JP3189438B2 - 有機薄膜発光素子 - Google Patents
有機薄膜発光素子Info
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- 239000010409 thin film Substances 0.000 title claims description 31
- 238000002347 injection Methods 0.000 claims description 44
- 239000007924 injection Substances 0.000 claims description 44
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 18
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 9
- 239000000126 substance Substances 0.000 claims description 5
- 238000010030 laminating Methods 0.000 claims description 2
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 65
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 16
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 description 16
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 16
- 239000010408 film Substances 0.000 description 15
- XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N Zinc monoxide Chemical compound [Zn]=O XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 10
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 10
- 238000000034 method Methods 0.000 description 9
- 238000005566 electron beam evaporation Methods 0.000 description 6
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 5
- 239000011787 zinc oxide Substances 0.000 description 5
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 4
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 4
- -1 hydrazone compound Chemical class 0.000 description 4
- 239000011368 organic material Substances 0.000 description 4
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 description 4
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 3
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 3
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 3
- 238000005266 casting Methods 0.000 description 3
- 238000001017 electron-beam sputter deposition Methods 0.000 description 3
- 229910052749 magnesium Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000012044 organic layer Substances 0.000 description 3
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000004528 spin coating Methods 0.000 description 3
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 2
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 2
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 2
- FJNCXZZQNBKEJT-UHFFFAOYSA-N 8beta-hydroxymarrubiin Natural products O1C(=O)C2(C)CCCC3(C)C2C1CC(C)(O)C3(O)CCC=1C=COC=1 FJNCXZZQNBKEJT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910006404 SnO 2 Inorganic materials 0.000 description 1
- PJANXHGTPQOBST-VAWYXSNFSA-N Stilbene Natural products C=1C=CC=CC=1/C=C/C1=CC=CC=C1 PJANXHGTPQOBST-VAWYXSNFSA-N 0.000 description 1
- 239000007983 Tris buffer Substances 0.000 description 1
- HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N Zinc Chemical compound [Zn] HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FMRLDPWIRHBCCC-UHFFFAOYSA-L Zinc carbonate Chemical compound [Zn+2].[O-]C([O-])=O FMRLDPWIRHBCCC-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052791 calcium Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000015556 catabolic process Effects 0.000 description 1
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
- 239000003086 colorant Substances 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 238000006731 degradation reaction Methods 0.000 description 1
- 239000007772 electrode material Substances 0.000 description 1
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052738 indium Inorganic materials 0.000 description 1
- AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N indium;oxotin Chemical compound [In].[Sn]=O AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910010272 inorganic material Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011147 inorganic material Substances 0.000 description 1
- 230000009545 invasion Effects 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000004866 oxadiazoles Chemical class 0.000 description 1
- 239000008188 pellet Substances 0.000 description 1
- 125000002080 perylenyl group Chemical group C1(=CC=C2C=CC=C3C4=CC=CC5=CC=CC(C1=C23)=C45)* 0.000 description 1
- 238000005215 recombination Methods 0.000 description 1
- 230000006798 recombination Effects 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 1
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
- 230000002269 spontaneous effect Effects 0.000 description 1
- 235000021286 stilbenes Nutrition 0.000 description 1
- XOLBLPGZBRYERU-UHFFFAOYSA-N tin dioxide Chemical compound O=[Sn]=O XOLBLPGZBRYERU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910001887 tin oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000012780 transparent material Substances 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052725 zinc Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011701 zinc Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K59/00—Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one organic light-emitting element covered by group H10K50/00
- H10K59/30—Devices specially adapted for multicolour light emission
- H10K59/32—Stacked devices having two or more layers, each emitting at different wavelengths
Landscapes
- Electroluminescent Light Sources (AREA)
- Luminescent Compositions (AREA)
- Transforming Electric Information Into Light Information (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は各種表示装置の発光源
として用いる有機薄膜発光素子に係り、特に信頼性に優
れる有機薄膜発光素子の構造に関する。
として用いる有機薄膜発光素子に係り、特に信頼性に優
れる有機薄膜発光素子の構造に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来のブラウン管に代わるフラットディ
スプレイの需要の急増に伴い、各種表示素子の開発及び
実用化が精力的に進められている。エレクトロルミネッ
センス素子（以下ＥＬ素子とする）もこうしたニ−ズに
即するものであり、特に全固体の自発発光素子として、
他のディスプレイにはない高解像度及び高視認性により
注目を集めている。現在、実用化されているものは、発
光層にＺｎＳ／Ｍｎ系を用いた無機材料からなるＥＬ素
子である。しかるに、この種の無機ＥＬ素子は発光に必
要な駆動電圧が１００Ｖ以上と高いため駆動方法が複雑
となり製造コストが高いといった問題点がある。また、
青色発光の効率が低いため、フルカラ−化が困難であ
る。これに対して、有機材料を用いた薄膜発光素子は、
発光に必要な駆動電圧が大幅に低減でき、かつ各種発光
材料の適用によりフルカラ−化の可能性を充分に持つこ
とから、近年研究が活発化している。
スプレイの需要の急増に伴い、各種表示素子の開発及び
実用化が精力的に進められている。エレクトロルミネッ
センス素子（以下ＥＬ素子とする）もこうしたニ−ズに
即するものであり、特に全固体の自発発光素子として、
他のディスプレイにはない高解像度及び高視認性により
注目を集めている。現在、実用化されているものは、発
光層にＺｎＳ／Ｍｎ系を用いた無機材料からなるＥＬ素
子である。しかるに、この種の無機ＥＬ素子は発光に必
要な駆動電圧が１００Ｖ以上と高いため駆動方法が複雑
となり製造コストが高いといった問題点がある。また、
青色発光の効率が低いため、フルカラ−化が困難であ
る。これに対して、有機材料を用いた薄膜発光素子は、
発光に必要な駆動電圧が大幅に低減でき、かつ各種発光
材料の適用によりフルカラ−化の可能性を充分に持つこ
とから、近年研究が活発化している。
【０００３】特に、電極／正孔注入層／発光層／電極か
らなる積層型において、発光剤にトリス（８−ヒドロキ
シキノリン）アルミニウムを、正孔注入剤に１，１′−
ビス（４−Ｎ，Ｎ−ジトリアミノフェニル）シクロヘキ
サンを用いることにより、１０Ｖ以下の印加電圧で１０
００ｃｄ／ｍ2 以上の輝度が得られたという報告がなさ
れて以来開発に拍車がかけられた（Appl.Phys.Lett. 5
1,913,(1987))。
らなる積層型において、発光剤にトリス（８−ヒドロキ
シキノリン）アルミニウムを、正孔注入剤に１，１′−
ビス（４−Ｎ，Ｎ−ジトリアミノフェニル）シクロヘキ
サンを用いることにより、１０Ｖ以下の印加電圧で１０
００ｃｄ／ｍ2 以上の輝度が得られたという報告がなさ
れて以来開発に拍車がかけられた（Appl.Phys.Lett. 5
1,913,(1987))。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】この様に、有機材料を
用いた薄膜発光素子は低電圧駆動やフルカラ−化の可能
性等を強く示唆しているものの、性能面で解決しなけれ
ばならない課題が多く残されている。特に約１万時間の
長時間駆動に伴う特性劣化の問題は乗り越えなければな
らない課題である。また、フルカラー化におけるＲＧＢ
三原色の発光を可能にする発光材料の開発、また有機層
の膜厚が１μｍ以下であるために、成膜性が良好でピン
ホール等の電気的欠陥がなく、電子，正孔の輸送能力に
優れた有機材料の開発、有機層への電荷の注入性に優れ
る電極材料の選択等がある。
用いた薄膜発光素子は低電圧駆動やフルカラ−化の可能
性等を強く示唆しているものの、性能面で解決しなけれ
ばならない課題が多く残されている。特に約１万時間の
長時間駆動に伴う特性劣化の問題は乗り越えなければな
らない課題である。また、フルカラー化におけるＲＧＢ
三原色の発光を可能にする発光材料の開発、また有機層
の膜厚が１μｍ以下であるために、成膜性が良好でピン
ホール等の電気的欠陥がなく、電子，正孔の輸送能力に
優れた有機材料の開発、有機層への電荷の注入性に優れ
る電極材料の選択等がある。
【０００５】さらには量産性の観点から大量製造が可能
で安価な有機材料の開発や素子形成方法の改良等も重要
な課題である。現在劣化機構の解明を中心に研究が進め
られ、連続駆動時の雰囲気依存性の検討から大気中の水
分により上部電極と有機膜界面の剥離が発生し、これが
劣化原因となる等の推測や、駆動時の電流密度の低減に
より劣化速度が低減し、寿命の向上に繋がるといった知
見が得られつつある。
で安価な有機材料の開発や素子形成方法の改良等も重要
な課題である。現在劣化機構の解明を中心に研究が進め
られ、連続駆動時の雰囲気依存性の検討から大気中の水
分により上部電極と有機膜界面の剥離が発生し、これが
劣化原因となる等の推測や、駆動時の電流密度の低減に
より劣化速度が低減し、寿命の向上に繋がるといった知
見が得られつつある。
【０００６】この発明は上述の点に鑑みてなされその目
的は、大気中の水分の影響を受けにくい上に電流密度を
低減することが可能な素子構造を開発することにより信
頼性に優れる有機薄膜発光素子を提供することにある。
的は、大気中の水分の影響を受けにくい上に電流密度を
低減することが可能な素子構造を開発することにより信
頼性に優れる有機薄膜発光素子を提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上述の目的はこの発明に
よれば、絶縁性透明基板と、電極と、電荷注入層／発光
層の結合体とを有し、前記結合体は電極を介して絶縁性
透明基板上に多段に積層され、電極は正極と負極とが結
合体を介して交互に配置されるとともに同一極性の電極
は絶縁性透明基板上で相互に電気的に接続され、前記結
合体はその積層に際し、後段の結合体が前段の結合体を
全体的に被覆してなるとすることにより達成される。
よれば、絶縁性透明基板と、電極と、電荷注入層／発光
層の結合体とを有し、前記結合体は電極を介して絶縁性
透明基板上に多段に積層され、電極は正極と負極とが結
合体を介して交互に配置されるとともに同一極性の電極
は絶縁性透明基板上で相互に電気的に接続され、前記結
合体はその積層に際し、後段の結合体が前段の結合体を
全体的に被覆してなるとすることにより達成される。
【０００８】
【作用】電荷注入層／発光層の結合体が多段に積層され
ているので各段の輝度を低くし且つ各段の結合体の輝度
を積分して全体の輝度を高めることができる。従って各
段の結合体に印加される電圧を低くし各段の電流密度を
下げて駆動することが可能となる。
ているので各段の輝度を低くし且つ各段の結合体の輝度
を積分して全体の輝度を高めることができる。従って各
段の結合体に印加される電圧を低くし各段の電流密度を
下げて駆動することが可能となる。
【０００９】また前段の結合体は後段の結合体により全
体的に被覆されるので前段の結合体には大気中より水分
が拡散せず電極の剥離による素子劣化を防ぐことができ
る。
体的に被覆されるので前段の結合体には大気中より水分
が拡散せず電極の剥離による素子劣化を防ぐことができ
る。
【００１０】
【実施例】図１はこの発明の実施例に係る有機薄膜発光
素子を示す断面図である。図２はこの発明の異なる実施
例に係る有機薄膜発光素子を示す断面図である。図３は
この発明のさらに異なる実施例に係る有機薄膜発光素子
を示す断面図である。
素子を示す断面図である。図２はこの発明の異なる実施
例に係る有機薄膜発光素子を示す断面図である。図３は
この発明のさらに異なる実施例に係る有機薄膜発光素子
を示す断面図である。
【００１１】図４はこの発明のさらに異なる実施例に係
る有機薄膜発光素子を示す断面図である。１１，２１，
３１，４１は絶縁性透明基板、１２，１８，２５，３
６，４６，５２は正極、１３，１７，２４，２６，３
５，３７，４４，４７，５１は正孔注入層、１４，１
６，２３，２７，３４，３８，４３，４８，５０は発光
層、１５，２２，２８，３２，４２，４９，３００は負
極、３３，３９は電子注入層、１９，２９，３０１，４
５は直流電源である。
る有機薄膜発光素子を示す断面図である。１１，２１，
３１，４１は絶縁性透明基板、１２，１８，２５，３
６，４６，５２は正極、１３，１７，２４，２６，３
５，３７，４４，４７，５１は正孔注入層、１４，１
６，２３，２７，３４，３８，４３，４８，５０は発光
層、１５，２２，２８，３２，４２，４９，３００は負
極、３３，３９は電子注入層、１９，２９，３０１，４
５は直流電源である。
【００１２】絶縁性透明基板は素子の支持体であるガラ
ス，樹脂等を用いる。発光面となるときは透明な材料を
用いる。正極は金，ニッケル等の半透膜やインジウムス
ズ酸化物（ＩＴＯ），酸化スズ（ＳｎＯ2 ）等の透明導
電膜からなり抵抗加熱蒸着、電子ビ−ム蒸着、スパッタ
法により形成する。該正極は、透明性を持たせるため
に、１００〜３０００Åの厚さにすることが望ましい。
ス，樹脂等を用いる。発光面となるときは透明な材料を
用いる。正極は金，ニッケル等の半透膜やインジウムス
ズ酸化物（ＩＴＯ），酸化スズ（ＳｎＯ2 ）等の透明導
電膜からなり抵抗加熱蒸着、電子ビ−ム蒸着、スパッタ
法により形成する。該正極は、透明性を持たせるため
に、１００〜３０００Åの厚さにすることが望ましい。
【００１３】正孔注入層は正孔を効率良く輸送し、且つ
注入することが必要で発光した光の発光極大領域におい
てできるだけ透明であることが望ましい。成膜方法とし
てスピンコ−ト、キャスティング、ＬＢ法、抵抗加熱蒸
着、電子ビ−ム蒸着等があるが抵抗加熱蒸着が一般的で
ある。膜厚は１００ないし２０００Åであり、好適には
２００ないし８００Åである。正孔注入物質としてはヒ
ドラゾン化合物，ピラゾリン化合物，スチルベン化合
物，アミン系化合物などが用いられる。代表的な正孔注
入物質が以下に示される。
注入することが必要で発光した光の発光極大領域におい
てできるだけ透明であることが望ましい。成膜方法とし
てスピンコ−ト、キャスティング、ＬＢ法、抵抗加熱蒸
着、電子ビ−ム蒸着等があるが抵抗加熱蒸着が一般的で
ある。膜厚は１００ないし２０００Åであり、好適には
２００ないし８００Åである。正孔注入物質としてはヒ
ドラゾン化合物，ピラゾリン化合物，スチルベン化合
物，アミン系化合物などが用いられる。代表的な正孔注
入物質が以下に示される。
【００１４】
【化１】
【００１５】発光層は正孔注入層または正極から注入さ
れた正孔と、負極または電子注入層より注入された電子
の再結合により効率良く発光を行う。成膜方法はスピン
コ−ト、キャスティング、ＬＢ法、抵抗加熱蒸着、電子
ビ−ム蒸着等があるが抵抗加熱蒸着が一般的である。膜
厚は１００ないし２０００Åであるが好適には２００な
いし８００Åである。代表的な発光物質が以下に示され
る。
れた正孔と、負極または電子注入層より注入された電子
の再結合により効率良く発光を行う。成膜方法はスピン
コ−ト、キャスティング、ＬＢ法、抵抗加熱蒸着、電子
ビ−ム蒸着等があるが抵抗加熱蒸着が一般的である。膜
厚は１００ないし２０００Åであるが好適には２００な
いし８００Åである。代表的な発光物質が以下に示され
る。
【００１６】
【化２】
【００１７】電子注入層は電子を効率良く発光層に注入
することが望ましい。成膜方法はスピンコ−ト、キャス
ティング、ＬＢ法、抵抗加熱蒸着、電子ビ−ム蒸着等が
あるが抵抗加熱蒸着が一般的である。膜厚は１００ない
し２０００Åであるが好適には２００ないし８００Åで
ある。電子注入物質としてはオキサジアゾール誘導体，
ペリレン誘導体などが用いられる。以下に代表的な電子
注入物質が示される。
することが望ましい。成膜方法はスピンコ−ト、キャス
ティング、ＬＢ法、抵抗加熱蒸着、電子ビ−ム蒸着等が
あるが抵抗加熱蒸着が一般的である。膜厚は１００ない
し２０００Åであるが好適には２００ないし８００Åで
ある。電子注入物質としてはオキサジアゾール誘導体，
ペリレン誘導体などが用いられる。以下に代表的な電子
注入物質が示される。
【００１８】
【化３】
【００１９】負極は電子を効率良く有機層に注入するこ
とが必要である。成膜方法としては抵抗加熱蒸着，電子
ビーム蒸着，スパッタ法が用いられる。負極用材料とし
ては仕事関数の小さいＭｇ，Ａｇ，Ｉｎ，Ｃａ，Ａｌ等
およびこれらの合金，積層体，Ａｌを添加した酸化亜鉛
等が用いられる。Ａｌを添加した酸化亜鉛は電子ビーム
蒸着，スパッタ法によりＡｌ添加量０．５ないし３％の
範囲とし基板温度２００℃以下、好適には１００℃以下
で成膜することが好ましい。厚さは１００ないし２００
０Å厚さに形成する。Ａｌ等の半透膜は抵抗加熱蒸着法
で３００ないし８００Å厚さに形成する。 実施例１ 図１はこの発明の実施例に係る有機薄膜発光素子を示す
断面図である。膜厚約１０００ÅのＩＴＯである正極１
２を設けたガラス基板１１を抵抗加熱蒸着装置内に載置
し、正孔注入層１３、発光層１４と順次成膜した。成膜
に際して、真空槽内圧は８×１０-4Ｐａとした。正孔注
入層１３には前記化学式（５−１）に示される化合物を
用いボート温度２００℃、成膜速度２Å／ｓにて５００
Å厚さに形成した。続けて発光層１４として前記化学式
（６−１）に示される化合物を用いボ−ト温度約２００
℃にて加熱し、成膜速度を約２Å／ｓとして６００Å厚
さに形成した。
とが必要である。成膜方法としては抵抗加熱蒸着，電子
ビーム蒸着，スパッタ法が用いられる。負極用材料とし
ては仕事関数の小さいＭｇ，Ａｇ，Ｉｎ，Ｃａ，Ａｌ等
およびこれらの合金，積層体，Ａｌを添加した酸化亜鉛
等が用いられる。Ａｌを添加した酸化亜鉛は電子ビーム
蒸着，スパッタ法によりＡｌ添加量０．５ないし３％の
範囲とし基板温度２００℃以下、好適には１００℃以下
で成膜することが好ましい。厚さは１００ないし２００
０Å厚さに形成する。Ａｌ等の半透膜は抵抗加熱蒸着法
で３００ないし８００Å厚さに形成する。 実施例１ 図１はこの発明の実施例に係る有機薄膜発光素子を示す
断面図である。膜厚約１０００ÅのＩＴＯである正極１
２を設けたガラス基板１１を抵抗加熱蒸着装置内に載置
し、正孔注入層１３、発光層１４と順次成膜した。成膜
に際して、真空槽内圧は８×１０-4Ｐａとした。正孔注
入層１３には前記化学式（５−１）に示される化合物を
用いボート温度２００℃、成膜速度２Å／ｓにて５００
Å厚さに形成した。続けて発光層１４として前記化学式
（６−１）に示される化合物を用いボ−ト温度約２００
℃にて加熱し、成膜速度を約２Å／ｓとして６００Å厚
さに形成した。
【００２０】この後、基板１１を真空槽から取り出し、
スパッタ装置内に載置し、亜鉛ペレット上にＡｌワイヤ
を載せた試料をターゲットとしてＡｒ：Ｏ2 ＝１：１の
混合ガスを流しながらスパッタし、Ａｌ添加酸化亜鉛か
らなる透明な負極１５を１０００Å厚さに形成した。こ
のＡｌ添加酸化亜鉛透明負極１５の可視光線透過率は約
８５％である。次に試料をスパッタ装置から取り出し、
再度抵抗加熱蒸着装置内に載置し、前記発光層１４、正
孔注入層１３と同一の材料を用いて、同一の条件下で発
光層１６、正孔注入層１７の順に５００Åの厚さに形成
した。最後に正極１８としてＡｇを１０００Åの厚さに
形成した。 比較例１ 上記実施例において発光層１６、正孔注入層１７、正極
１８を形成しない他は実施例１と同様にして有機薄膜発
光素子を形成した。
スパッタ装置内に載置し、亜鉛ペレット上にＡｌワイヤ
を載せた試料をターゲットとしてＡｒ：Ｏ2 ＝１：１の
混合ガスを流しながらスパッタし、Ａｌ添加酸化亜鉛か
らなる透明な負極１５を１０００Å厚さに形成した。こ
のＡｌ添加酸化亜鉛透明負極１５の可視光線透過率は約
８５％である。次に試料をスパッタ装置から取り出し、
再度抵抗加熱蒸着装置内に載置し、前記発光層１４、正
孔注入層１３と同一の材料を用いて、同一の条件下で発
光層１６、正孔注入層１７の順に５００Åの厚さに形成
した。最後に正極１８としてＡｇを１０００Åの厚さに
形成した。 比較例１ 上記実施例において発光層１６、正孔注入層１７、正極
１８を形成しない他は実施例１と同様にして有機薄膜発
光素子を形成した。
【００２１】実施例１と比較例１の両者とも直流電圧を
印加したところ緑色（中心波長：５５０ｎｍ）の均一な
発光が得られた。輝度１００ｃｄ／ｍ2 における電圧、
電流密度、発光効率、輝度半減時間を表１に示す。
印加したところ緑色（中心波長：５５０ｎｍ）の均一な
発光が得られた。輝度１００ｃｄ／ｍ2 における電圧、
電流密度、発光効率、輝度半減時間を表１に示す。
【００２２】
【表１】 本実施例においては正孔注入層と発光層からなる結合体
が二段積層されているために、単一の結合体が負担する
輝度は低くてすみ、そのために単一の結合体が必要とす
る電流密度の低減することができ、有機薄膜発光素子全
体として寿命が向上する。さらに二段目の結合体は一段
目の結合体を全体的に被覆するので一段目の結合体への
水分の侵入が阻止され、有機薄膜発光素子の信頼性が向
上する。
が二段積層されているために、単一の結合体が負担する
輝度は低くてすみ、そのために単一の結合体が必要とす
る電流密度の低減することができ、有機薄膜発光素子全
体として寿命が向上する。さらに二段目の結合体は一段
目の結合体を全体的に被覆するので一段目の結合体への
水分の侵入が阻止され、有機薄膜発光素子の信頼性が向
上する。
【００２３】また素子に係る電圧は比較例の一段素子に
比し低減できるから、発光効率においても同等か、若干
の向上がみられる。 実施例２ 図２はこの発明の異なる実施例に係る有機薄膜発光素子
を示す断面図である。ガラス基板２１上にＡｌ添加酸化
亜鉛からなる透明な負極２２を膜厚約１０００Åの厚さ
に設けた。次に発光層２３と正孔注入層２４を順次成膜
した。発光層２３と、正孔注入層２４は実施例１と同一
の条件で作成した。
比し低減できるから、発光効率においても同等か、若干
の向上がみられる。 実施例２ 図２はこの発明の異なる実施例に係る有機薄膜発光素子
を示す断面図である。ガラス基板２１上にＡｌ添加酸化
亜鉛からなる透明な負極２２を膜厚約１０００Åの厚さ
に設けた。次に発光層２３と正孔注入層２４を順次成膜
した。発光層２３と、正孔注入層２４は実施例１と同一
の条件で作成した。
【００２４】正極２５はＡｕを用い、同じ抵抗加熱蒸着
装置を用い７００Å厚さに形成した。この正極の光透過
率は約７０％である。引き続いて正孔注入層２６と発光
層２７を前記と同様にして順次作成した。最後に負極２
８をＭｇとＡｇの合金（Ｍｇ／Ａｇ＝１０：１）を用い
て１０００Å厚さに抵抗加熱蒸着法により形成した。 比較例２ 上記実施例において正孔注入層２６、発光層２７、負極
２８を形成しない他は実施例２と同様にして有機薄膜発
光素子を形成した。
装置を用い７００Å厚さに形成した。この正極の光透過
率は約７０％である。引き続いて正孔注入層２６と発光
層２７を前記と同様にして順次作成した。最後に負極２
８をＭｇとＡｇの合金（Ｍｇ／Ａｇ＝１０：１）を用い
て１０００Å厚さに抵抗加熱蒸着法により形成した。 比較例２ 上記実施例において正孔注入層２６、発光層２７、負極
２８を形成しない他は実施例２と同様にして有機薄膜発
光素子を形成した。
【００２５】実施例２と比較例２の両者とも直流電圧を
印加したところ緑色（中心波長：５５０ｎｍ）の均一な
発光が得られた。輝度１００ｃｄ／ｍ2 における電圧、
電流密度、発光効率、輝度半減時間を表２に示す。
印加したところ緑色（中心波長：５５０ｎｍ）の均一な
発光が得られた。輝度１００ｃｄ／ｍ2 における電圧、
電流密度、発光効率、輝度半減時間を表２に示す。
【００２６】
【表２】 実施例３ 図３はこの発明のさらに異なる実施例に係る有機薄膜発
光素子を示す断面図である。ガラス基板３１上にＡｌ添
加酸化亜鉛からなる透明な負極３２を膜厚約１０００Å
の厚さに設けた。次に電子注入層３３、発光層３４、正
孔注入層３５を順次成膜した。電子注入層は前記化学式
（７−２）を用いボート温度約３００℃で加熱し、成膜
速度２Å／ｓとして４００Å厚さに形成した。発光層３
４と、正孔注入層３５は実施例１と同一の条件で作成し
た。
光素子を示す断面図である。ガラス基板３１上にＡｌ添
加酸化亜鉛からなる透明な負極３２を膜厚約１０００Å
の厚さに設けた。次に電子注入層３３、発光層３４、正
孔注入層３５を順次成膜した。電子注入層は前記化学式
（７−２）を用いボート温度約３００℃で加熱し、成膜
速度２Å／ｓとして４００Å厚さに形成した。発光層３
４と、正孔注入層３５は実施例１と同一の条件で作成し
た。
【００２７】正極３６はＡｕを用い、同じ抵抗加熱蒸着
装置を用い７００Å厚さに形成した。この正極の光透過
率は約７０％である。引き続いて正孔注入層３７と発光
層３８と電子注入層３９を前記と同様にして順次作成し
た。 最後に負極３００をＭｇとＡｇの合金（Ｍｇ／Ａ
ｇ＝１０：１）を用いて１０００Å厚さに抵抗加熱蒸着
法により形成した。 比較例３ 上記実施例３において正孔注入層３７、発光層３８、負
極３００を形成しない他は実施例３と同様にして有機薄
膜発光素子を形成した。
装置を用い７００Å厚さに形成した。この正極の光透過
率は約７０％である。引き続いて正孔注入層３７と発光
層３８と電子注入層３９を前記と同様にして順次作成し
た。 最後に負極３００をＭｇとＡｇの合金（Ｍｇ／Ａ
ｇ＝１０：１）を用いて１０００Å厚さに抵抗加熱蒸着
法により形成した。 比較例３ 上記実施例３において正孔注入層３７、発光層３８、負
極３００を形成しない他は実施例３と同様にして有機薄
膜発光素子を形成した。
【００２８】実施例３と比較例３の両者とも直流電圧を
印加したところ緑色（中心波長：５５０ｎｍ）の均一な
発光が得られた。輝度１００ｃｄ／ｍ2 における電圧、
電流密度、発光効率、輝度半減時間を表３に示す。
印加したところ緑色（中心波長：５５０ｎｍ）の均一な
発光が得られた。輝度１００ｃｄ／ｍ2 における電圧、
電流密度、発光効率、輝度半減時間を表３に示す。
【００２９】
【表３】 実施例４ 図４はこの発明のさらに異なる実施例に係る有機薄膜発
光素子を示す断面図である。ガラス基板４１上にＡｌ添
加酸化亜鉛からなる透明な負極４２を膜厚約１０００Å
の厚さに設けた。次に発光層４３と正孔注入層４４を順
次成膜した。発光層４３と、正孔注入層４４は実施例１
と同一の条件で作成した。
光素子を示す断面図である。ガラス基板４１上にＡｌ添
加酸化亜鉛からなる透明な負極４２を膜厚約１０００Å
の厚さに設けた。次に発光層４３と正孔注入層４４を順
次成膜した。発光層４３と、正孔注入層４４は実施例１
と同一の条件で作成した。
【００３０】正極４６はＡｕを用い、同じ抵抗加熱蒸着
装置を用い７００Å厚さに形成した。この正極の光透過
率は約７０％である。引き続いて正孔注入層４７、発光
層４８、負極４９、発光層５０、正孔注入層５１を前記
と同様にして作成した。正極５２はＡｇを１０００Å形
成した。本素子は正孔注入層と発光層の結合体が三組積
層されている。 比較例４ 前記比較例２と同一である。
装置を用い７００Å厚さに形成した。この正極の光透過
率は約７０％である。引き続いて正孔注入層４７、発光
層４８、負極４９、発光層５０、正孔注入層５１を前記
と同様にして作成した。正極５２はＡｇを１０００Å形
成した。本素子は正孔注入層と発光層の結合体が三組積
層されている。 比較例４ 前記比較例２と同一である。
【００３１】実施例４と比較例４の両者とも直流電圧を
印加したところ緑色（中心波長：５５０ｎｍ）の均一な
発光が得られた。輝度１００ｃｄ／ｍ2 における電圧、
電流密度、発光効率、輝度半減時間を表４に示す。
印加したところ緑色（中心波長：５５０ｎｍ）の均一な
発光が得られた。輝度１００ｃｄ／ｍ2 における電圧、
電流密度、発光効率、輝度半減時間を表４に示す。
【００３２】
【表４】
【００３３】
【発明の効果】この発明によれば絶縁性透明基板と、電
極と、電荷注入層／発光層の結合体とを有し、前記結合
体は電極を介して絶縁性透明基板上に多段に積層され、
電極は正極と負極とが結合体を介して交互に配置される
とともに同一極性の電極は絶縁性透明基板上で相互に電
気的に接続され、前記結合体はその積層に際し、後段の
結合体が前段の結合体を全体的に被覆してなるので、電
荷注入層／発光層の結合体各段の輝度を低くし且つ各段
の結合体の輝度を積分して素子全体の輝度を高めること
ができる。従って各段の結合体に印加される電圧を低く
し各段の電流密度を下げて駆動することができ信頼性に
優れる有機薄膜発光素子が得られる。
極と、電荷注入層／発光層の結合体とを有し、前記結合
体は電極を介して絶縁性透明基板上に多段に積層され、
電極は正極と負極とが結合体を介して交互に配置される
とともに同一極性の電極は絶縁性透明基板上で相互に電
気的に接続され、前記結合体はその積層に際し、後段の
結合体が前段の結合体を全体的に被覆してなるので、電
荷注入層／発光層の結合体各段の輝度を低くし且つ各段
の結合体の輝度を積分して素子全体の輝度を高めること
ができる。従って各段の結合体に印加される電圧を低く
し各段の電流密度を下げて駆動することができ信頼性に
優れる有機薄膜発光素子が得られる。
【００３４】また有機薄膜発光素子の結合体積層におい
て前段にある結合体は後段の結合体により全体的に被覆
されるので前段の結合体には大気中より水分が拡散せず
電極の剥離による素子劣化を防ぐことができ信頼性に優
れる有機薄膜発光素子が得られる。
て前段にある結合体は後段の結合体により全体的に被覆
されるので前段の結合体には大気中より水分が拡散せず
電極の剥離による素子劣化を防ぐことができ信頼性に優
れる有機薄膜発光素子が得られる。
【図１】この発明の実施例に係る有機薄膜発光素子を示
す断面図
す断面図
【図２】この発明の異なる実施例に係る有機薄膜発光素
子を示す断面図
子を示す断面図
【図３】この発明のさらに異なる実施例に係る有機薄膜
発光素子を示す断面図
発光素子を示す断面図
【図４】この発明のさらに異なる実施例に係る有機薄膜
発光素子を示す断面図
発光素子を示す断面図
【符号の説明】 １１，２１，３１，４１ 絶縁性透明基板 １２，１８，２５，３６，４６，５２ 正極 １３，１７，２４，２６，３５，３７，４４，４７，５
１ 正孔注入層 １４，１６，２３，２７，３４，３８，４３，４８，５
０ 発光層 １５，２２，２８，３２，４２，４９，３００ 負極 ３３，３９ 電子注入層 １９，２９，３０１，４５ 直流電源
１ 正孔注入層 １４，１６，２３，２７，３４，３８，４３，４８，５
０ 発光層 １５，２２，２８，３２，４２，４９，３００ 負極 ３３，３９ 電子注入層 １９，２９，３０１，４５ 直流電源
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) H05B 33/00 - 33/28
Claims (5)
- 【請求項１】絶縁性透明基板と、電極と、電荷注入層／
発光層の結合体とを有し、 前記結合体は電極を介して絶縁性透明基板上に多段に積
層され、 電極は正極と負極とが結合体を介して交互に配置される
とともに同一極性の電極は絶縁性透明基板上で相互に電
気的に接続され、 前記結合体はその積層に際し、後段の結合体が前段の結
合体を全体的に被覆してなることを特徴とする有機薄膜
発光素子。 - 【請求項２】請求項１記載の有機薄膜発光素子におい
て、電荷注入層／発光層の結合体は正孔注入層と発光層
であることを特徴とする有機薄膜発光素子。 - 【請求項３】請求項１記載の有機薄膜発光素子におい
て、電荷注入層／発光層の結合体は正孔注入層と電子注
入層と前二者に挟まれた発光層であることを特徴とする
有機薄膜発光素子。 - 【請求項４】請求項１記載の有機薄膜発光素子におい
て、各発光層は同一の発光物質からなることを特徴とす
る有機薄膜発光素子。 - 【請求項５】請求項１記載の有機薄膜発光素子におい
て、各電荷注入層は同一の電荷注入物質からなることを
特徴とする有機薄膜発光素子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32452092A JP3189438B2 (ja) | 1992-12-04 | 1992-12-04 | 有機薄膜発光素子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32452092A JP3189438B2 (ja) | 1992-12-04 | 1992-12-04 | 有機薄膜発光素子 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06176870A JPH06176870A (ja) | 1994-06-24 |
| JP3189438B2 true JP3189438B2 (ja) | 2001-07-16 |
Family
ID=18166721
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP32452092A Expired - Lifetime JP3189438B2 (ja) | 1992-12-04 | 1992-12-04 | 有機薄膜発光素子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3189438B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004327248A (ja) * | 2003-04-24 | 2004-11-18 | Fuji Electric Holdings Co Ltd | 有機ｅｌ発光素子 |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3492153B2 (ja) * | 1997-06-25 | 2004-02-03 | キヤノン株式会社 | エレクトロ・ルミネセンス素子及び装置、並びにその製造法 |
| JP2002373792A (ja) * | 2001-06-15 | 2002-12-26 | Canon Inc | 有機エレクトロルミネッセンス素子及びその制御方法及びその制御システム及びその素子を用いたディスプレイ及びその素子を用いた感光体露光用光源を有する電子写真式の画像形成装置 |
| SG176316A1 (en) | 2001-12-05 | 2011-12-29 | Semiconductor Energy Lab | Organic semiconductor element |
| EP1367659B1 (en) | 2002-05-21 | 2012-09-05 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Organic field effect transistor |
| JP2004087175A (ja) * | 2002-08-23 | 2004-03-18 | Rohm Co Ltd | 有機エレクトロルミネセンスディスプレイ素子及び情報端末 |
| US6936964B2 (en) * | 2002-09-30 | 2005-08-30 | Eastman Kodak Company | OLED lamp |
| KR101156971B1 (ko) | 2003-01-29 | 2012-06-20 | 가부시키가이샤 한도오따이 에네루기 켄큐쇼 | 발광장치 |
| CN1778147A (zh) | 2003-04-24 | 2006-05-24 | 出光兴产株式会社 | 有机电致发光元件以及显示装置 |
| JP3755521B2 (ja) * | 2003-06-13 | 2006-03-15 | セイコーエプソン株式会社 | 有機ｅｌ装置とその駆動方法、照明装置、及び電子機器 |
| KR100552968B1 (ko) * | 2003-09-23 | 2006-02-15 | 삼성에스디아이 주식회사 | 액티브 매트릭스 유기전계 발광표시장치 |
| US7728517B2 (en) * | 2005-05-20 | 2010-06-01 | Lg Display Co., Ltd. | Intermediate electrodes for stacked OLEDs |
| KR101362614B1 (ko) | 2006-05-11 | 2014-02-12 | 이데미쓰 고산 가부시키가이샤 | 유기 전계발광 소자 |
| KR101384046B1 (ko) | 2006-05-11 | 2014-04-09 | 이데미쓰 고산 가부시키가이샤 | 유기 전계발광 소자 |
| CN107915731A (zh) * | 2017-11-14 | 2018-04-17 | 长春海谱润斯科技有限公司 | 一种稠环衍生物及其合成方法和有机发光器件 |
-
1992
- 1992-12-04 JP JP32452092A patent/JP3189438B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004327248A (ja) * | 2003-04-24 | 2004-11-18 | Fuji Electric Holdings Co Ltd | 有機ｅｌ発光素子 |
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