JP3245214B2 - 振動型アクチュエータ制御装置 - Google Patents
振動型アクチュエータ制御装置Info
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
- H02N2/10—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing rotary motion, e.g. rotary motors
- H02N2/14—Drive circuits; Control arrangements or methods
-
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- H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
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- H02N2/14—Drive circuits; Control arrangements or methods
- H02N2/142—Small signal circuits; Means for controlling position or derived quantities, e.g. speed, torque, starting, stopping, reversing
Landscapes
- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は振動型アクチュエータ制
御装置に関し、更に詳細には、該アクチュエータの停止
中における電力消費を従来の制御装置よりも低減させる
ことができる、改良された制御装置に関する。
御装置に関し、更に詳細には、該アクチュエータの停止
中における電力消費を従来の制御装置よりも低減させる
ことができる、改良された制御装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】振動型アクチュエータを制御する従来の
制御装置は、たとえば特開昭６３−１８９７４号公報等
に開示されているように、該アクチュエータの移動体
（すなわちロータ）の停止時には該アクチュエータの振
動体（すなわちステータ）に対して印加する駆動信号を
ゼロにするように構成されている。
制御装置は、たとえば特開昭６３−１８９７４号公報等
に開示されているように、該アクチュエータの移動体
（すなわちロータ）の停止時には該アクチュエータの振
動体（すなわちステータ）に対して印加する駆動信号を
ゼロにするように構成されている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら上記従来
技術では、該アクチュエータの停止中に該アクチュエー
タの電力消費はないが、該アクチュエータの制御装置に
おいては該振動体に接続されている駆動回路や該移動体
の瞬時位置検出用のセンサー及び位置検出回路等に通電
されているため、該移動体の停止時間が長い用途にお
いては電力消費が大きくなって電力利用効率が低下す
る。制御装置における発熱量が大きいため電子回路に
とって好ましくない、等の問題点があった。
技術では、該アクチュエータの停止中に該アクチュエー
タの電力消費はないが、該アクチュエータの制御装置に
おいては該振動体に接続されている駆動回路や該移動体
の瞬時位置検出用のセンサー及び位置検出回路等に通電
されているため、該移動体の停止時間が長い用途にお
いては電力消費が大きくなって電力利用効率が低下す
る。制御装置における発熱量が大きいため電子回路に
とって好ましくない、等の問題点があった。
【０００４】このような問題点を解決するためには、該
アクチュエータの停止時には該制御装置への通電をも停
止してしまうように構成すればよいが、従来の制御装置
をそのような構成にした場合には、（ａ）該移動体の停
止時の位置情報が失われてしまうので再起動後には制御
精度が低下する、（ｂ）電源のＯＮ及びＯＦＦの際に該
移動体が動いてしまう、等の問題があった。
アクチュエータの停止時には該制御装置への通電をも停
止してしまうように構成すればよいが、従来の制御装置
をそのような構成にした場合には、（ａ）該移動体の停
止時の位置情報が失われてしまうので再起動後には制御
精度が低下する、（ｂ）電源のＯＮ及びＯＦＦの際に該
移動体が動いてしまう、等の問題があった。
【０００５】本発明の目的は、該移動体の停止時には前
記（ａ）及び（ｂ）の問題を生ずることなく従来の制御
装置よりも電力消費及び発熱量を大きく低減することの
できる、改良された制御装置を提供することである。
記（ａ）及び（ｂ）の問題を生ずることなく従来の制御
装置よりも電力消費及び発熱量を大きく低減することの
できる、改良された制御装置を提供することである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本出願に係る発明の目的
を実現する第１の構成は、交流信号発生回路からの信号
を増幅回路で増幅し、振動型アクチュエータに対して駆
動信号を印加する駆動回路と、前記振動型アクチュエー
タにより駆動される移動体の移動量又は移動位置に相応
した信号を形成する検知回路と、該検知回路にて形成さ
れた移動量又は移動位置に相応する信号に基づいて前記
アクチュエータの動作制御を行う振動型アクチュエータ
制御装置において、前記検知回路にて形成された信号を
記憶する記憶手段と、前記振動型アクチュエータの起動
に際して、前記交流信号発生回路及び前記検知回路への
給電開始後前記記憶手段に記憶されている信号を前記検
知回路に転送する転送回路と、該転送回路による転送後
前記増幅回路を作動させることを特徴とする。
を実現する第１の構成は、交流信号発生回路からの信号
を増幅回路で増幅し、振動型アクチュエータに対して駆
動信号を印加する駆動回路と、前記振動型アクチュエー
タにより駆動される移動体の移動量又は移動位置に相応
した信号を形成する検知回路と、該検知回路にて形成さ
れた移動量又は移動位置に相応する信号に基づいて前記
アクチュエータの動作制御を行う振動型アクチュエータ
制御装置において、前記検知回路にて形成された信号を
記憶する記憶手段と、前記振動型アクチュエータの起動
に際して、前記交流信号発生回路及び前記検知回路への
給電開始後前記記憶手段に記憶されている信号を前記検
知回路に転送する転送回路と、該転送回路による転送後
前記増幅回路を作動させることを特徴とする。
【０００７】本出願に係る発明の目的を実現する第２の
構成は、振動型アクチュエータに対して駆動信号を印加
する駆動信号回路と、前記振動型アクチュエータにより
駆動される移動体の移動量又は移動位置に相応した信号
を形成する検知回路と、該検知回路にて形成された移動
量又は移動位置に相応する信号に基づいて前記アクチュ
エータの動作制御を行う振動型アクチュエータ制御装置
において、前記検知回路にて形成された信号を記憶する
記憶手段と、前記振動型アクチュエータの停止に際して
前記駆動回路を不作動にする停止回路と、該駆動回路が
不作動になった後前記検知回路の信号を前記記憶手段に
転送する転送回路と、該転送回路による転送動作後前記
検知回路への給電を停止させる給電制御手段を設け、前
記停止回路 、 転送回路 、 給電制御手段を時系列で作動させ
たことを特徴とする。
構成は、振動型アクチュエータに対して駆動信号を印加
する駆動信号回路と、前記振動型アクチュエータにより
駆動される移動体の移動量又は移動位置に相応した信号
を形成する検知回路と、該検知回路にて形成された移動
量又は移動位置に相応する信号に基づいて前記アクチュ
エータの動作制御を行う振動型アクチュエータ制御装置
において、前記検知回路にて形成された信号を記憶する
記憶手段と、前記振動型アクチュエータの停止に際して
前記駆動回路を不作動にする停止回路と、該駆動回路が
不作動になった後前記検知回路の信号を前記記憶手段に
転送する転送回路と、該転送回路による転送動作後前記
検知回路への給電を停止させる給電制御手段を設け、前
記停止回路 、 転送回路 、 給電制御手段を時系列で作動させ
たことを特徴とする。
【０００８】上記した第１の構成では、無駄な電力消費
を防ぐとともに、振動型アクチュエータを起動する際に
アクチュエータへの電源をオンした際にアクチュエータ
により駆動される移動体が動いてしまうことにより、記
憶回路に記憶されていた起動前の移動体の位置情報と異
なってしまう不都合を防止する。上記した第２の構成で
は、アクチュエータを停止する際に移動体が移動してし
まい、そのため 、 アクチュエータ停止と同時に検知回路
の内容を記憶回路に転送すると、転送後に移動体が動く
ことがおきる恐れがあり、記憶値と実際の位置が異なる
値になる不都合を防止する。
を防ぐとともに、振動型アクチュエータを起動する際に
アクチュエータへの電源をオンした際にアクチュエータ
により駆動される移動体が動いてしまうことにより、記
憶回路に記憶されていた起動前の移動体の位置情報と異
なってしまう不都合を防止する。上記した第２の構成で
は、アクチュエータを停止する際に移動体が移動してし
まい、そのため 、 アクチュエータ停止と同時に検知回路
の内容を記憶回路に転送すると、転送後に移動体が動く
ことがおきる恐れがあり、記憶値と実際の位置が異なる
値になる不都合を防止する。
【０００９】
【実施例】以下に図面を参照して本発明の実施例につい
て説明する。なお、以下に説明する実施例は、リング形
振動体及びリング形移動体から成る回転型のいわゆる超
音波モータとしての振動型アクチュエータに本発明を適
用したものであるが、本発明が適用される振動型アクチ
ュエータはこれに限るものではなく、往復動型、振動型
などであってもよいことは明らかである。
て説明する。なお、以下に説明する実施例は、リング形
振動体及びリング形移動体から成る回転型のいわゆる超
音波モータとしての振動型アクチュエータに本発明を適
用したものであるが、本発明が適用される振動型アクチ
ュエータはこれに限るものではなく、往復動型、振動型
などであってもよいことは明らかである。
【００１０】図１は本発明の制御装置の第１実施例を示
した概略図である。同図において、１は不図示の支持部
材に固定されたリング形の振動体、２は振動体１の表面
に進行波振動体を生じさせるために該振動体１に固着さ
れている圧電素子、３は振動体１の表面に圧接された状
態で振動体１の円周方向に沿って移動するロータ（すな
わち移動体）であり、振動体１及び圧電素子２並びに移
動体３によって振動型アクチュエータが構成されてい
る。
した概略図である。同図において、１は不図示の支持部
材に固定されたリング形の振動体、２は振動体１の表面
に進行波振動体を生じさせるために該振動体１に固着さ
れている圧電素子、３は振動体１の表面に圧接された状
態で振動体１の円周方向に沿って移動するロータ（すな
わち移動体）であり、振動体１及び圧電素子２並びに移
動体３によって振動型アクチュエータが構成されてい
る。
【００１１】４はロータに固定された出力軸、５は出力
軸４の一端に固定されたカップリング、６はカップリン
グ５の一端に取付けられたロータリーエンコーダ、であ
る。なお、出力軸４の他端には不図示のロボットのアー
ム等の負荷が接続される。７はロータリーエンコーダの
出力パルスをカウントする位置カウンタ、８は位置情報
を記憶するメモリ素子、９は不図示の指令装置からの位
置指令に応じて位置カウンタ７のカウント値が位置指令
に対応する位置となるように２つの交流出力信号の周波
数や振幅及び位相等を変化させることにより指令された
位置に移動体３が達したら出力信号をゼロにする交流信
号発生回路、１０は交流信号発生回路８からの２つの交
流出力信号を増幅して出力する交流信号増幅回路、であ
る。
軸４の一端に固定されたカップリング、６はカップリン
グ５の一端に取付けられたロータリーエンコーダ、であ
る。なお、出力軸４の他端には不図示のロボットのアー
ム等の負荷が接続される。７はロータリーエンコーダの
出力パルスをカウントする位置カウンタ、８は位置情報
を記憶するメモリ素子、９は不図示の指令装置からの位
置指令に応じて位置カウンタ７のカウント値が位置指令
に対応する位置となるように２つの交流出力信号の周波
数や振幅及び位相等を変化させることにより指令された
位置に移動体３が達したら出力信号をゼロにする交流信
号発生回路、１０は交流信号発生回路８からの２つの交
流出力信号を増幅して出力する交流信号増幅回路、であ
る。
【００１２】１１及び１２はＦＥＴやリレー等のスチッ
チ素子、１３は不図示の指令装置からのスタート指令や
交流信号発生回路からの停止した事を知らせる停止信号
の状態に応じてスイッチ素子１１及び１２やメモリ素子
８の動作の指令を発生するＯＮ・ＯＦＦ指令回路、１４
は電源、である。本実施例における制御装置は、ロータ
リーエンコーダ６、位置カウンタ７、メモリ素子８、交
流信号発生回路９、交流信号増幅回路１０、スイッチ素
子１１及び１２、ＯＮ・ＯＦＦ指令回路１３、から構成
されており、本実施例の制御装置の特徴はメモリ素子
８、スイッチ素子１１及び１２、ＯＮ・ＯＦＦ指令回路
１３を設けたことである。
チ素子、１３は不図示の指令装置からのスタート指令や
交流信号発生回路からの停止した事を知らせる停止信号
の状態に応じてスイッチ素子１１及び１２やメモリ素子
８の動作の指令を発生するＯＮ・ＯＦＦ指令回路、１４
は電源、である。本実施例における制御装置は、ロータ
リーエンコーダ６、位置カウンタ７、メモリ素子８、交
流信号発生回路９、交流信号増幅回路１０、スイッチ素
子１１及び１２、ＯＮ・ＯＦＦ指令回路１３、から構成
されており、本実施例の制御装置の特徴はメモリ素子
８、スイッチ素子１１及び１２、ＯＮ・ＯＦＦ指令回路
１３を設けたことである。
【００１３】ＯＮ・ＯＦＦ指令回路１３は該アクチュエ
ータの起動時及び停止時の制御信号発生手段となってい
る。
ータの起動時及び停止時の制御信号発生手段となってい
る。
【００１４】なお、図１において、ａは不図示の指令装
置から該回路１３に入力されるスタート指令、ｂは不図
示の指令装置から交流信号（駆動振動）発生回路９に入
力される位置指令、ｃは該回路１３からスイッチ素子１
１に加えられる信号、ｄは該回路１３からメモリ８に加
えられる信号、ｅは該回路１３からスイッチ素子１２に
加えられる信号、ｆは交流信号発生回路９から発せられ
るアクチュエータ停止信号、である。図２は前述した信
号ａ〜ｆ及びアクチュエータ駆動信号Ａ相及びＢ相のタ
イミングチャートである。
置から該回路１３に入力されるスタート指令、ｂは不図
示の指令装置から交流信号（駆動振動）発生回路９に入
力される位置指令、ｃは該回路１３からスイッチ素子１
１に加えられる信号、ｄは該回路１３からメモリ８に加
えられる信号、ｅは該回路１３からスイッチ素子１２に
加えられる信号、ｆは交流信号発生回路９から発せられ
るアクチュエータ停止信号、である。図２は前述した信
号ａ〜ｆ及びアクチュエータ駆動信号Ａ相及びＢ相のタ
イミングチャートである。
【００１５】以下には図２及び図１を参照しつつ、図１
の回路の動作を説明する。
の回路の動作を説明する。
【００１６】アクチュエータ起動前の最初の状態では、
メモリ素子８がが現在のロータ位置を記憶しており、ロ
ータリーエンコーダ６、位置カウンタ７交流信号発生回
路９、交流信号増幅回路１９の電源はＯＦＦ状態にあ
る。
メモリ素子８がが現在のロータ位置を記憶しており、ロ
ータリーエンコーダ６、位置カウンタ７交流信号発生回
路９、交流信号増幅回路１９の電源はＯＦＦ状態にあ
る。
【００１７】まず不図示の指令装置からスタート指令パ
ルスａと共に位置指令ｂが入力される。スタート指令パ
ルスａの立ち下がりに同期してＯＮ・ＯＦＦ指令回路１
３は信号ｃによってスイッチ素子１１をＯＮ状態にし、
交流信号発生回路９、位置カウンタ７、ロータリーエン
コーダ６の電源が接続される。次にロータリーエンコー
ダ６の出力が安定するまでの時間だけ遅らせて信号ｄを
ハイにするメモリ素子８は信号ｄの立ち上がりに同期し
て、位置カウンタ７へ記憶していた現在位置のカウント
値を転送する。次に転送に必要な時間だけ遅らせて信号
ｅによってスイッチ素子１２をＯＮ状態にし交流信号増
幅回路１０の電源が接続される。一方交流信号発生回路
９は、位置カウンタ７の出力と、位置指令が異なれば信
号ｆをローにし交流信号増幅回路１０の電源が安定する
のに必要な時間だけ信号ｅの立ち上がりエッジから遅ら
せて交流信号を発生させる。すると、振動型アクチュエ
ータに交流信号増幅回路１０で増幅されたＡ相とＢ相の
２相の信号が印加され回転が始まる。位置カウンタ７の
カウント値が位置指令と等しくなると、交流信号発生回
路９は交流信号の発生を停止し、停止を示す停止信号ｆ
を発生する。
ルスａと共に位置指令ｂが入力される。スタート指令パ
ルスａの立ち下がりに同期してＯＮ・ＯＦＦ指令回路１
３は信号ｃによってスイッチ素子１１をＯＮ状態にし、
交流信号発生回路９、位置カウンタ７、ロータリーエン
コーダ６の電源が接続される。次にロータリーエンコー
ダ６の出力が安定するまでの時間だけ遅らせて信号ｄを
ハイにするメモリ素子８は信号ｄの立ち上がりに同期し
て、位置カウンタ７へ記憶していた現在位置のカウント
値を転送する。次に転送に必要な時間だけ遅らせて信号
ｅによってスイッチ素子１２をＯＮ状態にし交流信号増
幅回路１０の電源が接続される。一方交流信号発生回路
９は、位置カウンタ７の出力と、位置指令が異なれば信
号ｆをローにし交流信号増幅回路１０の電源が安定する
のに必要な時間だけ信号ｅの立ち上がりエッジから遅ら
せて交流信号を発生させる。すると、振動型アクチュエ
ータに交流信号増幅回路１０で増幅されたＡ相とＢ相の
２相の信号が印加され回転が始まる。位置カウンタ７の
カウント値が位置指令と等しくなると、交流信号発生回
路９は交流信号の発生を停止し、停止を示す停止信号ｆ
を発生する。
【００１８】ＯＮ・ＯＦＦ指令回路は、信号ｆの立ち上
がりエッジから振動型アクチュエータの振動が停止する
のに必要な時間だけ遅らせて信号ｅでスイッチ素子１２
をＯＦＦ状態にし、交流信号増幅回路１０の電源をＯＦ
Ｆする。次に交流信号増幅回路１０の電源が完全にＯＦ
Ｆされるのを待って信号ｄをローにし位置カウンタ７の
現在位置を示すカウント値を信号ｄの立ち下がりに同期
してメモリ素子８に転送する。次に転送に必要な時間だ
け送らせて信号ｃによってスイッチ素子１１をＯＦＦ状
態にし、交流信号発生回路９、位置カウンタ７ロータリ
ーエンコーダ６の電源がＯＦＦされる。
がりエッジから振動型アクチュエータの振動が停止する
のに必要な時間だけ遅らせて信号ｅでスイッチ素子１２
をＯＦＦ状態にし、交流信号増幅回路１０の電源をＯＦ
Ｆする。次に交流信号増幅回路１０の電源が完全にＯＦ
Ｆされるのを待って信号ｄをローにし位置カウンタ７の
現在位置を示すカウント値を信号ｄの立ち下がりに同期
してメモリ素子８に転送する。次に転送に必要な時間だ
け送らせて信号ｃによってスイッチ素子１１をＯＦＦ状
態にし、交流信号発生回路９、位置カウンタ７ロータリ
ーエンコーダ６の電源がＯＦＦされる。
【００１９】この様に、振動型アクチュエータの停止時
には低消費電力のメモリ素子に位置情報を退避させてお
き、必要な回路以外の電源をＯＦＦにしておくことで振
動型アクチュエータが停止時に電力を消費しないという
特長を最大限に生かして回路の消費電力を最小限に押さ
え、且つ、電源のＯＮ・ＯＦＦ時における回路の電源を
所定の手順且つタイミングでＯＮ・ＯＦＦすることによ
って、電源ＯＮ・ＯＦＦ時に振動型アクチュエータが回
転してしまうことを防止した。したがって停止精度を下
げずに低い消費電化学を達成出来る。
には低消費電力のメモリ素子に位置情報を退避させてお
き、必要な回路以外の電源をＯＦＦにしておくことで振
動型アクチュエータが停止時に電力を消費しないという
特長を最大限に生かして回路の消費電力を最小限に押さ
え、且つ、電源のＯＮ・ＯＦＦ時における回路の電源を
所定の手順且つタイミングでＯＮ・ＯＦＦすることによ
って、電源ＯＮ・ＯＦＦ時に振動型アクチュエータが回
転してしまうことを防止した。したがって停止精度を下
げずに低い消費電化学を達成出来る。
【００２０】図３は本発明の制御装置の第２実施例を示
した概略図である。第１実施例との違いはカウンタ７と
メモリ素子８の両方をカウンタ７が兼ねている所であ
る。各信号のタイミングは図２で示される。カウンタ７
は信号ｄがハイになるとカウント可能になり信号ｄがロ
ーになるとカウント値を保持し続けることで信号ｄがハ
イの時はカウンタにローの時はメモリ素子になるため、
第１実施例と同様の動作を、より簡単な回路で実現出来
る。又、光学式ロータリーエンコーダの場合、光源をＯ
ＦＦすれば電源を切るとこととほぼ同等の効果が得られ
るので代用しても良い。
した概略図である。第１実施例との違いはカウンタ７と
メモリ素子８の両方をカウンタ７が兼ねている所であ
る。各信号のタイミングは図２で示される。カウンタ７
は信号ｄがハイになるとカウント可能になり信号ｄがロ
ーになるとカウント値を保持し続けることで信号ｄがハ
イの時はカウンタにローの時はメモリ素子になるため、
第１実施例と同様の動作を、より簡単な回路で実現出来
る。又、光学式ロータリーエンコーダの場合、光源をＯ
ＦＦすれば電源を切るとこととほぼ同等の効果が得られ
るので代用しても良い。
【００２１】
【発明の効果】請求項１に係る発明によれば、無駄な電
力消費を防ぐとともに、振動型アクチュエータを起動す
る際にアクチュエータへの電源をオンした際にアクチュ
エータにより駆動される移動体が動いてしまうことによ
り、記憶回路に記憶されていた起動前の移動体の位置情
報と異なってしまう不都合を防止する。請求項２に係る
発明によれば、アクチュエータを停止する際に移動体が
移動してしまい、そのため 、 アクチュエータ停止と同時
に検知回路の内容を記憶回路に転送すると、転送後に移
動体が動くことがおきる恐れがあり、記憶値と実際の位
置が異なる値になる不都合を防止する。
力消費を防ぐとともに、振動型アクチュエータを起動す
る際にアクチュエータへの電源をオンした際にアクチュ
エータにより駆動される移動体が動いてしまうことによ
り、記憶回路に記憶されていた起動前の移動体の位置情
報と異なってしまう不都合を防止する。請求項２に係る
発明によれば、アクチュエータを停止する際に移動体が
移動してしまい、そのため 、 アクチュエータ停止と同時
に検知回路の内容を記憶回路に転送すると、転送後に移
動体が動くことがおきる恐れがあり、記憶値と実際の位
置が異なる値になる不都合を防止する。
【図１】本発明の第一実施例の振動型アクチュエータ制
御装置の該略図。
御装置の該略図。
【図２】図１に示した装置の各部の信号のタイミングチ
ャート。
ャート。
【図３】本発明の第二実施例の振動型アクチュエータ制
御装置の概略図。
御装置の概略図。
１…振動体 ２…圧電素子 ３…ロータ（移動体） ６…ロータリ
ーエンコーダ ７…位置カウンタ ８…メモリ素
子 ９…交流信号発生回路 １０…交流信
号増幅回路 １１，１２…スイッチ素子 １３…ＯＮ・
ＯＦＦ指令回路
ーエンコーダ ７…位置カウンタ ８…メモリ素
子 ９…交流信号発生回路 １０…交流信
号増幅回路 １１，１２…スイッチ素子 １３…ＯＮ・
ＯＦＦ指令回路
Claims (2)
- 【請求項１】 交流信号発生回路からの信号を増幅回路
で増幅し、振動型アクチュエータに対して駆動信号を印
加する駆動回路と、前記振動型アクチュエータにより駆
動される移動体の移動量又は移動位置に相応した信号を
形成する検知回路と、該検知回路にて形成された移動量
又は移動位置に相応する信号に基づいて前記アクチュエ
ータの動作制御を行う振動型アクチュエータ制御装置に
おいて、 前記検知回路にて形成された信号を記憶する記憶手段
と、前記振動型アクチュエータの起動に際して、前記交
流信号発生回路及び前記検知回路への給電開始後前記記
憶手段に記憶されている信号を前記検知回路に転送する
転送回路と、該転送回路による転送後前記増幅回路を作
動させることを特徴とする振動型アクチュエータ制御装
置。 - 【請求項２】 振動型アクチュエータに対して駆動信号
を印加する駆動信号回路と、前記振動型アクチュエータ
により駆動される移動体の移動量又は移動位置に相応し
た信号を形成する検知回路と、該検知回路にて形成され
た移動量又は移動位置に相応する信号に基づいて前記ア
クチュエータの動作制御を行う振動型アクチュエータ制
御装置において、 前記検知回路にて形成された信号を記憶する記憶手段
と、前記振動型アクチュエータの停止に際して前記駆動
回路を不作動にする停止回路と、該駆動回路が不作動に
なった後前記検知回路の信号を前記記憶手段に転送する
転送回路と、該転送回路による転送動作後前記検知回路
への給電を停止させる給電制御手段を設け、前記停止回
路 、 転送回路 、 給電制御手段を時系列で作動させたことを
特徴とする振動型アクチュエータ制御装置。
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