JP3190218B2 - 造水装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は逆浸透膜法により純水、
脱塩水等を得る造水装置及び造水方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】逆浸透膜装置（以下ＲＯ装置）は被処理
水を不純物含量が低下した透過水と、不純物含量が増大
した濃縮水とに分離できるが、濃縮水中のシリカ、アル
ミニウム、硬度成分等の濃度が高くなるとこれらが逆浸
透膜に析出して濾過速度を低下させる。従来、ＲＯ装置
においてはこれらの析出を防止するため、回収率（＝透
過水／被処理水）を下げた状態で運転することが一般に
行なわれている。例えば、シリカを含む被処理水の場合
には、通常濃縮水中のシリカ濃度がその飽和濃度である
１００ｐｐｍ程度（但し水温約２５℃の場合）を上限と
するようにして運転されている。市水、工業用水等の被
処理水には１５〜２５ｐｐｍのシリカが通常含有されて
いるので、この場合には回収率を７５〜８０％に設定し
て運転することにより、濃縮水中のシリカ濃度をその飽
和濃度以下に保っている。この結果、給水された水のう
ち２０〜２５％は利用されずに排水として捨てられてい
る。この問題を改善するため被処理水のｐＨ調整を行な
ったり、あるいは被処理水に分散剤を添加してシリカの
析出を防止するようにして、回収率を改善することが検
討されているが、必ずしも成功していない。

【０００３】回収率を改善する際には幾つかの問題点を
考慮する必要がある。上記のように、ｐＨ調整や分散剤
等の薬品を添加して回収率を改善することもある程度可
能である。しかし、複数のＲＯ装置を用いて、前段の濃
縮水を次段のＲＯ装置で逆浸透処理することにより、被
処理水の回収率等を向上させるような場合には、このよ
うにして回収率を高くしても、高濃度で運転されている
部分、すなわち下流に位置するＲＯ膜の透過水量が数ケ
月で低下することがある。この場合には、ＲＯ装置の運
転を停止し、装置全体を酸、アルカリ等の薬品で洗浄
し、その後運転を再開している。

【０００４】この期間は、水の逆浸透処理はできず、こ
のため現実には装置の洗浄時間はできるだけ短縮され、
場合によっては充分の洗浄ができない問題もある。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】本発明は上記事情に鑑
みてなされたもので、その目的とするところは、水回収
率の高い造水装置及び造水方法を提供することにある。

【０００６】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に本発明は、被処理水を逆浸透膜処理して前段透過水と
前段濃縮水とに分離する前段逆浸透膜装置と、前記前段
濃縮水を後段逆浸透膜装置に供給する供給パイプと、供
給パイプを介して供給される前記前段濃縮水を逆浸透膜
処理して後段透過水と後段濃縮水とに分離する後段逆浸
透膜装置とからなる造水装置において、前記供給パイプ
に濃縮水取出しラインと、沈着防止剤注入ラインと、洗
浄薬品供給ラインと、これらのラインの流路切換手段と
を備えてなり、通常運転時には濃縮水取出しラインと洗
浄薬品供給ラインとを閉とすると共に沈着防止剤注入ラ
インから供給パイプに沈着防止剤を供給し、洗浄時には
沈着防止剤注入ラインを閉として沈着防止剤の供給を停
止しながら濃縮水取出しラインから前段濃縮水を取出す
と共に洗浄薬品供給ラインから洗浄薬品を供給して前段
逆浸透膜装置を運転しながら後段逆浸透膜装置を洗浄す
ることを特徴とする造水装置を提案するもので、後段逆
浸透膜装置の逆浸透膜が前段逆浸透膜装置の逆浸透膜よ
りもルーズな逆浸透膜であること、前段濃縮水出口が後
段逆浸透膜装置の供給水入口とポンプを介することなく
直接連結され後段逆浸透膜装置が前段逆浸透膜装置の濃
縮水の余圧で運転されるものであることを含む。

【０００７】また本発明は、被処理水を前段逆浸透膜装
置で逆浸透膜処理して前段透過水と前段濃縮水とに分離
して前段透過水を得ると共に、前記前段濃縮水を後段逆
浸透膜装置で逆浸透膜処理して後段透過水と後段濃縮水
とに分離する造水方法において、後段逆浸透膜装置の逆
浸透膜の洗浄時には、前段逆浸透膜装置を運転して前段
透過水を取出しつつ、後段逆浸透膜装置の運転を停止し
て後段逆浸透膜装置の逆浸透膜の洗浄を行なうことを特
徴とする造水方法である。

【０００８】以下、本発明を詳細に説明する。

【０００９】本発明においては、複数のＲＯ装置を前段
及び後段に分け、前段ＲＯ装置を運転しつつ、後段ＲＯ
装置を洗浄、例えば酸洗浄やアルカリ洗浄が可能な構成
にするものである。

【００１０】図１は本発明の造水装置の一態様を示すも
ので、図中、２は被処理水である。被処理水２として
は、工業用水、上水、井水、河川水、回収水等が例示で
きる。被処理水２はその水質に応じて、必要により前処
理装置４で除濁等の前処理がされる。

【００１１】前処理装置としては砂濾過装置、膜濾過装
置等が例示できる。

【００１２】６は酸供給ラインで、被処理水中の炭酸成
分を効率よく除去するために塩酸等の酸が前処理装置の
出口水に加えられ、そのｐＨを６程度に調節された後、
脱気装置８に送られ、炭酸ガス、酸素、窒素等が除去さ
れる。脱気装置８としては脱炭酸塔、真空脱気装置、膜
脱気装置等が目的に応じて選択される。なお、ｐＨ６程
度に調整された前処理装置の出口水は、脱気装置８で脱
炭酸されることによってそのｐＨが６．５程度に上昇す
る。脱気装置出口水は、次いでポンプ１０で加圧され前
段ＲＯ装置１２に送られ、ここで前段透過水１４と前段
濃縮水１６とに分離される。前記前段透過水１４は前段
透過水取出しライン１８から不純物濃度が低減された状
態で取出され、脱塩水として、あるいはさらに電気式脱
塩装置やイオン交換装置、逆浸透膜装置、限外濾過膜装
置等で純度を高めて各種用途に利用される。

【００１３】２０は供給パイプで、これにより前段ＲＯ
装置１２の濃縮水出口２２と後段ＲＯ装置２４の供給水
入口２６とが連結されている。

【００１４】２８は供給パイプ２０に介装された第１圧
力調整バルブで、その下流側にはバルブ３０が介装され
ている。

【００１５】３１は濃縮水取出しラインで、第１圧力調
整バルブ２８とバルブ３０との間で供給パイプ２０から
分岐されている。さらにバルブ３０と後段ＲＯ装置２４
の供給水入口２６との間の供給パイプ２０には沈着防止
剤注入ライン３２及び洗浄薬品供給ライン３４が連結さ
れている。なお、３６，３８，４０はバルブ、４２は注
入ライン３２に介装された注入ポンプ、４３は洗浄薬品
供給ライン３４に介装されたポンプ、４５は当該ポンプ
４３の入口側に連通された洗浄薬品貯槽である。

【００１６】前段ＲＯ装置１２の前段濃縮水１６は第１
圧力調整バルブ２８、バルブ３０を順次経由して供給パ
イプ２０中を移動し、後段ＲＯ装置２４の供給水入口２
６に供給され、後段ＲＯ装置２４で後段透過水４４と後
段濃縮水４６に分離される。後段透過水４４は回収ライ
ン４８から取出され、各種の用途に供される。

【００１７】後段濃縮水は第２圧力調整バルブ５０を介
装した排出ライン５２を通り系外に放出される。

【００１８】沈着防止剤注入ライン３２から供給パイプ
２０に供給される沈着防止剤としては、ｐＨ調整用の酸
や、分散剤を使用するが、必要により殺菌剤等を添加し
てもよい。

【００１９】酸としては、具体的には塩酸や硫酸等が挙
げられる。また、電解装置により生成された酸性の液体
等も利用することができる。分散剤としては、ヘキサメ
タ燐酸ソーダ等の有機燐酸塩やポリアクリル酸ソーダ等
を挙げることができる。上記の酸は、後段ＲＯ装置２４
の後段濃縮水４６のｐＨを６以下、好ましくは４．０〜
５．５程度に調整する量を加えるもので、ｐＨをこの範
囲に調整することにより後段濃縮水中のシリカ濃度がた
とえ飽和濃度以上となってもシリカの析出を確実に防止
することができる。なお、前段ＲＯ装置と後段ＲＯ装置
の間に酸を添加せず、前段ＲＯ装置の供給水に初めから
後段ＲＯ装置の濃縮水のｐＨが６以下となるように酸を
添加しておくことも考えられるが、このようにすると前
段ＲＯ装置から得られる透過水の純度が低下するので好
ましくない。また、必要に応じて酸と分散剤を併用して
もよい。

【００２０】洗浄薬品供給ライン３４から供給パイプに
供給される洗浄薬品としては、塩酸、クエン酸、修酸等
の酸水溶液や苛性ソーダ等のアルカリ水溶液が好まし
い。

【００２１】酸水溶液はｐＨが１．５〜３のものが好ま
しい。アルカリ水溶液はｐＨが１０〜１１のものが好ま
しい。

【００２２】その他ＥＤＴＡ、界面活性剤、酵素水溶液
を用いてもよい。

【００２３】本発明においては、前述のようにＲＯ装置
を前段ＲＯ装置１２とシリカスケール等の沈着により透
過水量の低下の起き易い後段ＲＯ装置２４とに分け、透
過水量の低下が起きた場合には前段ＲＯ装置１２を運転
し続けながら（したがって、前段透過水を製造し続けな
がら）、後段ＲＯ装置２４の運転を停止して、後段ＲＯ
装置２４の洗浄を行なうものである。

【００２４】このため、図１に示すように、前段ＲＯ装
置１２と後段ＲＯ装置２４との中間に洗浄薬品供給ライ
ン３４を設置し、前段ＲＯ装置１２を停止することなく
後段ＲＯ装置２４を洗浄できるようにする。後段ＲＯ装
置２４の薬品洗浄時にはバルブ３０，３８を閉、３６，
４０を開とすればよい。このような弁操作を行えば、後
段ＲＯ装置２４で透過水量低下が発生しても、前段ＲＯ
装置１２は運転を継続できるので、前段ＲＯ装置から常
時透過水を得ることができ、高回収率化に基づく透過水
量の急速な低下によるトラブルが起きにくい。

【００２５】本発明においては、前段ＲＯ装置１２の部
分は脱塩を目的とした運転を行なう一方、前段ＲＯ装置
１２の前段濃縮水を給水として利用する後段ＲＯ装置２
４は前段濃縮水の回収を主目的とするものである。すな
わち、通常後段ＲＯ装置２４の透過水の水質は前段ＲＯ
装置１２の透過水と比較して不純物濃度が高い。このた
め、そのまま利用することもできるが、前段ＲＯ装置と
は別の用途、例えば冷却水、雑用水、環境用水等に利用
することができれば、工場全体で水利用率の改善にな
る。また、後段ＲＯ装置の透過水を前段ＲＯ装置の給水
に混合して利用すれば、工場外から購入する工業用水等
の水量を減少させることができる。この場合は、後段Ｒ
Ｏ装置のＲＯ膜として、後段ＲＯ装置の透過水濃度が工
業用水の濃度と同様、あるいは若干低くなる性能のＲＯ
膜を採用することが望ましい。

【００２６】前段と後段との運転条件による分け方は、
前段は通常分散剤等の薬品を添加せずに運転できる濃縮
水シリカ濃度、例えば１００ｐｐｍ程度を目途として設
定し、後段は分散剤添加やｐＨ調整によりシリカ濃度を
さらに高め３００〜５００ｐｐｍになるように設定する
ことが望ましい。

【００２７】高回収率運転を経済的に実施するために
は、ＲＯ膜と分散剤等の沈着防止剤の薬品コストを削減
する必要がある。ところが運転コストを詳細に検討する
と、分散剤等のコストは高回収率になるにしたがって、
減少し、ＲＯ膜のコストは増加することがわかった。こ
れは、分散剤濃度は濃縮水中の濃度が一定の状態で運転
されるため、回収率が高くなると濃縮水量が減り、その
結果添加する分散剤の量が減少するためである。一方、
ＲＯ膜のコストは回収率を高くすると増加する。これは
回収率を高くすることは透過水量を増加させることであ
り、同一逆浸透膜の場合には使用するＲＯ膜の量が増加
するからである。したがって、ＲＯ膜の使用量を減少さ
せることが高回収率運転の経済性を向上させる点で重要
であることがわかった。

【００２８】一般に、同一種類のＲＯ膜ならば、透過水
量は操作圧力に比例する。したがって、同一操作圧力で
透過水を増加させるためには、膜面積を増加させるすな
わち、使用するＲＯ膜モジュールの本数を増加させるし
か方法がない。

【００２９】一方、ＲＯ膜には多くの種類があり、同一
操作圧力でも単位膜面積当り多くの透過水量が得られ
る、いわゆるルーズなＲＯ膜がある。すなわち、このよ
うなルーズＲＯ膜を用いることにより膜面積の増加を最
小限に保ちつつ、透過水量を増加させることができる。

【００３０】本発明において、“ルーズな膜”とは同一
圧力でより多くの透過水量が得られる膜のことを指して
いる。本発明においては、新品時にルーズなＲＯ膜はも
ちろんのこと、使用後に結果としてルーズな性能を持つ
に至ったＲＯ膜も含める。

【００３１】一般にＲＯ膜の分離性能はルーズになると
低下する。したがって、膜装置全体のＲＯ膜をルーズな
膜にすると、透過水の水質が低下し、装置本来の目的で
ある脱塩性能が低下する結果となる。そこで、本発明に
おいては本来の脱塩を主目的とした前段ＲＯ装置では分
離性能が高いＲＯ膜を利用する。また、経済的に回収率
を改善することを主目的とする後段ＲＯ装置ではルーズ
なＲＯ膜を採用することが望ましい。これにより、それ
ぞれの透過水を別々に取出して有効利用することができ
る。

【００３２】上記のように、後段ＲＯ装置にルーズＲＯ
膜を採用すると、同一圧力では単位膜面積当たりの透過
水量が多くなるので、ＲＯ膜の必要膜面積は小さくな
る、換言すればＲＯモジュールの必要本数を少なくでき
る一方膜が汚れ易くなり、透過水量の低下が発生し易く
なる。このため後段ＲＯ装置の運転を停止してＲＯ膜の
洗浄をする機会が多くなる。したがって、前段ＲＯ装置
を運転しながら後段ＲＯ装置を薬品洗浄することのでき
る本発明の構成がさらに有効に活用できる。

【００３３】本発明において、前段ＲＯ装置に利用する
ＲＯ膜としては、ＳＵ７２０、ＳＣ−３２００（東
レ）、ＮＴＲ７５９ＨＲ（日東電工）、ＦＴー３０（ダ
ウ）等の高脱塩タイプのＲＯ膜が望ましい。後段ＲＯ装
置に利用するルーズＲＯ膜としてはＳＵ２２０、ＳＵ６
２０（東レ）、ＮＴＲ７２５（日東電工）、ＮＦ−７０
（ダウ）等が挙げられる。

【００３４】前段ＲＯ装置と後段ＲＯ装置の間でｐＨ調
整剤及び／または分散剤を添加することにより、前段Ｒ
Ｏ装置の供給水にこれらの薬剤を添加する場合に比べ
て、ＲＯ膜を透過する極微量の分散剤やｐＨ調整剤によ
る水質低下を防止することができる。すなわち、本発明
の場合は、少なくとも前段ＲＯ装置の透過水はｐＨ調整
剤及び分散剤の影響を受けない。また後段ＲＯ装置の透
過水を前段ＲＯ装置の給水として利用したとしても、前
段ＲＯ装置の透過水水質に与えるｐＨ調整剤及び分散剤
の影響を最小にすることができる。

【００３５】本発明においては、前段ＲＯ装置と後段Ｒ
Ｏ装置を直列に接続して１台のポンプで運転することが
好ましい。この場合、前段ＲＯ装置と後段ＲＯ装置との
中間と、後段ＲＯ装置の濃縮水側に圧力調整手段（図１
中バルブ２８，５０）を設けることにより、前段ＲＯ装
置と後段ＲＯ装置を個々に圧力調整できるようにするこ
とが望ましい。これはＲＯ膜を選択することにより、後
段ＲＯ装置のＲＯ膜として、前段ＲＯ装置のＲＯ膜に比
べて同一操作圧力で３倍以上の透過水量が得られる膜を
使用する場合があり、そのような場合には後段ＲＯ装置
の操作圧力を、前段ＲＯ装置に比べてかなり低圧力に調
整する必要があるからである。また、この場合は前段Ｒ
Ｏ装置と後段ＲＯ装置の中間に設置した圧力調整手段
（図１中のバルブ２８）の下流でｐＨ調整剤及び／また
は分散剤の添加を行なえば、圧力が低下する分、これら
の薬品の注入ポンプ（図１中の注入ポンプ４２）の吐出
圧が低くて済み有利である。

【００３６】なお、前段透過水は、前述のごとくさらに
電気式脱塩装置やイオン交換装置、限外濾過膜装置等で
純度を高めて利用することもできる。

【００３７】

【実施例】

実施例１ 図１に示す構成の造水装置を用いて、以下のような処理
を行った。

【００３８】被処理水２である工業用水を５トン／時で
膜除濁装置からなる前処理装置４で除濁し、次いで酸供
給ライン６から塩酸を注入してｐＨを６．０に調節した
後、脱気装置８で脱気し、その後高圧ポンプ１０で加圧
して前段ＲＯ装置１２に送った。前段濃縮水１６は第１
圧力調整バルブ２８で圧力調節して後段ＲＯ装置２４に
供給した。後段透過水４４は前段透過水１８と別に回収
ライン４８から取出した。後段濃縮水４６は第２圧力調
整バルブ５０を経て外部に放出した。

【００３９】前段透過水は取出しライン１８から脱塩水
として取出した。

【００４０】前段ＲＯ装置１２、及び後段ＲＯ装置２４
にはＲＯ膜として東レＳＵ７２０を用い、それぞれの運
転圧力を１５Ｋｇｆ／ｃｍ² 、１３Ｋｇｆ／ｃｍ² とし
た。

【００４１】沈着防止剤として塩酸を沈着防止剤注入ラ
イン３２から注入して後段濃縮水のｐＨを５．５に保っ
た。

【００４２】前段ＲＯ装置１２は濃縮水シリカ濃度７５
ｐｐｍ（回収率８０％）まで濃縮し、後段ＲＯ装置２４
はシリカ濃度３００ｐｐｍ（回収率７５％）で運転し、
全回収率９５％を得た。

【００４３】運転日数の経過と共に後段透過水量が低下
したので、前段ＲＯ装置１２を運転し続けながらバルブ
３０，３８を閉、バルブ３６，４０を開とした。洗浄薬
品として洗浄薬品貯槽４５で調整した塩酸水溶液（ｐＨ
２）をポンプ４３によって洗浄薬品供給ライン３４から
注入し、後段ＲＯ装置２４の濃縮水側を通流させた後に
排出ライン５２を経て点線Ｐで示される流路を循環させ
て後段ＲＯ装置２４の循環洗浄を２時間行なった。その
後、ポンプ４３を停止して系内に塩酸水溶液を満たした
まま１時間浸漬した。次いで、洗浄薬品貯槽４５内の塩
酸水溶液を排出してこの貯槽内に水酸化ナトリウム水溶
液（ｐＨ１１）を調整し、この水酸化ナトリウム水溶液
を用いて上記塩酸洗浄と同様に、２時間循環洗浄を行
い、その後ポンプ４３を停止して１夜浸漬した。その
後、正常運転に復帰させた。

【００４４】図２に上記装置の運転結果を示した。図２
は、単位膜面積当りの透過水量の経時変化を、初期透過
水量を１とした時の比率（透過水量比）で示したもの
で、前段ＲＯ膜と後段ＲＯ膜のそれぞれについて示して
ある。図からわかるように、前段ＲＯ膜は約５ヵ月の
間、透過水量低下はほとんど見られず、また後段ＲＯ膜
は化学洗浄によって性能が回復しており、後段ＲＯ装置
のみを化学洗浄することにより安定して運転できること
がわかる。 実施例２ 図３に上記実施例における後段ＲＯ装置２４として、上
記ＳＵ７２０よりルーズなＲＯ膜である東レＳＵ２２０
Ｓを装着したＲＯ装置を用い、このＲＯ装置の運転圧力
を９ｋｇｆ／ｃｍ² としたこと以外は上記と同じ装置、
同じ条件で運転した場合の運転結果を示した。

【００４５】なお、東レＳＵ２２０ＳはＳＵ７２０に比
べて、同一圧力下において単位膜面積当り約３倍の透過
水量が得られるＲＯ膜であるので、本実施例において
は、後段ＲＯ装置の膜面積が実施例１の場合の１／２と
なるようにして運転した。

【００４６】図３に示したごとく、後段ＲＯ膜装置の膜
面積を実施例１の１／２とし、単位膜面積当りの透過水
量を実施例１の場合の２倍としたことによって後段ＲＯ
装置の透過水量の低下は図２の場合より著しくなるが、
このような水量低下も化学洗浄によって、確実に運転初
期の状態に回復している。

【００４７】したがって、本実施例の場合は、後段ＲＯ
膜装置の膜面積を１／２に減少することができる分、膜
モジュールの使用本数、あるいは膜エレメントの使用本
数を削減することができ、その結果、水回収に必要なコ
ストが実施例１の場合に比べて大きく低下する。

【００４８】

【発明の効果】本発明により、工業用水等を被処理水と
して用いるＲＯ膜を用いた造水装置において、より安定
した高回収率運転が可能になり、高回収率運転の経済性
が大幅に改善される。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例を示すフロー図である。

【図２】実施例１における透過水量比と運転時間の関係
を示すグラフである。

【図３】実施例２における透過水量比と運転時間の関係
を示すグラフである。

【符号の説明】

２ 被処理水 ４ 前処理装置 ６ 酸供給ライン ８ 脱気装置 １０ ポンプ １２ 前段ＲＯ装置 １４ 前段透過水 １６ 前段濃縮水 １８ 取出しライン ２０ 供給パイプ ２２ 前段濃縮水出口 ２４ 後段ＲＯ装置 ２６ 後段処理水入口 ２８ 第１圧力調整バルブ ３０ バルブ ３１ 濃縮水取出しライン ３２ 沈着防止剤注入ライン ３４ 洗浄薬品供給ライン ３６ バルブ ３８ バルブ ４０ バルブ ４２ 注入ポンプ（沈着防止剤用） ４３ ポンプ（洗浄薬品供給用） ４４ 後段透過水 ４５ 洗浄薬品貯槽 ４６ 後段濃縮水 ４８ 回収ライン ５０ 第２圧力調整バルブ ５２ 排出ライン

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平７−299454（ＪＰ，Ａ) 特開 平４−210288（ＪＰ，Ａ) 特開 昭53−78665（ＪＰ，Ａ) 特開 平７−148488（ＪＰ，Ａ) 特開 昭55−109406（ＪＰ，Ａ) 特開 平８−108048（ＪＰ，Ａ) 特開 平５−269465（ＪＰ，Ａ) 特開 昭59−228988（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) C02F 1/44 B01D 61/08 B01D 61/10 B01D 65/08

Claims (4)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 被処理水を逆浸透膜処理して前段透過水
   と前段濃縮水とに分離する前段逆浸透膜装置と、前記前
   段濃縮水を後段逆浸透膜装置に供給する供給パイプと、
   供給パイプを介して供給される前記前段濃縮水を逆浸透
   膜処理して後段透過水と後段濃縮水とに分離する後段逆
   浸透膜装置とからなる造水装置において、前記供給パイ
   プに濃縮水取出しラインと、沈着防止剤注入ラインと、
   洗浄薬品供給ラインと、これらのラインの流路切換手段
   とを備えてなり、通常運転時には濃縮水取出しラインと
   洗浄薬品供給ラインとを閉とすると共に沈着防止剤注入
   ラインから供給パイプに沈着防止剤を供給し、洗浄時に
   は沈着防止剤注入ラインを閉として沈着防止剤の供給を
   停止しながら濃縮水取出しラインから前段濃縮水を取出
   すと共に洗浄薬品供給ラインから洗浄薬品を供給して前
   段逆浸透膜装置を運転しながら後段逆浸透膜装置を洗浄
   することを特徴とする造水装置。
2. 【請求項２】 後段逆浸透膜装置の逆浸透膜が前段逆浸
   透膜装置の逆浸透膜よりもルーズな逆浸透膜である請求
   項１に記載の造水装置。
3. 【請求項３】 前段濃縮水出口が後段逆浸透膜装置の供
   給水入口とポンプを介することなく直接連結され後段逆
   浸透膜装置が前段逆浸透膜装置の濃縮水の余圧で運転さ
   れるものである請求項１に記載の造水装置。
4. 【請求項４】 被処理水を前段逆浸透膜装置で逆浸透膜
   処理して前段透過水と前段濃縮水とに分離して前段透過
   水を得ると共に、前記前段濃縮水を後段逆浸透膜装置で
   逆浸透膜処理して後段透過水と後段濃縮水とに分離する
   造水方法において、後段逆浸透膜装置の逆浸透膜の洗浄
   時には、前段逆浸透膜装置を運転して前段透過水を取出
   しつつ、後段逆浸透膜装置の運転を停止して後段逆浸透
   膜装置の逆浸透膜の洗浄を行なうことを特徴とする造水
   方法。