JP3202078B2 - Resistive element and fixed resistor - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【０００１】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、酸化錫（ＳｎＯ₂ ）系
セラミックスの抵抗素子および固定抵抗器に関する。The present invention relates to a tin oxide (SnO ₂₎ based resistance element <br/> ceramics and a fixed resistor.

【０００２】[0002]

【従来の技術】従来のセラミックスの固定抵抗器として
は、珪酸アルミニウム系材料（粘土、ＳｉＯ₂ 、Ａｌ₂
Ｏ₃ など）に導電材料として炭素粉末を混合し、結合剤
（バインダ）を加えて成形体を成形する。次に、成形体
を非酸化性雰囲気炉内で焼成し、両端にアルミニウムな
どの電極を設けた炭素分散型セラミックス抵抗器が知ら
れている。BACKGROUND ART As <br/> the fixed resistor of conventional ceramics, silicotungstic acid aluminum-based material (clay, SiO _2, Al ₂
O _3, etc.) in a mixture of carbon powder as a conductive material, a molded body by adding a binding agent (Vine da). Next, the compact was fired in a non-oxidizing atmosphere furnace, aluminum at both ends
Carbon-dispersed ceramics resistor having a throat of the electrode are known.

【０００３】[0003]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来の炭素分散型セラミックス抵抗器では、炭素粉末が水
に対して濡れ性が劣り、かさ密度がセラミックス原料よ
りも小さいため、均一な混合が難しく、抵抗値がばらつ
きやすい。The object of the invention is to be Solved However, the above-mentioned slave
The carbon-dispersed ceramics resistor years, poor wettability carbon powder to water, because the bulk density is less than ceramics raw material, it is difficult to uniform mixing, the resistance value tends to vary.

【０００４】また、炭素分散型セラミックス抵抗器は、
緻密性が劣るため、サージ吸収時に炭素粉間に放電を生
じるので、放電耐量が少なく、高圧パルス、大電力サー
ジ特性が劣る。[0004] In addition, carbon distributed ceramics resistor,
Since the denseness is inferior, a discharge is generated between the carbon powders when the surge is absorbed, so that the discharge withstand capability is small, and the high-voltage pulse and large power surge characteristics are inferior.

【０００５】さらに、炭素が酸化されやすいため、非酸
化雰囲気で焼成する必要があり、焼成コストが高くな
る。[0005] Further, since the easily oxidized carbon, it must be baked formed Ri in a non-oxidizing atmosphere, firing cost increases.

【０００６】また、炭素分散型セラミックス抵抗器は、
炭素とセラミックスとの配合比が炭素５重量％以下では
抵抗値のばらつきが大きく、１５重量％以上では緻密な
焼成が困難となるため、実用範囲は５重量％〜１５重量
％に限定され、比抵抗の範囲も１Ωｃｍ〜１０³ Ωｃｍ
と狭い問題がある。[0006] In addition, carbon distributed ceramics resistor,
Compounding ratio of carbon and ceramics are large variations in the resistance carbon 5 wt% or less, since the dense sintering becomes difficult with 15 wt% or more, the practical range is limited to 5 wt% to 15 wt%, The range of specific resistance is also 1 Ωcm to 10 ³ Ωcm
If there is a small problem.

【０００７】本発明は、上記問題点に鑑みなされたもの
で、高圧パルスや大電力サージに対して耐久性があり、
抵抗値の範囲が広く、製造が容易な抵抗素子および固定
抵抗器を提供することを目的とする。[0007] The present invention has been made in view of the above problems
In is durable against high voltage pulse or a large power surges,
Range of resistance values is wide, it shall be the purpose of manufacturing to provide easy resistive element and the fixed resistor.

【０００８】[0008]

【課題を解決するための手段】請求項１記載の抵抗素子
は、酸化マグネシウム（ＭｇＯ）および酸化珪素（Ｓｉ
Ｏ₂ ）を主成分とする絶縁材料と、酸化錫（Ｓｎ
Ｏ₂ ）、酸化亜鉛（ＺｎＯ）および酸化アンチモン（Ｓ
ｂ₂ Ｏ₃ ）を主成分とする導電材料と、酸化カルシウム
（ＣａＯ）、酸化ストロンチウム（ＳｒＯ）および酸化
バリウム（ＢａＯ）の少なくともいずれか一種のアルカ
リ土類金属酸化物を主成分とする添加物とを含有し、前
記絶縁材料、前記導電材料および添加物の配合比は、
０．１≦ｘ≦８５〔重量％〕、３０≦ｙ≦７５〔ｍｏｌ
％〕、４０≦ｚ≦９９．９９８〔ｍｏｌ％〕、０．００
１≦ｗ≦６０〔ｍｏｌ％〕、および０．１≦添加物≦２
０〔ｍｏｌ％〕の範囲において、ｘ｛ｙ（ＭｇＯ）＋
（１００−ｙ）（ＳｉＯ₂ ）＋添加物｝＋（１００−
ｘ）｛ｚ（ＳｎＯ₂ ）＋ｗ（ＺｎＯ）＋（１００−ｚ−
ｗ）（Ｓｂ₂ Ｏ₃ ）｝であるものである。According to a first aspect of the present invention, there is provided a resistance element comprising magnesium oxide ( MgO ) and silicon oxide ( Si ).
O ₂ ) as the main component, and tin oxide ( Sn).
O ₂ ) , zinc oxide ( ZnO ) and antimony oxide ( S
b ₂ O ₃₎ main component and to Rushirubeden material, calcium oxide
( CaO ) , strontium oxide ( SrO ) and oxidation
At least one selected from the group consisting of alkaline earth metal oxide of barium (BaO) containing an additive shall be the main component, prior to
The compounding ratio of the insulating material, the conductive material and the additive ,
0.1 ≦ x ≦ 85 [weight%], 30 ≦ y ≦ 75 [mol
%], 40 ≦ z ≦ 99.998 [mol%], 0.00
1 ≦ w ≦ 60 [mol%], and 0.1 ≦ additive ≦ 2
In the range of 0 [mol%], x ｛y (MgO) +
(100-y) (SiO ₂ ) + additive｝ + (100−
x) ｛z (SnO ₂ ) + w (ZnO) + (100-z−
w) (Sb ₂ O ₃ ) } .

【０００９】請求項２記載の固定抵抗器は、請求項１記
載の抵抗素子と、この抵抗素子を介在して対向する一対
の電極とを具備したものである。 The fixed resistor according to the second aspect is the first aspect.
And a pair of opposing elements with this resistance element interposed
And the electrodes described above.

【００１０】[0010]

【作用】請求項１記載の抵抗素子は、酸化マグネシウム
（ＭｇＯ）および酸化珪素（ＳｉＯ₂ ）を主成分とする
絶縁材料と、酸化錫（ＳｎＯ₂ ）、酸化亜鉛（ＺｎＯ）
および酸化アンチモン（Ｓｂ₂ Ｏ₃ ）を主成分とする導
電材料と、酸化カルシウム（ＣａＯ）、酸化ストロンチ
ウム（ＳｒＯ）および酸化バリウム（ＢａＯ）の少なく
ともいずれか一種のアルカリ土類金属酸化物を主成分と
する添加物とを、０．１≦ｘ≦８５〔重量％〕、３０≦
ｙ≦７５〔ｍｏｌ％〕、４０≦ｚ≦９９．９９８〔ｍｏ
ｌ％〕、０．００１≦ｗ≦６０〔ｍｏｌ％〕および０．
１≦添加物≦２０〔ｍｏｌ％〕の範囲で、ｘ｛ｙ（Ｍｇ
Ｏ）＋（１００−ｙ）（ＳｉＯ ₂ ）＋添加物｝＋（１０
０−ｘ）｛ｚ（ＳｎＯ ₂ ）＋ｗ（ＺｎＯ）＋（１００−
ｚ−ｗ）（Ｓｂ ₂ Ｏ ₃ ）｝の配合比とするため、絶縁材
料を０．１重量％以上８５重量％以下、導電部材を１５
重量％以上９９．９９８重量％以下の広い範囲で配合す
ることにより、同一材料でも抵抗値を１０^-1Ωｃｍ以上
１０⁷ Ωｃｍ以下程度の広い範囲に設定可能となるとと
もに、酸化カルシウム（ＣａＯ）、酸化ストロンチウム
（ＳｒＯ）および酸化バリウム（ＢａＯ）の少なくとも
いずれか一種のアルカリ土類金属酸化物を主成分とする
添加物の添加により、焼成温度が低下して、広い範囲に
亘る配合比でも実用温度で焼成可能となる。The resistance element according to claim 1 is magnesium oxide.
And <br/> insulating material composed mainly of (MgO) and silicon oxide (SiO _2), tin oxide (SnO _2), zinc oxide (ZnO)
And the antimony oxide (Sb ₂ O ₃₎ a main component and to Rushirubeden material, calcium oxide (CaO), oxidation Sutoronchi
(SrO) and barium oxide (BaO)
And any one type of alkaline earth metal oxide
0.1 ≦ x ≦ 85 [% by weight], 30 ≦
y ≦ 75 [mol%], 40 ≦ z ≦ 99.998 [mo
1%], 0.001 ≦ w ≦ 60 [mol%], and 0.1%.
In the range of 1 ≦ additive ≦ 20 [mol%], x ｛y (Mg
O) + (100-y) (SiO ₂ ) + additive｝ + (10
0-x) ｛z (SnO ₂ ) + w (ZnO) + (100−
zw) (Sb ₂ O ₃ )｝
85 wt% 0.1 wt% or more of charges less, a conductive member 15
It is formulated in a wide range of more wt% 99.998% by weight
The Rukoto, when it becomes possible to set the resistance value to a wide range of degree 10 ^-1 [Omega] cm or more 10 ⁷ [Omega] cm or less of the same material DOO
In addition, calcium oxide ( CaO ), strontium oxide
( SrO 2 ) and at least one kind of alkaline earth metal oxide of barium oxide ( BaO 3 )
More added pressure additives, sintering temperature is lowered, the baked Naruka ability at practical temperatures even blending ratios over a wide range.

【００１１】請求項２記載の固定抵抗器は、一対の対向
する電極間に請求項１記載の抵抗素子を介在させるた
め、抵抗値を１０ ^-1 Ωｃｍ以上１０ ⁷ Ωｃｍ以下程度の
広い範囲に設定可能となるとともに、酸化カルシウム
（ＣａＯ）、酸化ストロンチウム（ＳｒＯ）および酸化
バリウム（ＢａＯ）の少なくともいずれか一種のアルカ
リ土類金属酸化物を主成分とする添加物の添加により、
焼成温度が低下して、広い範囲に亘る配合比でも実用温
度で焼成可能となる。 According to a second aspect of the present invention, the fixed resistor includes a pair of opposed resistors.
The resistance element according to claim 1 is interposed between the electrodes.
To a resistance value of about 10 ^-1 Ωcm or more and about 10 ⁷ Ωcm or less.
It can be set in a wide range, and calcium oxide
( CaO ), strontium oxide ( SrO ) and oxidation
At least one kind of barium ( BaO )
More re earth metal oxides added pressure additives mainly,
Firing temperature is lowered, the baked Naruka ability at practical temperatures even blending ratios over a wide range.

【００１２】[0012]

【実施例】以下、本発明の一実施例の固定抵抗器を説明
する。 DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS A fixed resistor according to one embodiment of the present invention will be described below.
I do.

【００１３】固定抵抗器は、絶縁材料と導電材料と添加
物とを含有する混合物が、例えば圧縮成形などにて成形
されて得られた成形体が焼成され、この焼成体である抵
抗素子の両端部に一対の電極が対向して設けられて構成
されている。 The fixed resistor is formed by adding an insulating material and a conductive material.
The mixture containing the product is molded by compression molding, for example.
The obtained molded body is fired, and the fired body is a resistor.
A pair of electrodes are provided facing each other at both ends of the resistance element.
Have been.

【００１４】そして、抵抗素子の原料である絶縁材料
は、例えば水酸化マグネシウム（Ｍｇ（ＯＨ） ₂ ）など
のマグネシウム化合物の焼成により得られる酸化マグネ
シウム（ＭｇＯ）および珪素化合物の焼成などにより得
られる酸化珪素（ＳｉＯ ₂ ）を主成分とする。また、導
電材料は、錫化合物の焼成などにより得られる酸化錫
（ＳｎＯ ₂ ）、亜鉛化合物の焼成などにより得られる酸
化亜鉛（ＺｎＯ）およびアンチモン化合物の焼成などに
より得られる酸化アンチモン（Ｓｂ ₂ Ｏ ₃ ）を主成分と
する。さらに、添加物は、炭酸カルシウム（ＣａＣ
Ｏ ₃ ）などのカルシウム化合物の焼成により得られる酸
化カルシウム（ＣａＯ）、ストロンチウム化合物の焼成
などにより得られる酸化ストロンチウム（ＳｒＯ）およ
び炭酸バリウム（ ＢａＣＯ ₃ ）などのバリウム化合物の
例えば焼成により得られる酸化バリウム（ＢａＯ）の少
なくともいずれか一種のアルカリ土類金属酸化物を主成
分とする。 An insulating material which is a raw material of the resistance element
Is, for example, magnesium hydroxide (Mg (OH) ₂ )
Oxide obtained by calcination of magnesium compound
Obtained by baking calcium (MgO) and silicon compounds
Silicon oxide (SiO ₂ ) as a main component. In addition,
The electrical material is tin oxide obtained by firing a tin compound, etc.
(SnO ₂ ), an acid obtained by firing a zinc compound, etc.
For baking zinc oxide (ZnO) and antimony compounds
Antimony oxide (Sb ₂ O ₃ )
I do. Further, the additive is calcium carbonate (CaC).
Acids obtained by calcining calcium compounds such as O ₃ )
Of calcium fluoride (CaO) and strontium compounds
Strontium oxide (SrO)
Of barium compounds such as carbon dioxide and barium carbonate ( BaCO ₃ )
For example, a small amount of barium oxide (BaO)
At least one kind of alkaline earth metal oxide
Minutes.

【００１５】これらの原料が、 ｘ｛ｙ（ＭｇＯ）＋（１００−ｙ）（ＳｉＯ ₂ ）＋添加物｝ ＋（１００−ｘ）｛ｚ（ＳｎＯ ₂ ）＋ｗ（ＺｎＯ） ＋（１００−ｚ−ｗ）（Ｓｂ ₂ Ｏ ₃ ）｝ ０．１≦ｘ≦８５〔重量％〕 ３０≦ｙ≦７５〔ｍｏｌ％〕 ４０≦ｚ≦９９．９９８〔ｍｏｌ％〕 ０．００１≦ｗ≦６０〔ｍｏｌ％〕 ０．１≦添加物≦２０〔ｍｏｌ％〕 の条件で配合されて原料の混合物となる。 These raw materials are: x {y (MgO) + (100-y) (SiO ₂ ) + additive} + (100-x) ｛z (SnO ₂ ) + w (ZnO) + (100-z− w) (Sb ₂ O ₃ )｝ 0.1 ≦ x ≦ 85 [wt%] 30 ≦ y ≦ 75 [mol%] 40 ≦ z ≦ 99.998 [mol%] 0.001 ≦ w ≦ 60 [mol%] ] 0.1 ≦ additive ≦ 20 [mol%] to form a mixture of raw materials.

【００１６】次に、上記実施の形態の製造工程を説明す
る。 Next, the manufacturing process of the above embodiment will be described.
You.

【００１７】まず、マグネシウム化合物である例えば水
酸化マグネシウム（Ｍｇ（ＯＨ） ₂ ）、珪酸化合物であ
る例えば酸化珪素（ＳｉＯ ₂ ）、錫化合物である例えは
酸化錫（ＳｎＯ ₂ ）、亜鉛化合物である例えば酸化亜鉛
（ＺｎＯ）、アンチモン化合物である例えば酸化アンチ
モン（Ｓｂ ₂ Ｏ ₃ ）、アルカリ土類金属化合物としての
例えばバリウム化合物である炭酸バリウム（ＢａＣ
Ｏ ₃ ）、アルカリ土類金属化合物としての例えばカルシ
ウム化合物である炭酸カルシウム（ＣａＣＯ ₃ ）を、例
えば以下の比率で配合する。 First, a magnesium compound such as water
Magnesium oxide (Mg (OH) ₂ ), a silicate compound
For example, silicon oxide (SiO ₂ ), a tin compound
Tin oxide (SnO ₂ ), a zinc compound such as zinc oxide
(ZnO), an antimony compound such as antioxidant
Mon (Sb ₂ O ₃ ) as an alkaline earth metal compound
For example, barium carbonate (BaC) which is a barium compound
O ₃ ), for example, calcium as an alkaline earth metal compound
Calcium carbonate (CaCO ₃ ), which is
For example, they are blended in the following ratio.

【００１８】 ７０重量％｛（６５mol%Ｍｇ（ＯＨ）₂ ＋３５mol%ＳｉＯ₂ ） ＋（７mol%ＢａＣＯ₃＋３mol%ＣａＣＯ₃ ）｝ ＋３０重量％｛（８７．５mol%ＳｎＯ₂ ＋１０mol%ＺｎＯ ＋２．５mol%Ｓｂ₂ Ｏ₃ ）｝そして、この 配合した原料を、例えばボールミルで２０
時間混合して混合物を調製する。さらに、この混合物を
例えば１１００℃で２時間保持して仮焼し、抵抗素子の
原料である絶縁材料である酸化マグネシウム（ＭｇＯ）
および酸化珪素（ＳｉＯ ₂ ）と、導電材料である酸化錫
（ＳｎＯ ₂ ）、酸化亜鉛（ＺｎＯ）および酸化アンチモ
ン（Ｓｂ ₂ Ｏ ₃ ）と、添加物となるアルカリ土類金属酸
化物である酸化カルシウム（ＣａＯ）および酸化バリウ
ム（ＢａＯ）とが混合された仮焼粉を得る。そして、こ
の仮焼粉を、例えば再びボールミルで２０時間混合し、
ポリビニルアルコール溶液を添加して造粒する。70% by weight {(65 mol% Mg (OH) ₂ +35 mol% SiO ₂ ) + (7 mol% BaCO ₃ +3 mol% CaCO ₃ )} + 30% by weight {(87.5 mol% SnO ₂ +10 mol% ZnO +2.5 mol% sb ₂ O _3)} then, the compounded raw materials, for example in a ball mill 20
Mix for a time to prepare the mixture . In addition, this mixture
For example, it is held at 1100 ° C. for 2 hours and calcined ,
Magnesium oxide (MgO), an insulating material that is a raw material
And silicon oxide (SiO ₂ ), and tin oxide as a conductive material
(SnO ₂ ), zinc oxide (ZnO) and antimony oxide
(Sb ₂ O ₃ ) and an alkaline earth metal acid as an additive
Oxide (CaO) and Barium Oxide
Beam Ru obtain a calcined powder (BaO) and were mixed. Then, the calcined powder is mixed again by , for example, a ball mill for 20 hours .
Add a polyvinyl alcohol solution and granulate.

【００１９】次に、造粒した造粒粉を圧縮成形し、得ら
れた成形体を例えば１３４０℃の温度に２時間保持して
焼成する。この焼成により得られた焼結体は、 ７０重量％｛（６５mol%ＭｇＯ＋３５mol%ＳｉＯ₂ ） ＋（７mol%ＢａＯ＋３mol%ＣａＯ）｝ ＋３０重量％｛（８７．５mol%ＳｎＯ₂ ＋１０mol%ＺｎＯ ＋２．５mol%Ｓｂ₂ Ｏ₃ ）｝の 配合比となる。 Next, the granulated powder is compression-molded to obtain
The obtained molded body is held at a temperature of, for example, 1340 ° C. for 2 hours and fired. The sintered body obtained by this calcination, 70 wt% {(65mol% MgO + 35mol % SiO 2) + (7mol% BaO + 3mol% CaO)} +30 _{wt% {(87.5mol% SnO 2 +} 10mol% ZnO + 2.5mol% sb ₂ O ₃₎ ing the compounding ratio of}.

【００２０】そして、この焼結体の両端部に電極を形成
し、固定抵抗器を形成する。[0020] Then, an electrode is formed on both ends of the sintered body, forming a fixed resistor.

【００２１】なお、上記配合比の固定抵抗器の抵抗値は
約６．７ｋΩ、抵抗の温度係数は（Temperature Coeffi
cient of Resister：ＴＣＲ）は約−１３７０ｐｐｍ／
℃である。The resistance of the fixed resistor having the above composition ratio is about 6.7 kΩ, and the temperature coefficient of the resistor is (Temperature Coeffi).
cient of Resister: TCR ) is about -1370 ppm /
℃ Ru Der.

【００２２】上述したように、酸化マグネシウム（Ｍｇ
Ｏ）および酸化珪素（ＳｉＯ ₂ ）を主成分とする絶縁材
料と、酸化錫（ＳｎＯ ₂ ）、酸化亜鉛（ＺｎＯ）および
酸化アンチモン（Ｓｂ ₂ Ｏ ₃ ）を主成分とする導電材料
と、酸化カルシウム（ＣａＯ）、酸化ストロンチウム
（ＳｒＯ）および酸化バリウム（ＢａＯ）の少なくとも
いずれか一種のアルカリ土類金属酸化物を主成分とする
添加物とを、０．１≦ｘ≦８５〔重量％〕、３０≦ｙ≦
７５〔ｍｏｌ％〕、４０≦ｚ≦９９．９９８〔ｍ ｏｌ
％〕、０．００１≦ｗ≦６０〔ｍｏｌ％〕および０．１
≦添加物≦２０〔ｍｏｌ％〕の範囲で、ｘ｛ｙ（Ｍｇ
Ｏ）＋（１００−ｙ）（ＳｉＯ ₂ ）＋添加物｝＋（１０
０−ｘ）｛ｚ（ＳｎＯ ₂ ）＋ｗ（ＺｎＯ）＋（１００−
ｚ−ｗ）（Ｓｂ ₂ Ｏ ₃ ）｝の配合比とするため、絶縁材
料を０．１重量％以上８５重量％以下、導電部材を１５
重量％以上９９．９９８重量％以下の広い範囲で配合す
ることにより、同一材料でも抵抗値を１０ ^-1 Ωｃｍ以上
１０ ⁷ Ωｃｍ以下程度の広い範囲に設定できるととも
に、酸化カルシウム（ＣａＯ）、酸化ストロンチウム
（ＳｒＯ）および酸化バリウム（ＢａＯ）の少なくとも
いずれか一種のアルカリ土類金属酸化物を主成分とする
添加物の添加により、焼成温度が低下して、広い範囲に
亘る配合比でも実用温度で焼成でき、容易に固定抵抗器
を形成でき、製造性を向上できる。 As described above, magnesium oxide (Mg)
O) and insulating material mainly composed of silicon oxide (SiO ₂ )
And tin oxide (SnO ₂ ), zinc oxide (ZnO) and
Conductive material mainly composed of antimony oxide (Sb ₂ O ₃ )
And calcium oxide (CaO), strontium oxide
(SrO) and at least barium oxide (BaO)
Mainly composed of any one kind of alkaline earth metal oxide
0.1 ≦ x ≦ 85 [wt%], 30 ≦ y ≦
75 [mol%], 40 ≦ z ≦ 99.998 [m ol
%], 0.001 ≦ w ≦ 60 [mol%] and 0.1
≦ additive ≦ 20 [mol%], x ≦ y (Mg
O) + (100-y) (SiO ₂ ) + additive｝ + (10
0-x) ｛z (SnO ₂ ) + w (ZnO) + (100−
zw) (Sb ₂ O ₃ )｝
0.1% to 85% by weight of the material and 15
Blend in a wide range of not less than 99% and not more than 99.998% by weight
By using the same material, the resistance value can be 10 ^-1 Ωcm or more.
It can be set to a wide range of about 10 ⁷ Ωcm or less
Calcium oxide (CaO), strontium oxide
(SrO) and at least barium oxide (BaO)
Mainly composed of any one kind of alkaline earth metal oxide
Addition of additives lowers the firing temperature to a wide range
It can be fired at practical temperature even with a wide mixing ratio, and it is easy to fix resistors
Can be formed, and the productivity can be improved.

【００２３】また、酸化錫（ＳｎＯ ₂ ）の一部を、酸化
亜鉛（ＺｎＯ）にて置換するため、原料費の低減ができ
る。 Further, a part of tin oxide (SnO ₂ ) is
Substitution with zinc (ZnO) reduces raw material costs
You.

【００２４】次に、他の実施例の固定抵抗器を説明す
る。 Next, a fixed resistor according to another embodiment will be described.
You.

【００２５】まず、マグネシウム化合物である例えば水
酸化マグネシウム（Ｍｇ（ＯＨ） ₂ ）、珪酸化合物であ
る例えば酸化珪素（ＳｉＯ ₂ ）、錫化合物である例えは
酸化錫（ＳｎＯ ₂ ）、亜鉛化合物である例えば酸化亜鉛
（ＺｎＯ）、アンチモン化合物である例えば酸化アンチ
モン（Ｓｂ ₂ Ｏ ₃ ）、アルカリ土類金属化合物としての
例えばバリウム化合物である炭酸バリウム（ＢａＣ
Ｏ ₃ ）、アルカリ土類金属化合物としての例えばカルシ
ウム化合物である炭酸カルシウム（ＣａＣＯ ₃ ）を、例
えば以下の比率で配合する。 First, a magnesium compound such as water
Magnesium oxide (Mg (OH) ₂ ), a silicate compound
For example, silicon oxide (SiO ₂ ), a tin compound
Tin oxide (SnO ₂ ), a zinc compound such as zinc oxide
(ZnO), an antimony compound such as antioxidant
Mon (Sb ₂ O ₃ ) as an alkaline earth metal compound
For example, barium carbonate (BaC) which is a barium compound
O ₃ ), for example, calcium as an alkaline earth metal compound
Calcium carbonate (CaCO ₃ ), which is
For example, they are blended in the following ratio.

【００２６】 ８０重量％｛（６５mol%Ｍｇ（ＯＨ）₂ ＋３５mol%ＳｉＯ₂ ） ＋（７mol%ＢａＣＯ₃＋３mol%ＣａＣＯ₃ ）｝ ＋２０重量％｛（６７．５mol%ＳｎＯ₂ ＋３０mol%ＺｎＯ ＋２．５mol%Ｓｂ₂ Ｏ₃ ）｝そして、この 配合した原料を、例えばボールミルで２０
時間混合して混合物を調製する。さらに、この混合物に
ポリビニルアルコール溶液を添加して造粒する。80 wt % {(65 mol% Mg (OH) ₂ +35 mol% SiO ₂ ) + (7 mol% BaCO ₃ +3 mol% CaCO ₃ )} + 20 wt % {(67.5 mol% SnO ₂ +30 mol% ZnO + 2.5 mol% Sb ₂ O ₃ )｝ Then, this compounded raw material is, for example , 20 ball milled.
Mix for a time to prepare the mixture . Further, granulated with the addition of polyvinyl alcohol solution to the mixture.

【００２７】次に、造粒した造粒粉を圧縮成形し、得ら
れた成形体を例えば１３００℃の温度に２時間保持して
焼成する。この焼成により得られた焼結体は、 ８０重量％｛（６５mol%ＭｇＯ＋３５mol%ＳｉＯ₂ ） ＋（７mol%ＢａＯ＋３mol%ＣａＯ）｝ ＋２０重量％｛（６７．５mol%ＳｎＯ₂ ＋３０mol%ＺｎＯ ＋２．５mol%Ｓｂ₂ Ｏ₃ ）｝の 配合比となる。 Next, the granulated powder is compression-molded to obtain
The molded body thus obtained is kept at a temperature of, for example, 1300 ° C. for 2 hours and fired. The sintered body obtained by this calcination, 80 wt% {(65mol% MgO + 35mol % SiO 2) + (7mol% BaO + 3mol% CaO)} +20 _{wt% {(67.5mol% SnO 2 +} 3 0mol% ZnO +2. 5mol% Sb ₂ O ₃₎ blending ratio of} the ing.

【００２８】そして、この焼結体の両端部に電極を形成
し、固定抵抗器を形成する。[0028] Then, an electrode is formed on both ends of the sintered body, forming a fixed resistor.

【００２９】なお、上記配合比の固定抵抗器の抵抗値は
約２５０ｋΩ、抵抗の温度係数は（Temperature Coeffi
cient of Resister：ＴＣＲ）は約−１４２０ｐｐｍ／
℃である。 The resistance value of the fixed resistor having the above composition ratio is about 250 kΩ, and the temperature coefficient of the resistance is (Temperature Coeffi
cient of Resister: TCR ) is about -1420 ppm /
℃ Ru Der.

【００３０】次に、さらに他の実施例の固定抵抗器を説
明する。 Next, a fixed resistor according to still another embodiment will be described.
I will tell.

【００３１】まず、 ７０重量％｛（６５mol%ＭｇＯ＋３５mol%ＳｉＯ₂ ） ＋（７mol%ＢａＯ＋３mol%ＣａＯ）｝ ＋３０重量％｛（９７．５−ｗ）mol%ＳｎＯ₂ ＋ｗmol%ＺｎＯ ＋２．５mol%Ｓｂ₂ Ｏ₃ ）｝の 配合比の原料を、 ０．００１≦ｗ≦６０ の範囲でｗを変化させ、上記各実施例と同様の方法で固
定抵抗器を形成し、それぞれの比抵抗を測定した。その
結果を図１に示す。 First, 70 wt % {(65 mol% MgO + 35 mol% SiO ₂ ) + (7 mol% BaO + 3 mol% CaO)} + 30 wt % {(97.5-w) mol% SnO ₂ + wmol% ZnO +2.5 mol% Sb ₂ O ₃ )｝ The raw material having the compounding ratio is changed by changing w in the range of 0.001 ≦ w ≦ 60, and solidified in the same manner as in each of the above Examples.
A constant resistor was formed , and each specific resistance was measured . The results are shown in FIG.

【００３２】この図１に示す結果から、導電材料のうち
のＺｎＯの配合量を０．００１ｍｏｌ％以上６０ｍｏｌ
％以下の範囲で変化させることにより、比抵抗を１０Ω
ｃｍ以上１０⁶ Ωｃｍ以下の広範囲に変化することがで
きることがわかる。[0032] From the results shown in FIG. 1, the amount of ZnO of conductive material than 0.001 mol% 60 mol
% By changing the specific resistance to 10Ω or less.
It can be seen that it can be varied over a wide range of not less than 10 cm and not more than 10 ⁶ Ωcm.

【００３３】さらに、これら固定抵抗器を図２に示す電
気回路の抵抗Rxに用い、形状が直径４．０ｍｍ、長さ寸
法１５ｍｍで、抵抗値が１０ｋΩに１５ｋＶで高圧パル
スを印加した。そして、この高圧パルスの印加した回数
と抵抗値変化率（ΔＲ／Ｒ）との関係を図３に示す。[0033] Furthermore, using the resistance Rx of the electric circuit shown in Figure 2. These fixed resistor, shape diameter 4.0 mm, length dimension
In Act 15 mm, the resistance was applied a high voltage pulse at 15kV to 10 k.OMEGA. Then, shows the relationship between the applied number of times the resistance change rate of the high-voltage pulse ([Delta] R / R) in Fig.

【００３４】この図３に示す結果から、高圧パルスを２
００００回印加しても抵抗値変化率は１％以下であり、
高圧パルスに対して抵抗値の安定性が高いことがわか
る。[0034]thisFIG.From the results shown in, High pressure pulseTo2
0000 timesApplyAlso, the rate of change of the resistance value is 1% or less,
High stability of resistance against high-voltage pulsesI know
You.

【００３５】このように、絶縁材料であるセラミックス
材料として、酸化マグネシウム（ＭｇＯ）および酸化珪
素（ＳｉＯ ₂ ）と、導電材料として酸化錫（Ｓｎ
Ｏ ₂ ）、酸化亜鉛（ＺｎＯ）および酸化アンチモン（Ｓ
ｂ ₂ Ｏ ₃ ）を配合したため、高電圧パルス、大電流パル
ス特性を向上でき、抵抗値変化率を小さくできる。 As described above, the insulating material ceramics
Materials include magnesium oxide (MgO) and silicon oxide
Element (SiO ₂ ) and tin oxide (Sn) as a conductive material
O ₂ ), zinc oxide (ZnO) and antimony oxide (S
b ₂ O ₃ ), high voltage pulse, high current pulse
Characteristics can be improved and the rate of change in resistance can be reduced.

【００３６】[0036]

【発明の効果】請求項１記載の抵抗素子によれば、酸化
マグネシウム（ＭｇＯ）および酸化珪素（ＳｉＯ₂ ）を
主成分とする絶縁材料と、酸化錫（ＳｎＯ₂ ）、酸化亜
鉛（ＺｎＯ）および酸化アンチモン（Ｓｂ₂ Ｏ₃ ）を主
成分とする導電材料と、酸化カルシウム（ＣａＯ）、酸
化ストロンチウム（ＳｒＯ）および酸化バリウム（Ｂａ
Ｏ）の少なくともいずれか一種のアルカリ土類金属酸化
物を主成分とする添加物とを、０．１≦ｘ≦８５〔重量
％〕、３０≦ｙ≦７５〔ｍｏｌ％〕、４０≦ｚ≦９９．
９９８〔ｍｏｌ％〕、０．００１≦ｗ≦６０〔ｍｏｌ
％〕および０．１≦添加物≦２０〔ｍｏｌ％〕の範囲
で、ｘ｛ｙ（ＭｇＯ）＋（１００−ｙ）（ＳｉＯ ₂ ）＋
添加物｝＋（１００−ｘ）｛ｚ（ＳｎＯ ₂ ）＋ｗ（Ｚｎ
Ｏ）＋（１００−ｚ−ｗ）（Ｓｂ ₂ Ｏ ₃ ）｝の配合比と
するため、絶縁材料を０．１重量％以上 ８５重量％以
下、導電部材を１５重量％以上９９．９９８重量％以下
の広い範囲で配合することにより、同一材料でも抵抗値
を１０^-1Ωｃｍ以上１０⁷ Ωｃｍ以下程度の広い範囲に
設定できるとともに、酸化カルシウム（ＣａＯ）、酸化
ストロンチウム（ＳｒＯ）および酸化バリウム（Ｂａ
Ｏ）の少なくともいずれか一種のアルカリ土類金属酸化
物を主成分とする添加物の添加により、焼成温度が低下
して、広い範囲に亘る配合比でも実用温度で焼成でき
る。【The invention's effect】The resistance element according to claim 1.According toOxidation
magnesium(MgO) And silicon oxide (SiO_Two )
Main componentAn insulating material;Tin oxide (SnO_Two ),Oxide
lead(ZnO) And antimony oxide (Sb_TwoO_Three ) Mainly
IngredientsConductive materialAnd calcium oxide (CaO), acid
Strontium (SrO) and barium oxide (Ba)
O) Oxidation of at least one kind of alkaline earth metal
0.1 ≦ x ≦ 85 [weight]
%], 30 ≦ y ≦ 75 [mol%], 40 ≦ z ≦ 99.
998 [mol%], 0.001 ≦ w ≦ 60 [mol
%] And 0.1 ≦ additive ≦ 20 [mol%]
And x ｛y (MgO) + (100−y) (SiO _Two ) +
Additive {+ (100-x)} z (SnO _Two ) + W (Zn
O) + (100−z−w) (Sb _Two O _Three )｝
0.1% by weight or more of insulating material 85% by weight or less
Below, 15% by weight or more and 99.998% by weight or less of the conductive member
By blending in a wide range ofSameLumberFeeButResistance value
To10^-1Ωcmthat's all10⁷ΩcmLess thanWideIn range
Calcium oxide (CaO), Oxidation
strontium(SrO) And barium oxide (Ba
O)At leasteitherKindAlkaline earth metal oxidation
By adding additives whose main component isFiring temperatureButDecline
do it,WideIMixing ratio over a rangeBut it can be fired at practical temperature
You.

【００３７】請求項２記載の固定抵抗器によれば、一対
の対向する電極間に請求項１記載の抵抗素子を介在させ
るため、抵抗値を１０ ^-1 Ωｃｍ以上１０ ⁷ Ωｃｍ以下程
度の広い範囲に設定できるとともに、酸化カルシウム
（ＣａＯ）、酸化ストロンチウム（ＳｒＯ）および酸化
バリウム（ＢａＯ）の少なくともいずれか一種のアルカ
リ土類金属酸化物を主成分とする添加物の添加により、
焼成温度が低下して、広い範囲に亘る配合比でも実用温
度で焼成できる。 According to the fixed resistor of the second aspect, a pair of the fixed resistor is provided.
The resistance element according to claim 1 is interposed between the opposing electrodes.
Therefore, the resistance value should be about 10 ^-1 Ωcm or more and about 10 ⁷ Ωcm or less.
It can be set in a wide range and the calcium oxide
(CaO), strontium oxide (SrO) and oxidation
At least one kind of barium (BaO) arc
By the addition of additives mainly composed of earth metal oxides,
The firing temperature is lowered, and even at a wide range of mixing ratios,
Can be fired at a temperature.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図１】本発明の第三の実施例を示す固定抵抗器の導電
材料におけるＳｎＯ2 とＺｎＯとの配合比を変化させた
場合の比抵抗との関係を示すグラフである。1 is a graph showing the relationship between the specific resistance when the third was embodiment by changing the mixing ratio of the SnO2 and ZnO in the shown to solid conductive material of a constant resistor of the present invention.

【図２】同上の固定抵抗器を使用した高圧パルス試験用
の回路図である。FIG. 2 is a circuit diagram for a high-voltage pulse test using the same fixed resistor.

【図３】同上の高圧パルスに対する抵抗値変化率を示す
グラフである。 FIG. 3 shows a resistance value change rate with respect to the high-voltage pulse of the above .
It is a graph.

Claims (2)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項１】 酸化マグネシウム（ＭｇＯ）および酸化
珪素（ＳｉＯ₂ ）を主成分とする絶縁材料と、酸化錫
（ＳｎＯ₂ ）、酸化亜鉛（ＺｎＯ）および酸化アンチモ
ン（Ｓｂ₂ Ｏ₃ ）を主成分とする導電材料と、酸化カル
シウム（ＣａＯ）、酸化ストロンチウム（ＳｒＯ）およ
び酸化バリウム（ＢａＯ）の少なくともいずれか一種の
アルカリ土類金属酸化物を主成分とする添加物とを含有
し、前記絶縁材料、前記導電材料および添加物の 配合比は、 ｘ｛ｙ（ＭｇＯ）＋（１００−ｙ）（ＳｉＯ₂ ）＋添加物｝ ＋（１００−ｘ）｛ｚ（ＳｎＯ₂ ）＋ｗ（ＺｎＯ） ＋（１００−ｚ−ｗ）（Ｓｂ₂ Ｏ₃ ）｝ ０．１≦ｘ≦８５〔重量％〕 ３０≦ｙ≦７５〔ｍｏｌ％〕 ４０≦ｚ≦９９．９９８〔ｍｏｌ％〕 ０．００１≦ｗ≦６０〔ｍｏｌ％〕 ０．１≦添加物≦２０〔ｍｏｌ％〕 であることを特徴とする抵抗素子。1. Magnesium oxide ( MgO ) and oxidation
An insulating material containing silicon ( SiO ₂ ) as a main component and tin oxide
( SnO ₂ ) , zinc oxide ( ZnO ) and antimony oxide
Emissions and (Sb ₂ O ₃₎ a main component and to Rushirubeden material, oxide Cal
Cium ( CaO ) , strontium oxide ( SrO ) and
Containing an additive shall be the main component at least one selected from the group consisting of alkaline earth metal oxide fine barium oxide (BaO)
And the insulating material, the compounding ratio of the conductive material and additive, x {y (MgO) + (100-y) (SiO 2) + additive} + (100-x) { z (SnO 2) + w (ZnO) + (100−z−w) (Sb ₂ O ₃ )｝ 0.1 ≦ x ≦ 85 [wt%] 30 ≦ y ≦ 75 [mol%] 40 ≦ z ≦ 99.998 [mol%] 0 .001 ≦ w ≦ 60 [mol% ] 0 . 1 ≦ additive ≦ 20 resistor elements you being a [mol%]. 【請求項２】 請求項１記載の抵抗素子と、 この抵抗素子を介在して対向する一対の電極と を具備し
たことを特徴とする固定抵抗器。 2. A resistance element according to claim 1, comprising a pair of electrodes facing interposed the resistive element
A fixed resistor, characterized in that: