41B1の吸気口305から空気がX方向の他方側に吸引され、第1収容室41の内部に流入する。第1収容室41の内部において、空気の一部は、X方向の他方側へ流れる。このとき、空気がX線管収容部2Sに接触することにより、結果としてX線管2が冷却される。その後、温められた空気の一部は、連通口309を通って第2収容室42の内部へ流入する。また、第1収容室41の内部において、空気の他部は、そのまま連通口309を通って第2収容室42の内部へ流入する。第2収容室42の内部へ流入した空気は、排気口306に向かって流れる。このとき、空気が電源部3に接触することにより、電源部3が冷却される。そして、温められた空気は、排気口306からX方向の他方側へ排出されて、第2収容室42の外部へと流出する。 In such an X-ray generating device 301, for example, by driving the fans 7 and 307, air is sucked in from the intake port 305 of the side wall portion 41B1 to the other side in the X direction and flows into the inside of the first storage chamber 41. In the inside of the first storage chamber 41, a part of the air flows to the other side in the X direction. At this time, the air comes into contact with the X-ray tube housing portion 2S, and as a result, the X-ray tube 2 is cooled. Then, a part of the heated air flows into the inside of the second storage chamber 42 through the communication port 309. Also, in the inside of the first storage chamber 41, the other part of the air flows directly into the inside of the second storage chamber 42 through the communication port 309. The air that has flowed into the inside of the second storage chamber 42 flows toward the exhaust port 306. At this time, the air comes into contact with the power supply unit 3, thereby cooling the power supply unit 3. Then, the heated air is discharged from the exhaust port 306 to the other side in the X direction and flows out to the outside of the second storage chamber 42.

以上、X線発生装置301では、排気口306が天壁部41A以外の壁部に形成されているため、筐体4から排出された空気が照射対象物91に当たりにくくなり、当該空気の熱及び風量による照射対象物91への悪影響を抑えることができる。すなわち、X線発生装置301においても、照射対象物91に与える悪影響を抑制することが可能となる。 As described above, in the X-ray generating device 301, since the exhaust port 306 is formed in a wall portion other than the top wall portion 41A, the air discharged from the housing 4 is less likely to hit the irradiation object 91, and adverse effects on the irradiation object 91 due to the heat and volume of the air can be suppressed. In other words, in the X-ray generating device 301 as well, it is possible to suppress adverse effects on the irradiation object 91.

X線発生装置301では、仕切り壁部44に連通口309が形成され、排気口306が第2収容室42を構成する壁部に形成され、吸気口305が第1収容室41を構成する壁部に形成されている。この場合、排気口306を照射対象物91から遠ざけることができる。 In the X-ray generating device 301, a communication port 309 is formed in the partition wall 44, an exhaust port 306 is formed in the wall portion constituting the second storage chamber 42, and an intake port 305 is formed in the wall portion constituting the first storage chamber 41. In this case, the exhaust port 306 can be located away from the irradiation object 91.

なお、本実施形態では、吸気口305は、側壁部41B1に形成されていれば、その数、大きさ、位置及び形状は特に限定されず、種々の数、大きさ、位置及び形状であってもよい。排気口306は、側壁部43B2に形成されていれば、その数、大きさ、位置及び形状は特に限定されず、種々の数、大きさ、位置及び形状であってもよい。ファン307としては、特に限定されず、種々の公知のファンを用いることができる。ファン307が配置される位置及びファン307の支持構造は特に限定されず、第2収容室42の内部に配置及び支持されていればよい。連通口309は、仕切り壁部44に形成されていれば、その数、大きさ、位置及び形状は特に限定されず、種々の数、大きさ、位置及び形状であってもよい。 In this embodiment, the number, size, position and shape of the intake port 305 are not particularly limited as long as they are formed in the side wall portion 41B1, and may be of various numbers, sizes, positions and shapes. The number, size, position and shape of the exhaust port 306 are not particularly limited as long as they are formed in the side wall portion 43B2, and may be of various numbers, sizes, positions and shapes. The fan 307 is not particularly limited, and various known fans can be used. The position at which the fan 307 is disposed and the support structure of the fan 307 are not particularly limited, and it is sufficient that the fan 307 is disposed and supported inside the second storage chamber 42. The number, size, position and shape of the communication port 309 are not particularly limited as long as they are formed in the partition wall portion 44, and may be of various numbers, sizes, positions and shapes.

また、本実施形態では、排気口306が第1収容室41を構成する壁部に形成され、吸気口305が第2収容室42を構成する壁部に形成されていてもよい。この場合、吸気口305を照射対象物91から遠ざけることができる。 In addition, in this embodiment, the exhaust port 306 may be formed in a wall portion constituting the first storage chamber 41, and the intake port 305 may be formed in a wall portion constituting the second storage chamber 42. In this case, the intake port 305 can be located away from the irradiation object 91.

[第5実施形態]
第5実施形態について説明する。第5実施形態の説明では、上記第3実施形態と異なる点について説明し、重複する説明は適宜に省略する。
[Fifth embodiment]
A fifth embodiment will be described. In the description of the fifth embodiment, differences from the third embodiment will be described, and overlapping descriptions will be omitted as appropriate.

図6に示されるように、第5実施形態に係るX線発生装置401は、吸気口205(図4参照)に代えて吸気口405を備え、天壁部41Aに補助排気口402が形成されている点で、上記第3実施形態と異なる。 As shown in FIG. 6, the X-ray generating device 401 according to the fifth embodiment differs from the third embodiment in that it has an intake port 405 instead of the intake port 205 (see FIG. 4) and an auxiliary exhaust port 402 is formed in the ceiling wall portion 41A.

吸気口405は、第1収容室41を構成する壁部であってX方向の一方側(図示左側)の側壁部41B1に複数形成されている。吸気口405は、第1収容室41の内外を連通する。吸気口405は、例えば円形の貫通孔である。補助排気口402は、筐体4の内部から外部へ空気を排出する排気口である。補助排気口402は、第1収容室41を構成する壁部であって出射方向A側の天壁部41Aに複数形成されている。補助排気口402は、第1収容室41の内外を連通する。補助排気口402は、例えば円形の貫通孔である。複数の補助排気口402の総面積は、複数の排気口206の総面積よりも小さい。例えば、各補助排気口402の流路面積の合計は、各排気口206の流路面積の合計よりも小さい。 The intake port 405 is a wall portion constituting the first storage chamber 41, and is formed in a plurality of side wall portions 41B1 on one side in the X direction (the left side in the figure). The intake port 405 communicates the inside and outside of the first storage chamber 41. The intake port 405 is, for example, a circular through hole. The auxiliary exhaust port 402 is an exhaust port that exhausts air from the inside of the housing 4 to the outside. The auxiliary exhaust port 402 is a wall portion constituting the first storage chamber 41, and is formed in a plurality of top wall portions 41A on the emission direction A side. The auxiliary exhaust port 402 communicates the inside and outside of the first storage chamber 41. The auxiliary exhaust port 402 is, for example, a circular through hole. The total area of the plurality of auxiliary exhaust ports 402 is smaller than the total area of the plurality of exhaust ports 206. For example, the sum of the flow path areas of the respective auxiliary exhaust ports 402 is smaller than the sum of the flow path areas of the respective exhaust ports 206.

このようなX線発生装置401では、例えば、ファン207を駆動することにより、側壁部41B1の吸気口405から空気がX方向の他方側に吸引され、第1収容室41の内部に流入する。第1収容室41の内部において、空気は、X方向の他方側へ流れる。このとき、空気がX線管収容部2Sに接触することにより、結果としてX線管2が冷却される。その後、温められた空気は、排気口206からX方向の他方側へ排出されて、第1収容室41の外部へと流出する。これと共に、小流量の空気が補助排気口402から出射方向Aへ排出されて、第1収容室41の外部へと流出する。 In such an X-ray generating device 401, for example, by driving the fan 207, air is sucked in from the intake port 405 of the side wall portion 41B1 to the other side in the X direction and flows into the inside of the first housing chamber 41. Inside the first housing chamber 41, the air flows to the other side in the X direction. At this time, the air comes into contact with the X-ray tube housing portion 2S, and as a result, the X-ray tube 2 is cooled. The heated air is then exhausted from the exhaust port 206 to the other side in the X direction and flows out to the outside of the first housing chamber 41. At the same time, a small amount of air is exhausted from the auxiliary exhaust port 402 in the emission direction A and flows out to the outside of the first housing chamber 41.

以上、X線発生装置401では、排気口206が天壁部41A以外の壁部に形成されているため、筐体4から排出された空気が照射対象物91に当たりにくくなり、当該空気の熱及び風量による照射対象物91への悪影響を抑えることができる。すなわち、X線発生装置401においても、照射対象物91に与える悪影響を抑制することが可能となる。 As described above, in the X-ray generating device 401, since the exhaust port 206 is formed in a wall portion other than the top wall portion 41A, the air discharged from the housing 4 is less likely to hit the irradiation object 91, and adverse effects on the irradiation object 91 due to the heat and volume of the air can be suppressed. In other words, in the X-ray generating device 401 as well, it is possible to suppress adverse effects on the irradiation object 91.

X線発生装置401では、補助排気口402の総面積が排気口206の総面積よりも小さいことから、補助排気口402が天壁部41Aに形成されている場合でも、筐体4から排出された空気が照射対象物91に当たりにくく、照射対象物91に与える悪影響を抑制することが可能となる。 In the X-ray generating device 401, since the total area of the auxiliary exhaust port 402 is smaller than the total area of the exhaust port 206, even if the auxiliary exhaust port 402 is formed in the ceiling wall portion 41A, the air discharged from the housing 4 is less likely to hit the irradiation object 91, and adverse effects on the irradiation object 91 can be suppressed.

なお、本実施形態では、吸気口405は、側壁部41B1に形成されていれば、その数、大きさ、位置及び形状は特に限定されず、種々の数、大きさ、位置及び形状であってもよい。補助排気口402は、天壁部41Aに形成されていれば、その数、大きさ、位置及び形状は特に限定されず、種々の数、大きさ、位置及び形状であってもよい。排気口206及び補助排気口402の面積は、その径が孔の深さ位置で変化する場合、孔の最大径、最小径又は平均径での面積であってもよい。 In this embodiment, the number, size, position, and shape of the intake ports 405 are not particularly limited as long as they are formed in the side wall portion 41B1, and may be of various numbers, sizes, positions, and shapes. The number, size, position, and shape of the auxiliary exhaust ports 402 are not particularly limited as long as they are formed in the top wall portion 41A, and may be of various numbers, sizes, positions, and shapes. The area of the exhaust port 206 and the auxiliary exhaust port 402 may be the area at the maximum diameter, minimum diameter, or average diameter of the hole if the diameter changes with the depth position of the hole.

[第6実施形態]
第6実施形態について説明する。第6実施形態の説明では、上記第1実施形態と異なる点について説明し、重複する説明は適宜に省略する。
Sixth Embodiment
A sixth embodiment will be described. In the description of the sixth embodiment, differences from the first embodiment will be described, and overlapping descriptions will be omitted as appropriate.

図7に示されるように、第6実施形態に係るX線発生装置501は、第1収容室41(図2参照)に代えて第1収容室541を備え、吸気口5(図2参照)に代えて吸気口505を備え、排気口6(図2参照)に代え排気口506を備える点で、上記第1実施形態と異なる。 As shown in FIG. 7, the X-ray generating device 501 according to the sixth embodiment differs from the first embodiment in that it includes a first storage chamber 541 instead of the first storage chamber 41 (see FIG. 2), an intake port 505 instead of the intake port 5 (see FIG. 2), and an exhaust port 506 instead of the exhaust port 6 (see FIG. 2).

第1収容室541は、天壁部(第1壁部)541Aと、複数の側壁部541Bと、複数の傾斜壁部541Cと、仕切り壁部44と、により構成される。天壁部541Aは、出射方向A側に配置され、出射方向Aに垂直な方向に沿って延在する壁部である。天壁部541Aには、出射窓部22を露出させる開口が設けられている。つまり、天壁部541Aを出射方向Aと対向する方向から見て、出射窓部22が当該天壁部541Aから露出している。天壁部541Aと仕切り壁部44とは、互いに対向する。 The first storage chamber 541 is composed of a ceiling wall portion (first wall portion) 541A, a plurality of side wall portions 541B, a plurality of inclined wall portions 541C, and a partition wall portion 44. The ceiling wall portion 541A is disposed on the emission direction A side, and is a wall portion extending along a direction perpendicular to the emission direction A. The ceiling wall portion 541A has an opening that exposes the emission window portion 22. In other words, when the ceiling wall portion 541A is viewed from a direction opposite to the emission direction A, the emission window portion 22 is exposed from the ceiling wall portion 541A. The ceiling wall portion 541A and the partition wall portion 44 face each other.

側壁部541Bは、出射方向Aに沿って延在する壁部である。側壁部541Bは、仕切り壁部44におけるX方向の両端部に、X方向に対向するように一対設けられている。また、側壁部541Bは、仕切り壁部44におけるY方向の両端部に、Y方向に対向するように一対設けられている。 The side wall portion 541B is a wall portion that extends along the emission direction A. A pair of side wall portions 541B are provided at both ends of the partition wall portion 44 in the X direction so as to face each other in the X direction. Also, a pair of side wall portions 541B are provided at both ends of the partition wall portion 44 in the Y direction so as to face each other in the Y direction.

傾斜壁部541Cは、出射方向Aに対して傾斜する方向に沿って延在する壁部である。具体的には、傾斜壁部541Cは、出射方向Aに行くに連れて出射方向Aに対して内側に傾くように傾斜する。傾斜壁部541Cは、天壁部541Aと側壁部541Bとに連続する。傾斜壁部541Cは、天壁部541AにおけるX方向の一端部と側壁部541Bの出射方向A側の端部との間、天壁部541AにおけるX方向の他端部と側壁部541Bの出射方向A側の端部との間、天壁部541AにおけるY方向の一端部と側壁部541Bの出射方向A側の端部との間、及び、天壁部541AにおけるY方向の他端部と側壁部541Bの出射方向A側の端部との間に設けられている。吸気口505は、側壁部541Bに複数形成されている。吸気口505は、例えば円形の貫通孔である。排気口506は、傾斜壁部541Cに複数形成されている。排気口506は、例えば円形の貫通孔である。 The inclined wall portion 541C is a wall portion extending along a direction inclined with respect to the emission direction A. Specifically, the inclined wall portion 541C is inclined so as to incline inward with respect to the emission direction A as it approaches the emission direction A. The inclined wall portion 541C is continuous with the ceiling wall portion 541A and the side wall portion 541B. The inclined wall portion 541C is provided between one end of the ceiling wall portion 541A in the X direction and the end of the side wall portion 541B on the emission direction A side, between the other end of the ceiling wall portion 541A in the X direction and the end of the side wall portion 541B on the emission direction A side, between one end of the ceiling wall portion 541A in the Y direction and the end of the side wall portion 541B on the emission direction A side, and between the other end of the ceiling wall portion 541A in the Y direction and the end of the side wall portion 541B on the emission direction A side. A plurality of air intakes 505 are formed in the side wall portion 541B. The intake port 505 is, for example, a circular through hole. A plurality of exhaust ports 506 are formed in the inclined wall portion 541C. The exhaust ports 506 are, for example, circular through holes.

このようなX線発生装置501では、例えば、ファン7を駆動することにより、側壁部541Bの吸気口505から空気が吸引され、第1収容室541の内部に流入する。第1収容室541の内部において、空気は、排気口506へ向かって流れる。このとき、空気がX線管収容部2Sに接触することにより、結果としてX線管2が冷却される。その後、温められた空気は、傾斜壁部541Cの排気口506から出射方向Aに対して傾斜する方向に排出されて、第1収容室541の外部へと流出する。 In such an X-ray generating device 501, for example, by driving the fan 7, air is sucked in through the intake port 505 of the side wall portion 541B and flows into the inside of the first storage chamber 541. Inside the first storage chamber 541, the air flows toward the exhaust port 506. At this time, the air comes into contact with the X-ray tube housing portion 2S, and as a result, the X-ray tube 2 is cooled. The heated air is then discharged from the exhaust port 506 of the inclined wall portion 541C in a direction inclined with respect to the emission direction A, and flows out to the outside of the first storage chamber 541.

以上、X線発生装置501では、排気口506が天壁部541A以外の壁部に形成されているため、筐体4から排出された空気が照射対象物91に当たりにくくなり、当該空気の熱及び風量による照射対象物91への悪影響を抑えることができる。すなわち、X線発生装置501においても、照射対象物91に与える悪影響を抑制することが可能となる。 As described above, in the X-ray generating device 501, since the exhaust port 506 is formed in a wall portion other than the top wall portion 541A, the air discharged from the housing 4 is less likely to hit the irradiation object 91, and adverse effects on the irradiation object 91 due to the heat and volume of the air can be suppressed. In other words, in the X-ray generating device 501 as well, it is possible to suppress adverse effects on the irradiation object 91.

X線発生装置501では、排気口506が傾斜壁部541Cに形成されているため、筐体4から排出された空気が照射対象物91に当たりにくくなり、照射対象物91に与える悪影響を抑制することが可能となる。 In the X-ray generating device 501, the exhaust port 506 is formed in the inclined wall portion 541C, so that the air discharged from the housing 4 is less likely to hit the object to be irradiated 91, and adverse effects on the object to be irradiated 91 can be suppressed.

なお、本実施形態では、吸気口505は、その数、大きさ、位置及び形状は特に限定されず、種々の数、大きさ、位置及び形状であってもよい。排気口506は、その数、大きさ、位置及び形状は特に限定されず、種々の数、大きさ、位置及び形状であってもよい。また、本実施形態では、吸気口505が傾斜壁部541Cに形成され、排気口506が側壁部541Bに形成されていてもよい。この場合においても、排気口506が側壁部541Bに形成されているため、筐体4から排出された空気が照射対象物91に当たりにくくなり、照射対象物91に与える悪影響を抑制することが可能となる。 In this embodiment, the number, size, position, and shape of the intake port 505 are not particularly limited, and may be of various numbers, sizes, positions, and shapes. The number, size, position, and shape of the exhaust port 506 are not particularly limited, and may be of various numbers, sizes, positions, and shapes. In this embodiment, the intake port 505 may be formed in the inclined wall portion 541C, and the exhaust port 506 may be formed in the side wall portion 541B. Even in this case, since the exhaust port 506 is formed in the side wall portion 541B, the air discharged from the housing 4 is less likely to hit the irradiation object 91, and it is possible to suppress the adverse effects on the irradiation object 91.

[第7実施形態]
第7実施形態について説明する。第7実施形態の説明では、上記第1実施形態と異なる点について説明し、重複する説明は適宜に省略する。
[Seventh embodiment]
A seventh embodiment will be described. In the description of the seventh embodiment, differences from the first embodiment will be described, and overlapping descriptions will be omitted as appropriate.

図8に示されるように、第7実施形態に係るX線発生装置601は、筐体4(図2参照)に代えて筐体604を備え、吸気口5(図2参照)に代えて吸気口605を備え、排気口6(図2参照)に代えて排気口606を備え、ファン7(図2参照)に代えてファン607を備える点で、上記第1実施形態と異なる。 As shown in FIG. 8, the X-ray generating device 601 according to the seventh embodiment differs from the first embodiment in that it includes a housing 604 instead of the housing 4 (see FIG. 2), an intake port 605 instead of the intake port 5 (see FIG. 2), an exhaust port 606 instead of the exhaust port 6 (see FIG. 2), and a fan 607 instead of the fan 7 (see FIG. 2).

筐体604は、X線発生装置1の外囲を構成する。筐体604は、直方体状の外形の部材である。筐体604は、X線管収容部2S及び電源部3を主に収容する収容室640を含む。収容室640は、出射方向A側に配置された天壁部(第1壁部)640Aと、天壁部41Aに連続する複数の側壁部640Bと、側壁部640Bにおける出射方向A側とは反対側に連続する底壁部640Cと、により構成される。収容室640は、その内部に直方体状の閉空間を有する。天壁部640Aは、出射方向Aに垂直な方向に沿って(換言すると、XY平面に沿って)延在する壁部である。天壁部640Aには、出射窓部22を露出させる開口が設けられている。つまり、天壁部640Aを出射方向Aと対向する方向から見て、出射窓部22が当該天壁部640Aから露出している。天壁部640Aと底壁部640Cとは、互いに対向する。 The housing 604 constitutes the outer periphery of the X-ray generator 1. The housing 604 is a member having a rectangular parallelepiped outer shape. The housing 604 includes a storage chamber 640 that mainly houses the X-ray tube housing 2S and the power supply unit 3. The storage chamber 640 is composed of a ceiling wall portion (first wall portion) 640A arranged on the emission direction A side, a plurality of side wall portions 640B continuing from the ceiling wall portion 41A, and a bottom wall portion 640C continuing from the side wall portion 640B on the opposite side to the emission direction A side. The storage chamber 640 has a rectangular parallelepiped closed space therein. The ceiling wall portion 640A is a wall portion that extends along a direction perpendicular to the emission direction A (in other words, along the XY plane). The ceiling wall portion 640A has an opening that exposes the emission window portion 22. In other words, when the top wall portion 640A is viewed from a direction opposite to the emission direction A, the emission window portion 22 is exposed from the top wall portion 640A. The top wall portion 640A and the bottom wall portion 640C face each other.

側壁部640Bは、出射方向Aに沿って延在する壁部である。底壁部640Cは、出射方向Aに垂直な方向に沿って延在する壁部である。側壁部640Bは、天壁部640AにおけるX方向の一端部と底壁部640CにおけるX方向の一端部との間、及び、天壁部640AにおけるX方向の他端部と底壁部640CにおけるX方向の他端部との間に、X方向に対向するように一対設けられている。また、側壁部640Bは、天壁部640AにおけるY方向の一端部と底壁部640CにおけるY方向の一端部との間、及び、天壁部640AにおけるY方向の他端部と底壁部640CにおけるY方向の他端部との間に、Y方向に対向するように一対設けられている。 The side wall portion 640B is a wall portion extending along the emission direction A. The bottom wall portion 640C is a wall portion extending along a direction perpendicular to the emission direction A. A pair of side walls 640B are provided between one end of the top wall portion 640A in the X direction and one end of the bottom wall portion 640C in the X direction, and between the other end of the top wall portion 640A in the X direction and the other end of the bottom wall portion 640C in the X direction, so as to face each other in the X direction. A pair of side walls 640B are also provided between one end of the top wall portion 640A in the Y direction and one end of the bottom wall portion 640C in the Y direction, and between the other end of the top wall portion 640A in the Y direction and the other end of the bottom wall portion 640C in the Y direction, so as to face each other in the Y direction.

吸気口605は、筐体4の外部から内部へ空気を吸引する。吸気口605は、X方向の一方側(図示左側)の側壁部640B1に複数形成されている。吸気口605は、側壁部640B1の出射方向A側に配置されている。吸気口605は、収容室640の内外を連通する。吸気口605は、例えば円形の貫通孔である。排気口606は、筐体4の内部から外部へ空気を排出する。排気口606は、X方向の他方側(図示右側)の側壁部640B2に複数形成されている。排気口606は、側壁部640B2の出射方向A側とは反対側に配置されている。ファン607は、吸気口605から排気口606へ空気が流通するように空気を圧送する。ファン607は、X線管2に支持されている。ファン607は、X線管収容部2Sに対向配置されている。つまり、ファン7は、その吸引口又は吐出口(ここでは、吐出口)がX線管収容部2Sに向くように配置されている。図示する例では、ファン607をX線管収容部2Sに対向配置することにより、ファン607で圧送された空気がX線管収容部2Sに直接的に接触する。 The intake port 605 draws air from the outside to the inside of the housing 4. The intake port 605 is formed in a plurality of the side wall portion 640B1 on one side in the X direction (left side in the figure). The intake port 605 is arranged on the emission direction A side of the side wall portion 640B1. The intake port 605 communicates the inside and outside of the storage chamber 640. The intake port 605 is, for example, a circular through hole. The exhaust port 606 exhausts air from the inside of the housing 4 to the outside. The exhaust port 606 is formed in a plurality of the side wall portion 640B2 on the other side in the X direction (right side in the figure). The exhaust port 606 is arranged on the opposite side of the emission direction A side of the side wall portion 640B2. The fan 607 pressurizes air so that the air flows from the intake port 605 to the exhaust port 606. The fan 607 is supported by the X-ray tube 2. The fan 607 is disposed facing the X-ray tube housing 2S. In other words, the fan 607 is disposed so that its suction port or discharge port (discharge port in this case) faces the X-ray tube housing 2S. In the illustrated example, by disposing the fan 607 facing the X-ray tube housing 2S, the air compressed by the fan 607 comes into direct contact with the X-ray tube housing 2S.

このようなX線発生装置601では、例えば、ファン607を駆動することにより、側壁部640B1の吸気口605から空気がX方向の他方側に吸引され、空気が収容室640の内部に流入する。収容室640の内部において、空気は、排気口606へ向かって流れる。このとき、空気がX線管収容部2S及び電源部3に接触することにより、結果として、X線管2及び電源部3が冷却される。その後、温められた空気は、排気口606からX方向の他方側に排出されて、収容室640の外部へと流出する。 In such an X-ray generating device 601, for example, by driving the fan 607, air is sucked in from the intake port 605 of the side wall portion 640B1 to the other side in the X direction, and the air flows into the inside of the accommodation chamber 640. Inside the accommodation chamber 640, the air flows toward the exhaust port 606. At this time, the air comes into contact with the X-ray tube accommodation portion 2S and the power supply unit 3, resulting in the cooling of the X-ray tube 2 and the power supply unit 3. The heated air is then exhausted from the exhaust port 606 to the other side in the X direction and flows out to the outside of the accommodation chamber 640.

以上、X線発生装置601では、排気口606が天壁部640A以外の壁部に形成されているため、筐体604から排出された空気が照射対象物91に当たりにくくなり、当該空気の熱及び風量による照射対象物91への悪影響を抑えることができる。すなわち、X線発生装置601においても、照射対象物91に与える悪影響を抑制することが可能となる。 As described above, in the X-ray generating device 601, since the exhaust port 606 is formed in a wall portion other than the top wall portion 640A, the air discharged from the housing 604 is less likely to hit the irradiation object 91, and adverse effects on the irradiation object 91 due to the heat and volume of the air can be suppressed. In other words, in the X-ray generating device 601 as well, it is possible to suppress adverse effects on the irradiation object 91.

なお、本実施形態では、吸気口605は、側壁部640Bに形成されていれば、その数、大きさ、位置及び形状は特に限定されず、種々の数、大きさ、位置及び形状であってもよい。排気口606は、側壁部640B2に形成されていれば、その数、大きさ、位置及び形状は特に限定されず、種々の数、大きさ、位置及び形状であってもよい。ファン607としては、特に限定されず、種々の公知のファンを用いることができる。ファン607が配置される位置及びファン607の支持構造は特に限定されず、筐体604の内部にファン607が配置及び支持されていればよい。 In this embodiment, the number, size, position, and shape of the intake ports 605 are not particularly limited as long as they are formed in the side wall portion 640B, and may be of various numbers, sizes, positions, and shapes. The number, size, position, and shape of the exhaust ports 606 are not particularly limited as long as they are formed in the side wall portion 640B2, and may be of various numbers, sizes, positions, and shapes. The fan 607 is not particularly limited, and various known fans can be used. The position at which the fan 607 is disposed and the support structure for the fan 607 are not particularly limited, and it is sufficient that the fan 607 is disposed and supported inside the housing 604.

[第8実施形態]
第8実施形態について説明する。第8実施形態の説明では、上記第4実施形態と異なる点について説明し、重複する説明は適宜に省略する。
[Eighth embodiment]
An eighth embodiment will be described. In the description of the eighth embodiment, differences from the fourth embodiment will be described, and overlapping descriptions will be omitted as appropriate.

図9に示されるように、第8実施形態に係るX線発生装置701は、吸気口305(図5参照)に代えて吸気口705を備え、ファン307を備えていない点で、上記第4実施形態と異なる。 As shown in FIG. 9, the X-ray generating device 701 according to the eighth embodiment differs from the fourth embodiment in that it has an intake 705 instead of the intake 305 (see FIG. 5) and does not have a fan 307.

吸気口705は、第2収容室42を構成する壁部であってX方向の一方側の側壁部42B1に複数形成されている。吸気口705は、第2収容室42の内外を連通する。吸気口705は、例えば円形の貫通孔である。吸気口705は、側壁部42B1に形成されていれば、その数、大きさ、位置及び形状は特に限定されず、種々の数、大きさ、位置及び形状であってもよい。 The air intake ports 705 are formed in a plurality of side wall portions 42B1 on one side in the X direction, which are walls constituting the second storage chamber 42. The air intake ports 705 communicate between the inside and outside of the second storage chamber 42. The air intake ports 705 are, for example, circular through holes. As long as the air intake ports 705 are formed in the side wall portion 42B1, there are no particular limitations on their number, size, position, and shape, and they may be of various numbers, sizes, positions, and shapes.

このようなX線発生装置701では、例えば、ファン7を駆動することにより、側壁部42B1の吸気口705から空気がX方向の他方側に吸引され、空気が第2収容室42の内部に流入する。第1収容室41及び第2収容室42の内部において、空気は、吸気口705から排気口306へ向かって流れる。このとき、空気の一部は、複数の連通口309を介して、第2収容室42から第1収容室41へ流入、及び、第1収容室41から第2収容室42に流入する。空気がX線管収容部2S及び電源部3に接触することにより、結果として、X線管2及び電源部3が冷却される。その後、温められた空気は、排気口306からX方向の他方側に排出されて、第2収容室42の外部へと流出する。 In such an X-ray generating device 701, for example, by driving the fan 7, air is sucked in from the intake port 705 of the side wall portion 42B1 to the other side in the X direction, and the air flows into the inside of the second storage chamber 42. Inside the first storage chamber 41 and the second storage chamber 42, the air flows from the intake port 705 toward the exhaust port 306. At this time, a part of the air flows from the second storage chamber 42 to the first storage chamber 41 through the multiple communication ports 309, and from the first storage chamber 41 to the second storage chamber 42. As a result, the X-ray tube 2 and the power supply unit 3 are cooled by the air coming into contact with the X-ray tube storage unit 2S and the power supply unit 3. The heated air is then discharged from the exhaust port 306 to the other side in the X direction and flows out to the outside of the second storage chamber 42.

以上、X線発生装置701では、排気口306が天壁部41A以外の壁部に形成されているため、筐体4から排出された空気が照射対象物91に当たりにくくなり、当該空気の熱及び風量による照射対象物91への悪影響を抑えることができる。すなわち、X線発生装置701においても、照射対象物91に与える悪影響を抑制することが可能となる。 As described above, in the X-ray generating device 701, since the exhaust port 306 is formed in a wall portion other than the top wall portion 41A, the air discharged from the housing 4 is less likely to hit the irradiation object 91, and adverse effects on the irradiation object 91 due to the heat and volume of the air can be suppressed. In other words, in the X-ray generating device 701 as well, it is possible to suppress adverse effects on the irradiation object 91.

[第9実施形態]
第9実施形態について説明する。第9実施形態の説明では、上記第1実施形態と異なる点について説明し、重複する説明は適宜に省略する。
[Ninth embodiment]
A ninth embodiment will be described. In the description of the ninth embodiment, differences from the first embodiment will be described, and overlapping descriptions will be omitted as appropriate.

図10に示されるように、第9実施形態に係るX線発生装置801は、筐体4(図2参照)に代えて筐体804を備え、吸気口5(図2参照)に代えて吸気口805を備え、排気口6(図2参照)に代えて排気口806を備え、ファン7(図2参照)に代えてファン807を備える点で、上記第1実施形態と異なる。 As shown in FIG. 10, the X-ray generating device 801 according to the ninth embodiment differs from the first embodiment in that it includes a housing 804 instead of the housing 4 (see FIG. 2), an intake port 805 instead of the intake port 5 (see FIG. 2), an exhaust port 806 instead of the exhaust port 6 (see FIG. 2), and a fan 807 instead of the fan 7 (see FIG. 2).

筐体804は、X線管2を収容し且つ電源部3を収容しない第1収容室840を含む。第1収容室840は、出射方向A側に配置された天壁部840Aと、天壁部840Aに連続する複数の側壁部840Bと、側壁部840Bにおける出射方向A側とは反対側に連続する底壁部840Cと、により構成される。第1収容室840は、その内部に直方体状の閉空間を有する。天壁部840Aは、出射方向Aに垂直な方向に沿って延在する壁部である。天壁部840Aには、出射窓部22を露出させる開口が設けられている。つまり、天壁部840Aを出射方向Aと対向する方向から見て、出射窓部22が当該天壁部840Aから露出する。天壁部840Aと底壁部840Cとは、互いに対向する。 The housing 804 includes a first storage chamber 840 that stores the X-ray tube 2 but does not store the power supply unit 3. The first storage chamber 840 is composed of a top wall portion 840A arranged on the emission direction A side, a plurality of side wall portions 840B continuing from the top wall portion 840A, and a bottom wall portion 840C continuing from the side wall portion 840B on the opposite side of the emission direction A side. The first storage chamber 840 has a rectangular parallelepiped closed space inside. The top wall portion 840A is a wall portion that extends along a direction perpendicular to the emission direction A. The top wall portion 840A has an opening that exposes the emission window portion 22. In other words, when the top wall portion 840A is viewed from a direction opposite to the emission direction A, the emission window portion 22 is exposed from the top wall portion 840A. The top wall portion 840A and the bottom wall portion 840C face each other.

側壁部840Bは、出射方向Aに沿って延在する壁部である。底壁部840Cは、出射方向Aに垂直な方向に沿って延在する壁部である。側壁部840Bは、天壁部840AにおけるX方向の一端部と底壁部840CにおけるX方向の一端部との間、及び、天壁部840AにおけるX方向の他端部と底壁部840CにおけるX方向の他端部との間に、X方向に対向するように一対設けられている。また、側壁部840Bは、天壁部840AにおけるY方向の一端部と底壁部840CにおけるY方向の一端部との間、及び、天壁部840AにおけるY方向の他端部と底壁部840CにおけるY方向の他端部との間に、Y方向に対向するように一対設けられている。 The side wall portion 840B is a wall portion extending along the emission direction A. The bottom wall portion 840C is a wall portion extending along a direction perpendicular to the emission direction A. A pair of side wall portions 840B are provided between one end of the top wall portion 840A in the X direction and one end of the bottom wall portion 840C in the X direction, and between the other end of the top wall portion 840A in the X direction and the other end of the bottom wall portion 840C in the X direction, so as to face each other in the X direction. A pair of side wall portions 840B are provided between one end of the top wall portion 840A in the Y direction and one end of the bottom wall portion 840C in the Y direction, and between the other end of the top wall portion 840A in the Y direction and the other end of the bottom wall portion 840C in the Y direction, so as to face each other in the Y direction.

吸気口805は、筐体804の外部から内部へ空気を吸引する。吸気口805は、底壁部840CのX方向の一方側(図示左側)に形成されている。吸気口805は、第1収容室840の内外を連通する。吸気口805は、例えば円形の貫通孔である。排気口806は、筐体4の内部から外部へ空気を排出する。排気口806は、底壁部840CのX方向の他方側(図示右側)に形成されている。排気口806は、第1収容室840の内外を連通する。排気口806は、例えば円形の貫通孔である。 The air intake port 805 draws air from the outside of the housing 804 to the inside. The air intake port 805 is formed on one side in the X direction (the left side in the figure) of the bottom wall portion 840C. The air intake port 805 connects the inside and outside of the first storage chamber 840. The air intake port 805 is, for example, a circular through hole. The exhaust port 806 exhausts air from the inside of the housing 4 to the outside. The exhaust port 806 is formed on the other side in the X direction (the right side in the figure) of the bottom wall portion 840C. The exhaust port 806 connects the inside and outside of the first storage chamber 840. The exhaust port 806 is, for example, a circular through hole.

ファン807は、吸気口805から排気口806へ空気が流通するように空気を圧送する。ファン807は、第1収容室840の内部における吸気口805に近接する位置に設けられている。ファン807は、筐体804に支持されている。ファン807は、X線管収容部2Sに対向配置されている。つまり、ファン807は、その吸引口又は吐出口(ここでは、吐出口)がX線管収容部2Sに向くように配置されている。図示する例では、ファン807をX線管収容部2Sに対向配置することにより、ファン807で圧送された空気がX線管収容部2Sに直接的に接触する。 The fan 807 pressurizes and sends air so that the air flows from the intake port 805 to the exhaust port 806. The fan 807 is provided at a position close to the intake port 805 inside the first housing chamber 840. The fan 807 is supported by the housing 804. The fan 807 is disposed facing the X-ray tube housing 2S. In other words, the fan 807 is disposed so that its intake port or exhaust port (here, the exhaust port) faces the X-ray tube housing 2S. In the illustrated example, by disposing the fan 807 facing the X-ray tube housing 2S, the air pressurized by the fan 807 comes into direct contact with the X-ray tube housing 2S.

このようなX線発生装置801では、例えば、ファン807を駆動することにより、吸気口805から出射方向Aに沿って空気が吸引され、空気が外部から収容室640の内部に流入する。第1収容室840の内部において、空気は、排気口806へ向かって流れる。このとき、空気がX線管収容部2Sに接触することにより、結果としてX線管2が冷却される。その後、温められた空気は、排気口806から出射方向Aと反対側に排出されて、第1収容室840の外部へと流出する。 In such an X-ray generating device 801, for example, by driving the fan 807, air is sucked in from the intake port 805 along the emission direction A, and the air flows from the outside into the inside of the accommodation chamber 640. Inside the first accommodation chamber 840, the air flows toward the exhaust port 806. At this time, the air comes into contact with the X-ray tube accommodation section 2S, and as a result, the X-ray tube 2 is cooled. The heated air is then exhausted from the exhaust port 806 in the direction opposite to the emission direction A, and flows out to the outside of the first accommodation chamber 840.

以上、X線発生装置801では、排気口806が天壁部840A以外の壁部に形成されているため、筐体804から排出された空気が照射対象物91に当たりにくくなり、当該空気の熱及び風量による照射対象物91への悪影響を抑えることができる。すなわち、X線発生装置801においても、照射対象物91に与える悪影響を抑制することが可能となる。 As described above, in the X-ray generating device 801, since the exhaust port 806 is formed in a wall portion other than the top wall portion 840A, the air discharged from the housing 804 is less likely to hit the irradiation object 91, and adverse effects on the irradiation object 91 due to the heat and volume of the air can be suppressed. In other words, in the X-ray generating device 801 as well, it is possible to suppress adverse effects on the irradiation object 91.

なお、本実施形態では、吸気口805は、底壁部840Cに形成されていれば、その数、大きさ、位置及び形状は特に限定されず、種々の数、大きさ、位置及び形状であってもよい。排気口606は、底壁部840Cに形成されていれば、その数、大きさ、位置及び形状は特に限定されず、種々の数、大きさ、位置及び形状であってもよい。ファン807としては、特に限定されず、種々の公知のファンを用いることができる。ファン807が配置される位置及びファン807の支持構造は特に限定されず、筐体804の内部にファン807が配置及び支持されていてもよい。 In this embodiment, the number, size, position, and shape of the intake ports 805 are not particularly limited as long as they are formed in the bottom wall portion 840C, and may be of various numbers, sizes, positions, and shapes. The number, size, position, and shape of the exhaust ports 606 are not particularly limited as long as they are formed in the bottom wall portion 840C, and may be of various numbers, sizes, positions, and shapes. The fan 807 is not particularly limited, and various known fans can be used. The position at which the fan 807 is disposed and the support structure for the fan 807 are not particularly limited, and the fan 807 may be disposed and supported inside the housing 804.

以上、本開示の一態様は、上記実施形態に限定されない。 As mentioned above, one aspect of the present disclosure is not limited to the above embodiment.

上記実施形態において、筐体4における吸気口5に対する排気口6の位置関係は特に限定されない。例えば、図11に示されるように、筐体4の側壁部41B1に吸気口5を複数形成し、筐体4の側壁部41B1と垂直な側壁部41B3に排気口6を複数形成してもよい。また例えば、図12に示されるように、筐体4の側壁部41B1に吸気口5を複数形成し、筐体4の側壁部41B1と垂直な側壁部41B3に排気口6を複数形成し、筐体4の側壁部41B3に対向する側壁部41B4に排気口6を複数形成してもよい。また例えば、図13に示されるように、筐体4の側壁部41B1に吸気口5を複数形成し、筐体4の側壁部41B1に対向する側壁部41B2に排気口6を複数形成し、筐体4の側壁部41B1と垂直な側壁部41B3に排気口6を複数形成し、筐体4の側壁部41B3に対向する側壁部41B4に排気口6を複数形成してもよい。これらの場合、第1収容室41に流出入する空気量が増加し、冷却能力を向上することが可能となる。なお、図11、図12及び図13では、第1収容室41の内部の構成を省略して示している。 In the above embodiment, the positional relationship of the exhaust port 6 to the intake port 5 in the housing 4 is not particularly limited. For example, as shown in FIG. 11, a plurality of intake ports 5 may be formed in the side wall portion 41B1 of the housing 4, and a plurality of exhaust ports 6 may be formed in the side wall portion 41B3 perpendicular to the side wall portion 41B1 of the housing 4. Also, for example, as shown in FIG. 12, a plurality of intake ports 5 may be formed in the side wall portion 41B1 of the housing 4, a plurality of exhaust ports 6 may be formed in the side wall portion 41B3 perpendicular to the side wall portion 41B1 of the housing 4, and a plurality of exhaust ports 6 may be formed in the side wall portion 41B4 facing the side wall portion 41B3 of the housing 4. Also, for example, as shown in FIG. 13, multiple intake ports 5 may be formed in the side wall portion 41B1 of the housing 4, multiple exhaust ports 6 may be formed in the side wall portion 41B2 facing the side wall portion 41B1 of the housing 4, multiple exhaust ports 6 may be formed in the side wall portion 41B3 perpendicular to the side wall portion 41B1 of the housing 4, and multiple exhaust ports 6 may be formed in the side wall portion 41B4 facing the side wall portion 41B3 of the housing 4. In these cases, the amount of air flowing in and out of the first storage chamber 41 is increased, making it possible to improve the cooling capacity. Note that the internal configuration of the first storage chamber 41 is omitted in FIGS. 11, 12, and 13.

上記実施形態及び上記変形例における各構成には、上述した材料及び形状に限定されず、様々な材料及び形状を適用することができる。また、上記実施形態及び上記変形例における各構成は、他の実施形態又は変形例における各構成に任意に適用することができる。 The components in the above embodiment and modified examples are not limited to the materials and shapes described above, and various materials and shapes can be applied. Furthermore, the components in the above embodiment and modified examples can be arbitrarily applied to the components in other embodiments or modified examples.

1,101,201,301,401,501,601,701,801…X線発生装置、2…X線管、3…電源部、4,604,804…筐体、5,105,205,305,405,505,605,705,805…吸気口、6,206,306,506,606,806…排気口、7,207,307,807…ファン、41,541,840…第1収容室、41A,541A,640A,840A…天壁部(第1壁部)、41B1…側壁部(第2壁部,第3壁部)、41B2…側壁部(第2壁部,第3壁部)、42…第2収容室、44…仕切り壁部、309…連通口、402…補助排気口、541C…傾斜壁部、640…収容室、A…出射方向(第1方向)。 1,101,201,301,401,501,601,701,801...X-ray generator, 2...X-ray tube, 3...power supply unit, 4,604,804...housing, 5,105,205,305,405,505,605,705,805...air intake, 6,206,306,506,606,806...exhaust, 7,207,307,807...fan, 41, 541, 840...first storage chamber, 41A, 541A, 640A, 840A...ceiling wall (first wall), 41B1...side wall (second wall, third wall), 41B2...side wall (second wall, third wall), 42...second storage chamber, 44...partition wall, 309...communication port, 402...auxiliary exhaust port, 541C...inclined wall, 640...storage chamber, A...emission direction (first direction).

Claims (10)

第1方向を出射方向としてX線を出射するX線管と、
前記X線管の少なくとも一部を収容すると共に絶縁性の液体が封入されたX線管収容部と、
前記X線管収容部を収容する第1収容室を含む筐体と、
前記筐体の外部から内部へ冷却気体を吸引する1又は複数の吸気口と、
前記筐体の内部から外部へ冷却気体を排出する1又は複数の排気口と、
前記X線管収容部に対向配置され、前記筐体の内部において前記吸気口から前記排気口へ冷却気体が流通するように冷却気体を圧送するファンと、を備え、
前記X線管の出射窓部は、前記筐体の前記第1方向側に配置され、
前記排気口は、前記筐体の前記第1方向側の第1壁部以外の壁部に形成されている、X線発生装置。
an X-ray tube that emits X-rays in a first direction;
an X-ray tube housing portion that houses at least a portion of the X-ray tube and has an insulating liquid sealed therein;
a housing including a first housing chamber that houses the X-ray tube housing;
One or more intake ports for drawing cooling gas from the outside to the inside of the housing;
One or more exhaust ports for discharging cooling gas from the inside of the housing to the outside;
a fan disposed opposite the X-ray tube housing and configured to pump a cooling gas so that the cooling gas flows from the intake port to the exhaust port inside the housing,
an exit window of the X-ray tube is disposed on a side of the housing in the first direction;
The exhaust port is formed in a wall portion other than a first wall portion on the first direction side of the housing.
前記排気口は、前記第1収容室を構成する壁部であって前記第1方向と交差する第2方向側の第2壁部に形成され、
前記吸気口は、前記第1壁部に形成されている、請求項1に記載のX線発生装置。
The exhaust port is formed in a second wall portion that is a wall portion constituting the first storage chamber and is located on a second direction side that intersects with the first direction,
The X-ray generating device according to claim 1 , wherein the air inlet is formed in the first wall portion.
前記ファンは、前記排気口又は前記第1収容室の内部における前記排気口に近接する位置に設けられている、請求項2に記載のX線発生装置。 The X-ray generating device according to claim 2, wherein the fan is provided at the exhaust port or at a position close to the exhaust port inside the first storage chamber. 前記排気口は、前記第1収容室を構成する壁部であって前記第1方向と交差する第2方向側の第2壁部に形成され、
前記吸気口は、前記第1収容室を構成する壁部であって前記第2壁部と対向する第3壁部に形成されている、請求項1に記載のX線発生装置。
The exhaust port is formed in a second wall portion that is a wall portion constituting the first storage chamber and is located on a second direction side that intersects with the first direction,
2 . The X-ray generating device according to claim 1 , wherein the intake port is formed in a third wall portion that constitutes the first chamber and faces the second wall portion.
前記ファンは、前記排気口又は前記第1収容室の内部における前記排気口に近接する位置に設けられている、請求項4に記載のX線発生装置。 The X-ray generating device according to claim 4, wherein the fan is provided at the exhaust port or at a position close to the exhaust port inside the first storage chamber. 前記ファンは、前記吸気口又は前記第1収容室の内部における前記吸気口に近接する位置に設けられている、請求項4に記載のX線発生装置。 The X-ray generating device according to claim 4, wherein the fan is provided at the intake port or at a position adjacent to the intake port inside the first storage chamber. 前記第1壁部には、前記筐体の内部と外部との間で冷却気体を通気する通気口が形成されていない、請求項4に記載のX線発生装置。 The X-ray generating device according to claim 4, wherein the first wall does not have a vent hole for ventilating a cooling gas between the inside and outside of the housing. 前記筐体は、前記X線管に電力を供給する電源部を収容する第2収容室を含み、
前記第1収容室と前記第2収容室とは、それぞれの内部が仕切り壁部により仕切られ、
前記仕切り壁部には、前記第1収容室と前記第2収容室とを連通する連通口が形成され、
前記排気口は、前記第1収容室及び前記第2収容室の何れか一方を構成する壁部に形成され、
前記吸気口は、前記第1収容室及び前記第2収容室の何れか他方を構成する壁部に形成されている、請求項1に記載のX線発生装置。
the housing includes a second chamber that houses a power supply unit that supplies power to the X-ray tube;
The first storage chamber and the second storage chamber are separated from each other by a partition wall portion,
The partition wall portion has a communication port that communicates between the first storage chamber and the second storage chamber,
The exhaust port is formed in a wall portion that constitutes either the first housing chamber or the second housing chamber,
The X-ray generating device according to claim 1 , wherein the intake port is formed in a wall portion that constitutes the other of the first chamber and the second chamber.
前記第1壁部には、前記筐体の内部から外部へ冷却気体を排出する1又は複数の補助排気口が形成され、
前記補助排気口の総面積は、前記排気口の総面積よりも小さい、請求項1に記載のX線発生装置。
The first wall portion is formed with one or more auxiliary exhaust ports for discharging cooling gas from the inside of the housing to the outside,
The X-ray generating device according to claim 1 , wherein a total area of the auxiliary exhaust ports is smaller than a total area of the exhaust ports.
前記第1壁部は、前記第1方向に垂直な方向に沿って延在する天壁部であり、
前記吸気口及び前記排気口の何れか一方は、前記筐体において前記第1方向に沿って延在する側壁部に形成され、
前記吸気口及び前記排気口の何れか他方は、前記筐体において前記天壁部と前記側壁部とに連なり且つ前記第1方向に対して傾斜する方向に沿って延在する傾斜壁部に形成されている、請求項1に記載のX線発生装置。
The first wall portion is a top wall portion extending along a direction perpendicular to the first direction,
one of the intake port and the exhaust port is formed in a side wall portion of the housing extending along the first direction,
2. The X-ray generating device according to claim 1, wherein the other of the intake port and the exhaust port is formed in an inclined wall portion of the housing, the inclined wall portion being connected to the top wall portion and the side wall portion and extending along a direction inclined with respect to the first direction.
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