JP3234426U

JP3234426U - Sample mounting member and sample mounting kit

Info

Publication number: JP3234426U
Application number: JP2021002848U
Authority: JP
Inventors: 耕頡 ▲チュー▼; 宗儒 ▲チャン▼; 純偉呉; 弘仁陳
Original assignee: MATERIALS ANALYSIS Tech Inc
Current assignee: MATERIALS ANALYSIS Tech Inc
Priority date: 2021-04-15
Filing date: 2021-07-21
Publication date: 2021-10-14
Anticipated expiration: 2031-07-21
Also published as: TWM615969U; CN215297188U

Abstract

【課題】試料載置部材及び試料載置キットを提供する。
【解決手段】試料載置部材１は試料Ｓを載置するために用いられ、試料を観察するために電子顕微鏡装置に配置される。試料載置部材は、本体部１１、メッシュ構造１２及び識別構造１３を含む。本体部は貫通孔１１１を有し、貫通孔が本体部を貫通する。メッシュ構造は本体部と接続され、メッシュ構造は貫通孔に配置され、メッシュ構造は貫通孔領域を複数のメッシュ１１２に区画し、メッシュ構造試料を載置するために用いられる。識別構造は、本体部及びメッシュ構造の少なくとも一方に接続される。識別構造は、試料載置部材が収納箱に格納される位置を識別するために用いられる。収納箱は、複数の試料載置部材を格納するために用いられる。
【選択図】図３PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a sample mounting member and a sample mounting kit.
A sample mounting member 1 is used for mounting a sample S, and is arranged in an electron microscope device for observing a sample. The sample mounting member includes a main body portion 11, a mesh structure 12, and an identification structure 13. The main body has a through hole 111, and the through hole penetrates the main body. The mesh structure is connected to the main body, the mesh structure is arranged in the through hole, and the mesh structure is used to partition the through hole region into a plurality of mesh 112 and place the mesh structure sample. The identification structure is connected to at least one of the main body and the mesh structure. The identification structure is used to identify the position where the sample mounting member is stored in the storage box. The storage box is used to store a plurality of sample mounting members.
[Selection diagram] Fig. 3

Description

本考案は試料載置部材及び試料載置キットに関し、特に試料を載置して電子顕微鏡装置に配置するための試料載置部材、及び当該試料載置部材を含む試料載置キットに関する。 The present invention relates to a sample mounting member and a sample mounting kit, and more particularly to a sample mounting member for mounting a sample and arranging it on an electron microscope device, and a sample mounting kit including the sample mounting member.

従来の電子顕微鏡による載置体に配置された半導体チップや生体試料などの観察は、観察したい試料を載置体に置き、その載置体を格納箱に収納し、格納箱に複数の載置体が配置されている場合、担当者がその格納箱を電子顕微鏡のある実験室に持っていき、そして載置体を１つずつ取り出して電子顕微鏡にかける、およびいう流れが一般的であった。載置体に搭載された試料を観察した後、担当者が載置体を収納箱に戻す。 When observing a semiconductor chip or a biological sample placed on a mounting body with a conventional electron microscope, the sample to be observed is placed on the mounting body, the mounted body is stored in a storage box, and a plurality of mounting bodies are placed in the storage box. When the body was placed, it was common for the person in charge to take the storage box to a laboratory with an electron microscope, and then take out the placements one by one and put them under an electron microscope. .. After observing the sample mounted on the mounting body, the person in charge returns the mounting body to the storage box.

上記の流れでは、試料の観察が済んだ場合、当該試料を載置する載置体が元々収納箱に収納された位置を、担当者が忘れてしまった場合、載置体を収納箱の間違った位置に収納してしまい、試料の処理または記録に支障が起こる場合もある。 In the above flow, if the person in charge forgets the position where the mounting body on which the sample is placed was originally stored in the storage box after observing the sample, the mounting body is mistaken in the storage box. It may be stored in a different position, which may interfere with sample processing or recording.

本考案は、電子顕微鏡装置で試料を観察する流れにおいて、担当者が収納箱における載置体が帰属する位置を忘れてしまうことにより、誤った位置に収納するという問題を改善する、試料載置部材及び試料載置キットを提供する。 The present invention improves the problem that the person in charge forgets the position to which the mounting body belongs in the storage box in the flow of observing the sample with the electron microscope device, so that the sample is stored in the wrong position. A member and a sample mounting kit are provided.

本考案に係る特定の実施形態には、次のような試料載置部材が開示される。試料載置部材は少なくとも１つの試料を載置するために用いられる。試料が載置された試料載置部材は観察するために電子顕微鏡装置に配置される。試料載置部材は、少なくとも１つの貫通孔を有する本体部と、少なくとも１つのメッシュ構造と、少なくとも１つの識別構造とを含む。貫通孔は本体部を貫通する。少なくとも１つのメッシュ構造は本体部と接続され、メッシュ構造は貫通孔内に配置される。メッシュ構造は貫通孔領域を複数のメッシュに区画される。メッシュ構造試料を載置するために用いられる。少なくとも１つの識別構造は本体部及びメッシュ構造の少なくとも一方に接続される。識別構造は、試料載置部材が収納箱での収納位置を識別するために用いられる。収納箱は、複数の試料載置部材を収納するために用いられる。 The following sample mounting members are disclosed in the specific embodiment according to the present invention. The sample mounting member is used to mount at least one sample. The sample mounting member on which the sample is placed is placed in an electron microscope device for observation. The sample mounting member includes a main body portion having at least one through hole, at least one mesh structure, and at least one identification structure. The through hole penetrates the main body. At least one mesh structure is connected to the main body and the mesh structure is arranged in the through hole. In the mesh structure, the through hole area is divided into a plurality of meshes. It is used to place a mesh structure sample. At least one identification structure is connected to at least one of the main body and the mesh structure. The identification structure is used for the sample mounting member to identify the storage position in the storage box. The storage box is used to store a plurality of sample mounting members.

本考案に係る特定の実施形態は試料載置キットを開示する。試料載置キットは、複数の試料載置部材を含む。各試料載置部材は、少なくとも１つの試料を載置するために用いられる。試料が載置された試料載置部材は、電子顕微鏡装置を介して試料を観察するために電子顕微鏡装置に配置するために用いられる。各試料載置部材は少なくとも１つの試料を載置するために用いられる。試料が載置された試料載置部材は観察するために電子顕微鏡装置に配置される。試料載置部材は、少なくとも１つの貫通孔を有する本体部と、少なくとも１つのメッシュ構造と、少なくとも１つの識別構造とを含む。貫通孔は本体部を貫通する。少なくとも１つのメッシュ構造は本体部と接続され、メッシュ構造は貫通孔内に配置される。メッシュ構造は貫通孔領域を複数のメッシュに区画される。メッシュ構造試料を載置するために用いられる。少なくとも１つの識別構造は本体部及びメッシュ構造の少なくとも一方に接続される。識別構造は、試料載置部材が収納箱での収納位置を識別するために用いられる。収納箱は、複数の試料載置部材を収納するために用いられる。 Specific embodiments according to the present invention disclose a sample mounting kit. The sample mounting kit includes a plurality of sample mounting members. Each sample mounting member is used to mount at least one sample. The sample mounting member on which the sample is placed is used to be placed in the electron microscope device for observing the sample via the electron microscope device. Each sample mounting member is used to mount at least one sample. The sample mounting member on which the sample is placed is placed in an electron microscope device for observation. The sample mounting member includes a main body portion having at least one through hole, at least one mesh structure, and at least one identification structure. The through hole penetrates the main body. At least one mesh structure is connected to the main body and the mesh structure is arranged in the through hole. In the mesh structure, the through hole area is divided into a plurality of meshes. It is used to place a mesh structure sample. At least one identification structure is connected to at least one of the main body and the mesh structure. The identification structure is used for the sample mounting member to identify the storage position in the storage box. The storage box is used to store a plurality of sample mounting members.

上記を纏めて、本考案に係る試料載置部材及び試料載置キットは、識別構造等のデザインによって、担当者が電子顕微鏡装置によって試料載置部材に配置された試料を観察する時、電子顕微鏡装置を通して識別構造を観察することによって、当該試料載置部材は収納箱におけるどの位置に配置されるかを確認することができるため、試料載置部材が収納箱の誤った位置に格納される確率を確実に減らすことができる。 Summarizing the above, the sample mounting member and the sample mounting kit according to the present invention have an electron microscope when the person in charge observes the sample placed on the sample mounting member by the electron microscope device by designing the identification structure and the like. By observing the identification structure through the device, it is possible to confirm where the sample mounting member is placed in the storage box, so that the probability that the sample mounting member is stored in the wrong position in the storage box Can be definitely reduced.

本考案に係る試料載置キットを示す模式図である。It is a schematic diagram which shows the sample mounting kit which concerns on this invention. 本考案に係る試料載置キットの収納箱に１つの試料載置部材が配置されたことを示す上面模式図である。It is a top view which shows that one sample mounting member was arranged in the storage box of the sample mounting kit which concerns on this invention. 本考案に係る試料載置部材載置に試料が載置されていることを示す上面模式図である。It is a top view which shows that the sample is placed in the sample mounting member mounting which concerns on this invention. 本考案に係る試料載置キットの識別用紙を示す上面模式図である。It is a top view which shows the identification paper of the sample mounting kit which concerns on this invention. 本考案に係る試料載置キットの他の実施形態の収納箱に１つの試料載置部材が配置されたことを示す上面模式図である。It is a top view which shows that one sample mounting member was arranged in the storage box of another embodiment of the sample mounting kit which concerns on this invention. 本考案に係る試料載置部材に試料が載置される実施形態を示す上面模式図である。It is a top side schematic diagram which shows the embodiment in which a sample is placed on the sample placing member which concerns on this invention. 本考案に係る試料載置部材に試料が載置される変形例を示す上面模式図である。It is a top side schematic diagram which shows the modification which the sample is placed on the sample placing member which concerns on this invention. 本考案に係る試料載置部材に試料が載置される変形例を示す上面模式図である。It is a top side schematic diagram which shows the modification which the sample is placed on the sample placing member which concerns on this invention. 本考案に係る試料載置部材に試料が載置される変形例を示す上面模式図である。It is a top side schematic diagram which shows the modification which the sample is placed on the sample placing member which concerns on this invention. 図９の部分拡大図である。FIG. 9 is a partially enlarged view of FIG. 本考案に係る試料載置部材に試料が載置される変形例を示す上面模式図である。It is a top side schematic diagram which shows the modification which the sample is placed on the sample placing member which concerns on this invention. 本考案に係る試料載置部材に試料が載置される変形例を示す上面模式図である。It is a top side schematic diagram which shows the modification which the sample is placed on the sample placing member which concerns on this invention. 本考案に係る試料載置部材に試料が載置される変形例を示す上面模式図である。It is a top side schematic diagram which shows the modification which the sample is placed on the sample placing member which concerns on this invention. 本考案に係る試料載置部材に試料が載置される変形例を示す上面模式図である。It is a top side schematic diagram which shows the modification which the sample is placed on the sample placing member which concerns on this invention. 本考案に係る試料載置部材に試料が載置される変形例を示す上面模式図である。It is a top side schematic diagram which shows the modification which the sample is placed on the sample placing member which concerns on this invention.

本考案の特徴及び技術内容がより一層分かるように、以下の本考案に関する詳細な説明と添付図面を参照する。しかし、提供される添付図面は参考と説明のために提供するものに過ぎず、本考案の請求の範囲を制限するためのものではない。 In order to further understand the features and technical contents of the present invention, the following detailed description and attached drawings regarding the present invention will be referred to. However, the accompanying drawings provided are provided for reference and illustration only and are not intended to limit the claims of the present invention.

以下の説明において、特定の図面を参照するか、または特定の図面に示されているように参照することが示されている場合、これは、その後の説明において、前記関連する内容のほとんどがその特定の図面に現れることを強調するためだけのものであり、その後の説明を前記特定の図面のみを参照することに限定するものではない。 Where in the following description it is indicated to refer to a particular drawing or as shown in a particular drawing, this is what most of the relevant content thereof will be in subsequent description. It is only for emphasizing the appearance in a specific drawing, and the subsequent description is not limited to referring only to the specific drawing.

図１〜図４を参照されたい。本考案に係る試料載置キット１００は、複数の試料載置部材１、収納箱２及び複数枚のマーク用紙３を含む。別の実施形態において、試料載置キット１００はマーク用紙３を含まずに販売することも可能である。試料載置キット１００に含まれる試料載置部材１及びマーク用紙３の数量は、実際のニーズに応じて調整し得、本考案ではそれについて制限されない。なお、試料載置キット１００に含まれる試料載置部材１及びマーク用紙３の数量は、収納箱２に含まれる収容溝２１１の数量の以下であることが好ましい。 See FIGS. 1 to 4. The sample mounting kit 100 according to the present invention includes a plurality of sample mounting members 1, a storage box 2, and a plurality of mark sheets 3. In another embodiment, the sample mounting kit 100 can also be sold without the mark paper 3. The quantity of the sample mounting member 1 and the mark paper 3 included in the sample mounting kit 100 can be adjusted according to the actual needs, and the present invention is not limited thereto. The quantity of the sample mounting member 1 and the mark paper 3 included in the sample mounting kit 100 is preferably less than or equal to the number of the storage grooves 211 included in the storage box 2.

収納箱２は、箱体２１、蓋２２、および１２個の識別構造２３を含むことができる。箱体２１は、１２個の収容溝２１１を含む。収容溝２１１の各々は、試料運搬部材１の１つを収容するように用いられる。なお、箱体２１が含む収容溝２１１の数量は、実用上の要求に応じて増減させることができ、収容溝２１１の数量は、図２〜図４に示すものに限定されない。また、蓋２２は、箱体２１に着脱可能に接続されており、ユーザは、蓋２２が収容溝２１１の全てを覆うように操作することができ、収容溝２１１に配置された試料搬送部材１が収容溝２１１から離脱することを防止することができる。なお、箱体２１および蓋２２の寸法や構造、および蓋２２と箱体２１との連結態様は、図２〜図４に示すものに限定されない。他の実施形態では、収納箱２は、蓋２２を含まないように設けることができる。 The storage box 2 can include a box body 21, a lid 22, and 12 identification structures 23. The box body 21 includes 12 accommodating grooves 211. Each of the accommodating grooves 211 is used to accommodate one of the sample transport members 1. The quantity of the accommodating grooves 211 included in the box body 21 can be increased or decreased according to practical requirements, and the quantity of the accommodating grooves 211 is not limited to those shown in FIGS. 2 to 4. Further, the lid 22 is detachably connected to the box body 21, and the user can operate the lid 22 so as to cover the entire accommodating groove 211, and the sample transport member 1 arranged in the accommodating groove 211 can be operated. Can be prevented from being separated from the accommodating groove 211. The dimensions and structure of the box body 21 and the lid 22 and the connection mode between the lid 22 and the box body 21 are not limited to those shown in FIGS. 2 to 4. In another embodiment, the storage box 2 can be provided so as not to include the lid 22.

異なる様式を有する１２個のマーク構造２３は、収納箱２の一側に配置され、各マーク構造２３は、収容溝２１１の１つの近傍に配置され、各マーク構造２３は、ユーザが収容溝２１１のそれぞれを識別できるように設けられている。マーク構造２３のそれぞれは、例えば、文字態様（例えば、英文、漢文、または任意の国のテキスト）、数値態様（例えば、アラビア数字、ローマ数字）、記号態様（例えば、各種の幾何学図形）、およびパターン態様（例えば、ユーザが決定する任意のパターン）の少なくとも１つで示すことができる。例えば、１２個の識別構造２３は、それぞれＡ、Ｂ、Ｃ、Ｄ、Ｅ、Ｆ、Ｇ、Ｈ、Ｉ、Ｊ、Ｋ、Ｌの英語のテキストで箱体２１に表示することができる。別の実施形態では、マーク構造２３のそれぞれは、テキストと数字を同時に含むことができる。例えば、１２個のマーク構造２３は、それぞれＡ１、Ａ２、Ａ３、Ｂ１、Ｂ２、Ｂ３、Ｃ１、Ｃ２、Ｃ３、Ｄ１、Ｄ２、Ｄ３とすることができる。マーク構造２３の数量は、収容溝２１１の数量に対応しており、それぞれのマーク構造２３は、ユーザが収容溝２１１の対応する１つを識別できるように設けられている。 Twelve mark structures 23 having different styles are arranged on one side of the storage box 2, each mark structure 23 is arranged in the vicinity of one of the accommodation grooves 211, and each mark structure 23 is arranged by the user in the accommodation groove 211. It is provided so that each of them can be identified. Each of the mark structures 23 has, for example, a character aspect (eg, English, Chinese, or text of any country), a numerical aspect (eg, Arabic numeral, Roman numeral), a symbolic aspect (eg, various geometric figures), And at least one of the pattern modes (eg, any pattern determined by the user). For example, the twelve identification structures 23 can be displayed on the box 21 with English texts A, B, C, D, E, F, G, H, I, J, K, and L, respectively. In another embodiment, each of the mark structures 23 can include text and numbers at the same time. For example, the 12 mark structures 23 can be A1, A2, A3, B1, B2, B3, C1, C2, C3, D1, D2, and D3, respectively. The quantity of the mark structure 23 corresponds to the quantity of the accommodation groove 211, and each mark structure 23 is provided so that the user can identify the corresponding one of the accommodation grooves 211.

図３を参照すると、試料搬送部材１のそれぞれは、試料Ｓの１つを搬送するように構成されており、試料Ｓを搬送した試料搬送部材１のそれぞれは、例えば、各種の透過型電子顕微鏡（ＴＥＭ）、走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）、原子間力顕微鏡（ＡＦＭ）等の電子顕微鏡装置に配置され、電子顕微鏡装置を介して、試料搬送部材１上の試料Ｓを観察することができる。試料搬送部材１のそれぞれは、本体部１１と、メッシュ構造１２と、識別構造１３とを含む。 Referring to FIG. 3, each of the sample transport members 1 is configured to transport one of the samples S, and each of the sample transport members 1 that has transported the sample S is, for example, various transmission electron microscopes. (TEM), a scanning electron microscope (SEM), an atomic force microscope (AFM), or the like, and the sample S on the sample transport member 1 can be observed through the electron microscope device. Each of the sample transport members 1 includes a main body portion 11, a mesh structure 12, and an identification structure 13.

本体部１１は、本体部１１を貫通する貫通孔１１１を含む。なお、本体部１１および貫通孔１１１の構造および寸法は、本発明の図に示すものに限定されない。また、本体部１１の材質やメッシュ構造体１２の材質は、銅やニッケルを含むことができ、試料の種類に応じて選択することができ、本発明はこれに限定されない。また、メッシュ構造体１２は、本体部１１に接続され、メッシュ構造体１２は、貫通孔１１１に配置され、メッシュ構造体１２は、貫通孔１１１を複数のメッシュ１１２に分割し、メッシュ構造体１２は、試料Ｓを搬送するように構成されているが、メッシュ１１２の構造や寸法は、試料Ｓの寸法や構造に応じて決めることができ、本発明はこれに限定されない。また、実用的には、メッシュ構造体１２の材料は、本体部１１の材料と同じであってもよい。 The main body 11 includes a through hole 111 penetrating the main body 11. The structure and dimensions of the main body 11 and the through hole 111 are not limited to those shown in the drawings of the present invention. Further, the material of the main body 11 and the material of the mesh structure 12 can contain copper and nickel and can be selected according to the type of the sample, and the present invention is not limited thereto. Further, the mesh structure 12 is connected to the main body 11, the mesh structure 12 is arranged in the through hole 111, and the mesh structure 12 divides the through hole 111 into a plurality of mesh 112, and the mesh structure 12 Is configured to convey the sample S, but the structure and dimensions of the mesh 112 can be determined according to the dimensions and structure of the sample S, and the present invention is not limited thereto. Further, practically, the material of the mesh structure 12 may be the same as the material of the main body 11.

識別構造１３は、本体部１１およびメッシュ構造１２の少なくとも一方に接続される。識別構造１３のそれぞれは、文字的な態様、数値的な態様、記号的な態様、およびパターン的な態様の少なくとも１つで示すことができる。また、実用的には、各識別構造１３は、本体部１１の一側に凹設されたり、本体部１１を貫通する貫通孔構造であったりすることができる。マーキングデバイスは、例えば、レーザー技術、レーザーエッチング、物理的処理、またはインク印刷によって、識別構造１３の各々を本体部１１に形成することができる。 The identification structure 13 is connected to at least one of the main body 11 and the mesh structure 12. Each of the identification structures 13 can be shown in at least one of a character aspect, a numerical aspect, a symbolic aspect, and a pattern aspect. Further, practically, each identification structure 13 may be recessed on one side of the main body portion 11 or may have a through-hole structure penetrating the main body portion 11. The marking device can form each of the identification structures 13 on the body 11 by, for example, laser technology, laser etching, physical processing, or ink printing.

具体的に、識別構造１３のそれぞれは、収納箱２のマーク構造２３の１つを示す態様と同じ態様で示すことができる。本実施形態の図を参照すると、図３に示す試料搬送部材１は図２に示した収納箱２における最も左上隅の収容溝２１１に配置されており、その収容溝２１１のマーク構造２３は「Ａ」で示されている。図３に示した試料識別構造１６は、本体部１１に「Ａ」で示される。 Specifically, each of the identification structures 13 can be shown in the same manner as that of one of the mark structures 23 of the storage box 2. With reference to the drawings of the present embodiment, the sample transport member 1 shown in FIG. 3 is arranged in the storage groove 211 at the upper left corner of the storage box 2 shown in FIG. 2, and the mark structure 23 of the storage groove 211 is ". It is indicated by "A". The sample identification structure 16 shown in FIG. 3 is indicated by “A” in the main body portion 11.

識別構造１３のデザインによって、ユーザは電子顕微鏡装置を介して試料Ｓを観察する場合、ユーザは識別構造１３を見て、現在観察している試料Ｓが収納箱２の収容溝２１１のいずれにもともと配置されているかを知ることができる。このようにして、ユーザが試料Ｓの観察を終えて、試料搬送部材１を収納箱２に戻せるようにする時、ミスが発生しにくくすることができる。 Due to the design of the identification structure 13, when the user observes the sample S through the electron microscope device, the user looks at the identification structure 13 and the sample S currently being observed is originally in any of the storage grooves 211 of the storage box 2. You can know if it is placed. In this way, when the user finishes observing the sample S and allows the sample transport member 1 to be returned to the storage box 2, mistakes can be less likely to occur.

図３及び図４に示すように、マーク用紙３のそれぞれは、試料位置マーク領域３１及び試料情報記入領域３２を含む。試料位置マーク領域３１は試料載置部材１のそれぞれのメッシュ構造１２に対応したメッシュ図パターンを含む（即ち、試料載置部材１におけるメッシュ１１２の数量は、試料位置マーク領域３１におけるメッシュの数量と対応している）。実際の適用において、ユーザが試料Ｓを試料載置部材１に載置させる後、試料Ｓをメッシュ構造１２に対応的な位置に配置させる。なかでも、試料に対応した位置マーク領域３１に試料パターンＱ１が標示される。そして、試料情報記入領域３２に、識別構造１３対応する、かつ前記試料Ｓに関わるデータＱ２（例えば、会社番号、試料番号等）を記入する。 As shown in FIGS. 3 and 4, each of the mark sheets 3 includes a sample position mark area 31 and a sample information entry area 32. The sample position mark region 31 includes a mesh diagram pattern corresponding to each mesh structure 12 of the sample mounting member 1 (that is, the quantity of the mesh 112 in the sample mounting member 1 is the quantity of the mesh in the sample position mark region 31. It corresponds). In the actual application, after the user places the sample S on the sample mounting member 1, the sample S is placed at a position corresponding to the mesh structure 12. Among them, the sample pattern Q1 is marked in the position mark region 31 corresponding to the sample. Then, in the sample information entry area 32, data Q2 (for example, company number, sample number, etc.) corresponding to the identification structure 13 and related to the sample S is entered.

上記のように、本実施形態に係る図１〜図４に示した内容を例として、ユーザが本考案に係る試料載置キット１００が観察対象試料を作製する流れは、以下の通りである。 As described above, taking the contents shown in FIGS. 1 to 4 according to the present embodiment as an example, the flow in which the user prepares the sample to be observed by the sample mounting kit 100 according to the present invention is as follows.

試料Ｓをメッシュ構造１２の右上部分に配置させる。
本体部１１に「Ａ」の様式で標示された識別構造１３を形成させるために、試料Ｓが載置された試料載置部材１を関連デバイス（レーザー彫刻機、インク印刷機、化学エッチング機など）に搬送する。 Sample S is placed in the upper right portion of the mesh structure 12.
In order to form the identification structure 13 marked in the form of "A" on the main body 11, the sample mounting member 1 on which the sample S is mounted is mounted on a related device (laser engraving machine, ink printing machine, chemical etching machine, etc.). ).

識別構造１３が形成された試料載置部材１を、「Ａ」で標示されたマーク構造２３の傍の収容溝２１１に配置される。 The sample mounting member 1 on which the identification structure 13 is formed is arranged in the accommodating groove 211 near the mark structure 23 marked with “A”.

マーク用紙３の試料位置マーク領域３１におけるメッシュ図パターンの右上部分に、試料パターンＱ１を付けると共に、試料情報記入領域３２に、識別構造１３に対応したデータ：Ａ−ＭＡ−００１を記入する。なかでも、Ａは、試料載置部材１が収納箱２におけるどの収容溝２１１に配置されたかを表示し、ＭＡは、当該試料の会社番号を表示し、００１は試料番号を表示する。 The sample pattern Q1 is attached to the upper right portion of the mesh diagram pattern in the sample position mark region 31 of the mark paper 3, and the data corresponding to the identification structure 13: A-MA-001 is entered in the sample information entry region 32. Among them, A indicates which storage groove 211 in the storage box 2 the sample mounting member 1 is arranged in, MA displays the company number of the sample, and 001 displays the sample number.

また、収納箱２における収容溝２１１のそれぞれのいずれにも試料載置部材１が配置された場合、収納箱２における最も左上角の位置にある収容溝２１１（当該収容溝２１１の傍のマーク構造２３はＡで標示される）に収納された試料載置部材１を観察する流れは次の通りである。 Further, when the sample mounting member 1 is arranged in any of the storage grooves 211 in the storage box 2, the storage groove 211 at the upper left corner of the storage box 2 (mark structure near the storage groove 211) is located. 23 is marked with A), and the flow of observing the sample mounting member 1 housed in the sample mounting member 1 is as follows.

収納箱２における最も左上部分の位置にある収容溝２１１から試料載置部材１の１つを取り出す。当該収容溝２１１に対応的なマーク用紙３を取り、マーク用紙３における試料情報記入領域３２に記入された内容が試料載置部材１における識別構造１３の内容に一致していることを確認した後、前記試料載置部材１を電子顕微鏡装置に載置させる。 One of the sample mounting members 1 is taken out from the storage groove 211 located at the upper leftmost position in the storage box 2. After taking the mark paper 3 corresponding to the accommodating groove 211 and confirming that the content entered in the sample information entry area 32 on the mark paper 3 matches the content of the identification structure 13 in the sample mounting member 1. , The sample mounting member 1 is mounted on an electron microscope device.

マーク用紙３の試料パターンＱ１がメッシュに対応的に位置する部分に基づいて、電子顕微鏡装置の作動を制御することによって、試料Ｓを電子顕微鏡装置の視野範囲に表せる。 By controlling the operation of the electron microscope device based on the portion of the mark paper 3 where the sample pattern Q1 is located corresponding to the mesh, the sample S can be represented in the field of view of the electron microscope device.

視野範囲に位置する試料に対して観察及び記録を行う。
試料載置部材１を取り外すと共に、マーク用紙３の試料情報記入領域３２に示されたデータに基づいて、試料載置部材１を収納箱２における対応的な収容溝２１１に収容させる。 Observe and record samples located in the field of view.
The sample mounting member 1 is removed, and the sample mounting member 1 is housed in the corresponding storage groove 211 in the storage box 2 based on the data shown in the sample information entry area 32 of the mark paper 3.

上記の流れにおいて、試料載置部材１に識別構造１３が配置されているため、マーク用紙３の紛失や試料情報記入領域３２に記入されたデータがはっきり認識し得ない場合であっても、担当者は依然として試料載置部材１における識別構造１３を確認することによって、観察済みの試料載置部材１及びそれに載置された試料Ｓを確実に正確な収容溝２１１に収容させることが可能である。 In the above flow, since the identification structure 13 is arranged on the sample mounting member 1, even if the mark paper 3 is lost or the data entered in the sample information entry area 32 cannot be clearly recognized, the person in charge is in charge. By still confirming the identification structure 13 in the sample mounting member 1, the person can surely accommodate the observed sample mounting member 1 and the sample S placed therein in the accurate accommodating groove 211. ..

結果として、本考案に係る試料載置部材１は、識別構造１３等のデザインによって、試料載置部材１を誤った収容溝２１１に収納させる確率を大幅に下げることが可能である。 As a result, the sample mounting member 1 according to the present invention can significantly reduce the probability that the sample mounting member 1 is housed in the erroneous storage groove 211 by the design of the identification structure 13 or the like.

図５及び図６を一緒に参照されたい。本実施形態に係る収納箱２と前述した実施形態との相違点は、収納箱２に含まれるマーク構造の数量は収容溝２１１の数量を下回り、かつ、マーク構造はそれが配置した位置によって様式が異なる３個の縦型マーク構造２３Ａ、及び様式が異なる４個の横型マーク構造２３Ｂに区別される。 See FIGS. 5 and 6 together. The difference between the storage box 2 according to the present embodiment and the above-described embodiment is that the quantity of the mark structure included in the storage box 2 is less than the quantity of the storage groove 211, and the mark structure is styled according to the position in which it is arranged. It is divided into three vertical mark structures 23A having different styles and four horizontal mark structures 23B having different styles.

例えば、収納箱２が含むマーク構造の数量は、収容溝２１１の数量よりも少なくすることができる。そして、マーク構造は、その位置に応じて、異なる様式を有する３つの縦型マーク構造２３Ａと、異なる様式を有する４つの横型マーク構造２３Ｂとに定義することができる。例えば、収納箱２が含む収容溝２１１が３×４のマトリクス状に配置されている場合、収納箱２は、異なる様式を有する４つの縦型マーク構造２３Ａと、異なる様式を有する３つの横型マーク構造２３Ｂとを含むことができる。縦型マーク構造２３Ａの各々は、文字態様、数値態様、記号態様、及びパターン態様のうちの少なくとも１つで示すことができ、横型マーク構造２３Ｂの各々は、文字態様、数値態様、記号態様、及びパターン態様のうちの少なくとも１つで示すことができる。例えば、４つの縦型マーク構造２３Ａは、１、２、３、４のアラビア数字で示すことができ、３つの横型マーク構造２３Ｂは、Ａ、Ｂ、Ｃの英文で示すことができるが、本発明はこれに限定されない。 For example, the quantity of the mark structure included in the storage box 2 can be smaller than the quantity of the storage groove 211. The mark structure can be defined into three vertical mark structures 23A having different styles and four horizontal mark structures 23B having different styles according to their positions. For example, when the storage grooves 211 included in the storage box 2 are arranged in a 3 × 4 matrix, the storage box 2 has four vertical mark structures 23A having different styles and three horizontal marks having different styles. Structure 23B and can be included. Each of the vertical mark structures 23A can be represented by at least one of a character aspect, a numerical aspect, a symbolic aspect, and a pattern aspect, and each of the horizontal mark structures 23B has a character aspect, a numerical aspect, a symbolic aspect, And at least one of the pattern embodiments. For example, the four vertical mark structures 23A can be indicated by Arabic numerals 1, 2, 3, and 4, and the three horizontal mark structures 23B can be indicated by the English sentences A, B, and C. The invention is not limited to this.

なお、本実施形態では、縦型マーク構造２３Ａのいずれか１つのパターンは、すべての横型マーク構造２３Ｂのパターンと同じではないが、これに限らず、異なる実施形態では、縦型マーク構造２３Ａのいずれか１つのパターンは、横型マーク構造２３Ｂのいずれか１つのパターンと同じであってもよい。 In the present embodiment, any one pattern of the vertical mark structure 23A is not the same as the pattern of all the horizontal mark structures 23B, but the pattern is not limited to this, and in different embodiments, the vertical mark structure 23A Any one pattern may be the same as any one pattern of the horizontal mark structure 23B.

本実施形態と前記実施形態との他の違い点は、試料運搬部材１に、識別構造１３Ａおよび識別構造１３Ｂを形成する。識別構造１３Ａは、収納箱２に収納された試料運搬部材１の横方向の位置を示すように構成され、識別構造１３Ｂは、収納箱２に収納された試料運搬部材１の縦方向の位置を示すように構成され、識別構造１３Ａの種類は、縦型マーク構造２３Ａのうちの１つの種類と同じであり、識別構造１３Ｂの種類は、横型マーク構造２３Ｂのうちの１つの種類と同じである。具体的には、識別構造１３Ａは、英文字「Ｃ」として示すことができ、識別構造１３Ｂは、アラビア数字「３」として示すことができる。 Another difference between this embodiment and the above-described embodiment is that the identification structure 13A and the identification structure 13B are formed on the sample transport member 1. The identification structure 13A is configured to indicate the lateral position of the sample transport member 1 housed in the storage box 2, and the identification structure 13B indicates the vertical position of the sample transport member 1 housed in the storage box 2. As shown, the type of the identification structure 13A is the same as one of the vertical mark structures 23A, and the type of the identification structure 13B is the same as one of the horizontal mark structures 23B. .. Specifically, the identification structure 13A can be represented as the English letter "C" and the identification structure 13B can be represented as the Arabic numeral "3".

以上によれば、ユーザでは、電子顕微鏡装置を介して、試料搬送部材１に設けられた識別構造１３Ａおよび識別構造１３Ｂが示す「Ｃ３」を視認することで、図６に示す試料搬送部材１が、図５に示す収納箱２の第３行（英字「Ｃ」が付された行）および第３列（アラビア数字「３」が付された列）の位置に配置されていることを知ることができる。 According to the above, the user can visually recognize the identification structure 13A provided on the sample transfer member 1 and the "C3" indicated by the identification structure 13B through the electron microscope device, so that the sample transfer member 1 shown in FIG. 6 can be seen. , Knowing that the storage box 2 is arranged at the position of the third row (row with the letter "C") and the third column (column with the Arabic numeral "3") shown in FIG. Can be done.

なお、識別構造１３Ａおよび識別構造１３Ｂが本体部１１上に配置される位置は、実用上の要求に応じて変更可能であり、本発明の図に示されるものに限定されない。また、識別構造１３Ａと識別構造１３Ｂとの間の距離も、実用上の要求に応じて設計することができる。特殊な用途では、識別構造１３Ａと識別構造１３Ｂとが互いに離れて配置されてもよい（例えば、識別構造１３Ａが本体部１１の左側に配置され、識別構造１３Ｂが本体部１１の右側に配置される）。 The positions where the identification structure 13A and the identification structure 13B are arranged on the main body 11 can be changed according to practical requirements, and are not limited to those shown in the drawings of the present invention. Further, the distance between the identification structure 13A and the identification structure 13B can also be designed according to practical requirements. In special applications, the identification structure 13A and the identification structure 13B may be arranged apart from each other (for example, the identification structure 13A is arranged on the left side of the main body 11 and the identification structure 13B is arranged on the right side of the main body 11. NS).

図７を参照されたい。図７は、本考案に係る試料載置部材の特定の実施形態を示す。本実施形態と上述実施形態との相違点は、試料載置部材１に位置識別構造１４がさらに含まれてもよい。位置識別構造１４は、本体部１１及びメッシュ構造１２の少なくとも一方と接続される。各位置識別構造１４は、試料載置部材１の中心Ｃに対する試料載置部材１に載置された試料Ｓ位置を認識するために用いられる。位置識別構造１４は、テキスト的な態様、数値的な態様、記号的な態様、およびパターン的な態様のうちの少なくとも１つで示すことができる。 See FIG. 7. FIG. 7 shows a specific embodiment of the sample mounting member according to the present invention. The difference between the present embodiment and the above-described embodiment is that the sample mounting member 1 may further include the position identification structure 14. The position identification structure 14 is connected to at least one of the main body 11 and the mesh structure 12. Each position identification structure 14 is used to recognize the position of the sample S mounted on the sample mounting member 1 with respect to the center C of the sample mounting member 1. The position identification structure 14 can be shown in at least one of a textual aspect, a numerical aspect, a symbolic aspect, and a pattern aspect.

実用的には、マーキングデバイスを利用して本体部１１に位置識別構造１４を形成する場合、メッシュ構造１２の中心Ｃに対する試料搬送部材１によって搬送される試料Ｓの位置に応じて、位置識別構造１４の様式を決定することができる。図６に示すように、例えば、試料Ｓが中心Ｃに対して右上位置、右下位置、左上位置、または左下位置にあることをそれぞれ示すように、位置識別構造１４をＲＵ、ＲＤ、ＬＵ、またはＬＤと示すようにすることができる。言い換えれば、試料Ｓをメッシュ構造１２の中心Ｃに対して右下位置に配置した後、マーキングデバイス（例えば、レーザー彫刻機）を利用して、「ＲＤ」と示された位置識別構造１４を形成することができる。 Practically, when the position identification structure 14 is formed on the main body 11 by using the marking device, the position identification structure corresponds to the position of the sample S transported by the sample transfer member 1 with respect to the center C of the mesh structure 12. 14 styles can be determined. As shown in FIG. 6, for example, the position identification structure 14 is RU, RD, LU, so as to indicate that the sample S is in the upper right position, the lower right position, the upper left position, or the lower left position with respect to the center C, respectively. Alternatively, it can be indicated as LD. In other words, after the sample S is placed at the lower right position with respect to the center C of the mesh structure 12, a marking device (for example, a laser engraving machine) is used to form the position identification structure 14 indicated as “RD”. can do.

実用的には、識別構造１３及び位置識別構造１４は、本体部１１の固定位置に配置することができる。図７に示す試料運搬部材１を電子顕微鏡にセットすると、例えば、試料運搬部材１の運搬プラットフォーム及び電子顕微鏡装置のカメラショットを相対的に移動させて、位置識別構造１４が電子顕微鏡装置のビジョンスコープ内に配置されるようにし、その後、ユーザ又は関連する画像キャプチャ機器は、位置識別構造１４を見て、運搬プラットフォーム及びカメラショットの相対的な移動方向を決定することができる。このようにして、試料搬送部材１によって搬送された試料Ｓを比較的迅速に見つけて、試料Ｓを観察することができる。 Practically, the identification structure 13 and the position identification structure 14 can be arranged at a fixed position of the main body 11. When the sample transport member 1 shown in FIG. 7 is set in the electron microscope, for example, the transport platform of the sample transport member 1 and the camera shot of the electron microscope device are relatively moved, and the position identification structure 14 is the vision scope of the electron microscope device. The user or associated image capture device can then look at the position identification structure 14 to determine the relative movement direction of the transport platform and camera shot. In this way, the sample S transported by the sample transport member 1 can be found relatively quickly, and the sample S can be observed.

具体的な実施態様では、メッシュ構造１２が垂直および水平のインターレース構造として提示される場合、ユーザは試料Ｓを試料載置部材１上にセットし、関連機器（例えば、レーザー彫刻機など）を使用してボディ１１上に位置識別構造１４を形成するが、これは以下のようにしてもよい。まず、関連機器の画像キャプチャデバイスを使用して試料載置部材１の画像をキャプチャし、次に、関連処理デバイスによって画像を分析して、メッシュ構造１２の中心Ｃに対する試料Ｓの座標を決定する。その後、関連する処理装置によって画像が解析され、メッシュ構造１２の中心Ｃに対する試料Ｓの座標が決定され、最終的に、座標（例えば、１，８）が提示された状態で、位置識別構造１４が本体１１に形成される。位置識別構造１４が座標として提示される設計により、試料載置部材１を電子顕微鏡下に配置すると、位置識別構造１４をまず顕微鏡の視野内に位置させることができ、人または画像取得装置は、位置識別構造１４が提示する座標を見た後、電子顕微鏡を直接制御して、顕微鏡の視野の中心がその座標に直接移動するように動作させることができる。顕微鏡の視野の中心がそのまま座標に移動するので、試料が顕微鏡の視野のほぼ中心に位置することになる。 In a specific embodiment, when the mesh structure 12 is presented as a vertical and horizontal interlaced structure, the user sets the sample S on the sample mounting member 1 and uses a related device (eg, laser engraving machine, etc.). The position identification structure 14 is formed on the body 11, which may be as follows. First, the image capture device of the related device is used to capture the image of the sample mounting member 1, and then the image is analyzed by the related processing device to determine the coordinates of the sample S with respect to the center C of the mesh structure 12. .. After that, the image is analyzed by the related processing apparatus, the coordinates of the sample S with respect to the center C of the mesh structure 12 are determined, and finally, the position identification structure 14 is presented in a state where the coordinates (for example, 1, 8) are presented. Is formed on the main body 11. Due to the design in which the position identification structure 14 is presented as coordinates, when the sample mounting member 1 is placed under the electron microscope, the position identification structure 14 can be first positioned within the field of view of the microscope, and a person or an image acquisition device can perform the position identification structure 14. After seeing the coordinates presented by the position identification structure 14, the electron microscope can be directly controlled so that the center of the field of view of the microscope moves directly to the coordinates. Since the center of the field of view of the microscope moves to the coordinates as it is, the sample is located almost at the center of the field of view of the microscope.

以上のように、本実施形態で例示した試料載置部材１は、位置識別構造１４の設計により、ユーザが試料Ｓを電子顕微鏡の視野内に配置するのに要する時間を大幅に短縮することができる。 As described above, the sample mounting member 1 illustrated in the present embodiment can significantly reduce the time required for the user to place the sample S in the field of view of the electron microscope by designing the position identification structure 14. can.

図８を参照すると、本考案の試料搬送部材の実施形態の１つは、試料搬送部材１が、本体部１１およびメッシュ構造１２の少なくとも一方に接続された方向識別構造１５をも含んでいてもよい点で、先の実施形態と異なる。方向識別構造１５は、本体部１１の片面に設けられている。方向識別構造１５は、文字的な態様、数値的な態様、記号的な態様、およびパターン的な態様の少なくとも１つで示すことができる。ユーザまたは関連機器が位置識別構造１４を確認する前に、方向識別構造１５を確認するようにしてもよい。このようにして、技術者または関連機器が位置識別構造１４を確認した後、電子顕微鏡装置のビジョンスコープを正しい位置に移動することを確実にすることができる。 Referring to FIG. 8, one of the embodiments of the sample transport member of the present invention also includes a direction identification structure 15 in which the sample transport member 1 is connected to at least one of the main body 11 and the mesh structure 12. It differs from the previous embodiment in that it is good. The direction identification structure 15 is provided on one side of the main body 11. The directional identification structure 15 can be shown in at least one of a character aspect, a numerical aspect, a symbolic aspect, and a pattern aspect. The direction identification structure 15 may be confirmed before the user or the related device confirms the position identification structure 14. In this way, it is possible to ensure that the vision scope of the electron microscope device is moved to the correct position after the technician or related equipment has confirmed the position identification structure 14.

具体的には、ユーザが本体部１１に位置識別構造１４を形成する際に、方向識別構造１５がメッシュ構造１２の中心Ｃの上方に配置され、試料Ｓがメッシュ構造１２の中心Ｃに対して右下の位置に配置されている場合、ユーザは位置識別構造１４を「ＲＤ」と表示される。その後、ユーザは、試料載置部材１は電子顕微鏡に配置する場合、ビジョンスコープの追従移動方向を決定するために、方向識別構造１５がメッシュ構造１２の中心Ｃの上方に配置されているか否かを確認ことができる。言い換えれば、ユーザが、方向識別構造１５がメッシュ構造１２の中心Ｃの上に配置されていることをビジョンスコープで確認した場合、次に、ビジョンスコープを制御して、メッシュ構造１２の中心Ｃに対して右下に移動させることができる。逆の場合では、ビジョンスコープを左上に移動するように制御する。 Specifically, when the user forms the position identification structure 14 on the main body 11, the direction identification structure 15 is arranged above the center C of the mesh structure 12, and the sample S is relative to the center C of the mesh structure 12. When arranged at the lower right position, the user displays the position identification structure 14 as "RD". After that, when the sample mounting member 1 is arranged in the electron microscope, the user asks whether or not the direction identification structure 15 is arranged above the center C of the mesh structure 12 in order to determine the following movement direction of the vision scope. Can be confirmed. In other words, if the user confirms with the vision scope that the directional identification structure 15 is located above the center C of the mesh structure 12, then the vision scope is controlled to reach the center C of the mesh structure 12. On the other hand, it can be moved to the lower right. In the opposite case, the vision scope is controlled to move to the upper left.

図９と図１０を合わせて参照されたい。本実施形態は、方向識別構造１５がパターンで提示され、方向識別構造１５がメッシュ構造１２の中心に設定されている点で、先の実施形態と異なる。実際には、試料載置部材１を電子顕微鏡にセットすると、視野の中心が試料載置部材１の中心（すなわち、メッシュ構造１２の中心）とほぼ一致するので、電子顕微鏡で試料載置部材１を見るユーザは、方向識別構造１５をすぐに確認することができるようになる。 Please refer to FIG. 9 and FIG. 10 together. This embodiment differs from the previous embodiment in that the direction identification structure 15 is presented in a pattern and the direction identification structure 15 is set at the center of the mesh structure 12. Actually, when the sample mounting member 1 is set in the electron microscope, the center of the field of view almost coincides with the center of the sample mounting member 1 (that is, the center of the mesh structure 12). The user who sees the image can immediately confirm the direction identification structure 15.

図１１を参照されたい。本実施形態は、試料運搬部材１に位置識別構造１４Ａ、位置識別構造１４Ｂ、試料識別構造１６Ａ、および試料識別構造１６Ｂが含まれる点で、先の実施形態と異なる。なお、位置識別構造の数量と試料マーク構造の数量は、メッシュ構造で搬送される試料の数量に応じて決定すればよい。位置識別構造１４Ａは、メッシュ構造体１２の中心Ｃに対する、メッシュ構造体１２上の試料Ｓ１の位置を示すように構成されている。位置識別構造１４Ｂは、メッシュ構造体１２の中心Ｃに対する、メッシュ構造体１２上の試料Ｓ２の位置を示すように構成されている。 See FIG. This embodiment is different from the previous embodiment in that the sample transport member 1 includes the position identification structure 14A, the position identification structure 14B, the sample identification structure 16A, and the sample identification structure 16B. The quantity of the position identification structure and the quantity of the sample mark structure may be determined according to the quantity of the sample transported by the mesh structure. The position identification structure 14A is configured to indicate the position of the sample S1 on the mesh structure 12 with respect to the center C of the mesh structure 12. The position identification structure 14B is configured to indicate the position of the sample S2 on the mesh structure 12 with respect to the center C of the mesh structure 12.

試料識別構造１６Ａは、位置識別構造１４Ａの近傍に配置され、試料識別構造１６Ｂは、位置識別構造１４Ｂの近傍に配置され、試料識別構造１６Ａおよび試料識別構造１６Ｂは、ユーザがメッシュ構造１２上の試料Ｓ１および試料Ｓ２の関連データを識別できるように構成されている。例えば、図１１にＭＡ−００１とＭＡ−００２が示されているが、ＭＡは会社のラベルであり、００１と００２は試料番号であることができる。 The sample identification structure 16A is arranged in the vicinity of the position identification structure 14A, the sample identification structure 16B is arranged in the vicinity of the position identification structure 14B, and the sample identification structure 16A and the sample identification structure 16B are arranged by the user on the mesh structure 12. It is configured so that the related data of the sample S1 and the sample S2 can be identified. For example, although MA-001 and MA-002 are shown in FIG. 11, MA can be a company label and 001 and 002 can be sample numbers.

上記によれば，具体的には、電子顕微鏡装置を介して、「ＲＤ−ＭＡ−００１」と示された位置識別構造１４Ａおよび試料識別構造１６Ａを確認することができる場合、ＭＡの会社ラベルおよび００１の試料番号を有する試料Ｓ２が、メッシュ構造１２の右下位置に配置されていることを知ることができる。そして、電子顕微鏡装置を介して「ＬＵ−ＭＡ−００」として示された位置識別構造１４Ｂおよび試料識別構造１６Ｂを確認することができる場合、ＭＡの会社ラベルを有し、００２の試料番号を有する試料Ｓ１が、メッシュ構造１２の左上の位置に配置されていることを知ることができる。 According to the above, specifically, when the position identification structure 14A and the sample identification structure 16A indicated as "RD-MA-001" can be confirmed through the electron microscope device, the company label of MA and the sample identification structure 16A can be confirmed. It can be seen that the sample S2 having the sample number of 001 is arranged at the lower right position of the mesh structure 12. Then, if the position identification structure 14B and the sample identification structure 16B indicated as "LU-MA-00" can be confirmed via the electron microscope device, the product has the company label of MA and the sample number of 002. It can be seen that the sample S1 is arranged at the upper left position of the mesh structure 12.

以上によれば、本実施形態の試料搬送部材１は、識別構造、位置識別構造、方向識別構造、および試料識別構造の設計により、試料をメッシュ構造１２上に配置する際に、観察ミスや記録ミスが起こされにくくなる。 Based on the above, the sample transport member 1 of the present embodiment is designed with an identification structure, a position identification structure, a direction identification structure, and a sample identification structure, and when the sample is arranged on the mesh structure 12, observation errors and recordings occur. It is less likely to make mistakes.

図１２に示すように、本実施形態では、識別構造１３をパターン化して示すことができる点で、先の実施形態と異なる。特に、識別構造１３は、本体部１１上に二次元バーコードのパターン化された態様で示すことができる。当然のことながら、本体部１１上の一次元バーコードのパターン化された態様で識別構造１３を示すことができる。実用的には、一次元バーコードや二次元バーコードには、試料Ｓや試料搬送部材１に関する任意の関連データを格納することができる。例えば、バーコードには、試料の会社データ（例えば、会社コード）、試料番号、メッシュ構造体１２に対する試料の位置、試料の種類、試料運搬部材１が収納箱２に配置されている位置などを記憶することができる。 As shown in FIG. 12, the present embodiment is different from the previous embodiment in that the identification structure 13 can be shown in a pattern. In particular, the identification structure 13 can be shown on the main body 11 in a patterned manner of a two-dimensional bar code. As a matter of course, the identification structure 13 can be shown in a patterned manner of a one-dimensional barcode on the main body 11. Practically, the one-dimensional bar code or the two-dimensional bar code can store arbitrary related data regarding the sample S and the sample transport member 1. For example, the barcode includes the company data of the sample (for example, the company code), the sample number, the position of the sample with respect to the mesh structure 12, the type of the sample, the position where the sample transport member 1 is arranged in the storage box 2, and the like. Can be remembered.

図１３を参照されたい。本実施形態は、メッシュ１１２のそれぞれが六角形に形成される点で前の実施形態と違っている。また、方向識別構造１５は、メッシュ構造１２及び本体部１１を接続してもよい。 See FIG. This embodiment differs from the previous embodiment in that each of the meshes 112 is formed into a hexagon. Further, the direction identification structure 15 may connect the mesh structure 12 and the main body portion 11.

図１４を参照されたい。各前記実施形態において、本体部１１の貫通孔１１１が大部円形に形成されるに対し、本実施形態では、本体部１１の貫通孔１１１が不規則状に形成される。本体部１１の貫通孔１１１の形状は、実際のニーズに応じて調整し得る。また、本実施形態の方向識別構造１５は図パターンの形式で構成される。 See FIG. In each of the above embodiments, the through holes 111 of the main body 11 are formed in a substantially circular shape, whereas in the present embodiment, the through holes 111 of the main body 11 are formed irregularly. The shape of the through hole 111 of the main body 11 can be adjusted according to actual needs. Further, the direction identification structure 15 of the present embodiment is configured in the form of a figure pattern.

図１５を参照されたい。本実施形態は、本体部１１に４つの貫通孔１１１、４つのメッシュ構造１２及び４つの試料識別構造１６Ａ、１６Ｂ、１６Ｃ、１６Ｄが含まれる点で、先の実施形態と異なっている。各貫通孔１１１が互いに連通されておらず、各メッシュ構造１２は本体部１１と接続される。メッシュ構造１２のそれぞれは貫通孔１１１の１つに位置し、かつ、各メッシュ構造は互いに接続されていない。なお、４つのメッシュ構造１２に４つの試料Ｓ１、Ｓ２、Ｓ３、Ｓ４がそれぞれ載置される。試料識別構造のそれぞれは本体部１１に配置されると共に、試料識別構造のそれぞれは、メッシュ構造１２の中の１つに近接するように配置される。なお、本体部１１に含まれる貫通孔１１１、メッシュ構造１２及び試料識別構造の数量はいずれも１以上の正の整数Ｎ個に設定し得ることは説明しておきたい。複数のメッシュ構造１２が互いに接続されないデザインによって、複数の試料が互いに影響をかける問題を大幅に下げることができる。また、本実施形態において、試料載置部材１に４つの方向マーク構造１５を例として挙げられるが、試料載置部材１に含まれる方向マーク構造１５の数量は上記の例に制限されない。 See FIG. This embodiment differs from the previous embodiment in that the main body 11 includes four through holes 111, four mesh structures 12, and four sample identification structures 16A, 16B, 16C, and 16D. The through holes 111 are not in communication with each other, and each mesh structure 12 is connected to the main body 11. Each of the mesh structures 12 is located in one of the through holes 111, and the mesh structures are not connected to each other. The four samples S1, S2, S3, and S4 are placed on the four mesh structures 12, respectively. Each of the sample identification structures is arranged in the main body 11, and each of the sample identification structures is arranged so as to be close to one of the mesh structures 12. It should be explained that the quantities of the through holes 111, the mesh structure 12, and the sample identification structure included in the main body 11 can all be set to N positive integers of 1 or more. The design in which the plurality of mesh structures 12 are not connected to each other can greatly reduce the problem of the plurality of samples affecting each other. Further, in the present embodiment, the sample mounting member 1 has four direction mark structures 15 as an example, but the number of the direction mark structures 15 included in the sample mounting member 1 is not limited to the above example.

また、上述した試料載置部材１は独立に実施、販売または製造されることもできると共に、試料載置部材１は収納箱２と一緒に製造、販売されるのも制限されないことは強調されたい。 It should also be emphasized that the sample mounting member 1 described above can be independently implemented, sold or manufactured, and that the sample mounting member 1 can be manufactured and sold together with the storage box 2 without limitation. ..

上記を纏めて、本考案に係る試料載置部材及び試料載置キットによれば、ユーザは試料載置部材に載置された試料を観察する過程において、試料載置部材を誤った収容溝に収納してしまう確率を大幅に下げることができる。 Summarizing the above, according to the sample mounting member and the sample mounting kit according to the present invention, the user puts the sample mounting member in an erroneous storage groove in the process of observing the sample mounted on the sample mounting member. The probability of storing it can be greatly reduced.

以上に開示される内容は、好ましい本考案の可能な実施形態に過ぎず、考案の範囲を限定することを意図していない。そのため、本考案の明細書及び図面でなされた均等的な技術的変形は、全て本考案の請求の範囲に含まれるものである。 The contents disclosed above are merely possible embodiments of the present invention and are not intended to limit the scope of the invention. Therefore, all equal technical modifications made in the specification and drawings of the present invention are included in the claims of the present invention.

１００：試料載置キット
１：試料載置部材
１１：本体部
１１１：貫通孔
１１２：メッシュ
１１３：広側面
１２：メッシュ構造
１３：識別構造
１３Ａ：識別構造
１３Ｂ：識別構造
１４：位置識別構造
１４Ａ：位置識別構造
１４Ｂ：位置識別構造
１５：方向識別構造
１６：試料識別構造
１６Ａ：試料識別構造
１６Ｂ：試料識別構造
１６Ｃ：試料識別構造
１６Ｄ：試料識別構造
２：収納箱
２１：箱体
２１１：収容溝
２２：蓋
２３：マーク構造
２３Ａ：縦型マーク構造
２３Ｂ：横型マーク構造
３：マーク用紙
３１：試料位置マーク領域
３２：試料情報記入領域
Ｓ：試料
Ｓ１：試料
Ｓ２：試料
Ｑ１：試料パターン
Ｑ２：データ
Ｃ：中心 100: Sample mounting kit 1: Sample mounting member 11: Main body 111: Through hole 112: Mesh 113: Wide side surface 12: Mesh structure 13: Identification structure 13A: Identification structure 13B: Identification structure 14: Position identification structure 14A: Position identification structure 14B: Position identification structure 15: Direction identification structure 16: Sample identification structure 16A: Sample identification structure 16B: Sample identification structure 16C: Sample identification structure 16D: Sample identification structure 2: Storage box 21: Box body 211: Storage groove 22: Lid 23: Mark structure 23A: Vertical mark structure 23B: Horizontal mark structure 3: Mark paper 31: Sample position mark area 32: Sample information entry area S: Sample S1: Sample S2: Sample Q1: Sample pattern Q2: Data C: Center

Claims

ユーザが電子顕微鏡装置を介して前記試料を観察するために、少なくとも１つの試料を載置し、前記電子顕微鏡装置に載置されることができる、前記試料載置部材であって、
少なくとも１つの貫通孔が貫通されている本体部と、
前記本体部と接続されると共に、前記貫通孔を複数のメッシュに区画するように前記貫通孔内に位置して、前記試料を載置するために用いられる、少なくとも１つのメッシュ構造と、
前記本体部及び前記メッシュ構造の少なくとも一方と接続され、複数の前記試料載置部材が収納された収納箱に、前記試料載置部材の位置を識別するために用いられる少なくとも１つの識別構造と、
を含む、
ことを特徴とする試料載置部材。 A sample mounting member capable of mounting at least one sample and mounting the sample on the electron microscope device for the user to observe the sample via the electron microscope device.
The main body through which at least one through hole is penetrated,
At least one mesh structure that is connected to the main body and is located in the through hole so as to partition the through hole into a plurality of meshes and is used for placing the sample.
At least one identification structure used for identifying the position of the sample mounting member in a storage box connected to at least one of the main body and the mesh structure and containing a plurality of the sample mounting members.
including,
A sample mounting member characterized by this.

前記識別構造は前記本体部の一側に凹部として凹設されているか、或いは、前記本体部を貫通する貫通孔として構成され、前記識別構造は、テキストの態様、数値の態様、記号の態様、およびパターンの態様の少なくとも１つで表示されている、請求項１に記載の試料載置部材。 The identification structure is recessed as a recess on one side of the main body portion, or is configured as a through hole penetrating the main body portion, and the identification structure has a text aspect, a numerical aspect, a symbol aspect, and the like. And the sample mounting member according to claim 1, which is indicated by at least one of the patterns.

前記試料載置部材は２つの前記識別構造を含み、前記識別構造のそれぞれは、テキストの態様、数値の態様、記号の態様、およびパターンの態様の少なくとも１つで表示されており、前記識別構造の一方は、前記試料載置部材が前記収納箱に収納する位置に関わる縦型位置を、他方の前記識別構造は、前記試料載置部材が前記収納箱に収納する位置に関わる横型位置を認識するために用いられる、請求項１に記載の試料載置部材。 The sample mounting member includes two of the identification structures, each of which is represented in at least one of a text aspect, a numerical aspect, a symbolic aspect, and a pattern aspect, and the identification structure. One recognizes the vertical position related to the position where the sample mounting member is stored in the storage box, and the other identification structure recognizes the horizontal position related to the position where the sample mounting member is stored in the storage box. The sample mounting member according to claim 1, which is used for this purpose.

前記試料載置部材は、少なくとも１つの位置識別構造をさらに含み、前記試料載置部材は、前記本体部及び前記メッシュ構造の少なくとも一方に接続され、前記位置識別構造のそれぞれは、前記試料載置部材の中心に対する、前記試料載置部材に載置された前記試料の位置を認識するために用いられ、前記位置識別構造は、テキストの態様、数値の態様、記号の態様、およびパターンの態様の少なくとも１つで表示されている、請求項１に記載の試料載置部材。 The sample mounting member further includes at least one position identification structure, the sample mounting member is connected to at least one of the main body and the mesh structure, and each of the position identification structures is the sample mounting. Used to recognize the position of the sample mounted on the sample mounting member with respect to the center of the member, the position identification structure is of a text aspect, a numerical aspect, a symbolic aspect, and a pattern aspect. The sample mounting member according to claim 1, which is indicated by at least one.

前記試料載置部材は方向識別構造をさらに含み、前記方向識別構造は、前記本体部及び前記メッシュ構造少なくとも一方に接続され、前記方向識別構造は、前記本体部の一側、或いは、前記メッシュ構造の中心位置に配置され、前記方向識別構造は、テキストの態様、数値の態様、記号の態様、およびパターンの態様の少なくとも１つで表示されている、請求項１に記載の試料載置部材。 The sample mounting member further includes a direction identification structure, the direction identification structure is connected to at least one of the main body portion and the mesh structure, and the direction identification structure is one side of the main body portion or the mesh structure. The sample mounting member according to claim 1, wherein the direction identification structure is arranged at a central position of the above and is displayed in at least one of a text mode, a numerical mode, a symbol mode, and a pattern mode.

前記試料載置部材は、少なくとも１つの試料識別構造を含み、前記試料識別構造は、前記本体部及び前記メッシュ構造の少なくとも一方に接続され、前記試料識別構造、テキストの態様、数値の態様、記号の態様、およびパターンの態様の少なくとも１つで表示されている、請求項１に記載の試料載置部材。 The sample mounting member includes at least one sample identification structure, and the sample identification structure is connected to at least one of the main body portion and the mesh structure, and the sample identification structure, a text mode, a numerical mode, and a symbol are connected. The sample mounting member according to claim 1, which is displayed in at least one of the embodiments of the above and the pattern.

前記本体部はＮ個（Ｎは１以上の正の整数とする）の前記貫通孔を含み、前記貫通孔のそれぞれは連通されないように構成され、前記試料載置部材は、Ｎ個（Ｎは１以上の正の整数とする）の前記メッシュ構造を含み、前記メッシュ構造は前記本体部と接続され、前記メッシュ構造のそれぞれは前記貫通孔の１つに位置し、各前記メッシュ構造は互いに接続されないように構成され、前記メッシュ構造のそれぞれは、載置少なくとも１つの前記試料を載置し、前記試料載置部材はＮ個（Ｎは１以上の正の整数とする）の試料識別構造を含み、各前記試料識別構造は、前記本体部に配置され、前記試料識別構造のそれぞれは、前記メッシュ構造の１つと隣り合って配置され、前記試料識別構造は、テキストの態様、数値の態様、記号の態様、およびパターンの態様の少なくとも１つで表示されている、請求項１に記載の試料載置部材。 The main body includes N (N is a positive integer of 1 or more) of the through holes, and each of the through holes is configured not to communicate with each other, and the sample mounting member has N (N is). Includes the mesh structure (which is a positive integer greater than or equal to 1), the mesh structure is connected to the body, each of the mesh structures is located in one of the through holes, and the mesh structures are connected to each other. Each of the mesh structures mounts at least one of the samples, and the sample mounting member has N sample identification structures (N is a positive integer of 1 or more). Each of the sample identification structures is arranged in the body portion, each of the sample identification structures is arranged adjacent to one of the mesh structures, and the sample identification structure is a text aspect, a numerical aspect, and the like. The sample mounting member according to claim 1, which is indicated by at least one of the symbolic aspects and the pattern aspects.

複数の試料載置部材、及び収納箱を含む、試料載置キットであって、
前記試料載置部材は、ユーザが電子顕微鏡装置を介して前記試料を観察するために、少なくとも１つの試料を載置し、前記電子顕微鏡装置に載置されることができ、
前記試料載置部材は、
少なくとも１つの貫通孔が貫通されている本体部と、
前記本体部と接続されると共に、前記貫通孔を複数のメッシュに区画するように前記貫通孔内に位置して、前記試料を載置するために用いられる、少なくとも１つのメッシュ構造と、
前記本体部及び前記メッシュ構造の少なくとも一方と接続され、複数の前記試料載置部材が収納された収納箱に、前記試料載置部材の位置を識別するために用いられる少なくとも１つの識別構造と、
を含み、
前記収納箱は、複数の収容溝を含み、前記収容溝のそれぞれは、１つの前記試料載置部材を収容するために用いられる、ことを特徴とする試料載置キット。 A sample mounting kit that includes a plurality of sample mounting members and a storage box.
The sample mounting member can mount at least one sample and mount it on the electron microscope device so that the user can observe the sample through the electron microscope device.
The sample mounting member is
The main body through which at least one through hole is penetrated,
At least one mesh structure that is connected to the main body and is located in the through hole so as to partition the through hole into a plurality of meshes and is used for placing the sample.
At least one identification structure used for identifying the position of the sample mounting member in a storage box connected to at least one of the main body and the mesh structure and containing a plurality of the sample mounting members.
Including
A sample mounting kit, wherein the storage box includes a plurality of storage grooves, each of which is used to store one of the sample mounting members.

前記試料載置キットはさらに少なくとも１つのマーク用紙を含み、前記マーク用紙のそれぞれに、試料位置マーク領域及び試料情報記入領域が含まれ、前記試料位置マーク領域は、前記試料載置部材の前記メッシュ構造に対応したメッシュ図パターンを含む、請求項８に記載の試料載置キット。 The sample mounting kit further includes at least one mark paper, each of which includes a sample position mark area and a sample information entry area, wherein the sample position mark area is the mesh of the sample mounting member. The sample mounting kit according to claim 8, which includes a mesh diagram pattern corresponding to the structure.

前記試料載置キットはさらに蓋を含み、前記蓋は取り外し可能に前記収納箱と接続され、前記蓋は、前記収容溝を全てカバーできるように配置される、請求項８に記載の試料載置キット。 The sample loading kit according to claim 8, wherein the sample mounting kit further includes a lid, the lid is detachably connected to the storage box, and the lid is arranged so as to cover the entire storage groove. kit.

前記識別構造は前記本体部の一側に凹部として凹設されているか、或いは、前記本体部を貫通する貫通孔として構成され、前記識別構造は、テキストの態様、数値の態様、記号の態様、およびパターンの態様の少なくとも１つで表示されている、請求項８に記載の試料載置キット。 The identification structure is recessed as a recess on one side of the main body portion, or is configured as a through hole penetrating the main body portion, and the identification structure has a text aspect, a numerical aspect, a symbol aspect, and the like. And the sample mounting kit according to claim 8, which is indicated in at least one of the pattern embodiments.

前記識別構造は、テキストの態様、数値の態様、記号の態様、およびパターンの態様の少なくとも１つで表示されており、前記収納箱は互いに様式が異なる複数のマーク構造を含み、前記収納箱は複数の収容溝を含み、前記マーク構造のそれぞれは前記収容溝の１つと隣り合って配置され、前記識別構造は、前記マーク構造の中の１つと同じ様式を有する、請求項８に記載の試料載置キット。 The identification structure is displayed in at least one of a text mode, a numerical mode, a symbol mode, and a pattern mode, and the storage box includes a plurality of mark structures having different styles from each other. 8. The sample of claim 8, comprising a plurality of containment grooves, each of the mark structures arranged adjacent to one of the containment grooves, the identification structure having the same mode as one of the mark structures. Mounting kit.

前記試料載置部材は２つの前記識別構造を含み、前記識別構造のそれぞれは、テキストの態様、数値の態様、記号の態様、およびパターンの態様の少なくとも１つで表示されており、前記識別構造の一方は、前記試料載置部材が前記収納箱に収納する位置に関わる縦型位置を、他方の前記識別構造は、前記試料載置部材が前記収納箱に収納する位置に関わる横型位置を認識するために用いられ、前記収納箱は、互いに様式が異なる複数の横型マーク構造、及び互いに様式が異なる複数の縦型マーク構造を含み、前記識別構造の一方と、前記横型マーク構造の一方とは同じ様式を有し、前記識別構造の他方と、前記縦型マーク構造の他方とは同じ様式を有する、請求項８に記載の試料載置キット。 The sample mounting member includes two of the identification structures, each of which is represented in at least one of a text aspect, a numerical aspect, a symbolic aspect, and a pattern aspect, and the identification structure. One recognizes the vertical position related to the position where the sample mounting member is stored in the storage box, and the other identification structure recognizes the horizontal position related to the position where the sample mounting member is stored in the storage box. The storage box includes a plurality of horizontal mark structures having different styles from each other and a plurality of vertical mark structures having different styles from each other. The sample mounting kit according to claim 8, which has the same form, and the other of the identification structure and the other of the vertical mark structure have the same form.

前記試料載置部材は、少なくとも１つの位置識別構造をさらに含み、前記試料載置部材は、前記本体部及び前記メッシュ構造の少なくとも一方に接続され、前記位置識別構造のそれぞれは、前記試料載置部材の中心に対する、前記試料載置部材に載置された前記試料の位置を認識するために用いられ、前記位置識別構造は、テキストの態様、数値の態様、記号の態様、およびパターンの態様の少なくとも１つで表示されている、請求項８に記載の試料載置キット。 The sample mounting member further includes at least one position identification structure, the sample mounting member is connected to at least one of the main body and the mesh structure, and each of the position identification structures is the sample mounting. Used to recognize the position of the sample mounted on the sample mounting member with respect to the center of the member, the position identification structure is of a text aspect, a numerical aspect, a symbolic aspect, and a pattern aspect. The sample mounting kit according to claim 8, which is indicated by at least one.

前記試料載置部材は方向識別構造をさらに含み、前記方向識別構造は、前記本体部及び前記メッシュ構造少なくとも一方に接続され、前記方向識別構造は、前記本体部の一側、或いは、前記メッシュ構造の中心位置に配置され、前記方向識別構造は、テキストの態様、数値の態様、記号の態様、およびパターンの態様の少なくとも１つで表示されている、請求項８に記載の試料載置キット。 The sample mounting member further includes a direction identification structure, the direction identification structure is connected to at least one of the main body portion and the mesh structure, and the direction identification structure is one side of the main body portion or the mesh structure. The sample mounting kit according to claim 8, wherein the orientation identification structure is arranged at a central position of, and is displayed in at least one of a text aspect, a numerical aspect, a symbol aspect, and a pattern aspect.

前記試料載置部材は、少なくとも１つの試料識別構造を含み、前記試料識別構造は、前記本体部及び前記メッシュ構造の少なくとも一方に接続され、前記試料識別構造、テキストの態様、数値の態様、記号の態様、およびパターンの態様の少なくとも１つで表示されている、請求項８に記載の試料載置キット。 The sample mounting member includes at least one sample identification structure, and the sample identification structure is connected to at least one of the main body portion and the mesh structure, and the sample identification structure, a text mode, a numerical mode, and a symbol are connected. The sample mounting kit according to claim 8, which is displayed in at least one of the embodiments of the above and the pattern.

前記本体部はＮ個（Ｎは１以上の正の整数とする）の前記貫通孔を含み、前記貫通孔のそれぞれは連通されないように構成され、前記試料載置部材は、Ｎ個（Ｎは１以上の正の整数とする）の前記メッシュ構造を含み、前記メッシュ構造は前記本体部と接続され、前記メッシュ構造のそれぞれは前記貫通孔の１つに位置し、各前記メッシュ構造は互いに接続されないように構成され、前記メッシュ構造のそれぞれは、載置少なくとも１つの前記試料を載置し、前記試料載置部材はＮ個（Ｎは１以上の正の整数とする）の試料識別構造を含み、各前記試料識別構造は、前記本体部に配置され、前記試料識別構造のそれぞれは、前記メッシュ構造の１つと隣り合って配置され、前記試料識別構造は、テキストの態様、数値の態様、記号の態様、およびパターンの態様の少なくとも１つで表示されている、請求項８に記載の試料載置キット。
The main body includes N (N is a positive integer of 1 or more) of the through holes, and each of the through holes is configured not to communicate with each other, and the sample mounting member has N (N is). Includes the mesh structure (which is a positive integer greater than or equal to 1), the mesh structure is connected to the body, each of the mesh structures is located in one of the through holes, and the mesh structures are connected to each other. Each of the mesh structures mounts at least one of the samples, and the sample mounting member has N sample identification structures (N is a positive integer of 1 or more). Each of the sample identification structures is arranged in the body portion, each of the sample identification structures is arranged adjacent to one of the mesh structures, and the sample identification structure is a text aspect, a numerical aspect, and the like. The sample mounting kit according to claim 8, which is indicated by at least one of the symbolic aspects and the pattern aspects.