JP3199863B2 - カラ−フィルタの検査方法、検査装置及び検査用光源 - Google Patents
カラ−フィルタの検査方法、検査装置及び検査用光源Info
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- Optical Filters (AREA)
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- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Testing Of Optical Devices Or Fibers (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、カラ−液晶表示装置
などの表示パネルに使用されるカラ−フィルタの検査方
法、検査装置及び検査用光源に関する。
などの表示パネルに使用されるカラ−フィルタの検査方
法、検査装置及び検査用光源に関する。
【０００２】
【従来の技術】一般に液晶表示装置は、透明電極が形成
されたガラス基板などの２枚の透明基板間に１〜１０μ
ｍの隙間を設けて、その間に液晶組成物を封入し、電極
間に電圧を印加して液晶を駆動せしめ表示を行なうよう
になっている。そして、カラ−表示を行なうためには、
隙間間の一方のガラス基板に赤（Ｒ），緑（Ｇ），青
（Ｂ）の着色層を有するカラ−フィルタを使用するのが
普通である。
されたガラス基板などの２枚の透明基板間に１〜１０μ
ｍの隙間を設けて、その間に液晶組成物を封入し、電極
間に電圧を印加して液晶を駆動せしめ表示を行なうよう
になっている。そして、カラ−表示を行なうためには、
隙間間の一方のガラス基板に赤（Ｒ），緑（Ｇ），青
（Ｂ）の着色層を有するカラ−フィルタを使用するのが
普通である。
【０００３】このカラ−フィルタは、ガラスのような透
明基板上に遮光層（ブラックマトリクス）、Ｒ，Ｇ，Ｂ
の着色層、オ−バ−コ−ト層、透明電極が順次積層して
形成されている。そして、着色層の形成に当たっては、
染色法，顔料分散法，電着法，印刷法などが実用化され
ているが、画素部の欠陥やムラを完全になくすことは非
常に困難である。そこで、外観検査によるスクリ−ニン
グが不可欠となっており、通常、図４に示すように、
Ｒ，Ｇ，Ｂの３原色の着色層が形成されたカラ−フィル
タ１を、３色の透過バランスの良い検査用光源２の上方
約３０ｃｍの距離から透過させて位置３から目視により
検査する。
明基板上に遮光層（ブラックマトリクス）、Ｒ，Ｇ，Ｂ
の着色層、オ−バ−コ−ト層、透明電極が順次積層して
形成されている。そして、着色層の形成に当たっては、
染色法，顔料分散法，電着法，印刷法などが実用化され
ているが、画素部の欠陥やムラを完全になくすことは非
常に困難である。そこで、外観検査によるスクリ−ニン
グが不可欠となっており、通常、図４に示すように、
Ｒ，Ｇ，Ｂの３原色の着色層が形成されたカラ−フィル
タ１を、３色の透過バランスの良い検査用光源２の上方
約３０ｃｍの距離から透過させて位置３から目視により
検査する。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】従来の検査用光源２の
多くは、白色３波長蛍光管を使用していたため、そのス
ペクトルピ−ク値はカラ−フィルタの３つのピ−ク
（Ｒ，Ｇ，Ｂ）に近いところに位置していた。このため
に、カラ−フィルタの画素正常部の輝度は比較的高く、
液晶表示装置の白ラスタ表示と同レベルと考えられる。
多くは、白色３波長蛍光管を使用していたため、そのス
ペクトルピ−ク値はカラ−フィルタの３つのピ−ク
（Ｒ，Ｇ，Ｂ）に近いところに位置していた。このため
に、カラ−フィルタの画素正常部の輝度は比較的高く、
液晶表示装置の白ラスタ表示と同レベルと考えられる。
【０００５】ところが、液晶表示装置では、画素ピクセ
ル毎に印加電圧をオン／オフ又は変化させることが可能
なため、白ラスタ表示と比較してカラ−フィルタの画素
正常部の輝度が低くなり、欠陥部とのコントラストが高
くなる場合があり得る。このために液晶表示装置で視認
可能な欠陥／ムラを検出し切れなかった。
ル毎に印加電圧をオン／オフ又は変化させることが可能
なため、白ラスタ表示と比較してカラ−フィルタの画素
正常部の輝度が低くなり、欠陥部とのコントラストが高
くなる場合があり得る。このために液晶表示装置で視認
可能な欠陥／ムラを検出し切れなかった。
【０００６】この発明は、正常部と欠陥部のコントラス
ト比が向上し、高精度の検査が可能となるカラ−フィル
タの検査方法、検査装置及び検査用光源を提供すること
を目的とする。
ト比が向上し、高精度の検査が可能となるカラ−フィル
タの検査方法、検査装置及び検査用光源を提供すること
を目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】この発明は、透明基板上
に赤，緑，青の着色層を形成したカラーフィルタを、検
査用光源からの透過光により着色層の欠陥の有無を検査
する場合、検査用光源として、そのスペクトルピーク値
が５９０（±２０）ｎｍ（ナノメートル）、又は５１０
（±２０）ｎｍの少なくとも一方にある蛍光体を使用し
た低圧水銀蒸気放電ランプを使用するカラーフィルタの
検査方法、検査装置及び検査用光源である。
に赤，緑，青の着色層を形成したカラーフィルタを、検
査用光源からの透過光により着色層の欠陥の有無を検査
する場合、検査用光源として、そのスペクトルピーク値
が５９０（±２０）ｎｍ（ナノメートル）、又は５１０
（±２０）ｎｍの少なくとも一方にある蛍光体を使用し
た低圧水銀蒸気放電ランプを使用するカラーフィルタの
検査方法、検査装置及び検査用光源である。
【０００８】
【作用】この発明によれば、検査用光源のスペクトルピ
−ク値をカラ−フィルタ・スペクトルピ−クの谷間に位
置させることにより、液晶表示装置同様、カラ−フィル
タの画素正常部の輝度を低くすることが可能となり、従
来の検査用光源で検出困難であった欠陥／ムラも検知可
能になった。
−ク値をカラ−フィルタ・スペクトルピ−クの谷間に位
置させることにより、液晶表示装置同様、カラ−フィル
タの画素正常部の輝度を低くすることが可能となり、従
来の検査用光源で検出困難であった欠陥／ムラも検知可
能になった。
【０００９】
【実施例】以下、図面を参照して、この発明の実施例を
詳細に説明する。
詳細に説明する。
【００１０】一般に、カラ−フィルタの透過スペクトル
の多くは、３波長蛍光管のピ−ク値に近いところに３つ
のピ−ク（Ｒ，Ｇ，Ｂ）を持たせ、色純度を上げるため
になるべく半値幅の小さいシャ−プなピ−クを持たせる
ように設計するのが普通である。このために５１０ｎｍ
及び５９０ｎｍ近傍でスペクトルの谷となることが多
い。従って、検査用光源として、そのスペクトルピ−ク
値が５９０ｎｍもしくは５１０ｎｍ近傍にあれば、正常
にカラ−フィルタの画素が形成されている部分の透過率
は低くなり、着色層が薄い欠陥部やムラの原因たる異常
部の透過率は高くなる。このために、欠陥部やムラ部の
コントラストを上げることが可能となり、液晶表示装置
で視認可能な欠陥部やムラ部の検出が可能となる。以下
に、具体的な３つの実施例について、述べることにす
る。 （第１の実施例）
の多くは、３波長蛍光管のピ−ク値に近いところに３つ
のピ−ク（Ｒ，Ｇ，Ｂ）を持たせ、色純度を上げるため
になるべく半値幅の小さいシャ−プなピ−クを持たせる
ように設計するのが普通である。このために５１０ｎｍ
及び５９０ｎｍ近傍でスペクトルの谷となることが多
い。従って、検査用光源として、そのスペクトルピ−ク
値が５９０ｎｍもしくは５１０ｎｍ近傍にあれば、正常
にカラ−フィルタの画素が形成されている部分の透過率
は低くなり、着色層が薄い欠陥部やムラの原因たる異常
部の透過率は高くなる。このために、欠陥部やムラ部の
コントラストを上げることが可能となり、液晶表示装置
で視認可能な欠陥部やムラ部の検出が可能となる。以下
に、具体的な３つの実施例について、述べることにす
る。 （第１の実施例）
【００１１】この発明でも、製造工程においてカラ−フ
ィルタの着色層の欠陥有無を検査する場合、図４に示し
た従来から行なっている目視による検査を行なうが、こ
の第１の実施例では、検査用光源として、図１に示すス
ペクトルの低圧水銀蒸気放電ランプを使用する。即ち、
この検査用光源のメインピ−ク値は５９０ｎｍにあり、
水銀輝線サブピ−ク値は５４５ｎｍ，４３５ｎｍにあっ
て、全体としてはピンク色の光源である。
ィルタの着色層の欠陥有無を検査する場合、図４に示し
た従来から行なっている目視による検査を行なうが、こ
の第１の実施例では、検査用光源として、図１に示すス
ペクトルの低圧水銀蒸気放電ランプを使用する。即ち、
この検査用光源のメインピ−ク値は５９０ｎｍにあり、
水銀輝線サブピ−ク値は５４５ｎｍ，４３５ｎｍにあっ
て、全体としてはピンク色の光源である。
【００１２】この検査用光源の検査能力を評価するた
め、カラ−フィルタの着色層にレ−ザにより任意の大き
さの欠陥を作成し、どの大きさまで視認出来るかを調べ
た。その結果を下記表１に示すが、ＴＹＰＥ１がこの第
１の実施例の検査用光源を使用した場合であり、Ｒ，
Ｇ，Ｂ各色で従来の３波長蛍光管より視認限界を小さく
することが出来た。
め、カラ−フィルタの着色層にレ−ザにより任意の大き
さの欠陥を作成し、どの大きさまで視認出来るかを調べ
た。その結果を下記表１に示すが、ＴＹＰＥ１がこの第
１の実施例の検査用光源を使用した場合であり、Ｒ，
Ｇ，Ｂ各色で従来の３波長蛍光管より視認限界を小さく
することが出来た。
【００１３】
【表１】 尚、表１中の数値は視認可能な限界の欠陥の大きさをそ
の面積（単位はμｍ2 ）で表わしたものである。 （第２の実施例）
の面積（単位はμｍ2 ）で表わしたものである。 （第２の実施例）
【００１４】この第２の実施例では、検査用光源とし
て、図２に示すスペクトルのものを使用する。即ち、こ
の検査用光源のメインピ−ク値は５７５ｎｍにあり、サ
ブピ−ク値は５４５ｎｍ，４８０ｎｍ，４３５ｎｍ等に
あって、全体としては白色の光源である。第１の実施例
と同様の評価を行なったが、上記表１に示すＴＹＰＥ２
がこの第２の実施例の検査用光源を使用した場合であ
り、Ｒ，Ｇ，Ｂ各色で従来の３波長蛍光管より視認限界
を小さくすることが出来た。 （第３の実施例）
て、図２に示すスペクトルのものを使用する。即ち、こ
の検査用光源のメインピ−ク値は５７５ｎｍにあり、サ
ブピ−ク値は５４５ｎｍ，４８０ｎｍ，４３５ｎｍ等に
あって、全体としては白色の光源である。第１の実施例
と同様の評価を行なったが、上記表１に示すＴＹＰＥ２
がこの第２の実施例の検査用光源を使用した場合であ
り、Ｒ，Ｇ，Ｂ各色で従来の３波長蛍光管より視認限界
を小さくすることが出来た。 （第３の実施例）
【００１５】この第３の実施例で用いる検査用光源は、
第２の実施例の検査用光源に黄色のフィルタ−を重ねた
もので、そのスペクトルは図３に示す。フィルタ−は吸
収端が５００ｎｍ近傍にあるもので、５００ｎｍ以下の
サブピ−ク値を殆どカットすることが出来た。但し、こ
のフィルタ−による光源輝度の低下は殆ど認められず、
十分な明るさを確保することが出来た。この第３の実施
例で用いる検査用光源の視認限界を調べたところ、上記
表１に示すようにＢ（青）において第２の実施例より視
認限界を小さくすることが出来た。 （第４の実施例）この第４の実施例では、検査用光源と
して、スペクトルピ−ク値が５１０ｎｍ付近にあるラン
プを使用する。
第２の実施例の検査用光源に黄色のフィルタ−を重ねた
もので、そのスペクトルは図３に示す。フィルタ−は吸
収端が５００ｎｍ近傍にあるもので、５００ｎｍ以下の
サブピ−ク値を殆どカットすることが出来た。但し、こ
のフィルタ−による光源輝度の低下は殆ど認められず、
十分な明るさを確保することが出来た。この第３の実施
例で用いる検査用光源の視認限界を調べたところ、上記
表１に示すようにＢ（青）において第２の実施例より視
認限界を小さくすることが出来た。 （第４の実施例）この第４の実施例では、検査用光源と
して、スペクトルピ−ク値が５１０ｎｍ付近にあるラン
プを使用する。
【００１６】尚、上記各実施例では、目視により着色層
の欠陥有無を検査したが、この発明による検査用光源
は、目視に限らず、カメラやセンサ−等による検査にも
応用出来ることは言うまでもない。又、検査用光源のス
ペクトルピ−ク値は、５９０ｎｍ、あるいは５１０ｎｍ
に対して±２０ｎｍの範囲内、より好ましくは±１５ｎ
ｍの範囲内にあれば良い。
の欠陥有無を検査したが、この発明による検査用光源
は、目視に限らず、カメラやセンサ−等による検査にも
応用出来ることは言うまでもない。又、検査用光源のス
ペクトルピ−ク値は、５９０ｎｍ、あるいは５１０ｎｍ
に対して±２０ｎｍの範囲内、より好ましくは±１５ｎ
ｍの範囲内にあれば良い。
【００１７】
【発明の効果】この発明によれば、検査用光源として、
そのスペクトルピーク値が５９０（±２０）ｎｍ、又は
５１０（±２０）ｎｍの少なくとも一方にある蛍光体を
使用した低圧水銀蒸気放電ランプを使用するので、カラ
ーフィルタの正常部と欠陥部のコントラスト比が向上
し、高精度の検査が可能となる。
そのスペクトルピーク値が５９０（±２０）ｎｍ、又は
５１０（±２０）ｎｍの少なくとも一方にある蛍光体を
使用した低圧水銀蒸気放電ランプを使用するので、カラ
ーフィルタの正常部と欠陥部のコントラスト比が向上
し、高精度の検査が可能となる。
【図１】この発明の第１の実施例に係るカラ−フィルタ
の製造方法（検査方法）で用いる検査用光源のスペクト
ルを示す図。
の製造方法（検査方法）で用いる検査用光源のスペクト
ルを示す図。
【図２】この発明の第２の実施例に係るカラ−フィルタ
の製造方法（検査方法）で用いる検査用光源のスペクト
ルを示す図。
の製造方法（検査方法）で用いる検査用光源のスペクト
ルを示す図。
【図３】この発明の第３の実施例に係るカラ−フィルタ
の製造方法（検査方法）で用いる検査用光源のスペクト
ルを示す図。
の製造方法（検査方法）で用いる検査用光源のスペクト
ルを示す図。
【図４】目視によるカラ−フィルタの着色層の欠陥有無
を検査する方法を示す斜視図。
を検査する方法を示す斜視図。
１…カラ−フィルタ、２…検査用光源、３…検査位置。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平５−99787（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G01N 21/84 - 21/958 G01M 11/00 - 11/08 G02B 5/20 - 5/28 H01J 9/24 - 9/50
Claims (3)
- 【請求項１】透明基板上に赤，緑，青の着色層を形成し
たカラーフィルタを、検査用光源からの透過光により上
記着色層の欠陥の有無を検査するカラーフィルタの検査
方法において、 上記検査用光源として、そのスペクトルのピーク値が５
９０（±２０）ｎｍ、又は５１０（±２０）ｎｍの少な
くとも一方にある蛍光体を使用した低圧水銀蒸気放電ラ
ンプを使用することを特徴とするカラーフィルタの検査
方法。 - 【請求項２】透明基板上に赤，緑，青の着色層を形成し
たカラーフィルタを、検査用光源からの透過光により上
記着色層の欠陥の有無を検査するカラーフィルタの検査
装置において、 発光スペクトルのピーク値が５９０（±２０）ｎｍ、又
は５１０（±２０）ｎｍにある蛍光体を用いた低圧水銀
蒸気放電ランプを使用したことを特徴とするカラーフィ
ルタの検査装置。 - 【請求項３】透明基板上に赤，緑，青の着色層を形成し
たカラーフィルタを、検査用光源からの透過光により上
記着色層の欠陥の有無を検査するカラーフィルタの検査
用光源において、 発光スペクトルのピーク値が５９０（＋２０）ｎｍ、又
は５１０（＋２０）ｎｍにある蛍光体を使用した低圧水
銀蒸気放電ランプからなることを特徴とするカラーフィ
ルタの検査用光源。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24057392A JP3199863B2 (ja) | 1992-09-09 | 1992-09-09 | カラ−フィルタの検査方法、検査装置及び検査用光源 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24057392A JP3199863B2 (ja) | 1992-09-09 | 1992-09-09 | カラ−フィルタの検査方法、検査装置及び検査用光源 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0694638A JPH0694638A (ja) | 1994-04-08 |
| JP3199863B2 true JP3199863B2 (ja) | 2001-08-20 |
Family
ID=17061536
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP24057392A Expired - Fee Related JP3199863B2 (ja) | 1992-09-09 | 1992-09-09 | カラ−フィルタの検査方法、検査装置及び検査用光源 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3199863B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4484531B2 (ja) * | 2004-01-21 | 2010-06-16 | 大日本印刷株式会社 | 膜厚良否検査方法及び装置 |
| JP5412350B2 (ja) * | 2010-03-26 | 2014-02-12 | 富士フイルム株式会社 | 複屈折パターンを有する物品 |
-
1992
- 1992-09-09 JP JP24057392A patent/JP3199863B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0694638A (ja) | 1994-04-08 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |