JP3239598B2 - 回折光学素子の製造方法 - Google Patents
回折光学素子の製造方法Info
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、成形型によりガラ
ス等の母材の成形に活性エネルギー線硬化樹脂の層を密
着成形した回折光学素子の製造方法に関するものであ
る。
ス等の母材の成形に活性エネルギー線硬化樹脂の層を密
着成形した回折光学素子の製造方法に関するものであ
る。
【０００２】
【従来の技術】近年、所定の表面形状を有する成形型を
用いて、ガラス等の母材の成形面に活性エネルギー線硬
化樹脂を密着成形する技術が開発され、非球面レンズや
フレネルレンズ、回折格子等の複合型成形品の製造方法
として利用されている。この製造方法については、例え
ば特開平３−７９３１４号公報、特開平３−１９７１０
６号公報、特開平４−１４４７１８号公報等に示されて
いる。
用いて、ガラス等の母材の成形面に活性エネルギー線硬
化樹脂を密着成形する技術が開発され、非球面レンズや
フレネルレンズ、回折格子等の複合型成形品の製造方法
として利用されている。この製造方法については、例え
ば特開平３−７９３１４号公報、特開平３−１９７１０
６号公報、特開平４−１４４７１８号公報等に示されて
いる。
【０００３】図１０（ａ）〜（ｄ）は従来の回折格子の
製造方法を示す図であり、まず、図１０（ａ）の様に回
折格子の成形型２２の表面のほぼ中央部に紫外線硬化樹
脂に代表される活性エネルギー線硬化樹脂２３を滴下
し、しかる後に、図１０（ｂ）の様にガラス板等よりな
る別の母材２１を前記滴下樹脂の液滴上に接触させる。
次に図１０（ｃ）の様に樹脂厚みが一定になる様に、図
には示していない何らかの治具等を用いて型締めし、活
性エネルギー線ｈνを照射して樹脂を硬化し、離型した
後、図１０（ｄ）の様な複合型回折格子を得る。
製造方法を示す図であり、まず、図１０（ａ）の様に回
折格子の成形型２２の表面のほぼ中央部に紫外線硬化樹
脂に代表される活性エネルギー線硬化樹脂２３を滴下
し、しかる後に、図１０（ｂ）の様にガラス板等よりな
る別の母材２１を前記滴下樹脂の液滴上に接触させる。
次に図１０（ｃ）の様に樹脂厚みが一定になる様に、図
には示していない何らかの治具等を用いて型締めし、活
性エネルギー線ｈνを照射して樹脂を硬化し、離型した
後、図１０（ｄ）の様な複合型回折格子を得る。
【０００４】
【発明が解決しようとしている課題】しかしながら、上
記従来の製造工程では、図１０（ｂ）の母材２１と樹脂
の液滴２３とが接触する瞬間に気泡２４が発生すること
があった。すなわち、液滴２３の頂点と母材２１の平面
との接触過程は理論的には点接触であるが、実際は液滴
は滴下直後から時間の経過とともに広がっており、その
頂点は平坦となり、母材２１との接触は面対面の接触と
なってしまい気泡の発生する機会が多い。
記従来の製造工程では、図１０（ｂ）の母材２１と樹脂
の液滴２３とが接触する瞬間に気泡２４が発生すること
があった。すなわち、液滴２３の頂点と母材２１の平面
との接触過程は理論的には点接触であるが、実際は液滴
は滴下直後から時間の経過とともに広がっており、その
頂点は平坦となり、母材２１との接触は面対面の接触と
なってしまい気泡の発生する機会が多い。
【０００５】また、図１０（ｂ）から図１０（ｃ）へと
液状樹脂２３が広がっていく過程でも、成形型２２が回
折格子やフレネルレンズなどの場合には、成形型２２の
成形面の凹凸表面を樹脂液が広がるため、気泡２４が発
生しやすい。また非球面レンズ等の表面が平坦な場合で
も樹脂液の広がる速度が速い場合には、成形型２２の表
面の欠陥、ゴミ等により気泡２４が発生することがあっ
た。特に、複合型成形品が光学素子の場合は、気泡は光
の散乱の原因となり機能上大きな問題点となっていた。
液状樹脂２３が広がっていく過程でも、成形型２２が回
折格子やフレネルレンズなどの場合には、成形型２２の
成形面の凹凸表面を樹脂液が広がるため、気泡２４が発
生しやすい。また非球面レンズ等の表面が平坦な場合で
も樹脂液の広がる速度が速い場合には、成形型２２の表
面の欠陥、ゴミ等により気泡２４が発生することがあっ
た。特に、複合型成形品が光学素子の場合は、気泡は光
の散乱の原因となり機能上大きな問題点となっていた。
【０００６】この問題点を解決すため、従来は図１１に
示すように、成形品を真空容器２５内に入れて、発生し
た気泡を除去する方法が特開平４−４６３０３号公報に
記載されている。しかしながらこの方法では、成形品を
成形毎に真空容器に出し入れしなければならず、手間と
時間がかかり問題であった。また実際に真空引きして見
ると、気泡をふくむとともに樹脂液も型の端部からはみ
だして垂れてしまい、汚れが発生する等の問題点があっ
た。
示すように、成形品を真空容器２５内に入れて、発生し
た気泡を除去する方法が特開平４−４６３０３号公報に
記載されている。しかしながらこの方法では、成形品を
成形毎に真空容器に出し入れしなければならず、手間と
時間がかかり問題であった。また実際に真空引きして見
ると、気泡をふくむとともに樹脂液も型の端部からはみ
だして垂れてしまい、汚れが発生する等の問題点があっ
た。
【０００７】本発明は上記のような問題点を解消した、
回折光学素子の製造方法を得ることを目的とする。
回折光学素子の製造方法を得ることを目的とする。
【０００８】請求項１の発明の回折光学素子の製造方法
は、成形型の表面に回折格子を成形するための格子形状
部を形成し、前記成形型に対向して母材を配置し、前記
成形型と前記母材との間を活性エネルギー線硬化樹脂が
毛細管現象により流入する距離に設置すると共に、前記
母材の外周面を前記活性エネルギー線硬化樹脂が表面張
力作用により前記成形型の格子形状部内に引き込まれる
ように空間の外周部近傍の厚みが徐々に広がる面取り部
を形成し、前記格子形状部内の活性エネルギー線硬化樹
脂に、活性エネルギー線を照射して回折光学素子を製造
することを特徴としている。
は、成形型の表面に回折格子を成形するための格子形状
部を形成し、前記成形型に対向して母材を配置し、前記
成形型と前記母材との間を活性エネルギー線硬化樹脂が
毛細管現象により流入する距離に設置すると共に、前記
母材の外周面を前記活性エネルギー線硬化樹脂が表面張
力作用により前記成形型の格子形状部内に引き込まれる
ように空間の外周部近傍の厚みが徐々に広がる面取り部
を形成し、前記格子形状部内の活性エネルギー線硬化樹
脂に、活性エネルギー線を照射して回折光学素子を製造
することを特徴としている。
【０００９】
【００１０】
【００１１】
【００１２】
【実施例】以下、本発明の複合型成形品としての回折格
子の製造方法を図１（ａ）〜（ｆ）について説明する。
子の製造方法を図１（ａ）〜（ｆ）について説明する。
【００１３】まず、成形樹脂層を担持するためのガラス
板からなる母材１の成形面と、表面に回折格子形状を有
する成形型２の面とを、間隔を隔てて図１（ａ）の様に
対向させる。
板からなる母材１の成形面と、表面に回折格子形状を有
する成形型２の面とを、間隔を隔てて図１（ａ）の様に
対向させる。
【００１４】ここで母材１は目的とする部品形状のもの
で、透過型回折格子の場合には透明材料、反射型回折格
子の場合には透明・不透明どちらかでも良い。材質はガ
ラスに限らず、例えば金属、プラスチック、セラミック
等いかなるものでも良い。また母材１はあらかじめ洗浄
されたものを使用し、樹脂が密着する面には、密着を促
進するためのシランカップリング処理等を施こしておい
ても良い。
で、透過型回折格子の場合には透明材料、反射型回折格
子の場合には透明・不透明どちらかでも良い。材質はガ
ラスに限らず、例えば金属、プラスチック、セラミック
等いかなるものでも良い。また母材１はあらかじめ洗浄
されたものを使用し、樹脂が密着する面には、密着を促
進するためのシランカップリング処理等を施こしておい
ても良い。
【００１５】成形型２は、たとえば石英、シリコン、金
属等の材料からなり、フォトリソグラフィー等の加工に
より作成されたものを用いる。図１には単純形状で示し
てあるが、母材１を支えるための母材保持手段４を設け
る。
属等の材料からなり、フォトリソグラフィー等の加工に
より作成されたものを用いる。図１には単純形状で示し
てあるが、母材１を支えるための母材保持手段４を設け
る。
【００１６】次に図１（ｂ）の様に母材１を母材保持手
段４により成形型２に接近させ、成形型２と母材１との
間隔を、目的とする樹脂層の厚みになる様に固定する
（第１工程）。
段４により成形型２に接近させ、成形型２と母材１との
間隔を、目的とする樹脂層の厚みになる様に固定する
（第１工程）。
【００１７】次に図１（ｃ）に示す様に、活性エネルギ
ー線硬化樹脂液３（以下、樹脂液３と略称する）をディ
スペンサー５等により、上記の成形型２と母材１とが対
向する間隔空間の周辺部の一部分から徐々に供給する。
ここで用いられる活性エネルギー線硬化樹脂は、紫外線
硬化樹脂、可視光線硬化樹脂、Ｘ線硬化樹脂等いかなる
ものでも良いが、なかでも紫外線硬化樹脂は取扱いやす
く、光源の種類も豊富等の理由により使用しやすい。ま
た樹脂としては、アクリル系、エポキシ系、エンチオー
ル系等の樹脂系が用いられるが、なかでもアクリル系の
紫外線硬化樹脂は硬化時間が短く、環境耐久性が良いの
で好ましい。
ー線硬化樹脂液３（以下、樹脂液３と略称する）をディ
スペンサー５等により、上記の成形型２と母材１とが対
向する間隔空間の周辺部の一部分から徐々に供給する。
ここで用いられる活性エネルギー線硬化樹脂は、紫外線
硬化樹脂、可視光線硬化樹脂、Ｘ線硬化樹脂等いかなる
ものでも良いが、なかでも紫外線硬化樹脂は取扱いやす
く、光源の種類も豊富等の理由により使用しやすい。ま
た樹脂としては、アクリル系、エポキシ系、エンチオー
ル系等の樹脂系が用いられるが、なかでもアクリル系の
紫外線硬化樹脂は硬化時間が短く、環境耐久性が良いの
で好ましい。
【００１８】ここで用いられるディスペンサー５は、気
体圧力式、機械圧力式、回転ポンプ式、ギアポンプ式等
いかなるものでも良く、単にスポイトや注射器等でもさ
しつかえない。
体圧力式、機械圧力式、回転ポンプ式、ギアポンプ式等
いかなるものでも良く、単にスポイトや注射器等でもさ
しつかえない。
【００１９】ディスペンサー５から供給される樹脂液３
は、母材１と成形型２の対向する間隔空間の周端の一部
に垂れ流されるだけであり、射出成形の様に圧力をかけ
る必要はない。上記空間の端部から入ってきた樹脂液３
は、空間内を毛細管現象により大気圧下で図１（ｃ）か
ら図１（ｄ）へと自然に該空間内を充填する（第２工
程）。
は、母材１と成形型２の対向する間隔空間の周端の一部
に垂れ流されるだけであり、射出成形の様に圧力をかけ
る必要はない。上記空間の端部から入ってきた樹脂液３
は、空間内を毛細管現象により大気圧下で図１（ｃ）か
ら図１（ｄ）へと自然に該空間内を充填する（第２工
程）。
【００２０】従って、この時の樹脂層の厚みは上記の毛
細管現象が起こり得る厚みに設定することが必要で、た
とえば粘度５０〜１００００ｃｐｓのアクリル系の紫外
線硬化型樹脂であれば、樹脂厚みは０．３ｍｍ以下が好
ましく、できれば０．１ｍｍ以下が最適である。すなわ
ち樹脂厚みが０．３ｍｍ以上であると、毛細管現象が起
こりにくく樹脂液の空間への充填速度が余りにも遅い
か、速度ゼロとなり充填不可能となることがあるからで
ある。
細管現象が起こり得る厚みに設定することが必要で、た
とえば粘度５０〜１００００ｃｐｓのアクリル系の紫外
線硬化型樹脂であれば、樹脂厚みは０．３ｍｍ以下が好
ましく、できれば０．１ｍｍ以下が最適である。すなわ
ち樹脂厚みが０．３ｍｍ以上であると、毛細管現象が起
こりにくく樹脂液の空間への充填速度が余りにも遅い
か、速度ゼロとなり充填不可能となることがあるからで
ある。
【００２１】またディスペンサー５と上記空間との位置
関係は、たとえば図２に示す様に一辺のほぼ中央部であ
れば、図３に示す矢印の様に、樹脂液３が毛細管現象に
より扇型状に短時間で浸透していくため、効率が良い。
しかしながらディスペンサー５の接する位置は上記に限
らず、コーナーでも良く、またディスペンサー５の数は
１本とは限らず２本以上を使用して２か所以上から効率
よく樹脂液３を供給しても良い。これらは、目的とする
複合型成形品の形状や型、母材の表面張力、使用樹脂の
粘度や表面張力等の組合わせにより適宜決めることが望
ましい。
関係は、たとえば図２に示す様に一辺のほぼ中央部であ
れば、図３に示す矢印の様に、樹脂液３が毛細管現象に
より扇型状に短時間で浸透していくため、効率が良い。
しかしながらディスペンサー５の接する位置は上記に限
らず、コーナーでも良く、またディスペンサー５の数は
１本とは限らず２本以上を使用して２か所以上から効率
よく樹脂液３を供給しても良い。これらは、目的とする
複合型成形品の形状や型、母材の表面張力、使用樹脂の
粘度や表面張力等の組合わせにより適宜決めることが望
ましい。
【００２２】また樹脂の充填量は空間体積より多少過剰
気味であることが望ましい。逆に樹脂量が少しでも不足
気味であると、成形品のショート（部分的充填不足）不
良の原因となりやすい。
気味であることが望ましい。逆に樹脂量が少しでも不足
気味であると、成形品のショート（部分的充填不足）不
良の原因となりやすい。
【００２３】以上の様に毛細管現象という、自然現象を
利用して樹脂液３を充填することにより、回折格子の様
に型の表面に凹凸のある場合でも、従来から問題となっ
ていた気泡が発生することなく樹脂液３を簡便に供給す
ることが可能となる。
利用して樹脂液３を充填することにより、回折格子の様
に型の表面に凹凸のある場合でも、従来から問題となっ
ていた気泡が発生することなく樹脂液３を簡便に供給す
ることが可能となる。
【００２４】次に図１（ｅ）に示す様に、母材１または
成形型２を介して、活性エネルギーｈνを照射して充填
した樹脂液３を硬化させ、母材１と樹脂層３ａを一体化
させ（第３工程）、この一体化した母材１と樹脂層３ａ
を成形型２から剥離することにより（第４工程）、図１
（ｆ）のような複合型回折格子を得るものである。
成形型２を介して、活性エネルギーｈνを照射して充填
した樹脂液３を硬化させ、母材１と樹脂層３ａを一体化
させ（第３工程）、この一体化した母材１と樹脂層３ａ
を成形型２から剥離することにより（第４工程）、図１
（ｆ）のような複合型回折格子を得るものである。
【００２５】上記の様に毛細管現象を利用して樹脂液３
を充填する場合、母材１と成形型２とが作る空間周辺部
近傍の厚みが図４に示す様に一定である場合は、樹脂液
３を多少空間体積より過剰気味に供給することにより、
周辺部形状が表面張力により突出した形状になる。従っ
て、成形品としては図１（ｆ）の様になり、使用目的に
よっては成形品の側面が、組立用基準面として利用でき
ない等、側面より突出した樹脂がじゃまになる場合があ
る。かといって樹脂液３を空間体積より多少不足気味に
すると充填むらの原因となる場合がある。
を充填する場合、母材１と成形型２とが作る空間周辺部
近傍の厚みが図４に示す様に一定である場合は、樹脂液
３を多少空間体積より過剰気味に供給することにより、
周辺部形状が表面張力により突出した形状になる。従っ
て、成形品としては図１（ｆ）の様になり、使用目的に
よっては成形品の側面が、組立用基準面として利用でき
ない等、側面より突出した樹脂がじゃまになる場合があ
る。かといって樹脂液３を空間体積より多少不足気味に
すると充填むらの原因となる場合がある。
【００２６】従って、空間の外周部近傍の厚みを徐々に
広げることが望ましく、図５の様に母材周辺部を全周縁
にわたって、樹脂層３ａの厚みよりも大きい寸法の面取
り部６を設けることにより、周辺部の樹脂液３は空間の
厚み変化に対応して表面張力により空間の内側へ図示の
ように引き込まれる様になり、その成形品は図６に示す
様に母材１の端面より樹脂層３ａがはみ出すことがな
く、外観の良好な複合型回折格子が得られる。
広げることが望ましく、図５の様に母材周辺部を全周縁
にわたって、樹脂層３ａの厚みよりも大きい寸法の面取
り部６を設けることにより、周辺部の樹脂液３は空間の
厚み変化に対応して表面張力により空間の内側へ図示の
ように引き込まれる様になり、その成形品は図６に示す
様に母材１の端面より樹脂層３ａがはみ出すことがな
く、外観の良好な複合型回折格子が得られる。
【００２７】また活性エネルギー線硬化樹脂の供給方法
として、上記のディスペンサー５による方法とは別の方
法として、前記空間の外周部に接して活性エネルギー線
硬化樹脂液３の液溜り８を設ける。すなわち図７（ａ）
および図７（ｃ）の様に成形型２の成形面の少なくとも
一部を母材１よりも広くしておき、その一部に図の様
に、成形樹脂層３ａと同じ体積の活性エネルギー線硬化
樹脂液の液溜り８を空間に接する様に設置する。この状
態から、樹脂液３は図７（ｂ）の様に徐々に毛細管現象
により自然に空間内を充填するので、簡便に液供給がな
されて、しかも気泡の混入がないので好ましい。
として、上記のディスペンサー５による方法とは別の方
法として、前記空間の外周部に接して活性エネルギー線
硬化樹脂液３の液溜り８を設ける。すなわち図７（ａ）
および図７（ｃ）の様に成形型２の成形面の少なくとも
一部を母材１よりも広くしておき、その一部に図の様
に、成形樹脂層３ａと同じ体積の活性エネルギー線硬化
樹脂液の液溜り８を空間に接する様に設置する。この状
態から、樹脂液３は図７（ｂ）の様に徐々に毛細管現象
により自然に空間内を充填するので、簡便に液供給がな
されて、しかも気泡の混入がないので好ましい。
【００２８】また同種の方法として、図８の様に成形型
２と母材１とを対向させて垂直に置き、その対向する成
形型２と母材１との上端部に液滴状の液溜り８を設置
し、上記と同様に毛細管現象で充填しても良い。更に図
９の様に成形型２と母材１を対向させて垂直に置き、容
器９に樹脂液３をため、この容器９内の樹脂液３ａを液
溜り８として、空間部の上方から毛細管現象及び重力を
利用して充填し、充填後、成形型２と母材１を容器９か
らはずして、上部の樹脂汚れをふき取る方法を用いても
良い。
２と母材１とを対向させて垂直に置き、その対向する成
形型２と母材１との上端部に液滴状の液溜り８を設置
し、上記と同様に毛細管現象で充填しても良い。更に図
９の様に成形型２と母材１を対向させて垂直に置き、容
器９に樹脂液３をため、この容器９内の樹脂液３ａを液
溜り８として、空間部の上方から毛細管現象及び重力を
利用して充填し、充填後、成形型２と母材１を容器９か
らはずして、上部の樹脂汚れをふき取る方法を用いても
良い。
【００２９】以上は回折格子の製造方法を説明をした
が、本発明の製造方法による復合型成形品はこれに限ら
ず、フレネルレンズや非球面レンズ等の光学素子や、そ
の他の複合型精密成形品の製造にも適用できるものであ
る。
が、本発明の製造方法による復合型成形品はこれに限ら
ず、フレネルレンズや非球面レンズ等の光学素子や、そ
の他の複合型精密成形品の製造にも適用できるものであ
る。
【００３０】実施例１．２０ｍｍ角で、厚みが２ｍｍの
青板ガラスの母材と、外径寸法が２０×２０×１ｍｍで
中央部の１６ｍｍ角中に回折格子があり、その回折格子
のピッチ４μｍ、凸部幅２μｍ、凹部幅２μｍ、溝深さ
１μｍの結晶シリコン製の回折格子成形型を用意した。
青板ガラスの母材と、外径寸法が２０×２０×１ｍｍで
中央部の１６ｍｍ角中に回折格子があり、その回折格子
のピッチ４μｍ、凸部幅２μｍ、凹部幅２μｍ、溝深さ
１μｍの結晶シリコン製の回折格子成形型を用意した。
【００３１】次に母材の成形面側をシランカップリング
剤（γーアクリロイルプロピルトリメトキシシラン）で
あらかじめ処理しておき、母材側面を治具により保持
し、成形型と外周部が一致する様に対向させ、成形型の
周辺部２か所に幅５ｍｍ、厚さ５０μｍのポリエステル
フィルムを置き、その上に母材をかぶせ、固定してから
ポリエステルフィルムを引き抜き、母材と成形型の対向
する間隔の空間厚みを５０μｍと設定した。
剤（γーアクリロイルプロピルトリメトキシシラン）で
あらかじめ処理しておき、母材側面を治具により保持
し、成形型と外周部が一致する様に対向させ、成形型の
周辺部２か所に幅５ｍｍ、厚さ５０μｍのポリエステル
フィルムを置き、その上に母材をかぶせ、固定してから
ポリエステルフィルムを引き抜き、母材と成形型の対向
する間隔の空間厚みを５０μｍと設定した。
【００３２】次にマイクロシリンジにより、紫外線硬化
樹脂として２官能ウレタンアクリレート（東亜合成、Ｍ
−１２００）３０重量部、シクロヘキシルメタクリレー
ト７０重量部、１−ヒドロキシシクロヘキシルフェニル
ケトン２重量部の混合液３０μ１を、上記空間部の端部
に約１分間にわたって徐々に滴下し、更に１分間放置す
ることにより、空間部への樹脂の充填を完了した。
樹脂として２官能ウレタンアクリレート（東亜合成、Ｍ
−１２００）３０重量部、シクロヘキシルメタクリレー
ト７０重量部、１−ヒドロキシシクロヘキシルフェニル
ケトン２重量部の混合液３０μ１を、上記空間部の端部
に約１分間にわたって徐々に滴下し、更に１分間放置す
ることにより、空間部への樹脂の充填を完了した。
【００３３】しかる後、上方より２００Ｗ水銀キセノン
ランプの紫外線を２分間照射し、樹脂を硬化させた後、
離型を行った。成形品樹脂層の内部には気泡はまったく
観察されず良好な成形品が得られた。
ランプの紫外線を２分間照射し、樹脂を硬化させた後、
離型を行った。成形品樹脂層の内部には気泡はまったく
観察されず良好な成形品が得られた。
【００３４】実施例２．２０ｍｍ角で、厚みが２ｍｍ、
片側平面部の四辺の面取り０．５ｍｍの青板ガラスの母
材と、上記実施例１と同様な成形型を用意した。
片側平面部の四辺の面取り０．５ｍｍの青板ガラスの母
材と、上記実施例１と同様な成形型を用意した。
【００３５】次に実施例１と同様に母材の面取り部があ
る面をあらかじめシランカップリング剤で処理してお
き、更に実施例１と同様な方法で母材と成形型面との空
間の間隔を１００μｍに設定した。
る面をあらかじめシランカップリング剤で処理してお
き、更に実施例１と同様な方法で母材と成形型面との空
間の間隔を１００μｍに設定した。
【００３６】次にマイクロシリンジにより、紫外線硬化
樹脂として２官能エポキシアクリレート（共栄社油脂、
３００２Ａ）４０重量部、イソボロニルメタクリレート
６０重量部、１−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケ
トン２重量部の混合液５０μ１を、実施例１と同様な方
法で上記空間部に充填した。
樹脂として２官能エポキシアクリレート（共栄社油脂、
３００２Ａ）４０重量部、イソボロニルメタクリレート
６０重量部、１−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケ
トン２重量部の混合液５０μ１を、実施例１と同様な方
法で上記空間部に充填した。
【００３７】しかる後、上方より２００Ｗ水銀キセノン
ランプの紫外線を２分間照射し、樹脂を硬化させた後、
離型を行った。成形品樹脂層の内部には気泡は全く観察
されず、また成形品の四辺はまったく滑らかで、樹脂の
はみ出しは面取り部内におさえられている良好な成形品
が得られた。
ランプの紫外線を２分間照射し、樹脂を硬化させた後、
離型を行った。成形品樹脂層の内部には気泡は全く観察
されず、また成形品の四辺はまったく滑らかで、樹脂の
はみ出しは面取り部内におさえられている良好な成形品
が得られた。
【００３８】実施例３．上記実施例１と同様な母材１
と、外形寸法が２６×２６×１ｍｍでその他は実施例１
とまったく同様の成形型を用意した。
と、外形寸法が２６×２６×１ｍｍでその他は実施例１
とまったく同様の成形型を用意した。
【００３９】次に実施例１と同様に母材をあらかじめシ
ランカップリング剤で処理しておき、更に実施例１と同
様な方法で母材と成形型面との空間の間隔を２０μｍ設
定した。
ランカップリング剤で処理しておき、更に実施例１と同
様な方法で母材と成形型面との空間の間隔を２０μｍ設
定した。
【００４０】次にマイクロシリンジにより、実施例１と
同様な紫外線硬化樹脂の１５μ１を、図７（ｃ）で示し
たように上記空間の一部に接触して滴下し、約１分間放
置したところ、樹脂は空間全域にわたり充填された、し
かる後、上方より２００Ｗ水銀キセノンランプの紫外線
を２分間照射し、樹脂を硬化させた後、離型を行った。
成形品樹脂層の内部には気泡はまったく観察されず良好
な成形品が得られた。
同様な紫外線硬化樹脂の１５μ１を、図７（ｃ）で示し
たように上記空間の一部に接触して滴下し、約１分間放
置したところ、樹脂は空間全域にわたり充填された、し
かる後、上方より２００Ｗ水銀キセノンランプの紫外線
を２分間照射し、樹脂を硬化させた後、離型を行った。
成形品樹脂層の内部には気泡はまったく観察されず良好
な成形品が得られた。
【００４１】比較例１．実施例１と同様な母材と成形型
を用意した。
を用意した。
【００４２】次に実施例１と同様に母材をあらかじめシ
ランカップリング剤で処理しておき、実施例１と同様な
紫外線硬化樹脂の混合液３０μ１を上記成形型の中央部
に滴下し、母材の処理面側を徐々に樹脂液に接触させ、
図１０（ｃ）に示すように型と母材の外周を合わせつ
つ、樹脂層の厚みが５０μｍになるように、図には示し
ていない治具等により型締めを行った。
ランカップリング剤で処理しておき、実施例１と同様な
紫外線硬化樹脂の混合液３０μ１を上記成形型の中央部
に滴下し、母材の処理面側を徐々に樹脂液に接触させ、
図１０（ｃ）に示すように型と母材の外周を合わせつ
つ、樹脂層の厚みが５０μｍになるように、図には示し
ていない治具等により型締めを行った。
【００４３】しかる後、上方より２００Ｗ水銀キセノン
ランプの紫外線を２分間照射し、樹脂を硬化させた後、
離型を行った。離型性及び面転写性は良好であったが、
成形品樹脂層の内部には５〜２０μｍの気泡が多数確認
された。
ランプの紫外線を２分間照射し、樹脂を硬化させた後、
離型を行った。離型性及び面転写性は良好であったが、
成形品樹脂層の内部には５〜２０μｍの気泡が多数確認
された。
【００４４】以上のように、請求項１の発明によれば、
気泡の発生がなく外観体裁のよい回折光学素子を得るこ
とができる。
気泡の発生がなく外観体裁のよい回折光学素子を得るこ
とができる。
【００４５】
【００４６】
【００４７】
【図１】 本発明の回折光学素子の製造方法を示す工程
図
図
【図２】 本発明の回折光学素子の製造方法の一工程を
示す斜視図
示す斜視図
【図３】 本発明の回折光学素子の製造方法の一工程を
示す平面図
示す平面図
【図４】 本発明の回折光学素子の製造方法の一工程を
示す正面図
示す正面図
【図５】 本発明の他の回折光学素子の製造方法の一工
程を示す正面図
程を示す正面図
【図６】 図５の製造方法により得た回折光学素子の正
面図
面図
【図７】 本発明の他の回折光学素子の製造方法におけ
る樹脂液の充填の仕方を説明する工程図
る樹脂液の充填の仕方を説明する工程図
【図８】 樹脂液の他の充填の仕方を説明する正面図
【図９】 樹脂液の他の充填の仕方を説明する正面図
【図１０】 従来の複合型成形品の製造方法を示す工程
図
図
【図１１】 他の従来の複合型成形品の製造方法の一工
程を示す正面図
程を示す正面図
１ 母材 ２ 成形型 ３ 活性エネルギー線硬化樹脂 ６ 面取り部 ７ 樹脂層周辺部 ８ 液溜り
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) B29C 39/00 - 39/44 B29C 35/00 - 35/18 G02B 5/00 - 5/32
Claims (1)
- 【請求項１】 成形型の表面に回折格子を成形するため
の格子形状部を形成し、前記成形型に対向して母材を配
置し、前記成形型と前記母材との間を活性エネルギー線
硬化樹脂が毛細管現象により流入する距離に設置すると
共に、前記母材の外周面を前記活性エネルギー線硬化樹
脂が表面張力作用により前記成形型の格子形状部内に引
き込まれるように空間の外周部近傍の厚みが徐々に広が
る面取り部を形成し、前記格子形状部内の活性エネルギ
ー線硬化樹脂に、活性エネルギー線を照射して回折光学
素子を製造することを特徴とした回折光学素子の製造方
法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5290194A JP3239598B2 (ja) | 1994-02-25 | 1994-02-25 | 回折光学素子の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5290194A JP3239598B2 (ja) | 1994-02-25 | 1994-02-25 | 回折光学素子の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07237229A JPH07237229A (ja) | 1995-09-12 |
| JP3239598B2 true JP3239598B2 (ja) | 2001-12-17 |
Family
ID=12927757
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5290194A Expired - Fee Related JP3239598B2 (ja) | 1994-02-25 | 1994-02-25 | 回折光学素子の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3239598B2 (ja) |
Families Citing this family (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| ATE207798T1 (de) * | 1996-03-15 | 2001-11-15 | Harvard College | Verfahren zum formen von gegenständen und zum mikrostrukturieren von oberflächen durch giessformen mit kapillarwirkung |
| US6355198B1 (en) | 1996-03-15 | 2002-03-12 | President And Fellows Of Harvard College | Method of forming articles including waveguides via capillary micromolding and microtransfer molding |
| US7198747B2 (en) | 2000-09-18 | 2007-04-03 | President And Fellows Of Harvard College | Fabrication of ceramic microstructures |
| JP4590082B2 (ja) * | 2000-10-02 | 2010-12-01 | キヤノン株式会社 | 回折光学素子及びそれを用いた光学系 |
| KR100610230B1 (ko) * | 2003-12-31 | 2006-08-08 | 주식회사 루밴틱스 | Ｕｖ 몰딩방법을 이용한 고분자 광도파로의 제조방법 |
| JP2009015032A (ja) * | 2007-07-05 | 2009-01-22 | Mitsubishi Rayon Co Ltd | 光学的ローパスフィルタ及びその製造方法並びに撮像光学系 |
| CN105856888B (zh) | 2016-04-01 | 2018-11-30 | 京东方科技集团股份有限公司 | 一种转印方法和重复转印方法 |
-
1994
- 1994-02-25 JP JP5290194A patent/JP3239598B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH07237229A (ja) | 1995-09-12 |
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