JP3189447B2 - 放電ランプ装置 - Google Patents
放電ランプ装置Info
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Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、例えば、塗料の硬化、
表面洗浄、殺菌、光化学反応用等の紫外線を放射する放
電ランプ装置に関する。特に、無声放電を利用して紫外
線を放射するための誘電体バリア放電を利用した誘電体
バリア放電ランプ装置に関する。
表面洗浄、殺菌、光化学反応用等の紫外線を放射する放
電ランプ装置に関する。特に、無声放電を利用して紫外
線を放射するための誘電体バリア放電を利用した誘電体
バリア放電ランプ装置に関する。
【0002】
【従来の技術】本発明は、例えば、日本国公開特許公報
平1−144560号等に記載されている従来の技術に
関連している。すなわち、石英ガラス板のような光透過
性の誘電体2枚を対向して設けて放電空間を形成し、前
記放電空間に稀ガス、重水素あるいは稀ガスとハロゲン
の混合ガス等を充填し、前記2個の誘電体の前記放電空
間に対向していない面に電極を設け、前記電極に交流電
圧を印加して無声放電を発生させて紫外線を放射させる
構成・方式が知られている。前記誘電体としては、石英
ガラスの他に、サファイア、フッ化マグネシウム、フッ
化カルシウムなどが知られている。上記のような放電ラ
ンプは、放電用ガスの選択によって所望の波長の放射光
が得られるため、有用である。しかし、その寿命特性は
必ずしも十分では無い。また、上記ランプを光合成、殺
菌などに使用した場合、生成物質がランプの光取り出し
窓に付着したり、被殺菌物質の一部光取り出し窓に付着
することにより、窓の透過率が減少して光出力が低下す
るという問題があった。
平1−144560号等に記載されている従来の技術に
関連している。すなわち、石英ガラス板のような光透過
性の誘電体2枚を対向して設けて放電空間を形成し、前
記放電空間に稀ガス、重水素あるいは稀ガスとハロゲン
の混合ガス等を充填し、前記2個の誘電体の前記放電空
間に対向していない面に電極を設け、前記電極に交流電
圧を印加して無声放電を発生させて紫外線を放射させる
構成・方式が知られている。前記誘電体としては、石英
ガラスの他に、サファイア、フッ化マグネシウム、フッ
化カルシウムなどが知られている。上記のような放電ラ
ンプは、放電用ガスの選択によって所望の波長の放射光
が得られるため、有用である。しかし、その寿命特性は
必ずしも十分では無い。また、上記ランプを光合成、殺
菌などに使用した場合、生成物質がランプの光取り出し
窓に付着したり、被殺菌物質の一部光取り出し窓に付着
することにより、窓の透過率が減少して光出力が低下す
るという問題があった。
【0003】
【本発明が解決しようとする課題】本発明の課題は、寿
命特性が十分で、また上記ランプを光合成などに使用し
た場合、生成物質がランプの光取り出し窓に付着せず、
光出力が低下しない高性能の誘電体バリア放電ランプ装
置を提供することである。
命特性が十分で、また上記ランプを光合成などに使用し
た場合、生成物質がランプの光取り出し窓に付着せず、
光出力が低下しない高性能の誘電体バリア放電ランプ装
置を提供することである。
【0004】
【課題を解決するための手段】上記本発明の目的は、光
取り出し窓を有し、かつ、放電用ガスを収納し、あるい
は放電用ガスを流しながら放電プラズマを発生させるた
めの放電容器と、前記放電プラズマを発生させるための
電源装置とからなる誘電体バリア放電ランプ装置におい
て、少なくとも前記放電容器の壁の少なくとも一部分を
ポリテトラフルオロエチレン(PTFEと略記)、テト
ラフルオロエチレン・パーフルオロアルキルビニールエ
ーテル共重合体(PFAと略記)或いはテトラフルオロ
エチレン・ヘキサフルオロプロピレン共重合体(FEP
と略記)等のフッ素樹脂にすることによって達成され
る。特に、少なくとも前記放電容器の光取り出し窓の一
部をフッ素樹脂で構成することが効果的である。フッ素
樹脂を前記放電容器の内壁表面の少なくとも一部、特に
光取り出し窓に被着することによっても、上記目的は達
成される。上記放電用ガスとして少なくともハロゲンを
含んだガスを使用すると、多種の波長の放射光が選択で
きるようになるという利点が生じる。光取り出し窓の放
電空間に対向していない表面をフッ素樹脂にすると、こ
のランプを光合成等に使用した場合に、光取り出し窓の
放電空間に対向していない表面に反応生成物が付着する
ことが少なく、従って窓の透過率が低下すること無く、
従って長寿命の放電ランプ装置が得られる。前記放電プ
ラズマを無声放電によって発生させることにより、前記
の放電は放電空間内に電極を有さないので電極と放電ガ
スとの反応がなく、上記目的はよりいっそう達成され
る。
取り出し窓を有し、かつ、放電用ガスを収納し、あるい
は放電用ガスを流しながら放電プラズマを発生させるた
めの放電容器と、前記放電プラズマを発生させるための
電源装置とからなる誘電体バリア放電ランプ装置におい
て、少なくとも前記放電容器の壁の少なくとも一部分を
ポリテトラフルオロエチレン(PTFEと略記)、テト
ラフルオロエチレン・パーフルオロアルキルビニールエ
ーテル共重合体(PFAと略記)或いはテトラフルオロ
エチレン・ヘキサフルオロプロピレン共重合体(FEP
と略記)等のフッ素樹脂にすることによって達成され
る。特に、少なくとも前記放電容器の光取り出し窓の一
部をフッ素樹脂で構成することが効果的である。フッ素
樹脂を前記放電容器の内壁表面の少なくとも一部、特に
光取り出し窓に被着することによっても、上記目的は達
成される。上記放電用ガスとして少なくともハロゲンを
含んだガスを使用すると、多種の波長の放射光が選択で
きるようになるという利点が生じる。光取り出し窓の放
電空間に対向していない表面をフッ素樹脂にすると、こ
のランプを光合成等に使用した場合に、光取り出し窓の
放電空間に対向していない表面に反応生成物が付着する
ことが少なく、従って窓の透過率が低下すること無く、
従って長寿命の放電ランプ装置が得られる。前記放電プ
ラズマを無声放電によって発生させることにより、前記
の放電は放電空間内に電極を有さないので電極と放電ガ
スとの反応がなく、上記目的はよりいっそう達成され
る。
【0005】
【発明の作用】光取り出し窓を有し、かつ、放電用ガス
を収納し、あるいは放電用ガスを流しながら放電プラズ
マを発生させるための放電容器と、前記放電プラズマを
発生させるための電源装置とからなる放電ランプ装置に
おいて、少なくとも前記放電容器の壁の少なくとも一部
分をPTFE、PFA或いはFEP等のフッ素樹脂にす
ると、放電用ガス、特に放電によって活性化されたガス
種と放電容器との反応が少なくなり、その結果放電用ガ
スの汚染が少なく、かつ光取り出し窓の劣化が少なくな
るので、長寿命の放電ランプ装置が得られる。特に、上
記放電用ガスとして少なくともハロゲン、特にフッ素ま
たは塩素を含んだガスを使用した場合には、上記フッ素
樹脂による放電用ガス、特に放電によって活性化された
ガス種と放電容器との反応防止の硬化が著しい。
を収納し、あるいは放電用ガスを流しながら放電プラズ
マを発生させるための放電容器と、前記放電プラズマを
発生させるための電源装置とからなる放電ランプ装置に
おいて、少なくとも前記放電容器の壁の少なくとも一部
分をPTFE、PFA或いはFEP等のフッ素樹脂にす
ると、放電用ガス、特に放電によって活性化されたガス
種と放電容器との反応が少なくなり、その結果放電用ガ
スの汚染が少なく、かつ光取り出し窓の劣化が少なくな
るので、長寿命の放電ランプ装置が得られる。特に、上
記放電用ガスとして少なくともハロゲン、特にフッ素ま
たは塩素を含んだガスを使用した場合には、上記フッ素
樹脂による放電用ガス、特に放電によって活性化された
ガス種と放電容器との反応防止の硬化が著しい。
【0006】光取り出し窓の放電空間に対向していない
表面をフッ素樹脂にすると、このランプを光合成や殺菌
等に使用した場合に、光取り出し窓の放電空間に対向し
ていない表面に反応生成物や被殺菌物質あるいは被殺菌
物質中の不純物が付着することが少なく、従って窓の透
過率が低下すること無く、従って長寿命の放電ランプ装
置が得られる。前記放電容器の内壁表面の一部に前記フ
ッ素樹脂の薄膜を付着すると、放電ガスの放電容器との
反応防止といった効果が得られる。前記放電プラズマを
無声放電によって発生させると、前記の放電は放電空間
内に電極を有さないので電極と放電ガスとの反応がなく
なるが、放電容器の表面に近接した部分に濃い放電プラ
ズマが存在し、放電によって活性化されたガス種と放電
容器との反応が起きやすい。そこで、前記放電プラズマ
を無声放電によって発生させた放電ランプ装置に前記フ
ッ素樹脂を適用すると、前記の放電ガスの放電容器との
反応防止といった効果が著しい。
表面をフッ素樹脂にすると、このランプを光合成や殺菌
等に使用した場合に、光取り出し窓の放電空間に対向し
ていない表面に反応生成物や被殺菌物質あるいは被殺菌
物質中の不純物が付着することが少なく、従って窓の透
過率が低下すること無く、従って長寿命の放電ランプ装
置が得られる。前記放電容器の内壁表面の一部に前記フ
ッ素樹脂の薄膜を付着すると、放電ガスの放電容器との
反応防止といった効果が得られる。前記放電プラズマを
無声放電によって発生させると、前記の放電は放電空間
内に電極を有さないので電極と放電ガスとの反応がなく
なるが、放電容器の表面に近接した部分に濃い放電プラ
ズマが存在し、放電によって活性化されたガス種と放電
容器との反応が起きやすい。そこで、前記放電プラズマ
を無声放電によって発生させた放電ランプ装置に前記フ
ッ素樹脂を適用すると、前記の放電ガスの放電容器との
反応防止といった効果が著しい。
【0007】
【実施例】本発明の第一の実施例を図1に示す。透明石
英ガラスからなる2枚の誘電体1,2をスペーサ5を介
して対向させて設け、放電空間6を形成する。誘電体
1,2間の距離は約3mmである。誘電体1,2の放電
空間に面していない表面に、金属網からなる電極3,4
を設ける。誘電体1,2の両面に、フッ素樹脂としてP
TFE7,8,9,10を厚さ0.2mmで被着させ
た。放電用ガスとしてクリプトンとフッ素の混合ガスを
50000Pa封入し、交流電源11で電極3,4に電
圧を印加して、放電空間6に無声放電を発生させた。
英ガラスからなる2枚の誘電体1,2をスペーサ5を介
して対向させて設け、放電空間6を形成する。誘電体
1,2間の距離は約3mmである。誘電体1,2の放電
空間に面していない表面に、金属網からなる電極3,4
を設ける。誘電体1,2の両面に、フッ素樹脂としてP
TFE7,8,9,10を厚さ0.2mmで被着させ
た。放電用ガスとしてクリプトンとフッ素の混合ガスを
50000Pa封入し、交流電源11で電極3,4に電
圧を印加して、放電空間6に無声放電を発生させた。
【0008】放電空間で発生した240nm〜255n
mの紫外線が、フッ素樹脂7−石英ガラス1−フッ素樹
脂9およびフッ素樹脂8−石英ガラス2−フッ素樹脂1
0を通して放射され、石英ガラスと放電用ガスであるフ
ッ素との反応も抑制されて、長寿命の放電ランプ装置が
得られた。また、上記の放電ランプを水のなかに浸して
紫外線による水の殺菌を行ったが、光取り出し窓に相当
する9,10の表面への水中の不純物の付着物の量は、
フッ素樹脂を設けない場合に比較し約50%に減少し、
良好な寿命特性が得られた。
mの紫外線が、フッ素樹脂7−石英ガラス1−フッ素樹
脂9およびフッ素樹脂8−石英ガラス2−フッ素樹脂1
0を通して放射され、石英ガラスと放電用ガスであるフ
ッ素との反応も抑制されて、長寿命の放電ランプ装置が
得られた。また、上記の放電ランプを水のなかに浸して
紫外線による水の殺菌を行ったが、光取り出し窓に相当
する9,10の表面への水中の不純物の付着物の量は、
フッ素樹脂を設けない場合に比較し約50%に減少し、
良好な寿命特性が得られた。
【0009】本発明の第二の実施例の縦断面図を図2に
示す。透明なPFAからなる円筒状の誘電体21の内部
に電極23を螺旋状に設ける。螺旋状の電極23は、電
極の役割の他にPFA円筒を機械的に補強する作用も行
う。棒状の電極24を埋め込んだPFAの棒を前記円筒
状の誘電体22の中心部に挿入し、中空円筒状の放電空
間26を形成する。放電用ガスとしてクリプトンと塩素
の混合ガスを使用し、交流電源11で電極23,24に
交流電圧を印加して、放電空間26に無声放電を発生さ
せると、光取り出し窓に相当する円筒状の誘電体21を
通して200nmから240nmの波長の放射光が放出
された。放電ランプ装置を上記のように構成することに
より、管壁と塩素との反応が抑制されて、長寿命の放電
ランプ装置が得られた。また、上記の放電ランプを水の
なかに浸して紫外線による水の殺菌を行ったが、光取り
出し窓に相当する9,10の表面への水中の不純物の付
着物の量は、フッ素樹脂を設けない場合に比較し約50
%に減少し、良好な寿命特性が得られた。
示す。透明なPFAからなる円筒状の誘電体21の内部
に電極23を螺旋状に設ける。螺旋状の電極23は、電
極の役割の他にPFA円筒を機械的に補強する作用も行
う。棒状の電極24を埋め込んだPFAの棒を前記円筒
状の誘電体22の中心部に挿入し、中空円筒状の放電空
間26を形成する。放電用ガスとしてクリプトンと塩素
の混合ガスを使用し、交流電源11で電極23,24に
交流電圧を印加して、放電空間26に無声放電を発生さ
せると、光取り出し窓に相当する円筒状の誘電体21を
通して200nmから240nmの波長の放射光が放出
された。放電ランプ装置を上記のように構成することに
より、管壁と塩素との反応が抑制されて、長寿命の放電
ランプ装置が得られた。また、上記の放電ランプを水の
なかに浸して紫外線による水の殺菌を行ったが、光取り
出し窓に相当する9,10の表面への水中の不純物の付
着物の量は、フッ素樹脂を設けない場合に比較し約50
%に減少し、良好な寿命特性が得られた。
【0010】
【0011】
【発明の効果】上記したように、本発明によれば、寿命
特性が十分で、また上記ランプを光合成などに使用した
場合、生成物質がランプの光取り出し窓に付着せず、光
出力が低下しない高性能の放電ランプ装置を提供でき
る。
特性が十分で、また上記ランプを光合成などに使用した
場合、生成物質がランプの光取り出し窓に付着せず、光
出力が低下しない高性能の放電ランプ装置を提供でき
る。
【図1】本発明の第一の実施例の放電ランプ装置の概要
を示すための縦断面図である。
を示すための縦断面図である。
【図2】本発明の第二の実施例の放電ランプ装置の概要
を示すための縦断面図である。
を示すための縦断面図である。
7,8,9,10,21,22はそれぞれフッ素樹脂 3,4,23,24はそれぞれ電極 6,26はそれぞれ放電空間
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平2−40853(JP,A) 実開 昭61−144563(JP,U) 実開 昭59−128163(JP,U) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) H01J 65/00
Claims (1)
- 【請求項1】 光取り出し窓を有し、かつ、放電用ガス
を収納し、あるいは放電用ガスを流しながら放電プラズ
マを発生させるための放電容器と、前記放電プラズマを
発生させるための電源装置とからなる誘電体バリア放電
ランプ装置において、少なくとも前記放電容器の壁の外
面に形成された電極を覆うようにフッ素樹脂が設けら
れ、または、放電容器の内壁表面の一部分にフッ素樹脂
からなる部分が形成されていることを特徴とした誘電体
バリア放電ランプ装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP35243792A JP3189447B2 (ja) | 1992-12-11 | 1992-12-11 | 放電ランプ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP35243792A JP3189447B2 (ja) | 1992-12-11 | 1992-12-11 | 放電ランプ装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH06181056A JPH06181056A (ja) | 1994-06-28 |
JP3189447B2 true JP3189447B2 (ja) | 2001-07-16 |
Family
ID=18424075
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP35243792A Expired - Fee Related JP3189447B2 (ja) | 1992-12-11 | 1992-12-11 | 放電ランプ装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3189447B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6014290B1 (ja) * | 2016-05-10 | 2016-10-25 | 三和グランド株式会社 | 舗装材および舗装用ブロック |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3491382B2 (ja) * | 1995-04-21 | 2004-01-26 | 東芝ライテック株式会社 | 蛍光ランプおよび照明器具 |
JP2000133209A (ja) * | 1998-10-27 | 2000-05-12 | Iwasaki Electric Co Ltd | 無電極電界放電エキシマランプ装置 |
CN1231881C (zh) * | 2001-12-27 | 2005-12-14 | 科学先进科技股份有限公司 | 应用于平板光源的交流等离子体装置及制造方法 |
JP2005005258A (ja) * | 2003-05-19 | 2005-01-06 | Ushio Inc | エキシマランプ発光装置 |
CN103681211B (zh) * | 2013-11-15 | 2016-08-17 | 南京康桥新港光电有限公司 | 一种柔性有机平板紫外光源及其制备方法 |
-
1992
- 1992-12-11 JP JP35243792A patent/JP3189447B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6014290B1 (ja) * | 2016-05-10 | 2016-10-25 | 三和グランド株式会社 | 舗装材および舗装用ブロック |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH06181056A (ja) | 1994-06-28 |
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