JP3235423U - シート貼付装置 - Google Patents

Abstract

【課題】フレーム部材に貼付した接着シートに皺が生じることを防止することができるシート貼付装置を提供すること。【解決手段】シート貼付装置ＥＡは、フレーム部材ＲＦの反りを検知する反り検知機構１０と、反り検知機構１０で反りが検知されたフレーム部材ＲＦには接着シートＡＳを貼付せず、反り検知機構１０で反りが検知されなかったフレーム部材ＲＦに接着シートＡＳを貼付する貼付機構２０とを備えている。【選択図】図１

Description

本考案は、シート貼付装置に関する。

フレーム部材に接着シートを貼付するシート貼付装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。

特開２００１−３０８０３３号公報

特許文献１に記載された押圧ロール２７等を備えた装置（シート貼付装置）では、リングフレーム１（フレーム部材）にダイシングテープ２（接着シート）を貼付した際、フレーム部材に反りがあると、この反りによって当該フレーム部材に貼付した接着シートに皺ＷＬが生じるという不都合がある（図１（Ｃ）参照）。

本考案の目的は、フレーム部材に貼付した接着シートに皺が生じることを防止することができるシート貼付装置を提供することにある。

本考案は、請求項に記載した構成を採用した。

本考案によれば、反りが検知されたフレーム部材には接着シートを貼付せず、反りが検知されなかったフレーム部材に接着シートを貼付するので、フレーム部材に貼付した接着シートに皺が生じることを防止することができる。

（Ａ）、（Ｂ）は、本考案の一実施形態に係るシート貼付装置の説明図。（Ｃ）は、従来の不具合例を示す図。

以下、本考案の一実施形態を図１に基づいて説明する。
なお、本実施形態におけるＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸は、それぞれが直交する関係にあり、Ｘ軸およびＹ軸は、所定平面内の軸とし、Ｚ軸は、前記所定平面に直交する軸とする。さらに、本実施形態では、Ｙ軸と平行な図１（Ａ）の手前方向から観た場合を基準とし、方向を示した場合、「上」がＺ軸の矢印方向で「下」がその逆方向、「左」がＸ軸の矢印方向で「右」がその逆方向、「前」がＹ軸と平行な図１（Ａ）中手前方向で「後」がその逆方向とする。

シート貼付装置ＥＡは、フレーム部材としてのリングフレームＲＦの反りを検知する反り検知機構１０と、反り検知機構１０で反りが検知されたリングフレームＲＦには接着シートＡＳを貼付せず、反り検知機構１０で反りが検知されなかったリングフレームＲＦに接着シートＡＳを貼付する貼付機構２０とを備え、リングフレームＲＦを支持する支持機構３０の近傍に配置されている。本実施形態の場合、リングフレームＲＦは、中央に開口部ＲＦ１を備え、接着シートＡＳは、リングフレームＲＦの開口部ＲＦ１を覆う大きさの形状で形成されている。

反り検知機構１０は、カメラや投影機等の撮像機器や、光学センサや超音波センサ等の各種センサ等で構成された検知機器１１を備えている。
本実施形態の場合、反り検知機構１０は、リングフレームＲＦに反りがあることを検知すると、貼付機構２０に対して電気や電波等の所定の信号である反り検知信号を出力するとともに、表示器やスピーカ等の図示しない警告機器にも反り検知信号を出力するようになっている。なお、図示しない警告機器は、反り検知機構１０によって出力された反り検知信号を受信すると、表示器やスピーカ等を介して光や音等の警告シグナルを出力するようになっている。

貼付機構２０は、剥離シートＲＬの一方の面に接着シートＡＳが仮着された原反ＲＳを支持する支持ローラ２１と、原反ＲＳを案内するガイドローラ２２と、剥離縁２３Ａで剥離シートＲＬを折り返し、当該剥離シートＲＬから接着シートＡＳを剥離する剥離部材としての剥離板２３と、リングフレームＲＦに接着シートＡＳを押圧して貼付する押圧部材としての押圧ローラ２４と、駆動機器としての回動モータ２５Ａの図示しない出力軸に支持され、ピンチローラ２５Ｂとで剥離シートＲＬを挟み込む駆動ローラ２５と、図示しない駆動機器の出力軸に支持され、シート貼付装置ＥＡの自動運転が行われている間、ピンチローラ２５Ｂとの間に存在する剥離シートＲＬに常に所定の張力を付与し、当該剥離シートＲＬを回収する回収機構としての回収ローラ２６とを備え、反り検知機構１０によって出力された反り検知信号を受信した場合、リングフレームＲＦに接着シートＡＳを貼付する動作は行わず、反り検知機構１０によって出力された反り検知信号を受信しなかった場合、リングフレームＲＦに接着シートＡＳを貼付する動作を行うようになっている。

支持機構３０は、駆動機器としてのリニアモータ３１と、リニアモータ３１のスライダ３１Ａに支持され、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧機器（保持機構）によって吸着保持が可能な支持面３２Ａを有するテーブル３２とを備えている。なお、検知機器１１は、テーブル３２の手前側の面に支持されている。

以上のシート貼付装置ＥＡの動作を説明する。
先ず、図１（Ａ）中実線で示す初期位置に各部材が配置されたシート貼付装置ＥＡに対し、当該シート貼付装置ＥＡの使用者（以下、単に「使用者」という）が同図のように原反ＲＳをセットした後、図示しない操作パネルやパーソナルコンピュータ等の操作機構を介して自動運転開始の信号を入力する。すると、貼付機構２０が回動モータ２５Ａを駆動し、原反ＲＳを繰り出し、図１（Ａ）中実線で示すように、先頭の接着シートＡＳの繰出方向先端部が剥離板２３の剥離縁２３Ａで所定長さ剥離されると、回動モータ２５Ａの駆動を停止する。

次いで、使用者または、多関節ロボットやベルトコンベア等の図示しない搬送機構がリングフレームＲＦを支持面３２Ａ上の所定の位置に載置すると、反り検知機構１０が検知機器１１を駆動し、リングフレームＲＦに反りがあるかないかを検知する反り検知を行う。ここで、図１（Ａ）に示すように、リングフレームＲＦに反りがない場合、反り検知機構１０は、反り検知を行っても反りを検知しないので、反り検知信号を出力することはない。その後、支持機構３０が図示しない減圧機器およびリニアモータ３１を駆動し、支持面３２ＡでのリングフレームＲＦの吸着保持を開始した後、テーブル３２を左方に移動させ、当該テーブル３２が所定の位置に到達すると、貼付機構２０が回動モータ２５Ａを駆動し、テーブル３２の移動速度に合わせて原反ＲＳを繰り出す。これにより、図１（Ａ）中二点鎖線で示すように、接着シートＡＳが剥離板２３の剥離縁２３Ａで剥離シートＲＬから剥離され、当該接着シートＡＳが押圧ローラ２４によってリングフレームＲＦに押圧されて開口部ＲＦ１を覆うように貼付される。

接着シートＡＳ全体がリングフレームＲＦに貼付され、先頭の接着シートＡＳに次ぐ次の接着シートＡＳの繰出方向先端部が剥離板２３の剥離縁２３Ａで所定長さ剥離されると、貼付機構２０が回動モータ２５Ａの駆動を停止する。次に、リングフレームＲＦを支持したテーブル３２が押圧ローラ２４の下方を抜け出て所定の位置に到達すると、支持機構３０がリニアモータ３１の駆動を停止した後、図示しない減圧機器の駆動を停止し、支持面３２ＡでのリングフレームＲＦの吸着保持を解除する。そして、使用者または図示しない搬送機構が、接着シートＡＳが貼付されたリングフレームＲＦを次工程に搬送すると、支持機構３０がリニアモータ３１を駆動し、テーブル３２を初期位置に復帰させ、以降上記同様の動作が繰り返される。

ここで、図１（Ｂ）に示すように、リングフレームＲＦに反りがある場合、反り検知機構１０は、反り検知を行った際、反りがあることを検知し、貼付機構２０および図示しない警告機器に対して反り検知信号を出力する。次いで、図示しない警告機器が反り検知信号を受信すると、当該警告機器が表示器やスピーカ等を介して警告シグナルを発し、リングフレームＲＦに反りがあることを使用者に伝える。一方、支持機構３０は、上記と同様にして支持面３２ＡでのリングフレームＲＦの吸着保持を開始した後、テーブル３２を左方に移動させる。この際、貼付機構２０は、テーブル３２が所定の位置に到達しても原反ＲＳを繰り出すことはなく、接着シートＡＳをリングフレームＲＦに貼付することがない。その後、テーブル３２が押圧ローラ２４の下方を抜け出て所定の位置に到達すると、支持機構３０がリニアモータ３１の駆動を停止した後、図示しない減圧機器の駆動を停止し、支持面３２ＡでのリングフレームＲＦの吸着保持を解除する。次に、使用者または図示しない搬送機構が、接着シートＡＳが貼付されなかったリングフレームＲＦを支持面３２Ａ上から取り除くと、支持機構３０がリニアモータ３１を駆動し、テーブル３２を初期位置に復帰させ、以降上記同様の動作が繰り返される。

以上のような実施形態によれば、反りが検知されたリングフレームＲＦには接着シートＡＳを貼付せず、反りが検知されなかったリングフレームＲＦに接着シートＡＳを貼付するので、リングフレームＲＦに貼付した接着シートＡＳに皺ＷＬが生じることを防止することができる。

以上のように、本考案を実施するための最良の構成、方法等は、前記記載で開示されているが、本考案は、これに限定されるものではない。すなわち、本考案は、主に特定の実施形態に関して特に図示され、かつ説明されているが、本考案の技術的思想および目的の範囲から逸脱することなく、以上述べた実施形態に対し、形状、材質、数量、その他の詳細な構成において、当業者が様々な変形を加えることができるものである。また、上記に開示した形状、材質などを限定した記載は、本考案の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本考案を限定するものではないから、それらの形状、材質などの限定の一部もしくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本考案に含まれる。

例えば、反り検知機構１０は、支持面３２Ａに設けられた凹部内に検知機器１１が配置されてもよいし、検知機器１１がテーブル３２の前面、後面、左側面、右側面、支持面３２Ａ、底面等どの位置に支持されてもよいし、検知機器１１がテーブル３２に支持されなくてもよいし、リングフレームＲＦの前後左右上下方向等、どの位置から反りを検知してもよいし、リングフレームＲＦの左端部、右端部、前端部、後端部、中央部等、リングフレームＲＦのどの位置に反りが形成されていてもそれを検知することができるし、検知機器１１が１体でもよいし、複数体でもよいし、検知機器１１をリングフレームＲＦに沿って周回させたり直線移動させたりして反りを検知してもよいし、リングフレームＲＦに反りがあることを検知すると、支持機構３０に対して反り検知信号を出力するように構成し、支持機構３０が反り検知信号を受信した場合、リングフレームＲＦを貼付機構２０に接近させないことで、当該貼付機構２０がリングフレームＲＦに接着シートＡＳを貼付しないようにし、支持機構３０が反り検知信号を受信しなかった場合、リングフレームＲＦを貼付機構２０に接近させ、当該貼付機構２０がリングフレームＲＦに接着シートＡＳを貼付するようにしてもよい。

貼付機構２０は、剥離シートＲＬに仮着された帯状の接着シート基材に閉ループ状または短寸幅方向全体の切込が形成されることで、その切込で仕切られた所定の領域が接着シートＡＳとされた原反を繰り出してもよいし、帯状の接着シート基材が剥離シートＲＬに仮着された原反を採用し、接着シート基材に閉ループ状または短寸幅方向全体の切込を切断刃等の切断機構で形成し、その切込で仕切られた所定の領域を接着シートＡＳとしてもよいし、支持ローラ２１やガイドローラ２２等の各ローラの代わりに板状部材やシャフト部材等で原反ＲＳや剥離シートＲＬを支持したり案内したりしてもよいし、原反ＲＳを巻回することなく例えばファンフォールド折りにして支持してもよいし、剥離シートＲＬを巻回することなく例えばファンフォールド折りにしたり、シュレッダ等で切り刻んだり、無造作に集積したりして剥離シートＲＬを回収する回収機構を採用してもよいし、剥離シートＲＬを回収しなくてもよいし、リングフレームＲＦおよびその内側に位置する被着体に接着シートＡＳを貼付してもよいし、天地反転して配置したり横置きに配置したりして、リングフレームＲＦ、被着体の下面や側面等に接着シートＡＳを貼付してもよいし、駆動機器であって押圧機構としての直動モータの出力軸に支持され、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧機器（保持機構）によって吸着保持が可能な保持部材で接着シートＡＳを保持し、当該保持部材で保持した接着シートＡＳをリングフレームＲＦや被着体に押圧して貼付する構成でもよいし、押圧ローラ２４をリングフレームＲＦや被着体に離間接近させる押圧部材接離機構としての駆動機器を採用してもよく、押圧部材接離機構としては、駆動機器以外に手動で押圧ローラ２４を移動させる機構でもよい。

支持機構３０は、テーブル３２を移動させることなくまたは移動させつつ、貼付機構２０を移動させてもよい。
支持機構３０および図示しない警告機器のうち少なくとも一方は、シート貼付装置ＥＡに備わっていてもよいし、備わっていなくてもよい。

接着シートＡＳは、リングフレームＲＦの開口部ＲＦ１全体を覆う大きさに形成されてもよいし、リングフレームＲＦの開口部ＲＦ１の一部を覆う大きさに形成されてもよい。
フレーム部材は、リングフレームＲＦ以外に、環状でない（外周が繋がっていない）ものや、円形、楕円形、多角形、その他の形状であってもよい。

接着シートＡＳ、フレーム部材および被着体の材質、種別、形状等は、特に限定されることはない。例えば、接着シートＡＳ、フレーム部材および被着体は、円形、楕円形、三角形や四角形等の多角形、その他の形状であってもよいし、接着シートＡＳは、感圧接着性、感熱接着性等の接着形態のものであってもよく、感熱接着性の接着シートＡＳが採用された場合は、当該接着シートＡＳを加熱する適宜なコイルヒータやヒートパイプ等の加熱側等の加熱機構を設けるといった適宜な方法で接着されればよい。また、このような接着シートＡＳは、例えば、接着剤層だけの単層のもの、基材と接着剤層との間に中間層を有するもの、基材の上面にカバー層を有する等３層以上のもの、さらには、基材を接着剤層から剥離することのできる所謂両面接着シートのようなものであってもよく、両面接着シートは、単層又は複層の中間層を有するものや、中間層のない単層又は複層のものであってよい。また、被着体としては、例えば、食品、樹脂容器、シリコン半導体ウエハや化合物半導体ウエハ等の半導体ウエハ、回路基板、光ディスク等の情報記録基板、ガラス板、鋼板、陶器、木板または樹脂等の単体物であってもよいし、それら２つ以上で形成された複合物であってもよく、任意の形態の部材や物品なども対象とすることができる。なお、接着シートＡＳは、機能的、用途的な読み方に換え、例えば、情報記載用ラベル、装飾用ラベル、保護シート、ダイシングテープ、ダイアタッチフィルム、ダイボンディングテープ、記録層形成樹脂シート等の任意のシート、フィルム、テープ等でもよい。

本考案における機構および工程は、それら機構および工程について説明した動作、機能または工程を果たすことができる限りなんら限定されることはなく、まして、前記実施形態で示した単なる一実施形態の構成物や工程に全く限定されることはない。例えば、反り検知機構は、フレーム部材の反りを検知可能なものであればどんなものでもよく、出願当初の技術常識に照らし合わせてその技術範囲内のものであればなんら限定されることはない（その他の機構および工程も同じ）。

前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、２軸または３軸以上の関節を備えた多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダおよびロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる。
前記実施形態において、ローラ等の回転部材が採用されている場合、当該回転部材を回転駆動させる駆動機器を備えてもよいし、回転部材の表面や回転部材自体をゴムや樹脂等の変形可能な部材で構成してもよいし、回転部材の表面や回転部材自体を変形しない部材で構成してもよいし、ローラの代わりに回転するまたは回転しないシャフトやブレード等の他の部材を採用してもよいし、押圧ローラや押圧ヘッド等の押圧機構や押圧部材といった被押圧物を押圧するものが採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、ローラ、丸棒、ブレード材、ブラシ状部材の他、大気やガス等の気体の吹き付けによるものを採用してもよいし、押圧するものをゴム、樹脂、スポンジ等の変形可能な部材で構成してもよいし、金属や樹脂等の変形しない部材で構成してもよいし、剥離板や剥離ローラ等の剥離機構や剥離部材といった被剥離物を剥離するものが採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、板状部材、丸棒、ローラ等の部材を採用してもよいし、剥離するものをゴムや樹脂等の変形可能な部材で構成してもよいし、変形しない部材で構成してもよいし、支持（保持）機構や支持（保持）部材等の被支持部材（被保持部材）を支持（保持）するものが採用されている場合、メカチャックやチャックシリンダ等の把持機構、クーロン力、接着剤（接着シート、接着テープ）、粘着剤（粘着シート、粘着テープ）、磁力、ベルヌーイ吸着、吸引吸着、駆動機器等で被支持部材を支持（保持）する構成を採用してもよいし、切断機構や切断部材等の被切断部材を切断または、被切断部材に切込や切断線を形成するものが採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、カッター刃、レーザカッタ、イオンビーム、火力、熱、水圧、電熱線、気体や液体等の吹付け等で切断するものを採用したり、適宜な駆動機器を組み合わせたもので切断するものを移動させて切断するようにしたりしてもよい。

ＥＡ…シート貼付装置
１０…反り検知機構
２０…貼付機構
ＡＳ…接着シート
ＲＦ…リングフレーム（フレーム部材）

Claims (1)

1. フレーム部材の反りを検知する反り検知機構と、
   前記反り検知機構で反りが検知された前記フレーム部材には接着シートを貼付せず、前記反り検知機構で反りが検知されなかった前記フレーム部材に前記接着シートを貼付する貼付機構とを備えていることを特徴とするシート貼付装置。

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