JP3193567B2 - 基板収容容器 - Google Patents
基板収容容器Info
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- Packaging Of Annular Or Rod-Shaped Articles, Wearing Apparel, Cassettes, Or The Like (AREA)
- Packaging Frangible Articles (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
Description
製造する半導体製造装置等において、レチクルやフォト
マスクあるいはウエハ等基板を収容し、これらが収納中
あるいは露光装置等に搬送中に塵等によって汚染された
り、周囲の部材との接触によって損傷するのを防ぐため
のレチクルカセット等の基板収容容器に関するものであ
る。
ォトマスクあるいはウエハ等基板(以下、「基板」とい
う。)を所定の収納場所に収納するとき、あるいは収納
場所から露光装置等に搬送する際には、基板が雰囲気中
の塵によって汚染されたり周囲の部材との接触によって
損傷するのを防ぐために、開閉自在な容器、例えばレチ
クルカセットに収容して取扱うのが一般的である。
下面を支持する当接部材111と基板の外周縁を拘束す
る図示しない外縁拘束部材を備えた下皿110と、基板
R0を下皿110の当接部材111に押圧する押圧部材
121を備えた上蓋120からなり、上蓋120に枢着
された掛け金部材130によって上蓋120と下皿11
0を一体化する基板収容容器100が開発された。前記
押圧部材121は、ゴム等の弾性材料で作られており、
上蓋120と下皿111を閉じたときに、押圧部材12
1の先端121aが基板の上面に弾力的に押圧されるよ
うに構成されている。
の技術によれば、前述のように上蓋の押圧部材がゴム等
の弾性材料で作られており比較的軟質であるために、基
板の表面に押圧されたときに押圧部材の先端が弾力的に
押しつぶされて拡大し、基板に吸着する傾向がある。
器を開くときに基板が押圧部材に吸着したまま上蓋とと
もに持ち上げられるおそれがあり、基板収容容器の開閉
作業を迅速に行うことができない。特に、基板が軽量で
ある場合は基板収容容器の開閉作業が著しく妨げられ
て、半導体製造工程を高速化するうえでの大きな障害と
なる。
鑑みてなされたものであり、基板収容容器内で基板に押
圧される押圧部材が基板に吸着するおそれのない基板収
容容器を提供することを目的とするものである。
め本発明の基板収容容器は、基板を載置する下皿と、前
記下皿に対し上向きに分離可能な上蓋を有する基板収容
容器において、前記下皿および前記上蓋は両者の間に収
容された前記基板を支持する基板支持手段をそれぞれ備
え、前記上蓋の前記基板支持手段は弾力的に変形自在で
ある少なくとも1つの押圧部材を有し、前記押圧部材の
少なくとも前記基板に接触する表面は前記基板に押し付
けられても密着するおそれのない非弾性材料で作られて
おり、前記上蓋には前記下皿のフランジ部に係合する係
合部材を枢着し、さらに、前記上蓋に対し前記係合部材
を枢動させて前記下皿のフランジ部に係合させる付勢力
を有するバネを備え、前記係合部材を前記バネに抗して
枢動させることで前記上蓋は前記下皿に対し解放され、
前記上蓋を持ち上げることで前記下皿に対し分離される
ことを特徴とする。
弾性材料で作られた当接片によって構成されているとよ
い。
材を有し、前記一対の容器部材のそれぞれが両者の間に
収容された基板を支持する基板支持手段を備えており、
少なくとも一方の前記容器部材の前記基板支持手段が少
なくとも1個の押圧部材を有し、前記押圧部材全体が非
弾性材料で作られており、その一部分を薄肉にすること
により弾力的に変形自在に構成されているとよい。
対し上向きに分離可能な上蓋を有し、前記下皿および前
記上蓋が両者の間に収容された前記基板を支持する基板
支持手段を備えており、前記上蓋の前記基板支持手段が
弾力的に変形自在である少なくとも1個の押圧部材を有
し、前記押圧部材の前記基板に接触する表面に前記基板
に押しつけられても前記基板に吸着するのを防ぐための
複数の溝が設けられていることを特徴とする。
たときに、押圧部材の表面が非弾性材料で作られている
ために基板に吸着することなく、従って、基板収容容器
を開いても押圧部材とともに基板が持ち上げられるおそ
れがない。押圧部材全体が非弾性材料で作られており、
その一部分を薄肉にすることにより弾力的に変形自在に
構成されていれば、押圧部材全体を非弾性材料によって
一体的に製作し、その一部分に切欠等を設けるだけで、
基板に対して吸着するおそれのない安価な押圧部材を得
ることができる。
対し上向きに分離可能な上蓋を有し、前記下皿および前
記上蓋が両者の間に収容された前記基板を支持する基板
支持手段を備えており、前記上蓋の前記基板支持手段が
弾力的に変形自在である少なくとも1個の押圧部材を有
し、前記押圧部材の前記基板に接触する表面に前記基板
に押しつけられても前記基板に吸着するのを防ぐための
複数の溝が設けられていれば、押圧部材全体を弾性材料
によって一体的に製作し、その表面に複数の溝を設ける
だけでよい。
レチクルカセットを示すもので、(a)は容器部材であ
る上蓋10、(b)は容器部材である下皿20をそれぞ
れ示す斜視図である。すなわち、レチクルカセット1は
互いに開閉自在な上蓋10と下皿20からなり、上蓋1
0は方形の天板11とその外周縁を包囲する方形枠状の
側板12からなり、側板12の外側には係合部材である
一対の掛け金部材13が配設され、各掛け金部材13
は、図2に示すように、ピン12aによって側板12に
枢着されたL形の本体13aと、その先端部に形成され
た爪13bと、本体13aを天板11の中央に向かって
付勢するバネ13cを有する。
体的に設けられたフランジ部である一対のフランジ22
を有し、各フランジ22はその中央部に切欠22aを有
し、上蓋10と下皿20を閉じたときに、上蓋10の各
掛け金部材13を下皿20の各フランジ22の切欠22
aに嵌合させ、その先端部の爪13bをフランジ22の
下面に係合させることができるように構成されている。
下皿20の底板21上にはその4隅のそれぞれに近接す
る位置に基板支持手段である4個の支持部材23と4個
の支柱24が立設されており、各支持部材23は基板で
あるレチクルR1 の下面に当接される上向き当接部23
aとレチクルR1 の側縁に対向する外縁対向部23bを
有し、各支持部材23の上向き当接部23aはレチクル
R1 の下面を支持し、各支持部材23の外縁対向部23
bと各支柱24はレチクルR1 の外周縁に近接する位置
でこれに対向し、レチクルR1 が横方向に大きくガタつ
くのを防ぐ役目をする。
蓋10を下皿20上に閉じたときにレチクルR1 の上面
に押圧される基板支持手段である4個の押圧部材14が
固着され、各押圧部材14は、図3に拡大して示すよう
に、ゴム等の弾性材料で作られた管状の本体14aとそ
の先端に一体的に設けられた当接片14bからなり、各
押圧部材14の本体14aの基部はその中空部に天板1
1の下面に設けられた突起11aを圧入させることで天
板11に一体的に結合され、また、天板11の上面に
は、図1に示すように、各押圧部材14の位置を示すマ
ーク15が設けられ、さらに、上蓋10の側板12は、
各掛け金部材13に近接する位置に穴16aを有する案
内片16を有し、前記穴16aは下皿20の各フランジ
22の切欠22aに近接して配設された位置決めピン1
7を挿通自在である。各押圧部材14の当接片14bは
本体14aより硬質でレチクルR1 の表面に押圧されて
もこれに密着するおそれのない非弾性材料、例えばポリ
アセタール樹脂、ABS樹脂などで作られている。
るときは、上蓋10を下皿20から持ち上げて、レチク
ルR1 の外周縁を下皿20の各支持部材23の外縁対向
部23bと各支柱24に対向させた状態で下降させ、レ
チクルR1 の下面を下皿20の各支持部材23の上向き
当接部23aに支持させたうえで、図4に示すように、
図示しないアクチュエータによって上蓋10の各掛け金
部材13をバネ13cに抗して外側へ枢動させ、この状
態で上蓋10を下降させてレチクルR1 にかぶせる。こ
のとき上蓋10の各案内片16の穴16aに下皿20の
位置決めピン17を挿通させて下皿20の各フランジ2
2の切欠22aと上蓋10の各掛け金部材13の位置合
わせを行う。
アクチュエータから各掛け金部材13を解放する。各掛
け金部材13がアクチュエータから解放されると、図2
に示すようにバネ13cの付勢力によって各掛け金部材
13が枢動し、下皿20のフランジ22の切欠22aに
嵌合したうえで、爪13bをフランジ22の下面に係合
させる。このとき、上蓋10の各押圧部材14はレチク
ルR1 の上面に押圧され、各押圧部材14の本体14a
は弾力的に変形し、当接片14bはレチクルR1 の上面
に所定の圧力で押圧されて下皿20の各支持部材23の
上向き当接部23aとともにレチクルR1 をレチクルカ
セット1内にしっかりと保持する働きをする。各押圧部
材14の本体14aはゴム等の弾性材料で作られている
ために弾力的に変形するものの、レチクルR1 に接触す
る当接片14bは硬質であるためレチクルR1 に押しつ
けられてもレチクルR1 の表面に吸着するおそれはな
い。
ト1内に収容されて露光装置の収納棚等に収納され、所
定の露光プログラムが進むにつれて需要が生じたときに
手動またはロボット等によって収納棚から取りだされて
露光装置まで搬送される。レチクルカセット1内のレチ
クルR1 は、前述のように、各押圧部材14と各支持部
材23の間にしっかりと保持され、しかもレチクルR1
の外周縁は各支持部材23の外縁対向部23bと各支柱
24によって拘束されているため、カセット1内におい
てレチクルR1 がガタついてその位置がずれたり、摩擦
による発塵のためにレチクルR1 が汚染するおそれはな
い。通常は、搬送路の途中に前述と同様のアクチュエー
タが設けられており、該アクチュエータが前述と同様に
レチクルカセット1の各掛け金部材13をバネ13cに
抗して枢動させ、下皿20から解放する。上蓋10を持
ち上げてレチクルカセット1を開くとき、各押圧部材1
4の当接片14bは従来例のようにレチクルR1 の上面
を吸着していないため、レチクルR1 を下皿20に残し
たままレチクルR1 から速やかに離れる。このように、
レチクルカセット1を開く作業を円滑に行うことができ
るため、露光サイクルの高速化を大きく促進できる。
すもので、これは、本実施例の押圧部材14の本体14
aと同様に上蓋10の天板11の裏面に設けられた突起
11aを圧入させる中空部を備えた本体34aを有し、
硬質の当接片14bを設ける替わりに、本体34aの端
面に吸着防止手段である複数の溝34bを設けること
で、レチクルの上面に押圧しても押圧部材34の先端が
レチクルを吸着するおそれのないように構成したもので
ある。本変形例は、筒状の本体をゴム等の弾力的に変形
自在な弾性材料によって製作し、その端面に複数の溝を
形成するだけであるから製造工程が簡単であり、従って
安価であるという利点を有する。
すもので、これは、本実施例の押圧部材14と同様の中
空部と球面状の先端44bを備えた本体44aをゴム等
に比べて硬質の非弾性材料、例えばポリアセタール樹
脂、ABS樹脂などによって製作し、本体44aの中空
部の一部分を拡大して環状の薄肉部44cを設けること
で本体44aに所定の弾性を付与し、押圧部材44がレ
チクルの表面に押圧されたときに弾性変形できるように
構成したものである。押圧部材44全体が硬質であるか
らその先端44bがレチクルの表面に吸着されるおそれ
はない。本変形例も第1変形例と同様に製造工程が簡単
で従って安価であるという利点を有する。
で、以下に記載するような効果を奏する。
圧したときに、これが基板に吸着し基板収容容器を開く
ときに基板が持ち上げられるおそれがないため、基板収
容容器の開閉作業を円滑に行うことができる。その結
果、露光装置等に対するレチクルやフォトマスクあるい
はウエハ等の基板の供給を大幅に高速化して半導体製造
工程全体の高速化を大きく促進できる。
で、(a)は上蓋、(b)は下皿をそれぞれ示す斜視図
である。
面図である。
である。
を示す部分断面図である。
拡大断面図である。
拡大断面図である。
た状態で示す部分断面図である。
分断面図である。
Claims (4)
- 【請求項1】 基板を載置する下皿と、前記下皿に対し
上向きに分離可能な上蓋を有する基板収容容器におい
て、 前記下皿および前記上蓋は両者の間に収容された前記基
板を支持する基板支持手段をそれぞれ備え、前記上蓋の
前記基板支持手段は弾力的に変形自在である少なくとも
1つの押圧部材を有し、前記押圧部材の少なくとも前記
基板に接触する表面は前記基板に押し付けられても密着
するおそれのない非弾性材料で作られており、 前記上蓋には前記下皿のフランジ部に係合する係合部材
を枢着し、さらに、前記上蓋に対し前記係合部材を枢動
させて前記下皿のフランジ部に係合させる付勢力を有す
るバネを備え、前記係 合部材を前記バネに抗して枢動さ
せることで前記上蓋は前記下皿に対し解放され、前記上
蓋を持ち上げることで前記下皿に対し分離されることを
特徴とする基板収容容器。 - 【請求項2】 押圧部材が、弾性材料で作られた本体と
非弾性材料で作られた当接片によって構成されているこ
とを特徴とする請求項1記載の基板収容容器。 - 【請求項3】 互いに開閉自在である一対の容器部材を
有し、前記一対の容器部材のそれぞれが両者の間に収容
された基板を支持する基板支持手段を備えており、少な
くとも一方の前記容器部材の前記基板支持手段が少なく
とも1個の押圧部材を有し、前記押圧部材全体が非弾性
材料で作られており、その一部分を薄肉にすることによ
り弾力的に変形自在に構成されていることを特徴とする
基板収容容器。 - 【請求項4】 基板を載置する下皿と、前記下皿に対し
上向きに分離可能な上蓋を有し、前記下皿および前記上
蓋が両者の間に収容された前記基板を支持する基板支持
手段を備えており、前記上蓋の前記基板支持手段が弾力
的に変形自在である少なくとも1個の押圧部材を有し、
前記押圧部材の前記基板に接触する表面に前記基板に押
しつけられても前記基板に吸着するのを防ぐための複数
の溝が設けられていることを特徴とする基板収容容器。
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