JP3225205U - 熱処理装置 - Google Patents
熱処理装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP3225205U JP3225205U JP2019004636U JP2019004636U JP3225205U JP 3225205 U JP3225205 U JP 3225205U JP 2019004636 U JP2019004636 U JP 2019004636U JP 2019004636 U JP2019004636 U JP 2019004636U JP 3225205 U JP3225205 U JP 3225205U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- heater
- power supply
- heat treatment
- internal space
- insulation resistance
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Ceased
Links
Images
Landscapes
- Furnace Details (AREA)
Abstract
【課題】オペレーターに清掃のタイミングを知らせることができる熱処理装置を提供する。
【解決手段】熱処理装置10は、圧力容器12と、圧力容器の内方に配置された断熱体と、断熱体の内部空間に配置されたヒーター22と、ヒーターに所定電圧を印加する直流電源62と、直流電源がヒーターに所定電圧を印加したときに、ヒーターからアースに流れる電流を測定する電流計64と、電流計で測定された電流と直流電源で出力された所定電圧からヒーターとアースとの間の絶縁抵抗を求め、絶縁抵抗から断熱体の内部空間の清掃を判定する、または測定された電流値から断熱体の内部空間の清掃を判定する制御部28とを備える。
【選択図】図1
【解決手段】熱処理装置10は、圧力容器12と、圧力容器の内方に配置された断熱体と、断熱体の内部空間に配置されたヒーター22と、ヒーターに所定電圧を印加する直流電源62と、直流電源がヒーターに所定電圧を印加したときに、ヒーターからアースに流れる電流を測定する電流計64と、電流計で測定された電流と直流電源で出力された所定電圧からヒーターとアースとの間の絶縁抵抗を求め、絶縁抵抗から断熱体の内部空間の清掃を判定する、または測定された電流値から断熱体の内部空間の清掃を判定する制御部28とを備える。
【選択図】図1
Description
本考案は、熱処理装置に関する。
従来、超硬金属または磁性材料などからなる被処理物を真空または加圧環境下で熱処理する熱処理装置が開示されている。たとえば特許文献1の熱処理装置は円筒状の圧力容器、その圧力容器の内面に備えられた断熱体、断熱体で形成された内部空間に配置されたヒーターを備える。被処理物が断熱体の内部空間に収納され、所定の温度および圧力環境で熱処理される。
熱処理によって被処理物から紛体が生じる場合がある。ヒーターがカーボン製であれば、そのヒーターの消耗によって紛体が生じる場合がある。それらの粉体が断熱体およびヒーターなどに付着することによって、ヒーターと断熱体と間の絶縁抵抗が低下する。ヒーターがアースに短絡され、ヒーターに電力を供給するための電力供給回路が故障するおそれがある。
そのため、熱処理装置の使用状況に応じて断熱体の内部空間を清掃し、ヒーターとアースとの間の絶縁抵抗をテスターで測定する。絶縁抵抗が所定値よりも高ければ熱処理装置が使用できる。被処理物および熱処理方法によって紛体の生じる量が異なり、清掃の頻度が異なる。熱処理するたびに清掃すればよいが、オペレーターの負担が増え、生産性が低下する。必要最低限の頻度で断熱体の内部空間を清掃することが好ましい。
そこで本考案の目的は、オペレーターに清掃のタイミングを知らせることができる熱処理装置を提供することにある。
以上の課題を解決すべく、本考案に係る熱処理装置は、以下に述べるような構成を有する。
本考案の熱処理装置は、圧力容器と、前記圧力容器の内方に配置された断熱体と、前記断熱体の内部空間に配置されたヒーターと、前記ヒーターに所定電圧を印加する直流電源と、前記直流電源がヒーターに所定電圧を印加したときに、ヒーターからアースに流れる電流を測定する電流計と、前記電流計で測定された電流と直流電源で出力された所定電圧からヒーターとアースとの間の絶縁抵抗を求め、該絶縁抵抗から断熱体の内部空間の清掃を判定する、または測定された電流値から断熱体の内部空間の清掃を判定する制御部とを備える。
本考案によれば、絶縁抵抗が低くなっていれば内部空間を清掃する必要があり、清掃のタイミングが分かる。毎回の熱処理の前に絶縁抵抗を求めるため、最低限の頻度で内部空間を清掃することになり、オペレーターの負担が軽減される。自動的にヒーターとアースの間の絶縁抵抗を求めることができるため、オペレーターがテスターで測定する必要が無い。オペレーターの作業が軽減される。
本考案の熱処理装置について図面を参照して説明する。複数の実施形態を説明するが、異なる実施形態であっても同じ手段には同一の符号を付して説明を省略する場合がある。
[実施形態1]
図1、図2に示す本願の熱処理装置10は、容器状の圧力容器12、その圧力容器12の内部に配置された断熱体14、その断熱体14の内部空間16にガスを供給するためのガス供給装置18、断熱体14の内部空間16からガスを排気するガス排気装置20、断熱体14の内部空間16に配置されたヒーター22、そのヒーター22を加熱するための電力供給回路24、ヒーター22のアースに対する絶縁抵抗を測定する測定回路26、および熱処理装置10を制御する制御部28を備える。
図1、図2に示す本願の熱処理装置10は、容器状の圧力容器12、その圧力容器12の内部に配置された断熱体14、その断熱体14の内部空間16にガスを供給するためのガス供給装置18、断熱体14の内部空間16からガスを排気するガス排気装置20、断熱体14の内部空間16に配置されたヒーター22、そのヒーター22を加熱するための電力供給回路24、ヒーター22のアースに対する絶縁抵抗を測定する測定回路26、および熱処理装置10を制御する制御部28を備える。
熱処理装置10は、焼結、半焼結、焼成、脱脂、ろう付け、メタライズ、焼き入れ、容体化処理、焼戻し、焼きなましまたは時効熱処理などをおこなうための装置である。
[圧力容器]
圧力容器12は円筒状になっていて、その両側が蓋によって閉じられている。圧力容器12は内壁30と外壁32を備える(図2)。内壁30と外壁32の間の空間34は冷却水が流れるようになっている。圧力容器12は減圧されたり加圧されたりする。圧力容器12の耐圧はたとえば約10MPa以上であり、各種設計によって変更される。
圧力容器12は円筒状になっていて、その両側が蓋によって閉じられている。圧力容器12は内壁30と外壁32を備える(図2)。内壁30と外壁32の間の空間34は冷却水が流れるようになっている。圧力容器12は減圧されたり加圧されたりする。圧力容器12の耐圧はたとえば約10MPa以上であり、各種設計によって変更される。
[断熱体]
断熱体14は圧力容器12の内方に配置されている。たとえば圧力容器12の内壁30の内面に断熱体14が取り付けられている。断熱体14はグラファイトフェルトまたはグラファイトフォイルなどの耐熱性材料で構成される。断熱体14によって形成された内部空間16はヒーター22によって加熱された空気を閉じ込める。断熱体14の内部空間16に被処理物36が収容されて熱処理される。内部空間16に被処理物36を置くための棚が備えられてもよい。断熱体14の内部空間16にタイトボックス(インナーボックス)を配置し、その中に被処理物36を収容してもよい。
断熱体14は圧力容器12の内方に配置されている。たとえば圧力容器12の内壁30の内面に断熱体14が取り付けられている。断熱体14はグラファイトフェルトまたはグラファイトフォイルなどの耐熱性材料で構成される。断熱体14によって形成された内部空間16はヒーター22によって加熱された空気を閉じ込める。断熱体14の内部空間16に被処理物36が収容されて熱処理される。内部空間16に被処理物36を置くための棚が備えられてもよい。断熱体14の内部空間16にタイトボックス(インナーボックス)を配置し、その中に被処理物36を収容してもよい。
[被処理物]
被処理物36の材料は、超硬金属、鉄系金属、非鉄金属、磁性材料、セラミックス、グラファイト、ハイス鋼、ダイス鋼または低合金鋼などであり、金属は合金を含む。被処理物36は、粉体、粒体または所定形状を有した固体である。
被処理物36の材料は、超硬金属、鉄系金属、非鉄金属、磁性材料、セラミックス、グラファイト、ハイス鋼、ダイス鋼または低合金鋼などであり、金属は合金を含む。被処理物36は、粉体、粒体または所定形状を有した固体である。
[ガス供給装置]
ガス供給装置18はガス源38、そのガス源38と断熱体14の内部空間16を接続するパイプ40、そのパイプ40の途中に備えられたバルブ42を備える。ガス源38から内部空間16に供給されるガスは窒素、アルゴン、水素、一酸化炭素、ヘリウム、メタンなどである。複数種のガスを内部空間16に供給してもよく、その場合はガス源38、パイプ40およびバルブ42はガスの種類ごとに備えられる。バルブ42の開閉は制御部28から送信される信号によって制御される。
ガス供給装置18はガス源38、そのガス源38と断熱体14の内部空間16を接続するパイプ40、そのパイプ40の途中に備えられたバルブ42を備える。ガス源38から内部空間16に供給されるガスは窒素、アルゴン、水素、一酸化炭素、ヘリウム、メタンなどである。複数種のガスを内部空間16に供給してもよく、その場合はガス源38、パイプ40およびバルブ42はガスの種類ごとに備えられる。バルブ42の開閉は制御部28から送信される信号によって制御される。
[ガス排気装置]
ガス排気装置20はポンプ44、そのポンプ44と断熱体14の内部空間16を接続するパイプ46、そのパイプ46の途中に設けられたバルブ48を備える。バルブ48を開けてポンプ44を駆動させることで内部空間16のガスを外部に排気することができる。内部空間16を減圧することができる。バルブ48の開閉は制御部28から送信される信号によって制御される。必要に応じて被処理物36から生じる紛体を集塵するフィルターがパイプ46の途中に備えられる。
ガス排気装置20はポンプ44、そのポンプ44と断熱体14の内部空間16を接続するパイプ46、そのパイプ46の途中に設けられたバルブ48を備える。バルブ48を開けてポンプ44を駆動させることで内部空間16のガスを外部に排気することができる。内部空間16を減圧することができる。バルブ48の開閉は制御部28から送信される信号によって制御される。必要に応じて被処理物36から生じる紛体を集塵するフィルターがパイプ46の途中に備えられる。
[ヒーター]
断熱体14によって形成された内部空間16にヒーター22が配置されている。ヒーター22はグラファイト製のロッドヒーターを使用できる。図2に示すように、ヒーター22の電極50が圧力容器12と断熱体14を突き抜け、断熱体14の内部空間16で電極50とヒーター22が接続されている。電極50が電力供給回路24に接続され、電力供給回路24からヒーター22に電力供給される。
断熱体14によって形成された内部空間16にヒーター22が配置されている。ヒーター22はグラファイト製のロッドヒーターを使用できる。図2に示すように、ヒーター22の電極50が圧力容器12と断熱体14を突き抜け、断熱体14の内部空間16で電極50とヒーター22が接続されている。電極50が電力供給回路24に接続され、電力供給回路24からヒーター22に電力供給される。
断熱体14の内部空間16に熱伝対で構成される温度計52を配置する。温度計52によって断熱体14の内部空間16の温度を測定する。温度計52が測定した温度は制御部28に入力される。温度計52の数は限定されず、複数の温度計52を用いて断熱体14の内部空間16の温度を測定してもよい。
[電力供給回路]
電力供給回路24は三相交流の電力をヒーター22に供給する回路である。三相交流の3つの端子はR、S、Tである。電力供給回路24は各端子R、S、Tにつながる配線54、その配線54に流れる電流を測定する電流計56、電力供給する配線54を選択するサイリスタ58、電力変換するトランス60を備える。サイリスタ58がオンになるとトランス60を介してヒーター22に電力供給される。制御部28には電流計56で測定された電流値および温度計52で測定された温度が入力される。断熱体14の内部空間16の温度が所定温度になるように制御部28がサイリスタ58のオン・オフを制御する。
電力供給回路24は三相交流の電力をヒーター22に供給する回路である。三相交流の3つの端子はR、S、Tである。電力供給回路24は各端子R、S、Tにつながる配線54、その配線54に流れる電流を測定する電流計56、電力供給する配線54を選択するサイリスタ58、電力変換するトランス60を備える。サイリスタ58がオンになるとトランス60を介してヒーター22に電力供給される。制御部28には電流計56で測定された電流値および温度計52で測定された温度が入力される。断熱体14の内部空間16の温度が所定温度になるように制御部28がサイリスタ58のオン・オフを制御する。
[測定回路]
測定回路26はヒーター22に電圧を印加する直流電源62、ヒーター22からアースに流れた電流を測定する電流計64、直流電源62とヒーター22とを接続または切断するスイッチ66を備える。直流電源62はスイッチ66を介して配線54に接続されている。直流電源62とスイッチ66の間に電流計64が接続されている。スイッチ66はFET(Field Effect Transistor)などである。スイッチ66は制御部28の信号によってオンとオフが切り替えられる。電力供給回路24からヒーター22に電力を供給する前にスイッチ66をオンにし、直流電源62からヒーター22に電圧を印加する。その際に電流計64で測定された電流値が制御部28に入力される。
測定回路26はヒーター22に電圧を印加する直流電源62、ヒーター22からアースに流れた電流を測定する電流計64、直流電源62とヒーター22とを接続または切断するスイッチ66を備える。直流電源62はスイッチ66を介して配線54に接続されている。直流電源62とスイッチ66の間に電流計64が接続されている。スイッチ66はFET(Field Effect Transistor)などである。スイッチ66は制御部28の信号によってオンとオフが切り替えられる。電力供給回路24からヒーター22に電力を供給する前にスイッチ66をオンにし、直流電源62からヒーター22に電圧を印加する。その際に電流計64で測定された電流値が制御部28に入力される。
直流電源62の出力電圧を一定値にし、その電圧値を制御部28の記憶装置に記憶しておく。制御部28はヒーター22の絶縁抵抗をオームの法則によって求める。なお、厳密にはヒーター22とアースの間の絶縁抵抗以外にもヒーター22の抵抗などもあるが、絶縁抵抗が非常に大きいため、他の抵抗を無視してよい。本願では圧力容器12がアース電位になっている。ヒーター22の絶縁抵抗が高ければヒーター22からアース(圧力容器12)に電流が流れず、絶縁抵抗が低くなればヒーター22からアースに電流が流れる。
[制御部]
制御部28はPLC(Programmable Logic Controller)またはCPU(Central Processing Unit)などの演算回路である。制御部28は必要に応じてメモリなどの記憶装置を備える。制御部28は上述したようにバルブ42、48、サイリスタ58、スイッチ66の制御をおこない、さらに絶縁抵抗を求めている。さらに制御部28は求めた絶縁抵抗に応じて内部空間16の清掃の必要性を判定する。絶縁抵抗が所定値よりも高ければ内部空間16の清掃は必要なく、制御部28は電力供給回路24を起動させる。絶縁抵抗が所定値を下回っていれば内部空間16の清掃が必要であり、制御部28は電力供給回路24を起動させない。被処理物36などから生じる紛体などが内部空間16のヒーター22などに付着するとヒーター22の絶縁抵抗が低下し、絶縁抵抗が所定値よりも低ければヒーター22からアースに電流が流れ、電力供給回路24を破損するおそれがあるからである。絶縁抵抗の所定値は数百Ω〜数MΩ以上であることが好ましい。
制御部28はPLC(Programmable Logic Controller)またはCPU(Central Processing Unit)などの演算回路である。制御部28は必要に応じてメモリなどの記憶装置を備える。制御部28は上述したようにバルブ42、48、サイリスタ58、スイッチ66の制御をおこない、さらに絶縁抵抗を求めている。さらに制御部28は求めた絶縁抵抗に応じて内部空間16の清掃の必要性を判定する。絶縁抵抗が所定値よりも高ければ内部空間16の清掃は必要なく、制御部28は電力供給回路24を起動させる。絶縁抵抗が所定値を下回っていれば内部空間16の清掃が必要であり、制御部28は電力供給回路24を起動させない。被処理物36などから生じる紛体などが内部空間16のヒーター22などに付着するとヒーター22の絶縁抵抗が低下し、絶縁抵抗が所定値よりも低ければヒーター22からアースに電流が流れ、電力供給回路24を破損するおそれがあるからである。絶縁抵抗の所定値は数百Ω〜数MΩ以上であることが好ましい。
熱処理装置10の状態を表示する表示装置68を備えてもよい。たとえば、表示装置68は、上記電流計64で測定された電流値および計算された絶縁抵抗を表示する。表示装置68にタッチパネルを組み込み、タッチパネルで熱処理装置10を操作できるようにしてもよい。絶縁抵抗が所定値よりも低い場合に警報を発する警報装置を備えてもよい。警報音によって内部空間16を清掃の必要性をオペレーターに知らせる。表示装置68に清掃の必要性を表示してもよい。
[その他]
本願の熱処理装置10は断熱体14の内部空間16を冷却するためのファンおよびクーラーを備えてもよい。クーラーとして水冷式の熱交換器が挙げられる。ファンを回転させてガスを循環させ、クーラーによってガスを冷却する。さらに熱処理装置10は断熱体14の内部空間16のガス圧を測定する圧力計を備えてもよい。表示装置68に温度およびガス圧を表示させてもよい。
本願の熱処理装置10は断熱体14の内部空間16を冷却するためのファンおよびクーラーを備えてもよい。クーラーとして水冷式の熱交換器が挙げられる。ファンを回転させてガスを循環させ、クーラーによってガスを冷却する。さらに熱処理装置10は断熱体14の内部空間16のガス圧を測定する圧力計を備えてもよい。表示装置68に温度およびガス圧を表示させてもよい。
[熱処理]
次に本願の熱処理装置10を使用した処理について説明する。熱処理装置10による処理は下記(1)〜(3)によっておこなわれる。
次に本願の熱処理装置10を使用した処理について説明する。熱処理装置10による処理は下記(1)〜(3)によっておこなわれる。
(1)絶縁抵抗測定
制御部28からの信号によってスイッチ66を閉じ、直流電源62からヒーター22に電圧を印加し、ヒーター22からアースに流れた電流を電流計64で測定する。直流電源62から出力される電圧は一定である。制御部28は既知になっている電圧と測定された電流からヒーター22の絶縁抵抗を求める。絶縁抵抗を求めた後、制御部28からの信号を停止してスイッチ66を開ける。測定された電流値と求められた絶縁抵抗を表示装置68で表示する。
制御部28からの信号によってスイッチ66を閉じ、直流電源62からヒーター22に電圧を印加し、ヒーター22からアースに流れた電流を電流計64で測定する。直流電源62から出力される電圧は一定である。制御部28は既知になっている電圧と測定された電流からヒーター22の絶縁抵抗を求める。絶縁抵抗を求めた後、制御部28からの信号を停止してスイッチ66を開ける。測定された電流値と求められた絶縁抵抗を表示装置68で表示する。
絶縁抵抗が所定値よりも高ければ電力供給回路24を起動させて被処理物36を熱処理する。熱処理を開始する前に、断熱体14の内部空間16に被処理物36を収容し、圧力容器12の蓋をする。
絶縁抵抗が所定値を下回っていれば表示装置68にその旨を表示し、断熱体14の内部空間16にあるヒーター22を清掃する必要があることを表示する。そのため、絶縁抵抗が所定値を下回っていれば、バルブ42、48とサイリスタ58が制御されることは無く、熱処理装置10は停止したままである。
(2)熱処理工程
制御部28がサイリスタ58のオン・オフを制御し、ヒーター22に電力供給する。ヒーター22に電流が流れて温度上昇し、内部空間16の温度が上昇し、被処理物36が加熱される。必要に応じてバルブ42、48の開閉を制御し、ガス源38から内部空間16に所定のガスを供給したり、ポンプ44で内部空間16からガスを排気したり、内部空間16を所定ガス雰囲気およびガス圧にする。
制御部28がサイリスタ58のオン・オフを制御し、ヒーター22に電力供給する。ヒーター22に電流が流れて温度上昇し、内部空間16の温度が上昇し、被処理物36が加熱される。必要に応じてバルブ42、48の開閉を制御し、ガス源38から内部空間16に所定のガスを供給したり、ポンプ44で内部空間16からガスを排気したり、内部空間16を所定ガス雰囲気およびガス圧にする。
(3)冷却工程
被処理物36の熱処理が完了すればサイリスタ58を全てオフにしてヒーター22への電力供給を停止する。ファンおよびクーラーによって内部空間16の温度を下げ、被処理物36を冷却する。
被処理物36の熱処理が完了すればサイリスタ58を全てオフにしてヒーター22への電力供給を停止する。ファンおよびクーラーによって内部空間16の温度を下げ、被処理物36を冷却する。
以上のように、本願は熱処理を開始する前にヒーター22の絶縁抵抗を測定することで、ヒーター22を含めて内部空間16の清掃の必要性がわかる。必要最低限の頻度で内部空間16を清掃することができる。ヒーター22の絶縁抵抗が自動的に測定されるため、従来のようにオペレーターがテスターで絶縁抵抗を測定する必要は無い。オペレーターにとって操作が簡単な熱処理装置10である。
[実施形態2]
制御部28は測定された電流に応じて電力供給回路24を起動させるか否かを判定してもよい。測定された電流が所定値を下回っていれば、電力供給回路24を起動させて被処理物36を熱処理する。電流が所定値を下回ることでヒーター22とアースの間の絶縁抵抗が保たれているからである。反対に電流が所定値を上回っていれば、表示装置68にその旨を表示し、断熱体14の内部空間16にあるヒーター22を清掃する必要があることを表示する。本願は、オームの法則によって求めた絶縁抵抗または測定された電流値のいずれかを用いて断熱体14の内部空間16の清掃の必要性を判定する。
制御部28は測定された電流に応じて電力供給回路24を起動させるか否かを判定してもよい。測定された電流が所定値を下回っていれば、電力供給回路24を起動させて被処理物36を熱処理する。電流が所定値を下回ることでヒーター22とアースの間の絶縁抵抗が保たれているからである。反対に電流が所定値を上回っていれば、表示装置68にその旨を表示し、断熱体14の内部空間16にあるヒーター22を清掃する必要があることを表示する。本願は、オームの法則によって求めた絶縁抵抗または測定された電流値のいずれかを用いて断熱体14の内部空間16の清掃の必要性を判定する。
[実施形態3]
図3の熱処理装置80のように、制御部28で求めた絶縁抵抗は通信装置82によってネットワーク84を介してホストコンピュータ86に送信されてもよい。通信装置82はネットワーク84を介して有線または無線で通信する装置が挙げられる。制御部28で算出した絶縁抵抗をホストコンピュータ86に送信し、ホストコンピュータ86の記憶手段で記憶してもよい。絶縁抵抗の値を蓄積し、内部空間16の清掃する頻度を算出してもよい。
図3の熱処理装置80のように、制御部28で求めた絶縁抵抗は通信装置82によってネットワーク84を介してホストコンピュータ86に送信されてもよい。通信装置82はネットワーク84を介して有線または無線で通信する装置が挙げられる。制御部28で算出した絶縁抵抗をホストコンピュータ86に送信し、ホストコンピュータ86の記憶手段で記憶してもよい。絶縁抵抗の値を蓄積し、内部空間16の清掃する頻度を算出してもよい。
[実施形態4]
直流電源62は3本の配線54のいずれかに接続されたが、直流電源62を複数本の配線54にスイッチで接続することも可能である。ヒーター22の絶縁抵抗を測定できるのであれば、ヒーター22と直流電源62の接続方法は限定されない。
直流電源62は3本の配線54のいずれかに接続されたが、直流電源62を複数本の配線54にスイッチで接続することも可能である。ヒーター22の絶縁抵抗を測定できるのであれば、ヒーター22と直流電源62の接続方法は限定されない。
(第1項)一態様に係る熱処理装置は、圧力容器と、前記圧力容器の内方に配置された断熱体と、前記断熱体の内部空間に配置されたヒーターと、前記ヒーターに所定電圧を印加する直流電源と、前記直流電源がヒーターに所定電圧を印加したときに、ヒーターからアースに流れる電流を測定する電流計と、前記電流計で測定された電流と直流電源で出力された所定電圧からヒーターとアースとの間の絶縁抵抗を求め、該絶縁抵抗から断熱体の内部空間の清掃を判定する、または測定された電流値から断熱体の内部空間の清掃を判定する制御部とを備える。
第1項に記載の熱処理装置によれば、自動的にヒーターとアースの間の絶縁抵抗を求めることができるため、オペレーターがテスターで測定する必要が無い。オペレーターの作業が軽減される。絶縁抵抗が低くなっていれば内部空間を清掃する必要があり、清掃のタイミングが分かる。毎回、熱処理の前に絶縁抵抗を求めるため、最低限の頻度で内部空間を清掃することになり、オペレーターの負担が軽減される。
(第2項)前記直流電源とヒーターとを接続または切断するスイッチを備える。
第2項に記載の熱処理装置によれば、必要なタイミングでヒーターに電圧を印加して絶縁抵抗を測定することができる。
(第3項)前記ヒーターに電力供給するための電力供給回路を備え、前記制御部はヒーターとアースとの間の絶縁抵抗が所定値よりも高ければ電力供給回路を起動させる。
第3項に記載の熱処理装置によれば、絶縁抵抗が低ければ電力供給回路からヒーターに電力供給できず、電力供給回路が保護される。
(第4項)前記ヒーターに電力供給するための電力供給回路を備え、前記制御部は測定された電流値が所定値よりも低ければ電力供給回路を起動させる。
第4項に記載の熱処理装置によれば、電流値が所定値よりも低ければ電力供給回路からヒーターに電力供給できず、電力供給回路が保護される。
その他、本考案は、その主旨を逸脱しない範囲で当業者の知識に基づき種々の改良、修正、変更を加えた態様で実施できるものである。説明した各実施形態は独立したものではなく、当業者の知識に基づき適宜組み合わせて実施できるものである。
10、80:熱処理装置
12:圧力容器
14:断熱体
16:断熱体の内部空間
18:ガス供給装置
20:ガス排気装置
22:ヒーター
24:電力供給回路
26:測定回路
28:制御部
30:内壁
32:外壁
34:内壁と外壁の間の空間
36:被処理物
38:ガス源
40、46:パイプ
42、48:バルブ
44:ポンプ
50:電極
52:温度計
54:配線
56:電流計
58:サイリスタ
60:トランス
62:直流電源
64:電流計
66:スイッチ
80:通信装置
82:ネットワーク
84:ホストコンピュータ
12:圧力容器
14:断熱体
16:断熱体の内部空間
18:ガス供給装置
20:ガス排気装置
22:ヒーター
24:電力供給回路
26:測定回路
28:制御部
30:内壁
32:外壁
34:内壁と外壁の間の空間
36:被処理物
38:ガス源
40、46:パイプ
42、48:バルブ
44:ポンプ
50:電極
52:温度計
54:配線
56:電流計
58:サイリスタ
60:トランス
62:直流電源
64:電流計
66:スイッチ
80:通信装置
82:ネットワーク
84:ホストコンピュータ
Claims (4)
- 圧力容器と、
前記圧力容器の内方に配置された断熱体と、
前記断熱体の内部空間に配置されたヒーターと、
前記ヒーターに所定電圧を印加する直流電源と、
前記直流電源がヒーターに所定電圧を印加したときに、ヒーターからアースに流れる電流を測定する電流計と、
前記電流計で測定された電流と直流電源で出力された所定電圧からヒーターとアースとの間の絶縁抵抗を求め、該絶縁抵抗から断熱体の内部空間の清掃を判定する、または測定された電流値から断熱体の内部空間の清掃を判定する制御部と、
を備えた熱処理装置。 - 前記直流電源とヒーターとを接続または切断するスイッチを備えた請求項1の熱処理装置。
- 前記ヒーターに電力供給するための電力供給回路を備え、
前記制御部はヒーターとアースとの間の絶縁抵抗が所定値よりも高ければ電力供給回路を起動させる請求項1または2の熱処理装置。 - 前記ヒーターに電力供給するための電力供給回路を備え、
前記制御部は測定された電流値が所定値よりも低ければ電力供給回路を起動させる請求項1または2の熱処理装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2019004636U JP3225205U (ja) | 2019-12-06 | 2019-12-06 | 熱処理装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2019004636U JP3225205U (ja) | 2019-12-06 | 2019-12-06 | 熱処理装置 |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2022120251A Continuation JP7360584B2 (ja) | 2022-07-28 | 2022-07-28 | 熱処理装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP3225205U true JP3225205U (ja) | 2020-02-20 |
Family
ID=69526340
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2019004636U Ceased JP3225205U (ja) | 2019-12-06 | 2019-12-06 | 熱処理装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3225205U (ja) |
-
2019
- 2019-12-06 JP JP2019004636U patent/JP3225205U/ja not_active Ceased
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5700323B2 (ja) | 金属熱処理炉 | |
JP4890760B2 (ja) | 発熱体状態モニタ | |
JP2012182310A (ja) | 熱処理装置およびその制御方法 | |
JP3225205U (ja) | 熱処理装置 | |
US20140072011A1 (en) | Sensor system for bottom electrodes of an electric arc furnace | |
JP7360584B2 (ja) | 熱処理装置 | |
CN102944490B (zh) | 基于通电加热的高温硬度测量方法 | |
TWI528012B (zh) | 熱處理裝置及熱處理裝置之溫度測定方法 | |
JP3229042U (ja) | 工業炉 | |
JP3228530U (ja) | 工業炉 | |
JP7514420B2 (ja) | 工業炉 | |
JP2023095993A (ja) | 工業炉 | |
JP7250268B2 (ja) | 比熱とエンタルピー変化の測定方法 | |
CA1225522A (en) | Annealing process | |
JPS63278227A (ja) | 熱処理装置 | |
JP7398032B2 (ja) | 工業炉 | |
JP3902063B2 (ja) | 抵抗値測定装置 | |
JP3225553U (ja) | 熱処理装置 | |
JPH04258103A (ja) | 超電導コイルの冷却装置 | |
CN110857842A (zh) | 热处理炉以及氧化试验方法 | |
CN112857057B (zh) | 热处理炉 | |
JP2009035792A (ja) | 熱処理方法及び熱処理装置 | |
CN205119840U (zh) | 能够实现淬火功能的真空感应熔炼炉 | |
TW201600853A (zh) | 往覆式熱疲勞試驗機 | |
JP6226777B2 (ja) | プラズマ処理装置の異常放電予知方法及び装置、並びに異常放電予知機能付きプラズマ処理装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 3225205 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
S801 | Written request for registration of abandonment of right |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R321801 |
|
ABAN | Cancellation due to abandonment | ||
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |