JP3203766B2 - X-ray positioning confirmation method, X-ray positioning confirmation / positioning method, and X-ray inspection device - Google Patents
X-ray positioning confirmation method, X-ray positioning confirmation / positioning method, and X-ray inspection deviceInfo
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Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、Ｘ線位置合わせ確認方
法、Ｘ線位置合わせ確認・位置合わせ方法、及び位置合
わせ確認を行う、あるいは位置合わせ確認と位置合わせ
とを行うＸ線検査装置に関する。本発明は、例えば、電
子材料（半導体装置等）の組み立ての際の位置合わせに
ついて、利用することができる。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an X-ray positioning confirmation method, an X-ray positioning confirmation / positioning method, and an X-ray inspection apparatus for performing a positioning confirmation or a positioning confirmation and a positioning. . INDUSTRIAL APPLICATION This invention can be utilized about the alignment at the time of the assembly of an electronic material (semiconductor device etc.), for example.
【０００２】[0002]
【従来の技術】従来より、Ｘ線透視技術を用いて各種の
検査を行うＸ線検査装置が知られている。例えば、特開
平２−２６９９４４号には、被検体である自動車用ステ
アリングホイール等を、Ｘ線撮像手段による画像に基づ
いてその検査部位の良否を検査する装置が開示されてい
る。また、特開平３−７２２４９号には、プリント配線
板に電子部品が実装されていないときと実装されている
ときのＸ線画像信号によりその半田付検査を行う装置が
開示されている。その他、この種の技術として、特開平
３−１７９２０７号に開示のものがある。2. Description of the Related Art Conventionally, an X-ray inspection apparatus for performing various inspections using an X-ray fluoroscopic technique is known. For example, Japanese Patent Laying-Open No. 2-269944 discloses an apparatus for inspecting the quality of an inspection part of a subject such as an automobile steering wheel based on an image obtained by X-ray imaging means. Further, Japanese Patent Application Laid-Open No. 3-72249 discloses an apparatus for performing a soldering inspection based on X-ray image signals when an electronic component is not mounted on a printed wiring board and when the electronic component is mounted. Another technique of this type is disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 3-179207.
【０００３】これら従来のＸ線検査技術は、いずれもＸ
線像しか見えず、あるいはＸ線像のみの解析を行って、
検査を行うものであった。[0003] These conventional X-ray inspection techniques are all X-ray inspection techniques.
You can see only the line image or analyze only the X-ray image,
An inspection was performed.
【０００４】このため、例えば半導体装置製造の分野に
おいて、例えば、Ｓｉ基板上にＩＣチップを設置する場
合の位置合わせについては、従来のＸ線検査技術を用い
ただけでは、Ｘ線像しか見えないため、Ｘ線像に映った
部分（例えば金属部）と、映らない部分（例えば樹脂
部、印刷されたマーク例えば位置合わせ用のマーク、基
板のソルダーレジスト等薄膜上のレジスト、薄膜等）と
の位置関係の比較が不可能であった。For this reason, in the field of semiconductor device manufacturing, for example, in the case of positioning an IC chip on a Si substrate, only an X-ray image can be seen using only a conventional X-ray inspection technique. , The position of the portion reflected in the X-ray image (for example, a metal portion) and the position of the portion not reflected (for example, a resin portion, a printed mark such as a positioning mark, a resist on a thin film such as a solder resist on a substrate, a thin film, etc.) Comparison of the relationships was not possible.
【０００５】このため、Ｘ線による位置合わせが不可能
な現状にあっては、次のような位置合わせ確認手段が採
用されている。例えば、図５（ａ）に側断面で示し図５
（ｂ）に平面で示すような基板10上のリード線13ａ〜13
ｄに、ＩＣチップ11のバンプと称される接続部12ａ，12
ｂを接続して、いわゆるＣｈip on Wafer を形成する場
合、図５（ｂ）の×印で示す位置合わせ部14ａ〜14ｄで
接続部とリード線とを合わせるためには、図６に示すよ
うに、両者の狭い隙間Ｌ（20μ程度）から顕微鏡で両者
を観察しつ、位置合わせを行うという困難で手間のかか
る手段を用いざるを得なかった。[0005] For this reason, in the present situation where positioning by X-rays is impossible, the following positioning confirmation means is employed. For example, FIG.
(B) Lead wires 13a to 13 on the substrate 10 as shown by a plane.
d, connecting portions 12a and 12 called bumps of the IC chip 11.
b, to form a so-called Chip on Wafer, in order to align the connecting portion with the lead wire at the positioning portions 14a to 14d indicated by crosses in FIG. 5B, as shown in FIG. In addition, it is necessary to use a difficult and time-consuming means of performing alignment while observing the both with a microscope from a narrow gap L (about 20 μ) between the two.
【０００６】[0006]
【発明の目的】本発明は、上記のようにＸ線透過部とＸ
線不透過部とがともに位置合わせ要部を構成している場
合にも、Ｘ線検査によりその位置合わせ確認、及び必要
に応じて更に位置合わせ制御を行うことができるＸ線位
置合わせ確認方法、Ｘ線位置合わせ確認・位置合わせ方
法、及びＸ線検査装置を提供することを目的とする。The object of the present invention is to provide an X-ray transmitting section as described above.
An X-ray alignment confirmation method capable of confirming the alignment by X-ray inspection and further performing alignment control as necessary even when the X-ray opaque portions together constitute a main part of the alignment. An object of the present invention is to provide an X-ray positioning confirmation / positioning method and an X-ray inspection device.
【０００７】[0007]
【課題を解決するための手段】本出願に係る発明は、以
下の構成により、上記目的を達成する。 Means for Solving the Problems The invention according to the present application is as follows.
The above configuration achieves the above object.
【０００８】請求項１の発明は下記構成をとる。 The invention according to claim 1 has the following configuration.
【０００９】本出願の請求項１の発明は、Ｘ線により被
検体の位置合わせ確認を行うＸ線位置合わせ確認方法で
あって、被検体のＸ線像と、被検体の可視光像とを重ね
合わせて位置合わせ確認を行うことを可能としたＸ線位
置合わせ確認方法であって、これにより上記目的を達成
するものである。 [0009] The invention of claim 1 of the present application is characterized in that it is exposed to X-rays.
X-ray alignment confirmation method to confirm specimen alignment
Then, the X-ray image of the subject and the visible light image of the subject are superimposed.
X-ray position that enables alignment confirmation
A method for confirming alignment, which achieves the above objectives
Is what you do.
【００１０】請求項２の発明は下記構成をとる。 The invention according to claim 2 has the following configuration.
【００１１】本出願の請求項２の発明は、Ｘ線により被
検体の位置合わせ確認を行う工程を含むＸ線位置合わせ
確認・位置合わせ方法であって、被検体のＸ線像と、被
検体の可視光像とを重ね合わせて位置合わせ確認を行う
ことを可能とするとともに、前記Ｘ線像と前記可視光像
との重ね合わせデータにより位置合わせ制御を行う制御
手段を設けたことを特徴とするＸ線位置合わせ確認・位
置合わせ方法であって、これにより上記目的を達成する
ものである。 [0011] The invention according to claim 2 of the present application is characterized by being exposed to X-rays.
X-ray alignment including the step of confirming the alignment of the specimen
A method of confirming and aligning an object, comprising:
Confirm the alignment by overlaying the visible light image of the sample
And the X-ray image and the visible light image
Control that performs positioning control using overlay data with
X-ray alignment confirmation and position characterized by providing means
An alignment method, which achieves the above object
Things.
【００１２】また、以下のＸ線検査装置とすることによ
って、上記目的を達成する。 Further , the following X-ray inspection apparatus is used.
Thus, the above object is achieved.
【００１３】すなわち請求項３の発明は下記構成をと
る。 That is, the invention of claim 3 has the following configuration.
You.
【００１４】本出願の請求項３の発明は、被検体にＸ線
を照射するＸ線光源と、被検体に可視光を照射する可視
光源とを備え、被検体のＸ線像と被検体の可視光像とを
重ね合わせ表示する表示手段及び被検体の位置合わせ制
御を行う制御手段を設けたことを特徴とするＸ線検査装
置であって、これにより上記目的を達成するものであ
る。 The invention according to claim 3 of the present application is characterized in that the subject is exposed to X-rays.
An X-ray light source that irradiates the subject, and a visible light that irradiates the subject with visible light
A light source, and converts an X-ray image of the object and a visible light image of the object.
Display means for overlay display and positioning system for subject
X-ray inspection apparatus characterized by comprising control means for controlling
To achieve the above object.
You.
【００１５】請求項４の発明は下記構成をとる。 The invention according to claim 4 has the following configuration.
【００１６】本出願の請求項４の発明は、被検体にＸ線
を照射するＸ線光源と、被検体に可視光を照射する可視
光源とを備え、被検体のＸ線像と被検体の可視像との重
ね合わせデータに基づいて被検体の位置合わせ制御を行
う制御手段を設けたことを特徴とするＸ線検査装置であ
って、これにより上記目的を達成するものである。 The invention according to claim 4 of the present application is characterized in that an X-ray
An X-ray light source that irradiates the subject, and a visible light that irradiates the subject with visible light
A light source is provided, and the overlap between the X-ray image of the subject and the visible image of the subject is provided.
Performs positioning control of the subject based on the
An X-ray inspection apparatus characterized in that control means is provided.
Thus, the above object is achieved.
【００１７】[0017]
【作用】本出願の発明においては、被検体のＸ線像と、
被検体の可視像とを重ね合わせて位置合わせ確認を行
い、あるいはその重ね合わせデータにより位置合わせ制
御まで行うようにしたので、Ｘ線透過部とＸ線不透過部
とがともに位置合わせ要部を構成している場合も、Ｘ線
検査によりその位置合わせ、及び必要に応じて位置合わ
せ制御を行うことができる。According to the invention of the present application, an X-ray image of a subject and
Since the positioning confirmation is performed by superimposing the visible image of the subject or the positioning control is performed based on the superimposed data, both the X-ray transmitting part and the X-ray opaque part are the main parts of the positioning. In this case, the positioning can be performed by X-ray inspection, and the positioning can be controlled if necessary.
【００１８】[0018]
【実施例】以下本発明の実施例について、図面を参照し
て説明する。但し当然のことではあるが、本発明は実施
例により限定されるものでない。Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. However, needless to say, the present invention is not limited by the embodiments.
【００１９】実施例１ この実施例は、本発明を、金属部分、樹脂部分、マーク
等を有する被検体の、Ｘ線を利用した位置合わせ確認に
具体化したものである。Embodiment 1 In this embodiment, the present invention is embodied in confirming the alignment of an object having a metal portion, a resin portion, a mark, and the like using X-rays.
【００２０】図１に、本実施例のシステムの全体を示
す。図中、符号１は被検体（サンプル）、２は撮像手段
であるカメラ、３は表示手段であるディスプレイを表
す。４はＸ線、５は可視光線を表し、41，51はそれぞれ
の光源である。FIG. 1 shows the entire system of this embodiment. In the figure, reference numeral 1 denotes a subject (sample), 2 denotes a camera as an imaging unit, and 3 denotes a display as a display unit. Reference numeral 4 denotes X-rays, 5 denotes visible light, and 41 and 51 denote respective light sources.
【００２１】ここで、被検体１が、例えば図２のような
ものとする。図２中、６は樹脂の板、７は金属板であ
る。８は封止樹脂で、この封止樹脂８は金属板７を完全
に覆っていて、外部からは金属板７が見えないようにな
っている。９は樹脂の板６の上に印刷されたマークであ
る。Here, it is assumed that the subject 1 is, for example, as shown in FIG. In FIG. 2, 6 is a resin plate, and 7 is a metal plate. Numeral 8 denotes a sealing resin, which completely covers the metal plate 7 so that the metal plate 7 cannot be seen from the outside. 9 is a mark printed on the resin plate 6.
【００２２】そして検査として、金属板７の先端とマー
ク９の先端が直線上にあることが要求されているものと
する。As an inspection, it is assumed that the tip of the metal plate 7 and the tip of the mark 9 are required to be on a straight line.
【００２３】従来のＸ線検査技術では、可視光での検
査、Ｘ線での検査は独立して行われていた。即ち、仮
に図１を参照して説明すれば、Ｘ線４または可視光線５
のどちらか一方のみで被検体１を検査していた。In the conventional X-ray inspection technology, the inspection using visible light and the inspection using X-ray have been performed independently. That is, if it is explained with reference to FIG.
The subject 1 was inspected using only one of them.
【００２４】しかし、被検体が図２のようなサンプルで
上記のような検査を必要とした場合、検査の際、見えて
なければならない金属板７、マーク９のうち、可視光で
の検査では、金属板７が見えず、Ｘ線による検査では、
マーク９が見えない。よって、Ｘ線、可視光どちらの検
査手段をとっても、マーク９と金属板７の位置関係をこ
の状態で把握することはできない。However, when the subject needs to perform the above-described test on the sample shown in FIG. 2, the metal plate 7 and the mark 9 which must be visible during the test are not visible light. , The metal plate 7 is not visible, and the inspection by X-ray
Mark 9 is not visible. Therefore, the positional relationship between the mark 9 and the metal plate 7 cannot be grasped in this state by using either the X-ray or visible light inspection means.
【００２５】これに対し、本実施例においては、図１に
示すようにＸ線４と可視光線５の両方を併用する。これ
により、表示手段３であるディスプレイの上に、金属板
７、マーク９の両方が表示される。この結果、両者の位
置関係の確認ができる。On the other hand, in this embodiment, as shown in FIG. 1, both the X-ray 4 and the visible light 5 are used together. Thereby, both the metal plate 7 and the mark 9 are displayed on the display as the display unit 3. As a result, the positional relationship between the two can be confirmed.
【００２６】このように、従来は検査できなかった被検
体が、本実施例によればＸ線透視技術を利用してその位
置合わせの確認が可能となったものである。As described above, according to the present embodiment, it is possible to confirm the alignment of a subject which could not be examined conventionally by using the X-ray fluoroscopy technique.
【００２７】本実施例において、撮像手段２として、可
視光〜Ｘ線までの長い波長域をカバーする撮像素子（Ｃ
ＣＤ，撮像管等）を用い、光源41，51より各々Ｘ線４、
可視光５を出射し、撮像手段２で被検体１のＸ線像と可
視光像を同時に見る構成とすることができる。このよう
にすると、表示手段３には、Ｘ線像、可視光像の２つの
重なった像が映る。よって、被検体１が図２に示す金属
板７（Ｘ線不透過部）とマーク９（Ｘ線透過部）とを被
検部位として有するサンプルであっても、金属板７とマ
ーク９の両方の確認が可能となる。In this embodiment, as the image pickup means 2, an image pickup element (C) covering a long wavelength range from visible light to X-rays is used.
X-rays 4 from light sources 41 and 51, respectively.
A configuration is possible in which the visible light 5 is emitted and the X-ray image and the visible light image of the subject 1 are simultaneously viewed by the imaging means 2. In this way, the display means 3 displays two superimposed images of an X-ray image and a visible light image. Therefore, even if the subject 1 has the metal plate 7 (X-ray opaque portion) and the mark 9 (X-ray permeable portion) shown in FIG. Can be confirmed.
【００２８】Ｘ線像と可視光像の像濃度の比率は、光源
41，51の調整により変化させることができる。あるい
は、図１の撮像手段２と表示手段３との間に補正回路を
設け、Ｘ線４による像と可視光５による像のバランスを
とる等の方法をとって調整することもできる。The ratio of the image density between the X-ray image and the visible light image is determined by the light source
It can be changed by adjusting 41 and 51. Alternatively, a correction circuit may be provided between the imaging means 2 and the display means 3 in FIG. 1 and the adjustment may be made by a method such as balancing the image by the X-rays 4 and the image by the visible light 5.
【００２９】このバリエーションとして、撮像手段２を
フィルムを用いたカメラにし、Ｘ線〜可視光までをカバ
ーするフィルムを表示手段３として用いることができ、
この構成によっても上記と同様の結果が得られる。As a variation of this, the imaging means 2 can be a camera using a film, and a film covering X-rays to visible light can be used as the display means 3.
With this configuration, the same result as described above can be obtained.
【００３０】実施例２ 本実施例は、図３に示すように、撮像手段として、Ｘ線
用撮像手段２ａ、可視光用撮像手段２ｂの２台の撮像手
段を用いた例である。10は２つの信号の重ね合わせ回路
である。この構成によっても、図１と同様の効果が得ら
れる。可視光像とＸ線像のバランスは、重ね合わせ回路
10で調整できる。Embodiment 2 As shown in FIG. 3, this embodiment is an example in which two imaging units, an X-ray imaging unit 2a and a visible light imaging unit 2b, are used as imaging units. Reference numeral 10 denotes a circuit for superimposing two signals. With this configuration, the same effect as in FIG. 1 can be obtained. The balance between the visible light image and the X-ray image
Can be adjusted with 10.
【００３１】実施例３ 本実施例を図４に示す。本実施例は、実施例２と同様に
撮像手段であるカメラとしてＸ線用撮像手段２ａと可視
光用撮像手段２ｂの２台を用いるとともに、更に、表示
手段たるディスプレイも２台とし、Ｘ線像用表示手段３
ａと、可視像用表示手段３ｂとを設けた例である。Embodiment 3 This embodiment is shown in FIG. This embodiment uses two X-ray imaging units 2a and two visible light imaging units 2b as cameras, which are imaging units, as in the second embodiment, and further uses two displays as display units. Image display means 3
This is an example in which a and a display means for visible image 3b are provided.
【００３２】本実施例の場合、表示手段３ａ上のＸ線像
と表示手段３ｂ上の可視光像の相関をとる装置11を設け
る。In the case of this embodiment, there is provided a device 11 for correlating the X-ray image on the display means 3a with the visible light image on the display means 3b.
【００３３】実施例４ 本実施例は、図１に示した装置を用い、更に、図示しな
いが、位置合わせ制御手段を設けたものである。即ち、
図１の如く被検体１にＸ線４を照射するＸ線光源41と、
被検体１に可視光５を照射する可視光源51とを備え、被
検体１のＸ線像と被検体の可視光像とを重ね合わせ表示
する表示手段３を備えるとともに、本実施例では、更
に、被検体の位置合わせ制御を行う制御手段を設ける。
この制御手段は、位置合わせを要する部品の位置合わせ
を機械的に行うものであり、即ち図２の被検体１の例で
言えば金属板７とマーク９とについて、両者のそれぞれ
両端が必要とする直線上にない場合に、両者が相対的に
移動するような制御を行い、適正な位置合わせを行うよ
うにしたものである。Embodiment 4 In this embodiment, the apparatus shown in FIG. 1 is used, and further, although not shown, a positioning control means is provided. That is,
An X-ray light source 41 for irradiating the subject 1 with X-rays 4 as shown in FIG.
A visible light source 51 for irradiating the subject 1 with the visible light 5 is provided, and a display unit 3 for superimposing and displaying the X-ray image of the subject 1 and the visible light image of the subject is provided. And control means for controlling the positioning of the subject.
This control means mechanically performs the positioning of the components that need to be positioned, that is, both ends of the metal plate 7 and the mark 9 are necessary for the object 1 in FIG. When they are not on the same straight line, control is performed so that the two move relatively to each other, and proper positioning is performed.
【００３４】よって本実施例では、表示手段３であるデ
ィスプレイ上のＸ線像及び可視光像の視認に基づいて、
制御手段により両者の適正な位置合わせを達成できる。Therefore, in this embodiment, based on the visual recognition of the X-ray image and the visible light image on the display as the display means 3,
Appropriate positioning of both can be achieved by the control means.
【００３５】実施例５ 本実施例は、実施例４の制御手段による位置合わせを、
画像処理により自動的に行うことを可能ならしめた例で
ある。Embodiment 5 In this embodiment, the alignment by the control means of Embodiment 4 is performed.
This is an example in which it can be automatically performed by image processing.
【００３６】即ち本実施例は、被検体にＸ線を照射する
Ｘ線光源と、被検体に可視光を照射する可視光源とを備
え、被検体のＸ線像と被検体の可視像との重ね合わせデ
ータに基づいて被検体の位置合わせ制御を行う制御手段
を設けたものである。That is, the present embodiment is provided with an X-ray light source for irradiating the subject with X-rays, and a visible light source for irradiating the subject with visible light, so that an X-ray image of the subject and a visible image of the subject can be obtained. Control means for controlling the positioning of the subject based on the superimposition data.
【００３７】本実施例におけるデータ処理に基づいて位
置合わせ制御は、各種の公知画像処理システムに基づく
ことができる。例えば、特開平３−１７９２０７号に開
示の技術、あるいは特開平２−２５３４８３号に開示の
技術等を用いることができる。The alignment control based on the data processing in this embodiment can be based on various known image processing systems. For example, the technology disclosed in JP-A-3-179207 or the technology disclosed in JP-A-2-253483 can be used.
【００３８】本例によれば、位置合わせの確認と、更に
それに基づいて位置合わせの制御とを、自動的に行うこ
とが可能ならしめられる。According to this embodiment, it is possible to automatically perform the positioning confirmation and the positioning control based on the confirmation.
【００３９】[0039]
【発明の効果】本出願の発明によれば、Ｘ線透過部とＸ
線不透過部とがともに位置合わせ要部を構成している場
合にも、Ｘ線検査によりその位置合わせ確認、及び必要
に応じて位置合わせ制御を行うことができるという効果
を得ることができる。According to the invention of the present application, the X-ray transmitting portion and the X-ray
Even in the case where the line non-transmissive portion constitutes the main part of the positioning, it is possible to obtain the effect that the positioning can be confirmed by the X-ray inspection and the positioning control can be performed if necessary.
【図１】実施例１の構成を示す図である。FIG. 1 is a diagram illustrating a configuration of a first embodiment.
【図２】実施例１における被検体を示す平面略示図であ
る。FIG. 2 is a schematic plan view showing a subject according to the first embodiment.
【図３】実施例２の構成を示す図である。FIG. 3 is a diagram illustrating a configuration of a second embodiment.
【図４】実施例３の構成を示す図である。FIG. 4 is a diagram illustrating a configuration of a third embodiment.
【図５】従来技術を示す図である。FIG. 5 is a diagram showing a conventional technique.
【図６】従来技術の問題点を示す図である。FIG. 6 is a diagram showing a problem of the related art.
１ 被検体 ２，２ａ，２ｂ 撮像手段（カメラ） ３，３ａ，３ｂ 表示手段（ディスプレイ，フィル
ム） ４ Ｘ線 ５ 可視光DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Subject 2, 2a, 2b Imaging means (camera) 3, 3a, 3b Display means (display, film) 4 X-ray 5 Visible light
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G01N 23/02 - 23/18 G01B 15/00 ＪＩＣＳＴファイル（ＪＯＩＳ)──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page (58) Field surveyed (Int. Cl. 7 , DB name) G01N 23/02-23/18 G01B 15/00 JICST file (JOIS)
Claims (4)
Ｘ線位置合わせ確認方法であって、被検体のＸ線像と、
被検体の可視光像とを重ね合わせて位置合わせ確認を行
うことを可能としたＸ線位置合わせ確認方法。An X-ray positioning confirmation method for confirming the position of an object by X-rays, comprising: an X-ray image of the object;
An X-ray positioning confirmation method that enables a position confirmation by superimposing a visible light image of a subject.
工程を含むＸ線位置合わせ確認・位置合わせ方法であっ
て、 被検体のＸ線像と、被検体の可視光像とを重ね合わせて
位置合わせ確認を行うことを可能とするとともに、 前記Ｘ線像と前記可視光像との重ね合わせデータにより
位置合わせ制御を行う制御手段を設けたことを特徴とす
るＸ線位置合わせ確認・位置合わせ方法。2. An X-ray positioning confirmation / positioning method including a step of confirming a position of an object by X-rays, wherein an X-ray image of the object is superimposed on a visible light image of the object. X-ray alignment confirmation and position, wherein control means for performing alignment control based on overlay data of the X-ray image and the visible light image is provided. Matching method.
体に可視光を照射する可視光源とを備え、被検体のＸ線
像と被検体の可視光像とを重ね合わせ表示する表示手段
及び被検体の位置合わせ制御を行う制御手段を設けたこ
とを特徴とするＸ線検査装置。3. An X-ray light source for irradiating an object with X-rays and a visible light source for irradiating the object with visible light, and an X-ray image of the object and a visible light image of the object are displayed in a superimposed manner. An X-ray inspection apparatus, comprising: a display unit that performs the control and a control unit that controls the positioning of the subject.
体に可視光を照射する可視光源とを備え、被検体のＸ線
像と被検体の可視像との重ね合わせデータに基づいて被
検体の位置合わせ制御を行う制御手段を設けたことを特
徴とするＸ線検査装置。4. An X-ray light source for irradiating a subject with X-rays, and a visible light source for irradiating the subject with visible light, wherein superimposition data of an X-ray image of the subject and a visible image of the subject are provided. An X-ray inspection apparatus, comprising: a control unit that controls the positioning of a subject based on the X-ray image.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14843992A JP3203766B2 (en) | 1992-05-15 | 1992-05-15 | X-ray positioning confirmation method, X-ray positioning confirmation / positioning method, and X-ray inspection device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14843992A JP3203766B2 (en) | 1992-05-15 | 1992-05-15 | X-ray positioning confirmation method, X-ray positioning confirmation / positioning method, and X-ray inspection device |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05322803A JPH05322803A (en) | 1993-12-07 |
| JP3203766B2 true JP3203766B2 (en) | 2001-08-27 |
Family
ID=15452822
Family Applications (1)
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