JP3214643U

JP3214643U - 基板の荷受けステージ

Info

Publication number: JP3214643U
Application number: JP2017004694U
Authority: JP
Inventors: 白井　明; 明白井
Original assignee: 株式会社シライテック
Priority date: 2017-10-16
Filing date: 2017-10-16
Publication date: 2018-02-01
Anticipated expiration: 2027-10-16
Also published as: CN208880373U; TWM569271U

Abstract

【課題】一台のステージで面積の異なる大判、中判、小判の基板を荷受けする基板の荷受けステージを提供する。【解決手段】座台１の上面中央に設けてある吸引小孔５付旋回テーブル４の両側にそれぞれエアー噴出孔９を有するセンタ側バー材６及び中間側バー材７、噴出兼吸引小孔１０を有する外側バー材８を並行状に並べると共に、それぞれが第１進退移動手段Ｂ、第２進退移動手段Ｃ、第３進退移動手段Ｄで単独走行する以外に、センタ側バー材６及び中間側バー材７がそれぞれ第１昇降手段１４、第２昇降手段１７により昇降し、この昇降と進退移動手段とで基板の大判、中判、小判の面積に応じて並列位置を入れ替えるようにして荷受けする。【選択図】図１

Description

この考案は、ガラスなどの加工を必要とする基板を荷受けするステージに関する。

液晶パネルや板ガラスなどの基板をステージ上に荷受けして、基板のエッジを回転研磨部材（回転砥石）により研磨することは、既に知られている（例えば、特許文献１及び２参照）。

また、ステージ（テーブル）上に荷受けした基板の辺縁にカッタホイールでスクライブすることも既に知られている（例えば、特許文献３参照）。

特許第５０４６７７５号公報特開２００６−１１０６４２号公報実用新案登録第３１９４１１７号公報

ところで、研磨やスクライブする基板の大きさは、（各辺縁の長さが）大・中・小と異なっている。
例えば、辺縁の寸法が、１５００ｍｍ×９００ｍｍ、１３００ｍｍ×９００ｍｍ、７００ｍｍ×６５０ｍｍなど異なる。

そして、辺縁研磨の基板にあっては、回転砥石により基板の辺縁を研磨するため、ステージ（テーブル）の周辺から基板の辺縁を突出する（はみ出す）ようにして、ステージ上に基板を荷受けする。

また、スクライブの際は、転動カッタのスクライブ圧で基板の辺縁が押し逃がされないように、ステージ上に基板を荷受けしなければならない。

すると、基板の寸法に適応したステージの寸法になるように対応するため、ステージの段取り（交換）作業が必要になる。

さらに、上記以外に荷受けする基板の平面積がステージの平面積より小さい場合、ステージの上面全面に点在的に設けてある基板の吸引体横周辺の小孔群が基板により閉鎖されないことになる。

すると、ステージ内の吸引力が低下して、基板の安定した吸引力が保障されないと共に、無閉鎖の小孔から研磨にともなう浮遊カレットが（ゴミなども）吸引されて目詰まりの原因にもなる。

そのため、基板の寸法に適応した寸法のステージの交換が必要になる。すなわち、ステージの段取り替えが必要になる。

この段取り作業にともない機械の稼働率が大幅に低下する問題が発生した。
そこで、この考案は、上述の問題を解決した基板の荷受けステージを提供することにある。

上記の課題を解決するために、この考案は、水平な座台と、この座台の上面中央から起立すると共に、旋回手段を介し旋回する支柱と、この支柱の上端に設けた供給基板の中心下面を保持する吸引手段付の旋回テーブルと、上記支柱の両側に並列複数本が一組となり、かつ上記支柱側中央から両側に両端の突出長さが順次長くなるセンタ側、中間側、外側の並列バー材と、上記センタ側及び中間側バー材の上記基板荷受け面に設けたエアーの噴出小孔群と、上記外側バー材の上記基板の荷受け面に設けたエアーの噴出兼吸引小孔群と、上記両外側バー材の両端から下方に突出する脚材と、この脚材の下端に設けた第１スライダをスライド自在に係合すると共に、上記座台上に上記バー材を横切るよう設けた第１レールと、上記中間側バー材の両端に上端を接続した第１昇降手段と、この第１昇降手段の下端に設けた第２スライダをスライド自在に係合すると共に、上記座台上に上記中間側バー材を横切るように設けた第２レールと、上記センタ側バー材の両端に上端を接続した第２昇降手段と、この第２昇降手段の下端に設けた第３スライダをスライド自在に係合すると共に、上記座台に上記センタ側バー材を横切るように設けた第３レールと、上記両外側バー材を接近、離反方向にスライドするように設けた第１進退移動手段と、上記両中間側バー材を接近、離反方向にスライドするように設けた第２進退移動手段と、上記両センタ側バー材を接近、離反方向にスライドするように設けた第３進退移動手段とからなる構成を採用する。

また、前記座台が、走行ガイド手段によりバー材の長手方向に進退走行するようにガイドすると共に、走行手段により上記座台が進退走行するようにし、また、前記座台の走行路の両側に左右の対向間隔が調整手段により調整でき、かつ昇降手段により上下方向に昇降することができる研磨回転砥石を設けた構成を採用する。

さらに、前記座台が、走行ガイド手段によりバー材の長手方向に進退走行するようにガイドすると共に、走行手段により前記座台が進退走行するようにし、上記走行ガイド手段の上方に横切る水平フレームを設けて、この水平フレームの両端間に設けてあるレールにスライダをスライド自在に係合し、このスライダが往復走行する走行手段を設け、上記スライダに昇降手段を介し昇降するスクライブカッタを設けた構成を採用する。

以上のように、この考案の基板の荷受けステージによれば、並列するセンタ側バー材、中間側バー材、及び外側バー材の選択使用、すなわち、同レベルのテーブルとセンタ側バー材と中間側バー材及び外側バー材の使用により大判な基板の荷受けが、またセンタ側バー材を下方に退避して同レベルのテーブルと外側バー材と中間側バー材とで中判な基板の荷受けが、さらに、中間側バー材及びセンタ側バー材を下方に退避させて同レベルのテーブルと外側バー材とで小判な基板の荷受けができるので、従来のように基板の大きさ、すなわち、大判、中判及び小判毎に応じたテーブルを入れ替える手数と、この手数にともない段取り替えにともなう大幅な稼働率の低下による不都合をなくする特有な効果がある。

そして、第１、第２、第３進退移動手段により並列する外側バー材の並列間隔、また並列する中間側バー材の並列間隔、さらに並列するセンタ側バー材の並列間隔を接近、離反スライドできるようにしてあるので、基板の対向辺縁の間隔に応じた調整ができて、基板を安定よく荷受けすることができる。

しかも、外側バー材に対して、中間側バー材及びセンタ側バー材を、第１、第２昇降手段で、低く退避させることができるので、外側バー材や中間側バー材の単独横行を阻害することがない。

そして、旋回手段付のテーブルによって基板のアライメントや基板の１８０°の旋回もできる。

また、ステージの座台を走行手段により進退走行させ、その走行路の両側に回転砥石を配置してあるので、ステージ上の荷受け基板の辺縁を砥石により研磨することができる。

さらに、ステージの辺縁に沿って水平なフレームを設けて、このフレームに設けてあるスライダを走行させながら、スライダのカッタで基板にスクライブラインをスクライブすることもできる。

この考案の実施形態を示す平面図である。同上の拡大正面図である。同上の一部切欠拡大正面図である。旋回テーブルの部分を示す一部切欠側面図である。中判な基板の荷受けを示す縦断拡大側面図である。同上の平面図である。小判な基板の荷受けを示す縦断拡大側面図である。同上の平面図である。大判、中判、小判の基板の荷受けを示す縦断正面図である。基板のエッジの研磨を示す拡大平面図である。同上の一部切欠拡大正面図である。小判な基板のエッジの研磨を示す一部切欠拡大正面図である。基板のスクライブを示す平面図である。同上の拡大正面図である。

次に、この考案の実施形態を添付図面に基づいて説明する。
第１の実施形態の図１から図１２に示す水平な座台１の上面中央には、旋回手段２により平面上で可逆回転する支柱３が起立させてある。

また、支柱３の上端には、供給されるガラスなどの基板Ａの下面中心部を上面で荷受けして吸引保持するテーブル４が設けてある。

上記の旋回手段２としては、モーターを可逆運転して、テーブル４を旋回させるもので、その旋回要因は、吸引保持基板Ａ上のマークをカメラ（図示省略）で読み取り、読み取りにともない基板Ａの辺の向きを正確な位置となるようにアライメントする以外に、所望辺縁の研磨やスクライブ加工などにともなうテーブル４と共に基板Ａを９０°旋回させることにある。

上記テーブル４の吸引保持機能としては、中空な吸引ボックスで、このボックスの頂壁に無数の小孔５群が設けてある。

さらに、支柱３の両側には、両端間の突出長さが、中央から外側に向かう程長くなる水平なセンタ側バー材６、中間側バー材７、外側バー材８が並列状に並べてあり、上記センタ側バー材６及び中間側バー材７の基板Ａの下面荷受け面には、エアーの噴射孔９が無数に設けてあり、上記外側バー材８の基板Ａの下面荷受け面には、エアーの噴出兼吸引小孔１０が無数に設けてある。

上記の目的を達成するために、センタ側バー材６、中間側バー材７、外側バー材８を中空な細長いボックスとして、センタ側バー材６及び中間側バー材７にエアーを圧送して基板Ａを浮上させる（この浮上は、基板Ａを搬入、搬出する際の板面保護と移送を容易にするため）ことにあり、外側バー材８にエアーを圧送して、外側バー材８から基板Ａを浮上（この浮上は、前述と同目的のため）と吸引にともない外側バー材８上に基板Ａを保持させることにある。

また、両外側バー材８の両端から下方に突出する脚材１１の下端にスライダ１２を設けて、このスライダ１２を座台１上で外側バー材８を横切るように設けてある第１レール１３にスライド自在に係合する。

さらに、中間側バー材７の両端に第１昇降手段１４を接続して、この第１昇降手段１４の下端に設けてあるスライダ１５を座台１上で中間側バー材７を横切るように設けてある第２レール１６にスライド自在に係合する。

また、センタ側バー材６の両端に第２昇降手段１７を接続して、この第２昇降手段１７の下端に設けてあるスライダ１８を座台１上でセンタ側バー材６を横切るように設けてある第３レール１９にスライド自在に係合する。

なお、上記の第１昇降手段１４及び第２昇降手段１７には、例えば図示の場合シリンダーが用いてある。
図中２０は、継ぎ足し部材である。

また、両外側バー材８同士を第１進退移動手段Ｂにより接近、離反スライドさせるようになっている。

さらに、両中間側バー材７同士を第２進退移動手段Ｃにより接近、離反スライドさせ、両センタ側バー材６同士を第３進退移動手段Ｄにより接近、離反スライドさせるようになっている。

上記の第１進退移動手段Ｂ、第２進退移動手段Ｃ及び第３進退移動手段Ｄは、例えば図示の場合、座台１上の軸受２１で両端をフリーに回転するように軸承すると共に、中間から片方端部と、中間からもう片方端部迄に設けた片方左ネジ、もう片方右ネジを設けた雄ネジ２２と、この雄ネジ２２の片端側に外側バー材８と同体の雌ネジ２３を、中間側バー材７と同体の雌ネジ２３をそれぞれねじ込むと共に、外側バー材８側の雄ネジ２２の片端、中間側バー材７側雄ネジ２２の片端、センタ側バー材６側の雄ネジ２２の片端にそれぞれ設けてあるモーター２４をそれぞれ可動ドライブすることで接近、離反スライドするように構成したが、限定されることなく、その他の構成により目的を達成するようにすることもできる。

なお、図示のように、センタ側バー材６、中間側バー材７及び外側バー材８の両端間中央のテーブル４と対向する面に、テーブル４の外周一部が嵌まり込む弧状の凹入部２５を設けておくことで、両センタ側バー材６や、両中間側バー材７、両外側バー材８の接近、すなわち、並列対向間隙を小さく、すなわち、近づけることができる。

上記のように構成すると、荷受けする基板Ａが大判な場合、図２、３、４及び図９の（イ）に示すように、第１昇降手段１４及び第２昇降手段１７の伸長作用により外側バー材８と同レベルの位置迄中間側バー材７及びセンタ側バー材６を図４に示すように上昇させておく。

この際、外側バー材８に対する中間側バー材７の並列間隔を、また中間側バー材７に対センタ側バー材６の並列間隔を、また外側バー材８やセンタ側バー材６の位置（荷受けに最適な）を、第１進退移動手段Ｂ、第２進退移動手段Ｃ、第３進退移動手段Ｄの作用によりスライドさせて調整する。

すると、並列する外側バー材８、中間側バー材７、センタ側バー材６及びテーブル４により大判な基板Ａを荷受け（図９の（イ）を参照）することができる（図２参照）。

また、荷受けする基板Ａが中判な場合、図５、６に示すように、第２昇降手段１７の収縮作用によりセンタ側バー材６を降下させて、センタ側への移動を必要とする場合のセンタ側バー材６と中間側バー材７の衝突を回避する。

すなわち、外側バー材８を長尺、中間側バー材７を中尺、そしてセンタ側バー材６を短尺にしてあるので、小判な基板Ａを中央に寄せた外側バー材８、８で荷受けする際、降下（第１昇降手段１４、第２昇降手段１７により）させた上側の中間側バー材７の下側にセンタ側バー材６を位置させて、外側バー材８、８のセンタ側スライドを妨げない（図９の（ハ）参照）。

しかして、第１進退移動手段Ｂ及び第２進退移動手段Ｃにより接近、離反方向に外側バー材８及び中間側バー材７の荷受け位置に移動する。

すると、図５、６に示すように、テーブル４と外側バー材８及び中間側バー材７とで中判な基板Ａを荷受けする（図５、６参照）。

さらに、荷受けする基板Ａが小判の場合、第１昇降手段１４及び第２昇降手段１７を作用させて、図７に示すように中間側バー材７及びセンタ側バー材６を降下させ、第２進退移動手段Ｃ及び第３進退移動手段Ｄを作用させながら、退避位置に中間側バー材７及びセンタ側バー材６を移動させる。

一方、両側の外側バー材８は、第１進退移動手段Ｂにより接近方向にスライドさせ、図９の（ハ）に示すように荷受け位置に両側の外側バー材８を移動する。

すると、図７に示すように、テーブル４と両側の外側バー材８とで小判な基板Ａを荷受けすることができる。

上述のように、基板Ａが大判から中判、小判に、また小判から中判、大判に変更しても、荷受けテーブルを大型、中型、小型から選択して運び込み、そして設置する大掛かりな作業や、大幅に稼働率が低下する不都合を、並列するセンタ側バー材６、中間側バー材７、外側バー材８の全部や選択の使用によりなくすることができる特有の効果がある。

この考案の第２の実施形態は、図１１、１２に示すように、前記の座台１が、走行ガイド手段Ｅにより外側バー材８の長手方向に進退走行するようにガイドされる。

上記のガイド手段Ｅは、例えば図示の場合、床面に敷設したレール３１と、このレール３１にスライド自在に係合するようにして、座台１の下面に配置したスライダ３２とで構成されている。

また、座台１は、進退走行手段Ｆにより進退走行するようになっている。
上記の進退走行手段Ｆとしては、例えば図示の場合、レール３１に平行して定位置で可逆回転する雄ネジ３３と、この雄ネジ３３を可逆駆動するモーター３４と、座台１の下面に支持させて雄ネジ３３にねじ込んだ雌ネジ３５とで構成されている。

さらに、座台１の走行路の両側には、左右の対向間隔が調整手段Ｇにより調整でき、かつ昇降手段Ｈにより上下方向に昇降することができる研磨回転砥石５３が設けてある。

上記の調整手段Ｇとしては、例えば図示の場合、座台１の両側で、レール３１に対し直角になるようベース３９上に設けた長尺なレール３６と、このレール３６にスライド自在に係合するよう下段スライド台３７の下面に設けたスライダ３８と、ベース３９にフリーに回転するよう軸承した雄ネジ４０と、この雄ネジ４０にねじ込んで下段スライド台３７に支持した雌ネジ４１と、雄ネジ４０を可逆駆動するモーター４２とで、上記下段スライド台３７が座台１に対し接近離反スライドし、また下段スライド台３７上にレール３６に並行するように設けた短尺なレール４３と、上段スライド台４４の下面に設けてレール４３にスライド自在に係合したスライダ４５と、下段スライド台３７にフリーに回転するように軸承した雄ネジ４６と、上段スライド台４４に支持して雄ネジ４６にねじ込んだ雌ネジ４７と、雄ネジ４６を可逆駆動するモーター４８とで、前述の下段スライド台３７のスライドストロークが大きく、上段スライド台４４のストロークが小さく調整できるようになっており、そして、上段スライド台４４に設けた縦レール４９と、縦レール４９に背面のスライダ５０をスライド自在に係合して上下方向にスライドするように設けたベース５１と、このベース５１に支持したモーター５２により回転するよう設けた回転砥石５３と、上段スライド台４４に支持させたモーター５４と、このモーター５４により可逆駆動する雄ネジ５５と、この雄ネジ５５にねじ込んでベース５１に支持させた雌ネジ５６とで構成したが、限定されず、その他の構成により目的を達成するようにしてもよい。

図中５７は、下段スライド台３７の座台１側コーナーに設けた盗み凹部で、この凹部５７により下段スライド台３７の座台１に向けてのスライド時モーター４１などに衝突することなくスライドさせることができる。

上記のように構成すると、進退走行手段Ｆにより前進方向に座台１を走行させながら、走行途中に上段スライド台４４の回転砥石５３によって、座台１上の基板Ａの並行二辺を研磨することができる。

座台１の後退に際し、旋回手段２により基板Ａを９０°旋回することで、基板Ａの残る二辺を回転砥石５３により研磨することができる。すなわち、四辺研磨できる。

なお、三辺研磨の際、片方の砥石５３を、上段スライド台４４、或いは下段スライド台３７を基板Ａの辺縁から離反するようにスライドさせるとよい。

なお、回転砥石５３は、図示の場合、荒研磨、中研磨、仕上げ研磨の三枚を直列状に並べたが、限定されない。

この考案の第３の実施形態は、図１３、１４に示すように、座台１の前進方向端の前方に水平なフレーム６１を設ける。
このフレーム６１は、定置式の門形フレームを使用する。

また、フレーム６１の両端間にレール６２にスライダ６３をスライド自在に係合する。
上記レール６２に対するスライダ６３のスライド自在な係合手段としては、例えば周知のようにレール６２の蟻条にスライダ６３の蟻溝（図示省略）を噛み合い状に嵌め合わせてある。

さらに、上記のスライダ６３は、走行手段６４により往復走行するようになっている。
上記の走行手段６４としては、例えば周知のように、リニアモーターを用いるとよい。

また、スライド６３には、昇降手段としての例えばシリンダ６５の作用により昇降するスクライブ用のカッタ６６が設けてある。

すると、シリンダ６５の作用によりカッタ６６を降下させて、走行手段６４によりカッタ６６を走行させることで、基板Ａの上面にスクライブする。

なお、図示（図１４参照）の場合、カッタ６６を有するスライダ６３を左右に並設して、カッタ６６の走行ストロークを短くして能率向上をはかるようにしたが、限定されない。

Ａ基板
Ｂ第１進退移動手段
Ｃ第２進退移動手段
Ｄ第３進退移動手段Ｄ
Ｅガイド手段
Ｆ進退走行手段
１座台
２旋回手段
３支柱
４テーブル
５小孔
６センタ側バー材
７中間側バー材
８外側バー材
９噴射孔
１０噴出兼吸引小孔
１１脚材
１２スライダ
１３第１レール
１４第１昇降手段
１５スライダ
１６第２レール
１７第２昇降手段
１８スライダ
１９第３レール
２０継ぎ足し部材
２１軸受
２２雄ネジ
２３雌ネジ
２４モーター
２５凹入部
３１レール
３２スライダ
３３雄ネジ
３４モーター
３５雌ネジ
３６レール
３７下段スライド台
３８スライダ
３９ベース
４０雄ネジ
４１雌ネジ
４２モーター
４３レール
４４上段スライド台
４５スライダ
４６雄ネジ
４７雌ネジ
４８モーター
４９縦レール
５０スライダ
５１ベース
５２モーター
５３回転砥石
５４モーター
５５雄ネジ
５６雌ネジ
５７凹部
６１フレーム
６２レール
６３スライダ
６４走行手段
６５シリンダ
６６カッタ

上記の課題を解決するために、この考案は、水平な座台と、この座台の上面中央から起立すると共に、旋回手段を介し旋回する支柱と、この支柱の上端に設けた供給基板の中心下面を保持する吸引手段付の旋回テーブルと、上記支柱の両側に並列複数本が一組となり、かつ上記支柱側中央から両側に両端の突出長さが順次長くなるセンタ側、中間側、外側の並列バー材と、上記センタ側及び中間側バー材の上記基板の荷受け面に設けたエアーの噴出小孔群と、上記外側バー材の上記基板の荷受け面に設けたエアーの噴出兼吸引小孔群と、上記両外側バー材の両端から下方に突出する脚材と、この脚材の下端に設けた第１スライダをスライド自在に係合すると共に、上記座台上に上記外側バー材を横切るよう設けた第１レールと、上記中間側バー材の両端に上端を接続した第１昇降手段と、この第１昇降手段の下端に設けた第２スライダをスライド自在に係合すると共に、上記座台上に上記中間側バー材を横切るように設けた第２レールと、上記センタ側バー材の両端に上端を接続した第２昇降手段と、この第２昇降手段の下端に設けた第３スライダをスライド自在に係合すると共に、上記座台に上記センタ側バー材を横切るように設けた第３レールと、上記両外側バー材を接近、離反方向にスライドするように設けた第１進退移動手段と、上記両中間側バー材を接近、離反方向にスライドするように設けた第２進退移動手段と、上記両センタ側バー材を接近、離反方向にスライドするように設けた第３進退移動手段とからなる構成を採用する。

Claims

水平な座台と、この座台の上面中央から起立すると共に、旋回手段を介し旋回する支柱と、この支柱の上端に設けた供給基板の中心下面を保持する吸引手段付の旋回テーブルと、上記支柱の両側に並列複数本が一組となり、かつ上記支柱側中央から両側に両端の突出長さが順次長くなるセンタ側、中間側、外側の並列バー材と、上記センタ側及び中間側バー材の上記基板荷受け面に設けたエアーの噴出小孔群と、上記外側バー材の上記基板の荷受け面に設けたエアーの噴出兼吸引小孔群と、上記両外側バー材の両端から下方に突出する脚材と、この脚材の下端に設けた第１スライダをスライド自在に係合すると共に、上記座台上に上記バー材を横切るよう設けた第１レールと、上記中間側バー材の両端に上端を接続した第１昇降手段と、この第１昇降手段の下端に設けた第２スライダをスライド自在に係合すると共に、上記座台上に上記中間側バー材を横切るように設けた第２レールと、上記センタ側バー材の両端に上端を接続した第２昇降手段と、この第２昇降手段の下端に設けた第３スライダをスライド自在に係合すると共に、上記座台に上記センタ側バー材を横切るように設けた第３レールと、上記両外側バー材を接近、離反方向にスライドするように設けた第１進退移動手段と、上記両中間側バー材を接近、離反方向にスライドするように設けた第２進退移動手段と、上記両センタ側バー材を接近、離反方向にスライドするように設けた第３進退移動手段とからなることを特徴とする基板の荷受けステージ。
前記座台が、走行ガイド手段によりバー材の長手方向に進退走行するようにガイドすると共に、走行手段により上記座台が進退走行するようにし、また、前記座台の走行路の両側に左右の対向間隔が調整手段により調整でき、かつ昇降手段により上下方向に昇降することができる研磨回転砥石を設けたことを特徴とする請求項１に記載の基盤の荷受けステージ。
前記座台が、走行ガイド手段によりバー材の長手方向に進退走行するようにガイドすると共に、走行手段により前記座台が進退走行するようにし、上記走行ガイド手段の上方に横切る水平フレームを設けて、この水平フレームの両端間に設けてあるレールにスライダをスライド自在に係合し、このスライダが往復走行する走行手段を設け、上記スライダに昇降手段を介し昇降するスクライブカッタを設けたことを特徴とする請求項１に記載の基板の荷受けステージ。