JP3213154U - シート剥離装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】単位時間当たりの剥離能力が大幅に低下することを防止することができるシート剥離装置を提供する。【解決手段】接着シートASが貼付された半導体ウエハWFを支持する支持手段20と、支持手段20に支持された半導体ウエハWFから接着シートASを剥離する剥離手段30と、支持手段20を清掃する清掃手段40と、剥離手段30と清掃手段40との間で支持手段20を移動させる移動手段50とを備え、支持手段20は、複数で構成されている。【選択図】図1
Description
本考案は、シート剥離装置に関する。
従来、半導体ウエハ(以下、単に「ウエハ」ともいう)に貼付された接着シートを剥離するシート剥離装置が知られている(例えば、特許文献1参照)。
しかしながら、特許文献1に記載されたような従来のシート剥離装置では、支持手段11(支持手段)の支持面上を清掃する清掃手段を設けた場合、当該清掃手段による清掃が完了するまで次のウエハW(ウエハ)を支持面上にセットできないため、単位時間当たりにウエハから接着シートS(接着シート)を剥離する剥離能力が大幅に低下するという不都合を発生する。
本考案の目的は、単位時間当たりの剥離能力が大幅に低下することを防止することができるシート剥離装置を提供することにある。
本考案は、請求項に記載した構成を採用した。
本考案によれば、支持手段を複数で構成したので、1の支持手段で支持したウエハから接着シートを剥離手段で剥離する動作中に、他の支持手段を清掃手段で清掃する動作を行うことができるので、単位時間当たりの剥離能力が大幅に低下することを防止することができる。
以下、本考案の一実施形態を図面に基づいて説明する。
なお、本実施形態におけるX軸、Y軸、Z軸は、それぞれが直交する関係にあり、X軸およびY軸は、所定平面内の軸とし、Z軸は、前記所定平面に直交する軸とする。さらに、本実施形態では、Y軸と平行な図1の手前方向から観た場合を基準とし、図を指定することなく方向を示した場合、「上」がZ軸の矢印方向で「下」がその逆方向、「左」がX軸の矢印方向で「右」がその逆方向、「前」がY軸と平行な図1中手前方向で「後」がその逆方向とする。
なお、本実施形態におけるX軸、Y軸、Z軸は、それぞれが直交する関係にあり、X軸およびY軸は、所定平面内の軸とし、Z軸は、前記所定平面に直交する軸とする。さらに、本実施形態では、Y軸と平行な図1の手前方向から観た場合を基準とし、図を指定することなく方向を示した場合、「上」がZ軸の矢印方向で「下」がその逆方向、「左」がX軸の矢印方向で「右」がその逆方向、「前」がY軸と平行な図1中手前方向で「後」がその逆方向とする。
シート剥離装置10は、接着シートASが貼付されたウエハWFを支持する支持手段20と、支持手段20に支持されたウエハWFから接着シートASを剥離する剥離手段30と、支持手段20を清掃する清掃手段40と、剥離手段30と清掃手段40との間で支持手段20を移動させる移動手段50とを備えている。
支持手段20は、第1支持手段21と第2支持手段22との複数で構成されている。
第1支持手段21は、上面が支持面21Bとされた第1支持テーブル21Aと、支持面21Bに吸着力を付与する減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段とを備えている。
第2支持手段22は、上面が支持面22Bとされた第2支持テーブル22Aと、支持面22Bに吸着力を付与する減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段とを備えている。
第1支持手段21は、上面が支持面21Bとされた第1支持テーブル21Aと、支持面21Bに吸着力を付与する減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段とを備えている。
第2支持手段22は、上面が支持面22Bとされた第2支持テーブル22Aと、支持面22Bに吸着力を付与する減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段とを備えている。
剥離手段30は、帯状の剥離用接着シートASRを支持する支持ローラ31と、剥離用接着シートASRを案内するガイドローラ32と、駆動機器としての直動モータ33の出力軸33Aに回転可能に支持された剥離ローラ34と、駆動機器としての回動モータ35Aによって駆動する駆動ローラ35との間に剥離用接着シートASRを挟み込むピンチローラ36と、駆動機器としての回動モータ37Aによって駆動し、剥離用接着シートASRを回収する回収ローラ37とを備えている。
清掃手段40は、下面に吸引口41Aが形成された吸引ケース41と、吸引口41Aに吸引力を付与する減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段とを備え、第1、第2支持手段21、22の支持面21B、22Bを清掃するようになっている。
移動手段50は、第1支持手段21を移動させる第1移動手段51と、第2支持手段22を移動させる第2移動手段52とを備えている。
第1移動手段51は、駆動機器としての第1X軸リニアモータ51Aと、そのスライダ51Bに支持された駆動機器としての第1Z軸リニアモータ51Cと、そのスライダ51Dに支持され、第1支持手段21を支持する第1支持アーム51Eとを備え、第1支持手段21の手前側から当該第1支持手段21を支持している
第2移動手段52は、駆動機器としての第2X軸リニアモータ52Aと、そのスライダ52Bに支持された駆動機器としての第2Z軸リニアモータ52Cと、そのスライダ52Dに支持され、第2支持手段22を支持する第2支持アーム52Eとを備え、第2支持手段22の後方側から当該第2支持手段22を支持している。
第1移動手段51は、駆動機器としての第1X軸リニアモータ51Aと、そのスライダ51Bに支持された駆動機器としての第1Z軸リニアモータ51Cと、そのスライダ51Dに支持され、第1支持手段21を支持する第1支持アーム51Eとを備え、第1支持手段21の手前側から当該第1支持手段21を支持している
第2移動手段52は、駆動機器としての第2X軸リニアモータ52Aと、そのスライダ52Bに支持された駆動機器としての第2Z軸リニアモータ52Cと、そのスライダ52Dに支持され、第2支持手段22を支持する第2支持アーム52Eとを備え、第2支持手段22の後方側から当該第2支持手段22を支持している。
以上のシート剥離装置10の動作を説明する。
先ず、各部材が図1中実線で示す初期位置で待機しているシート剥離装置10に対し、当該シート剥離装置10の使用者(以下、単に「使用者」という)が剥離用接着シートASRを同図のようにセットした後、操作パネルやパーソナルコンピュータ等の図示しない操作手段を介して自動運転開始の信号を入力する。次いで、使用者または駆動機器やコンベア等の図示しない搬送手段が図1に示すように、接着シートASが貼付されたウエハWFを第1支持テーブル21A上に載置すると、支持手段20が図示しない減圧手段を駆動し、支持面21BでのウエハWFの吸着保持を開始する。その後、本実施形態のシート剥離装置10は、第1支持テーブル21Aで支持したウエハWFから接着シートASを剥離する「剥離動作」と、第2支持テーブル22Aの支持面22Bを清掃する「清掃動作」とを同時進行させる。すなわち、第1支持テーブル21AでのウエハWFの吸着保持が開始されると、移動手段50が第1X軸リニアモータ51Aおよび第2Z軸リニアモータ52Cを駆動し、第1支持テーブル21Aを左方へ移動させるとともに、第2支持テーブル22Aを下降させる。
先ず、各部材が図1中実線で示す初期位置で待機しているシート剥離装置10に対し、当該シート剥離装置10の使用者(以下、単に「使用者」という)が剥離用接着シートASRを同図のようにセットした後、操作パネルやパーソナルコンピュータ等の図示しない操作手段を介して自動運転開始の信号を入力する。次いで、使用者または駆動機器やコンベア等の図示しない搬送手段が図1に示すように、接着シートASが貼付されたウエハWFを第1支持テーブル21A上に載置すると、支持手段20が図示しない減圧手段を駆動し、支持面21BでのウエハWFの吸着保持を開始する。その後、本実施形態のシート剥離装置10は、第1支持テーブル21Aで支持したウエハWFから接着シートASを剥離する「剥離動作」と、第2支持テーブル22Aの支持面22Bを清掃する「清掃動作」とを同時進行させる。すなわち、第1支持テーブル21AでのウエハWFの吸着保持が開始されると、移動手段50が第1X軸リニアモータ51Aおよび第2Z軸リニアモータ52Cを駆動し、第1支持テーブル21Aを左方へ移動させるとともに、第2支持テーブル22Aを下降させる。
次に、第1支持テーブル21Aが左方へ移動し、図2(A)中実線で示すように、ウエハWFに貼付された接着シートASの左端部が剥離ローラ34の最下端部直下に到達すると、移動手段50が第1X軸リニアモータ51Aの駆動を停止する。そして、剥離手段30が直動モータ33を駆動し、剥離ローラ34を下降させて剥離用接着シートASRを接着シートASの左端部に貼付した後、移動手段50および剥離手段30が第1X軸リニアモータ51Aおよび回動モータ35A、37Aを駆動し、図2(A)中二点鎖線で示すように、第1支持テーブル21Aを左方へ移動させる移動速度に合わせて剥離用接着シートASRを回収ローラ37で巻き取り、接着シートASをウエハWFから剥離する。次いで、ウエハWFから接着シートAS全体が剥離されると、剥離手段30が直動モータ33を駆動し、剥離ローラ34を初期位置に復帰させた後、回動モータ35A、37Aの駆動を停止する。その後、第1支持テーブル21Aが第2支持テーブル22Aの初期位置に到達すると、移動手段50が第1X軸リニアモータ51Aの駆動および図示しない減圧手段の駆動を停止した後、使用者または図示しない搬送手段がウエハWFを保持し、当該ウエハWFを次工程に搬送する。
一方、第2支持テーブル22Aが下降し、その支持面22Bが吸引ケース41の下面よりも所定距離下方に到達すると、移動手段50が第2Z軸リニアモータ52Cの駆動を停止した後、第2X軸リニアモータ52Aを駆動し、第2支持テーブル22Aを右方へ移動させる。次に、第2支持テーブル22Aが吸引ケース41の左下方所定位置に到達すると、清掃手段40が図示しない減圧手段を駆動し、吸引口41Aでの吸引を開始する。その後も第2支持テーブル22Aの右方への移動が続行されると、図2(A)に示すように、支持面22B上に存在する塵や埃等の塵埃が清掃手段40で除去され、当該支持面22Bの清掃が行われる。そして、支持面22B全体の清掃が完了すると、清掃手段40が図示しない減圧手段の駆動を停止し、第2支持テーブル22Aが第1支持テーブル21Aの初期位置の下方所定位置に到達すると、移動手段50が第2X軸リニアモータ52Aの駆動を停止する。次いで、移動手段50が第2Z軸リニアモータ52Cを駆動し、第2支持テーブル22Aを第1支持テーブル21Aの初期位置に配置する。
以上のように剥離動作と清掃動作とが同時進行で行われた後は、使用者または図示しない搬送手段が接着シートASが貼付されたウエハWFを第2支持テーブル22A上に載置し、図2(B)に示すように、第2支持テーブル22Aは、上記同様の剥離動作によって初期位置に復帰し、第1支持テーブル21Aは、上記同様の清掃動作によって初期位置に復帰する。そして、以降、上記同様の動作が繰り返される。
以上のようなシート剥離装置10によれば、支持手段20を複数で構成したので、第1支持手段21で支持したウエハWFから接着シートASを剥離手段30で剥離する動作中に、第2支持手段22の支持面22Bを清掃手段40で清掃する動作を行うことができるので、単位時間当たりの剥離能力が大幅に低下することを防止することができる。
本考案における手段および工程は、それら手段および工程について説明した動作、機能または工程を果たすことができる限りなんら限定されることはなく、まして、前記実施形態で示した単なる一実施形態の構成物や工程に全く限定されることはない。例えば、剥離手段は、支持手段に支持された半導体ウエハから接着シートを剥離可能なものであれば、出願当初の技術常識に照らし合わせ、その技術範囲内のものであればなんら限定されることはない(その他の手段および工程も同じ)。
支持手段20は、メカチャックやチャックシリンダ等の把持手段、クーロン力、接着剤、粘着剤、磁力、ベルヌーイ吸着、駆動機器等で接着シートASが貼付されたウエハWFを支持する構成でもよいし、第3支持手段、第4支持手段といった3体以上の複数で構成されていてもよく、この場合、剥離手段30と清掃手段40との間で3体以上の支持手段20を移動させることができる移動手段を採用すればよい。
剥離手段30は、剥離ローラ34が昇降しない構成としてもよいし、メカチャックやチャックシリンダ等の把持手段、クーロン力、磁力、吸引吸着、ベルヌーイ吸着、駆動機器等で接着シートASを保持して剥離する構成でもよいし、枚葉の剥離用接着シートASRを接着シートASに貼付し、当該枚葉の剥離用接着シートASRに張力を付与してウエハWFから接着シートASを剥離する構成としてもよいし、支持手段20を移動させずにまたは移動させつつ、自身(剥離手段30)を移動させてウエハWFから接着シートASを剥離する構成としてもよい。
清掃手段40は、例えば、第1、第2支持テーブル21A、22Aの側面や下面等、第1、第2支持手段21、22の支持面21B、22B以外の部位を清掃する構成でもよいし、加圧ポンプやタービン等の加圧手段で支持面21B、22B上の塵埃を吹き飛ばしたり、接着シートや粘着シート等の付着部材を支持面21B、22B上に接着させて支持面21B、22B上の塵埃を当該付着部材に転写させたり、ブラシ部材やはけ状の部材等の掃い部材で支持面21B、22B上の塵埃を掃い落したり、支持面21B、22B上を水洗いや洗剤洗いしたり、それらを適宜に組み合わせたりして支持面21B、22Bを清掃する構成としてもよい。
移動手段50は、剥離用接着シートASRを接着シートASの左端部に貼付する際、剥離ローラ34を下降させずにまたは下降させつつ、第1支持テーブル21A(第2支持テーブル22A)を上昇させてもよいし、剥離ローラ34および第1支持テーブル21A(第2支持テーブル22A)の両方を昇降させなくてもよい。
シート剥離装置10は、剥離動作と清掃動作とを同時進行される際、支持面21BでウエハWFの吸着保持を開始するタイミングに合わせて、第2支持テーブル22Aの移動を開始させたり、ウエハWFに貼付された接着シートASの左端部が剥離ローラ34の最下端部直下に到達し、第1X軸リニアモータ51Aの駆動を停止したタイミングに合わせて、第2支持テーブル22Aの移動を開始させたりしてもよく、一方の支持手段で支持したウエハWFから接着シートASを剥離する剥離動作中に、他方の支持手段の支持面の清掃動作を行うことができればどのようなタイミングでもよく、剥離動作の完了と清掃動作の完了とが同じタイミングでもよいし、剥離動作が完了する前に清掃動作が完了していてもよいし、剥離動作が完了した後に清掃動作が完了していてもよいし、第1、第2支持テーブル21A、22Aの初期位置も前記実施形態で示した位置でなくてもよいし、天地反転して配置したり横置きに配置したりして、ウエハWFの下面や側面等に貼付された接着シートASを剥離するように構成してもよい。
本考案における接着シートAS、剥離用接着シートASRおよびウエハWFの材質、種別、形状等は、特に限定されることはない。例えば、接着シートAS、剥離用接着シートASRおよびウエハWFは、例えば、円形状、楕円形状、三角形状や四角形状等の多角形状、その他の形状であってもよいし、接着シートASおよび剥離用接着シートASRは、感圧接着性、感熱接着性等の接着形態のものであってもよく、感熱接着性のものが採用された場合は、コイルヒータやヒートパイプの加熱側等の加熱手段で加熱して接着すればよい。また、接着シートASおよび剥離用接着シートASRは、例えば、接着剤層だけの単層のもの、基材と接着剤層との間に中間層を有するもの、基材の上面にカバー層を有する等3層以上のもの、更には、基材を接着剤層から剥離することのできる所謂両面接着シートのようなものであってもよく、そのような両面接着シートは、単層又は複層の中間層を有するものや、中間層のない単層又は複層のものであってもよい。また、ウエハWFとしては、例えば、シリコン半導体ウエハや化合物半導体ウエハ等の半導体ウエハ、半導体チップであってもよい。なお、接着シートASは、機能的、用途的な読み方に換え、例えば、保護シート、ダイシングテープ、ダイアタッチフィルム、ダイボンディングテープ、記録層形成樹脂シート等の任意のシート、フィルム、テープ等でもよい。
前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダおよびロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる。
前記実施形態において、ローラ等の回転部材が採用されている場合、当該回転部材を回転駆動させる駆動機器を備えてもよいし、回転部材の表面や回転部材自体をゴムや樹脂等の変形可能な部材で構成してもよいし、回転部材の表面や回転部材自体を変形しない部材で構成してもよいし、剥離ローラや押圧ヘッド等の押圧手段や押圧部材といった被押圧物を押圧するものが採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、ローラ、丸棒、ブレード材、ゴム、樹脂、スポンジ等の部材を採用したり、大気やガス等の気体の吹き付けにより押圧する構成を採用したりしてもよいし、押圧するものをゴムや樹脂等の変形可能な部材で構成してもよいし、変形しない部材で構成してもよい。
前記実施形態において、ローラ等の回転部材が採用されている場合、当該回転部材を回転駆動させる駆動機器を備えてもよいし、回転部材の表面や回転部材自体をゴムや樹脂等の変形可能な部材で構成してもよいし、回転部材の表面や回転部材自体を変形しない部材で構成してもよいし、剥離ローラや押圧ヘッド等の押圧手段や押圧部材といった被押圧物を押圧するものが採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、ローラ、丸棒、ブレード材、ゴム、樹脂、スポンジ等の部材を採用したり、大気やガス等の気体の吹き付けにより押圧する構成を採用したりしてもよいし、押圧するものをゴムや樹脂等の変形可能な部材で構成してもよいし、変形しない部材で構成してもよい。
10…シート剥離装置
20…支持手段
21B、22B…支持面
30…剥離手段
40…清掃手段
50…移動手段
AS…接着シート
WF…半導体ウエハ
20…支持手段
21B、22B…支持面
30…剥離手段
40…清掃手段
50…移動手段
AS…接着シート
WF…半導体ウエハ
Claims (1)
- 接着シートが貼付された半導体ウエハを支持する支持手段と、
前記支持手段に支持された前記半導体ウエハから前記接着シートを剥離する剥離手段と、
前記支持手段を清掃する清掃手段と、
前記剥離手段と清掃手段との間で前記支持手段を移動させる移動手段とを備え、
前記支持手段は、複数で構成されていることを特徴とするシート剥離装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017003705U JP3213154U (ja) | 2017-08-10 | 2017-08-10 | シート剥離装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017003705U JP3213154U (ja) | 2017-08-10 | 2017-08-10 | シート剥離装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP3213154U true JP3213154U (ja) | 2017-10-19 |
Family
ID=60107511
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2017003705U Active JP3213154U (ja) | 2017-08-10 | 2017-08-10 | シート剥離装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3213154U (ja) |
-
2017
- 2017-08-10 JP JP2017003705U patent/JP3213154U/ja active Active
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