JP3237231U - 高周波測定を応用したテスト探針ホルダ構造 - Google Patents

Abstract

【課題】テストプローブヘッドの変形損傷後、低コストの保護膜交換で修復コストを節約できる、高周波測定を応用したテスト探針ホルダ構造を提供する。【解決手段】第１板体１１、第２板体１２及び複数の探針溝１０を含み、内部に複数の探針１３が設けられ、第１板体と第２板体の間に複数の第１、第２収容溝１５、１６を有する探針ホルダ１と、第１板体上側に配置され、第１板体との間に伸縮ギャップ２０を有し、第２収容溝に対応する箇所に複数の固定部材３を貫通させる複数の穿孔２１が設けられる移動可能回路基板２と、周縁に移動可能回路基板底側面に貼付され、第２板体底側を覆って貼付される伸縮膜４と、前記伸縮膜底側面に貼付される保護膜５と、を備え、保護膜に探針に対応する複数の導電針体５１が設けられ、導電針体が保護膜底側に突出し、保護膜底側はプッシュギャップを隔てて被検体６が設けられる。【選択図】図１

Description

本考案は、高周波測定を応用したテスト探針ホルダ構造の改良に関し、特に、複数の探針及び被検体の複数の接点の間に伸縮膜、保護膜及び保護膜上の複数の導電針体が設けられ、高周波信号の被検体を測定する時にノイズを発生することがなく、同時に探針及び被検体の複数の接点の接触力を適度に確保し、探針及び被検体の複数の接点の間が強い力又は急激な摩耗によって損壊を招くことを回避することができる。
これら導電針体は、比較的硬い導電金属材質で形成され、より強固で損傷し難く、これら導電針体が損壊したとしても比較的低コストの保護膜を交換することで、交換に便利であり且つメンテナンスコストを低減する効果を達成することができる。

プローブカード（Probe Card）は、集積回路（IC）がパッケージされる前に使用され、ベアチップに対して探針（Probe）で導通又は開回路テストを行い、欠陥品を選別してから次のパッケージ工程を行う。従って、プローブカードで集積回路テストを行うことは、集積回路の重要なプロセスである。
このプローブカードテストを行うことにより、完成品の歩留まりを元の７０％から９０％に向上させることができ、２０％の歩留まりを向上させる貢献度は、歩留まりが重要である半導体工場にとって、このプロセスの影響は重要かつ必要である。
プローブカードは、テストマシンとウェーハ（Wafer）との間のインターフェイスであり、各種集積回路は、対応するプローブカードでテストを行う必要があり、プローブカードテストを行う目的は、ウェーハを切断後にテストの良品を次のパッケージ工程に入らせ、不良品が加工を続けてより大きな浪費となることを避けるためである。

現在業界で使用されているウェーハ（Wafer）またはプリント回路基板（ＰＣＢ）試験装置では、テスト治具は、プローブカードに設置される複数の探針によって、これら探針とテスト対象のウェーハ又はプリント回路基板上の複数のテストポイントに電気的に接続され、テストポイントの電子信号を探針によって取得し、複数の導線を介してテストマシンに送信し、そのテストマシンは、テスト対象のウェーハまたはプリント回路基板のテストポイントが導通状態または切断状態にあるかどうかを表示し、探針の接触端点とテスト対象デバイスのテストポイントの間の押圧接触力が大き過ぎてはならず、そうでなければ、探針又はテスト対象デバイスのテストポイントの破損を招く。
このため、伸縮膜をその探針前に増設し、押圧接触力を制御することができ、その伸縮膜上でＭＥＭＳプロセス技術を用いて複数の薄膜導電バンプを生長させ、これらテストポイントと導通又は切断状態のテストを行うが、その薄膜上の複数の導電バンプは、複数回のテストポイントの導通又は切断状態のテストを経た後、硬度が不十分なため、変形や損傷が発生し易く、更には、テストマシンが伸縮膜全体を交換して修復を行うことが必要となり、この業界で解決が望まれている。

故に、考案者は、上記の問題及び欠陥に鑑み、関連情報を収集し、多方面の評価、検討を行い、この業界で蓄積された長年の経験により、試行錯誤を続け、このような高周波測定を応用したテスト探針ホルダ構造の改良を創造させている。

特表２００５－５３０１７８号公表

本考案の目的は、探針ホルダと、移動可能回路基板と、伸縮膜と、保護膜と、を備え、前記探針ホルダは、第１板体及び第２板体を含み、前記第１板体と前記第２板体との間に複数の探針を位置決めさせる複数の探針溝が貫通され、且つ前記探針は、針体を含み、前記針体の上部は、前記第１板体外に延伸するプローブヘッドを有し、且つ前記針体の底部は、前記第２板体外に延伸する探針保持部を有し、且つ前記第１板体は、複数の弾性部材を収容させる複数の第１収容溝を有し、前記第１収容溝の一側に前記第１板体から前記第２板体に延伸する複数の第２収容溝が設けられる。
前記移動可能回路基板は、前記第１板体の上側に設置され、且つ前記移動可能回路基板の底側は、前記プローブヘッドを保持させ、且つ前記移動可能回路基板と前記第１板体との間に伸縮ギャップを有し、前記第２収容溝に対応する箇所に複数の固定部材を通過させる複数の穿孔が設けられ、且つ前記固定部材のロッド体は、前記第２収容溝の前記第１板体箇所に設置され、且つ前記固定部材の末端の少なくとも１つの外ねじ山を有するロック部は、前記第２収容溝の前記第２板体箇所に固定され、前記固定部材の上部に有するヘッドは、前記移動可能回路基板の上側の面に位置決めされる。
前記伸縮膜は、周縁が前記移動可能回路基板の底側の面に貼り合わせられ、且つ前記第２板体底側を覆って貼り合わせられ、前記伸縮膜内に前記探針にそれぞれ対応し且つ前記伸縮膜の周縁箇所まで延伸し、前記移動可能回路基板及び他側の前記導電針体を導通する複数の導電配線が設けられ、前記保護膜は、前記伸縮膜底側面に貼り合わせられ、且つ前記探針箇所に対応する複数の位置決め孔が設けられ、前記位置決め孔内に複数の導電針体を収容して位置決めし、且つ前記導電針体は、前記保護膜底側に突出し、前記保護膜底側は、プッシュギャップを隔てて被検体が設けられる高周波測定を応用したテスト探針ホルダ構造の改良を提供し、前記複数の探針と被検体の複数の接点の間に伸縮膜、保護膜及び保護膜上の複数の導電針体が設けられることによって高周波数信号の被検体を測定する時にノイズを発生することがなく、探針と被検体の複数の接点の接触力を適度に確保し、探針と被検体の複数の接点の間が強い力又は急激な摩耗によって損壊を招くことを回避することができる。
これら導電針体は、比較的硬い導電金属材質で形成され、より強固で損傷し難く、これら導電針体が損壊したとしても比較的低コストの保護膜を交換することで、交換に便利であり且つメンテナンスコストを低減する効果を達成することができるようにすることである。

本考案のもう１つの目的は、前記伸縮膜内に、前記伸縮膜の周縁箇所に延伸し、前記移動可能回路基板と他の前記導電針体を導通する複数の導電配線が設けられるようにすることである。

本考案のもう１つの目的は、前記第１板体と前記第２板体との間に相互に対応し前記探針を貫通させる第１変形空間及び第２変形空間をそれぞれ凹んで設けるようにすることである。

本考案の更にもう１つの目的は、前記導電針体が前記保護膜底側から０．２ｍｍ突出するようにすることである。

本考案の更にもう１つの目的は、前記導電針体は、それぞれ前記伸縮膜の底側に導電ゲルを介して固定され、前記導電ゲルは、１対１のドット状配置で前記伸縮膜の他側の前記探針の位置に対応し、前記探針、前記導電ゲル及び前記導電針体は、それぞれ直線状に配置されるようにすることである。

本考案の更にもう１つの目的は、前記保護膜は、ポリイミド繊維（Polyimide Fiber）材質で形成されるようにすることである。

本考案の更にもう１つの目的は、前記導電針体は、硬度及び導電性の高い金属材質で形成されるようにすることである。

本考案の更にもう１つの目的は、前記移動可能回路基板の上側面は、強化パッドで覆われ、前記強化パッドは、前記移動可能回路基板が貼られる箇所に構造強化を形成するようにすることである。

本考案の更にもう１つの目的は、前記伸縮膜と前記第２板体との間に、前記第２板体を前記伸縮膜に緊密に貼付させる粘着防止及び滑り止めテープが設けられるようにすることである。

本考案の更にもう１つの目的は、前記伸縮ギャップの距離は、前記プッシュギャップの距離よりも大きく、前記探針が前記移動可能回路基板と前記伸縮膜との間まで押し動かされた時に湾曲の変形状態を形成させるようにすることである。

本考案の高周波測定を応用したテスト探針ホルダ構造の改良は、探針ホルダと、移動可能回路基板と、伸縮膜と、保護膜と、を備え、前記探針ホルダは、第１板体及び第２板体を含み、前記第１板体と前記第２板体との間に複数の探針を位置決めさせる複数の探針溝が貫通され、且つ前記探針は、針体を含み、前記針体の上部は、前記第１板体外に延伸するプローブヘッドを有し、且つ前記針体の底部は、前記第２板体外に延伸する探針保持部を有し、且つ前記第１板体は、複数の弾性部材を収容させる複数の第１収容溝を有し、前記第１収容溝の一側に前記第１板体から前記第２板体に延伸する複数の第２収容溝が設けられ、前記移動可能回路基板は、前記第１板体の上側に設置され、且つ前記移動可能回路基板の底側は、前記プローブヘッドを保持させ、且つ前記移動可能回路基板と前記第１板体との間に伸縮ギャップを有し、前記第２収容溝に対応する箇所に複数の固定部材を通過させる複数の穿孔が設けられる。
且つ前記固定部材のロッド体は、前記第２収容溝の前記第１板体箇所に設置され、且つ前記固定部材の末端の少なくとも１つの外ねじ山を有するロック部は、前記第２収容溝の前記第２板体箇所に固定され、前記固定部材の上部に有するヘッドは、前記移動可能回路基板の上側の面に位置決めされ、前記伸縮膜は、周縁が前記移動可能回路基板の底側の面に貼り合わせられ、且つ前記第２板体底側を覆って貼り合わせられ、前記伸縮膜内に前記探針にそれぞれ対応し且つ前記伸縮膜の周縁箇所まで延伸し、前記移動可能回路基板及び他側の前記導電針体を導通する複数の導通回路が設けられる。
前記保護膜は、前記伸縮膜底側面に貼り合わせられ、且つ前記探針箇所に対応する複数の位置決め孔が設けられ、前記位置決め孔内に複数の導電針体を収容して位置決めし、且つ前記導電針体は、前記保護膜底側に突出し、前記保護膜底側は、プッシュギャップを隔てて被検体が設けられ、且つ前記被検体は、前記導電針体に対応して電気的接続を形成することができる複数の接点が設けられる。
前記移動可能回路基板は、前記探針ホルダの方向に向かって移動し、前記弾性部材を圧縮させ、且つ前記移動可能回路基板の底面は、前記探針を前記被検体の方向に向かって移動するように押し動かし、前記探針保持部は、前記伸縮膜を保持して押し動かし、前記伸縮膜が底側に貼り合わせた前記保護膜を前記被検体に向かって押し動かし、前記伸縮膜は、押し動かされて拡張し、前記探針は、前記移動可能回路基板の押圧及び前記伸縮膜の弾性回復力を受けて湾曲した変形状態を形成し、前記接点の導通状態信号を取得した後、更に前記移動可能回路基板が前記探針ホルダに向けて逆方向に移動し、前記弾性部材を原状回復させ、前記探針は、前記伸縮膜の弾性回復力を受けて押し動かされ且つ前記移動可能回路基板の方向に向かって移動し、且つ前記探針は、湾曲状態から直立状態に回復する。

本考案の高周波測定を応用したテスト探針ホルダ構造の改良は、複数の探針及び被検体の複数の接点の間に伸縮膜、保護膜及び保護膜上の複数の導電針体が設けられ、高周波信号の被検体を測定する時にノイズを発生することがなく、同時に探針及び被検体の複数の接点の接触力を適度に確保し、探針及び被検体の複数の接点の間が強い力又は急激な摩耗によって損壊を招くことを回避することができる。
これら導電針体は、比較的硬い導電金属材質で形成され、より強固で損傷し難く、これら導電針体が損壊したとしても比較的低コストの保護膜を交換することで、交換に便利であり且つメンテナンスコストを低減する効果を達成することができる。

本考案の高周波測定を応用したテスト探針ホルダ構造の改良の測定前の側面断面図である。 図１の部分拡大図である。 本考案の高周波測定を応用したテスト探針ホルダ構造の改良の測定時の側面断面図である。 図３の部分拡大図である。

上記の目的及び効果を達成するために本考案が採用する技術手段及びその構造について分かり易くするため、図面を合わせて本考案の好適実施形態についてその特徴及び機能を説明する。

図１～図４を参照して説明するが、図１は本考案の高周波測定を応用したテスト探針ホルダ構造の改良の測定前の側面断面図、図２は図１の部分拡大図で、図３は測定時の側面断面図及び図４はその部分拡大図である。
これらの図から分かるように、本考案の高周波測定を応用したテスト探針ホルダ構造の改良は、探針ホルダ１、移動可能回路基板２、固定部材３、伸縮膜４、保護膜５及び強化パッド７を含み、その主要部材及び特徴の詳細は、以下の通りである。

前記探針ホルダ１は、第１板体１１及び第２板体１２を含み、前記第１板体１１と前記第２板体１２との間には、複数の探針１３を位置決めさせる複数の探針溝１０が貫通され、前記第１板体１１と前記第２板体１２との間に相互に対応し、前記探針溝１０を貫通させる第１変形空間１１０と第２変形空間１２０をそれぞれ凹んで設けられ、且つ前記探針１３は、針体１３１を含み、前記針体１３１の上部は、前記第１板体１１外に延伸するプローブヘッド１３２を有し、且つ前記針体１３１の底部は、前記第２板体１２外に延伸する探針保持部１３３を有し、且つ前記第１板体１１は、複数の弾性部材１４を収容させる複数の第１収容溝１５を有し、前記第１収容溝１５の一側に前記第１板体１１から前記第２板体１２に延伸する複数の第２収容溝１６が設けられる。

前記移動可能回路基板２は、前記第１板体１１の上側に設置され、且つ前記移動可能回路基板２の底側は、前記プローブヘッド１３２を保持させ、且つ前記移動可能回路基板２と前記第１板体１１との間に伸縮ギャップ２０を有し、前記第２収容溝１６に対応する箇所に複数の固定部材３を通過させる複数の穿孔２１が設けられ、且つ前記固定部材３は、異なる部材の高さに合わせて限位する高さねじであり、且つ前記固定部材３のロッド体３１は、前記第２収容溝１６の前記第１板体１１箇所に設置され、且つ前記固定部材３の末端の少なくとも１つの外ねじ山３２１を有するロック部３２は、前記第２収容溝１６の前記第２板体１２箇所に固定され、前記固定部材３の上部に有するヘッド３３は、前記移動可能回路基板２の上側の面に位置決めされる。

前記伸縮膜４は、周縁４１が前記移動可能回路基板２の底側の面に貼り合わせられ、且つ前記第２板体１２底側を覆って貼り合わせられる。

前記保護膜５は、前記伸縮膜４底側面に貼り合わせられ、前記保護膜５は、ポリイミド繊維（Polyimide Fiber）材質で形成され、且つ前記保護膜５上に前記探針１３箇所に対応する複数の位置決め孔５０が設けられ、前記位置決め孔５０内に複数の導電針体５１を収容して位置決めし、且つ前記導電針体５１は、前記保護膜５底側に０．２ｍｍ突出し、前記導電針体５１は、高硬度で導電性を有する金属材質で形成され、且つ前記導電針体５１の前記伸縮膜４に面する一側にそれぞれ導電ゲル５２が設けられる。
前記導電針体５１は、前記導電ゲル５２によって前記伸縮膜４の底側箇所に固定され、前記導電ゲル５２は、１対１のドット状配置で前記伸縮膜４の他側の前記探針１３の位置に対応し、前記探針１３、前記導電ゲル５２及び前記導電針体５１は、それぞれ直線状に配置され、前記保護膜５底側は、プッシュギャップ６０を隔てて被検体６が設けられ、且つ前記被検体６は、前記導電針体５１に対応して電気的接続を形成することができる複数の接点６１が設けられる。
前記移動可能回路基板２は、前記探針ホルダ１の方向に向かって移動し（図１の矢印方向）、前記弾性部材１４を圧縮させ、且つ前記移動可能回路基板２の底面は、前記探針１３を前記被検体６の方向に向かって移動するように押し動かし、前記探針保持部１３３は、前記伸縮膜４を保持して押し動かし、前記伸縮膜４が底側に貼り合わせた前記保護膜５を前記被検体６に向かって押し動かし、前記伸縮膜４は、押し動かされて拡張し、前記探針１３は、前記移動可能回路基板２の押圧及び前記伸縮膜４の弾性回復力を受けて湾曲した変形状態を形成し、前記導電ゲル５２により前記探針１３と線形を保持する前記導電針体５１と前記被検体６上の前記接点に電気接続を形成させる。
前記接点６１の導通状態信号を取得した後、更に前記移動可能回路基板２を前記探針ホルダ１の反対方向に向かって移動させ、前記弾性部材１４を原状回復させ、前記探針１３は、前記伸縮膜４の弾性回復力を受けて押し動かされ且つ前記移動可能回路基板２の方向に向かって移動し、且つ前記探針１３は、湾曲状態から直立状態に回復する。

上記の移動可能回路基板２の上側面は、強化パッド７で覆われ、前記強化パッド７は、前記移動可能回路基板２が貼られる箇所に構造強化を形成させ、前記移動可能回路基板２が外部の圧迫を受けて損壊、亀裂、更には断裂を招くことを回避することができる。

前記伸縮膜４と前記第２板体１２との間は、粘着防止及び滑り止めテープ８が設けられ、前記粘着防止及び滑り止めテープ８は、前記伸縮膜４を前記第２板体１２の底側に緊密に貼り付け、前記伸縮膜４がプローブテストを行うことによって勝手に滑動することがないようにし、前記探針１３の前記導電針体５１に対応した精確な位置合わせを行わせ、且つ前記伸縮膜４が前記探針１３の支持を受けた後に如何なる粘性も発生することがなく、前記伸縮膜４をスムーズに移動させ、拡張状態を形成させる。

上記の伸縮ギャップ２０の距離は、プッシュギャップ６０の距離よりも大きく、前記探針１３が前記移動可能回路基板２と前記伸縮膜４との間に押し動かされた時に湾曲した変形状態を形成させ、湾曲した前記探針１３は、前記探針１３が前記導電針体５１上の前記導電ゲル５２に確実に当接するように確保することができる。

前記弾性部材１４は、バネで構成され、前記弾性部材１４の一端は、前記伸縮ギャップ２０に伸び、且つ他端は、前記第２板体１２の上面に当接する。

本考案の高周波測定を応用したテスト探針ホルダ構造の改良の実際の応用時、上から下に機械的力が前記移動可能回路基板２又は前記強化パッド７の面に加えられ、前記移動可能回路基板２は、力を受けた後に前記探針ホルダ１に向かって移動し、前記移動可能回路基板２の底側に保持された前記弾性部材１４を圧縮させ、同時に前記移動可能回路基板２は、前記第１板体１１の上面に保持し、且つ前記移動可能回路基板２の底面は、前記探針１３の前記プローブヘッド１３２を前記被検体６の方向に向かって移動するように押し動かす。
前記探針１３の底部の前記探針保持部１３３は、前記伸縮膜４箇所に向かって推移、押圧し、前記伸縮膜４を前記保護膜５の箇所に推移させ、且つ前記探針１３の推移は、前記伸縮膜４に拡張及び突出を行わせ、前記探針１３は、前記移動可能回路基板２の押圧及び伸縮膜４の弾性回復力を受けて湾曲の変形状態を形成し（図３，図４参照）、前記第１変形空間１１０及び前記第２変形空間１２０は、適当な変形空間を前記探針１３に提供し、湾曲変形させ、前記探針１３は、湾曲空間の不足により断裂を招くことを回避し、特に説明すべきこととして、前記伸縮ギャップ２０の距離は、前記プッシュギャップ６０の距離よりも大きくする。
前記探針１３を下向きに推移する過程で先ず前記導電ゲル５２に保持し、前記移動可能回路基板２は、押し動かす動作を行い、前記探針１３は、湾曲状態を形成し、押し動かす力量に順応し、前記保護膜５上の前記導電針体５１は、推移し続け、前記被検体６上の前記接点６１に当接して電気的接続を形成し、前記被検体６の前記接点６１の導通状態信号を取得した後、前記接点６１の導通状態信号は、前記導電針体５１、前記導電ゲル５２及び前記伸縮膜４内のそれぞれ前記導電ゲル５２と互いに導通する複数の導電配線を介して導通し、前記導電配線を介して前記導通状態信号を前記移動可能回路基板２の底側の複数の予め設けられる溶接パッド（図示せず）に送信し、且つ前記予め設けられる溶接パッドは、複数の導線（図示せず）を介して予め設けられるテストマシン（図示せず）に送信し、前記テストマシンは、前記被検体６の前記接点が導通状態であるか、切断状態であるかを表示する。

上記のテストマシンは、前記被検体６を測定し、測定データを取得した後、前記移動可能回路基板２を前記探針ホルダ１の反対方向に向かって移動させ、前記弾性部材１４を弾性復位させ、前記探針１３は、前記伸縮膜４の弾性回復力を受けて押し動かされ、前記移動可能回路基板２の方向に向かって移動し、且つ前記探針１３は、湾曲状態から直立状態まで回復し、前記測定の過程で前記探針１３は、前記被検体６の前記接点６１との間に設けられる伸縮膜４、前記保護膜５及び前記導電針体５１により、高周波信号の被検体６を測定時にノイズを発生することがない。
同時に前記探針１３及び前記被検体６の前記接点６１の接触する力を適度に確保し、前記探針１３と前記被検体６の前記接点６１の間が強い力又は急激な摩耗によって損壊を招くことを回避することができ、前記保護膜５上に設けられる導電針体５１は、従来のＭＥＭＳプロセスを用いて薄膜上に導電バンプを生長させる方式よりもより強固で損傷し難く、且つ長さが比較的長く、前記被検体６の前記接点６１により容易に接触でき、測定過程で前記導電針体５１を不意に損傷させた場合に前記保護膜５を交換することで修復することができ、且つ前記保護膜５の交換は、前記伸縮膜４の交換よりも容易でコストが低く、使用者に、被検体６を測定時の接点箇所に損傷が生じることを容易に解決させ且つメンテナンスコストを節約させることができ、本考案のテスト探針ホルダを高周波測定に応用した時に極めて良好な実用性を有する。

上記は、本考案の好適実施形態に過ぎず、本考案の保護範囲を限定するものではなく、故に本考案の明細書及び図面を運用して行う簡易な修飾及び均等の構造変更は、何れも本考案の保護範囲内に含まれるべきである。

要約すると、本考案の上記の高周波測定を応用したテスト探針ホルダ構造の改良の使用時、確かにその効果及び目的を達成することができるため、本考案は、実用性に優れた考案であり、実用新案の出願要件を満たすものであるため、法に従って出願したものである。

１ 探針ホルダ
１０ 探針溝
１１ 第１板体
１２ 第２板体
１３ 探針
１３１ 針体
１３２ プローブヘッド
１３３ 探針保持部
１４ 弾性部材
１５ 第１収容溝
１６ 第２収容溝
２ 移動可能回路基板
２０ 伸縮ギャップ
２１ 穿孔
３ 固定部材
３１ ロッド体
３２ ロック部
３２１ 外ねじ山
３３ ヘッド
４ 伸縮膜
４１ 周縁
５ 保護膜
５０ 位置決め孔
５１ 導電針体
５２ 導電ゲル
６ 被検体

Claims (3)

1. 探針ホルダと、移動可能回路基板と、伸縮膜と、保護膜と、を備え、
   前記探針ホルダは、第１板体及び第２板体を含み、前記第１板体と前記第２板体との間に複数の探針を位置決めさせる複数の探針溝が貫通され、且つ前記探針は、針体を含み、前記針体の上部は、前記第１板体外に延伸するプローブヘッドを有し、且つ前記針体の底部は、前記第２板体外に延伸する探針保持部を有し、且つ前記第１板体は、複数の弾性部材を収容させる複数の第１収容溝を有し、前記第１収容溝の一側に前記第１板体から前記第２板体に延伸する複数の第２収容溝が設けられ、
   前記移動可能回路基板は、前記第１板体の上側に設置され、且つ前記移動可能回路基板の底側は、前記プローブヘッドを保持させ、且つ前記移動可能回路基板と前記第１板体との間に伸縮ギャップを有し、前記第２収容溝に対応する箇所に複数の固定部材を通過させる複数の穿孔が設けられ、且つ前記固定部材のロッド体は、前記第２収容溝の前記第１板体箇所に設置され、且つ前記固定部材の末端の少なくとも１つの外ねじ山を有するロック部は、前記第２収容溝の前記第２板体箇所に固定され、前記固定部材の上部に有するヘッドは、前記移動可能回路基板の上側の面に位置決めされ、
   前記伸縮膜は、周縁が前記移動可能回路基板の底側の面に貼り合わせられ、且つ前記第２板体底側を覆って貼り合わせられ、前記伸縮膜内に前記探針にそれぞれ対応し且つ前記伸縮膜の周縁箇所まで延伸し、前記移動可能回路基板及び他側の前記導電針体を導通する複数の導通回路が設けられ、
   前記保護膜は、前記伸縮膜底側面に貼り合わせられ、且つ前記探針箇所に対応する複数の位置決め孔が設けられ、前記位置決め孔内に複数の導電針体を収容して位置決めし、且つ前記導電針体は、前記保護膜底側に突出し、前記保護膜底側は、プッシュギャップを隔てて被検体が設けられ、且つ前記被検体は、前記導電針体に対応して電気的接続を形成することができる複数の接点が設けられ、前記移動可能回路基板は、前記探針ホルダの方向に向かって移動し、前記弾性部材を圧縮させ、且つ前記移動可能回路基板の底面は、前記探針を前記被検体の方向に向かって移動するように押し動かし、前記探針保持部は、前記伸縮膜を保持して押し動かし、前記伸縮膜が底側に貼り合わせた前記保護膜を前記被検体に向かって押し動かし、前記伸縮膜は、押し動かされて拡張し、前記探針は、前記移動可能回路基板の押圧及び前記伸縮膜の弾性回復力を受けて湾曲した変形状態を形成し、前記導電針体及び前記被検体上の前記接点に電気接続を形成させ、前記接点の導通状態信号を取得した後、更に前記移動可能回路基板が前記探針ホルダに向けて逆方向に移動し、前記弾性部材を原状回復させ、前記探針は、前記伸縮膜の弾性回復力を受けて押し動かされ且つ前記移動可能回路基板の方向に向かって移動し、且つ前記探針は、湾曲状態から直立状態に回復する、高周波測定を応用したテスト探針ホルダ構造。
2. 前記導電針体は、それぞれ前記伸縮膜の底側に導電ゲルを介して固定され、前記導電ゲルは、１対１のドット状配置で前記伸縮膜の他側の前記探針の位置に対応し、前記探針、前記導電ゲル及び前記導電針体は、それぞれ直線状に配置され、且つ前記導電針体は、前記保護膜底側から０．２ｍｍ突出し、前記保護膜は、ポリイミド繊維（Polyimide Fiber）材質で形成され、且つ前記導電針体は、硬度及び導電性の高い金属材質で形成される請求項１に記載の高周波測定を応用したテスト探針ホルダ構造。
3. 前記伸縮ギャップの距離は、前記プッシュギャップの距離よりも大きく、前記探針を前記移動可能回路基板と前記伸縮膜との間に押し動かす時、湾曲した変形状態を形成させ、前記伸縮膜と前記第２板体との間には前記第２板体を前記伸縮膜の緊密に貼り付けさせる粘着防止及び滑り止めテープが設けられる請求項１に記載の高周波測定を応用したテスト探針ホルダ構造。
   

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