JP3222610B2 - 円板状基板を保持して回転する基板保持装置 - Google Patents
円板状基板を保持して回転する基板保持装置Info
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Description
回転する保持装置に関し、特に円板状基板の外側端部を
少なくとも3カ所で保持して高速回転する基板保持装置
に関する。
置としてハードディスクを使用する傾向は近年特に強ま
り、ハードディスクを早く且つ安価に高精度のものを製
造する要求が益々強まっている。周知のように、ハード
ディスク基板状に磁性体を設ける前に、ハードディスク
基板(以下単に基板という場合がある)を研削後に又、
研磨後の各々の工程後に基板を洗浄・乾燥させる必要が
ある。
して、基板を高速で回転させて基板に付着している洗浄
液(以下、洗浄水とする)を遠心力で除去する方法があ
る。本発明は、このように基板を高速回転させて基板に
付着した洗浄水を除去する基板保持装置に関する。
単に説明する。図5は、基板保持装置の基板保持部2
a、2b、2cに保持された円板状基板4を示す。即
ち、基板保持部2a−2cの夫々に設けた溝(図示せ
ず)に、基板4の中心部に設けた円形の開口部(貫通
孔)6の縁部を係合させ、基板4を外側方向に押圧して
基板4を保持する。尚、図5では、基板保持装置の全体
の図示を省略している。
基板保持装置は、開口部6の中心点を通り基板面に垂直
な軸を中心にして、例えば矢印8の方向に約6000r
pmで回転し、基板4の表面に付着した洗浄水を遠心力
により除去する。
は、高速回転により基板4の半径方向外向きに遠心力を
受けるので、保持部2a−2cは基板4の内側端部から
外れにくいという利点がある。
の中心部に設けられる円形状の開口部6が小さくなり、
保持部2a−2cを開口部6に配置するのが困難になっ
てきた。
を保持する保持装置が考えられる。しかし、基板保持装
置の高速回転により保持部に働く遠心力は基板の半径方
向外向きなので、基板の外側端部を押圧する方法は、保
持部が基板から外れ易いという問題がある。
では、遠心力に抗して基板を確実に保持するため、大き
な力で基板の外側端部を押圧する必要がある。しかし、
基板の端部を強く押さえると、基板に歪が生じたり或い
は端部が損傷するという大きな問題がある。
損傷を与えることなく、小型の(即ち直径の小さい)円
板状基板の外側端部を確実に保持できる基板保持装置を
提供することである。
少なくとも3カ所を保持する少なくとも3個の保持手段
と、該少なくとも3個の保持手段を基板押圧方向に付勢
する付勢手段と、を有し、上記3個の保持手段の夫々
は、支点と、該支点を中心にして回動可能の第1手段
と、該第1手段に固定され、上記付勢手段の付勢力を上
記支点を介して受けて上記円板状基板を押圧して保持す
る第2手段と、上記第1手段に固定され、装置の回転に
よる遠心力を、上記支点を介して上記第2手段に与え、
該第2手段を基板押圧方向に更に付勢する第3手段と、
を有する。
を説明する。図1は本発明に係る保持装置に保持された
基板4を示す概略正面図、図2は図1の10a−10b
に沿った断面図(一部側面を表す)である。図3、図4
は基板の装着を説明する図である。
明する。図1に示すように、基板保持装置の保持部12
a、12b、12cは、基板4の外側端部を押圧して基
板4を保持する。実際には、保持部12a−12cの夫
々に設けた溝(後述する)に基板4の外側端部を係合さ
せ、保持部12a−12cを内側(基板4の中心方向)
に押圧して基板4を保持する。即ち、図2に示すよう
に、保持部12aの先端に設けた溝14aにより基板2
の端部を保持する。他の保持部12b及び12cの夫々
にも、溝14aと同様の溝が設けられている。本実施例
では3個の保持部12a−12c(図1)を設けている
が、場合によっては4個以上設けてもよい。
段)の上部両端には、上述の基板保持部12a(第2手
段)と基板押圧補助部18a(第3手段)が設けられて
いる。説明の便宜上、部材16a、12a及び18aか
ら成る部分をT型部分20と称する。柱状部材16aの
中心部は、軸(支点)22に回動自在に設けられてい
る。一方、筒状部24の突部26に固定された軸28
は、柱状部材16aの下端部に設けた凹部と回動自在に
係合している。
れ、このバネ30の右端(図面上)は筒状部24の閉塞
端の内壁に当接しており、左端は部材(蓋)32の内壁
に当接している。蓋32は、回転本体34に固定される
ので、筒状部24はバネ30によって右側に押され、T
型部分20を矢印36の方向に付勢する。従って、基板
保持部12aは、他の基板保持部12b及び12cと共
に、基板4を保持する。
22が固定され、柱状部材16aが軸22に回転自在に
設けられている。図示の如く、回転本体34は、ネジ等
の適当な固定手段38により、棒状の基板脱着部材40
を内部に有する筒状の回転付与部材42に固定されてい
る。この回転付与部材42は、回転駆動源(図示せず)
により例えば矢印44の方向に回転する。従って、回転
本体34が同方向に回転し、基板保持部材12a(及び
12b、12c)により固定された基板4が同方向に回
転する。
置への取り付けを説明する。図3に示すように、基板4
が装着されていない場合には、バネ30による右方向の
押圧力により、筒状部24は右側に押される。従って、
筒状部24の右端は、基板脱着部材40の左端に当接し
て停止する。この場合、筒状部24に固定された軸28
により、T型部分20は、軸22(支点)を中心にして
回動し、図3に示す位置となる。
40をバネ30の押圧力に抗して左側に押すと、T型部
分20は、軸22(支点)を中心として矢印45の方向
に回動し、図4に示す位置になる。この状態で、基板4
を所定位置に設置し、基板脱着部材40の左側方向への
押圧を解除すると、基板4は、図1及び図2に示すよう
に、基板保持部12a−12c(図2では12aのみを
示す)により装置に装着される。
する。装置が、図2の状態で且つ回転していない場合、
T型部分20は、バネ30の付勢力により矢印36の方
向に付勢され、基板4は、基板保持部12a(及び図示
していない12b、12c)により保持される。装置が
回転すると、基板保持部12a及び基板押圧補助部18
aには、夫々矢印46、48の方向に遠心力が加わる。
例と同様に、基板の押圧力を弱める方向に働く。即ち、
T型部分20を矢印45の方向に回動させるように作用
する。しかしながら、基板押圧補助部18aに働く遠心
力は、支点(軸)22を介してT型部分20(即ち、基
板保持部12a)を矢印36の方向に回動させるように
作用するので、基板保持部12aを基板4の中心部に押
圧することになる。
考慮して基板を強く押圧するため、上述したように、装
置の回転していない状態では、基板の端部が損傷したり
基板に歪を与えるという問題があった。しかし、本発明
は、基板の回転中の脱落を防止するのに、基板保持部1
2aの押圧力を強めるのではなく、基板押圧補助部18
aに働く遠心力を、回転中の基板の押圧に利用している
ので、上述の従来例の問題を解決することができる。
れた基板の正面図。
部側面図)。
図(一部側面図)。
図(一部側面図)。
れた基板の正面図。
Claims (1)
- 【請求項1】円板状基板の外側端部の少なくとも3カ所
を保持する少なくとも3個の保持手段と、 該少なくとも3個の保持手段を基板押圧方向に付勢する
付勢手段と、を有し、 上記3個の保持手段の夫々は、 支点と、 該支点を中心にして回動可能の第1手段と、 該第1手段に固定され、上記付勢手段の付勢力を上記支
点を介して受けて上記円板状基板を押圧して保持する第
2手段と、 上記第1手段に固定され、装置の回転による遠心力を、
上記支点を介して上記第2手段に与え、該第2手段を基
板押圧方向に更に付勢する第3手段と、 を有することを特徴とする円板状基板を保持して回転す
る基板保持装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP06469193A JP3222610B2 (ja) | 1993-03-01 | 1993-03-01 | 円板状基板を保持して回転する基板保持装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP06469193A JP3222610B2 (ja) | 1993-03-01 | 1993-03-01 | 円板状基板を保持して回転する基板保持装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH06251367A JPH06251367A (ja) | 1994-09-09 |
JP3222610B2 true JP3222610B2 (ja) | 2001-10-29 |
Family
ID=13265432
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP06469193A Expired - Lifetime JP3222610B2 (ja) | 1993-03-01 | 1993-03-01 | 円板状基板を保持して回転する基板保持装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3222610B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4767939B2 (ja) * | 2007-12-28 | 2011-09-07 | 昭和電工株式会社 | 磁気ディスク用アルミニウム基板の製造方法 |
-
1993
- 1993-03-01 JP JP06469193A patent/JP3222610B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH06251367A (ja) | 1994-09-09 |
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