JP3185342B2 - Figure pattern data processing method - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【０００１】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は電子計算機を利用した図
形パターンデータの処理方法に関わり、特に半導体集積
回路のレイアウトパターンデータ等を自動的に処理する
電子回路自動設計方法に適用して有効な技術である関す
る。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method of processing graphic pattern data using an electronic computer, and more particularly to an electronic circuit automatic design method for automatically processing layout pattern data of a semiconductor integrated circuit. Related to technology.

【０００２】[0002]

【従来の技術】従来、半導体集積回路のパターンデータ
は逐次処理型の汎用計算機で一括して図形演算処理され
ていた。なお、図形演算とは、論理演算、サイジング演
算、寸法検証演算、パターン面積検証演算、パターン周
辺長検証演算、接続検証演算、位相検証演算、台形分割
演算、およびその類似の演算子の総称と約束する。これ
らの演算子の仕様については例えば、プロシーディング
・オブ・インターグラフィックス’８３のテクニカル・
セッションＢ３ー４の１１ページに記載されている。2. Description of the Related Art Heretofore, pattern data of a semiconductor integrated circuit has been collectively subjected to graphic operation processing by a general-purpose computer of a sequential processing type. The figure operation is a general term and promise of logical operation, sizing operation, dimension verification operation, pattern area verification operation, pattern peripheral length verification operation, connection verification operation, phase verification operation, trapezoidal division operation, and similar operators. I do. For the specifications of these operators, see, for example, the technical
It is described on page 11 of session B3-4.

【０００３】しかし、近年の半導体集積回路の飛躍的な
規模増大により処理時間が年々増加し問題となってい
る。これに対し近年、パターン平面を複数の部分領域に
分割して各領域ごとにパターンを処理して結果を合併す
ることにより所望の結果を合成することが行われてい
る。このような方法は一般に、分割統治法と呼ばれてい
る。[0003] However, the processing time has been increasing year by year due to the dramatic increase in the scale of semiconductor integrated circuits in recent years, causing a problem. On the other hand, in recent years, a desired result has been synthesized by dividing a pattern plane into a plurality of partial regions, processing the pattern for each region, and merging the results. Such a method is generally called a divide-and-conquer method.

【０００４】分割統治法は処理を高速化する上で以下の
３つの効果がある。まず、処理の計算量のオーダが処理
データ量に対し比例よりも大きい場合、分割処理の処理
時間の総和は一括処理の場合よりも短くなることが期待
できる。また、一度に処理すべきデータ量が小さくなる
ので、大容量であるが低速な記憶装置（例えば磁気ディ
スク）でなくても、高速であるが容量の小さい記憶装置
（例えば半導体記憶装置）を用いてデ−タ処理を行なえ
るので、データアクセスを高速化できる。さらに、各分
割データを別の処理装置に割り当てて並列に処理を実行
でき、１つの分割領域の処理時間で全体の処理を行え
る。The divide-and-conquer method has the following three effects in increasing the processing speed. First, when the order of the calculation amount of the processing is larger than the proportion to the processing data amount, it can be expected that the total processing time of the division processing becomes shorter than that of the batch processing. Further, since the amount of data to be processed at a time is reduced, a high-speed but small-capacity storage device (for example, a semiconductor storage device) may be used instead of a large-capacity but low-speed storage device (for example, a magnetic disk). Data processing can be performed, thereby speeding up data access. Furthermore, each divided data can be assigned to another processing device and executed in parallel, and the entire processing can be performed in the processing time of one divided area.

【０００５】分割統治法では分割境界に関する補正処理
（以下、境界処理と呼ぶ）が重要となる。例えば、レイ
アウト規則検証処理のように、注目図形から設計規則パ
ラメタを適用する近傍領域を抽出する必要のある図形演
算では、領域境界近傍において処理が正確に行われない
ため、これを補正する必要がある。また論理演算では、
連結した１個の図形には同一の図形番号が付されなけれ
ばならないが、複数部分領域にまたがる図形について
は、単に論理演算を各分割領域ごとに行なうだけでは、
領域ごとに別の図形番号が付されてしまうため、これも
補正が必要である。In the divide-and-conquer method, a correction process regarding a division boundary (hereinafter, referred to as a boundary process) is important. For example, in a graphic operation such as a layout rule verification process that needs to extract a neighboring region to which a design rule parameter is applied from a target graphic, the process is not performed accurately near a region boundary, so it is necessary to correct this. is there. In the logical operation,
The same figure number must be assigned to one connected figure, but for a figure that extends over a plurality of partial areas, simply performing a logical operation for each divided area requires
Since a different graphic number is assigned to each area, this also needs to be corrected.

【０００６】このような境界処理に関し、例えば特開平
２ー１２５３６９では、通常の分割領域の他に境界近傍
領域をまとめて一つの領域として別個に処理を行うこと
により境界近傍のレイアウト規則検証を正確に行う方
法、および、分割時に領域境界で切断された図形に関し
て接続情報を別途保存しておき、これと分割データの処
理結果から全領域での図形の接続情報を合成する方法が
述べられている。[0006] Regarding such boundary processing, for example, in Japanese Patent Laid-Open No. 125369/1990, the layout rule verification near the boundary is accurately performed by collectively processing the areas near the boundary in addition to the normal divided area as one area. And a method of separately storing connection information regarding a figure cut at an area boundary at the time of division, and combining the connection information of the figure in the entire area from the processing result of the divided data and the divided data. .

【０００７】[0007]

【発明が解決しようとする課題】分割統治法による従来
のパターンデータ処理方法では、１個の図形演算子の高
速化に焦点を当てた境界処理方法をとっており、複数の
図形演算子からなる図形演算シークエンスを処理すると
いう視点が欠落していた。The conventional pattern data processing method based on the divide-and-conquer method employs a boundary processing method that focuses on speeding up one graphic operator, and includes a plurality of graphic operators. The point of view of processing graphic operation sequences was missing.

【０００８】先に述べた従来技術では、境界近傍図形や
接続情報という境界処理に必要な情報（以下、境界情報
と呼ぶ）をデータ分割時に参照しているため、複数の図
形演算子間でデータを受け渡すためには、受渡しデータ
に関する境界情報を生成し、これを参照する必要があ
る。また、図形演算子の種類によって分割データの保有
形式が異なるため、異種の図形演算子間でデータの受渡
すには分割データの保有形式の変換が必要である。従来
技術によって上記の処理を行うためには、受渡しデータ
を一度マージした後再分割する必要がある。例えば、デ
ータに論理演算を施した後でさらに寸法検証演算を施す
場合、従来技術の第２の方法によりデータ分割、論理演
算および結果合成を行った後で、第１の方法でデータ分
割、寸法検証演算および結果合成を行わなければならな
い。In the above-described prior art, information necessary for boundary processing (hereinafter referred to as boundary information) such as a graphic near a boundary and connection information is referred to at the time of data division. In order to transfer the data, it is necessary to generate boundary information on the transferred data and refer to this. Also, since the holding format of the divided data differs depending on the type of the graphic operator, it is necessary to convert the holding format of the divided data in order to transfer data between different types of graphic operators. In order to perform the above-described processing according to the related art, it is necessary to merge the delivered data once and then redivide it. For example, when further performing a dimension verification operation after performing a logical operation on data, after performing data division, a logical operation, and a result synthesis by the second method of the related art, the data division and the size are performed by the first method. Verification operations and result synthesis must be performed.

【０００９】このように、従来の分割統治法では、図形
演算シークエンスの処理は、１個の図形演算子に関する
分割統治法を積み重ねることにより実現していた。しか
し、データ分割および結果合成処理は、おのおの入力お
よび結果データの全量を逐次処理する必要があり、かな
りの処理時間を必要とする。そして実際のアートワーク
処理は複数の図形演算子により構成されるため、従来の
方法では十分な高速化を実現することができなかった。As described above, in the conventional divide-and-conquer method, the processing of the graphic operation sequence has been realized by stacking the divide-and-conquer method for one graphic operator. However, the data division and the result synthesizing process each need to sequentially process the entire amount of input and result data, and require a considerable processing time. Since the actual artwork processing is composed of a plurality of graphic operators, the conventional method has not been able to realize a sufficiently high speed.

【００１０】特に、複数の処理装置を用いて図形演算を
並列に行う場合、分割数を増やすと先述の３つの効果に
より図形演算処理時間が減少するが、処理時間のかなり
の部分をデータ分割と結果合成で費やされることにな
る。そのため、処理装置の台数を増やしても、台数に見
合った高速化が達成できないという問題が存在する。ま
た、従来の分割統治法では、パターンの面積検証、パタ
ーン周辺長検証あるいは位相検証演算などの図形演算子
に対応できなかった。In particular, when performing graphic operations in parallel using a plurality of processing devices, increasing the number of divisions reduces the graphic operation processing time due to the three effects described above. The resulting synthesis will be spent. For this reason, there is a problem that even if the number of processing devices is increased, it is not possible to achieve speedup corresponding to the number. In addition, the conventional divide-and-conquer method cannot handle graphic operators such as pattern area verification, pattern peripheral length verification, and phase verification calculation.

【００１１】本発明は上記の問題点を克服するものであ
り、高速であり、かつ任意の図形演算シークエンスを処
理する汎用性を有する、分割統治法に基づいたパターン
データ処理方法を提供することを目的とする。An object of the present invention is to provide a pattern data processing method based on a divide-and-conquer method, which overcomes the above-mentioned problems and has a high speed and a versatility for processing an arbitrary graphic operation sequence. Aim.

【００１２】[0012]

【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
め、分割統治法に基づく本発明のパターンデータ処理で
は、入力となるデータグループを構成するそれぞれの部
分データについて図形演算を実行して部分結果データを
求めて図形演算結果データグループを構成し、さらに、
境界処理が必要であれば図形演算実行時に境界処理に必
要な情報を抽出し、これを用いて境界処理を実行して上
記図形演算結果データグループの内容を補正することに
より、複数の図形演算子間で分割データを直接受け渡す
ことを可能とする。特に、境界情報は図形演算実行時に
参照され、分割データの保有形式は演算子によらず同一
とすることにより、図形演算子間での分割データの受渡
しを可能としている。In order to achieve the above object, in the pattern data processing of the present invention based on the divide-and-conquer method, a graphic operation is performed on each of the partial data constituting a data group to be input. The result data is obtained to form a graphic operation result data group.
If the boundary processing is necessary, information necessary for the boundary processing is extracted at the time of executing the graphic operation, and the boundary processing is performed using the extracted information to correct the contents of the graphic operation result data group. It is possible to directly transfer the divided data between them. In particular, the boundary information is referred to at the time of executing the graphic operation, and the form of holding the divided data is the same regardless of the operator, so that the divided data can be transferred between the graphic operators.

【００１３】各種図形演算子に関する境界処理方法は具
体的には次のとおりである。寸法検証演算子などの様
に、各図形についてその近傍図形も考慮する必要がある
図形演算子を含む図形演算シークエンスの場合、以下の
処理を行なう。まず、境界決定処理において、境界近傍
で領域相互が重複するように所定の境界マージン幅だけ
各部分領域を拡張する。さらに、分割図形演算処理にお
いて、演算処理によって境界近傍で不正確な図形が生成
される場合に、その演算子に関する分割結果データの出
力時、あるいは、その演算結果を入力とする演算子に関
する分割データの入力時に分割データの境界マージン幅
を縮小し、不正確な境界近傍図形を除去する（境界マー
ジン縮小処理）。また、図形演算結果データグループの
境界マージン幅が後続の図形演算子で必要な値よりも小
さい場合、上記データグループを構成する各部分データ
に対応する領域に隣接する領域の部分データから不足す
る境界近傍図形を付加することにより境界マージン幅を
拡張する（境界マージン拡張処理）。The boundary processing method for various graphic operators is specifically as follows. In the case of a graphic operation sequence including a graphic operator that needs to take into consideration its neighboring figures, such as a dimension verification operator, the following processing is performed. First, in the boundary determination processing, each partial region is extended by a predetermined boundary margin width so that the regions overlap each other near the boundary. Further, in the divided graphic operation processing, when an incorrect graphic is generated in the vicinity of the boundary by the operation processing, when the divided result data relating to the operator is output, or the divided data relating to the operator having the operation result as the input, At the time of input, the boundary margin width of the divided data is reduced, and inaccurate boundary vicinity figures are removed (boundary margin reduction processing). If the boundary margin width of the graphic operation result data group is smaller than the value required for the subsequent graphic operator, the boundary margin deficient from the partial data of the area adjacent to the area corresponding to each partial data constituting the data group The border margin width is extended by adding a neighboring figure (boundary margin extension processing).

【００１４】また、処理中の図形演算子が、部分領域内
に関する情報だけでは構成できない面積値や位相情報の
ような形態情報に関係する場合、以下の境界処理を行
う。まず、図形演算の実行時に、図形演算結果データに
関する境界近傍図形を取り分け、これを部分領域内の形
態情報として格納する。次に、境界処理の際、この近傍
図形とその形態情報を用いて複数領域にまたがって存在
する図形に関する形態情報を合成し（形態情報整合処
理）、この形態情報を用いて複数領域にまたがって存在
する図形に対するレイアウト規則の判定などを行なっ
て、図形演算子の処理を終了する。If the graphic operator being processed is related to morphological information such as area value and phase information which cannot be constituted only by information on the partial area, the following boundary processing is performed. First, at the time of executing the graphic operation, a figure near the boundary related to the graphic operation result data is selected and stored as the morphological information in the partial area. Next, at the time of the boundary processing, morphological information relating to a graphic existing over a plurality of regions is synthesized using the neighboring graphic and its morphological information (morphological information matching processing), and the morphological information is used to extend over a plurality of regions. The layout rule is determined for the existing figure, and the processing of the figure operator is terminated.

【００１５】[0015]

【作用】本発明の方法によれば、複数の図形演算子から
なる図形演算シークエンスを分割統治法により処理する
際に、各図形演算子ごとに境界処理が必要な場合に、図
形演算の実行時に境界近傍図形を取り分け、境界近傍図
形に関する形態情報を求め、これらを用いて境界処理時
に図形演算結果データグループの内容を補正する。これ
により、任意の図形演算子に関して、その分割結果デー
タグループの内容は領域全体において正確となり、図形
演算子間で分割データを直接受け渡すことができる。従
って、データ分割は演算シークエンスへの入力となるデ
−タについてのみ行なえば良く、データマージは演算シ
ークエンスからの出力となるデ−タについてのみ行えば
良いので、分割統治法のオーバヘッドを最小限にでき、
高速な処理実行が可能である。According to the method of the present invention, when a graphic operation sequence composed of a plurality of graphic operators is processed by the division and conquer method, if the boundary processing is required for each graphic operator, the processing is performed at the time of performing the graphic operation. A figure near the boundary is selected, and morphological information about the figure near the boundary is obtained, and the contents of the figure calculation result data group are corrected using the information. As a result, with respect to an arbitrary graphic operator, the content of the division result data group becomes accurate in the entire area, and the divided data can be directly transferred between the graphic operators. Therefore, the data division only needs to be performed on the data that is input to the operation sequence, and the data merge only needs to be performed on the data that is output from the operation sequence, so that the overhead of the divide-and-conquer method is minimized. Can,
High-speed processing can be performed.

【００１６】特に、各分割領域に対してそれぞれ別の処
理装置を割り当てて演算処理を並列に実行する分割統治
法の場合、図形演算処理がほぼ部分領域１個分の処理時
間で実行可能となり、処理全体に対する比重が大きいデ
ータ分割およびデータマージの処理時間が削減されるの
で、本発明による図形演算はさらに高速化される。In particular, in the case of the divide-and-conquer method in which different processing devices are assigned to the respective divided areas and the arithmetic processing is executed in parallel, the graphic arithmetic processing can be executed in a processing time of substantially one partial area. Since the processing time for data division and data merging having a large specific gravity with respect to the entire processing is reduced, the graphic calculation according to the present invention is further accelerated.

【００１７】[0017]

【実施例】実施例の説明の前に、準備として図形演算に
ついて説明する。図１４（ａ）に示すように、図形演算
で取り扱う図形データは、図形１４０１は外縁辺をベク
トルで表現し図形番号とベクトルの向きを付した形式
（１４０２、１４０３）で表現される。ここでベクトル
の向きは、図形内部を進行方向に向かって右手に見るよ
うに定義される。ベクトル形式の図形表現では通常、図
中の垂直方向のベクトルは省略される。上記の図形表現
により任意の多角形データを表現できる。上記の図形デ
ータは具体的には図１４（ｂ）に示すように、始点終点
形式１４０４（レコード形式：順に、図形番号、ベクト
ルの始点のｘ座標、ｙ座標、終点のｘ座標、ｙ座標）あ
るいは、左右端点形式１４０５（レコード形式：順に、
図形番号、左側端点のｘ座標、ｙ座標、右側端点のｘ座
標、ｙ座標、ベクトルの向き（左右）を示すフラグ）に
より記述され、いずれの形式も使用できる。DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Prior to the description of the embodiment, a graphic operation will be described as a preparation. As shown in FIG. 14A, in the graphic data handled by the graphic calculation, the graphic 1401 is expressed in a format (1402, 1403) in which the outer edge is expressed by a vector and a graphic number and a direction of the vector are given. Here, the direction of the vector is defined such that the inside of the figure is viewed to the right in the direction of travel. Normally, in the vector format, the vertical vector in the figure is omitted. Arbitrary polygon data can be represented by the above-described graphic representation. As shown in FIG. 14B, the above-mentioned graphic data is specifically a start point end point format 1404 (record format: graphic number, x coordinate of start point of vector, y coordinate, x coordinate of end point, y coordinate in order). Alternatively, the left and right end point format 1405 (record format:
It is described by a graphic number, an x coordinate and a y coordinate of a left end point, an x coordinate and a y coordinate of a right end point, and a flag indicating a vector direction (left and right), and any format can be used.

【００１８】図形演算子には、先に述べたように論理演
算、サイジング演算、寸法検証演算、パターン面積検証
演算、パターン周辺長検証演算、接続検証演算、位相検
証演算、及び台形分割演算があるが、このうち、以下の
説明で使用する演算子のみ、その処理内容を詳細に説明
する。以下では、ＡＬ層などの物理的意味を有するデー
タに限らず、図形演算結果の図形データも含めたデータ
の集合を層と呼ぶ。As described above, the graphic operators include a logical operation, a sizing operation, a dimension verification operation, a pattern area verification operation, a pattern peripheral length verification operation, a connection verification operation, a phase verification operation, and a trapezoidal division operation. However, among these, only the operators used in the following description will be described in detail in the processing contents. Hereinafter, a set of data including not only data having a physical meaning such as the AL layer but also graphic data of a graphic operation result is referred to as a layer.

【００１９】論理演算子は、１つ又は複数の層に対して
集合演算を行い、その結果を出力する。論理演算子で
は、出力図形の輪郭取り（図形の重なりの削除）が行わ
れ、連結した図形には同一の図形番号が付される。図１
５(a)、(b)には入力図形の集合和を求めるＯＲ演算子の
入力層と出力層の一例が示されており、入力層１５０１
では図形番号＃１３と＃１６の図形は連結しているの
で、出力層１５０２では１個の図形として＃５という図
形番号が新たに与えられている。The logical operator performs a set operation on one or more layers and outputs the result. In the logical operator, the outline of the output graphic is removed (the overlap of the graphic is deleted), and the connected graphic is assigned the same graphic number. FIG.
5A and 5B show an example of an input layer and an output layer of an OR operator for obtaining a set sum of input figures.
Since the graphic numbers # 13 and # 16 are connected, the graphic number # 5 is newly assigned to the output layer 1502 as one graphic.

【００２０】次に、位相検証演算子について説明する。
位相検証演算子は、輪郭取りされた２つの層Ａ、Ｂを入
力し、それぞれＡ、Ｂに属し、かつ互いに所望の位相関
係（交差、一致、包含、被包含など）にある図形を１個
ずつ組み合わせた図形対をもれなく求めて、その図形番
号対を出力する演算子である。図１５(c)、(d)では被包
含の位相関係を抽出する位相検証演算子（COVERED演算
子）の入力層と出力層の一例が示されており、この演算
子は図形Ｂ（１５０３）に完全に含まれる図形Ａをすべ
て求めてその図形番号の対１５０４を出力する演算であ
る。位相検証演算子では図形番号に基づいた処理がなさ
れるので、入力層において連結した図形にはユニークな
図形番号が付されていなければならない。Next, the phase verification operator will be described.
The phase verification operator inputs two contoured layers A and B, and selects one figure belonging to each of A and B and having a desired topological relationship (intersection, coincidence, inclusion, inclusion, etc.) with each other. This is an operator that obtains all the pairs of figures combined and outputs the pair of figure numbers. FIGS. 15C and 15D show an example of an input layer and an output layer of a phase verification operator (COVERED operator) for extracting a contained topological relationship, and this operator is shown in FIG. Is a calculation that obtains all the figures A completely included in the pattern numbers and outputs a pair 1504 of the figure numbers. Since the phase verification operator performs processing based on the figure number, the figures connected in the input layer must have unique figure numbers.

【００２１】最後に寸法検証演算子について説明する。
寸法検証演算子は、輪郭取りされた１個あるいは２個の
層を入力して図形の幅や図形間の間隔を調べ、幅が細い
図形や微小間隙をもれなく求める演算子である。図１５
(e)、(f)では微小間隙を求めるＳＰＡＣＥ演算子の入力
層と出力層の例が示されている。図では、２つの輪郭取
りされた層Ａ、Ｂを入力してＡとＢの各図形の間隔を検
証し、与えられたパラメタｄよりも間隔が狭い上記違反
地点近傍の図形を抽出して出力する演算である。図１５
(e)、(f)の例では入力層１５０６には１５０８に示す間
隔の狭い部分が存在するので、この狭い間隔１５０８が
抽出結果となり、ＳＰＡＣＥ演算子の出力層は１５０７
のようになる。Finally, the dimension verification operator will be described.
The dimension verification operator is an operator that inputs one or two contoured layers, checks the width of the figure and the space between the figures, and obtains a figure with a small width and a minute gap without fail. FIG.
(e) and (f) show examples of an input layer and an output layer of a SPACE operator for obtaining a minute gap. In the figure, two contoured layers A and B are input, the interval between the figures A and B is verified, and a figure near the above-mentioned violation point having a smaller interval than a given parameter d is extracted and output. This is the operation to be performed. FIG.
In the examples of (e) and (f), since the input layer 1506 has a narrow portion 1508 in the input layer, this narrow interval 1508 is an extraction result, and the output layer of the SPACE operator is 1507.
become that way.

【００２２】以上の準備のもとに、以下、実施例を説明
する。図１は本発明の一実施例の処理フローを示した図
である。図１に示される実施例は大きく４つの処理、す
なわち、境界決定処理１０１、データ分割処理１０２、
分割図形演算処理１０３、及び出力結果合成処理１０４
から構成される。それぞれの処理の詳細について以下に
説明する。With the above preparation, an embodiment will be described below. FIG. 1 is a diagram showing a processing flow of an embodiment of the present invention. The embodiment shown in FIG. 1 is roughly divided into four processes: a boundary determination process 101, a data division process 102,
Divided figure calculation processing 103 and output result synthesis processing 104
Consists of The details of each process will be described below.

【００２３】図２は境界決定処理１０１の詳細処理フロ
ーを示した図である。まず、図形のＸ座標、Ｙ座標それ
ぞれの最小値、最大値を求めることにより、データの存
在範囲を求める（２０１）。次に、この存在領域全体を
互いに重なりのない複数の部分領域に分割する（２０
２）。図３（ａ）に示すように、分割は、一次元分割
（３０１）、二次元分割（３０２）、またはデータの疎
密に応じた分割（３０３）が可能である。分割３０３を
行うには例えば、プロシーディング・オブ・インターナ
ショナル・コンファレンス・オン・コンピュータ・エイ
デッド・デザイン・１９８８の２７８ページに記載の方
法を使用できる。以下の実施例では、簡単のために一次
元分割の場合を説明するが、本発明は二次元分割の場合
にも適用可能である。最後に、処理すべき演算シークエ
ンスが寸法検証演算子などのように各図形の近傍にある
図形を考慮する必要のある図形演算子（以下、近傍考慮
演算子と呼ぶ）を含む場合、領域間の境界マージンが必
要となるので、図３（ｂ）に示すように各分割領域を３
０４から３０５へ拡張する（２０３）。以下では、境界
３０４を真境界、境界３０５を仮境界、拡張幅３０６を
境界マージン幅と呼ぶ。仮境界３０５、及び境界マージ
ン幅３０６は後述の境界マージン再設定処理によって変
更される場合もあるが、真境界３０４は処理中は不変で
ある。境界マージンを設定しない場合には仮境界は真境
界と一致し、境界マージン幅は０である。境界マージン
幅の決定方法については処理全体を説明した後で説明す
る。FIG. 2 is a diagram showing a detailed processing flow of the boundary determination processing 101. First, the minimum and maximum values of the X and Y coordinates of the figure are obtained to obtain the data existence range (201). Next, the entire existing area is divided into a plurality of partial areas that do not overlap each other (20).
2). As shown in FIG. 3A, the division can be one-dimensional division (301), two-dimensional division (302), or division according to the density of data (303). The division 303 can be performed by, for example, a method described on page 278 of Proceedings of International Conference on Computer Aided Design 1988. In the following embodiments, a case of one-dimensional division will be described for simplicity, but the present invention is also applicable to a case of two-dimensional division. Finally, when the operation sequence to be processed includes a graphic operator (hereinafter, referred to as a neighborhood consideration operator) that needs to consider a figure near each figure, such as a dimension verification operator, the Since a border margin is required, each divided area is divided by three as shown in FIG.
Expand from 04 to 305 (203). Hereinafter, the boundary 304 is referred to as a true boundary, the boundary 305 is referred to as a temporary boundary, and the extended width 306 is referred to as a boundary margin width. The temporary boundary 305 and the boundary margin width 306 may be changed by a boundary margin resetting process described later, but the true boundary 304 is unchanged during the processing. If no border margin is set, the provisional border matches the true border, and the border margin width is zero. A method for determining the boundary margin width will be described after the entire process has been described.

【００２４】データ分割処理１０２では、境界決定処理
１０１で決定した仮境界に基づいて入力図形データを分
割して、複数個の部分データからなるデータグループを
作成する。ここで、複数領域にまたがる図形は仮境界の
外側の部分は切り捨てられる。境界マージンが設定され
ている場合、境界マージン内の図形は複数の部分データ
に含まれる。なお、並列処理型の分割統治法の場合、複
数の部分データは対応するそれぞれの処理装置に分配さ
れる。In the data dividing process 102, the input graphic data is divided based on the temporary boundary determined in the boundary determining process 101, and a data group including a plurality of partial data is created. Here, the figure outside the temporary boundary is truncated in the graphic spanning a plurality of regions. When the boundary margin is set, the figure within the boundary margin is included in a plurality of partial data. In the case of the parallel processing type divide-and-conquer method, a plurality of partial data are distributed to corresponding processing devices.

【００２５】続いて、処理すべき図形演算シークエンス
を構成する図形演算子ごとに、分割図形演算処理１０３
を行う。図１の中に示されている分割図形演算処理の概
略フローを用いて処理の概略を説明する。まず、入力と
なるデータグループを構成する各部分データに対して非
分割の場合と同様の図形演算１０５を実行し、演算結果
である部分データを求める。さらに、演算子が近傍を考
慮すべき演算子である、あるいは面積や位相情報のよう
に部分領域内のデ−タだけでは正確に構成できない形態
情報に関係する演算子（以下、形態考慮演算子と呼ぶ）
である場合、境界処理１０６が必要となる。境界処理１
０６が必要な場合には、その処理に必要な境界情報を図
形演算時に合わせて求め出力する（境界情報取得処理）
ことが必要になる。境界処理１０６は境界マージン再設
定処理と形態情報整合処理に分類される（双方の処理を
行う場合もある）。以下、上記処理の詳細を説明する。Subsequently, for each of the graphic operators constituting the graphic operation sequence to be processed, the divided graphic operation processing 103 is performed.
I do. The outline of the processing will be described using the schematic flow of the divided figure calculation processing shown in FIG. First, the same graphic operation 105 as in the case of non-division is executed on each of the partial data constituting the input data group, and the partial data as the operation result is obtained. Furthermore, the operator is an operator that should consider the neighborhood, or an operator related to morphological information that cannot be accurately constituted only by data in a partial region, such as area or phase information (hereinafter referred to as a morphological consideration operator). Call it)
, The boundary processing 106 is required. Boundary processing 1
When 06 is required, boundary information necessary for the processing is obtained and output at the time of graphic operation (boundary information acquisition processing).
It becomes necessary. The boundary process 106 is classified into a boundary margin resetting process and a morphological information matching process (both processes may be performed). Hereinafter, the details of the above processing will be described.

【００２６】まず、境界マージン再設定処理は、近傍考
慮演算子において境界マージン幅を縮小して仮境界近傍
にある演算結果の図形のうち不正確な部分を切り捨てる
境界マージン縮小処理、あるいは、近傍考慮演算子が後
続する場合に隣接する領域から仮境界近傍の図形データ
を獲得して境界マージン幅を拡張する境界マージン拡張
処理である。ところで、負の境界マージン幅は禁止され
る（真境界近傍の図形が失われてしまうため）ので、近
傍考慮演算子の入力データグループの境界マージン幅は
その演算子が考慮すべき近傍幅以上でなければならな
い。そのため、処理すべき演算シークエンスを構文解析
することにより、最初のデータ分割時の境界マージン幅
および、各演算子ごとの境界マージンの再設定仕様（再
設定しない演算子が存在しても良い）を決定することが
必要となる。境界マージンの設定方法は後で詳細に説明
する。First, the boundary margin resetting process is a boundary margin reduction process for reducing the boundary margin width in the neighborhood consideration operator and truncating an inaccurate part of the graphic of the operation result near the temporary boundary, or a neighborhood consideration reduction process. This is a boundary margin expansion process for obtaining graphic data near the temporary boundary from an adjacent area and expanding the boundary margin width when an operator follows. By the way, since the negative boundary margin width is prohibited (because the figure near the true boundary is lost), the boundary margin width of the input data group of the neighborhood consideration operator is larger than the neighborhood width to be considered by the operator. There must be. Therefore, by parsing the operation sequence to be processed, the boundary margin width at the time of the first data division and the reset specification of the boundary margin for each operator (there may be operators that are not reset) A decision needs to be made. A method for setting the boundary margin will be described later in detail.

【００２７】まず、境界マージン縮小処理は、図４に示
すように、単に新しい領域からはみ出る図形を切断し
（４０１）、残った部分を出力（４０２）すればよいの
で、図形演算の部分結果データ出力時、あるいは後続の
図形演算子のデータ入力時のいずれの時点で行なっても
良い。図５は境界マージン縮小処理を具体的に説明した
図であり、仮境界を５０１から５０２に縮小する場合の
入力（ａ）と出力（ｂ）の例が示されている（５０３は
真境界）。First, as shown in FIG. 4, in the boundary margin reduction processing, the figure which protrudes from the new area may be simply cut (401) and the remaining part may be output (402). It may be performed at the time of output or at the time of data input of the subsequent graphic operator. FIG. 5 is a diagram specifically illustrating the boundary margin reduction processing, and shows an example of input (a) and output (b) when the temporary boundary is reduced from 501 to 502 (503 is a true boundary). .

【００２８】次に、図６、７を用いて境界マージン拡張
処理の詳細処理フローを説明する。図６（ａ）は境界マ
ージン拡張処理のための境界情報取得処理の詳細フロー
であり、図６（ｂ）はその出力データである。まず、図
形演算処理から出力される図形ごとに真境界からはみ出
した部分を切除する（６０１）。次に、残った部分につ
いて、真境界から新たに設定すべき境界マージン幅だけ
の内のり領域を設定し、この内のり領域にかかるベクト
ルについては該当する境界に関する境界データファイル
（左右の境界について別々に存在）に出力し（６０
２）、内のり領域にかからないベクトルについては非境
界データファイル６０４に出力する（６０３）。ここ
で、両側の内のり領域に入るベクトルは、２つの真境界
の中央で切断して、各々を左右の境界データファイルに
出力する（中央切断処理）。ところで、図６（ｂ）に示
される出力データは１個の分割領域に関する出力であ
り、これらは分割領域の数だけ独立に出力される。それ
ぞれの出力デ−タを区別するため、データファイル名の
後に対応する領域の番号を付加して、境界データファイ
ル＃１などのように識別する。Next, a detailed processing flow of the boundary margin expansion processing will be described with reference to FIGS. FIG. 6A is a detailed flow of the boundary information acquisition processing for the boundary margin expansion processing, and FIG. 6B shows the output data. First, a portion protruding from the true boundary is removed for each figure output from the figure calculation processing (601). Next, for the remaining portion, an inner area is set from the true boundary to a new boundary margin width to be newly set, and a vector relating to the inner area is a boundary data file relating to the corresponding boundary (separately exists for the left and right boundaries). ) And output (60
2) For the vector that does not cover the inner area, the vector is output to the non-boundary data file 604 (603). Here, the vectors entering the inner regions on both sides are cut at the center of the two true boundaries, and each is output to the left and right boundary data files (central cutting processing). By the way, the output data shown in FIG. 6B is an output relating to one divided area, and these are output independently by the number of divided areas. In order to distinguish each output data, a data file name is added to the end of the corresponding area, and the output data is identified as a boundary data file # 1 or the like.

【００２９】次に、図６（ｂ）の境界情報取得処理の出
力データを受け取って実行される、境界マージン拡張処
理における境界処理の詳細フローを図７に示す。まず、
境界ごとに、境界の左右に該当する境界データを入力し
て、ステップ７０１から７０３より構成される境界ＯＲ
処理を実行することにより、真境界で切断されたベクト
ルを接合して新境界データファイルに書き出す処理、お
よび複数領域にまたがって存在する図形に関する図形番
号マージ情報を求める処理を行う。ここで、真境界に接
触しないベクトルはそのまま新境界データファイルに出
力される。次に、ステップ７０４では、図形番号マージ
情報を入力して、複数領域にまたがる図形にユニークな
図形番号を付与するための図形番号変換表を作成する。
ステップ７０１から７０４の処理はＯＲ演算と同様の算
法で実行される。次に、ステップ７０５と７０６では、
各新境界データファイルについて、新しい境界マージン
に従ってベクトルを分割し分配する。その結果、各非境
界データファイルには拡張された境界マージン領域内の
ベクトルが格納される。最後に、ステップ７０８では、
先に求めた図形番号変換表を用いて各結果データの図形
番号を付け直す。Next, FIG. 7 shows a detailed flow of the boundary processing in the boundary margin expansion processing, which is executed by receiving the output data of the boundary information acquisition processing of FIG. 6B. First,
For each boundary, boundary data corresponding to the left and right of the boundary is input, and a boundary OR composed of steps 701 to 703 is input.
By executing the processing, the processing of joining the vectors cut at the true boundary and writing the new boundary data file and the processing of obtaining graphic number merge information relating to a graphic existing over a plurality of areas are performed. Here, a vector that does not touch the true boundary is output to the new boundary data file as it is. Next, in step 704, figure number merge information is input, and a figure number conversion table for assigning a unique figure number to a figure extending over a plurality of areas is created.
The processing of steps 701 to 704 is executed by the same algorithm as the OR operation. Next, in steps 705 and 706,
For each new boundary data file, split and distribute the vector according to the new boundary margin. As a result, each non-boundary data file stores a vector in the extended boundary margin area. Finally, in step 708,
The figure number of each result data is renumbered using the figure number conversion table obtained previously.

【００３０】図８を用いて、図７に示した境界マージン
拡張処理の具体例を説明する。図８（ａ）は、２分割の
場合に境界マージン幅０の分割データを入力して論理演
算子を実行した結果のデータグループであり、領域＃１
（８１１）及び領域＃２（８１２）に対応して２つの部
分結果データが出力されている。図８（ａ）では、真境
界８１６を境にして領域＃１と領域＃２は重ならずに分
割されている。また、数字８１５は各図形に与えられた
図形番号である。他の領域の図形と図形番号を区別する
ため、出力図形の図形番号に領域の通し番号に十分大き
い値（本実施例では１００００）を乗じた値を加える。
その結果、領域＃１の図形には１０００１から１０００
３の図形番号が付され、領域＃２の図形には２０００１
から２０００３の図形番号が付される。次に、図８
（ａ）の処理結果のうち境界線８１３、８１４により境
界が示されている内のり領域に対して境界情報取得処理
を施した結果が図８（ｂ）であり、非境界図形データ８
２１、８２２と境界データ８２３、８２４に分けて出力
される。次に、境界データ８２３、８２４を入力して境
界マージン拡張処理における境界処理を行った結果が図
８（ｃ）である。ここで、例えば図形１０００３と２０
００１とが連結していることを認識し、これらの図形を
接合する処理を行って、新境界データ８３１、及び図形
番号変換表８３２を作成する。図形番号変換表８３２の
左右の欄はそれぞれ変換前後の図形番号を示す。例えば
変換前の図形番号１０００３と２０００１の図形は連結
しているので、変換後の図形番号はともに３となってい
る。表８３２には内のり領域に含まれない（即ち、非境
界データに含まれる）図形番号も格納されているが、こ
れは変換後に欠番のない一連の番号（図８（ｃ）では１
から４まで）を付与するためであり、その必要のない場
合には非境界データである変換前の図形番号が１０００
１と２０００３の欄は省略できる。最後に、新境界デー
タ８３１を境界８１３、８１４に従って非境界データ８
２１、８２２に分配して（境界８１４より左の部分を非
境界データ８２１へ分配し、境界８１３より右の部分を
非境界データ８２２へ分配する）結果データを作成し、
さらに図形番号変換表８３２に従って結果データの図形
番号を変換して、図８（ｄ）に示す所望の結果データ８
４１、８４２を得る。A specific example of the boundary margin extension processing shown in FIG. 7 will be described with reference to FIG. FIG. 8A shows a data group obtained as a result of inputting divided data having a boundary margin width of 0 and executing a logical operator in the case of two divisions.
(811) and two partial result data corresponding to the area # 2 (812). In FIG. 8A, the area # 1 and the area # 2 are divided without overlapping on the true boundary 816. Numeral 815 is a figure number given to each figure. In order to distinguish a figure number from a figure in another area, a value obtained by multiplying the figure number of the output figure by a sufficiently large value (10000 in this embodiment) is added to the serial number of the area.
As a result, 10001 to 1000
3 is assigned to the figure in area # 2,
From 20003. Next, FIG.
FIG. 8B shows the result of performing the boundary information acquisition processing on the inner region of which the boundary is indicated by the boundary lines 813 and 814 in the processing result of FIG.
21 and 822 and boundary data 823 and 824. Next, FIG. 8C shows the result of inputting the boundary data 823 and 824 and performing the boundary processing in the boundary margin expansion processing. Here, for example, figures 10003 and 20
001 and 001 are recognized, the processing for joining these figures is performed, and new boundary data 831 and a figure number conversion table 832 are created. The left and right columns of the figure number conversion table 832 show the figure numbers before and after the conversion, respectively. For example, since the graphic numbers 10003 and 20001 before conversion are linked, the graphic numbers after conversion are both 3. The table 832 also stores the graphic numbers that are not included in the inner area (that is, are included in the non-boundary data), but this is a series of numbers without missing numbers after conversion (1 in FIG. 8C).
To 4), and if it is not necessary, the figure number before conversion, which is non-boundary data, is 1000
Columns 1 and 20003 can be omitted. Finally, the new boundary data 831 is added to the non-boundary data 8 according to the boundaries 813 and 814.
21, and 822 (parts to the left of the boundary 814 are distributed to the non-boundary data 821 and parts to the right of the boundary 813 are distributed to the non-boundary data 822) to create result data.
Further, the graphic number of the result data is converted according to the graphic number conversion table 832, and the desired result data 8 shown in FIG.
41, 842 are obtained.

【００３１】一方、形態情報整合処理は、仮境界近傍に
存在する図形に関する不正確な形態情報を補正する。形
態情報としては図形番号、面積値、周辺長値、位相情報
などがあり、寸法値（幅、間隔）は境界マージンが設定
されているのでその値は正しく求められている。形態情
報整合処理は図形演算子の種類によってその処理方法が
異なり、それに対応して境界情報取得処理の処理方法も
異なる。これらの処理のうち、論理演算子に関する形態
情報整合処理についてはすでに境界マージン拡張処理の
ところで説明した。その他の演算子については、そのす
べてについて形態情報整合処理の詳細フローを述べるこ
とはせず、代表的な位相検証演算子についてのみ説明す
る。ただし他の演算子についても、形態情報整合処理の
処理方法は位相検証演算子の場合とほとんど同一であ
る。On the other hand, the morphological information matching process corrects inaccurate morphological information relating to a figure existing near the temporary boundary. The form information includes a figure number, an area value, a peripheral length value, phase information, and the like. The dimension value (width, interval) has a boundary margin set, so that the value is correctly obtained. The processing method of the morphological information matching processing differs depending on the type of the graphic operator, and the processing method of the boundary information acquisition processing also changes correspondingly. Among these processes, the morphological information matching process for the logical operator has already been described in the boundary margin expansion process. The detailed flow of the morphological information matching processing is not described for all the other operators, and only the representative phase verification operator will be described. However, the processing method of the morphological information matching processing for other operators is almost the same as that of the phase verification operator.

【００３２】以下では図９、１０、１１を用いて、位相
検証演算子のための形態情報整合処理の詳細処理フロー
を説明する。図９（ａ）は位相検証演算子の形態情報整
合処理のための境界情報取得処理の詳細フローを示した
図であり、図９（ｂ）はその出力データとそのレコード
形式を示した図である。図形演算処理で検出され、互い
に交差する図形対の各々について、両図形が領域の境界
マージン領域と接触あるいは交差しない場合には、両図
形が所望の位相関係にある場合のみ、図形番号対をレコ
ード形式９２４で非境界データファイル９２１に出力し
（９１１）、それ以外の場合は、境界図形番号ファイル
９２２に境界マージン領域と接触あるいは交差する図形
についてその図形番号と層番号をレコード形式９２５で
出力し、境界データファイル９２３に図形番号対とその
位相コードをレコード形式９２６で出力する（９１
２）。ここで境界図形番号ファイルと境界データファイ
ルへの出力では境界（左右）の区別をしない。図９
（ｂ）に示される出力データは１個の分割領域に関する
出力であり、これらは分割領域の数だけ独立に出力され
る。上記の位相コードは、図９（ｃ）に示すような層Ａ
と層Ｂの図形の図形対に与えられる３ｂｉｔのコード９
３１であり、各ビットは上位ｂｉｔから順に、両図形の
交差部分が存在するか否か、図形Ａのみの部分が存在す
るか否か、図形Ｂのみの部分が存在するか否かを表す。
上記３ｂｉｔの組合せによって、表９３２に示す８種類
の２図形間の位相関係が定義される。The detailed processing flow of the morphological information matching processing for the phase verification operator will be described below with reference to FIGS. FIG. 9A is a diagram showing a detailed flow of a boundary information obtaining process for the shape information matching process of the phase verification operator, and FIG. 9B is a diagram showing its output data and its record format. is there. For each pair of figures detected by the figure calculation process and intersecting each other, if both figures do not touch or intersect with the boundary margin area of the area, a figure number pair is recorded only when both figures have a desired phase relationship. A non-boundary data file 921 is output in a format 924 (911), and in other cases, a graphic number and a layer number of a graphic that touches or intersects with a boundary margin area are output to a boundary graphic number file 922 in a record format 925. The figure number pair and its phase code are output to the boundary data file 923 in the record format 926 (91
2). In the output to the boundary graphic number file and the boundary data file, no distinction is made between boundaries (left and right). FIG.
The output data shown in (b) is an output relating to one divided area, and these are output independently by the number of divided areas. The above phase code corresponds to the layer A shown in FIG.
And a 3-bit code 9 given to the figure pair of the figure on the layer B
Each bit indicates whether there is an intersection of the two figures, whether there is only a part of figure A, or whether there is only a part of figure B, in order from the upper bit.
The combination of the three bits defines the topological relationship between the eight types of two figures shown in Table 932.

【００３３】次に、図９（ｂ）の境界情報取得処理の出
力を受けて行う形態情報整合処理における境界処理の基
本的な考え方を述べる。ある図形対について領域＃ｉの
位相コードはＴ１であり、領域＃（ｉ＋１）の位相コー
ドはＴ２である時、領域＃ｉと＃（ｉ＋１）の和領域に
おける位相コードはＴ１とＴ２の各ｂｉｔごとの論理和
となる。従って全領域について位相コードのｂｉｔごと
の論理和をとれば、全体の位相コードが合成できる。こ
の処理を実行する詳細フローが図１０に示され、上記処
理で使用されるテーブルの仕様が図１１に示されてい
る。まず、境界データ＃０、境界図形番号データ＃０を
各々テーブル＃１、＃３にセットする（１００１）。な
お各テーブルは、検索に便利なようにデータをセットす
る段階で層番号ないし図形番号をキーとしてソートして
おく。テーブル＃１（１１０１）、＃３（１１０３）は
各々現在注目している境界の左側の領域に存在する図形
対に関する位相コード及び出現領域番号を保持するテー
ブルである。次に、各境界ごとにステップ１００２から
１００６を行う。境界データ＃ｉ及び境界図形番号デー
タ＃ｉを読み込んで、各々テーブル＃２、＃４にセット
する（１００２）。テーブル＃２（１１０２）、＃４
（１１０４）は各々現在注目している境界の右側の領域
における図形対の位相コードおよび図形番号を保持す
る。テーブル＃１とテーブル＃２の両方に格納されてい
る図形対について、その位相コードのｂｉｔごとの論理
和をとってテーブル＃１に格納し、テーブル＃２のレコ
ードは削除される（１００３）。テーブル＃１にのみ存
在する図形対については、領域＃（ｉ＋１）での位相コ
ードをテーブル＃４から回復し（最上位ｂｉｔは０と
し、他のｂｉｔは、該当する図形がテーブル＃４に存在
すれば１とし、なければ０とする）、位相コードの各ｂ
ｉｔごとの論理和をとってテーブル＃１に格納する。領
域＃（ｉ＋１）での位相コードが０００の場合、その出
現領域＃から＃ｉまでの新境界データファイルにテーブ
ル＃１のレコードをレコード形式９２６で出力した後、
テーブルから削除する（１００４）。さらにテーブル＃
２にのみ存在する図形対については、領域＃ｉにおける
位相コードをテーブル＃３から回復し、位相コードのｂ
ｉｔごとの論理和をとった後でテーブル＃２のレコード
をテーブル＃１に登録する（１００５）。最後に、テー
ブル＃４の内容をテーブル＃３に反映させる（１００
６）。上記ステップ１００２から１００６を各境界ごと
に繰り返すことにより、複数領域にまたがる図形を含む
図形対に関する位相情報の合成が行われ、その結果が領
域ごとに対応する新境界データファイルに格納される。
最後に、それぞれの新境界データファイルの中から所望
の位相関係を満たすもののみを取り出して対応する非境
界データファイルにマージすることにより、結果となる
分割データを得る（１００７）。Next, the basic concept of the boundary processing in the form information matching processing performed in response to the output of the boundary information acquisition processing of FIG. 9B will be described. When the phase code of the region #i is T1 and the phase code of the region # (i + 1) is T2 for a certain figure pair, the phase code in the sum region of the regions #i and # (i + 1) is each bit of T1 and T2. Is the logical sum of each. Therefore, if the logical sum of each bit of the phase code is obtained for all the regions, the entire phase code can be synthesized. FIG. 10 shows a detailed flow for executing this processing, and FIG. 11 shows specifications of a table used in the above processing. First, boundary data # 0 and boundary graphic number data # 0 are set in tables # 1 and # 3, respectively (1001). Each table is sorted by using a layer number or a figure number as a key at the stage of setting data for convenient retrieval. Tables # 1 (1101) and # 3 (1103) are tables that hold the phase codes and the appearance area numbers for the graphic pairs existing in the area to the left of the currently focused boundary. Next, steps 1002 to 1006 are performed for each boundary. The boundary data #i and the boundary graphic number data #i are read and set in tables # 2 and # 4, respectively (1002). Table # 2 (1102), # 4
(1104) holds the phase code and the figure number of the figure pair in the area on the right side of the currently focused boundary. For the figure pairs stored in both table # 1 and table # 2, the logical sum of the phase code for each bit is calculated and stored in table # 1, and the record of table # 2 is deleted (1003). For a figure pair that exists only in table # 1, the phase code in area # (i + 1) is recovered from table # 4 (the highest bit is set to 0, and for the other bits, the corresponding figure exists in table # 4). If it is 1, then it is 0), and each b of the phase code
The logical sum for each it is calculated and stored in the table # 1. When the phase code in the area # (i + 1) is 000, after outputting the record of the table # 1 in the record format 926 to the new boundary data file from the appearance area # to #i,
It is deleted from the table (1004). Further table #
2, the phase code in the region #i is recovered from the table # 3 and the phase code b
After calculating the logical sum for each it, the record of table # 2 is registered in table # 1 (1005). Finally, the contents of table # 4 are reflected in table # 3 (100
6). By repeating the above steps 1002 to 1006 for each boundary, phase information relating to a graphic pair including a graphic extending over a plurality of regions is synthesized, and the result is stored in a new boundary data file corresponding to each region.
Finally, only the data that satisfies the desired phase relationship is extracted from each new boundary data file and merged with the corresponding non-boundary data file to obtain the resulting divided data (1007).

【００３４】図１２に示すＣＯＶＥＲＥＤ演算子の場合
を用いて、以上説明した位相検証演算子の形態情報整合
処理を具体的に説明する。図１２（ａ）は、位相検証演
算子の入力となるデータグループを示す。境界マージン
幅は０であり、二つの部分領域＃１（１２１１）、＃２
（１２１２）が重ならずに分割されている。図中で数字
１２１３は図形の所属する層と図形番号を示す。例え
ば、Ａー＃３は層Ａに所属し、図形番号が＃３であるこ
とを示す。これにＣＯＶＥＲＥＤ演算子と境界情報取得
処理を施した結果を図１２（ｂ）に示す。真境界に接触
しない図形については通常のＣＯＶＥＲＥＤ演算を行っ
て非境界データ１２２１、１２２２が出力される。真境
界に接触する図形を含み互いに交差する図形対はすべて
出力されて境界データ１２２３、１２２４となり、真境
界に接触する図形については境界図形番号データ１２２
５、１２２６が出力される。全ての図形対について位相
コードを出力するとそのデ−タ量は膨大となるので、交
差しない図形対（つまり位相コードの最上位ｂｉｔが
０）については位相コ−ドを出力しない。例えば部分領
域＃１において、境界に接触する図形Ｂー＃１２は図形
Ａー＃４、Ａー＃５と交差するが図形Ａー＃６とは交差
しないので、境界データ１２２４では、Ａー＃４、Ａー
＃５との図形対に関する位相コードのみが出力される。
次に、デ−タ１２２３から１２２６を入力して形態情報
整合処理を行った結果を図１２（ｃ）（ｄ）に示す。デ
−タ１２３１、１２３２は新境界データであり、ＣＯＶ
ＥＲＥＤ演算子に対応する位相コードは１０１であるこ
とを考慮すると、結果データ１２４１、１２４２が得ら
れる。Using the case of the COVERED operator shown in FIG. 12, the above-described form information matching processing of the phase verification operator will be specifically described. FIG. 12A shows a data group to be input to the phase verification operator. The boundary margin width is 0, and two partial areas # 1 (1211) and # 2
(1212) is divided without overlapping. In the figure, numeral 1213 indicates the layer to which the figure belongs and the figure number. For example, A- # 3 belongs to layer A, and indicates that the figure number is # 3. FIG. 12B shows the result of performing the COVERED operator and the boundary information acquisition processing on this. Non-boundary data 1221 and 1222 are output by performing a normal COVERED operation on a graphic that does not touch the true boundary. All graphic pairs including the graphic that touches the true boundary and intersecting with each other are output as boundary data 1223 and 1224. For the graphic that touches the true boundary, the boundary graphic number data 122
5, 1226 are output. If the phase code is output for all figure pairs, the amount of data becomes enormous. Therefore, no phase code is output for a figure pair that does not intersect (that is, the highest bit of the phase code is 0). For example, in the partial area # 1, the graphic B- # 12 touching the boundary intersects the graphic A- # 4 and the graphic A- # 5 but does not cross the graphic A- # 6. 4. Only the phase code for the figure pair A- # 5 is output.
Next, FIGS. 12C and 12D show the results of inputting the data 1223 to 1226 and performing the morphological information matching process. Data 1231 and 1232 are new boundary data,
Considering that the phase code corresponding to the ERED operator is 101, result data 1241 and 1242 are obtained.

【００３５】位相演算子と同様の方法を用いて、パター
ン面積検証、パターン周辺長検証、接続検証などの形態
考慮演算子を分割統治法により実行することができる。
例えばパターン面積検証演算子での形態情報整合処理
は、位相コードの代わりに分割領域（境界マージンを除
く）内での図形の面積値を使用し、これを各領域につい
て積算すれば良い。By using the same method as the phase operator, it is possible to execute a shape-consideration operator such as a pattern area verification, a pattern peripheral length verification, a connection verification, and the like by a division and conquer method.
For example, in the morphological information matching processing by the pattern area verification operator, an area value of a figure in a divided area (excluding a boundary margin) may be used instead of a phase code, and this may be integrated for each area.

【００３６】全ての図形演算子の処理が終了すると、最
後の出力結果合成処理１０４では、出力すべきデータグ
ループのすべてについて形態情報の整合を取ったり、境
界で切断された図形を接合するなどの境界接合処理を行
い、部分データをまとめて１個のデ−タにする。この方
法は上述の形態情報整合処理、境界マージン再設定処理
と同様の方法で実現できる。When the processing of all the graphic operators is completed, the final output result synthesizing processing 104 performs matching of the morphological information for all the data groups to be output or joining of the figures cut at the boundary. A boundary joining process is performed to combine the partial data into one piece of data. This method can be realized by the same method as the above-described morphological information matching processing and boundary margin resetting processing.

【００３７】次に、図１３（ａ）に示す図形演算シーク
エンスを例にとり、境界マージンの設定方法と各演算子
の処理方法の一例を具体的に説明する。行１３２１から
１３２７は図形演算式であり、左辺および右辺の図形演
算子のオペランドに現れるＬやｗｋ１は層の名称を表わ
す。例えば、図形演算式１３２１は層ＬにＯＲ演算子を
実行し、その結果層をｗｋ１と名付けることを意味して
いる。図１３（ａ）の図形演算シークエンスにおけるデ
ータの流れを図１３（ｂ）に示す。図１３（ｂ）に示し
た楕円１３０１から１３０９は図形データを表わし、長
方形１３１１から１３１７は図形演算子を表わし、矢印
はデータの流れを表わす。Next, an example of a method of setting a boundary margin and a method of processing each operator will be described in detail with reference to the graphic operation sequence shown in FIG. Lines 1321 to 1327 are graphic operation expressions, and L and wk1 appearing in the operands of the graphic operators on the left and right sides represent the names of the layers. For example, the graphic operation expression 1321 means that an OR operator is performed on the layer L, and the resulting layer is named wk1. FIG. 13B shows the flow of data in the graphic operation sequence of FIG. Ellipses 1301 to 1309 shown in FIG. 13B represent graphic data, rectangles 1311 to 1317 represent graphic operators, and arrows represent data flows.

【００３８】図１３の図形演算シークエンスは、Ｌ層
（１３０１）、ＣＯＮＴ層（１３０２）、及びＴＨ層
（１３０３）の３層を入力して７つの図形演算子（１３
１１から１３１７）を順に実行することにより、設計規
則違反データｅｒｒ１３０９を求めて出力する。図形デ
−タ（１３０４から１３０８）は中途結果である。図１
３の例では出力結果は１個のみであり、かつ、それは演
算シークエンスにおける最後の演算子の結果でもある
が、一般には、出力結果が複数個存在する場合もあり、
得られた出力結果を入力としてさらに演算を続けること
もできる。In the graphic operation sequence shown in FIG. 13, three layers of an L layer (1301), a CONT layer (1302), and a TH layer (1303) are input and seven graphic operators (13
11 to 1317) in order to obtain and output design rule violation data err1309. The graphic data (1304 to 1308) is an intermediate result. FIG.
In the example of 3, there is only one output result, which is also the result of the last operator in the operation sequence, but in general, there may be a plurality of output results,
The calculation can be further continued by using the obtained output result as an input.

【００３９】まず、図１３の図形演算シークエンスを例
として、分割時と各演算子における境界マージン幅の設
定方法を説明する。ただし、以下の説明では境界マージ
ン拡大処理は行わないとする。図１３（ａ）のシークエ
ンスにおいて、近傍考慮演算子はＳＰＡＣＥ演算子１３
２６のみである。先述のように近傍考慮演算子では、出
力データにおいて指定した寸法パラメタ（１３２６のＳ
ＰＡＣＥ演算子では２）の幅だけ境界マージン幅を縮小
しなければならない。一方、論理演算子や位相検証演算
子では演算処理において近傍考慮をしないので、境界マ
ージン再設定は不要である。デ−タ分割時および各図形
演算子の実行時に境界マージン幅を定める一般的な方法
は、図１３（ｂ）のようなデータの流れに対して、デー
タの流れを出力結果から入力デ−タに向かって逆に辿り
ながら近傍考慮演算子の寸法パラメタを積算する。図１
３（ｂ）の場合では、出力結果であるｅｒｒ１３０９の
境界マージン幅を０とし、データの流れの下流から順に
必要な境界マージン幅を示すと、ｗｋ５（１３０８）は
０、分岐を左に入ってｗｋ４（１３０７）は２、さらに
分岐を左に入ってｗｋ１（１３０４）は２、Ｌ（１３０
１）は２、ＣＯＶＥＲＥＤの分岐に戻ってｗｋ２（１３
０５）は２、ＣＯＮＴ（１３０２）は２、ＳＰＡＣＥの
分岐に戻ってｗｋ３（１３０６）は２、ＴＨ（１３０
３）は２となる。なお、シークエンスの中途で境界マー
ジン拡張処理を行う場合、その拡張幅は出力結果からそ
の演算子までの寸法パラメタの積算値とし、そこで積算
値を０としてさらにデータの流れをたどっていけば良
い。First, a method of setting a boundary margin width at the time of division and each operator will be described with reference to the graphic operation sequence of FIG. 13 as an example. However, in the following description, it is assumed that the boundary margin enlargement processing is not performed. In the sequence of FIG. 13A, the neighborhood consideration operator is a SPACE operator 13
26 only. As described above, in the neighborhood consideration operator, the dimension parameter (S326 of 1326) specified in the output data is used.
In the PACE operator, the boundary margin width must be reduced by the width of 2). On the other hand, since the neighborhood is not considered in the arithmetic processing in the logical operator and the phase verification operator, it is unnecessary to reset the boundary margin. A general method of determining the boundary margin width at the time of data division and execution of each graphic operator is as follows. For a data flow as shown in FIG. The dimension parameter of the neighborhood consideration operator is integrated while tracing back toward. FIG.
In the case of 3 (b), the boundary margin width of err1309, which is the output result, is set to 0, and the necessary boundary margin widths are shown in order from the downstream of the data flow, wk5 (1308) is 0, and the branch is on the left. wk4 (1307) is 2 and further on the left, wk1 (1304) is 2, L (130
1) returns to 2 and returns to the branch of COVERED, and wk2 (13
05) is 2, CONT (1302) is 2, wk3 (1306) is 2 and TH (130)
3) becomes 2. When the boundary margin expansion process is performed in the middle of the sequence, the expansion width is set to the integrated value of the dimension parameter from the output result to the operator, and the integrated value may be set to 0 and the data flow may be further followed.

【００４０】次に、本発明の分割統治法によって図１３
のシークエンスを処理する方法を具体的に説明する。境
界決定処理とデータ分割処理は既に述べた通りである。
分割時の境界マージン幅はシークエンスの中途で拡張せ
ず、Ｌ、ＣＯＮＴ、及びＴＨの境界マージン幅はいずれ
も２とする。ＯＲ演算子１３１１、１３１２の結果層ｗ
ｋ１、ｗｋ２は続いて実行されるＣＯＶＥＲＥＤ演算子
の入力となるため、図形番号整合処理が必要であり、す
でに説明した図６から８の方法で処理される。ＯＲ演算
子１３１３は形態情報整合及び境界マージン再設定処理
ともに不要である。ＣＯＶＥＲＥＤ演算子１３１４は境
界マージン再設定処理は不要であるが形態情報整合処理
は必要であり、すでに説明した図９から１２の方法で処
理される。ＳＥＬＥＣＴ演算子１３１５は、図形番号フ
ァイルｆｉｇ１で与えられた図形番号の図形のみをベク
トルファイルｗｋ１から抜き出す演算であり、境界マー
ジン再設定と携帯情報整合はいずれも不要である。続く
ＳＰＡＣＥ演算子１３１６では形態情報整合処理は不要
であるが、２だけの境界マージン縮小処理が必要であ
る。最後のＯＲ演算子１３１７では図形番号整合処理と
出力結果合成処理が必要であるが、その方法は既に述べ
た。Next, according to the divide-and-conquer method of the present invention, FIG.
A method for processing the sequence of will be specifically described. The boundary determination processing and the data division processing are as described above.
The boundary margin width at the time of division is not extended in the middle of the sequence, and the boundary margin width of L, CONT, and TH is all set to 2. Result layer w of OR operators 1311 and 1312
Since k1 and wk2 are inputs to the COVERED operator to be executed subsequently, graphic number matching processing is necessary, and the processing is performed by the method described above with reference to FIGS. The OR operator 1313 is unnecessary for both the configuration information matching and the boundary margin resetting processing. The COVERED operator 1314 does not need the boundary margin resetting processing, but does need the morphological information matching processing, and is processed by the method described above with reference to FIGS. The SELECT operator 1315 is an operation for extracting only the graphic having the graphic number given by the graphic number file fig1 from the vector file wk1, and neither the boundary margin reset nor the portable information matching is required. In the subsequent SPACE operator 1316, the morphological information matching processing is not required, but the boundary margin reduction processing of only 2 is required. The last OR operator 1317 requires a graphic number matching process and an output result synthesizing process, and the method has already been described.

【００４１】最後に、本発明の分割統治法によるパター
ンデータ処理方法を、複数の処理装置を用いて並列に実
行する一例を説明する。図１６は分割統治法による図形
演算処理を並列に行う装置の構成を示す。処理装置はグ
ローバル記憶装置１６０３が結合された１台のマスタ処
理装置１６０１とそれぞれにローカル記憶装置１６０４
が結合された複数台のスレーブ処理装置１６０２とから
構成される。それぞれの記憶装置は、メモリなどの揮発
性の記憶装置と磁気ディスクなどの不揮発性の記憶装置
の一方あるいは両方から構成される。各処理装置は通信
路１６０５を介して結合され、相互に通信が可能であ
る。図１６では、通信路１６０５はバスのように一本の
線という形状をとっているが、一般には格子結合、ある
いはハイパキューブ結合など任意の位相構造をとること
ができる。図１６に示した装置で、図１に示した分割統
治法に基づく本発明の図形演算処理を並列に実行する方
法を以下説明する。処理開始時には、入力データはグロ
ーバル記憶装置１６０３に格納されている。マスタ処理
装置１６０１は入力データを読み込んで境界決定処理１
０１を行い、各分割領域とスレーブ処理装置との対応を
決定する。続いてデータ分割処理１０２を行い、分割デ
ータは通信路１６０５を介してスレーブ処理装置１６０
２に送信され、ローカル記憶装置１６０４に格納され
る。次に、各スレーブ処理装置はローカル記憶装置に格
納された分割データを読み込んで、それぞれが並行して
分割図形演算処理を行う。境界処理１０６が不要の場合
には各スレーブ処理装置はそれぞれ独立に演算子の処理
を実行する。一方、境界処理が必要な場合には、各スレ
ーブ処理装置は境界情報取得処理１０５までを行い、得
られた境界情報をマスタ処理装置に転送する。マスタ処
理装置は受信した境界情報を用いて境界処理を行い、境
界処理の結果を各スレーブ処理装置に返送する。最後
に、各スレーブ処理装置は返送されてきた境界処理の結
果を用いて分割データの補正を行う。さらに具体的に説
明すると、論理演算子に対する境界処理では、各スレー
ブ処理装置は境界情報取得処理までを行ってその結果デ
ータのうち境界データ６０５のみをマスタ処理装置に送
信し、マスタ処理装置は図７に示した境界処理のうちス
テップ７０１から７０４までを行って図形番号変換表お
よび新境界データを該当するスレーブ処理装置に返送
し、最後に各スレーブ処理装置はステップ７０５から７
０８をそれぞれ並行して実行する。境界処理の有無にか
かわらず、分割図形に対する演算処理の結果である分割
データは、それぞれ対応するローカル記憶装置に格納さ
れる。全ての図形演算子の処理が終了したら、各スレー
ブ処理装置は出力すべき分割データをマスタ処理装置に
送信し、マスタ処理装置はこれを受け取って出力結果合
成処理１０４を行い、処理結果をグローバル記憶装置に
格納する。Finally, an example in which the pattern data processing method according to the divide-and-conquer method of the present invention is executed in parallel using a plurality of processing units will be described. FIG. 16 shows a configuration of an apparatus for performing graphic operation processing in parallel by the divide and conquer method. The processing device includes one master processing device 1601 to which the global storage device 1603 is connected and a local storage device 1604 respectively.
Are combined with a plurality of slave processing devices 1602. Each storage device includes one or both of a volatile storage device such as a memory and a nonvolatile storage device such as a magnetic disk. The processing devices are connected via a communication path 1605 and can communicate with each other. In FIG. 16, the communication path 1605 has a shape of a single line like a bus, but can generally have any phase structure such as lattice coupling or hypercube coupling. A method of executing the graphic operation processing of the present invention based on the divide-and-conquer method shown in FIG. 1 in parallel with the apparatus shown in FIG. 16 is described below. At the start of processing, input data is stored in the global storage device 1603. The master processing device 1601 reads the input data and performs the boundary determination processing 1
01 to determine the correspondence between each divided area and the slave processing device. Subsequently, data division processing 102 is performed, and the divided data is transmitted via the communication path 1605 to the slave processing device 160.
2 and stored in local storage 1604. Next, each slave processing device reads the divided data stored in the local storage device, and performs a divided figure calculation process in parallel with each other. When the boundary processing 106 is unnecessary, each slave processing device independently executes the processing of the operator. On the other hand, when the boundary processing is required, each slave processing device performs the processing up to the boundary information acquisition processing 105, and transfers the obtained boundary information to the master processing device. The master processing device performs boundary processing using the received boundary information, and returns a result of the boundary processing to each slave processing device. Finally, each slave processing device corrects the divided data using the returned boundary processing result. More specifically, in the boundary processing for the logical operator, each slave processing device performs processing up to boundary information acquisition processing, transmits only boundary data 605 of the result data to the master processing device, and the master processing device Steps 701 to 704 of the boundary processing shown in FIG. 7 are performed, and the graphic number conversion table and the new boundary data are returned to the corresponding slave processing apparatus.
08 are executed in parallel. Regardless of the presence or absence of the boundary processing, the divided data that is the result of the arithmetic processing on the divided graphic is stored in the corresponding local storage device. When the processing of all the graphic operators is completed, each slave processing device transmits the divided data to be output to the master processing device, and the master processing device receives the data and performs the output result synthesizing process 104, and stores the processing result in the global storage. Store in device.

【００４２】[0042]

【発明の効果】以上説明したように、本発明の半導体集
積回路のパターンデータ処理方法では、分割統治法によ
る図形演算処理の際、処理すべき図形演算シークエンス
に対するデータ分割及び結果データ合成はそれぞれシー
クエンスの入力データ及び出力結果についてのみ実行す
れば良く、分割統治法のオーバヘッドを低減でき、高速
な処理を実現できる。特に、複数処理装置を用いて並列
図形演算処理を行う場合、上記の高速化の効果は顕著で
ある。As described above, in the pattern data processing method for a semiconductor integrated circuit according to the present invention, in the graphic operation processing by the divide-and-conquer method, the data division and the resultant data synthesis for the graphic operation sequence to be processed are respectively performed in the sequence. Need only be executed for the input data and the output result, the overhead of the divide-and-conquer method can be reduced, and high-speed processing can be realized. In particular, when the parallel graphic arithmetic processing is performed using a plurality of processing devices, the above-described effect of the speeding up is remarkable.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図１】本発明の一実施例を示す図である。FIG. 1 is a diagram showing one embodiment of the present invention.

【図２】境界決定処理の詳細フローを示した図である。FIG. 2 is a diagram showing a detailed flow of a boundary determination process.

【図３】境界決定処理の処理内容を説明するための図で
ある。FIG. 3 is a diagram for explaining processing content of a boundary determination process;

【図４】境界マージン縮小処理の詳細フローを示した図
である。FIG. 4 is a diagram showing a detailed flow of a boundary margin reduction process.

【図５】境界マージン縮小処理の処理内容を説明するた
めの図である。FIG. 5 is a diagram for explaining processing contents of a boundary margin reduction processing;

【図６】境界マージン拡張処理のための境界情報取得処
理の詳細フローおよびその出力データを示した図であ
る。FIG. 6 is a diagram showing a detailed flow of boundary information acquisition processing for boundary margin expansion processing and output data thereof.

【図７】境界マージン拡張処理のための境界処理の詳細
フローを示した図である。FIG. 7 is a diagram showing a detailed flow of boundary processing for boundary margin expansion processing.

【図８】境界マージン拡張処理の処理を具体的に説明し
た図である。FIG. 8 is a diagram specifically illustrating a process of a boundary margin extension process.

【図９】位相検証演算のための境界情報取得処理の詳細
フローおよびその出力データを示した図である。FIG. 9 is a diagram showing a detailed flow of boundary information acquisition processing for a phase verification operation and output data thereof.

【図１０】位相検証演算のための境界処理の詳細フロー
を示した図である。FIG. 10 is a diagram showing a detailed flow of boundary processing for a phase verification operation.

【図１１】位相検証演算のための境界処理に使用される
テーブルの形式を示した図である。FIG. 11 is a diagram showing a format of a table used for boundary processing for a phase verification operation.

【図１２】位相検証演算のための境界情報取得処理およ
び境界処理を具体的に説明した図である。FIG. 12 is a diagram specifically illustrating a boundary information acquisition process and a boundary process for a phase verification operation.

【図１３】図形演算シークエンスの例を示した図であ
る。FIG. 13 is a diagram showing an example of a graphic operation sequence.

【図１４】図形演算における図形の表現形式を説明する
ための図である。FIG. 14 is a diagram for describing a graphic expression format in graphic calculation.

【図１５】図形演算子の処理内容を説明するための図で
ある。FIG. 15 is a diagram for explaining processing contents of a graphic operator;

【図１６】複数処理装置を用いた、本発明を実施するた
めの装置を示した図である。FIG. 16 is a diagram showing an apparatus for implementing the present invention using a plurality of processing apparatuses.

Claims (5)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項１】半導体集積回路のレイアウトパターンに対
し、電子計算機を用いて、図形演算子を組み合わせた図
形演算シークエンスを施す方法であって、 パターンデータを区分けして複数の部分領域を設定する
境界決定処理を行い、 前記境界決定処理により定められた境界に従って、各部
分領域に属するように入力パターンデータを分割して複
数の部分データからなるデータグループを生成するデー
タ分割処理を行い、 処理すべき図形演算シークエンスを構成する図形演算子
ごとに、入力となる前記データグループを構成する部分
データのおのおのについて図形演算を実行して部分結果
データを求めることにより図形演算結果データグループ
を構成し、 境界処理が必要な場合は図形演算実行時に境界処理に必
要な情報を抽出し、該情報 を用いて境界処理を実行して前記図形演算結果デ
ータグループを補正し、後続の図形演算子に前記図形演
算結果データグループを受け渡す分割図形演算処理を行
い、 出力すべきデータグループのおのおのに関し、前記デー
タグループを構成する各部分データを合成する出力結果
合成処理を行なう、ことを特徴とする半導体集積回路の
パターンデータ処理方法。The present invention relates to a layout pattern of a semiconductor integrated circuit.
A method of performing a graphic operation sequence combining graphic operators using an electronic computer , performing a boundary determination process of setting a plurality of partial regions by dividing the pattern data, and determining the boundary determination process. According to the boundary , the input pattern data is divided so as to belong to each partial area to generate a data group composed of a plurality of partial data, and a data division process is performed. For each of the graphic operators constituting the graphic operation sequence to be processed, A graphic operation is performed on each of the partial data constituting the input data group to obtain a partial result data, thereby forming a graphic operation result data group. If boundary processing is required, the boundary processing is performed at the time of performing the graphic operation. Necessary information is extracted, boundary processing is performed using the information , and the graphic operation result data group is extracted. The output result is obtained by performing a divided graphic operation process of correcting the loop and passing the graphic operation result data group to a subsequent graphic operator, and for each of the data groups to be output, combining the partial data constituting the data group. A pattern data processing method for a semiconductor integrated circuit , comprising: performing a synthesis process. 【請求項２】各図形についてその近傍図形を考慮する必
要のある図形演算子を含む図形演算シークエンスを処理
する際に、 前記境界決定処理において、与えられた境界マージン幅
だけ境界近傍で領域相互の重複を有するよう各部分領域
を拡張することを行い、 前記分割図形演算処理における境界処理において、 前記分割図形演算処理により不正確な境界近傍図形が生
成される場合に、境界マージン幅を縮小して領域をはみ
出る図形を除去し、 後続の図形演算子に必要とされる値よりも境界マージン
幅が小さい場合に、前記データグループを構成する各部
分データに関し隣接する領域の部分データから不足する
境界近傍図形を取得することにより境界マージン幅を拡
張する境界マージン再設定処理を行う、 ことを特徴とする請求項１記載の半導体集積回路のパタ
ーンデータ処理方法。2. When processing a graphic operation sequence including a graphic operator which needs to consider a neighboring graphic for each graphic, in the boundary determination processing, each of the regions in the vicinity of the boundary is given by a given boundary margin width. Extending each partial area so as to have an overlap, and in the boundary processing in the divided graphic operation processing, when an incorrect boundary vicinity graphic is generated by the divided graphic operation processing, the boundary margin width is reduced. removing the figure extending beyond the area, if the boundary margin width than the value required for the subsequent graphic operator is small, the boundary vicinity of the missing from the partial data of the adjacent regions for each partial data constituting the data group performing boundary margin resetting process to extend the boundary margin width by obtaining the figure, according to claim 1, wherein the Pattern <br/> Ndeta processing method of the conductor integrated circuit. 【請求項３】処理中の図形演算子が、面積値や位相情報
のように部分領域内のみでは正確に取得できない形態情
報に関係する場合、 前記分割図形演算処理における境界処理において、前記
データグループを構成する各部分データに関し境界近傍
図形を取り分け、前記近傍図形に前記部分領域内での形
態情報を付随させ、前記各部分データを用いて複数領域
にまたがって存在する図形に関する形態情報を合成し、
前記形態情報を用いて前記図形演算子の処理を完結する
形態情報整合処理を行う、ことを特徴とする請求項１ま
たは２記載の半導体集積回路のパターンデータ処理方
法。3. The graphic operator being processed is an area value or phase information.
When related to morphological information that cannot be accurately obtained only within the partial area as described above, in the boundary processing in the divided graphic operation processing, a boundary neighboring graphic is separated for each partial data constituting the data group, and Attach the morphological information in the partial area, synthesize the morphological information on the graphic existing over a plurality of areas using the respective partial data,
3. The pattern data processing method for a semiconductor integrated circuit according to claim 1, wherein a morphological information matching process for completing the processing of the graphic operator is performed using the morphological information. 【請求項４】前記各部分領域にそれぞれ別の処理装置を
割り当て、前記各部分領域に対応する分割データの処理
を並列に実行することを特徴とする請求項１乃至３のい
ずれかの請求項に記載の半導体集積回路のパターンデー
タ処理方法。4. The apparatus according to claim 1, wherein a different processing device is assigned to each of the partial areas, and processing of the divided data corresponding to each of the partial areas is performed in parallel. 3. The pattern data processing method for a semiconductor integrated circuit according to item 1. 【請求項５】電子計算機を用いて、図形パターンデータ
を複数の部分領域に分割し、該電子計算機内の複数の処
理装置のそれぞれに、前記各部分領域に分割された図形
パターンデータを割り当てて、図形演算子を組み合わせ
た図形演算シークエンスを施す方法であって、 前記電子計算機のマスタ処理装置が、入力された図形パ
ターンデータを区分けする複数の部分領域を設定する境
界決定処理を行い、 前記境界決定処理により定められた境界に従って、各部
分領域に属する図形パターンデータを分割して複数のデ
ータグループを生成するデータ分割処理を行い、 前記各データグループを前記複数の処理装置のそれぞれ
に割り当てて配分し、 前記複数の処理装置のそれぞれが、独立して、 前記図形演算シークエンスを構成する図形演算子ごと
に、前記割り当てられたデータグループを構成する部分
データのおのおのについて図形演算を実行して部 分結果
データを求めることにより図形演算結果データグループ
を構成し、 境界処理が必要な場合は前記図形演算実行時に境界情報
を抽出し、前記境界情報を用いて前記マスタ処理装置が
境界処理を実行して、その結果に基づいて対応する処理
装置が前記図形演算結果データグループを補正し、 後続の図形演算子に前記図形演算結果データグループを
受け渡す分割図形演算処理を行い、 前記各処理装置が分割図形演算処理を終了した前記図形
演算結果データグループを前記マスタ処理装置に転送
し、前記マスタ処理装置が前記各図形演算結果データグルー
プを構成する各部分データを合成する出力結果合成処理
を行なう、ことを特徴とする図形パターンデータ処理方
法。 5. A graphic pattern data using an electronic computer.
Is divided into a plurality of partial regions, and a plurality of processes in the computer are divided.
In each of the processing devices, a figure divided into the respective partial areas
Assign pattern data and combine graphic operators
A method for performing a graphic operation sequence according to claim 1, wherein the master processing device of the computer executes the input graphic processing.
Boundary for setting multiple sub-areas to separate turn data
Performs a boundary determination process, and determines each part according to the boundary determined by the boundary determination process.
Divided the pattern data belonging to the
Data division processing for generating data groups is performed, and each data group is divided into each of the plurality of processing devices.
And each of the plurality of processing devices independently operates for each of the graphic operators constituting the graphic operation sequence.
A portion constituting the allocated data group
Parts partial results running graphical operation for each of the data
By calculating the data, the figure operation result data group
And if boundary processing is required, the boundary information
Is extracted, and the master processing device uses the boundary information to
Performs boundary processing and performs the corresponding processing based on the result
The apparatus corrects the graphic operation result data group, and stores the graphic operation result data group in a subsequent graphic operator.
The divided graphic operation process to be transferred is performed, and each of the processing devices transfers the graphic operation result data group that has completed the divided graphic operation process to the master processing device.
Output result synthesis processing that synthesizes each partial data that composes the loop
Performing graphic pattern data processing
Law.