JP3222605B2 - 直線駆動装置 - Google Patents
直線駆動装置Info
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- JP3222605B2 JP3222605B2 JP03965593A JP3965593A JP3222605B2 JP 3222605 B2 JP3222605 B2 JP 3222605B2 JP 03965593 A JP03965593 A JP 03965593A JP 3965593 A JP3965593 A JP 3965593A JP 3222605 B2 JP3222605 B2 JP 3222605B2
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- movable body
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- linear
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、複写機、プリンタ、光
ディスク装置等に応用可能なリニアモータを用いた直線
駆動装置に関する。
ディスク装置等に応用可能なリニアモータを用いた直線
駆動装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、直線往復運動を行うための駆動手
段として、リニアモータが広く知られている。
段として、リニアモータが広く知られている。
【０００３】図６は、リニアモータの一例として３相リ
ニア直流モータの構造について示したものである。ステ
ータ５０は、界磁磁石５１、ステータヨーク５２から構
成され、モータの駆動に必要な磁界を発生する。可動子
６０は、３相のコイル６１ａ，６１ｂ，６１ｃと、ムー
ビングヨーク６３および各相のコイルに対応した位置検
出素子６２ａ，６２ｂ，６２ｃからなり、可動子に可動
体が連結されている。位置検出素子６２ａ，６２ｂ，６
２ｃには一般に、磁束密度を電位差に変換するホール素
子、ホールＩＣなどが用いられており、この位置検出素
子６２ａ，６２ｂ，６２ｃからの出力に応じてコイル６
１ａ，６１ｂ，６１ｃに通電することにより、フレミン
グの左手の法則に従って可動子に推力が生じる。
ニア直流モータの構造について示したものである。ステ
ータ５０は、界磁磁石５１、ステータヨーク５２から構
成され、モータの駆動に必要な磁界を発生する。可動子
６０は、３相のコイル６１ａ，６１ｂ，６１ｃと、ムー
ビングヨーク６３および各相のコイルに対応した位置検
出素子６２ａ，６２ｂ，６２ｃからなり、可動子に可動
体が連結されている。位置検出素子６２ａ，６２ｂ，６
２ｃには一般に、磁束密度を電位差に変換するホール素
子、ホールＩＣなどが用いられており、この位置検出素
子６２ａ，６２ｂ，６２ｃからの出力に応じてコイル６
１ａ，６１ｂ，６１ｃに通電することにより、フレミン
グの左手の法則に従って可動子に推力が生じる。
【０００４】図７は、モータの推力を求めるための簡単
な模式図を示す。可動部７０の質量をＭａ、可動部の加
速度をαとすると、必要な推力Ｆは物体の運動方程式よ
り、 Ｆ＝Ｍａα （１） で表される。
な模式図を示す。可動部７０の質量をＭａ、可動部の加
速度をαとすると、必要な推力Ｆは物体の運動方程式よ
り、 Ｆ＝Ｍａα （１） で表される。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】ところが従来の方法で
は、可動部重量の重いものをより大きな加速度で加速す
るなど、大きな推力を必要とする場合には、コイルに流
す電流量を増やしたり、界磁磁石の起磁力を上げ磁束密
度を高めるなどの対応を取らねばならず、電流量の増加
による消費電力の増大や、起磁力を高めるために界磁磁
石が大型化してしまうなどの問題がある。
は、可動部重量の重いものをより大きな加速度で加速す
るなど、大きな推力を必要とする場合には、コイルに流
す電流量を増やしたり、界磁磁石の起磁力を上げ磁束密
度を高めるなどの対応を取らねばならず、電流量の増加
による消費電力の増大や、起磁力を高めるために界磁磁
石が大型化してしまうなどの問題がある。
【０００６】本発明は、上記に鑑み、低消費電力および
界磁磁石の小型化を図りながら、推力を増大させた直線
駆動装置の提供を目的とする。
界磁磁石の小型化を図りながら、推力を増大させた直線
駆動装置の提供を目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明による課題解決手
段は、図１の如く、直線往復移動自在な可動部１および
ステータ２を備え、可動部１とステータ２とでリニアモ
ータが構成され、可動部１とステータ２が任意の減速比
で機械的に連結されている。
段は、図１の如く、直線往復移動自在な可動部１および
ステータ２を備え、可動部１とステータ２とでリニアモ
ータが構成され、可動部１とステータ２が任意の減速比
で機械的に連結されている。
【０００８】そして、可動部質量をＭａ、ステータ質量
をＭｙとしたとき、減速比ｉがｉ＞Ｍｙ／Ｍａとされ
る。
をＭｙとしたとき、減速比ｉがｉ＞Ｍｙ／Ｍａとされ
る。
【０００９】
【作用】上記課題解決手段において、質量Ｍａの可動部
１を加速度αで直線移動させる場合を考える。可動部１
にかかる必要推力をＦ’とすると、ステータ２には同じ
大きさで反対方向の反力Ｆ’がかかる。減速比をｉ、可
動部１が受ける力をＴ1，Ｔ2、ステータ質量をＭｙとす
ると、ステータ２の加速度はα／ｉ、ステータ２が受け
る力は、ｉＴ1、ｉＴ2となる。
１を加速度αで直線移動させる場合を考える。可動部１
にかかる必要推力をＦ’とすると、ステータ２には同じ
大きさで反対方向の反力Ｆ’がかかる。減速比をｉ、可
動部１が受ける力をＴ1，Ｔ2、ステータ質量をＭｙとす
ると、ステータ２の加速度はα／ｉ、ステータ２が受け
る力は、ｉＴ1、ｉＴ2となる。
【００１０】可動部１とステータ２の運動方程式はそれ
ぞれ次のようになる。
ぞれ次のようになる。
【００１１】 Ｍａα＝Ｆ’＋（Ｔ1−Ｔ2） （２） Ｍｙα／ｉ＝Ｆ’−ｉ（Ｔ1−Ｔ2） （３） （２）、（３）式よりＴ1、Ｔ2を消去してＦ’をもとめ
ると、 Ｆ’＝｛Ｍａｉ／（ｉ＋１）＋Ｍｙ／ｉ（ｉ＋１）｝α （４） となる。
ると、 Ｆ’＝｛Ｍａｉ／（ｉ＋１）＋Ｍｙ／ｉ（ｉ＋１）｝α （４） となる。
【００１２】ここで減速比をｉ＞Ｍｙ／Ｍａとなるよう
に設定すると、（４）式は、 Ｆ’＜｛Ｍａｉ／（ｉ＋１）＋Ｍａ／（ｉ＋１）｝α＝Ｍａα （５） となる。（１）式より従来の方式で必要な推力は、Ｆ＝
Ｍａαであるから、 Ｆ’＜Ｆ （６） となり、従来の方法より必要な推力が小さくなる。
に設定すると、（４）式は、 Ｆ’＜｛Ｍａｉ／（ｉ＋１）＋Ｍａ／（ｉ＋１）｝α＝Ｍａα （５） となる。（１）式より従来の方式で必要な推力は、Ｆ＝
Ｍａαであるから、 Ｆ’＜Ｆ （６） となり、従来の方法より必要な推力が小さくなる。
【００１３】これによって、同一の可動部重量、同一の
加速度を実現するに当たって、従来のステータを固定し
ている場合と比較して可動部１を移動させるのに必要な
推力を低減させることができる。
加速度を実現するに当たって、従来のステータを固定し
ている場合と比較して可動部１を移動させるのに必要な
推力を低減させることができる。
【００１４】
【実施例】本発明の直線駆動装置は、図１に示すよう
に、直線往復移動自在な可動部１およびステータ２を備
え、可動部１とステータ２とでリニアモータが構成さ
れ、可動部１とステータ２が任意の減速比を有した減速
手段３を介して連結手段４で機械的に連結されている。
に、直線往復移動自在な可動部１およびステータ２を備
え、可動部１とステータ２とでリニアモータが構成さ
れ、可動部１とステータ２が任意の減速比を有した減速
手段３を介して連結手段４で機械的に連結されている。
【００１５】減速手段３は、左右一対の２段プーリであ
るタイミングプーリからなり、連結手段４は、左右一対
のタイミングプーリ３の大，小プーリ３ａ，３ｂにそれ
ぞれ掛け巻きされたタイミングベルト４ａ，４ｂからな
る。可動部１が大プーリ３ａ側のタイミングベルト４ａ
の上半分側に固定され、ステータ２が小プーリ３ｂ側の
タイミングベルト４ｂの下半分側に固定され、互いに逆
方向に移動するようになっている。
るタイミングプーリからなり、連結手段４は、左右一対
のタイミングプーリ３の大，小プーリ３ａ，３ｂにそれ
ぞれ掛け巻きされたタイミングベルト４ａ，４ｂからな
る。可動部１が大プーリ３ａ側のタイミングベルト４ａ
の上半分側に固定され、ステータ２が小プーリ３ｂ側の
タイミングベルト４ｂの下半分側に固定され、互いに逆
方向に移動するようになっている。
【００１６】今、質量Ｍａの可動部１を加速度αで直線
移動させる場合を考える。可動部１にかかる必要推力を
Ｆ’とすると、ステータ２には同じ大きさで反対方向の
反力Ｆ’がかかる。減速手段３の減速比をｉ（＝φｄａ
／φｄｙ）、可動部１が連結手段４により受ける力をＴ
1，Ｔ2、ステータ質量をＭｙとすると、ステータ２の加
速度はα／ｉ、ステータ２が連結手段４により受ける力
は、ｉＴ1、ｉＴ2となる。
移動させる場合を考える。可動部１にかかる必要推力を
Ｆ’とすると、ステータ２には同じ大きさで反対方向の
反力Ｆ’がかかる。減速手段３の減速比をｉ（＝φｄａ
／φｄｙ）、可動部１が連結手段４により受ける力をＴ
1，Ｔ2、ステータ質量をＭｙとすると、ステータ２の加
速度はα／ｉ、ステータ２が連結手段４により受ける力
は、ｉＴ1、ｉＴ2となる。
【００１７】可動部１とステータ２の運動方程式はそれ
ぞれ次のようになる。
ぞれ次のようになる。
【００１８】 Ｍａα＝Ｆ’＋（Ｔ1−Ｔ2） （２） Ｍｙα／ｉ＝Ｆ’−ｉ（Ｔ1−Ｔ2） （３） （２）、（３）式よりＴ1、Ｔ2を消去してＦ’をもとめ
ると、 Ｆ’＝｛Ｍａｉ／（ｉ＋１）＋Ｍｙ／ｉ（ｉ＋１）｝α （４） となる。
ると、 Ｆ’＝｛Ｍａｉ／（ｉ＋１）＋Ｍｙ／ｉ（ｉ＋１）｝α （４） となる。
【００１９】ここで減速比をｉ＞Ｍｙ／Ｍａとなるよう
に設定すると、（４）式は、 Ｆ’＜｛Ｍａｉ／（ｉ＋１）＋Ｍａ／（ｉ＋１）｝α＝Ｍａα （５） となる。（１）式より従来の方式で必要な推力は、Ｆ＝
Ｍａαであるから、 Ｆ’＜Ｆ （６） となり、従来の方法より必要な推力が小さくなることが
分かる。
に設定すると、（４）式は、 Ｆ’＜｛Ｍａｉ／（ｉ＋１）＋Ｍａ／（ｉ＋１）｝α＝Ｍａα （５） となる。（１）式より従来の方式で必要な推力は、Ｆ＝
Ｍａαであるから、 Ｆ’＜Ｆ （６） となり、従来の方法より必要な推力が小さくなることが
分かる。
【００２０】次に、本発明の直線駆動装置をスリット露
光方式の複写機用の走査光学系ユニットに適用した実施
例を図２〜図４に示す。
光方式の複写機用の走査光学系ユニットに適用した実施
例を図２〜図４に示す。
【００２１】本実施例の直線駆動装置は、ミラー，ラン
プ等の光学ユニットを搭載した第一可動体１０ａとミラ
ー等の光学ユニットを搭載した第二可動体１０ｂとを速
度比２：１で図２中のＡあるいはＢの方向に直線往復移
動させるべく、複写機本体内部のベースフレーム１１に
設けられている。
プ等の光学ユニットを搭載した第一可動体１０ａとミラ
ー等の光学ユニットを搭載した第二可動体１０ｂとを速
度比２：１で図２中のＡあるいはＢの方向に直線往復移
動させるべく、複写機本体内部のベースフレーム１１に
設けられている。
【００２２】第一可動体１０ａ、第二可動体１０ｂは、
その一側がベースフレーム１１にホルダ１２を介して取
り付け固定された軸１３に軸受け１４ａ，１４ｂを介し
て摺動自在に支持されている。また、他側がベースフレ
ーム１１に取り付け固定されたレール１５上を滑る滑り
材１６ａ，１６ｂを介して摺動自在に支持されている。
ベースフレーム１１に対し、図中のＡ，Ｂ方向に移動可
能とされている。
その一側がベースフレーム１１にホルダ１２を介して取
り付け固定された軸１３に軸受け１４ａ，１４ｂを介し
て摺動自在に支持されている。また、他側がベースフレ
ーム１１に取り付け固定されたレール１５上を滑る滑り
材１６ａ，１６ｂを介して摺動自在に支持されている。
ベースフレーム１１に対し、図中のＡ，Ｂ方向に移動可
能とされている。
【００２３】そして、第一可動体１０ａ、第二可動体１
０ｂの上面には、それぞれの移動位置をそれぞれ検出す
るためのリニアエンコーダ１７ａ，１７ｂが取り付けら
れている。一方、リニアスケール１８は、ベースフレー
ム１１に固定部材１９を介して固定されている。
０ｂの上面には、それぞれの移動位置をそれぞれ検出す
るためのリニアエンコーダ１７ａ，１７ｂが取り付けら
れている。一方、リニアスケール１８は、ベースフレー
ム１１に固定部材１９を介して固定されている。
【００２４】また、第一可動体１０ａ、第二可動体１０
ｂの一側には、可動部２０ａ，２０ｂがそれぞれ取り付
けられている。両可動部２０ａ，２０ｂは、断面ロ字状
に形成され、３相のコイルを備えている。
ｂの一側には、可動部２０ａ，２０ｂがそれぞれ取り付
けられている。両可動部２０ａ，２０ｂは、断面ロ字状
に形成され、３相のコイルを備えている。
【００２５】可動部２０ａ，２０ｂの周辺には、ステー
タ３０が設けられている。ステータ３０は、断面コ字状
のバックヨーク３１と、可動部２０ａ，２０ｂの上面お
よび下面に対向するようにバックヨーク３１に取り付け
られた上下の界磁磁石３２と、可動部２０ａ，２０ｂの
中空部分に位置し、バックヨーク３１、界磁磁石３２と
ともに閉磁気回路を形成するためのセンターヨーク３３
とからなる。センターヨーク３３は、図５に示すように
その両端がセンターヨーク支持板３３ａを介してバック
ヨーク３１に取り付けられている。
タ３０が設けられている。ステータ３０は、断面コ字状
のバックヨーク３１と、可動部２０ａ，２０ｂの上面お
よび下面に対向するようにバックヨーク３１に取り付け
られた上下の界磁磁石３２と、可動部２０ａ，２０ｂの
中空部分に位置し、バックヨーク３１、界磁磁石３２と
ともに閉磁気回路を形成するためのセンターヨーク３３
とからなる。センターヨーク３３は、図５に示すように
その両端がセンターヨーク支持板３３ａを介してバック
ヨーク３１に取り付けられている。
【００２６】バックヨーク３１の下方には、ローラ３４
がホルダー３５によりベースフレーム１１に取り付けら
れており、ローラ３４がバックヨーク３１の下面に接触
している。これによって、ステータ３０がベースフレー
ム１１に対して移動可能とされている。
がホルダー３５によりベースフレーム１１に取り付けら
れており、ローラ３４がバックヨーク３１の下面に接触
している。これによって、ステータ３０がベースフレー
ム１１に対して移動可能とされている。
【００２７】また、第一可動体１０ａの上部に、支柱３
６がステータ３０の方向に向かって取り付けられ、その
先端はベースフレーム１１に形成された上横溝３７を貫
通して外側に突出している。ステータ３０のバックヨー
ク３１の側面にも、支柱３８が突設されており、ベース
フレーム１１に形成された下横溝３９を貫通して外側に
突出している。
６がステータ３０の方向に向かって取り付けられ、その
先端はベースフレーム１１に形成された上横溝３７を貫
通して外側に突出している。ステータ３０のバックヨー
ク３１の側面にも、支柱３８が突設されており、ベース
フレーム１１に形成された下横溝３９を貫通して外側に
突出している。
【００２８】ベースフレーム１１の外側には、図４に示
すように、減速比ｉの２段プーリである減速手段として
の左右一対のタイミングプーリ４０が回転自在に取り付
けられている。そして、両タイミングプーリ４０の大プ
ーリ４０ａおよび小プーリ４０ｂ同士は、それぞれタイ
ミングベルト４１，４２によって連結されている。
すように、減速比ｉの２段プーリである減速手段として
の左右一対のタイミングプーリ４０が回転自在に取り付
けられている。そして、両タイミングプーリ４０の大プ
ーリ４０ａおよび小プーリ４０ｂ同士は、それぞれタイ
ミングベルト４１，４２によって連結されている。
【００２９】大プーリ側のタイミングベルト４１には、
第一可動体１０ａの支柱３６が締結され、小プーリ側の
タイミングベルト４２には、ステータ３０の支柱３８が
締結されている。すなわち、第一可動体１０ａを駆動す
ると、タイミングプーリ４０とタイミングベルト４１，
４２によってステータ３０も連動して動く構造となって
おり、これらの支柱３６，３８と、タイミングベルト４
１，４２とから連結手段が構成されている。
第一可動体１０ａの支柱３６が締結され、小プーリ側の
タイミングベルト４２には、ステータ３０の支柱３８が
締結されている。すなわち、第一可動体１０ａを駆動す
ると、タイミングプーリ４０とタイミングベルト４１，
４２によってステータ３０も連動して動く構造となって
おり、これらの支柱３６，３８と、タイミングベルト４
１，４２とから連結手段が構成されている。
【００３０】なお、第一可動体１０ａと可動部２０ａと
を合わせた質量をＭａ、ステータ３０の質量をＭｙとす
ると、減速比ｉはｉ＞Ｍｙ／Ｍａとなるようにタイミン
グプーリ４０は設計されている。
を合わせた質量をＭａ、ステータ３０の質量をＭｙとす
ると、減速比ｉはｉ＞Ｍｙ／Ｍａとなるようにタイミン
グプーリ４０は設計されている。
【００３１】上記構成において、光学ユニットによる原
稿走査を行うとき、リニアエンコーダ１７ａ，１７ｂか
らの位置検出に応じて第一，第二可動体１０ａ，１０ｂ
の３相コイルの励磁を切換えるという周知の方法によ
り、第一可動体１０ａと第二可動体１０ｂを速度比２：
１で同期運転する。
稿走査を行うとき、リニアエンコーダ１７ａ，１７ｂか
らの位置検出に応じて第一，第二可動体１０ａ，１０ｂ
の３相コイルの励磁を切換えるという周知の方法によ
り、第一可動体１０ａと第二可動体１０ｂを速度比２：
１で同期運転する。
【００３２】このとき、第一可動体１０ａのＢ方向への
移動につれて、タイミングベルト４１が移動してタイミ
ングプーリ４０が回転する。すると、小プーリ４０ｂ側
のタイミングベルト４２も同方向に移動し、ステータ３
０が第一可動体１０ａの移動速度に対して１／ｉ倍の移
動速度で逆のＡ方向へ移動する。
移動につれて、タイミングベルト４１が移動してタイミ
ングプーリ４０が回転する。すると、小プーリ４０ｂ側
のタイミングベルト４２も同方向に移動し、ステータ３
０が第一可動体１０ａの移動速度に対して１／ｉ倍の移
動速度で逆のＡ方向へ移動する。
【００３３】また、リターン時には、同様の動作でＡ方
向に第一，第二可動体１０ａ，１０ｂが移動し、Ｂ方向
にステータ３０が移動する。
向に第一，第二可動体１０ａ，１０ｂが移動し、Ｂ方向
にステータ３０が移動する。
【００３４】このように、従来のステータが固定されて
いる場合に対して、同一の可動体の質量、同一の加速度
を実現するに当たって、ステータを可動体と逆方向に直
線往復移動可能とし、可動体とステータを減速比ｉで機
械的に連結し、なおかつ、ｉ＞Ｍｙ／Ｍａとすることで
必要とする推力を低減することができる。したがって、
従来の直線駆動装置に比べて省消費電力および界磁磁石
の小型化を可能とした直線駆動装置を実現できる。
いる場合に対して、同一の可動体の質量、同一の加速度
を実現するに当たって、ステータを可動体と逆方向に直
線往復移動可能とし、可動体とステータを減速比ｉで機
械的に連結し、なおかつ、ｉ＞Ｍｙ／Ｍａとすることで
必要とする推力を低減することができる。したがって、
従来の直線駆動装置に比べて省消費電力および界磁磁石
の小型化を可能とした直線駆動装置を実現できる。
【００３５】なお、本発明は、上記実施例に限定される
ものではなく、本発明の範囲内で上記実施例に多くの修
正および変更を加え得ることは勿論である。
ものではなく、本発明の範囲内で上記実施例に多くの修
正および変更を加え得ることは勿論である。
【００３６】本発明による直線駆動装置は、複写機だけ
でなくプリンタ、光磁気ディスク装置等への応用が可能
である。
でなくプリンタ、光磁気ディスク装置等への応用が可能
である。
【００３７】本実施例では、連結手段をタイミングベル
ト、減速手段をタイミングプーリとしたが、その他とし
て、ワイヤと２段プーリ、あるいはラックとピニオンな
どの組み合わせでも差し支えない。
ト、減速手段をタイミングプーリとしたが、その他とし
て、ワイヤと２段プーリ、あるいはラックとピニオンな
どの組み合わせでも差し支えない。
【００３８】また、ステータと可動体の構成を逆にし
て、可動体が永久磁石を備え、ステータが巻線とヨーク
から構成されるようにしてもよい。
て、可動体が永久磁石を備え、ステータが巻線とヨーク
から構成されるようにしてもよい。
【００３９】
【発明の効果】以上の説明から明らかな通り、本発明に
よると、ステータを直線往復移動可能とし、可動部とス
テータを機械的に連結して、減速比を所定の範囲で設定
することにより、従来のステータが固定されている場合
に対して、同一の可動部の質量、同一の加速度を実現す
るに当たって、必要とする推力を低減することができ
る。したがって、従来の直線駆動装置に比べて省消費電
力および界磁磁石の小型化を可能とした直線駆動装置を
実現できる。
よると、ステータを直線往復移動可能とし、可動部とス
テータを機械的に連結して、減速比を所定の範囲で設定
することにより、従来のステータが固定されている場合
に対して、同一の可動部の質量、同一の加速度を実現す
るに当たって、必要とする推力を低減することができ
る。したがって、従来の直線駆動装置に比べて省消費電
力および界磁磁石の小型化を可能とした直線駆動装置を
実現できる。
【図１】本発明の直線駆動装置の力学的な概要の原理説
明図
明図
【図２】本発明の直線駆動装置を適用したをスリット露
光方式の複写機の走査光学系の平面図
光方式の複写機の走査光学系の平面図
【図３】図２のＸ−Ｘ断面図
【図４】走査光学系の正面図
【図５】ステータの斜視図
【図６】一般的な３相リニア直流モータの構造図
【図７】従来のリニアモータの力学的な概要の説明図
１ 可動部 ２ ステータ ３ タイミングプーリ ４ タイミングベルト １０ａ 第一可動体 １０ｂ 第二可動体 ２０ａ，２０ｂ 可動部 ３０ ステータ ３１ バックヨーク ３２ 界磁磁石 ３３ センターヨーク ３５，３７ 支柱 ４０ タイミングプーリ ４１，４２ タイミングベルト
Claims (2)
- 【請求項１】 直線往復移動自在な可動部と、ステータ
とを備え、可動部とステータとからリニアモータが構成
された直線駆動装置において、ステータが直線往復移動
自在とされ、可動部とステータとを任意の減速比で機械
的に連結する連結手段を備えたことを特徴とする直線駆
動装置。 - 【請求項２】 可動部質量をＭａ、ステータ質量をＭｙ
としたとき、減速比ｉがｉ＞Ｍｙ／Ｍａとされたことを
特徴とする請求項１記載の直線駆動装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP03965593A JP3222605B2 (ja) | 1993-03-01 | 1993-03-01 | 直線駆動装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP03965593A JP3222605B2 (ja) | 1993-03-01 | 1993-03-01 | 直線駆動装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06253526A JPH06253526A (ja) | 1994-09-09 |
| JP3222605B2 true JP3222605B2 (ja) | 2001-10-29 |
Family
ID=12559108
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP03965593A Expired - Fee Related JP3222605B2 (ja) | 1993-03-01 | 1993-03-01 | 直線駆動装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3222605B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2005122369A1 (ja) * | 2004-05-14 | 2005-12-22 | Kabushiki Kaisha Yaskawa Denki | ムービングマグネット形リニアスライダ |
-
1993
- 1993-03-01 JP JP03965593A patent/JP3222605B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH06253526A (ja) | 1994-09-09 |
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