JP3203764B2 - バーコータによる塗布方法および塗布装置 - Google Patents
バーコータによる塗布方法および塗布装置Info
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- JP3203764B2 JP3203764B2 JP14724792A JP14724792A JP3203764B2 JP 3203764 B2 JP3203764 B2 JP 3203764B2 JP 14724792 A JP14724792 A JP 14724792A JP 14724792 A JP14724792 A JP 14724792A JP 3203764 B2 JP3203764 B2 JP 3203764B2
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、非連続性の基板に塗布
液をバーコータを用いて塗布するバーコータによる塗布
方法および塗布装置に関する。具体的には、液晶カラー
テレビ等に使用されるカラーフィルタ材料の塗布方法と
して最適な塗布方法および塗布装置を提供するものであ
る。
液をバーコータを用いて塗布するバーコータによる塗布
方法および塗布装置に関する。具体的には、液晶カラー
テレビ等に使用されるカラーフィルタ材料の塗布方法と
して最適な塗布方法および塗布装置を提供するものであ
る。
【０００２】
【従来の技術】バーコータによる塗布方法は、可とう性
連続フィルム（ウェブ）に均一塗布を行う一般的な方法
である。図３は従来のバーコータによる塗布装置を非連
続性の基板に適用した場合の概略図である。非連続性の
基板として、ここではガラス基板を用いている。図３
(ａ)において、バーコータ１は塗布液２が溜められた塗
布液パン３に一部浸されて回転している。バーコータ１
は図３(ｂ)に示すように金属丸棒４の外周に細い金属ワ
イヤ５を密に巻回したものである。バーコータ１の回転
に伴って塗布液パン３内の塗布液２をピックアップし
て、Ａ方向に走行しているガラス基板６に塗布して塗膜
７を形成する。この際、ガラス基板６とバーコータ１と
の接触部において塗布液２の計量が行われて所望の塗布
量のみがガラス基板６に塗布される。他は新たに供給さ
れてくる塗布液２とともに液溜り８を形成し、定常状態
においては塗布液２は液溜り８を介してガラス基板６に
塗布される。
連続フィルム（ウェブ）に均一塗布を行う一般的な方法
である。図３は従来のバーコータによる塗布装置を非連
続性の基板に適用した場合の概略図である。非連続性の
基板として、ここではガラス基板を用いている。図３
(ａ)において、バーコータ１は塗布液２が溜められた塗
布液パン３に一部浸されて回転している。バーコータ１
は図３(ｂ)に示すように金属丸棒４の外周に細い金属ワ
イヤ５を密に巻回したものである。バーコータ１の回転
に伴って塗布液パン３内の塗布液２をピックアップし
て、Ａ方向に走行しているガラス基板６に塗布して塗膜
７を形成する。この際、ガラス基板６とバーコータ１と
の接触部において塗布液２の計量が行われて所望の塗布
量のみがガラス基板６に塗布される。他は新たに供給さ
れてくる塗布液２とともに液溜り８を形成し、定常状態
においては塗布液２は液溜り８を介してガラス基板６に
塗布される。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、塗布終
了時において液溜り分が塗布液２のもつ粘性によってガ
ラス基板６の最終端に付着し塗膜が厚くなる傾向があっ
た。
了時において液溜り分が塗布液２のもつ粘性によってガ
ラス基板６の最終端に付着し塗膜が厚くなる傾向があっ
た。
【０００４】塗膜が厚くなると、膜厚の平坦な部分の割
合が低下しガラス基板の利用率が悪くなる。また、塗膜
をフォトリソグラフィでパターニングする場合、膜厚の
厚い部分は現像で除去しにくく、残膜することが多い。
合が低下しガラス基板の利用率が悪くなる。また、塗膜
をフォトリソグラフィでパターニングする場合、膜厚の
厚い部分は現像で除去しにくく、残膜することが多い。
【０００５】これを改善するために、約１０〜２０mmま
で基板最終端が近づくと、バーコータ１の回転を停止
し、新たな塗布液２のピックアップをなくし、液溜り分
で基板最終部分の塗布を行うことが考えられている。し
かし、この場合でも塗膜の厚塗りは余り改善されない。
で基板最終端が近づくと、バーコータ１の回転を停止
し、新たな塗布液２のピックアップをなくし、液溜り分
で基板最終部分の塗布を行うことが考えられている。し
かし、この場合でも塗膜の厚塗りは余り改善されない。
【０００６】本発明はこのような従来のバーコータによ
る塗布方法の問題点を解決し、非連続性の基板への塗布
膜厚の均一性を向上させることを目的とする。
る塗布方法の問題点を解決し、非連続性の基板への塗布
膜厚の均一性を向上させることを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に本発明の技術的手段は、非連続性の基板の最終端を塗
布する際に、バーコータの浸されている塗布パン内の塗
布液の液面をバーコータに対して下げることである。
に本発明の技術的手段は、非連続性の基板の最終端を塗
布する際に、バーコータの浸されている塗布パン内の塗
布液の液面をバーコータに対して下げることである。
【０００８】
【作用】上記した構成によれば、塗布液の液面が下がる
と粘性によって液溜り分を下方に引き落し、基板とバー
コータとの接触部の液溜りが減少し、基板最終端に付着
する塗布液が少なくなり、基板端部の膜厚上昇が軽微と
なり、膜厚の均一性が向上する。
と粘性によって液溜り分を下方に引き落し、基板とバー
コータとの接触部の液溜りが減少し、基板最終端に付着
する塗布液が少なくなり、基板端部の膜厚上昇が軽微と
なり、膜厚の均一性が向上する。
【０００９】
【実施例】以下、本発明の一実施例を図１のバーコータ
による塗布装置の概略図に基づき説明する。図１(ａ)，
(ｂ)において、バーコータ１１は塗布液１２が溜められ
た塗布液パン１３に一部浸されて回転している。塗布液
パン１３は補助タンク１９と配管２０によって連通して
おり、塗布液１２は塗布液パン１３と補助タンク１９の
間を移動できる。補助タンク１９には圧力調整装置２１
が接続されており、補助タンク１９内のピストン壁２２
を左右に移動して補助室２３の圧力を調整できる。図示
はしていないが、ガラス基板１６への塗布開始前に塗布
液パン１３の液面高さを検出して、液面高さを所定値に
保つように塗布液供給装置が別に設けられている。
による塗布装置の概略図に基づき説明する。図１(ａ)，
(ｂ)において、バーコータ１１は塗布液１２が溜められ
た塗布液パン１３に一部浸されて回転している。塗布液
パン１３は補助タンク１９と配管２０によって連通して
おり、塗布液１２は塗布液パン１３と補助タンク１９の
間を移動できる。補助タンク１９には圧力調整装置２１
が接続されており、補助タンク１９内のピストン壁２２
を左右に移動して補助室２３の圧力を調整できる。図示
はしていないが、ガラス基板１６への塗布開始前に塗布
液パン１３の液面高さを検出して、液面高さを所定値に
保つように塗布液供給装置が別に設けられている。
【００１０】バーコータ１１の回転に伴って塗布液パン
１３の塗布液１２をピックアップして、Ｂ方向に走行し
ているガラス基板１６に塗布して塗膜１７を形成する。
ガラス基板１６とバーコータ１１との接触部で塗布液が
計量され、残りの塗布液と新たにピックアップされてき
た塗布液とで液溜り１８ができる。
１３の塗布液１２をピックアップして、Ｂ方向に走行し
ているガラス基板１６に塗布して塗膜１７を形成する。
ガラス基板１６とバーコータ１１との接触部で塗布液が
計量され、残りの塗布液と新たにピックアップされてき
た塗布液とで液溜り１８ができる。
【００１１】基板後端から約２０mmになると、バーコー
タ１１の回転が停止し、さらに圧力調整装置２１が働い
て、補助タンク１９内のピストン壁２２が左に移動し、
補助室２３の圧力を負圧にする。塗布液パン１３の中の
塗布液１２は大気にさらされているので、塗布液パン１
３の塗布液１２は補助タンク１９へ流れ込む。従って塗
布液パン１３内のバーコータ１１が浸されている部分の
液面は急に低下する。この時、液溜り部の塗布液も塗布
液の持つ粘性により液面の低下に伴って流下し、最終端
に塗布される塗布量が少なくなり、膜厚上昇が抑えられ
る。
タ１１の回転が停止し、さらに圧力調整装置２１が働い
て、補助タンク１９内のピストン壁２２が左に移動し、
補助室２３の圧力を負圧にする。塗布液パン１３の中の
塗布液１２は大気にさらされているので、塗布液パン１
３の塗布液１２は補助タンク１９へ流れ込む。従って塗
布液パン１３内のバーコータ１１が浸されている部分の
液面は急に低下する。この時、液溜り部の塗布液も塗布
液の持つ粘性により液面の低下に伴って流下し、最終端
に塗布される塗布量が少なくなり、膜厚上昇が抑えられ
る。
【００１２】本発明の塗布方法を用いた場合の基板後端
部の塗膜の膜厚分布を図２に示す。従来の塗布方法に比
べて、後端部の膜厚上昇が低く抑えられ、膜厚の平坦な
部分の範囲が広がっている。
部の塗膜の膜厚分布を図２に示す。従来の塗布方法に比
べて、後端部の膜厚上昇が低く抑えられ、膜厚の平坦な
部分の範囲が広がっている。
【００１３】ここで、塗布液パン１３の液面の低下する
速度が速いほど、液溜り部分の塗布液が流下しやすいた
め、塗布液パン１３から配管２０に至る経路の流動抵抗
は小さくするほど効果が大きい。
速度が速いほど、液溜り部分の塗布液が流下しやすいた
め、塗布液パン１３から配管２０に至る経路の流動抵抗
は小さくするほど効果が大きい。
【００１４】ただし、塗布液パン１３の液面が下がった
とき、塗布液供給装置の機能は停止させ、新たに塗布液
を供給しないようにしておく必要がある。
とき、塗布液供給装置の機能は停止させ、新たに塗布液
を供給しないようにしておく必要がある。
【００１５】基板塗布が終了すれば、バーコータ１１を
再び回転させ、補助タンク１９内の塗布液を塗布液パン
１３に移動させるとともに、塗布液供給装置も働かせて
次の基板を塗布するまでに液面高さを所定値に保つ。多
数枚の基板に連続して塗布する場合には、液面を多数回
一時的に下げることになる。
再び回転させ、補助タンク１９内の塗布液を塗布液パン
１３に移動させるとともに、塗布液供給装置も働かせて
次の基板を塗布するまでに液面高さを所定値に保つ。多
数枚の基板に連続して塗布する場合には、液面を多数回
一時的に下げることになる。
【００１６】
【発明の効果】以上の説明から明らかなように本発明に
よれば、基板最終端での塗布膜厚の上昇のない膜厚平坦
性に優れた塗布基板を得ることができる。従って、非連
続性の基板のより広い範囲を有効面として使用できる。
その結果、カラー液晶テレビのカラーフィルタ等の画素
形成等に本発明の方法を用いれば、画面全体に均一な画
像を得ることができる。
よれば、基板最終端での塗布膜厚の上昇のない膜厚平坦
性に優れた塗布基板を得ることができる。従って、非連
続性の基板のより広い範囲を有効面として使用できる。
その結果、カラー液晶テレビのカラーフィルタ等の画素
形成等に本発明の方法を用いれば、画面全体に均一な画
像を得ることができる。
【図１】（ａ）本発明を用いて実施したバーコータによ
る塗布装置の前段階における概略断面図 （ｂ）同後段階における概略断面図
る塗布装置の前段階における概略断面図 （ｂ）同後段階における概略断面図
【図２】本発明のバーコータによる塗布方法を用いた場
合と従来のバーコータによる塗布方法を用いた場合の基
板後端部の塗布膜厚の分布を示す図
合と従来のバーコータによる塗布方法を用いた場合の基
板後端部の塗布膜厚の分布を示す図
【図３】（ａ）従来のバーコータによる塗布装置の外略
断面図 （ｂ）バーコータの両端破断断面図
断面図 （ｂ）バーコータの両端破断断面図
【符号の説明】 １１ バーコータ １２ 塗布液 １３ 塗布液パン １６ ガラス基板（非連続性の基板） １９ 補助タンク２０ 配管 ２１ 圧力調整装置
フロントページの続き (56)参考文献 実開 平４−99263（ＪＰ，Ｕ) 特公 昭50−3095（ＪＰ，Ｂ１) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) B05C 1/02 102 B05D 1/28 G02B 5/20 101 G02F 1/1335 505
Claims (2)
- 【請求項１】塗布液パン内の塗布液中に一部浸されたバ
ーコータを用いて非連続性の基板に塗布液を塗布するバ
ーコータによる塗布方法において、前記基板への塗布終
了時にバーコータが浸されている部分の塗布液の液面を
バーコータに対して下げて塗布することを特徴とするバ
ーコータによる塗布方法。 - 【請求項２】塗布液パン内の塗布液中に一部浸されたバ
ーコータを用いて非連続性の基板に塗布液を塗布するバ
ーコータによる塗布装置において、前記基板への塗布液
の塗布開始前に塗布液パン内の塗布液の液面高さを検出
して液面高さを所定値に保つ塗布液供給装置と、前記塗
布液パンとの間で配管を通して塗布液を交互に流通でき
る補助タンクと、前記基板の塗布終端になると前記バー
コータの回転を停止する手段および前記補助タンク内の
圧力を下げて前記塗布液パン内の塗布液の液面を下げる
圧力調整装置を設けたことを特徴とするバーコータによ
る塗布装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14724792A JP3203764B2 (ja) | 1992-06-08 | 1992-06-08 | バーコータによる塗布方法および塗布装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14724792A JP3203764B2 (ja) | 1992-06-08 | 1992-06-08 | バーコータによる塗布方法および塗布装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05337411A JPH05337411A (ja) | 1993-12-21 |
| JP3203764B2 true JP3203764B2 (ja) | 2001-08-27 |
Family
ID=15425914
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14724792A Expired - Fee Related JP3203764B2 (ja) | 1992-06-08 | 1992-06-08 | バーコータによる塗布方法および塗布装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3203764B2 (ja) |
-
1992
- 1992-06-08 JP JP14724792A patent/JP3203764B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH05337411A (ja) | 1993-12-21 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |