JP3198589B2 - 表面波装置 - Google Patents
表面波装置Info
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- JP3198589B2 JP3198589B2 JP06748792A JP6748792A JP3198589B2 JP 3198589 B2 JP3198589 B2 JP 3198589B2 JP 06748792 A JP06748792 A JP 06748792A JP 6748792 A JP6748792 A JP 6748792A JP 3198589 B2 JP3198589 B2 JP 3198589B2
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- Japan
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- acoustic wave
- surface acoustic
- piezoelectric substrate
- bgs
- wave
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- Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、ＢＧＳ波やラブ波等の
ように変位が表面波伝播方向と垂直な方向の変位を主体
とするＳＨタイプの表面波を利用した表面波装置に関
し、特に、圧電基板を構成する材料を改良することによ
り共振特性及び耐熱性が高められた表面波装置に関す
る。
ように変位が表面波伝播方向と垂直な方向の変位を主体
とするＳＨタイプの表面波を利用した表面波装置に関
し、特に、圧電基板を構成する材料を改良することによ
り共振特性及び耐熱性が高められた表面波装置に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】圧電基板を伝播する表面波のうち、変位
が伝播方向と垂直な方向の変位を主体とするＳＨタイプ
の表面波としてＢＧＳ波が知られている。図１は、従来
より公知のＢＧＳ波を利用した表面波共振子を示す。図
１において、１は圧電基板を示し、圧電セラミックス等
の圧電材料により構成されている。圧電基板１の上面に
は、くし歯電極２，３が形成されている。くし歯電極
２，３は、互いに間挿し合う複数の電極指２ａ，３ａを
有する。なお、矢印Ｐは分極方向を示す。
が伝播方向と垂直な方向の変位を主体とするＳＨタイプ
の表面波としてＢＧＳ波が知られている。図１は、従来
より公知のＢＧＳ波を利用した表面波共振子を示す。図
１において、１は圧電基板を示し、圧電セラミックス等
の圧電材料により構成されている。圧電基板１の上面に
は、くし歯電極２，３が形成されている。くし歯電極
２，３は、互いに間挿し合う複数の電極指２ａ，３ａを
有する。なお、矢印Ｐは分極方向を示す。
【０００３】図１に示した表面波共振子４では、くし歯
電極２，３から交流電界を印加することにより、表面波
伝播方向Ｘと垂直な方向の変位のみ、すなわち横波成分
しか有しないＢＧＳ波が励振される。そして、励振され
たＢＧＳ波は、圧電基板１の自由端面１ａ，１ｂ間にお
いて完全に反射される。従って、レーリー波を利用した
表面波共振子では、くし歯電極の側方に反射器を構成す
る必要があったのに対し、ＢＧＳ波を利用した表面波共
振子４では、このような反射器を省略することができ
る。よって、レーリー波を利用した表面波共振子に比べ
て、チップサイズを１／１０程度と大幅に小型化するこ
とができ、かつ自由端面１ａ，１ｂの精度を高めること
により、５ＭＨｚ〜７０ＭＨｚの高周波帯域で使用し得
るデバイスを提供することができるという大きな利点を
有する。
電極２，３から交流電界を印加することにより、表面波
伝播方向Ｘと垂直な方向の変位のみ、すなわち横波成分
しか有しないＢＧＳ波が励振される。そして、励振され
たＢＧＳ波は、圧電基板１の自由端面１ａ，１ｂ間にお
いて完全に反射される。従って、レーリー波を利用した
表面波共振子では、くし歯電極の側方に反射器を構成す
る必要があったのに対し、ＢＧＳ波を利用した表面波共
振子４では、このような反射器を省略することができ
る。よって、レーリー波を利用した表面波共振子に比べ
て、チップサイズを１／１０程度と大幅に小型化するこ
とができ、かつ自由端面１ａ，１ｂの精度を高めること
により、５ＭＨｚ〜７０ＭＨｚの高周波帯域で使用し得
るデバイスを提供することができるという大きな利点を
有する。
【０００４】また、特願平２−１３１５９２号には、上
記のような構造を有する表面波共振子４において、イン
ピーダンス−周波数特性曲線上に現れるリップルや不要
応答を低減するためには、圧電基板１を構成するための
圧電材料として、弾性定数Ｃ 33 D の弾性定数Ｃ44 E に対
する比Ｃ33 D ／Ｃ44 E が４より大きな材料を用いればよ
いことが開示されている。
記のような構造を有する表面波共振子４において、イン
ピーダンス−周波数特性曲線上に現れるリップルや不要
応答を低減するためには、圧電基板１を構成するための
圧電材料として、弾性定数Ｃ 33 D の弾性定数Ｃ44 E に対
する比Ｃ33 D ／Ｃ44 E が４より大きな材料を用いればよ
いことが開示されている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、ＢＧＳ
波を利用した表面波共振子４を実際に作製した場合、自
由端面１ａ，１ｂの精度を高め、かつ上記先行技術に記
載の圧電材料を用いた場合、リップルや不要応答を低減
することは可能であるものの、共振の最大位相角が小さ
く、共振周波数におけるインピーダンス（Ｚｒ）と***
振周波数におけるインピーダンス（Ｚａ）の比である山
谷比＝２０ｌｏｇ（Ｚａ／Ｚｒ）が比較的小さかった。
波を利用した表面波共振子４を実際に作製した場合、自
由端面１ａ，１ｂの精度を高め、かつ上記先行技術に記
載の圧電材料を用いた場合、リップルや不要応答を低減
することは可能であるものの、共振の最大位相角が小さ
く、共振周波数におけるインピーダンス（Ｚｒ）と***
振周波数におけるインピーダンス（Ｚａ）の比である山
谷比＝２０ｌｏｇ（Ｚａ／Ｚｒ）が比較的小さかった。
【０００６】その結果、上記のような表面波共振子４
を、発振子として使用した場合、発振が生じなかった
り、発振が生じたとしても発振停止が生じやすいという
問題があった。よって、チップサイズの小型化及び高周
波域における応用が可能であるという大きな利点を有す
るものの、上記のような種々の問題点を解決することが
渇望されていた。
を、発振子として使用した場合、発振が生じなかった
り、発振が生じたとしても発振停止が生じやすいという
問題があった。よって、チップサイズの小型化及び高周
波域における応用が可能であるという大きな利点を有す
るものの、上記のような種々の問題点を解決することが
渇望されていた。
【０００７】本発明の目的は、インピーダンス−周波数
特性における共振の最大位相角が十分に大きく、かつ上
記山谷比が大きい、ＳＨタイプの表面波を利用した表面
波装置を提供することにある。
特性における共振の最大位相角が十分に大きく、かつ上
記山谷比が大きい、ＳＨタイプの表面波を利用した表面
波装置を提供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明者らは、ＢＧＳ波
を利用した表面波装置において、自由端面の精度を可能
な限り高めても上記のような問題が生じることに鑑み、
圧電基板を構成するための圧電材料を種々用意し、検討
した結果、下記の特定の圧電セラミックスを用いれば、
上記課題を達成し得ることを見出し、本発明をなすに至
った。すなわち、本発明は、圧電基板を伝播する表面波
のうち変位が表面波伝播方向と垂直な方向の変位を主体
とする表面波を利用し、分極軸が表面波伝播方向と垂直
方向でありかつ圧電基板表面と平行とされている表面波
装置において、圧電基板が、ａ｛Ｐｂ（Ｍｎ1/3 Ｎｂ
2/3 ）Ｏ3 ｝−ｂ（ＰｂＺｒＯ3 ）−ｃ（ＰｂＴｉ
Ｏ3 ）で表され、ａ＋ｂ＋ｃ＝１．０であり、かつａ、
ｂ及びｃが、下記の表２に示す値である組成Ａ〜Ｆで囲
まれる範囲内の組成を有する圧電セラミックスにより構
成されていることを特徴とする。
を利用した表面波装置において、自由端面の精度を可能
な限り高めても上記のような問題が生じることに鑑み、
圧電基板を構成するための圧電材料を種々用意し、検討
した結果、下記の特定の圧電セラミックスを用いれば、
上記課題を達成し得ることを見出し、本発明をなすに至
った。すなわち、本発明は、圧電基板を伝播する表面波
のうち変位が表面波伝播方向と垂直な方向の変位を主体
とする表面波を利用し、分極軸が表面波伝播方向と垂直
方向でありかつ圧電基板表面と平行とされている表面波
装置において、圧電基板が、ａ｛Ｐｂ（Ｍｎ1/3 Ｎｂ
2/3 ）Ｏ3 ｝−ｂ（ＰｂＺｒＯ3 ）−ｃ（ＰｂＴｉ
Ｏ3 ）で表され、ａ＋ｂ＋ｃ＝１．０であり、かつａ、
ｂ及びｃが、下記の表２に示す値である組成Ａ〜Ｆで囲
まれる範囲内の組成を有する圧電セラミックスにより構
成されていることを特徴とする。
【０００９】
【表２】
【００１０】
【発明の作用及び効果】本発明では、圧電基板が上記特
定の組成の圧電セラミックスにより構成されているた
め、後述の実施例から明らかなように、共振の最大位相
角及び山谷比すなわち共振周波数におけるインピーダン
ス（Ｚｒ）と***振周波数におけるインピーダンス（Ｚ
ａ）の比＝２０ｌｏｇ（Ｚａ／Ｚｒ）が充分大きな値と
される。従って、本発明を利用することにより、ＢＧＳ
波のような自由端面において完全に反射されるＳＨタイ
プの表面波を利用した表面波装置において、共振特性が
改善されるため、従来のレーリー波を利用した表面波装
置に比べてはるかに小型であるだけでなく、かつ特性に
おいても優れた表面波装置を提供することが可能とな
る。
定の組成の圧電セラミックスにより構成されているた
め、後述の実施例から明らかなように、共振の最大位相
角及び山谷比すなわち共振周波数におけるインピーダン
ス（Ｚｒ）と***振周波数におけるインピーダンス（Ｚ
ａ）の比＝２０ｌｏｇ（Ｚａ／Ｚｒ）が充分大きな値と
される。従って、本発明を利用することにより、ＢＧＳ
波のような自由端面において完全に反射されるＳＨタイ
プの表面波を利用した表面波装置において、共振特性が
改善されるため、従来のレーリー波を利用した表面波装
置に比べてはるかに小型であるだけでなく、かつ特性に
おいても優れた表面波装置を提供することが可能とな
る。
【００１１】
【実施例】以下、本発明の実施例を説明することによ
り、本発明を明らかにする。主発原料として、ＰｂＯ、
ＴｉＯ2 、ＭｎＣＯ3 、Ｎｂ2 Ｏ5 、及びＺｒＯ2を用
意した。これらの各粉末を秤量し、下記の表３に示す組
成を有する試料番号１〜２７の原料粉末を用意した。得
られた各原料粉末をボールミルにより湿式混合及び粉砕
し、しかる後７００〜９００℃の温度で仮焼した。次
に、仮焼された各原料粉末１００重量部に対し、ＰＶＡ
などの有機バインダーを５重量部加え、湿式粉砕し、整
粒し、しかる後平板状の形状となるように成形した。得
られた各成形体を、１０００〜１３００℃の温度で焼成
し、平板状の磁器基板を得た。焼成後、得られた各磁器
基板を研磨し、分極用の電極を形成し、５０〜２００℃
の絶縁油中において２〜３．５ｋＶ／ｍｍの電場に置
き、３０〜６０分間分極処理することにより、磁器基板
表面と平行な方向に分極した。
り、本発明を明らかにする。主発原料として、ＰｂＯ、
ＴｉＯ2 、ＭｎＣＯ3 、Ｎｂ2 Ｏ5 、及びＺｒＯ2を用
意した。これらの各粉末を秤量し、下記の表３に示す組
成を有する試料番号１〜２７の原料粉末を用意した。得
られた各原料粉末をボールミルにより湿式混合及び粉砕
し、しかる後７００〜９００℃の温度で仮焼した。次
に、仮焼された各原料粉末１００重量部に対し、ＰＶＡ
などの有機バインダーを５重量部加え、湿式粉砕し、整
粒し、しかる後平板状の形状となるように成形した。得
られた各成形体を、１０００〜１３００℃の温度で焼成
し、平板状の磁器基板を得た。焼成後、得られた各磁器
基板を研磨し、分極用の電極を形成し、５０〜２００℃
の絶縁油中において２〜３．５ｋＶ／ｍｍの電場に置
き、３０〜６０分間分極処理することにより、磁器基板
表面と平行な方向に分極した。
【００１２】次に、上記のようにして分極処理された磁
器基板の一方主面に、図２に示したくし歯電極２，３を
形成し、ＢＧＳ波を利用した表面波共振子を作製した。
試料番号１〜２７の各原料粉末を用いて得られた各表面
波共振子につき、それぞれ、ＢＧＳ波の電気機械結合係
数（ＫBGS ）、山谷比｛２０ｌｏｇ（Ｚａ／Ｚｒ）｝及
び共振の最大位相角を下記の要領で測定した。結果を、
下記の表４に示す。インピーダンス測定器を用いること
により、共振周波数、***振周波数、並びに共振周波数
及び***振周波数におけるインピーダンス値及び位相を
測定し、計算により、上記ＫBGS 、山谷比及び最大位相
角を求めた。
器基板の一方主面に、図２に示したくし歯電極２，３を
形成し、ＢＧＳ波を利用した表面波共振子を作製した。
試料番号１〜２７の各原料粉末を用いて得られた各表面
波共振子につき、それぞれ、ＢＧＳ波の電気機械結合係
数（ＫBGS ）、山谷比｛２０ｌｏｇ（Ｚａ／Ｚｒ）｝及
び共振の最大位相角を下記の要領で測定した。結果を、
下記の表４に示す。インピーダンス測定器を用いること
により、共振周波数、***振周波数、並びに共振周波数
及び***振周波数におけるインピーダンス値及び位相を
測定し、計算により、上記ＫBGS 、山谷比及び最大位相
角を求めた。
【００１３】
【表３】
【００１４】
【表４】
【００１５】試料番号１〜２７のうち、＊を付して示し
た試料番号１，５，６，１９，２１，２２，２６及び２
７は、いずれも本発明の範囲外の組成の圧電セラミック
スを用いて圧電基板が構成されているものに相当する。
試料番号１では、ａ＝０であるためか、山谷比が３１ｄ
Ｂと比較的小さく、最大位相角も７０度と小さいことが
わかる。また、試料番号５では、ｃ＝０．８５とＰｂＴ
ｉＯ3 のモル比が高いため、電気機械結合係数ＫBGS が
１５．２％と低いことがわかる。試料番号６では、上記
モル比ａ〜ｃが、上述した組成Ａ〜Ｆで囲まれる範囲の
組成を有しないためか、山谷比が３７ｄＢと低いことが
わかる。
た試料番号１，５，６，１９，２１，２２，２６及び２
７は、いずれも本発明の範囲外の組成の圧電セラミック
スを用いて圧電基板が構成されているものに相当する。
試料番号１では、ａ＝０であるためか、山谷比が３１ｄ
Ｂと比較的小さく、最大位相角も７０度と小さいことが
わかる。また、試料番号５では、ｃ＝０．８５とＰｂＴ
ｉＯ3 のモル比が高いため、電気機械結合係数ＫBGS が
１５．２％と低いことがわかる。試料番号６では、上記
モル比ａ〜ｃが、上述した組成Ａ〜Ｆで囲まれる範囲の
組成を有しないためか、山谷比が３７ｄＢと低いことが
わかる。
【００１６】同様に、試料番号１９では、ｂ＝０．６５
と、ＰｂＺｒＯ3 のモル比が高いため、ＫBGS が１０．
６％と低く、かつ山谷比も３０ｄＢと低いことがわか
る。試料番号２１では、ｃ＝０．０５とＰｂＴｉＯ3 の
モル比が低いためか、電気機械結合係数ＫBGS が７．２
％と低く、最大位相角も７０度と小さいことがわかる。
試料番号２２では、ｂ＝０．０５とＰｂＺｒＯ3 のモル
比が低いためか、電気機械結合係数ＫBGS が８．３％と
非常に小さいことがわかる。試料番号２６及び２７で
は、ａ＝０．４５とＰｂ（Ｍｎ1/3 Ｎｂ2/3 ）Ｏ3 のモ
ル比が高いためか、インピーダンス−周波数特性上にお
いてリップルや不要応答が強く発生していたため、上記
ＫBGS 、山谷比及び最大位相角を正確に算出することが
できなかった。
と、ＰｂＺｒＯ3 のモル比が高いため、ＫBGS が１０．
６％と低く、かつ山谷比も３０ｄＢと低いことがわか
る。試料番号２１では、ｃ＝０．０５とＰｂＴｉＯ3 の
モル比が低いためか、電気機械結合係数ＫBGS が７．２
％と低く、最大位相角も７０度と小さいことがわかる。
試料番号２２では、ｂ＝０．０５とＰｂＺｒＯ3 のモル
比が低いためか、電気機械結合係数ＫBGS が８．３％と
非常に小さいことがわかる。試料番号２６及び２７で
は、ａ＝０．４５とＰｂ（Ｍｎ1/3 Ｎｂ2/3 ）Ｏ3 のモ
ル比が高いためか、インピーダンス−周波数特性上にお
いてリップルや不要応答が強く発生していたため、上記
ＫBGS 、山谷比及び最大位相角を正確に算出することが
できなかった。
【００１７】これに対して、添付の図２に示すＰｂ（Ｍ
ｎ1/3 Ｎｂ2/3 ）Ｏ3 、ＰｂＴｉＯ 3 及びＰｂＺｒＯ3
についての三成分系組成図において、Ａ〜Ｆの組成で囲
まれる範囲の組成を有する試料番号２〜４、７〜１８、
２０、２３〜２５では、得られた表面波共振子は、いず
れも、ＫBGS が２０％以上と大きく、山谷比も４１ｄＢ
以上と大きく、かつ最大位相角についても８４度以上と
大きかった。従って、上記試料番号１〜２７についての
結果から明らかなように、図２に示した三成分系組成図
において、点Ａ〜Ｆで囲まれる組成を有する圧電基板を
用いることにより、共振特性の優れた表面波共振子の得
られることがわかる。
ｎ1/3 Ｎｂ2/3 ）Ｏ3 、ＰｂＴｉＯ 3 及びＰｂＺｒＯ3
についての三成分系組成図において、Ａ〜Ｆの組成で囲
まれる範囲の組成を有する試料番号２〜４、７〜１８、
２０、２３〜２５では、得られた表面波共振子は、いず
れも、ＫBGS が２０％以上と大きく、山谷比も４１ｄＢ
以上と大きく、かつ最大位相角についても８４度以上と
大きかった。従って、上記試料番号１〜２７についての
結果から明らかなように、図２に示した三成分系組成図
において、点Ａ〜Ｆで囲まれる組成を有する圧電基板を
用いることにより、共振特性の優れた表面波共振子の得
られることがわかる。
【００１８】なお、本発明が適用される表面波装置とし
ては、図１に示した表面波共振子４に限定されるもので
はなく、トランスバーサルフィルタや二重モードフィル
タ等にも本発明を適用することができる。例えば、図３
（ａ）に示すように、格子状の反射器を用いた二重モー
ドフィルタ３０は、フィルタを構成するためのインター
デジタルトランスデューサ部分３２の側方に反射器３
３，３４を設けたものであるが、このようなフィルタ３
０にも本発明を適用し得る。同様に、図３（ｂ）に示す
ように、格子状の反射器を用いずに、図１に示した端面
反射型の表面波共振子と同様に端面を反射器として利用
するようにすれば、圧電基板４１の表面波伝播方向の長
さを比較的短くすることができる。
ては、図１に示した表面波共振子４に限定されるもので
はなく、トランスバーサルフィルタや二重モードフィル
タ等にも本発明を適用することができる。例えば、図３
（ａ）に示すように、格子状の反射器を用いた二重モー
ドフィルタ３０は、フィルタを構成するためのインター
デジタルトランスデューサ部分３２の側方に反射器３
３，３４を設けたものであるが、このようなフィルタ３
０にも本発明を適用し得る。同様に、図３（ｂ）に示す
ように、格子状の反射器を用いずに、図１に示した端面
反射型の表面波共振子と同様に端面を反射器として利用
するようにすれば、圧電基板４１の表面波伝播方向の長
さを比較的短くすることができる。
【図１】ＢＧＳ波を利用した表面波共振子を示す斜視
図。
図。
【図２】本発明に用いられる圧電基板の組成の基礎成分
となるＰｂ（Ｍｎ1/3 Ｎｂ2/3）Ｏ3 −ＰｂＴｉＯ3 −
ＰｂＺｒＯ3 の三成分系組成図。
となるＰｂ（Ｍｎ1/3 Ｎｂ2/3）Ｏ3 −ＰｂＴｉＯ3 −
ＰｂＺｒＯ3 の三成分系組成図。
【図３】（ａ）及び（ｂ）は、それぞれ、本発明が適用
される二重モードフィルタを説明するための各略図的平
面図。
される二重モードフィルタを説明するための各略図的平
面図。
１…圧電基板 １ａ，１ｂ…自由端面 ２，３…くし歯電極 ４…ＢＧＳ波を利用した表面波共振子
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 安藤 陽 京都府長岡京市天神二丁目26番10号 株 式会社村田製作所内 (72)発明者 加地 敏晃 京都府長岡京市天神二丁目26番10号 株 式会社村田製作所内 (72)発明者 米田 康信 京都府長岡京市天神二丁目26番10号 株 式会社村田製作所内 (56)参考文献 特開 昭52−64700（ＪＰ，Ａ) 米国特許3699045（ＵＳ，Ａ) 電子通信学会技術研究報告Ｖｏｌ. 91，Ｎｏ．446（ＵＳ91−80），1992年 １月28日，ｐ．21−27 電子通信学会超音波研究会資料ＵＳ73 −11，1973年８月28日 (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) H03H 9/25 H01L 41/187
Claims (1)
- 【請求項１】 圧電基板を伝播する表面波のうち変位が
表面波伝播方向と垂直な方向の変位を主体とする表面波
を利用し、分極軸が表面波の伝播方向と垂直方向であ
り、かつ圧電基板表面と平行にされている表面波装置に
おいて、 前記圧電基板が、ａ｛Ｐｂ（Ｍｎ1/3 Ｎｂ2/3 Ｏ3 ）｝
−ｂ（ＰｂＺｒＯ3 ）−ｃ（ＰｂＴｉＯ3 ）、で表さ
れ、但し、ａ＋ｂ＋ｃ＝１であり、かつ前記ａ、ｂ及び
ｃが、下記の表１に示す値である組成Ａ〜Ｆで囲まれる
範囲内の組成を有する圧電セラミックスにより構成され
ていることを特徴とする、表面波装置。 【表１】
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP06748792A JP3198589B2 (ja) | 1992-03-25 | 1992-03-25 | 表面波装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP06748792A JP3198589B2 (ja) | 1992-03-25 | 1992-03-25 | 表面波装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05275967A JPH05275967A (ja) | 1993-10-22 |
| JP3198589B2 true JP3198589B2 (ja) | 2001-08-13 |
Family
ID=13346391
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP06748792A Expired - Lifetime JP3198589B2 (ja) | 1992-03-25 | 1992-03-25 | 表面波装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3198589B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3562402B2 (ja) * | 1999-09-29 | 2004-09-08 | 株式会社村田製作所 | 圧電磁器材料およびこれを用いた表面波装置 |
| JP4983538B2 (ja) * | 2007-10-18 | 2012-07-25 | Ｔｄｋ株式会社 | 圧電磁器組成物、及び発振子 |
| JP4992796B2 (ja) * | 2008-03-31 | 2012-08-08 | Ｔｄｋ株式会社 | 発振子 |
-
1992
- 1992-03-25 JP JP06748792A patent/JP3198589B2/ja not_active Expired - Lifetime
Non-Patent Citations (2)
| Title |
|---|
| 電子通信学会技術研究報告Ｖｏｌ．９１，Ｎｏ．４４６（ＵＳ９１−８０），１９９２年１月２８日，ｐ．２１−２７ |
| 電子通信学会超音波研究会資料ＵＳ７３−１１，１９７３年８月２８日 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH05275967A (ja) | 1993-10-22 |
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