JP3184740U - 押圧装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】押圧装置3は、押圧対象物ASの押圧面AS1に押圧力を付与する押圧ローラ4と、押圧ローラ4に線接触または面接触する補助ローラ5と、補助ローラ5に線接触または面接触して押圧ローラ4の回転軸方向における押圧力を調整可能な圧力調整ローラ6A、6B、6Cとを備え、押圧ローラ4は、押圧対象物ASに対して弾性変形可能に設けられるとともに、補助ローラ5の押圧力によって撓み変形可能に設けられ、補助ローラ5は、押圧ローラ4が押圧面AS1に接触する回転軸方向長さよりも長い距離の間押圧ローラ4に接触するとともに、押圧ローラ4に対して弾性変形不能に設けられるとともに、圧力調整ローラ6A、6B、6Cの押圧力によって撓み変形可能に設けられている。
【選択図】図2
Description
特許文献1に記載の紙送り機構は、弾性部材が押圧ローラの長手方向の両端を弾性付勢することで押圧ローラを紙送りローラに圧接し、この圧接により生じる押圧ローラの撓みを矯正部材が矯正するように構成されている。
なお、本実施形態におけるX軸、Y軸、Z軸は、それぞれが直交する関係にあり、X軸およびY軸は、水平面内の軸とし、Z軸は、水平面に直交する軸とする。さらに、本実施形態では、Y軸と平行な図1の手前方向から観た場合を基準とし、方向を示した場合、「上」がZ軸の矢印方向で「下」がその逆方向、「左」がX軸の矢印方向で「右」がその逆方向、「前」がY軸の矢印方向で「後」がその逆方向とする。
補助ローラ5は、押圧ローラ4が押圧面AS1に接触する回転軸方向長さよりも長い距離の間押圧ローラ5に接触するとともに、圧力調整ローラ6の押圧力によって撓み変形可能に設けられている。
圧力調整部6は、補助ローラ5の回転軸方向に3体設けられ、駆動機器としての直動モータ61A〜61Cそれぞれの出力軸62A〜62Cに支持されたブラケット63A〜63Cと、各ブラケット63A〜63Cに回転軸60A〜60Cを介して回転可能に支持され、押圧ローラ4の回転軸方向における押圧力を調整可能な圧力調整ローラとしての第1〜第3圧力調整ローラ6A〜6Cと、押圧ローラ4および補助ローラ5の回転軸41、51を出力軸62D、62Eに支持された軸受63D、63Eで回転可能に支持する駆動機器としての直動モータ61D、61Eとを備えている。圧力調整ローラを補助ローラ5の回転軸方向に複数設けることで、接着シートASに対する押圧力を部分的に調整することができる。
なお、第1〜第3圧力調整ローラ6A〜6Cおよび押圧ローラ4は、磁石(永久磁石や電磁石)および当該磁石に磁着可能な例えば鉄を含むもの等のうち一方で構成され、補助ローラ5は他方で構成され、第1〜第3圧力調整ローラ6A〜6Cと補助ローラ5とが、補助ローラ5と押圧ローラ4とが、相互に磁着可能に設けられている。
これにより、第1〜第3圧力調整ローラ6A〜6Cは、押圧ローラ4に対し、接着シートAS方向(下方向)への力の付与と、接着シートAS方向の反対方向(上方向)への力の付与とが可能に設けられている。
先ず、オペレータが原反RSを図1に示すようにセットした後、図示しない操作パネル等を介して接着シートASを押圧する押圧力の設定値を入力し、運転開始の信号を入力する。すると、供給手段2が回動モータ24および図示しない駆動機器を駆動し、原反RSを繰り出す。そして、接着シートASの繰出方向先端部が剥離板23によって所定量剥離されたことが図示しない検知手段に検知されると、供給手段2が回動モータ24および図示しない駆動機器の駆動を停止し、スタンバイ状態となる。なお、押圧ローラ4の最下部と載置面76との間隔は、ウェハWFの厚みと接着シートASの厚みとを合わせた厚み以下に設定されている。
すなわち、第1ロードセル83Aが検知した第1押圧力を基にして圧力調整部6が直動モータ61Aを駆動し、当該第1押圧力が設定値と等しくなるように制御を行い、同様にして、第2、第3ロードセル83B、83Cが検知した第2、第3押圧力を基にして圧力調整部6が直動モータ61B、61Cを駆動し、これら第2、第3押圧力が設定値と等しくなるように制御を行う。
逆に、押圧力の設定値が押圧ローラ4の自重をかけてしまうと過多となってしまう場合、圧力調整部6は、直動モータ61D、61Eを駆動し、押圧ローラ4および補助ローラ5を上方へ付勢する。すると、押圧ローラ4と補助ローラ5との間の磁力が強い場合、押圧ローラ4の第1、第2端部43、44側が軸受64Dで支持されているため、何も支えがない中央部45が当該磁力によって上方向に撓んでしまう。
このように、中央部45が上方向に撓んでしまうと、当該中央部45は、弾性変形の限界を迎えて撓みが矯正されるものの、第1、第2端部43、44側の撓みは依然として矯正されず、当該中央部45の第3押圧力が第1、第2端部43、44の第1、第2押圧力と比べて不足する。
また、第1〜第3圧力調整ローラ6A〜6Cおよび押圧ローラ4と、補助ローラ5とを互いに異なる極性の磁石で構成し、第1〜第3圧力調整ローラ6A〜6Cが補助ローラ5および押圧ローラ4を磁着保持可能に構成してもよい。
さらに、第1〜第3圧力調整ローラ6A〜6Cは、接着シートAS方向の反対方向への力を付与する機能を有していなくてもよく、例えば、上記実施形態において、磁力により第1〜第3圧力調整ローラ6A〜6Cが補助ローラ5および押圧ローラ4を保持できない構成とし、接着シートAS方向の反対方向への力を付与できないようにしてもよい。
また、圧力調整ローラは、1個、2個または4個以上設けられてもよい。
さらに、剥離手段は、丸棒やローラ等で構成されてもよい。
また、付勢手段は、ゴムや樹脂等の弾性部材で構成されてもよい。
また、押圧力検知手段8は、設けなくてもよいし、第1〜第3検知手段8A〜8Cのうち1または2だけでもよい。
さらに、押圧力検知手段8は、1体、2体または4体以上でもよい。
また、押圧力検知手段8としては、第1〜第3ロードセル83A〜83Cに代えて圧力センサ、光学センサや撮像手段等の他の検知手段を採用してもよい。
さらに、押圧力検知手段8は、支持手段7の移動方向と平行なライン状の検知手段を外側テーブル71内に固定したものを採用してもよい。
また、フレーム状の部材を載置するテーブルを内側テーブル75を囲むように設け、フレーム状の部材に対してウェハWFを昇降させるようにしてもよい。この場合、接着シートASを介してウェハWFとフレーム状の部材とが一体化するようにシート貼付装置1が
構成される。
また、1のリニアモータのスライダで各ローラ81A〜81Cを支持する構成としてもよい。
さらに、移動手段は、支持手段7を停止させておいて押圧ローラ4、補助ローラ5および圧力調整部6を移動させてもよいし、押圧ローラ4、補助ローラ5および圧力調整部6と支持手段7との両方を移動させてもよい。
また、押圧装置3は、シート貼付装置1以外に塗布装置、検査装置等の他の装置に採用してもよい。塗布装置や検査装置の場合、塗布する塗布手段が被塗布物に対して付与する押圧力や、検査する検査手段が被検査物に対して付与する押圧力が均等にならないと、正確な塗布や検査ができないが、押圧装置3を塗布装置や検査装置に採用することで、被塗布物や被検査物に対する押圧力を均等にすることができ、正確な塗布や検査を行うことができる。
また、前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダおよびロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる(実施形態で例示したものと重複するものもある)。
4…押圧ローラ
5…補助ローラ
6A、6B、6C…第1、第2、第3圧力調整ローラ
AS…接着シート(押圧対象物)
Claims (1)
- 押圧対象物の押圧面に押圧力を付与する押圧ローラと、
前記押圧ローラに線接触または面接触する補助ローラと、
前記補助ローラに線接触または面接触して前記押圧ローラの回転軸方向における押圧力を調整可能な圧力調整ローラとを備え、
前記押圧ローラは、前記押圧対象物に対して弾性変形可能に設けられるとともに、前記補助ローラの押圧力によって撓み変形可能に設けられ、
前記補助ローラは、前記押圧ローラが前記押圧面に接触する回転軸方向長さよりも長い距離の間前記押圧ローラに接触するとともに、前記圧力調整ローラの押圧力によって撓み変形可能に設けられていることを特徴とする押圧装置。
Priority Applications (1)
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JP2013002442U JP3184740U (ja) | 2013-05-01 | 2013-05-01 | 押圧装置 |
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Publications (1)
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JP3184740U true JP3184740U (ja) | 2013-07-11 |
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Family Applications (1)
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2015191933A (ja) * | 2014-03-27 | 2015-11-02 | リンテック株式会社 | シート貼付装置および貼付方法 |
JP2022147971A (ja) * | 2021-03-24 | 2022-10-06 | 株式会社ウエーブ | 粘着テープの貼付方法および貼付装置 |
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2013
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JP2022147971A (ja) * | 2021-03-24 | 2022-10-06 | 株式会社ウエーブ | 粘着テープの貼付方法および貼付装置 |
JP7228922B2 (ja) | 2021-03-24 | 2023-02-27 | 株式会社ウエーブ | 粘着テープの貼付方法および貼付装置 |
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