JP3220364U - Holding device - Google Patents
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Abstract
【課題】円形状の被保持面を有する第1保持対象物と、第1保持対象物の直径と同じ長さの4辺からなる正方形状の被保持面を有する第2保持対象物とを外縁部まで確実に保持することができる保持装置を提供すること。【解決手段】保持装置EAは、保持対象物を保持可能な保持面12Aに平面視正方形状の保持部HTを有する保持機構10と、保持部HTに保持力を付与する保持力付与機構20とを備え、保持部HTは、第1隔壁WL1によって、当該保持部HTを構成する4辺全てに内接する平面視円形状の第1保持部HT1と、当該第1保持部HT1に隣接する複数の第2保持部HT2とに区画され、保持力付与機構20は、第1保持部HT1および第2保持部HT2に、それぞれ独立して保持力を付与する第1保持力付与機構21と第2保持力付与機構22とを備えている。【選択図】図1An outer edge of a first holding object having a circular holding surface and a second holding object having a square holding surface having four sides having the same length as the diameter of the first holding object. To provide a holding device that can securely hold up to a part. A holding device EA includes a holding mechanism 10 having a holding portion HT having a square shape in plan view on a holding surface 12A capable of holding a holding object, and a holding force applying mechanism 20 that applies a holding force to the holding portion HT. The holding portion HT includes a first holding portion HT1 having a circular shape in plan view that is inscribed in all four sides of the holding portion HT, and a plurality of adjoining the first holding portions HT1 by the first partition wall WL1. The holding force application mechanism 20 is partitioned into a second holding unit HT2 and the first holding force applying mechanism 21 and the second holding unit 20 apply the holding force independently to the first holding unit HT1 and the second holding unit HT2, respectively. And a force applying mechanism 22. [Selection] Figure 1
Description
本考案は、保持装置に関する。 The present invention relates to a holding device.
従来、被保持面の形状が異なる保持対象物を選択的に保持可能な保持面を有する保持装置が知られている(例えば、特許文献1参照)。 2. Description of the Related Art Conventionally, a holding device having a holding surface capable of selectively holding objects to be held having different shapes of held surfaces is known (see, for example, Patent Document 1).
しかしながら、特許文献1に記載されたチャックテーブル1(保持装置)は、保持面における吸引部200(保持部)の形状が、板状ワーク32の円形状の被保持面の外縁に沿った円形状とされているため、当該板状ワーク32を第1保持対象物とした場合、当該第1保持対象物の直径と同じ長さの4辺からなる正方形状の被保持面を有する第2保持対象物を保持面で保持しようとした場合、当該第2保持対象の被保持面の角部が保持部からはみ出てしまい、当該第2保持対象物の外縁部を確実に保持することができないという不都合がある。
However, in the chuck table 1 (holding device) described in Patent Document 1, the shape of the suction portion 200 (holding portion) on the holding surface is circular along the outer edge of the circular held surface of the plate-
本考案の目的は、円形状の被保持面を有する第1保持対象物と、第1保持対象物の直径と同じ長さの4辺からなる正方形状の被保持面を有する第2保持対象物とを外縁部まで確実に保持することができる保持装置を提供することにある。 An object of the present invention is to provide a first holding object having a circular holding surface and a second holding object having a square holding surface having four sides having the same length as the diameter of the first holding object. It is an object of the present invention to provide a holding device that can securely hold the outer edge to the outer edge.
本考案は、請求項に記載した構成を採用した。 The present invention employs the structure described in the claims.
本考案によれば、保持部が、当該保持部を構成する4辺全てに内接する平面視円形状の第1保持部と、当該第1保持部に隣接する複数の第2保持部とに区画され、第1保持部および複数の第2保持部に、それぞれ独立して保持力を付与することができるので、円形状の被保持面を有する第1保持対象物と、第1保持対象物の直径と同じ長さの4辺からなる正方形状の被保持面を有する第2保持対象物とを外縁部まで確実に保持することができる。
また、第1保持部が、相互に隣接する第3保持部と第4保持部とに区画され、第3保持部および第4保持部に、それぞれ独立して保持力を付与することができるので、第1保持対象物が二分割されていたとしても、それら両方を外縁部まで確実に保持することができる。
According to the present invention, the holding part is divided into a first holding part having a circular shape in plan view that is inscribed in all four sides constituting the holding part, and a plurality of second holding parts adjacent to the first holding part. Since the holding force can be independently applied to the first holding part and the plurality of second holding parts, the first holding object having the circular held surface and the first holding object It is possible to reliably hold the second holding object having the square holding surface having four sides having the same length as the diameter up to the outer edge portion.
Moreover, since the 1st holding | maintenance part is divided into the 3rd holding | maintenance part and the 4th holding | maintenance part adjacent to each other, a holding force can be independently provided to a 3rd holding | maintenance part and a 4th holding | maintenance part, respectively. Even if the first object to be held is divided into two, both of them can be reliably held to the outer edge.
以下、本考案の一実施形態を図面に基づいて説明する。
なお、本実施形態におけるX軸、Y軸、Z軸は、それぞれが直交する関係にあり、X軸およびY軸は、所定平面内の軸とし、Z軸は、前記所定平面に直交する軸とする。さらに、本実施形態では、Y軸と平行な図1の手前方向から観た場合を基準とし、方向を示した場合、「上」がZ軸の矢印方向で「下」がその逆方向、「左」がX軸の矢印方向で「右」がその逆方向、「前」がY軸と平行な図1中手前方向で「後」がその逆方向とする。また、平面視とは、Z軸上方から下方を見下ろした視野のことである。
Hereinafter, an embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings.
In this embodiment, the X axis, the Y axis, and the Z axis are orthogonal to each other, the X axis and the Y axis are axes in a predetermined plane, and the Z axis is an axis that is orthogonal to the predetermined plane. To do. Furthermore, in the present embodiment, when viewed from the near side of FIG. 1 parallel to the Y axis, when indicating the direction, “up” is the arrow direction of the Z axis, “down” is the opposite direction, “ The “left” is the arrow direction of the X axis, “right” is the opposite direction, “front” is the front direction in FIG. 1 parallel to the Y axis, and “rear” is the opposite direction. Also, the plan view is a field of view looking down from above the Z axis.
図1において、保持装置EAは、保持対象物WKを保持可能な保持面12Aに平面視正方形状の保持部HTを有する保持機構10と、保持部HTに保持力としての吸引力を付与する保持力付与機構20とを備え、保持装置EAで保持した保持対象物WKに接着シートASを押圧して貼付する貼付機構30とでシート貼付装置EA1を形成している。
In FIG. 1, the holding device EA has a
保持機構10は、駆動機器としてのリニアモータ11のスライダ11Aに支持され、その上面が保持面12Aとされたテーブル12を備えている。
保持面12Aに設けられた保持部HTは、第1隔壁WL1によって、当該保持部HTを構成する4辺全てに内接する平面視円形状の第1保持部HT1と、当該第1保持部HT1に隣接する複数の第2保持部HT2とに区画されている。第1保持部HT1は、当該第1保持部HT1を構成する円周部の2箇所に一端と他端とを有する第2隔壁WL2によって、相互に隣接する第3保持部HT1Aと第4保持部HT1Bとに区画されている。
第2、第3、第4保持部HT2、HT1A、HT1Bで構成される保持部HTは、保持対象物WKとしての正方形状の基板WK1の被保持面と同形状とされ、第3、第4保持部HT1A、HT1Bで構成される保持部HT部分は、保持対象物WKとしての円形の半導体ウエハ(以下、単に「ウエハ」ともいう)WK2の被保持面と同形状とされ、第3保持部HT1Aで構成される保持部HT部分は、オリエンテーションフラットを有する保持対象物WKとしての図示しないオリフラ付きウエハの被保持面と同形状とされている。
なお、ウエハWK2または図示しないオリフラ付きウエハの被保持面の円周部は、基板WK1の被保持面を構成する4辺全てに内接する円形状または円弧状となっている。また、第2、第3、第4保持部HT2、HT1A、HT1Bは、それぞれポーラス体で構成され、第1、第2隔壁WL1、WL2で区画された凹部内に配置されている。さらに、図1に示すテーブル12の断面図は、図1中の符号AAで示した図におけるテーブル12のBB−BB断面CC矢視図である。
The
The holding portion HT provided on the
The holding unit HT configured by the second, third, and fourth holding units HT2, HT1A, and HT1B has the same shape as the held surface of the square substrate WK1 as the holding object WK. The holding portion HT configured by the holding portions HT1A and HT1B has the same shape as the holding surface of a circular semiconductor wafer (hereinafter simply referred to as “wafer”) WK2 as the holding object WK, and the third holding portion. The holding portion HT portion constituted by HT1A has the same shape as a held surface of a wafer with an orientation flat (not shown) as a holding object WK having an orientation flat.
The circumferential portion of the held surface of wafer WK2 or the wafer with orientation flat (not shown) has a circular shape or an arc shape inscribed in all four sides constituting the held surface of substrate WK1. The second, third, and fourth holding portions HT2, HT1A, and HT1B are each composed of a porous body, and are disposed in the recesses defined by the first and second partition walls WL1 and WL2. Furthermore, the sectional view of the table 12 shown in FIG. 1 is a BB-BB section CC arrow view of the table 12 in the diagram indicated by the reference AA in FIG.
保持力付与機構20は、第1保持部HT1および複数の第2保持部HT2に、それぞれ独立して保持力を付与する第1保持力付与機構21と第2保持力付与機構22とを備えている。
第1保持力付与機構21は、第3保持部HT1Aおよび第4保持部HT1Bに、それぞれ独立して保持力を付与する第3保持力付与機構21Aと第4保持力付与機構21Bとを備えている。
なお、第2、第3、第4保持力付与機構22、21A、21Bは、減圧ポンプや真空エジェクタ等が例示できる。
The holding
The first holding
In addition, the 2nd, 3rd, 4th holding
貼付機構30は、剥離シートRLの一方の面に接着シートASが仮着された原反RSを支持する支持ローラ31と、原反RSを案内するガイドローラ32と、剥離縁33Aで剥離シートRLを折り返し、当該剥離シートRLから接着シートASを剥離する剥離手段としての剥離板33と、保持装置EAで保持した保持対象物WKに接着シートASを押圧して貼付する押圧手段としての押圧ローラ34と、駆動機器としての回動モータ35Aの図示しない出力軸に支持され、ピンチローラ35Bとで剥離シートRLを挟み込む駆動ローラ35と、図示しない駆動機器の出力軸に支持され、シート貼付装置EA1の自動運転が行われている間、ピンチローラ35Bとの間に存在する剥離シートRLに常に所定の張力を付与し、当該剥離シートRLを回収する回収手段としての回収ローラ36とを備えている。
The
以上の保持装置EAを備えたシート貼付装置EA1の動作を説明する。
先ず、図1中実線で示す初期位置に各部材が配置されたシート貼付装置EA1に対し、当該シート貼付装置EA1の使用者(以下、単に「使用者」という)が原反RSを同図に示すようにセットした後、操作パネルやパーソナルコンピュータ等の図示しない操作機器を介して自動運転開始の信号を入力する。すると、貼付機構30が回動モータ35Aを駆動し、原反RSを繰り出し、図1中実線で示すように、先頭の接着シートASの繰出方向先端部が剥離板33の剥離縁33Aで所定長さ剥離されると、回動モータ35Aの駆動を停止する。
Operation | movement of the sheet sticking apparatus EA1 provided with the above holding | maintenance apparatus EA is demonstrated.
First, with respect to the sheet sticking device EA1 in which each member is arranged at an initial position indicated by a solid line in FIG. 1, a user of the sheet sticking device EA1 (hereinafter, simply referred to as “user”) shows the raw fabric RS After setting as shown, an automatic operation start signal is input via an operation device (not shown) such as an operation panel or a personal computer. Then, the
次いで、使用者または、多関節ロボットやベルトコンベア等の図示しない搬送機構が、図1中実線で示すように、ウエハWK2を第3、第4保持部HT1A、HT1B上に載置すると、保持力付与機構20が第3、第4保持力付与機構21A、21Bを駆動し、それら第3、第4保持部HT1A、HT1BでのウエハWK2の吸着保持を開始する。なお、使用者または図示しない搬送機構が、図1中二点鎖線で示すように、基板WK1を第2、第3、第4保持部HT2、HT1A、HT1B上に載置すると、保持力付与機構20が第2、第3、第4保持力付与機構22、21A、21Bを駆動し、それら第2、第3、第4保持部HT2、HT1A、HT1Bでの基板WK1の吸着保持を開始する。また、使用者または図示しない搬送機構が、図示しないオリフラ付きウエハを第3保持部HT1A上に載置すると、保持力付与機構20が第3保持力付与機構21Aを駆動し、当該第3保持部HT1Aでの図示しないオリフラ付きウエハの吸着保持を開始する。
Next, when the user or a transfer mechanism (not shown) such as an articulated robot or a belt conveyor places the wafer WK2 on the third and fourth holding portions HT1A and HT1B as shown by the solid line in FIG. The applying
その後、保持機構10がリニアモータ11を駆動し、テーブル12を左方に移動させ、テーブル12が所定の位置に到達すると、貼付機構30が回動モータ35Aを駆動し、テーブル12の移動速度に合わせて原反RSを繰り出す。これにより、接着シートASは、剥離板33の剥離縁33Aで剥離シートRLから剥離され、押圧ローラ34によってウエハWK2に押圧されて貼付される。なお、基板WK1や図示しないオリフラ付きウエハが保持面12Aに保持されている場合、当該基板WK1または図示しないオリフラ付きウエハに接着シートASが押圧されて貼付される。次に、先頭の接着シートASに次ぐ次の接着シートASの繰出方向先端部が剥離板33の剥離縁33Aで所定長さ剥離されると、貼付機構30が回動モータ35Aの駆動を停止する。
Thereafter, the
ウエハWK2への接着シートASの貼付が完了し、テーブル12が所定の位置に到達すると、保持機構10がリニアモータ11の駆動を停止した後、保持力付与機構20が第3、第4保持力付与機構21A、21Bの駆動を停止し、第3、第4保持部HT1A、HT1BでのウエハWK2の吸着保持を解除する。なお、基板WK1が保持面12Aに保持されている場合、保持機構10がリニアモータ11の駆動を停止した後、保持力付与機構20が第2、第3、第4保持力付与機構22、21A、21Bの駆動を停止し、第2、第3、第4保持部HT2、HT1A、HT1Bでの基板WK1の吸着保持を解除する。また、図示しないオリフラ付きウエハが保持面12Aに保持されている場合、保持機構10がリニアモータ11の駆動を停止した後、保持力付与機構20が第3保持力付与機構21Aの駆動を停止し、第3保持部HT1Aでの図示しないオリフラ付きウエハの吸着保持を解除する。そして、使用者または図示しない搬送機構が、接着シートASが貼付されたウエハWK2を次工程に搬送すると、保持機構10がリニアモータ11を駆動し、テーブル12を初期位置に復帰させ、以降上記同様の動作が繰り返される。
When the adhesion of the adhesive sheet AS to the wafer WK2 is completed and the table 12 reaches a predetermined position, the
以上のような実施形態によれば、保持部HTが、当該保持部HTを構成する4辺全てに内接する平面視円形状の第1保持部HT1と、当該第1保持部HT1に隣接する複数の第2保持部HT2とに区画され、第1保持部HT1および複数の第2保持部HT2に、それぞれ独立して保持力を付与することができるので、円形状の被保持面を有するウエハWK2と、ウエハWK2の直径と同じ長さの4辺からなる正方形状の被保持面を有する基板WK1とを外縁部まで確実に保持することができる。 According to the embodiment as described above, the holding part HT includes a first holding part HT1 having a circular shape in plan view that is inscribed in all four sides constituting the holding part HT, and a plurality of the holding parts HT adjacent to the first holding part HT1. Since the first holding unit HT1 and the plurality of second holding units HT2 can be independently applied with holding force, the wafer WK2 having a circular holding surface can be provided. In addition, the substrate WK1 having a square held surface having four sides having the same length as the diameter of the wafer WK2 can be reliably held to the outer edge.
以上のように、本考案を実施するための最良の構成、方法等は、前記記載で開示されているが、本考案は、これに限定されるものではない。すなわち、本考案は、主に特定の実施形態に関して特に図示され、かつ説明されているが、本考案の技術的思想および目的の範囲から逸脱することなく、以上述べた実施形態に対し、形状、材質、数量、その他の詳細な構成において、当業者が様々な変形を加えることができるものである。また、上記に開示した形状、材質などを限定した記載は、本考案の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本考案を限定するものではないから、それらの形状、材質などの限定の一部もしくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本考案に含まれる。 As described above, the best configuration, method and the like for carrying out the present invention are disclosed in the above description, but the present invention is not limited to this. That is, although the present invention has been illustrated and described with particular reference to particular embodiments, it will be understood that the present invention is not limited to the above-described embodiments without departing from the scope of the technical idea and purpose of the present invention. Various modifications can be made by those skilled in the art in terms of material, quantity, and other detailed configurations. In addition, the description limited to the shape, material, etc. disclosed above is an example for easy understanding of the present invention, and does not limit the present invention. The description by the name of the member which remove | excluded the limitation of some or all of such limitation is included in this invention.
例えば、保持機構10は、リニアモータ13を備えていなくてもよい。
保持面12Aは、保持部HTを含む大きさであれば、平面視において、円形、楕円形、三角形や五角形等の多角形でもよい。
第2、第3、第4保持部HT2、HT1A、HT1Bは、ポーラス体で構成されたものに限られず、例えば、板状の部材に1または複数の吸引孔が設けられたものでもよい。
第2隔壁WL2は、平面視において、V字形状、U字形状、矩形状、曲線形状、波形状等の形状でもよいし、第1保持部HT1を区画する必要がない場合、なくてもよい。
For example, the holding
The holding
The second, third, and fourth holding portions HT2, HT1A, and HT1B are not limited to those formed of a porous body, and for example, a plate-like member provided with one or a plurality of suction holes may be used.
The second partition wall WL2 may have a V shape, a U shape, a rectangular shape, a curved shape, a wave shape, or the like in plan view, or may not be provided when the first holding portion HT1 is not required to be partitioned. .
保持力付与機構20は、クーロン力、接着剤、粘着剤、磁力、ベルヌーイ吸着等で保持力を付与してもよく、第2、第3、第4保持部HT2、HT1A、HT1Bに電極、接着剤、粘着剤、磁石、吸引孔等を設けてもよいし、第2、第3、第4保持部HT2、HT1A、HT1それぞれに切替弁で独立して保持力を付与してもよい。
The holding
貼付機構30は、剥離シートRLに仮着された帯状の接着シート基材(帯状の基材シートと帯状の接着剤層)に閉ループ状または短寸幅方向全体の切込が形成されることで、その切込で仕切られた所定の領域が接着シートASとされた原反を繰り出してもよいし、帯状の接着シート基材が剥離シートRLに仮着された原反を採用し、接着シート基材に閉ループ状または短寸幅方向全体の切込を切断機構で形成し、その切込で仕切られた所定の領域を接着シートASとしてもよいし、接着シートASを剥離シートRLから剥離する際、原反RSに所定の張力が付与されるように回動モータ35Aのトルク制御を行ってもよいし、支持ローラ31やガイドローラ32等の各ローラの代わりに板状部材やシャフト部材等で原反RSや剥離シートRLを支持したり案内したりしてもよいし、原反RSを巻回することなく例えばファンフォールド折りにして支持してもよいし、回収手段は、剥離シートRLを巻回することなく例えばファンフォールド折りにしたり、シュレッダ等で切り刻んだりして回収してもよいし、巻回したりファンフォールド折りにしたりすることなく単に集積して剥離シートRLを回収してもよいし、剥離シートRLを回収しなくてもよい。
The
保持装置EAは、シート貼付装置EA1以外に、例えば、保持対象物WKに貼付された接着シートASを保持対象物WKから剥離するシート剥離装置や、保持対象物WKを位置決めする位置決め装置等に採用されてもよい。 In addition to the sheet sticking device EA1, the holding device EA is employed, for example, in a sheet peeling device that peels the adhesive sheet AS stuck on the holding object WK from the holding object WK, a positioning device that positions the holding object WK, and the like. May be.
接着シートASおよび保持対象物WKの材質、種別、形状等は、特に限定されることはない。例えば、接着シートASは、円形、楕円形、三角形や四角形等の多角形、その他の形状であってもよいし、感圧接着性、感熱接着性等の接着形態のものであってもよく、感熱接着性の接着シートASが採用された場合は、当該接着シートASを加熱する適宜なコイルヒータやヒートパイプ等の加熱側等の加熱機構を設けるといった適宜な方法で接着されればよい。また、このような接着シートASは、例えば、接着剤層だけの単層のもの、基材シートと接着剤層との間に中間層を有するもの、基材シートの上面にカバー層を有する等3層以上のもの、更には、基材シートを接着剤層から剥離することのできる所謂両面接着シートのようなものであってもよく、両面接着シートは、単層又は複層の中間層を有するものや、中間層のない単層又は複層のものであってよい。また、保持対象物WKとしては、例えば、食品、樹脂容器、シリコン半導体ウエハや化合物半導体ウエハ等の半導体ウエハ、回路基板、光ディスク等の情報記録基板、ガラス板、鋼板、陶器、木板または樹脂板等、任意の形態の部材や物品なども対象とすることができる。なお、接着シートASを機能的、用途的な読み方に換え、例えば、情報記載用ラベル、装飾用ラベル、保護シート、ダイシングテープ、ダイアタッチフィルム、ダイボンディングテープ、記録層形成樹脂シート等の任意の形状の任意のシート、フィルム、テープ等を前述のような任意の保持対象物WKに貼付することができる。 The material, type, shape, etc. of the adhesive sheet AS and the holding object WK are not particularly limited. For example, the adhesive sheet AS may be a circle, an ellipse, a polygon such as a triangle or a quadrangle, or other shapes, or may be of an adhesive form such as pressure sensitive adhesive or heat sensitive adhesive, When the heat-sensitive adhesive sheet AS is employed, it may be bonded by an appropriate method such as providing an appropriate coil heater for heating the adhesive sheet AS or a heating mechanism such as a heating side such as a heat pipe. Such an adhesive sheet AS is, for example, a single layer having only an adhesive layer, an intermediate layer between the base sheet and the adhesive layer, a cover layer on the upper surface of the base sheet, etc. Three or more layers, or a so-called double-sided adhesive sheet that can peel the base sheet from the adhesive layer may be used. The double-sided adhesive sheet comprises a single-layer or multi-layer intermediate layer. It may be a single layer or a multilayer having no intermediate layer. Examples of the holding object WK include foods, resin containers, semiconductor wafers such as silicon semiconductor wafers and compound semiconductor wafers, information recording substrates such as circuit boards and optical disks, glass plates, steel plates, ceramics, wood plates, or resin plates. Any form of member or article can also be targeted. In addition, the adhesive sheet AS is replaced with a functional and intended reading, for example, any information label, decorative label, protective sheet, dicing tape, die attach film, die bonding tape, recording layer forming resin sheet, etc. Any sheet, film, tape, or the like having a shape can be attached to any holding object WK as described above.
本考案における機構および工程は、それら機構および工程について説明した動作、機能または工程を果たすことができる限りなんら限定されることはなく、まして、前記実施形態で示した単なる一実施形態の構成物や工程に全く限定されることはない。例えば、保持力付与機構は、保持部に保持力を付与するものであって、第1保持部および複数の第2保持部に、それぞれ独立して保持力を付与する第1保持力付与機構と第2保持力付与機構とを備えているものであれば、出願当初の技術常識に照らし合わせ、その技術範囲内のものであればなんら限定されることはない(その他の手段および工程も同じ)。
また、前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダおよびロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる(実施形態で例示したものと重複するものもある)。
前記実施形態において、ローラが採用されている場合、各ローラを回転駆動させる駆動機器を備えてもよいし、各ローラの表面をゴムや樹脂等の弾性変形が可能な部材で構成してもよいし、各ローラを弾性変形しない部材で構成してもよいし、押圧ローラや押圧ヘッド等の貼付機構や押圧部材が採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、ローラ、丸棒、ブレード材、ゴム、樹脂、スポンジ等による押圧部材を採用したり、大気やガス等のエアの吹き付けにより押圧する構成を採用したりしてもよいし、貼付機構や押圧部材の押圧部をゴムや樹脂等の弾性変形が可能な部材で構成してもよいし、弾性変形しない部材で構成してもよいし、剥離機構や剥離部材が採用されている場合は、板状部材、丸棒、ローラ等で構成してもよいし、支持(保持)機構や支持(保持)部材等の被支持部材を支持または保持する構成のものが採用されている場合、メカチャックやチャックシリンダ等の把持機構、クーロン力、接着剤、粘着剤、磁力、ベルヌーイ吸着、駆動機器等で被支持部材を支持(保持)する構成を採用してもよいし、切断機構や切断刃が採用されている場合、カッター刃、レーザカッタ、イオンビーム、火力、熱、水圧、電熱線、気体や液体等の吹付け等の切断部材を採用したり、適宜な駆動機器を組み合わせたもので切断部材を移動させて切断するようにしたりしてもよい。
The mechanism and process in the present invention are not limited in any way as long as the operation, function, or process described with respect to the mechanism and process can be performed. Furthermore, the structure and process of only one embodiment shown in the above embodiment are not limited. The process is not limited at all. For example, the holding force applying mechanism applies a holding force to the holding unit, and includes a first holding force applying mechanism that independently applies a holding force to the first holding unit and the plurality of second holding units. As long as it has a second holding force imparting mechanism, there is no limitation as long as it is within the technical scope in light of the common general technical knowledge at the time of filing (other means and processes are the same). .
The drive device in the embodiment includes an electric device such as a rotation motor, a linear motion motor, a linear motor, a single axis robot, an articulated robot, an actuator such as an air cylinder, a hydraulic cylinder, a rodless cylinder, and a rotary cylinder. In addition to these, a combination of them directly or indirectly may be employed (some of them overlap with those exemplified in the embodiment).
In the above-described embodiment, when rollers are employed, a drive device that rotationally drives each roller may be provided, or the surface of each roller may be configured with a member capable of elastic deformation such as rubber or resin. Each roller may be constituted by a member that does not elastically deform, or when a sticking mechanism or a pressing member such as a pressing roller or a pressing head is employed, instead of or in combination with those exemplified above, a roller A pressing member made of a round bar, blade material, rubber, resin, sponge, or the like may be employed, or a structure may be employed that is pressed by blowing air such as air or gas. The part may be composed of a member that can be elastically deformed, such as rubber or resin, or may be composed of a member that is not elastically deformed, and when a peeling mechanism or a peeling member is employed, a plate-like member, Consists of round bars, rollers, etc. Alternatively, when a structure that supports or holds a supported member such as a support (holding) mechanism or a support (holding) member is adopted, a gripping mechanism such as a mechanical chuck or a chuck cylinder, coulomb force, adhesion A structure that supports (holds) the supported member with an agent, adhesive, magnetic force, Bernoulli adsorption, drive device, etc. may be adopted, and when a cutting mechanism or cutting blade is adopted, a cutter blade, a laser cutter, A cutting member such as ion beam, thermal power, heat, water pressure, heating wire, spraying of gas or liquid, etc. is adopted, or the cutting member is moved with a combination of appropriate driving equipment to cut. Also good.
EA…保持装置
10…保持機構
12A…保持面
20…保持力付与機構
21…第1保持力付与機構
21A…第3保持力付与機構
21B…第4保持力付与機構
22…第2保持力付与機構
HT…保持部
HT1…第1保持部
HT1A…第3保持部
HT1B…第4保持部
HT2…第2保持部
WK…保持対象物
WK1…基板
WK2…ウエハ
WL1…第1隔壁
WL2…第2隔壁
EA ... holding
Claims (2)
前記保持部に保持力を付与する保持力付与機構とを備え、
前記保持部は、第1隔壁によって、当該保持部を構成する4辺全てに内接する平面視円形状の第1保持部と、当該第1保持部に隣接する複数の第2保持部とに区画され、
前記保持力付与機構は、前記第1保持部および前記複数の第2保持部に、それぞれ独立して保持力を付与する第1保持力付与機構と第2保持力付与機構とを備えていることを特徴とする保持装置。 A holding mechanism having a holding portion having a square shape in plan view on a holding surface capable of holding a holding object;
A holding force applying mechanism for applying a holding force to the holding unit,
The holding part is divided into a first holding part having a circular shape in plan view inscribed in all four sides constituting the holding part and a plurality of second holding parts adjacent to the first holding part by the first partition. And
The holding force applying mechanism includes a first holding force applying mechanism and a second holding force applying mechanism that independently apply holding force to the first holding unit and the plurality of second holding units. A holding device.
前記第1保持力付与機構は、前記第3保持部および前記第4保持部に、それぞれ独立して保持力を付与する第3保持力付与機構と第4保持力付与機構とを備えていることを特徴とする請求項1に記載の保持装置。 The first holding portion is divided into a third holding portion and a fourth holding portion adjacent to each other by a second partition wall having one end and the other end at two locations on the circumferential portion constituting the first holding portion. And
The first holding force applying mechanism includes a third holding force applying mechanism and a fourth holding force applying mechanism for independently applying a holding force to the third holding unit and the fourth holding unit, respectively. The holding device according to claim 1.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018004954U JP3220364U (en) | 2018-12-19 | 2018-12-19 | Holding device |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018004954U JP3220364U (en) | 2018-12-19 | 2018-12-19 | Holding device |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
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JP3220364U true JP3220364U (en) | 2019-02-28 |
Family
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Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2018004954U Active JP3220364U (en) | 2018-12-19 | 2018-12-19 | Holding device |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3220364U (en) |
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2018
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