JP3200631U - 吸着テーブル - Google Patents
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Abstract
【課題】導電性を有する材料からなる上に、密集した多数の空隙を吸着面に有し加工対象物に対する吸着力が均一である吸着テーブルを提供すること。【解決手段】上面11に開口する空気流路14が形成されている金属台座1と、金属粉末を互いに結合させて板状に形成して構成された金属吸着板2であって、吸着面22とその反対側にある底面23と、吸着面22と底面23とを連通する複数の気孔とを有し、前記気孔は、それぞれ隣り合う前記金属粉末間の空隙が連続して構成された気孔である金属吸着板2とを備え、金属吸着板2の底面23が金属台座1の上面11に載置されると共に、金属台座1の空気流路14に負圧が付与されると、前記気孔を介して吸着面22に該負圧が伝わり加工対象物を吸着面22で吸着保持できるように構成されている吸着テーブル。【選択図】図2
Description
本考案は加工機器に関し、特に加工対象物を吸着保持する吸着テーブルに関する。
回路基板などをワークとして機械加工(フライスやドリルを用いた切削加工など)を行なう際に、ワークを載置および保持するためのテーブルが、例えば特許文献1や特許文献2に示されている。これら従来技術においては、ワークをテーブルに固定するための手段として、ピンが用いられている。しかし、ピンでの固定は、固定やその解除を行なうたびにいちいちピンを抜き差しする必要があるので、時間と手間がかかる。また、ワークの形態によってはピンでの固定に適さない場合もある。
そこで、例えば特許文献3(特に図8及び図9を参照)に示されているように、負圧によってワークをテーブルに吸着して保持する方式も用いられている。このような吸着テーブルの吸着板として、特許文献3の図8には貫通孔が多数開けられた金属板を用いた例が、図9には材質そのものが微細孔を多数有する陶磁器製の多孔質板を用いた例がそれぞれ示されている。吸着板の下面に負圧を生成すると、貫通孔或いは微細孔を介して該負圧が吸着板の上面に伝わることにより、ワークが吸着板の上面に吸着される。
そこで、例えば特許文献3(特に図8及び図9を参照)に示されているように、負圧によってワークをテーブルに吸着して保持する方式も用いられている。このような吸着テーブルの吸着板として、特許文献3の図8には貫通孔が多数開けられた金属板を用いた例が、図9には材質そのものが微細孔を多数有する陶磁器製の多孔質板を用いた例がそれぞれ示されている。吸着板の下面に負圧を生成すると、貫通孔或いは微細孔を介して該負圧が吸着板の上面に伝わることにより、ワークが吸着板の上面に吸着される。
しかし、上記いずれの吸着板の例も、例えばプリント回路基板(PCB)をワークとする場合に、以下に挙げる不具合が生じる。
1.金属板に多数の貫通孔を開けるためには機械加工が必要であり、金属板の全体に均等に且つ密に穿孔するのは難しく、また孔径の微小化も難しい。このような有孔金属板を吸着板として用いると、加工過程において、基板の加工により極めて薄く構成された部分が、吸着により貫通孔に吸い込まれて局部的な熱変形を起こし歪んでしまい、基板全体がぴったりと金属板平面に吸着されなくなるといった問題が起こる。また、貫通孔の密度不足により、吸着力にむらが出るといった問題もある。
2.陶磁器製の多孔質板を吸着板とした場合、気孔(空隙)の密度が高いので吸着力が比較的均等であるが、陶磁器製の吸着板は製造コストが高い上に金属製のものと比べて放熱性に劣るという欠点を有する。しかも、陶磁器は導電しないので、ワークに機械加工を行なう際、例えば工具のヘッドがワークに接触した際に通電するようにして工具のヘッドがワークに接触した際のヘッド位置を測定するといった方法を採ることができない。
そこで、本考案は、導電性を有する材料からなる上に、密集した多数の空隙を吸着面に有し加工対象物に対する吸着力が均一である吸着テーブルの提供をその目的とする。
1.金属板に多数の貫通孔を開けるためには機械加工が必要であり、金属板の全体に均等に且つ密に穿孔するのは難しく、また孔径の微小化も難しい。このような有孔金属板を吸着板として用いると、加工過程において、基板の加工により極めて薄く構成された部分が、吸着により貫通孔に吸い込まれて局部的な熱変形を起こし歪んでしまい、基板全体がぴったりと金属板平面に吸着されなくなるといった問題が起こる。また、貫通孔の密度不足により、吸着力にむらが出るといった問題もある。
2.陶磁器製の多孔質板を吸着板とした場合、気孔(空隙)の密度が高いので吸着力が比較的均等であるが、陶磁器製の吸着板は製造コストが高い上に金属製のものと比べて放熱性に劣るという欠点を有する。しかも、陶磁器は導電しないので、ワークに機械加工を行なう際、例えば工具のヘッドがワークに接触した際に通電するようにして工具のヘッドがワークに接触した際のヘッド位置を測定するといった方法を採ることができない。
そこで、本考案は、導電性を有する材料からなる上に、密集した多数の空隙を吸着面に有し加工対象物に対する吸着力が均一である吸着テーブルの提供をその目的とする。
上記目的を達成するための手段として、本考案は、加工対象物を吸着保持するための吸着テーブルとして以下の手段を提供する。
即ち、上面を有し、該上面に開口する空気流路が形成されている金属台座と、複数の金属粉末を互いに結合させて前記金属台座と電気的に接続することができるように板状に形成して構成された吸着板であって、吸着面と、前記吸着面の反対側にある底面と、前記吸着面と前記底面とをそれぞれ連通する複数の気孔と、を有し、前記気孔は、それぞれ隣り合う前記金属粉末間の空隙が連続して構成された気孔である金属吸着板とを備え、前記金属吸着板の前記底面が前記金属台座の前記上面に載置されると共に、前記金属台座の前記空気流路に負圧が付与されると、前記気孔を介して前記金属吸着板の前記吸着面に該負圧が伝わり前記加工対象物を前記吸着面で吸着保持できるように構成されていることを特徴とする吸着テーブルを提供する。
即ち、上面を有し、該上面に開口する空気流路が形成されている金属台座と、複数の金属粉末を互いに結合させて前記金属台座と電気的に接続することができるように板状に形成して構成された吸着板であって、吸着面と、前記吸着面の反対側にある底面と、前記吸着面と前記底面とをそれぞれ連通する複数の気孔と、を有し、前記気孔は、それぞれ隣り合う前記金属粉末間の空隙が連続して構成された気孔である金属吸着板とを備え、前記金属吸着板の前記底面が前記金属台座の前記上面に載置されると共に、前記金属台座の前記空気流路に負圧が付与されると、前記気孔を介して前記金属吸着板の前記吸着面に該負圧が伝わり前記加工対象物を前記吸着面で吸着保持できるように構成されていることを特徴とする吸着テーブルを提供する。
上記手段によれば、金属吸着板が有する気孔は、隣り合う金属粉末間の空隙が連続して構成されたものであり、金属吸着板における分布が均等で且つそれぞれのサイズが微小であるので、加工対象物に対して均等な吸着力が得られる。また、金属吸着板が導電性を有するので、例えば加工の際に工具が加工対象物に接触した時の工具の位置(例えば吸着テーブルからの高さ)の測定に利用することができる。
以下、添付図面を参照しながら、本考案に係る吸着テーブルの具体的な実施例を挙げて構成及びその使用態様を説明する。
<構成>
図1および図2には、本考案に係る吸着テーブルの一実施例が組立斜視図および分解斜視図でそれぞれ示されている。吸着テーブルは、金属台座1と、金属台座1に載置されて金属台座1と電気的に接続できる金属吸着板2と、金属台座1に敷かれる絶縁板3と、それぞれ金属台座1に連結される吸気管コネクタ4および2つの冷媒管コネクタ5とを備えている。
<構成>
図1および図2には、本考案に係る吸着テーブルの一実施例が組立斜視図および分解斜視図でそれぞれ示されている。吸着テーブルは、金属台座1と、金属台座1に載置されて金属台座1と電気的に接続できる金属吸着板2と、金属台座1に敷かれる絶縁板3と、それぞれ金属台座1に連結される吸気管コネクタ4および2つの冷媒管コネクタ5とを備えている。
(金属台座1)
金属台座1は、図2および図3に示されているように、金属によって板状に形成されたものであって、上面11と、上面11の反対側にある下面12と、上面11と下面12とを繋ぐ周面13とを有すると共に、上面11に開口する空気流路14と、上面11と下面12との間に位置する冷媒流路15がそれぞれ形成されている。なお、本実施例では金属台座1の材料としてアルミニウムを用いた。
金属台座1の上面11は、上面11上の周縁における反対両側(図3における左右両側)にある2つの側面部111と、それら2つの側面部111の間にあると共にいずれの側面部111よりも高くなっている台状面部112とを有し、2つの側面部111のうちの1つには電気接点とするためのピンホール113が開けられている。
空気流路14は、金属台座1の上面11から凹むようにして形成された溝部141と、金属台座1を貫通して両端が溝部141内と周面13とにそれぞれ開口するように形成された貫通部142とから成っている。溝部141は、複数の互いに間隔を置いて並行する縦溝143と、各縦溝143と交差するように延伸して各縦溝143を繋ぐ横溝144とを有する。
冷媒流路15は、金属台座1の内部を貫通して延伸しているもので、周面13にそれぞれ開口していると共に冷媒流路15を経由して互いに連通している冷媒注入口151と冷媒排出口152とを有する。
金属台座1は、図2および図3に示されているように、金属によって板状に形成されたものであって、上面11と、上面11の反対側にある下面12と、上面11と下面12とを繋ぐ周面13とを有すると共に、上面11に開口する空気流路14と、上面11と下面12との間に位置する冷媒流路15がそれぞれ形成されている。なお、本実施例では金属台座1の材料としてアルミニウムを用いた。
金属台座1の上面11は、上面11上の周縁における反対両側(図3における左右両側)にある2つの側面部111と、それら2つの側面部111の間にあると共にいずれの側面部111よりも高くなっている台状面部112とを有し、2つの側面部111のうちの1つには電気接点とするためのピンホール113が開けられている。
空気流路14は、金属台座1の上面11から凹むようにして形成された溝部141と、金属台座1を貫通して両端が溝部141内と周面13とにそれぞれ開口するように形成された貫通部142とから成っている。溝部141は、複数の互いに間隔を置いて並行する縦溝143と、各縦溝143と交差するように延伸して各縦溝143を繋ぐ横溝144とを有する。
冷媒流路15は、金属台座1の内部を貫通して延伸しているもので、周面13にそれぞれ開口していると共に冷媒流路15を経由して互いに連通している冷媒注入口151と冷媒排出口152とを有する。
(金属吸着板2)
金属吸着板2は、図3および図4に示されているように、複数の金属粉末21を互いに結合させて板状に形成して構成されたものであり、図示において上面となっている吸着面22と、吸着面22の反対側にある底面23と、吸着面22と底面23とをそれぞれ連通する複数の気孔24とを有する。気孔24は、それぞれ隣り合う金属粉末21間の空隙が連続して構成されたものであり、多数の気孔24の存在により、金属吸着板2は多孔質となっている。
金属吸着板2を形成する金属粉末21の材料は、銅、アルミニウム、ステンレスからなる群より選ばれるものであり、本実施例では銅を用いた。また、金属粉末21は、重力焼結により互いに結合させて板状の金属吸着板2を形成することが好ましく、焼結することで、金属粉末21が緊密に重なり合うので、分布が均等で緻密な気孔24を形成させることができる。なお、図示における金属粉末21および気孔24の大きさはデフォルメされて示されたものであり、実際には微小なものである。具体的に言うと、気孔24は、金属吸着板2の吸着面22と底面23との間の厚み方向に直交する幅方向(図3、図4における左右方向)におけるサイズが、2μm以上、且つ150μm以下であることが好ましい。
金属吸着板2がその底面23を金属台座1の上面11に接触するように載置されると、金属吸着板2と金属台座1とが電気的に接続される。
金属吸着板2は、図3および図4に示されているように、複数の金属粉末21を互いに結合させて板状に形成して構成されたものであり、図示において上面となっている吸着面22と、吸着面22の反対側にある底面23と、吸着面22と底面23とをそれぞれ連通する複数の気孔24とを有する。気孔24は、それぞれ隣り合う金属粉末21間の空隙が連続して構成されたものであり、多数の気孔24の存在により、金属吸着板2は多孔質となっている。
金属吸着板2を形成する金属粉末21の材料は、銅、アルミニウム、ステンレスからなる群より選ばれるものであり、本実施例では銅を用いた。また、金属粉末21は、重力焼結により互いに結合させて板状の金属吸着板2を形成することが好ましく、焼結することで、金属粉末21が緊密に重なり合うので、分布が均等で緻密な気孔24を形成させることができる。なお、図示における金属粉末21および気孔24の大きさはデフォルメされて示されたものであり、実際には微小なものである。具体的に言うと、気孔24は、金属吸着板2の吸着面22と底面23との間の厚み方向に直交する幅方向(図3、図4における左右方向)におけるサイズが、2μm以上、且つ150μm以下であることが好ましい。
金属吸着板2がその底面23を金属台座1の上面11に接触するように載置されると、金属吸着板2と金属台座1とが電気的に接続される。
(絶縁板3)
絶縁板3は、図2および図3に示されているように、金属台座1の下面12と接する絶縁板上面31を有する。本実施例において、絶縁板3はガラス繊維を材料として形成した。
絶縁板3は、図2および図3に示されているように、金属台座1の下面12と接する絶縁板上面31を有する。本実施例において、絶縁板3はガラス繊維を材料として形成した。
(吸気管コネクタ4)
吸気管コネクタ4は、図2に示されているように、空気流路14の貫通部142の周面13側開口と連通するように金属台座1の周面13に設けられている。本実施例では、吸気管コネクタ4を介して空気流路14が外部の真空装置と連結される。
吸気管コネクタ4は、図2に示されているように、空気流路14の貫通部142の周面13側開口と連通するように金属台座1の周面13に設けられている。本実施例では、吸気管コネクタ4を介して空気流路14が外部の真空装置と連結される。
(冷媒管コネクタ5)
2つの冷媒管コネクタ5は、図2に示されているように、金属台座1の周面にそれぞれ開口している冷媒注入口151と冷媒排出口152とにそれぞれ連結されている。本実施例では、各冷媒管コネクタ5を介して液体冷媒が冷媒注入口151より注入されると共に注入された液体冷媒が冷媒流路15を通って冷媒排出口152から排出されるようにして、金属台座1を冷却できるように構成した。
2つの冷媒管コネクタ5は、図2に示されているように、金属台座1の周面にそれぞれ開口している冷媒注入口151と冷媒排出口152とにそれぞれ連結されている。本実施例では、各冷媒管コネクタ5を介して液体冷媒が冷媒注入口151より注入されると共に注入された液体冷媒が冷媒流路15を通って冷媒排出口152から排出されるようにして、金属台座1を冷却できるように構成した。
<使用態様>
上記の構成を有することにより、本実施例では、絶縁板3の上に金属台座1を配置し、金属吸着板2の底面23と金属台座1の上面11とが接触するように金属吸着板2を金属台座1に配置した上で、例えば上述の真空装置により空気流路14に負圧を付与すると、金属吸着板2の気孔24を介して吸着面22にその負圧が伝わり、吸着面22に置かれた加工対象物7(例えば回路基板)を吸着面22で吸着保持することができる。
上記の構成を有することにより、本実施例では、絶縁板3の上に金属台座1を配置し、金属吸着板2の底面23と金属台座1の上面11とが接触するように金属吸着板2を金属台座1に配置した上で、例えば上述の真空装置により空気流路14に負圧を付与すると、金属吸着板2の気孔24を介して吸着面22にその負圧が伝わり、吸着面22に置かれた加工対象物7(例えば回路基板)を吸着面22で吸着保持することができる。
図5には、本考案に係る吸着テーブルを用いて加工対象物に加工を行う態様が示されている。図中、金属吸着板2の吸着面22に吸着されている加工対象物7である回路基板(以下、回路基板7)、回路基板7に加工を施すための加工具であるスピンドル6、スピンドル6の先端に取り付けられた加工ヘッド61がそれぞれ示されている。また、回路基板7は、導電のための銅箔(図示せず)が設けられており加工される面である基板上面71と、導電のための銅箔(図示せず)が設けられており金属吸着板2の吸着面22に接する面である基板底面72とを有する。
本実施例において、金属吸着板2の気孔24は上述のようにサイズが150μm以下なので、加工過程において、回路基板7の加工により極めて薄く構成された部分が気孔24に吸い込まれてめり込んでしまうことが起きず、よって回路基板7が変形することもない。更に、気孔24は上述のようにそれぞれ隣り合う金属粉末21間の空隙が連続して構成されたものであり、吸着面22における分布が均等で緻密なので、回路基板7に対する吸着面22の吸着力が均等である。加えて、金属吸着板2は金属からなるので放熱性が高い上に、更に冷媒流路15が設けられているので放熱効果がより向上する。
また、スピンドル6によって加工を行なう前に、図5に示されているように、金属ピン8を金属台座1のピンホール113に挿し込み、金属ピン8とスピンドル6の加工ヘッド61とを間に演算処理装置9を介して電気的に連結すると、加工ヘッド61が回路基板7の基板上面71に接触した際に、基板上面71と演算処理装置9が電気的に連結され、回路基板7がキャパシタとして振る舞うようになり、回路基板7と演算処理装置9との間で回路が形成される。この時、演算処理装置9によって、上記回路にキャパシタ特性の電圧位相変化が発生したことを検知することができる。これにより加工ヘッド61が回路基板7の基板上面71に接触した時の加工ヘッド61の位置を特定することができるので、加工作業がよりしやすくなる。
本実施例において、金属吸着板2の気孔24は上述のようにサイズが150μm以下なので、加工過程において、回路基板7の加工により極めて薄く構成された部分が気孔24に吸い込まれてめり込んでしまうことが起きず、よって回路基板7が変形することもない。更に、気孔24は上述のようにそれぞれ隣り合う金属粉末21間の空隙が連続して構成されたものであり、吸着面22における分布が均等で緻密なので、回路基板7に対する吸着面22の吸着力が均等である。加えて、金属吸着板2は金属からなるので放熱性が高い上に、更に冷媒流路15が設けられているので放熱効果がより向上する。
また、スピンドル6によって加工を行なう前に、図5に示されているように、金属ピン8を金属台座1のピンホール113に挿し込み、金属ピン8とスピンドル6の加工ヘッド61とを間に演算処理装置9を介して電気的に連結すると、加工ヘッド61が回路基板7の基板上面71に接触した際に、基板上面71と演算処理装置9が電気的に連結され、回路基板7がキャパシタとして振る舞うようになり、回路基板7と演算処理装置9との間で回路が形成される。この時、演算処理装置9によって、上記回路にキャパシタ特性の電圧位相変化が発生したことを検知することができる。これにより加工ヘッド61が回路基板7の基板上面71に接触した時の加工ヘッド61の位置を特定することができるので、加工作業がよりしやすくなる。
なお、上記使用態様においては、回路基板7の基板底面72に銅箔が設けられていなくても、回路基板7の基板上面71と金属吸着板2の吸着面22との間でキャパシタを形成することができる
以上のように、本考案に係る吸着テーブルは、金属吸着板2に多数且つ緻密に形成された気孔24を介して加工対象物7を吸着するので、均等な吸着力が得られる。また、金属吸着板2は導電性を有する材料からなり金属台座1と電気的に接続されることができるので、これを利用して例えば上述のように基板上面71に接触した時の加工ヘッド61の位置を特定することができる。加えて、金属吸着板2は金属からなるので放熱性が高い上に、金属台座1内に形成された冷媒流路15に冷媒を通すことによってより高い放熱効果を得ることができる。更に、金属吸着板2は、それを形成する金属粉末21間の空隙を気孔24として利用するので、形成後に貫通孔を開けるための加工を必要とせず、製造がより容易である。
以上、本考案の好ましい実施形態を説明したが、本考案はこれに限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々の変更が可能である。
以上のように、本考案に係る吸着テーブルは、金属吸着板2に多数且つ緻密に形成された気孔24を介して加工対象物7を吸着するので、均等な吸着力が得られる。また、金属吸着板2は導電性を有する材料からなり金属台座1と電気的に接続されることができるので、これを利用して例えば上述のように基板上面71に接触した時の加工ヘッド61の位置を特定することができる。加えて、金属吸着板2は金属からなるので放熱性が高い上に、金属台座1内に形成された冷媒流路15に冷媒を通すことによってより高い放熱効果を得ることができる。更に、金属吸着板2は、それを形成する金属粉末21間の空隙を気孔24として利用するので、形成後に貫通孔を開けるための加工を必要とせず、製造がより容易である。
以上、本考案の好ましい実施形態を説明したが、本考案はこれに限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々の変更が可能である。
本考案に係る吸着テーブルは、例えばプリント回路基板に加工を施す際に該基板を吸引して保持するための加工テーブルとして利用できる。
1 金属台座
11 上面
111 側面部
112 台状面部
113 ピンホール
12 下面
13 周面
14 空気流路
141 溝部
142 貫通部
143 縦溝
144 横溝
15 冷媒流路
151 冷媒注入口
152 冷媒排出口
2 金属吸着板
21 金属粉末
22 吸着面
23 底面
24 気孔
3 絶縁板
31 絶縁上面
4 吸気管コネクタ
5 冷媒管コネクタ
6 スピンドル
61 加工ヘッド
7 加工対象物(回路基板)
71 基板上面
72 基板底面
8 金属ピン
9 演算処理装置
11 上面
111 側面部
112 台状面部
113 ピンホール
12 下面
13 周面
14 空気流路
141 溝部
142 貫通部
143 縦溝
144 横溝
15 冷媒流路
151 冷媒注入口
152 冷媒排出口
2 金属吸着板
21 金属粉末
22 吸着面
23 底面
24 気孔
3 絶縁板
31 絶縁上面
4 吸気管コネクタ
5 冷媒管コネクタ
6 スピンドル
61 加工ヘッド
7 加工対象物(回路基板)
71 基板上面
72 基板底面
8 金属ピン
9 演算処理装置
Claims (5)
- 加工対象物を吸着保持するための吸着テーブルであって、
上面を有し、該上面に開口する空気流路が形成されている金属台座と、
複数の金属粉末を互いに結合させて前記金属台座と電気的に接続することができるように板状に形成して構成された金属吸着板であって、吸着面と、前記吸着面の反対側にある底面と、前記吸着面と前記底面とをそれぞれ連通する複数の気孔とを有し、前記気孔は、それぞれ隣り合う前記金属粉末間の空隙が連続して構成された気孔である金属吸着板と、
を備え、前記金属吸着板の前記底面が前記金属台座の前記上面に載置されると共に、前記金属台座の前記空気流路に負圧が付与されると、前記気孔を介して前記金属吸着板の前記吸着面に該負圧が伝わり前記加工対象物を前記吸着面で吸着保持できるように構成されていることを特徴とする吸着テーブル。 - 前記金属吸着板の前記底面と前記金属台座の前記上面とが接触していることにより前記金属吸着板と前記金属台座とが電気的に接続されていることを特徴とする請求項1に記載の吸着テーブル。
- 前記金属吸着板を形成する前記金属粉末は、銅、アルミニウム、ステンレスからなる群より選ばれたものであり、
前記金属吸着板の前記吸着面と前記底面との間の厚み方向に直交する幅方向における前記気孔のサイズが2μm以上、且つ150μm以下であることを特徴とする請求項2に記載の吸着テーブル。 - 前記金属台座の前記上面は、該上面上の周縁における反対両側にある2つの側面部と、前記2つの側面部の間にあると共に前記2つの側面部よりも高くなっている台状面部とを有し、前記2つの側面部のうちの1つには、ピンホールが開けられていることを特徴とする請求項2に記載の吸着テーブル。
- 前記金属台座は、前記上面の反対側にある下面と、前記上面と前記下面とを繋ぐ周面とを更に有すると共に、前記上面と前記下面との間に冷媒流路が形成されており、
前記冷媒流路は、前記周面にそれぞれ開口していると共に前記冷媒流路を経由して互いに連通している冷媒注入口と冷媒排出口とを有することを特徴とする請求項1に記載の吸着テーブル。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
TW103221604 | 2014-12-05 | ||
TW103221604U TWM499992U (zh) | 2014-12-05 | 2014-12-05 | 吸附工作台 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP3200631U true JP3200631U (ja) | 2015-10-29 |
Family
ID=53721806
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015003954U Expired - Fee Related JP3200631U (ja) | 2014-12-05 | 2015-08-04 | 吸着テーブル |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3200631U (ja) |
KR (1) | KR20160002068U (ja) |
TW (1) | TWM499992U (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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CN109262558A (zh) * | 2018-09-21 | 2019-01-25 | 佛山市银美精工科技有限公司 | 一种组合式恒温吸附平台 |
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