JP3233791B2 - 差動容量反転積分器及びこれを用いた静電容量変化量検出装置 - Google Patents
差動容量反転積分器及びこれを用いた静電容量変化量検出装置Info
- Publication number
- JP3233791B2 JP3233791B2 JP20033594A JP20033594A JP3233791B2 JP 3233791 B2 JP3233791 B2 JP 3233791B2 JP 20033594 A JP20033594 A JP 20033594A JP 20033594 A JP20033594 A JP 20033594A JP 3233791 B2 JP3233791 B2 JP 3233791B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- capacitance
- inverting
- differential
- detector
- analog switch
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/12—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means
- G01D5/14—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage
- G01D5/24—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage by varying capacitance
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R27/00—Arrangements for measuring resistance, reactance, impedance, or electric characteristics derived therefrom
- G01R27/02—Measuring real or complex resistance, reactance, impedance, or other two-pole characteristics derived therefrom, e.g. time constant
- G01R27/26—Measuring inductance or capacitance; Measuring quality factor, e.g. by using the resonance method; Measuring loss factor; Measuring dielectric constants ; Measuring impedance or related variables
- G01R27/2605—Measuring capacitance
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Measurement Of Resistance Or Impedance (AREA)
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
- Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Electric Means (AREA)
Description
出又は測定する検出装置と、これに用いるのに適した差
動容量反転積分器とに関する。
湿度、温度、変位、流量、加速度などの各種物理量また
は化学量を検出し或いは測定する装置として、静電容量
型センサが知られている。そして、検出信号を生成する
ためのインターフェイス回路として、多くの場合、静電
容量型センサを周波数決定素子とする発振回路が使用さ
れている。
容量をC、容量の変化量をΔCとすると、発振周波数ω
は容量Cに応じて変化し、その変化率は、次のように表
わされる。
サを含む発振回路は、これを構成する素子の数が少ない
ので、小型化及び低価格化が可能であるが、その発振周
波数(ω)は、センサの全容量(CS=CB +ΔC)に
よって決定される(CBはセンサがある基準状態にある
ときの静電容量(ベース容量)、ΔCは静電容量の変化
量)。このため、センサの全容量(CS )に比べて変化
量(ΔC)が小さい場合には、発振周波数の変化量も小
さくなる。これが容量測定のダイナミックレンジを狭
め、高精度化を困難にしている。また、寄生容量及び浮
遊容量などの誤差要因も問題となる。
回路には調和発振回路と弛張発振回路がある。
図で示す状態変数型のバンドパスフィルタ回路におい
て、出力VOUT を入力VINに接続することにより構成さ
れる。図において、21は入力信号の一次遅れ要素(−
K2 :ゲイン)、22はフィードバック信号の一次遅れ
要素(K1 :ゲイン)、23は抵抗Rとセンサ容量CS
を含む積分要素である。ここで、sはラプラス演算子、
aは定数である。
くても発振信号を出力する現象であるが、その源は回路
の各素子が有するノイズ源と電源から流入するノイズで
ある。代表的な回路素子が有するノイズ源は、熱雑音や
フリッカ雑音などである。これらの雑音は、図12の回
路(開回路)の出力VOUTを入力VINに接続した時の閉
ループ回路中に存在する。そして、ある周波数において
開回路の入力と出力が同相で、ゲインが1より大であれ
ば、その周波数信号に対応する雑音は、上記閉ループ回
路中で増幅されて成長する。ゲインが1より大きい場
合、やがて発振信号は有限の電源電圧で飽和(クリッ
プ)し、方形波信号となる。
ようにして求められる。
数を求める。
m(G(jω))=0の時である。式(2) より、周波数電圧伝
達特性は、
を求めると、
ンサ容量CS によって決定される。
(ΔC)に対する発振周波数ωの変化の割合(変化率)
は、ΔC=αCB (α:容量変化率)とすると、次のよ
うに表わされる。
定のダイナミックレンジも小さくなり、高精度化が困難
であることがわかる。
に構成される。図において、Rは抵抗、CS はセンサの
容量、31はオペアンプ(演算増幅器)、32,33は
コンパレータ、34はS−Rフリップフロップ、35,
36はそれぞれフリップフロップ34のQ出力,反転Q
出力によって動作するアナログスイッチである。各アナ
ログスイッチ35,36の2つの端子の一方はオペアン
プ31の入力側の抵抗Rに接続され、他方にはそれぞれ
所定の基準電圧VR +,VR -が加えられる。この弛張発振
回路は、次のように動作する。
フリップフロップ34の出力(Q)は、必ず1か0のど
ちらかになる。ここでは、動作説明のために初期的にQ
=1と仮定する。
オン(下側のスイッチ36はオフ)となり、基準電圧
(VR +)から抵抗(R)を通ってセンサキャパシタ(C
S )に電流が流れる。この時の電流値をI1 とすると、
する。
圧(VR -)よりわずかに低い電位になると、下側のコン
パレータ33は“1”を出力する。この時、上側のコン
パレータ32の非反転(+側)入力信号は基準電圧(V
R +)以下であるので、上側のコンパレータ32は“0”
を出力する。
のコンパレータ32からの“0”信号及び下側のコンパ
レータ33からの“1”信号を受けて、出力(Q)を反
転する(Q=0となる)。
力により、上側のスイッチ35はオフ(下側のスイッチ
36はオン)となり、基準電圧(VR -)から抵抗(R)
を通ってセンサキャパシタ(CS )に電流が流れる。こ
の時の電流値をI2 とすると、
する。
圧(VR +)よりわずかに高い電位になると、上側のコン
パレータ32は“1”を出力する。この時、下側のコン
パレータ33の反転(−側)入力信号は基準電圧
(VR -)以上であるので、下側のコンパレータ33は
“0”を出力する。
のコンパレータ33からの“0”信号及び上側のコンパ
レータ32からの“1”信号を受けて、出力(Q)を反
転する(Q=1となる)。
り、発振信号を出力する。
力は、2つの基準電圧VR +,VR -の間(範囲)で三角波
となる。
力がQ=1となっている時間(上記三角波の負の傾き部
分の時間)をT1 、S−Rフリップフロップ34の出力
がQ=0となっている時間(上記三角波の正の傾き部分
の時間)をT2 とすると、 I1・T1 =CS・(VR +−VR -) I2・T2 =CS・(VR -−VR +) となるから、これらに上記(8) 及び(9) 式を代入してT
1 及びT2 を求めると、
で表わされる。
ると、
定される。
(ΔC)に対する発振周波数の変化の割合は、ΔC=α
CB (α:容量変化率)とすると、次のように表わされ
る。
ックレンジも小さくなり、高精度化が困難なことがわか
る。
型センサを含む発振回路の問題点を解決し、センサの容
量変化が小さい場合でも、その容量変化から各種物理量
または化学量を高精度で検出又は測定できる装置を提供
することにある。
幅器の非反転入力端子(+)をグラウンドに接続すると
共に、演算増幅器の反転入力端子(−)に抵抗(R)を
接続し、演算増幅器の出力端子と反転入力端子(−)と
の間に、検出対象の物理量または化学量に応じた静電容
量を有する検出器の静電容量(C S )を接続し、この静
電容量(C S )に、演算増幅器の出力端子側に設けられ
る反転増幅器と演算増幅器の反転入力端子(−)側に設
けられる基準静電容量(C R )との直列接続を並列接続
したことを特徴とする差動容量反転積分器が提供され
る。
器として、2つの静電容量を有し、検出対象の物理量ま
たは化学量が入力されたとき一方の静電容量(CS +)が
増加し、他方の静電容量(CS -)が減少するように構成
されたセンサ(差動容量変化型センサと称する)を使用
し、その増加する静電容量(CS +)を検出器の全静電容
量(CS )とし、その減少する静電容量(CS -)を基準
静電容量(CR )とする。
器において、上記検出器の静電容量(C S )に代えて第
2の基準容量(C C )を接続し、且つ演算増幅器(1)
の反転入力端子(−)と反転増幅器(2)との間に基準
静電容量(C R )と並列に上記検出器の静電容量
(C S )を接続し、反転増幅器(2)と当該検出器の静
電容量(CS)との間に第1のアナログスイッチ
(S1)、当該検出器の静電容量(CS)とグラウンド
との間に第2のアナログスイッチ(S2)、反転増幅器
(2)と基準静電容量(CR)との間に第3のアナログ
スイッチ(S3)、基準静電容量(CR)とグラウンド
との間に第4のアナログスイッチ(S4)をそれぞれ設
け、第1のアナログスイッチ(S1)及び第4のアナロ
グスイッチ(S4)をオン、第2のアナログスイッチ
(S2)及び第3のアナログスイッチ(S3)をオフに
すると、反転増幅器(2)と検出器の静電容量(CS)
との直列接続が第2の基準容量(CC)に並列接続した
第1の状態となり、第1のアナログスイッチ(S1)及
び第4のアナログスイッチ(S4)をオフ、第2のアナ
ログスイッチ(S2)及び第3のアナログスイッチ(S
3)をオンにすると、反転増幅器(2)と基準静電容量
(CR)との直列接続が第2の基準容量(CC)に並列
接続した第2の状態となるように構成される。
電容量変化量検出装置は、差動容量反転積分器が第1の
状態のとき、検出器の静電容量(C S )と第2の基準容
量(C C )との差で発振周波数が決定される第1の発振
出力、及び差動容量反転積分器が第2の状態のとき、基
準静電容量(C R )と第2の基準容量(C C )との差で発
振周波数が決定される第2の発振出力をディジタル化
し、割算処理を行うディジタル信号処理回路を具備する
ことにより、第1の発振出力と第2の発振出力との周波
数の比を検出すること(以下、レシオメトリック変換も
しくはレシオメトリック化と称する)ができる。
の静電容量(C S )と基準静電容量(C R )との差で周波
数(ω)が決定される発振出力を生成する調和発振回路
又は弛張発振回路を備えた静電容量変化量検出装置を構
成することができる。
増幅器の出力端子側に設けられた反転増幅器と演算増幅
器の反転入力端子(−)側に設けられた基準静電容量
(C R )との直列接続を、検出器の静電容量(C S )と並
列接続した回路部を有するので、積分器は、後述の式(1
7)で表わされる電圧伝達特性を有し、その伝達関数の中
に(C S −kC R )なる定数を含む。すなわち、積分器の
出力電圧(V OUT )それ自体が、検出器の静電容量(C S
)と基準静電容量(C R )との差に応じた値となってお
り、これは2つの容量の単なる差でなく、検出対象の静
電容量(C S )とゲイン(k)がかかった基準静電容量
(C R )との差であるから、このゲイン(k)を適宜調
整することにより検出器の容量変動にも対処できる。従
って、この積分器の出力を取り出すだけで、検出対象の
物理量または化学量に応じた静電容量の小さい変化を正
確に検出することができる。しかも、積分器の構成は、
基本的なRC積分回路の出力側から入力側へのフィード
バック路に反転増幅器と基準容量との直列接続回路を設
けただけなので、従来のものよりはるかに簡潔である。
た静電容量変化量検出装置は、2つの静電容量の差で発
振周波数が決定される発振出力をディジタル化し、割算
処理を行うディジタル信号処理回路を具備することによ
り、2つの基準容量に基づく2つの発振出力の周波数の
比を容易に検出することができる。これにより、検出器
の静電容量(CS )、2つの基準容量(CR,CC)、反
転増幅器のゲイン(−k)以外の回路構成素子の温度特
性、及びそれら回路構成素子の劣化によるドリフト、更
には電源電圧依存性などの誤差要因を除去できる。
記号は、次のように定義される。 CS :センサの静電容量(CS =CB +ΔC) CB :センサがある基準状態にある時の静電容量(ベー
ス容量) CR :基準静電容量 CC :第二基準静電容量 CS +:差動容量変化型センサの容量が増加するキャパシ
タの静電容量(=CB +ΔC) CS -:差動容量変化型センサの容量が減少するキャパシ
タの静電容量(=CB −ΔC) ΔC:センサの静電容量がベース容量から変化した量。
器を示す。これは、オペアンプ1の(+)側の入力端子
を接地すると共に(−)側の入力端子に抵抗Rを接続
し、オペアンプ1の出力端子と(−)側の入力端子との
間には、フィードバック要素として、反転増幅器2(ゲ
イン=−k)に直列接続した基準容量CRとセンサ容量
CS とを並列接続して構成したものである。ここで、差
動容量反転積分器の出力電圧をV OUT とすれば、そのフ
ィードバック回路部に蓄積される電荷は、V OUT (C S
−kC R )となる。従って、この差動容量反転積分器の
電圧伝達特性は、後述のように、積分要素に(C S −k
C R )を含む式で表わされる。
は、図2に示すように、オペアンプ3の(+)側の入力
端子を接地すると共に(−)側の入力端子に抵抗R1 を
接続し、オペアンプ3の出力端子と(−)側の入力端子
との間には、フィードバック要素として第2の抵抗R2
を接続して構成される。この構成により、反転増幅器2
のゲイン(−k)は−R2 /R1 となる。
は、次のように表わされる。
は、必ずCS >kCRであることが必要である。
の静電容量(CS とCR )の片側を共通ラインに接続し
ているので、3線で信号取り出しができ、センサ(容量
CS)からの信号取り出しが容易である。
は、差動容量化による同相成分除去効果と、共通ライン
を仮想GND(グラウンド)に接続し、この仮想GND
とほぼ同電位のGNDパターンでシールドを取る効果と
により、低減することができる。
ース容量(CB )から大きく外れた場合、kCR ≒CB
となるように反転増幅器2のゲイン(−k)を変えるこ
とで調整できる。
電容量がベース容量CB にあるときの発振周波数)も、
反転増幅器2のゲイン(−k)を調整することにより、
変化させることができる。
において回路構成素子の温度特性や劣化などのドリフト
あるいは電源電圧依存性などの誤差要因を取り除くため
に構成したレシオメトリック型の差動容量反転積分器を
示す。
サ容量CS 、基準容量CR 、反転増幅器2のゲイン(−
k)以外の、回路構成素子の温度特性や劣化などのドリ
フト要因を取り除くため、センサ容量CS 及び基準容量
CR に対してそれぞれ2つのアナログスイッチS1 ,S
2 及びS3 ,S4 を、図3に示すように接続すると共
に、第2の基準容量CC を新たに設け、レシオメトリッ
ク化したものである。
S 3 ,S 4 )は、切換え信号(φ,反転φ)に応じて開
閉する。切換え信号が、φ=1及び反転φ=0のとき、
アナログスイッチS 1 及びS 4 はオン、アナログスイッチ
S 2 及びS 3 はオフとなる。このとき、C R の電荷は放電
される。そして、差動容量反転積分器のフィードバック
要素は、反転増幅器(2)とC S との直列接続にC C を並
列接続した回路となる。このとき、図3の差動容量反転
積分器は、図1の差動容量反転積分器においてC S をC C
に、C R をC S にそれぞれ置き換えたものと等価である。
一方、切換え信号が、φ=0及び反転φ=1のとき、ア
ナログスイッチS 2 及びS 3 はオン、アナログスイッチS
1 及びS 4 はオフとなる。このとき、C R の電荷は放電さ
れる。そして、差動容量反転積分器のフィードバック要
素は、反転増幅器(2)とC R との直列接続にC C を並列
接続した回路となる。このとき、図3の差動容量反転積
分器は、図1の差動容量反転積分器においてC S をC C に
置き換えたものと等価である。このレシオメトリック型
差動容量反転積分器の電圧伝達特性としては、4つのア
ナログスイッチS1 ,S2 ,S3 ,S4 の各々に対する
切換え信号(φ,反転φ)により、次の2種類の入出力
特性が得られる。
は、CC >kCS 及びCC >kCR であることが必要で
ある。
有する差動容量変化型センサを用いた場合のレシオメト
リック型差動容量反転積分器を示す。
ナログスイッチS1 ,S2 ,S3 ,S4 の各々に対する
切換え信号(φ,反転φ)により、次の2種類の入出力
特性が得られる。
は、必ずCC >kCS +及びCC >kCS -であることが必
要である。
いて説明する。
路や弛張発振回路に組み込み、アナログスイッチS1 ,
S2 ,S3 ,S4 に対する切換え信号(φ,反転φ)に
より、2種類の入出力特性に基づく発振周波数(ω1 ,
ω2 )出力をディジタル信号処理回路で測定する。その
ディジタル信号処理回路としては、後述の周波数/時間
変換回路(図5)が使用される。
ずれか一方を分子に、残りの一つを分母にとって図5の
ディジタル信号処理回路で除算を実行すると、センサ容
量(CS )、基準容量(CR )、第二基準容量(C
C )、反転増幅器のゲイン(−k)以外の回路構成素子
の温度特性や劣化などのドリフト、電源電圧依存性など
の誤差要因を取り除くことができる。
ィジタル信号処理回路を示す。この回路は、コンパレー
タ11、分周器12、クロック発振器13、NAND素
子14、カウンタ15及びマイクロプロセッサ16で構
成されている。
つの入力端子の一方(+側)は接地され、他方(−側)
に任意の周波数ω(=ω1 ,ω2 ,・・・ )の信号が入力
され、コンパレータ11によりディジタル化される。
これに入力された信号の周波数を1/2n1に分周する。
例えばn1 =8ビットの場合、2n1=256であるか
ら、10kHzの周波数は、10kHz×1/256≒
39Hzに分周される。
波数ω1 ,ω2 の入力信号に対する出力a1 の周波数
は、それぞれω1'=ω1/2n1,ω2'=ω2/2n1となる。
の信号を発生する。
1 とクロック発振器13の出力との論理積の反転をとっ
て出力する。NAND素子14の出力は、ωCLK ÷ω’
のパルス信号となり、そのパルス数がカウンタ15で計
数される。
ると、分周器12からの周波数ω1',ω2'の出力a1 に
対するカウンタ15からの出力a2 の値は、それぞれ c
ount1 =ωCLK/ω1', count2 =ωCLK/ω2'となる。こ
こで、クロック周波数ωCLKは分周器12の出力a1 の
周波数ω’よりはるかに大きい(ωCLK ≫ω’)から、
カウンタ15の出力a2 は大きな値となって表われ、精
度が向上する。
値に対して割算処理を行う。従って、マイクロプロセッ
サ16からの出力は、次のようになる。
で上記2種類の発振周波数ω1 とω2 の比が得られる。
なる。
分周器12で累積加算される(平均処理)。この累積加
算回数は、等価的に平均処理回数に等しい。
12からの出力)は、NAND素子14に入力され、ク
ロック発振器13からの高クロック周波数信号とのAN
D演算によって周波数が割算され、カウンタ15で計数
される。この演算処理は、等価的に発振周波数を累積加
算し、その一周期の時間を高速クロックの一周期の時間
で除算を施す操作である。
力)は、マイクロプロセッサ16における割算処理で、
上記のように周波数の比をとるレシオメトリック変換が
達成される。
使用した静電容量差(変化量)の検出装置は、極めて多
くの回路構成または方式に使用できる。
回路を構成する場合を説明する。
型バンドパスフィルタ回路を示す。この回路の出力V
OUT を入力VINに接続すると、調和発振回路となる。こ
れは、前述(図12)のバンドパスフィルタ回路におけ
る積分要素23を図1の差動容量反転積分器に置き換え
て新たな積分要素23’としたものである。この調和発
振回路の発振周波数ωは、
C)に対する発振周波数ωの変化の割合は、ΔC=αC
B (α:容量変化率),CB −kCR =βCB (β:初
期容量差)とすると、次式で表わされる。
整することができる。次に、実験結果について説明す
る。
積分器のCR を20pFに固定し、CS を27〜40p
Fの間で数点変化させた時の周波数の変化を示す。
積分器のCR を20pF、CS を27pFとした時の発
振周波数を1000回測定し、それをヒストグラムで表
わしたグラフである。これは正規分布に近い分布を示す
ため、周波数/時間変換後、ディジタルフィルタにより
発振周波数の振れを小さくすることができる。
スフィルタ回路において、積分要素23’を構成する差
動容量反転積分器をレシオメトリック型差動容量反転積
分器に置き換えた場合のブロック図である。この場合、
状態変化型バンドパスフィルタ回路は、アナログスイッ
チの制御信号の2つの状態(A)及び(B)に応じた積
分要素23A及び23Bを持つ。
分器を用いて、図5の回路によりディジタル信号処理を
施した場合の結果は、次のとおりである。
リフトの要因となるパラメータK1 ,Rが消去される。
すなわち、
基準容量(CC )、反転増幅器のゲイン(−k)のみで
式が構成される。言い換えれば、このセンサ容量(C
S )、基準容量(CR )、第二基準容量(CC )、反転
増幅器のゲイン(−k)以外の要因には影響されないこ
とを示している。
弛張発振回路を示す。これは、前述(図13)の弛張発
振回路において、センサ容量CS を(CS −kCR )と
したものと等価である。
(ΔC)に対する発振周波数の変化の割合は、ΔC=α
CB(α:容量変化率),CB−kCR=βCB(β:初期
容量差)とすれば、次式で表わされる。
ることができる。
器をレシオメトリック型差動容量反転積分器に置き換え
た場合のブロック図である。この図では、アナログスイ
ッチの制御信号の2つの状態(A)及び(B)に分けて
示してある。
積分器を用いて、図5の回路によりディジタル信号処理
を施した場合の結果は、次のとおりである。
基準容量(CC )、反転増幅器のゲイン(−k)のみで
式が構成される。言い換えれば、このセンサ容量(C
S )、基準容量(CR )、第二基準容量(CC )、反転
増幅器のゲイン(−k)以外の要因には影響されないこ
とを示している。
差動容量反転積分器を用いたことにより2つの静電容量
の差で発振周波数が決定される。このため、センサの容
量変化が小さい場合でも、その容量変化から各種物理量
または化学量を高精度で検出又は測定できる。
調和発振回路と弛張発振回路のいずれの場合でも、セン
サ容量(CS )、基準容量(CR)、第2の基準容量
(CC)、反転増幅器のゲイン(−k)以外の回路構成
素子の温度特性や劣化などのドリフト、あるいは電源電
圧依存性などの誤差要因を取り除くことができる。
の回路図。
転増幅器の回路図。
図。
トリック型差動容量反転積分器の回路図。
ジタル信号処理回路のブロック図。
型バンドパスフィルタ回路のブロック図。
関係を示すグラフ。
すグラフ。
用した状態変化型バンドパスフィルタ回路のブロック
図。
振回路のブロック図。
使用した弛張発振回路のブロック図。
ブロック図。
1…コンパレータ、12…分周器、13…クロック発振
器、14…NAND素子、15…カウンタ、16…マイ
クロプロセッサ、21,22…一次遅れ要素、23…積
分要素、31…オペアンプ、32,33…コンパレー
タ、34…フリップフロップ、35,36…アナログス
イッチ。
Claims (6)
- 【請求項1】演算増幅器(1)の非反転入力端子(+)
をグラウンドに接続すると共に前記演算増幅器の反転入
力端子(−)に抵抗(R)を接続し、前記演算増幅器
(1)の出力端子と反転入力端子(−)との間には、検
出対象の物理量または化学量に応じた静電容量を有する
検出器の静電容量(CS)を接続し、該静電容量(C S )
に、前記演算増幅器の出力端子側に設けられる反転増幅
器(2)と前記演算増幅器の反転入力端子(−)側に設
けられる基準静電容量(C R )とを直列接続したものを
並列接続したことを特徴とする差動容量反転積分器。 - 【請求項2】請求項1の差動容量反転積分器において、
前記検出器は、2つの静電容量を有し、前記検出対象の
物理量または化学量が入力されたとき一方の静電容量
(CS +)が増加し、他方の静電容量(CS -)が減少する
ように構成された差動容量変化型センサであり、その増
加する静電容量(CS +)を前記検出器の静電容量
(CS)とし、減少する静電容量(CS -)を前記基準静
電容量(CR)としたことを特徴とする差動容量反転積
分器。 - 【請求項3】請求項1又は2の差動容量反転積分器にお
いて、前記検出器の静電容量(C S )に代えて第2の基
準容量(C C )を接続し、且つ、前記演算増幅器(1)
の反転入力端子(−)と前記反転増幅器(2)との間に
前記基準静電容量(C R )と並列に前記検出器の静電容
量(C S )を接続し、前記反転増幅器(2)と当該検出
器の静電容量(CS)との間に第1のアナログスイッチ
(S1)、当該検出器の静電容量(CS)とグラウンド
との間に第2のアナログスイッチ(S2)、前記反転増
幅器(2)と前記基準静電容量(CR)との間に第3の
アナログスイッチ(S3)、前記基準静電容量(CR)
とグラウンドとの間に第4のアナログスイッチ(S4)
をそれぞれ設け、 前記第1のアナログスイッチ(S1)及び前記第4のア
ナログスイッチ(S4)をオン、前記第2のアナログス
イッチ(S2)及び前記第3のアナログスイッチ
(S3)をオフにすると、前記反転増幅器(2)と前記
検出器の静電容量(CS)との直列接続が前記第2の基
準容量(CC)と並列接続した第1の状態となり、 前記第1のアナログスイッチ(S1)及び前記第4のア
ナログスイッチ(S4)をオフ、前記第2のアナログス
イッチ(S2)及び前記第3のアナログスイッチ
(S3)をオンにすると、前記反転増幅器(2)と前記
基準静電容量(CR)との直列接続が前記第2の基準容
量(CC)と並列接続した第2の状態となるように構成
したことを特徴とする差動容量反転積分器。 - 【請求項4】請求項3の差動容量反転積分器と、 該差動容量積分器が前記第1の状態のとき、前記検出器
の静電容量(C S )と前記第2の基準容量(C C )との差
で周波数(ω 1 )が決定される第1の発振出力、及び該
差動容量積分器が前記第2の状態のとき、前記基準静電
容量(C R )と前記第2の基準容量(C C )との差で周波
数(ω 2 )が決定される第2の発振出力をディジタル化
し、割算処理を行うことにより、前記第1の発振出力と
前記第2の発振出力との周波数の比を得るディジタル信
号処理回路とを備えた ことを特徴とする静電容量変化量
検出装置。 - 【請求項5】請求項1の差動容量反転積分器を積分要素
とし、前記検出器の静電容量(C S )と前記基準静電容
量(C R )との差で周波数(ω)が決定される発振出力
を生成する調和発振回路を備えたことを特徴とする静電
容量変化量検出装置。 - 【請求項6】請求項1の差動容量反転積分器を含み、前
記検出器の静電容量(C S )と前記基準静電容量(C R )
との差で周波数(ω)が決定される発振出力を生成する
弛張発振回路を備えたことを特徴とする静電容量変化量
検出装置。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP20033594A JP3233791B2 (ja) | 1994-08-25 | 1994-08-25 | 差動容量反転積分器及びこれを用いた静電容量変化量検出装置 |
US08/518,176 US5726579A (en) | 1994-08-25 | 1995-08-23 | Differential capacitance detector |
DE69508003T DE69508003T2 (de) | 1994-08-25 | 1995-08-24 | Differentialkapazitivgeber |
EP95113272A EP0698780B1 (en) | 1994-08-25 | 1995-08-24 | Differential capacitance detector |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP20033594A JP3233791B2 (ja) | 1994-08-25 | 1994-08-25 | 差動容量反転積分器及びこれを用いた静電容量変化量検出装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0862266A JPH0862266A (ja) | 1996-03-08 |
JP3233791B2 true JP3233791B2 (ja) | 2001-11-26 |
Family
ID=16422587
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP20033594A Expired - Lifetime JP3233791B2 (ja) | 1994-08-25 | 1994-08-25 | 差動容量反転積分器及びこれを用いた静電容量変化量検出装置 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US5726579A (ja) |
EP (1) | EP0698780B1 (ja) |
JP (1) | JP3233791B2 (ja) |
DE (1) | DE69508003T2 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPWO2013073161A1 (ja) * | 2011-11-15 | 2015-04-02 | 富士電機株式会社 | 静電容量検出回路 |
JPWO2015147058A1 (ja) * | 2014-03-27 | 2017-04-13 | シチズンファインデバイス株式会社 | 圧力検出装置 |
Families Citing this family (17)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6198290B1 (en) * | 1997-07-18 | 2001-03-06 | Mark Krinker | Method to detect defective capacitors in circuit and meters for that |
DE19823544C2 (de) * | 1998-05-27 | 2003-06-05 | Univ Ilmenau Tech | Schaltungsanordnung zur Messung kleiner Änderungen von elektrischen Größen |
JP3339563B2 (ja) | 1998-06-09 | 2002-10-28 | 株式会社山武 | 静電容量式センサ |
JP4437699B2 (ja) * | 2004-05-14 | 2010-03-24 | 富士通マイクロエレクトロニクス株式会社 | センサ |
US7498822B2 (en) * | 2004-08-16 | 2009-03-03 | Ying Lau Lee | Linear capacitance measurement and touchless switch |
US7323886B2 (en) | 2004-08-16 | 2008-01-29 | Ying Lau Lee | Linear capacitance measurement and touchless switch |
JP4775850B2 (ja) * | 2006-09-07 | 2011-09-21 | ルネサスエレクトロニクス株式会社 | 液晶表示装置及び駆動回路 |
US8138768B2 (en) * | 2007-01-30 | 2012-03-20 | Nxp B.V. | Sensing circuit for devices with protective coating |
JP4897635B2 (ja) * | 2007-10-03 | 2012-03-14 | 日本特殊陶業株式会社 | 液体状態検知センサ |
DE102007047716A1 (de) * | 2007-10-05 | 2009-04-09 | Robert Bosch Gmbh | Sensoreinrichtung zur kapazitiven Abstandsermittlung |
US8253426B2 (en) * | 2007-10-18 | 2012-08-28 | Pioneer Corporation | Capacitance detector |
DE102009021719A1 (de) * | 2009-05-18 | 2010-11-25 | Osram Gesellschaft mit beschränkter Haftung | Sensorschaltung |
JP5083287B2 (ja) * | 2009-09-11 | 2012-11-28 | セイコーエプソン株式会社 | 検出装置、物理量測定装置及び電子機器 |
US9739816B2 (en) * | 2013-11-27 | 2017-08-22 | Analog Devices, Inc. | Capacitive sensor with differential shield |
US9746442B2 (en) | 2014-03-30 | 2017-08-29 | International Business Machines Corporation | Switched-capacitor biosensor device |
WO2016208678A1 (ja) * | 2015-06-24 | 2016-12-29 | バンドー化学株式会社 | 静電容量検出装置、検出装置、及びセンサシステム |
US10317443B2 (en) * | 2017-05-24 | 2019-06-11 | Elmos Semiconductor Ag | Integrated capacitance measurement |
Family Cites Families (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3753373A (en) * | 1965-10-22 | 1973-08-21 | Bissett Berman Corp | Transducer system |
US3757210A (en) * | 1972-03-09 | 1973-09-04 | Betz Laboratories | Us system apparatus and method for testing the amount of deposition in an aqueo |
FR2254779B1 (ja) * | 1973-12-18 | 1980-02-08 | Roulements Soc Nouvelle | |
US4167697A (en) * | 1978-02-10 | 1979-09-11 | Sundstrand Data Control, Inc. | Capacitive pick-off circuit |
US4431962A (en) * | 1982-03-11 | 1984-02-14 | Honeywell, Inc. | Capacitor monitoring by single resistor adjustment |
US4716361A (en) * | 1984-11-05 | 1987-12-29 | John Fluke Mfg. Co., Inc. | Capacitance measuring method and apparatus |
US5073757A (en) * | 1988-09-23 | 1991-12-17 | John Fluke Mfg. Co., Inc. | Apparatus for and method of measuring capacitance of a capacitive element |
US4987782A (en) * | 1989-10-03 | 1991-01-29 | Allied-Signal Inc. | Capacitive pressure transducer system |
JP2536226Y2 (ja) * | 1991-12-13 | 1997-05-21 | ティーディーケイ株式会社 | 湿度センサ |
DE4222930A1 (de) * | 1992-07-11 | 1994-01-13 | Vdo Schindling | Schaltungsanordnung zur Messung von Kapazitäten |
US5553479A (en) * | 1993-03-24 | 1996-09-10 | Flowline Inc. | Threshold level calibration method and apparatus |
-
1994
- 1994-08-25 JP JP20033594A patent/JP3233791B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
1995
- 1995-08-23 US US08/518,176 patent/US5726579A/en not_active Expired - Lifetime
- 1995-08-24 EP EP95113272A patent/EP0698780B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1995-08-24 DE DE69508003T patent/DE69508003T2/de not_active Expired - Lifetime
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPWO2013073161A1 (ja) * | 2011-11-15 | 2015-04-02 | 富士電機株式会社 | 静電容量検出回路 |
JPWO2015147058A1 (ja) * | 2014-03-27 | 2017-04-13 | シチズンファインデバイス株式会社 | 圧力検出装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE69508003D1 (de) | 1999-04-08 |
EP0698780B1 (en) | 1999-03-03 |
JPH0862266A (ja) | 1996-03-08 |
US5726579A (en) | 1998-03-10 |
DE69508003T2 (de) | 1999-08-19 |
EP0698780A1 (en) | 1996-02-28 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP3233791B2 (ja) | 差動容量反転積分器及びこれを用いた静電容量変化量検出装置 | |
US4243933A (en) | Capacitance measurement apparatus | |
CN111693784A (zh) | 一种微弱电容变化测量电路 | |
US4775830A (en) | Method of and arrangement for measuring low capacitances | |
JPH08278336A (ja) | 静電センサ装置 | |
EP0494926B1 (en) | Capacitive pressure transducer system | |
RU2593818C1 (ru) | Способ и устройство измерения электрической емкости | |
US8412477B2 (en) | Method and arrangement for digital measuring a capacitive sensor | |
JP2998989B2 (ja) | 電圧―デジタル変換器 | |
JPS627961B2 (ja) | ||
JP2913395B2 (ja) | 静電容量型センサ | |
GB2087084A (en) | Measuring capacitance of a circuit element | |
CN212646814U (zh) | 一种微弱电容变化测量电路 | |
Malik et al. | A simple analog interface for capacitive sensor with offset and parasitic capacitance | |
SE424776B (sv) | Elektronisk kapacitansmetanordning | |
JPH0815346A (ja) | 容量差検出回路 | |
George et al. | Switched Capacitor Signal Conditioning for Push-Pull Type Capacitive Sensors | |
SU1041967A1 (ru) | Устройство дл регистрации параметров МДП-структур | |
RU2168729C1 (ru) | Емкостной преобразователь | |
JPH076806B2 (ja) | 容量差−周波数変換器 | |
Shahrivar et al. | Current-Mode Interface Circuit for Differential Capacitive Sensor | |
SU1767451A1 (ru) | Измерительный преобразователь с емкостным датчиком | |
Tiwari et al. | Improved Dual Measurement System based on SDFT-FLL with High Accuracy | |
SU883797A1 (ru) | Измеритель резонансной частоты и добротности контура | |
RU2247398C1 (ru) | Измеритель параметров двухполюсников |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080921 Year of fee payment: 7 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080921 Year of fee payment: 7 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090921 Year of fee payment: 8 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090921 Year of fee payment: 8 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100921 Year of fee payment: 9 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100921 Year of fee payment: 9 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110921 Year of fee payment: 10 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120921 Year of fee payment: 11 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120921 Year of fee payment: 11 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130921 Year of fee payment: 12 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130921 Year of fee payment: 12 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140921 Year of fee payment: 13 |
|
EXPY | Cancellation because of completion of term |