JP3183290B1 - Plasma display panel and method of manufacturing the same - Google Patents

Abstract

【要約】 【課題】 青色蛍光体の発光強度低下および色度劣化の
少なく、かつ放電電圧の低いプラズマディスプレイパネ
ルおよびその製造方法を提供する。 【解決手段】 封着後に前面板１と背面板２の間の放電
空間に、水蒸気を導入する工程を設ける。An object of the present invention is to provide a plasma display panel in which a decrease in emission intensity and chromaticity of a blue phosphor is small and a discharge voltage is low, and a method of manufacturing the same. SOLUTION: A step of introducing steam into a discharge space between a front plate 1 and a back plate 2 after sealing is provided.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【０００１】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、文字または画像表
示用のカラーテレビジョン受像機やディスプレイ等に使
用するガス放電発光を利用したプラズマディスプレイパ
ネル（ＰＤＰ）およびその製造方法および製造装置に関
するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a plasma display panel (PDP) using gas discharge light emission for use in a color television receiver or display for displaying characters or images, and a method and apparatus for manufacturing the same. is there.

【０００２】[0002]

【従来の技術】以下では、従来のプラズマディスプレイ
パネルについて図面を参照しながら説明する。図９は交
流型（ＡＣ型）のプラズマディスプレイパネルの概略を
示す断面図である。2. Description of the Related Art A conventional plasma display panel will be described below with reference to the drawings. FIG. 9 is a cross-sectional view schematically showing an AC type (AC type) plasma display panel.

【０００３】図９において、４１は前面ガラス基板であ
り、この前面ガラス基板４１上に表示電極４２が形成さ
れている。さらに、表示電極４２は、誘電体ガラス層４
３及び酸化マグネシウム（ＭｇＯ）誘電体保護層４４に
より覆われている（例えば特開平５−３４２９９１号公
報参照）。In FIG. 9, reference numeral 41 denotes a front glass substrate, on which display electrodes 42 are formed. Further, the display electrode 42 is provided on the dielectric glass layer 4.
3 and a magnesium oxide (MgO) dielectric protection layer 44 (see, for example, JP-A-5-342991).

【０００４】また、４５は背面ガラス基板であり、この
背面ガラス基板４５上には、アドレス電極４６および隔
壁４７、蛍光体層（５０〜５２）が設けられており、４
９が放電ガスを封入する放電空間となっている。前記蛍
光体層はカラー表示のために、赤５０、緑５１、青５２
の３色の蛍光体層が順に配置されている。上記の各蛍光
体層（５０〜５２）は、放電によって発生する波長の短
い真空紫外線（波長１４７ｎｍ）により励起発光する。Reference numeral 45 denotes a rear glass substrate. On the rear glass substrate 45, address electrodes 46, partition walls 47, and phosphor layers (50 to 52) are provided.
Reference numeral 9 denotes a discharge space for filling a discharge gas. The phosphor layer has red 50, green 51, and blue 52 for color display.
Are arranged in order. Each of the phosphor layers (50 to 52) emits and emits light by vacuum ultraviolet rays (wavelength: 147 nm) having a short wavelength generated by discharge.

【０００５】蛍光体層５０〜５２を構成する蛍光体とし
ては、一般的に以下の材料が用いられている。The following materials are generally used as the phosphors constituting the phosphor layers 50 to 52.

【０００６】青色蛍光体： ＢａＭｇＡｌ₁₀Ｏ₁₇：Ｅｕ 緑色蛍光体： Ｚｎ₂ＳｉＯ₄：ＭｎまたはＢａＡｌ₁₂Ｏ
₁₉：Ｍｎ 赤色蛍光体： Ｙ₂Ｏ₃：Ｅｕまたは（Ｙ_xＧｄ_1-x）Ｂ
Ｏ₃：Ｅｕ 前面ガラス基板４１、背面ガラス基板４５および隔壁４
７で囲まれた放電空間内には放電ガスが封入されてい
る。放電ガスの組成としては、一般的にヘリウム［Ｈ
ｅ］とキセノン［Ｘｅ］の混合ガス系やネオン［Ｎｅ］
とキセノン［Ｘｅ］との混合ガス系が用いられており、
その封入圧力は、放電電圧を２５０Ｖ以下に抑えること
を考慮して、通常、１３．３ｋＰａ（１００Ｔｏｒｒ）
〜８０ｋＰａ（６００Ｔｏｒｒ）程度の範囲に設定され
ている。Blue phosphor: BaMgAl ₁₀ O ₁₇ : Eu Green phosphor: Zn ₂ SiO ₄ : Mn or BaAl ₁₂ O
_19: Mn Red phosphor: Y ₂ O _3: Eu or _{(Y x Gd 1-x)} B
O ₃ : Eu front glass substrate 41, rear glass substrate 45 and partition wall 4
A discharge gas is sealed in a discharge space surrounded by 7. The composition of the discharge gas is generally helium [H
e] and xenon [Xe] or neon [Ne]
And a mixed gas system of xenon [Xe] and
The sealing pressure is usually 13.3 kPa (100 Torr) in consideration of keeping the discharge voltage at 250 V or less.
The range is set to about 80 kPa (600 Torr).

【０００７】以下従来のＰＤＰの製造方法について説明
する。Hereinafter, a conventional PDP manufacturing method will be described.

【０００８】背面ガラス基板上に、銀からなるアドレス
電極を形成し、その上に誘電体ガラスからなる可視光反
射層と、ガラス製の隔壁を所定のピッチで作成する。An address electrode made of silver is formed on a rear glass substrate, and a visible light reflecting layer made of dielectric glass and a partition made of glass are formed on the address electrode made of silver at a predetermined pitch.

【０００９】これらの隔壁に挟まれた各空間内に、赤色
蛍光体，緑色蛍光体，青色蛍光体を含む各色蛍光体ペー
ストをそれぞれ配設することによって蛍光体層を形成
し、形成後５００℃程度で蛍光体層を焼成し、ペースト
内の樹脂成分等を除去する（蛍光体焼成工程）。A phosphor layer is formed by disposing a phosphor paste of each color including a red phosphor, a green phosphor, and a blue phosphor in each space interposed between these partition walls, and after forming, a phosphor layer is formed at 500 ° C. The phosphor layer is baked to a degree to remove resin components and the like in the paste (phosphor baking step).

【００１０】蛍光体焼成後、背面板の周囲に前面板との
封着用シール材として低融点ガラスペーストを塗布し、
低融点ガラスペースト内の樹脂成分等を除去するために
３５０℃程度で仮焼する（低融点ガラスペースト仮焼工
程）。After firing the phosphor, a low-melting glass paste is applied around the rear plate as a sealing material for sealing with the front plate,
In order to remove the resin component and the like in the low melting point glass paste, it is calcined at about 350 ° C. (low melting point glass paste calcining step).

【００１１】その後、表示電極、誘電体ガラス層および
保護層を順次形成した前面板と、前記背面板を隔壁を介
して表示電極とアドレス電極が直交するよう対向配置
し、４５０℃程度で焼成し、低融点ガラスによって、周
囲を密封する（封着工程）。Thereafter, the front plate on which the display electrode, the dielectric glass layer and the protective layer are sequentially formed, and the rear plate are arranged so as to face each other with the display electrode and the address electrode interposed at right angles via a partition, and baked at about 450 ° C. The surroundings are sealed with low melting point glass (sealing step).

【００１２】その後、３５０℃程度まで加熱しながらパ
ネル内を排気し（排気工程）、終了後に放電ガスを所定
の圧力だけ導入する。Thereafter, the inside of the panel is evacuated while being heated to about 350 ° C. (evacuation step), and after completion, a discharge gas is introduced at a predetermined pressure.

【００１３】ＰＤＰの発光原理は基本的に蛍光灯と同様
であって、電極に印可してグロー放電を発生させること
によりＸｅから紫外線を発生し、蛍光体を励起発光させ
る。The principle of light emission of a PDP is basically the same as that of a fluorescent lamp. By applying glow discharge to an electrode to generate ultraviolet rays from Xe, the phosphor is excited and emits light.

【００１４】[0014]

【発明が解決しようとする課題】このような背景のもと
で、ＰＤＰでは、発光効率を向上させて高輝度を実現さ
せると共に放電電圧を低く抑える技術が望まれている。Under such a background, there is a demand for a technique for a PDP which improves luminous efficiency to realize high luminance and suppresses a discharge voltage.

【００１５】また、ＰＤＰを製造する封着工程におい
て、使用している蛍光体が熱劣化するという問題があ
り、特に青色蛍光体の劣化が大きった。これは青色蛍光
体として使用しているＢａＭｇＡｌ₁₀Ｏ₁₇：Ｅｕが封着
工程で水蒸気と反応し、発光強度低下ならびに発光色度
の劣化を起こす原因となっていると考えられている。こ
れを防止するためには、封着時の雰囲気を乾燥雰囲気に
することが有効である。[0015] Further, in the sealing step of manufacturing a PDP, there is a problem that the phosphor used is thermally degraded, and the degradation of the blue phosphor is particularly large. It is considered that this is because BaMgAl ₁₀ O ₁₇ : Eu used as a blue phosphor reacts with water vapor in the sealing step, causing a decrease in emission intensity and deterioration of emission chromaticity. To prevent this, it is effective to set the atmosphere at the time of sealing to a dry atmosphere.

【００１６】しかし一方、放電電圧は、封着時の雰囲気
を乾燥化するに従って高くなるという課題がある。On the other hand, however, there is a problem that the discharge voltage becomes higher as the atmosphere at the time of sealing is dried.

【００１７】そこで本願発明は、このような問題に鑑
み、パネルの製造工程に必要な封着工程を通しても、蛍
光体の熱劣化がほとんど発生せず、かつ放電電圧の低い
プラズマディスプレイパネルを提供することを目的とす
るものである。In view of the above problems, the present invention provides a plasma display panel which hardly undergoes thermal deterioration of a phosphor and has a low discharge voltage even through a sealing step required for a panel manufacturing process. The purpose is to do so.

【００１８】[0018]

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明のプラズマディスプレイパネルの製造方法
は、少なくとも一方に蛍光体を配設した前面基板および
背面基板を、両基板の間に内部空間が形成されるように
重ね合わせて封着する封着工程を有するプラズマディス
プレイパネルの製造方法であって、前記封着工程後に、
前記内部空間に水蒸気を導入する工程を設けることを特
徴とする。In order to achieve the above object, a method for manufacturing a plasma display panel according to the present invention comprises a front substrate and a rear substrate, each having at least one phosphor provided thereon, and an internal space between the substrates. A method for manufacturing a plasma display panel having a sealing step of overlapping and sealing so that is formed, after the sealing step,
A step of introducing steam into the internal space is provided.

【００１９】前記構成において、前記封着工程後に、１
００℃以上、３５０℃以下の温度までプラズマディスプ
レイパネル加熱して、前記内部空間に水蒸気を導入する
工程を設けることが好ましい。In the above structure, after the sealing step, 1
It is preferable to provide a step of heating the plasma display panel to a temperature of not less than 00 ° C. and not more than 350 ° C. to introduce water vapor into the internal space.

【００２０】また、前記封着工程後に、前記内部空間に
少なくとも水蒸気を含むガスを流す工程を設けることが
好ましい。Preferably, after the sealing step, a step of flowing a gas containing at least water vapor into the internal space is provided.

【００２１】また、前記封着工程後に、少なくとも水蒸
気を含むガス雰囲気中に前記プラズマディスプレイパネ
ルをさらす工程を設けることが好ましい。Preferably, after the sealing step, a step of exposing the plasma display panel to a gas atmosphere containing at least water vapor is provided.

【００２２】また、前記内部空間に水蒸気を導入し、前
記内部空間の水蒸気分圧を１．３ｋＰａ（１０Ｔｏｒ
ｒ）以上とすることが好ましい。Water vapor is introduced into the internal space, and the partial pressure of water vapor in the internal space is set to 1.3 kPa (10 Torr).
r) or more is preferable.

【００２３】さらに、本発明のプラズマディスプレイパ
ネルの製造方法は、少なくとも一方に蛍光体を配設した
前面基板および背面基板を、両基板の間に内部空間が形
成されるように重ね合わせて封着する封着工程を有する
プラズマディスプレイパネルの製造方法であって、前記
封着工程は、プラズマディスプレイパネルをピーク温度
まで加熱後の温度降下時に、前記内部空間に水蒸気を導
入することを特徴とする。Further, in the method of manufacturing a plasma display panel according to the present invention, a front substrate and a rear substrate, each having a phosphor disposed on at least one of them, are overlapped and sealed so that an internal space is formed between the two substrates. A method of manufacturing a plasma display panel having a sealing step, wherein the sealing step introduces water vapor into the internal space when the temperature of the plasma display panel decreases after heating to a peak temperature.

【００２４】前記構成において、プラズマディスプレイ
パネルをピーク温度まで加熱後に、３５０℃以下の温度
まで降下後に、前記内部空間に水蒸気を導入することが
好ましい。In the above structure, it is preferable to introduce water vapor into the internal space after heating the plasma display panel to a peak temperature and then lowering the temperature to 350 ° C. or lower.

【００２５】また、前記封着工程は、プラズマディスプ
レイパネルをピーク温度まで加熱後の温度降下時に、前
記内部空間に少なくとも水蒸気を含むガスを流すことが
好ましい。In the sealing step, it is preferable that a gas containing at least water vapor is allowed to flow into the internal space when the temperature of the plasma display panel is decreased after heating to a peak temperature.

【００２６】また、前記封着工程は、プラズマディスプ
レイパネルをピーク温度まで加熱後の温度降下時に、前
記プラズマディスプレイパネルの周囲の雰囲気を少なく
とも水蒸気を含むガスで満たすことが好ましい。In the sealing step, it is preferable that the atmosphere around the plasma display panel is filled with a gas containing at least water vapor when the temperature of the plasma display panel drops to a peak temperature after heating.

【００２７】また、前記封着工程は、少なくともプラズ
マディスプレイパネルをピーク温度に加熱するまでは、
前記内部空間に乾燥ガスを導入することが好ましい。In the sealing step, at least until the plasma display panel is heated to a peak temperature.
Preferably, a dry gas is introduced into the internal space.

【００２８】さらに、前記内部空間に水蒸気を導入し、
前記内部空間の水蒸気分圧を１．３ｋＰａ（１０Ｔｏｒ
ｒ）以上とすることが好ましい。Further, steam is introduced into the internal space,
The partial pressure of water vapor in the internal space is set to 1.3 kPa (10 Torr).
r) or more is preferable.

【００２９】[0029]

【発明の実施の形態】（実施の形態１）以下、本発明の
実施の形態１におけるプラズマディスプレイパネルの製
造方法について説明する。図８は、本発明の一実施の形
態における交流面放電型プラズマディスプレイパネルの
概略を示す断面図である。図８では、セルが１つだけ示
されているが、赤、緑、青の各色を発光するセルが多数
配列されてＰＤＰが構成されている。Embodiment 1 Hereinafter, a method for manufacturing a plasma display panel according to Embodiment 1 of the present invention will be described. FIG. 8 is a sectional view schematically showing an AC surface discharge type plasma display panel according to one embodiment of the present invention. Although only one cell is shown in FIG. 8, a PDP is configured by arranging a large number of cells that emit red, green, and blue light.

【００３０】このＰＤＰは、前面ガラス基板２１上に表
示電極２２と誘電体ガラス層２３、保護層（ＭｇＯ）２
４が配された前面板と、背面ガラス基板２５上にアドレ
ス電極２６、可視光反射層２７、隔壁２８および蛍光体
層２９が配された背面板とを張り合わせ、前面板と背面
板間に形成される放電空間内に放電ガスが封入された構
成となっている。This PDP comprises a display electrode 22, a dielectric glass layer 23, and a protective layer (MgO) 2 on a front glass substrate 21.
4 and a back plate on which an address electrode 26, a visible light reflection layer 27, a partition wall 28 and a phosphor layer 29 are disposed on a back glass substrate 25, and formed between the front plate and the back plate. A discharge gas is sealed in a discharge space to be discharged.

【００３１】蛍光体層を構成する蛍光体材料の組成とし
ては、一般的にＰＤＰの蛍光体層に使用されているもの
を用いることができる。その具体例としては、 青色蛍光体： ＢａＭｇＡｌ₁₀Ｏ₁₇：Ｅｕ 緑色蛍光体： Ｚｎ₂ＳｉＯ₄：Ｍｎ 赤色蛍光体： （Ｙ、Ｇｄ）ＢＯ₃：Ｅｕ を挙げることができる。As the composition of the phosphor material constituting the phosphor layer, those generally used for the phosphor layer of PDP can be used. Specific examples thereof include blue phosphor: BaMgAl ₁₀ O ₁₇ : Eu green phosphor: Zn ₂ SiO ₄ : Mn red phosphor: (Y, Gd) BO ₃ : Eu.

【００３２】図２および図３に、使用した青色蛍光体
（ＢａＭｇＡｌ₁₀Ｏ₁₇：Ｅｕ）を、空気中でピーク温度
が４５０℃、２０分で焼成した場合の、空気の水蒸気分
圧を変えた時の、相対発光強度ならびに色度座標ｙの、
水蒸気分圧依存性の測定結果をそれぞれ示す。相対発光
強度は、焼成前の青色蛍光体の発光強度を１００とす
る。また焼成前の青色蛍光体の色度座標ｙは、０．０５
２であった。FIG. 2 and FIG. 3 show that when the used blue phosphor (BaMgAl ₁₀ O ₁₇ : Eu) was calcined in air at a peak temperature of 450 ° C. for 20 minutes, the water vapor partial pressure of air was changed. The relative emission intensity and chromaticity coordinate y
The measurement results of the water vapor partial pressure dependency are shown respectively. The relative emission intensity is set to 100 as the emission intensity of the blue phosphor before firing. The chromaticity coordinate y of the blue phosphor before firing is 0.05
It was 2.

【００３３】水蒸気分圧が０Ｐａ（０Ｔｏｒｒ）付近で
は、加熱による発光強度の熱劣化ならびに色度変化は全
く見られなかったが、水蒸気分圧の増加とともに相対発
光強度は弱くなり、色度座標ｙは大きくなった。青色蛍
光体の色度ｙが大きくなるとパネルの色再現域が狭まる
という問題やパネルの色温度が低くなるという問題が発
生する。When the partial pressure of water vapor was around 0 Pa (0 Torr), no thermal degradation of luminescence intensity and no change in chromaticity were observed at all, but the relative luminescence intensity became weaker as the partial pressure of water vapor increased. Has grown. As the chromaticity y of the blue phosphor increases, the color reproduction range of the panel becomes narrower and the color temperature of the panel lowers.

【００３４】従来、青色蛍光体（ＢａＭｇＡｌ₁₀Ｏ₁₇：
Ｅｕ）を加熱して発光強度が劣化したり、色度ｙが大き
くなる原因としては、付活剤Ｅｕ²⁺イオンが加熱により
酸化されＥｕ³⁺イオンになるためと考えられている。し
かし、前記水蒸気分圧依存性の測定の結果、これらの劣
化は雰囲気（例えば空気）中の酸素と反応するＥｕ²⁺イ
オンの酸化ではなく、雰囲気中の水蒸気に起因した熱劣
化と考えられる。すなわち、雰囲気中の水蒸気分圧を減
少させることによって、青色蛍光体（ＢａＭｇＡｌ₁₀Ｏ
₁₇：Ｅｕ）の加熱による熱劣化を防止することが可能で
あることが判明した。Conventionally, a blue phosphor (BaMgAl ₁₀ O ₁₇ :
It is considered that the reason why the emission intensity is deteriorated by heating Eu) or the chromaticity y is increased is that the activator Eu ²⁺ ions are oxidized by heating to become Eu ³⁺ ions. However, as a result of the measurement of the partial pressure of water vapor, it is considered that these deteriorations are not caused by oxidation of Eu ²⁺ ions reacting with oxygen in the atmosphere (for example, air), but are caused by heat deterioration caused by water vapor in the atmosphere. That is, by reducing the partial pressure of water vapor in the atmosphere, the blue phosphor (BaMgAl ₁₀ O
₁₇ : It was found that thermal degradation due to heating of Eu) could be prevented.

【００３５】プラズマディスプレイパネルの製造工程を
考慮した場合、蛍光体焼成工程や低融点ガラスペースト
仮焼工程よりも、前面板と背面板を封着する封着工程
が、隔壁等に仕切られた狭い空間にガスが閉じこめられ
るために、加熱時に前面板上の保護層（Ｍｇ０）や背面
板に形成された蛍光体層、あるいは封着用低融点ガラス
ペーストから放出された水蒸気を含むガスの影響を大き
く受けるものと考えられ、封着時の雰囲気を乾燥雰囲気
にすることが重要である。In consideration of the manufacturing process of the plasma display panel, the sealing step of sealing the front plate and the back plate is narrower than that of the phosphor baking step or the low-melting glass paste calcining step by partitioning the partition wall or the like. Since the gas is confined in the space, the influence of the gas containing water vapor released from the protective layer (Mg0) on the front plate, the phosphor layer formed on the back plate, or the low melting point glass paste for sealing during heating is greatly increased. Therefore, it is important that the atmosphere at the time of sealing be a dry atmosphere.

【００３６】しかし、一方放電電圧に関しては、封着時
の雰囲気を乾燥雰囲気にするほど（すなわち青色蛍光体
の劣化を防止するほど）、放電電圧が高くなる傾向にあ
る。図４に封着時のパネル内の水蒸気分圧を変えて作製
したＰＤＰの青色発光強度および放電電圧を示す。ここ
で放電電圧とはＰＤＰを白色表示で全面点灯させるため
に必要な最小電圧とする。On the other hand, as for the discharge voltage, the discharge voltage tends to increase as the atmosphere at the time of sealing is changed to a dry atmosphere (ie, the deterioration of the blue phosphor is prevented). FIG. 4 shows the blue light emission intensity and the discharge voltage of a PDP manufactured by changing the partial pressure of water vapor in the panel at the time of sealing. Here, the discharge voltage is a minimum voltage necessary for lighting the PDP in white display on the entire surface.

【００３７】これは逆に、封着後のＰＤＰ内での残留水
分を多くする程、放電電圧を低下させることが可能とな
る。On the contrary, the discharge voltage can be reduced as the residual moisture in the PDP after sealing increases.

【００３８】そこで、封着時の青色蛍光体の劣化を抑え
ながら、放電電圧を下げるための本実施の形態における
製造方法について図１に基づいて説明する。Therefore, a manufacturing method in this embodiment for lowering the discharge voltage while suppressing deterioration of the blue phosphor at the time of sealing will be described with reference to FIG.

【００３９】封着した前面板１および背面板２からなる
パネルを、封着後に加熱炉３内に設置した。背面板２に
は、排気管を兼ねたガラス管４が少なくとも２本設けら
れている。ガラス管４aからは、乾燥空気ボンベ５ａ、
５ｂ、流量コントローラ６ａ、６ｂおよび水のバブリン
グ装置７により、水蒸気分圧を調整された水蒸気を含む
空気がパネル内に導入され、ガラス管４ｂを通して排出
される。The panel comprising the sealed front plate 1 and back plate 2 was placed in the heating furnace 3 after sealing. The rear plate 2 is provided with at least two glass tubes 4 also serving as exhaust pipes. From the glass tube 4a, a dry air cylinder 5a,
By 5b, the flow controllers 6a and 6b and the water bubbling device 7, air containing water vapor whose vapor partial pressure is adjusted is introduced into the panel and discharged through the glass tube 4b.

【００４０】このパネルを加熱炉により、水蒸気を含む
空気をパネル内に流した状態で、一定の温度まで加熱し
た。The panel was heated to a certain temperature by a heating furnace while air containing water vapor was flowing into the panel.

【００４１】放電電圧は、パネルを加熱せずに水蒸気を
含む空気をパネル内に流すだけでも低下したが、パネル
を１００℃以上に加熱することで効果が顕著になり、高
い温度で加熱するほど放電電圧の低下が大きくなる傾向
であった。しかし、一方で、加熱温度が高すぎると青色
蛍光体と水蒸気が反応し、青色蛍光体が劣化する。図５
にバブリング装置７を通して水蒸気を含む空気中で青色
蛍光体を焼成したときの発光強度の加熱温度依存性を示
す。図５からわかるように、この工程では、青色蛍光体
の劣化が顕著にならないように３５０℃以下で加熱する
ことが好ましい。Although the discharge voltage was reduced only by flowing air containing water vapor into the panel without heating the panel, the effect became remarkable when the panel was heated to 100 ° C. or higher. The discharge voltage tended to decrease. However, on the other hand, if the heating temperature is too high, the blue phosphor reacts with water vapor to deteriorate the blue phosphor. FIG.
The heating temperature dependence of the emission intensity when the blue phosphor is fired in the air containing water vapor through the bubbling device 7 is shown in FIG. As can be seen from FIG. 5, in this step, the heating is preferably performed at 350 ° C. or lower so that the blue phosphor is not significantly deteriorated.

【００４２】また、水蒸気を含む空気中の水蒸気分圧は
１．３ｋＰａ（１０Ｔｏｒｒ）以上で放電電圧の低下が
顕著になった。When the partial pressure of water vapor in the air containing water vapor was 1.3 kPa (10 Torr) or more, the discharge voltage was significantly reduced.

【００４３】なお、本実施の形態では、ガラス管４を通
して強制的にＰＤＰ内に水蒸気を導入したが、ＰＤＰの
周囲の雰囲気（本実施の形態の場合加熱炉３内の雰囲
気）を、水蒸気を含むガス雰囲気にすることでも、効果
があった。これはＰＤＰの周囲の雰囲気中の水蒸気がガ
ラス管４を通してＰＤＰ内部のガスと自然置換し、ＰＤ
Ｐ内部に入るためと考えられる。ただしこの場合、十分
に置換させるために、強制的にＰＤＰ内に水蒸気を導入
する場合に比較して時間が長く必要であった。In the present embodiment, the steam is forcibly introduced into the PDP through the glass tube 4. However, the atmosphere around the PDP (in this embodiment, the atmosphere in the heating furnace 3) is changed to the steam. There was also an effect when the gas atmosphere was used. This is because the water vapor in the atmosphere around the PDP naturally replaces the gas inside the PDP through the glass tube 4,
It is considered to enter P. However, in this case, a longer time was required for sufficient replacement than in the case where steam was forcibly introduced into the PDP.

【００４４】ＰＤＰ内に水蒸気を導入する本工程完了
後、ガラス管４からＰＤＰ内を排気し、その後放電ガス
を導入し、ガラス管を封止することでパネルを完成させ
た。After the completion of this step of introducing water vapor into the PDP, the inside of the PDP was evacuated from the glass tube 4 and then a discharge gas was introduced to seal the glass tube to complete the panel.

【００４５】なお、前記排気工程においても、ＰＤＰ内
に導入された水蒸気の一部はＭｇＯ等に吸着しＰＤＰ内
に残るために、放電電圧低下といったその後の放電特性
に影響を与えるものと考えられる。In the evacuation step, a part of the water vapor introduced into the PDP is adsorbed by MgO or the like and remains in the PDP. .

【００４６】（実施の形態２）次ぎに本発明の実施の形
態２におけるプラズマディスプレイパネルの製造方法に
ついて図６に基づいて説明する。(Embodiment 2) Next, a method of manufacturing a plasma display panel according to Embodiment 2 of the present invention will be described with reference to FIG.

【００４７】封着前の前面板８および背面板９を張り合
わせたパネルを封着炉１５内に設置した。背板９には、
排気管を兼ねたガラス管１０が少なくとも２本設けられ
ている。ガラス管１０aには、乾燥空気ボンベ１１ａ、
１１ｂ、流量コントローラ１２ａ、１２ｂ、バルブ１３
ａ、１３ｂおよび水のバブリング装置１４が接続されて
おり、バルブ１３の切替で、乾燥空気あるいは水蒸気分
圧を調整された水蒸気を含む空気がパネル内に導入でき
るようになっており、ガラス管１０ｂを通して排出され
る。A panel in which the front plate 8 and the back plate 9 before sealing were attached to each other was set in a sealing furnace 15. On the backboard 9,
At least two glass tubes 10 serving as an exhaust pipe are provided. In the glass tube 10a, a dry air cylinder 11a,
11b, flow controllers 12a, 12b, valve 13
a, 13 b and a water bubbling device 14 are connected, and by switching the valve 13, dry air or air containing steam having a regulated partial pressure of steam can be introduced into the panel, and the glass tube 10 b Is discharged through.

【００４８】図７に本実施の形態における封着時の加熱
温度プロファイルを示す。本実施の形態では、加熱開始
時（図中Ａ）からＰＤＰ内に乾燥ガスを導入し、加熱ピ
ーク温度（図中Ｂ）を過ぎ、温度降下途中（図中Ｃ）ま
で乾燥ガスを流し続けることで、封着時の青色蛍光体の
劣化を防止した。その後温度降下途中（図中Ｃ）から
は、バルブ１３によりガス経路を切り替えて、水のバブ
リング装置１４を通して水蒸気を含む空気を、封着終了
時までパネル内に導入した。FIG. 7 shows a heating temperature profile at the time of sealing in this embodiment. In the present embodiment, the drying gas is introduced into the PDP from the start of heating (A in the figure), and the drying gas continues to flow through the heating peak temperature (B in the figure) and during the temperature drop (C in the figure). Thus, deterioration of the blue phosphor at the time of sealing was prevented. Thereafter, while the temperature was falling (C in the figure), the gas path was switched by the valve 13 and air containing water vapor was introduced into the panel through the water bubbling device 14 until the sealing was completed.

【００４９】水蒸気を含む空気を、パネル内に導入する
タイミング（図中Ｃ）は、実施の形態１と同じ理由か
ら、１００℃以上、３５０℃以下が好ましかった。The timing (C in the figure) for introducing the air containing water vapor into the panel is preferably 100 ° C. or more and 350 ° C. or less for the same reason as in the first embodiment.

【００５０】また、水蒸気を含む空気中の水蒸気分圧は
１．３ｋＰａ（１０Ｔｏｒｒ）以上で放電電圧の低下が
顕著になった。When the partial pressure of water vapor in the air containing water vapor was 1.3 kPa (10 Torr) or more, the discharge voltage was significantly reduced.

【００５１】なお、本実施の形態２では、水蒸気を含む
空気をパネル内に導入する前までは乾燥空気を導入する
ことで、青色発光特性向上と放電電圧低下を同時に実現
したが、乾燥空気を導入しない場合には、従来の青色の
発光特性並であるが、放電電圧の低下には効果があっ
た。In the second embodiment, the blue light emission characteristics are improved and the discharge voltage is reduced at the same time by introducing dry air before introducing the air containing water vapor into the panel. When it is not introduced, although the emission characteristics are similar to those of the conventional blue light emission characteristics, it was effective in lowering the discharge voltage.

【００５２】これは本実施の形態１でも同様であった。This is the same in the first embodiment.

【００５３】さらに、本実施の形態では、ガラス管１０
を通して強制的にＰＤＰ内に水蒸気を導入したが、ＰＤ
Ｐの周囲の雰囲気（本実施の形態の場合封着炉１５内の
雰囲気）を、温度降下途中（図中Ｃ）から水蒸気を含む
ガス雰囲気にすることでも効果があった。これはＰＤＰ
の周囲の雰囲気中の水蒸気がガラス管１０を通してＰＤ
Ｐ内部のガスと自然置換し、ＰＤＰ内部に入るためと考
えられる。ただしこの場合、十分に置換させるために、
強制的にＰＤＰ内に水蒸気を導入する場合に比較して時
間が長く必要であった。Further, in the present embodiment, the glass tube 10
Water vapor was forcibly introduced into the PDP through the
It was also effective to change the atmosphere around P (the atmosphere in the sealing furnace 15 in the present embodiment) to a gas atmosphere containing water vapor during the temperature drop (C in the figure). This is PDP
Vapor in the atmosphere around the PD
It is considered that the gas naturally substitutes for the gas inside P and enters the inside of the PDP. However, in this case, in order to have sufficient replacement,
A longer time was required than in the case where steam was forcibly introduced into the PDP.

【００５４】封着完了後、ガラス管１０からＰＤＰ内を
排気し、その後放電ガスを導入し、ガラス管を封止する
ことでパネルを完成させた。After the sealing was completed, the inside of the PDP was evacuated from the glass tube 10, and then a discharge gas was introduced to seal the glass tube to complete the panel.

【００５５】なお、ＰＤＰで多く用いられているＢａＭ
ｇＡｌ₁₀Ｏ₁₇：Ｅｕ、Ｚｎ₂ＳｉＯ₄：Ｍｎや（Ｙ、Ｇ
ｄ）ＢＯ₃：Ｅｕ等の酸化物系の蛍光体は、無酸素の雰
囲気中で加熱すると多少酸素欠陥が形成され発光効率が
低下する場合がある。したがって本封着工程で用いるガ
スは、少なくとも酸素が含まれていることが望ましい。It should be noted that BaM which is often used in PDPs
gAl ₁₀ O ₁₇ : Eu, Zn ₂ SiO ₄ : Mn or (Y, G
d) When an oxide-based phosphor such as BO ₃ : Eu is heated in an oxygen-free atmosphere, some oxygen vacancies are formed and the luminous efficiency may be reduced. Therefore, it is desirable that the gas used in the sealing step contains at least oxygen.

【００５６】（実施例）(Example)

【００５７】[0057]

【表１】 [Table 1]

【００５８】パネル番号１〜４のＰＤＰは、前記実施の
形態１に基づいて作製した実施例に係わるＰＤＰであ
り、封着工程後に、内部空間に水蒸気を導入した後のパ
ネル加熱温度を変えたＰＤＰである。The PDPs of panel numbers 1 to 4 are PDPs according to the examples manufactured based on the first embodiment, and after the sealing step, the panel heating temperature after introducing steam into the internal space was changed. PDP.

【００５９】また、パネル番号５〜７のＰＤＰは、前記
実施の形態２に基づいて作製した実施例に係るＰＤＰで
あり、パネル内へ導入するガスを、乾燥ガスから水蒸気
を含むガスに切り替える温度（図７におけるＣ）を変え
たＰＤＰである。The PDPs of panel numbers 5 to 7 are PDPs according to the examples manufactured based on the second embodiment, and have a temperature at which the gas introduced into the panel is switched from a dry gas to a gas containing water vapor. (P in FIG. 7).

【００６０】さらに、パネル番号８のＰＤＰは、前記実
施の形態２において、水蒸気を含む空気をパネル内に導
入せずに、封着開始から終了時までパネル内に乾燥空気
を流したパネルであり、パネル番号９のＰＤＰは、比較
例に係る従来例のＰＤＰである。Further, the PDP of panel number 8 is a panel in which dry air is flowed in the panel from the start to the end of sealing without introducing air containing water vapor into the panel in the second embodiment. The PDP of panel number 9 is the PDP of the conventional example according to the comparative example.

【００６１】パネルは４２”サイズである。The panels are 42 "size.

【００６２】なお、実施の形態１および２（パネル番号
１から７）においてパネル内へ導入した水蒸気を含むガ
スとしては、水蒸気分圧１．６Ｐａ（１２Ｔｏｒｒ）の
水蒸気を含む空気を用いた。In the first and second embodiments (panel numbers 1 to 7), air containing water vapor having a partial pressure of water vapor of 1.6 Pa (12 Torr) was used as the gas containing water vapor introduced into the panel.

【００６３】また、実施の形態２における封着ピーク温
度（図７におけるＢ）は４５０℃とした。The peak sealing temperature (B in FIG. 7) in Embodiment 2 was set to 450 ° C.

【００６４】前記各ＰＤＰにおいて、封着工程はピーク
温度を２０分保持する温度プロファイルとした。また、
パネル構成はすべて同じ構成とし、蛍光体膜厚は３０μ
ｍ、放電ガスはＮｅ（９５％）−Ｘｅ（５％）を６６．
５ｋＰａ（５００Ｔｏｒｒ）で封入した。In each of the PDPs, the sealing step was performed with a temperature profile in which the peak temperature was maintained for 20 minutes. Also,
The panel configuration is all the same, and the phosphor film thickness is 30μ.
m, discharge gas is Ne (95%)-Xe (5%).
It was sealed at 5 kPa (500 Torr).

【００６５】パネルを点灯させて評価した特性として
は、青色の発光強度（輝度を色度座標ｙで割った値）と
色度座標ｙ、および放電電圧（白色表示するときに、パ
ネル全面が点灯する最小電圧）を測定した。なお、青色
の発光強度は比較例のパネル番号９を１００とした相対
発光強度で示している。The characteristics evaluated by lighting the panel include the emission intensity of blue (a value obtained by dividing the luminance by the chromaticity coordinate y), the chromaticity coordinate y, and the discharge voltage (the entire panel is lit when displaying white). Minimum voltage). The blue light emission intensity is shown as a relative light emission intensity with the panel number 9 of the comparative example being 100.

【００６６】放電電圧の特性評価比較より、すべてのパ
ネルにおいて水蒸気を導入することで、従来パネルより
も、放電電圧を下げることが可能となっている。放電電
圧は水蒸気を導入したときの温度が高いほど低下してい
るが、一方、あまり高くなると青色発光特性が低下して
いる。ただし、本実施例のように３５０℃以下では青色
に特に大きな劣化を招くことはなかった。From the comparison of the characteristics evaluation of the discharge voltage, it is possible to lower the discharge voltage as compared with the conventional panel by introducing steam into all the panels. The discharge voltage decreases as the temperature at the time of introduction of water vapor increases, whereas when it is too high, the blue light emission characteristics decrease. However, as shown in this example, at 350 ° C. or lower, blue did not particularly deteriorate.

【００６７】放電電圧は水蒸気を導入したときの温度が
高いほど低下する理由としては、温度を上げることで水
蒸気とＭｇＯが反応し、その後の排気工程を経た後でも
水が一部パネル内に残りやすくなるためであると考えら
れる。The reason why the discharge voltage decreases as the temperature when the steam is introduced becomes higher as the temperature is increased is that the steam reacts with the MgO by increasing the temperature, and water remains partially in the panel even after the subsequent exhaust process. It is thought to be easier.

【００６８】さらに本実施の形態２（パネル番号５〜
７）のように封着前半では乾燥雰囲気をパネル内に導入
することで、青色の発光特性改善と放電電圧改善の両方
が実現できることが確認できた。Further, the second embodiment (panel numbers 5 to 5)
As shown in 7), it was confirmed that by introducing a dry atmosphere into the panel in the first half of the sealing, both the improvement of the blue light emission characteristics and the improvement of the discharge voltage can be realized.

【００６９】なお、以上の実施例においては、面放電型
のＰＤＰを例示したが、対向放電型のＰＤＰなどにも適
用することができる。Although the surface discharge type PDP has been described in the above embodiments, the present invention can be applied to a counter discharge type PDP.

【００７０】[0070]

【発明の効果】以上のように本発明の構成のプラズマデ
ィスプレイパネルの製造方法によれば、放電電圧を低下
させることが可能となる。また、従来封着工程で発生し
た蛍光体の発光特性劣化を抑え、かつ放電電圧を低下さ
せることが可能となり、その結果、発光強度および発光
効率が高く、色再現域の広いプラズマディスプレイパネ
ルが実現できる。As described above, according to the method of manufacturing a plasma display panel having the structure of the present invention, it is possible to lower the discharge voltage. In addition, it is possible to suppress the deterioration of the light emission characteristics of the phosphors generated during the conventional sealing process and to lower the discharge voltage, resulting in a plasma display panel with high light emission intensity and light emission efficiency and a wide color reproduction range. it can.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図１】本発明の実施の形態１に係る製造方法を示す図FIG. 1 is a diagram showing a manufacturing method according to a first embodiment of the present invention.

【図２】青色蛍光体相対発光強度変化の加熱時の水蒸気
分圧依存性を示す図FIG. 2 is a diagram showing the dependency of a change in the relative emission intensity of a blue phosphor on water vapor partial pressure during heating.

【図３】青色蛍光体ＣＩＥ色度ｙの変化の加熱時の水蒸
気分圧依存性を示す図FIG. 3 is a diagram showing the dependency of a change in the blue phosphor CIE chromaticity y on the partial pressure of water vapor during heating.

【図４】ＰＤＰの青色蛍光体相対発光強度と放電電圧の
関係を示す図FIG. 4 is a diagram showing a relationship between a relative emission intensity of a blue phosphor of a PDP and a discharge voltage.

【図５】青色蛍光体相対発光強度変化の加熱温度依存性
を示す図FIG. 5 is a diagram showing a heating temperature dependency of a change in relative emission intensity of a blue phosphor.

【図６】本発明の実施の形態２に係わる封着方法を示す
図FIG. 6 is a view showing a sealing method according to a second embodiment of the present invention.

【図７】本発明の実施の形態２に係わる封着温度プロフ
ァイルを示す図FIG. 7 is a view showing a sealing temperature profile according to a second embodiment of the present invention.

【図８】本実施の形態に係わる交流面放電型プラズマデ
ィスプレイパネルの概略断面図FIG. 8 is a schematic sectional view of an AC surface discharge type plasma display panel according to the present embodiment.

【図９】従来の交流面放電型プラズマディスプレイパネ
ルの概略断面図FIG. 9 is a schematic sectional view of a conventional AC surface discharge type plasma display panel.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

１ 前面板 ２ 背面板 ３ 加熱炉 ４ ガラス管 ５ 乾燥空気ボンベ ６ 流量コントローラ ７ バブリング装置 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Front plate 2 Back plate 3 Heating furnace 4 Glass tube 5 Dry air cylinder 6 Flow controller 7 Bubbling device

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) H01J 9/38 - 9/395 H01J 11/00 - 17/49 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page (58) Field surveyed (Int. Cl. ⁷ , DB name) H01J 9/38-9/395 H01J 11/00-17/49

Claims (12)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項１】 少なくとも一方に蛍光体を配設した前面
基板および背面基板を、両基板の間に内部空間が形成さ
れるように重ね合わせて封着する封着工程を有するプラ
ズマディスプレイパネルの製造方法であって、前記封着
工程後に、前記内部空間に水蒸気を導入する工程を設け
ることを特徴とするプラズマディスプレイパネルの製造
方法。1. Production of a plasma display panel having a sealing step of overlapping and sealing a front substrate and a rear substrate on each of which a phosphor is disposed on at least one such that an internal space is formed between the two substrates. A method for manufacturing a plasma display panel, comprising a step of introducing steam into the internal space after the sealing step. 【請求項２】 前記封着工程後に、１００℃以上、３５
０℃以下の温度までプラズマディスプレイパネルを加熱
して、前記内部空間に水蒸気を導入する工程を設けるこ
とを特徴とする請求項１記載のプラズマディスプレイパ
ネルの製造方法。2. After the sealing step, the temperature is 100 ° C. or more and 35 ° C.
2. The method of manufacturing a plasma display panel according to claim 1, further comprising the step of heating the plasma display panel to a temperature of 0 ° C. or less to introduce water vapor into the internal space. 【請求項３】 前記封着工程後に、前記内部空間に少な
くとも水蒸気を含むガスを流す工程を設けることを特徴
とする請求項１または２記載のプラズマディスプレイパ
ネルの製造方法。3. The method according to claim 1, further comprising, after the sealing step, a step of flowing a gas containing at least water vapor into the internal space. 【請求項４】 前記封着工程後に、少なくとも水蒸気を
含むガス雰囲気中に前記プラズマディスプレイパネルを
さらす工程を設けることを特徴とする請求項１または２
記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。4. The method according to claim 1, further comprising a step of exposing the plasma display panel to a gas atmosphere containing at least water vapor after the sealing step.
A manufacturing method of the plasma display panel according to the above. 【請求項５】 前記内部空間に水蒸気を導入する工程に
おいて、前記内部空間の水蒸気分圧を１．３ｋＰａ（１
０Ｔｏｒｒ）以上とすることを特徴とする請求項１から
４の何れかに記載のプラズマディスプレイパネルの製造
方法。5. In the step of introducing steam into the internal space, the partial pressure of steam in the internal space is set to 1.3 kPa (1 kPa).
Method of manufacturing a plasma display panel according to any one of claims 1 to 4, characterized in that the 0 Torr) or more. 【請求項６】 少なくとも一方に蛍光体を配設した前面
基板および背面基板を、両基板の間に内部空間が形成さ
れるように重ね合わせて封着する封着工程を有するプラ
ズマディスプレイパネルの製造方法であって、前記封着
工程は、プラズマディスプレイパネルをピーク温度まで
加熱後の温度降下時に、前記内部空間に水蒸気を導入す
ることを特徴とするプラズマディスプレイパネルの製造
方法。6. Production of a plasma display panel having a sealing step of overlapping and sealing a front substrate and a rear substrate on each of which a phosphor is disposed on at least one of them so that an internal space is formed between the substrates. The method of manufacturing a plasma display panel, wherein, in the sealing step, water vapor is introduced into the internal space when the temperature of the plasma display panel drops to a peak temperature after the plasma display panel is heated to a peak temperature. 【請求項７】 プラズマディスプレイパネルをピーク温
度まで加熱後に、３５０℃以下の温度まで降下後に、前
記内部空間に水蒸気を導入することを特徴とする請求項
６記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。7. The method of manufacturing a plasma display panel according to claim 6, wherein after the plasma display panel is heated to a peak temperature, the temperature is decreased to a temperature of 350 ° C. or lower, and then water vapor is introduced into the internal space. 【請求項８】 前記封着工程は、プラズマディスプレイ
パネルをピーク温度まで加熱後の温度降下時に、前記内
部空間に少なくとも水蒸気を含むガスを流すことを特徴
とする請求項６または７に記載のプラズマディスプレイ
パネルの製造方法。8. The plasma according to claim 6, wherein in the sealing step, when the temperature of the plasma display panel is decreased to a peak temperature after the plasma display panel has been cooled, a gas containing at least water vapor flows in the internal space. Display panel manufacturing method. 【請求項９】 前記封着工程は、プラズマディスプレイ
パネルをピーク温度まで加熱後の温度降下時に、前記プ
ラズマディスプレイパネルの周囲の雰囲気を少なくとも
水蒸気を含むガスで満たすことを特徴とする請求項６ま
たは７に記載のプラズマディスプレイパネルの製造方
法。9. The method according to claim 6, wherein in the sealing step, when the temperature of the plasma display panel is decreased after being heated to a peak temperature, an atmosphere around the plasma display panel is filled with a gas containing at least water vapor. 8. The method for manufacturing a plasma display panel according to item 7. 【請求項１０】 前記封着工程は、少なくともプラズマ
ディスプレイパネルをピーク温度に加熱するまでは、前
記内部空間に乾燥ガスを導入することを特徴とする請求
項６または７記載のプラズマディスプレイパネルの製造
方法。10. The plasma display panel according to claim 6, wherein in the sealing step, a dry gas is introduced into the internal space at least until the plasma display panel is heated to a peak temperature. Method. 【請求項１１】 温度降下時に前記内部空間に水蒸気を
導入し、前記内部空間の水蒸気分圧を１．３ｋＰａ（１
０Ｔｏｒｒ）以上とすることを特徴とする請求項６から
１０の何れかに記載のプラズマディスプレイパネルの製
造方法。11. When water vapor is introduced into the internal space when the temperature drops, the partial pressure of water vapor in the internal space is reduced to 1.3 kPa (1 kPa).
The method for manufacturing a plasma display panel according to any one of claims 6 to 10 , wherein the pressure is 0 Torr or more. 【請求項１２】 請求項１から１１のいずれかの製造方
法で製造したことを特徴とするプラズマディスプレイパ
ネル。12. A plasma display panel manufactured by the manufacturing method according to claim 1.