JP3213094B2 - 定寸装置付き平面研磨装置 - Google Patents
定寸装置付き平面研磨装置Info
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- JP3213094B2 JP3213094B2 JP34112192A JP34112192A JP3213094B2 JP 3213094 B2 JP3213094 B2 JP 3213094B2 JP 34112192 A JP34112192 A JP 34112192A JP 34112192 A JP34112192 A JP 34112192A JP 3213094 B2 JP3213094 B2 JP 3213094B2
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- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、研磨加工中のワークの
厚さが設定値と等しくなったときに定寸装置で加工を自
動的に停止させるようにした、定寸装置付き平面研磨装
置に関するものである。
厚さが設定値と等しくなったときに定寸装置で加工を自
動的に停止させるようにした、定寸装置付き平面研磨装
置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】この種の定寸装置付き平面研磨装置とし
て、例えば特公昭６４−４１２６号公報に開示されてい
るように、同軸状に配設された太陽歯車及び内歯歯車
と、これら両歯車と噛合して遊星歯車状に駆動されるワ
ーク保持用キャリヤと、該キャリヤに保持されたワーク
を両側から挟んで研磨する駆動回転自在の上定盤及び下
定版と、上定盤の変移をプローブにより検出し、その変
移量をワークの厚さに変換して設定値と比較し、その厚
さが設定値と等しくなったところで加工を停止する定寸
装置とを備えたものが公知であり、上記プローブを、上
定盤を支持する定盤吊りの下面中心部に接触させ、該定
盤吊りの変移を上定盤の変移として検出するようにして
いる。
て、例えば特公昭６４−４１２６号公報に開示されてい
るように、同軸状に配設された太陽歯車及び内歯歯車
と、これら両歯車と噛合して遊星歯車状に駆動されるワ
ーク保持用キャリヤと、該キャリヤに保持されたワーク
を両側から挟んで研磨する駆動回転自在の上定盤及び下
定版と、上定盤の変移をプローブにより検出し、その変
移量をワークの厚さに変換して設定値と比較し、その厚
さが設定値と等しくなったところで加工を停止する定寸
装置とを備えたものが公知であり、上記プローブを、上
定盤を支持する定盤吊りの下面中心部に接触させ、該定
盤吊りの変移を上定盤の変移として検出するようにして
いる。
【０００３】ところが、上記上定盤は、昇降用シリンダ
のピストンロッドに自動調芯軸受を介して取り付けられ
た定盤吊りに、該定盤吊りから垂下する複数のスタッド
及び該スタッドの下端の中継プレートを介して支持され
ているため、上記自動調芯軸受の振動がそのまま定盤吊
りに伝わったり、スタッドの加圧に伴う歪によって上定
盤の変移が定盤吊りに正確に伝わりにくい等の問題があ
り、このため、定盤吊りの変移をプローブで検出して
も、上定盤の変移として正確に検出することはできず、
図４に示す実験結果からも分るように、自動定寸による
ワークの仕上り寸法と設定値との間に±５μｍもの大き
な誤差が生じることがあり、製品によっては誤差の範囲
が±１〜２μｍ以下でなければならないこの種の平面研
磨においては、定寸精度に問題があった。また、加工中
にプローブの測定値を表示するメータの数値が常に１０
〜３０μm の間を変動して定まりにくく、どの辺で自動
定寸が働いたのかを読み取ることも困難であった。
のピストンロッドに自動調芯軸受を介して取り付けられ
た定盤吊りに、該定盤吊りから垂下する複数のスタッド
及び該スタッドの下端の中継プレートを介して支持され
ているため、上記自動調芯軸受の振動がそのまま定盤吊
りに伝わったり、スタッドの加圧に伴う歪によって上定
盤の変移が定盤吊りに正確に伝わりにくい等の問題があ
り、このため、定盤吊りの変移をプローブで検出して
も、上定盤の変移として正確に検出することはできず、
図４に示す実験結果からも分るように、自動定寸による
ワークの仕上り寸法と設定値との間に±５μｍもの大き
な誤差が生じることがあり、製品によっては誤差の範囲
が±１〜２μｍ以下でなければならないこの種の平面研
磨においては、定寸精度に問題があった。また、加工中
にプローブの測定値を表示するメータの数値が常に１０
〜３０μm の間を変動して定まりにくく、どの辺で自動
定寸が働いたのかを読み取ることも困難であった。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】本発明の課題は、定盤
の変移を正確に検出して高精度の定寸を行うことができ
る定寸装置付き平面研磨装置を提供することにある。
の変移を正確に検出して高精度の定寸を行うことができ
る定寸装置付き平面研磨装置を提供することにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
本発明は、同軸状に配設された太陽歯車及び内歯歯車
と、これら両歯車と噛合して遊星歯車状に駆動されるワ
ーク保持用キャリヤと、該キャリヤに保持されたワーク
を両側から挟んで研磨する上定盤及び下定盤と、上定盤
の変移量をプローブにより検出して、その変移量をワー
クの厚さとして設定値と比較し、その厚さが設定値と等
しくなったところで加工を停止する定寸装置とを備え、
上記上定盤が、昇降自在のロッドの下端に自動調芯軸受
を介して取り付けられた定盤吊りに、該定盤吊りから垂
下する複数のスタッド及び該スタッドの下端に固定され
た中継プレートを介して取り付けられている定寸装置付
き平面研磨装置において、上記スタッドの下端に固定さ
れた中継プレートに、該スタッド及び定盤吊りと非接触
の状態に検出用プレートを取り付け、該検出用プレート
を介してプローブにより上定盤の変移を検出するものと
して構成したことを特徴とするものである。
本発明は、同軸状に配設された太陽歯車及び内歯歯車
と、これら両歯車と噛合して遊星歯車状に駆動されるワ
ーク保持用キャリヤと、該キャリヤに保持されたワーク
を両側から挟んで研磨する上定盤及び下定盤と、上定盤
の変移量をプローブにより検出して、その変移量をワー
クの厚さとして設定値と比較し、その厚さが設定値と等
しくなったところで加工を停止する定寸装置とを備え、
上記上定盤が、昇降自在のロッドの下端に自動調芯軸受
を介して取り付けられた定盤吊りに、該定盤吊りから垂
下する複数のスタッド及び該スタッドの下端に固定され
た中継プレートを介して取り付けられている定寸装置付
き平面研磨装置において、上記スタッドの下端に固定さ
れた中継プレートに、該スタッド及び定盤吊りと非接触
の状態に検出用プレートを取り付け、該検出用プレート
を介してプローブにより上定盤の変移を検出するものと
して構成したことを特徴とするものである。
【０００６】
【作用】上定盤の変移が検出用プレートを介してプロー
ブにより検出され、その変移量がワークの厚さに変換さ
れて設定値と比較され、厚さが設定値と等しくなったと
ころで定寸装置が働いて加工が停止する。
ブにより検出され、その変移量がワークの厚さに変換さ
れて設定値と比較され、厚さが設定値と等しくなったと
ころで定寸装置が働いて加工が停止する。
【０００７】このとき、上記検出用プレートが、上定盤
に固定された中継プレートにスタッド及び定盤吊りと無
関係の状態に取り付けられているから、該検出用プレー
トに自動調芯軸受や定盤吊りの振動が伝わったり、スタ
ッドの加圧に伴う歪の影響が及ぶようなことがなく、こ
のため、該検出用プレートを介して上定盤の変移を正確
に検出することができ、これにより高精度の定寸を行う
ことができる。
に固定された中継プレートにスタッド及び定盤吊りと無
関係の状態に取り付けられているから、該検出用プレー
トに自動調芯軸受や定盤吊りの振動が伝わったり、スタ
ッドの加圧に伴う歪の影響が及ぶようなことがなく、こ
のため、該検出用プレートを介して上定盤の変移を正確
に検出することができ、これにより高精度の定寸を行う
ことができる。
【０００８】
【実施例】以下、本発明の一実施例を図面を参照しなが
ら詳細に説明するに、図１に示す平面研磨装置は、同軸
状に位置する上下の定盤１，２と太陽歯車３及び内歯歯
車４を備え、両歯車３，４で遊星歯車状に駆動されるキ
ャリヤ５に保持させたワーク６を、上下の定盤１，２で
両側から挟んで研磨するものである。
ら詳細に説明するに、図１に示す平面研磨装置は、同軸
状に位置する上下の定盤１，２と太陽歯車３及び内歯歯
車４を備え、両歯車３，４で遊星歯車状に駆動されるキ
ャリヤ５に保持させたワーク６を、上下の定盤１，２で
両側から挟んで研磨するものである。
【０００９】上記下定盤２と太陽歯車３及び内歯歯車４
は、同軸状に配設された駆動軸８，９，１０上にそれぞ
れ取り付けられ、各駆動軸の下端の歯車を介して駆動装
置２０に連結されており、一方、上定盤１は、機体に取
り付けられた昇降用シリンダ１２のロッド１３に、上定
盤１に加圧力を作用させる加圧用シリンダ１４、該加圧
用シリンダから延出する加圧ロッド１５、該加圧ロッド
の下端に自動調芯軸受１６を介して取り付けられた定盤
吊り１７、該定盤吊りから垂下する複数のスタッド１
８、及び該スタッドの下端に固定された中継プレート１
９を介して取り付けられ、図示の下降位置において中継
プレート１９上の係止部材２１が駆動軸１１の上端のド
ライバ１１ａに係合し、該ドライバ１１ａを介して上記
駆動装置２０により駆動されるようになっている。
は、同軸状に配設された駆動軸８，９，１０上にそれぞ
れ取り付けられ、各駆動軸の下端の歯車を介して駆動装
置２０に連結されており、一方、上定盤１は、機体に取
り付けられた昇降用シリンダ１２のロッド１３に、上定
盤１に加圧力を作用させる加圧用シリンダ１４、該加圧
用シリンダから延出する加圧ロッド１５、該加圧ロッド
の下端に自動調芯軸受１６を介して取り付けられた定盤
吊り１７、該定盤吊りから垂下する複数のスタッド１
８、及び該スタッドの下端に固定された中継プレート１
９を介して取り付けられ、図示の下降位置において中継
プレート１９上の係止部材２１が駆動軸１１の上端のド
ライバ１１ａに係合し、該ドライバ１１ａを介して上記
駆動装置２０により駆動されるようになっている。
【００１０】上記駆動軸１１の内部上端には、図２から
も分るように、定寸装置のプローブ２５が取り付けられ
ている。この定寸装置は、研磨の進行と共に下降してい
く上定盤１の変移量を上記プローブ２５により検出し、
その変移量をワーク６の厚さとして、制御装置２６に予
め入力されている設定値Ｔ（図１）と比較し、厚さが設
定値と等しくなったところで自動的に加工を停止するも
ので、上記プローブ２５により上定盤１の変移量を検出
できるようにするため、該上定盤１が固定されている中
継プレート１９上の係止部材２１と競合しない位置に、
定盤吊り１７から垂下するスタッド１８とは別の相対す
る一対の支柱２８，２８を立設して、これらの支柱２
８，２８間に定盤吊り１７と接触しないように検出用プ
レート２９を取り付け、該検出用プレート２９の中央部
下面に固定したチップ３０に上記プローブ２５の触針２
５ａの先端を接触させている。
も分るように、定寸装置のプローブ２５が取り付けられ
ている。この定寸装置は、研磨の進行と共に下降してい
く上定盤１の変移量を上記プローブ２５により検出し、
その変移量をワーク６の厚さとして、制御装置２６に予
め入力されている設定値Ｔ（図１）と比較し、厚さが設
定値と等しくなったところで自動的に加工を停止するも
ので、上記プローブ２５により上定盤１の変移量を検出
できるようにするため、該上定盤１が固定されている中
継プレート１９上の係止部材２１と競合しない位置に、
定盤吊り１７から垂下するスタッド１８とは別の相対す
る一対の支柱２８，２８を立設して、これらの支柱２
８，２８間に定盤吊り１７と接触しないように検出用プ
レート２９を取り付け、該検出用プレート２９の中央部
下面に固定したチップ３０に上記プローブ２５の触針２
５ａの先端を接触させている。
【００１１】上記プローブ２５は、磁気スケール等から
なる接触式のもので、検出用プレート２９に接触する上
記触針２５ａの変移を該検出用プレート２９の変移とし
て電気信号に変換して取り出すものであるが、エアゲー
ジ等の非接触式のプローブを使用することもできる。ま
た、図示した実施例では、検出用プレート２９にチップ
３０を介してプローブ２５の触針２５ａを接触させてい
るが、このようなチップ３０を設けることなく、検出用
プレート２９にプローブ２５を直接接触させるか又は対
向させて（非接触式の場合）、上定盤の変移を検出する
ようにしても良い。なお、図中３１はばね座を兼ねるカ
バー、３２は触針２５ａをチップ３０に当接する方向に
付勢するばねを示している。エアゲージ
なる接触式のもので、検出用プレート２９に接触する上
記触針２５ａの変移を該検出用プレート２９の変移とし
て電気信号に変換して取り出すものであるが、エアゲー
ジ等の非接触式のプローブを使用することもできる。ま
た、図示した実施例では、検出用プレート２９にチップ
３０を介してプローブ２５の触針２５ａを接触させてい
るが、このようなチップ３０を設けることなく、検出用
プレート２９にプローブ２５を直接接触させるか又は対
向させて（非接触式の場合）、上定盤の変移を検出する
ようにしても良い。なお、図中３１はばね座を兼ねるカ
バー、３２は触針２５ａをチップ３０に当接する方向に
付勢するばねを示している。エアゲージ
【００１２】上記構成を有する平面研磨装置において
は、ワーク６の研磨加工に先立ち、定寸装置の零点調節
が行われると共に、ワークの仕上げ厚さが制御装置２６
に目標値として設定される。上記零点調節は、上下の定
盤１，２間にワーク６を装填しない状態で上定盤１を最
下点まで下降させ、プローブ２５が検出したその時の上
定盤１の位置を零点に設定することにより行われる。
は、ワーク６の研磨加工に先立ち、定寸装置の零点調節
が行われると共に、ワークの仕上げ厚さが制御装置２６
に目標値として設定される。上記零点調節は、上下の定
盤１，２間にワーク６を装填しない状態で上定盤１を最
下点まで下降させ、プローブ２５が検出したその時の上
定盤１の位置を零点に設定することにより行われる。
【００１３】ワーク６の研磨加工は、公知の平面研磨装
置と同様に、上定盤１を上昇させた状態で各キャリヤ５
にワーク６を保持させ、上定盤１を下降させてワーク６
を下定盤２との間に挟むと共に、該ワーク６に所要の加
工圧を作用させ、その状態で両歯車３，４及び両定盤
１，２を所定の方向及び速度で回転させることにより行
われる。このとき上定盤１は、研磨の進行と共に僅かず
つ変移（下降）していくが、その変移量が検出用プレー
ト２９を介してプローブ２５により検出され、検出され
た変移量がワーク６の厚として制御装置２６において設
定値と比較され、厚さが設定値と等しくなったところで
定寸装置が働き、制御装置２５により駆動装置２０が停
止せしめられて加工が終了する。
置と同様に、上定盤１を上昇させた状態で各キャリヤ５
にワーク６を保持させ、上定盤１を下降させてワーク６
を下定盤２との間に挟むと共に、該ワーク６に所要の加
工圧を作用させ、その状態で両歯車３，４及び両定盤
１，２を所定の方向及び速度で回転させることにより行
われる。このとき上定盤１は、研磨の進行と共に僅かず
つ変移（下降）していくが、その変移量が検出用プレー
ト２９を介してプローブ２５により検出され、検出され
た変移量がワーク６の厚として制御装置２６において設
定値と比較され、厚さが設定値と等しくなったところで
定寸装置が働き、制御装置２５により駆動装置２０が停
止せしめられて加工が終了する。
【００１４】このとき、プローブ２５が接触する上記検
出用プレート２９が、上定盤１に固定された中継プレー
ト１９にスタッド１８及び定盤吊り１７とは無関係の状
態に取り付けられているから、該検出用プレート２９に
自動調芯軸受１６や定盤吊り１７の振動が伝わったり、
スタッド１８の圧縮に伴う歪の影響が及ぶようなことが
なく、このため、該検出用プレート２９を介して上定盤
１の変移を正確に検出することが可能となり、高精度の
定寸を行うことができる。
出用プレート２９が、上定盤１に固定された中継プレー
ト１９にスタッド１８及び定盤吊り１７とは無関係の状
態に取り付けられているから、該検出用プレート２９に
自動調芯軸受１６や定盤吊り１７の振動が伝わったり、
スタッド１８の圧縮に伴う歪の影響が及ぶようなことが
なく、このため、該検出用プレート２９を介して上定盤
１の変移を正確に検出することが可能となり、高精度の
定寸を行うことができる。
【００１５】図３は、本発明の平面研磨装置により行っ
た定寸実験の結果を示すもので、加工圧を１００ｇ／ｃ
ｍ2 、１２０ｇ／ｃｍ2 、８０ｇ／ｃｍ2 と変化させて
全部で１１回の実験を行ったが、ワークの仕上り寸法と
設定値との間の誤差は、最後の２回を除いて±２μｍの
範囲内に収まっており、最後の２回も３μｍと４μｍで
従来の±５μｍの誤差に比べれば小さいものであって、
定寸精度が向上していることが理解される。
た定寸実験の結果を示すもので、加工圧を１００ｇ／ｃ
ｍ2 、１２０ｇ／ｃｍ2 、８０ｇ／ｃｍ2 と変化させて
全部で１１回の実験を行ったが、ワークの仕上り寸法と
設定値との間の誤差は、最後の２回を除いて±２μｍの
範囲内に収まっており、最後の２回も３μｍと４μｍで
従来の±５μｍの誤差に比べれば小さいものであって、
定寸精度が向上していることが理解される。
【００１６】
【発明の効果】このように本発明によれば、上定盤を固
定した中継プレートにスタッド及び定盤吊りとは無関係
に検出用プレートを取り付け、この検出用プレートを介
してプローブにより上定盤の変移を検出するようにした
ので、自動調芯軸受や定盤吊りの振動や、スタッドの加
圧に伴う歪等の影響を受けることなく、上定盤の変移を
正確に検出することができ、高精度の定寸を行うことが
できる。
定した中継プレートにスタッド及び定盤吊りとは無関係
に検出用プレートを取り付け、この検出用プレートを介
してプローブにより上定盤の変移を検出するようにした
ので、自動調芯軸受や定盤吊りの振動や、スタッドの加
圧に伴う歪等の影響を受けることなく、上定盤の変移を
正確に検出することができ、高精度の定寸を行うことが
できる。
【図１】本発明に係る定寸装置付き平面研磨装置の一実
施例の断面図である。
施例の断面図である。
【図２】図１の要部拡大図である。
【図３】図１の平面研磨装置により行った定寸実験の結
果を示す線図である。
果を示す線図である。
【図４】従来の平面研磨装置により行った定寸実験の結
果を示す線図である。
果を示す線図である。
１ 上定盤 ２ 下定盤 ３ 太陽歯車 ４ 内歯歯車 ５ キャリヤ ６ ワーク １３，１５ ロッド １６ 自動調芯軸
受 １７ 定盤吊り １８ スタッド １９ 中継プレート ２５ プローブ ２９ 検出用プレート
受 １７ 定盤吊り １８ スタッド １９ 中継プレート ２５ プローブ ２９ 検出用プレート
Claims (1)
- 【請求項１】 同軸状に配設された太陽歯車及び内歯歯
車と、これら両歯車と噛合して遊星歯車状に駆動される
ワーク保持用キャリヤと、該キャリヤに保持されたワー
クを両側から挟んで研磨する上定盤及び下定盤と、上定
盤の変移をプローブにより検出して、その変移量をワー
クの厚さに変換して設定値と比較し、その厚さが設定値
と等しくなったところで加工を停止する定寸装置とを備
え、上記上定盤が、昇降自在のロッドの下端に自動調芯
軸受を介して取り付けられた定盤吊りに、該定盤吊りか
ら垂下する複数のスタッド及び該スタッドの下端に固定
された中継プレートを介して取り付けられている定寸装
置付き平面研磨装置において、 上記スタッドの下端に固定された中継プレートに、該ス
タッド及び定盤吊りと非接触の状態に検出用プレートを
取り付け、該検出用プレートを介してプローブにより上
定盤の変移を検出するものとして構成したことを特徴と
する定寸装置付き平面研磨装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP34112192A JP3213094B2 (ja) | 1992-11-27 | 1992-11-27 | 定寸装置付き平面研磨装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP34112192A JP3213094B2 (ja) | 1992-11-27 | 1992-11-27 | 定寸装置付き平面研磨装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06155285A JPH06155285A (ja) | 1994-06-03 |
| JP3213094B2 true JP3213094B2 (ja) | 2001-09-25 |
Family
ID=18343452
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP34112192A Expired - Fee Related JP3213094B2 (ja) | 1992-11-27 | 1992-11-27 | 定寸装置付き平面研磨装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3213094B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN117620883B (zh) * | 2024-01-24 | 2024-03-26 | 扬州群发换热器有限公司 | 一种opa芯片端面抛光研磨机 |
-
1992
- 1992-11-27 JP JP34112192A patent/JP3213094B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH06155285A (ja) | 1994-06-03 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20010612 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |